JP2014102103A - Probe pin, probe pin unit, and IC socket - Google Patents

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JP2014102103A JP2012252762A JP2012252762A JP2014102103A JP 2014102103 A JP2014102103 A JP 2014102103A JP 2012252762 A JP2012252762 A JP 2012252762A JP 2012252762 A JP2012252762 A JP 2012252762A JP 2014102103 A JP2014102103 A JP 2014102103A
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plunger
coil spring
barrel
compression coil
quadrant
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Takahiro Oda
享弘 小田
Rei Miura
玲 三浦
Hisao Oshima
久男 大島
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve durability of a probe pin while ensuring a smooth and reliable operation of the probe pin, by allowing determination of the buckling direction and buckling angle of a compression coil spring to a plunger and bringing the plunger and a barrel into contact with each other and bringing the compression coil spring and the barrel into contact with each other with a contact pressure smaller than that in a prior art.SOLUTION: On the assumption that a virtual plane orthogonal to a center axis 23 of a compression coil spring 4 is seen in plan view, the compression coil spring 4 has a front end of a coil 22 butted against a side surface 17a of a projection 17 of a plunger 3 and an end surface 16 facing the plunger 4 and is positioned in a first quadrant when the plunger 3 is put on an end part of the coil 22. In a second quadrant, an outer surface of the coil 22 is brought into contact with a front end surface 17b of the projection 17, and within a range of a third quadrant and a fourth quadrant, a buckling direction and a buckling angle are determined by providing a space so as not to bring the outer surface of the coil 22 into contact with the end surface 16 .

Description

この発明は、ICパッケージの電気的テストに使用されるプローブピン、このプローブ
ピンを収容してなるプローブピンユニット、及びこのプローブピンユニットを備えたIC
ソケットに関するものである。
The present invention relates to a probe pin used for electrical testing of an IC package, a probe pin unit containing the probe pin, and an IC including the probe pin unit
It relates to sockets.

従来から、ICパッケージの電気的テストを行うために使用されるICソケットは、ソ
ケット本体内に複数収容したプローブピンの一端側にICパッケージの端子を押し付け、
ICパッケージと外部電気的テスト回路とをプローブピンを介して電気的に接続するよう
になっている。
Conventionally, an IC socket used to conduct an electrical test of an IC package is to press a terminal of the IC package against one end side of a plurality of probe pins accommodated in the socket body,
The IC package and an external electrical test circuit are electrically connected via probe pins.

図15は、このようなICソケット100に使用されるプローブピン101を示すもの
である。この図15に示すプローブピン101は、導電性金属部材で形成された有底筒状
体(バレル)102と、この有底筒状体102の内部に収容された導電性金属部材で形成
された圧縮コイルばね103と、有底筒状体102の内部にスライド可能に収容され且つ
圧縮コイルばね103によって有底筒状体102の外方へ向けて常時付勢されるようにな
っているプランジャ104と、を備えている。
FIG. 15 shows a probe pin 101 used for such an IC socket 100. The probe pin 101 shown in FIG. 15 is formed of a bottomed cylindrical body (barrel) 102 formed of a conductive metal member and a conductive metal member accommodated in the bottomed cylindrical body 102. A compression coil spring 103 and a plunger 104 that is slidably accommodated in the bottomed cylindrical body 102 and is constantly urged toward the outside of the bottomed cylindrical body 102 by the compression coil spring 103. And.

この図15に示すプローブピン101において、プランジャ104は、大径部105の
一端側に小径部108が一体に形成され、この小径部108が有底筒状体102の開口部
106から外方へ突出するようになっている。また、プランジャ104は、大径部105
の他端側の面がプローブピン101の中心軸110に対して斜めに交差する傾斜面111
であり、その傾斜面111が圧縮コイルばね103のばね力によって常時押圧されている
ため、大径部105の外周面が有底筒状体102の内面に押し付けられると共に、大径部
105の一端側が有底筒状体102の縮径変形させられた開口部106の縁(ストッパ)
107に押し付けられている。このようなプローブピン101と同様の構造のものが、特
許文献1に開示されている。
In the probe pin 101 shown in FIG. 15, the plunger 104 has a small-diameter portion 108 formed integrally with one end side of the large-diameter portion 105, and the small-diameter portion 108 is outward from the opening 106 of the bottomed cylindrical body 102. It is designed to protrude. Further, the plunger 104 has a large diameter portion 105.
An inclined surface 111 in which the surface on the other end side obliquely intersects the central axis 110 of the probe pin 101.
Since the inclined surface 111 is constantly pressed by the spring force of the compression coil spring 103, the outer peripheral surface of the large-diameter portion 105 is pressed against the inner surface of the bottomed cylindrical body 102 and one end of the large-diameter portion 105. Edge (stopper) of opening 106 whose side is reduced in diameter of bottomed cylindrical body 102
107 is pressed. A structure having the same structure as the probe pin 101 is disclosed in Patent Document 1.

図15に示すように、プローブピン101は、例えば、ソケット本体112内に収容さ
れ、有底筒状体102の突起113が基板114の通電用電極115に接触し、プランジ
ャ104の小径部108の先端にICパッケージ116の端子117が押し付けられるこ
とにより、プランジャ104が圧縮コイルばね103を押し縮めて有底筒状体102内に
押し込まれる。この際、圧縮コイルばね103は、プランジャ104によって押されて座
屈しており、その先端でプランジャ104の傾斜面111を押圧し、プランジャ104の
大径部105の外周面を有底筒状体102の内面に押し付けるようになっている。その結
果、ICパッケージ116の端子117と基板114の通電用電極115(外部電気的テ
スト回路)は、プランジャ104と有底筒状体102を介して電気的に接続される。
As shown in FIG. 15, the probe pin 101 is accommodated in, for example, a socket main body 112, the projection 113 of the bottomed cylindrical body 102 contacts the energization electrode 115 of the substrate 114, and the small diameter portion 108 of the plunger 104 When the terminal 117 of the IC package 116 is pressed against the tip, the plunger 104 presses and compresses the compression coil spring 103 and is pushed into the bottomed cylindrical body 102. At this time, the compression coil spring 103 is pressed and buckled by the plunger 104, and the tip end of the compression coil spring 103 presses the inclined surface 111 of the plunger 104, and the outer peripheral surface of the large-diameter portion 105 of the plunger 104 is covered with the bottomed cylindrical body 102. It is designed to be pressed against the inner surface. As a result, the terminal 117 of the IC package 116 and the energization electrode 115 (external electrical test circuit) of the substrate 114 are electrically connected via the plunger 104 and the bottomed cylindrical body 102.

特許第3195295号公報Japanese Patent No. 3195295

しかしながら、図15に示した従来のプローブピン101は、プランジャ104が有底
筒状体102内に押し込まれた際に、プランジャ104が圧縮コイルばね103との接触
部で滑りを生じ、プランジャ104が有底筒状体102の内面に当接するまで移動し、プ
ランジャ104が圧縮コイルばね103のばね力によって有底筒状体102の内面に押し
付けられるようにするため、傾斜面111の傾斜角度αを10°〜30°に設定している
。また、この従来のプローブピン101において、圧縮コイルばね103は、コイル11
8の端部の片側だけがプランジャ104で押され、有底筒状体102内で座屈させられる
ようになっている。その結果、図15に示した従来のプローブピン101は、プランジャ
104と有底筒状体102との接触部分及び圧縮コイルばね103と有底筒状体102と
の接触部分の摩擦力が大きくなりすぎ、これら接触部分の擦れ合いによって摩耗が生じ、
耐久性が低下するという問題を生じる。しかも、この従来のプローブピン101は、圧縮
コイルばね103の座屈角度が大きくなりすぎると、座屈した圧縮コイルばね103と有
底筒状体102との接触部分において滑り運動ができなくなり(スタックが生じ)、プラ
ンジャ104の円滑な作動が不可能になるという問題を生じる。
However, in the conventional probe pin 101 shown in FIG. 15, when the plunger 104 is pushed into the bottomed cylindrical body 102, the plunger 104 slips at the contact portion with the compression coil spring 103, and the plunger 104 In order to move the plunger 104 until it comes into contact with the inner surface of the bottomed cylindrical body 102 and the plunger 104 is pressed against the inner surface of the bottomed cylindrical body 102 by the spring force of the compression coil spring 103, the inclination angle α of the inclined surface 111 is set. It is set to 10 ° to 30 °. In this conventional probe pin 101, the compression coil spring 103 is provided with a coil 11.
Only one side of the end portion 8 is pushed by the plunger 104 and is buckled in the bottomed cylindrical body 102. As a result, the conventional probe pin 101 shown in FIG. 15 has a large frictional force at the contact portion between the plunger 104 and the bottomed cylindrical body 102 and at the contact portion between the compression coil spring 103 and the bottomed cylindrical body 102. Too much, the friction caused by the friction of these contact parts,
This causes a problem that durability is lowered. In addition, when the buckling angle of the compression coil spring 103 becomes too large, the conventional probe pin 101 cannot slide in the contact portion between the buckled compression coil spring 103 and the bottomed cylindrical body 102 (stack). This causes a problem that the plunger 104 cannot be smoothly operated.

このような問題を解決するには、圧縮コイルばね103の座屈角度を小さくし、プラン
ジャ104と有底筒状体102との接触圧及び圧縮コイルばね103と有底筒状体102
との接触圧をなるべく小さく抑えた状態で、プランジャ104と有底筒状体102とを確
実に接触させる必要がある。
In order to solve such a problem, the buckling angle of the compression coil spring 103 is reduced, the contact pressure between the plunger 104 and the bottomed cylindrical body 102, and the compression coil spring 103 and the bottomed cylindrical body 102.
It is necessary to ensure that the plunger 104 and the bottomed cylindrical body 102 are in contact with each other in a state where the contact pressure with the bottom is kept as small as possible.

しかし、図15に示した従来のプローブピン101は、圧縮コイルばね103の端部と
プランジャ104の傾斜面111との接触位置を定める手段(位置決め手段)がないため
、圧縮コイルばね103の端部とプランジャ104の傾斜面111との接触位置が製品毎
にばらつきを生じる。その結果、図15に示した従来のプローブピン101は、圧縮コイ
ルばね103の中心軸110に直交する仮想平面を平面視したと仮定し、例えば、図16
に示すように、圧縮コイルばね103のコイル118の先端118aが第1象限にある場
合と、図17に示すように、圧縮コイルばね103のコイル118の先端118aが第3
象限にある場合(圧縮コイルばね103のコイル118の先端118aが図16の圧縮コ
イルばね103のコイル118の先端118aと180°異なる場合)とを比較すると、
プランジャ104と圧縮コイルばね103の最初の接触位置120が異なり、有底筒状体
102内における圧縮コイルばね103の押し縮められ量(δ)が異なっている(図18
参照)。なお、図16〜図18は、圧縮コイルばね103の端部にプランジャ104を乗
せただけの(プランジャ104の自重だけが作用している)状態であって、圧縮コイルば
ね103を押し縮めてない状態を示している。また、図18において、実線で示す圧縮コ
イルばね103は、図16の圧縮コイルばね103に対応し、仮想線で示す圧縮コイルば
ね103は、図17の圧縮コイルばね103に対応している。
However, since the conventional probe pin 101 shown in FIG. 15 has no means (positioning means) for determining the contact position between the end portion of the compression coil spring 103 and the inclined surface 111 of the plunger 104, the end portion of the compression coil spring 103 is used. And the contact position between the inclined surface 111 of the plunger 104 vary from product to product. As a result, it is assumed that the conventional probe pin 101 shown in FIG. 15 is a plan view of a virtual plane orthogonal to the central axis 110 of the compression coil spring 103. For example, FIG.
As shown in FIG. 17, the tip 118a of the coil 118 of the compression coil spring 103 is in the first quadrant, and the tip 118a of the coil 118 of the compression coil spring 103 is third as shown in FIG.
Compared with the case in the quadrant (when the tip 118a of the coil 118 of the compression coil spring 103 is 180 ° different from the tip 118a of the coil 118 of the compression coil spring 103 in FIG. 16),
The initial contact position 120 of the plunger 104 and the compression coil spring 103 is different, and the amount (δ) of the compression coil spring 103 being compressed in the bottomed cylindrical body 102 is different (FIG. 18).
reference). 16 to 18 show a state in which the plunger 104 is simply placed on the end of the compression coil spring 103 (only the weight of the plunger 104 is acting), and the compression coil spring 103 is not compressed. Indicates the state. In FIG. 18, the compression coil spring 103 indicated by the solid line corresponds to the compression coil spring 103 of FIG. 16, and the compression coil spring 103 indicated by the phantom line corresponds to the compression coil spring 103 of FIG.

また、図15に示した従来のプローブピン101において、圧縮コイルばね103とプ
ランジャ104の接触状態は、図19に示すように、プランジャ104の押し込み量(圧
縮コイルばね103の押し縮められ量)に応じて変化する。
Further, in the conventional probe pin 101 shown in FIG. 15, the contact state between the compression coil spring 103 and the plunger 104 is set to the pushing amount of the plunger 104 (the amount by which the compression coil spring 103 is compressed) as shown in FIG. Will change accordingly.

すなわち、従来のプローブピン101は、図19(a−1,a−2)に示すように、圧
縮コイルばね103の端部にプランジャ104が自重のみで乗った状態において、プラン
ジャ104と圧縮コイルばね103が1箇所S10で接触している。次に、図19(b−
1,b−2)に示すように、プランジャ104を少し押し込んで圧縮コイルばね103を
押し縮めた状態において、プランジャ104と圧縮コイルばね103が2箇所S10,S
11で接触している。次に、図19(c−1,c−2)に示すように、プランジャ104
を更に押し込んで(図19(b−1)の状態から更にプランジャ104を押し込んで)圧
縮コイルばね103を押し縮めた状態において、プランジャ104と圧縮コイルばね10
3とが2箇所S10,S11で接触しているものの、図19(b−2)の第2の接触箇所
S11が第1の接触箇所S10側へ近づくように移動している。その結果、図19(c−
1,c−2)の圧縮コイルばね103の座屈方向は、図19(b−1,b−2)の圧縮コ
イルばね103の座屈方向と異なっている。また、このように、プランジャ104に対す
る圧縮コイルばね103の座屈方向が異なると、プランジャ104の傾斜面111と圧縮
コイルばね103との接触状態が異なり、座屈角度が異なることになる。
That is, as shown in FIGS. 19 (a-1 and a-2), the conventional probe pin 101 has a plunger 104 and a compression coil spring in a state where the plunger 104 rides on the end of the compression coil spring 103 only by its own weight. 103 is in contact at one location S10. Next, FIG.
1, b-2), the plunger 104 and the compression coil spring 103 are in two locations S10, S in a state where the plunger 104 is pushed in a little to compress and compress the compression coil spring 103.
11 is in contact. Next, as shown in FIG. 19 (c-1, c-2), the plunger 104
Is further pushed (the plunger 104 is pushed further from the state shown in FIG. 19B-1), and the compression coil spring 103 is pushed and contracted.
3 is in contact at two locations S10 and S11, but the second contact location S11 in FIG. 19 (b-2) is moving so as to approach the first contact location S10 side. As a result, FIG.
1, c-2) the buckling direction of the compression coil spring 103 is different from the buckling direction of the compression coil spring 103 of FIG. 19 (b-1, b-2). In addition, when the buckling direction of the compression coil spring 103 with respect to the plunger 104 is different, the contact state between the inclined surface 111 of the plunger 104 and the compression coil spring 103 is different, and the buckling angle is different.

しかも、圧縮コイルばね103として、例えば、クローズドエンド(無研削)のものは
、コイル118の端部の接地角度(コイル118の外表面と仮想水平面Hとのなす角度)
βが5°程度である(図16,図17参照)。したがって、図15に示す従来のプローブ
ピン101は、プランジャ104の傾斜面111と圧縮コイルばね103との接触位置1
20が異なる図16の場合と図17の場合とを比較すると、図16の場合における圧縮コ
イルばね103のコイル118の端部とプランジャ104の傾斜面111とのなす角度θ
がα+βとなり、図17の場合における圧縮コイルばね103のコイル118の端部とプ
ランジャ104の傾斜面111とのなす角度θがα−βとなり、図16の場合の方が図1
7の場合よりも角度θが大きくなる。その結果、従来のプローブピン101は、例えば、
図16におけるプランジャ104の傾斜面111と圧縮コイルばね103との接触位置1
20を基準にプランジャ104の傾斜面111の傾斜角度αや角度θを設計したとしても
、組立時や使用中に、図17におけるプランジャ104の傾斜面111と圧縮コイルばね
103との接触位置120へ変化すると、圧縮コイルばね103のコイル118の端部と
プランジャ104の傾斜面111とのなす角度θが小さくなりすぎて、プランジャ104
の外表面と有底筒状体102の内面とが接触不良になる虞がある。一方、従来のプローブ
ピン101は、例えば、図17におけるプランジャ104の傾斜面111と圧縮コイルば
ね103との接触位置120を基準にプランジャ104の傾斜面111の傾斜角度αや角
度θを設計したとしても、組立時や使用中に、図16におけるプランジャ104の傾斜面
111と圧縮コイルばね103との接触位置120へ変化すると、圧縮コイルばね103
のコイル118の端部とプランジャ104の傾斜面111とのなす角度θが大きくなりす
ぎて(圧縮コイルばね103の座屈角度が大きくなりすぎて)、プランジャ104と有底
筒状体102との接触部分及び圧縮コイルばね103と有底筒状体102との接触部分の
摩擦力が大きくなりすぎ、これら接触部分の擦れ合いによって摩耗が生じ、耐久性が低下
したり、圧縮コイルばね103が有底筒状体102の内面との接触部分でスタックすると
いう問題を生じる。なお、圧縮コイルばね103の座屈が圧縮コイルばね103のコイル
118の端部とプランジャ104の傾斜面111とのなす角度θによって定まるため、角
度θを座屈角度と呼ぶこととする。
Moreover, as the compression coil spring 103, for example, a closed end (non-ground) one is a ground angle at the end of the coil 118 (an angle formed between the outer surface of the coil 118 and the virtual horizontal plane H).
β is about 5 ° (see FIGS. 16 and 17). Therefore, the conventional probe pin 101 shown in FIG. 15 has a contact position 1 between the inclined surface 111 of the plunger 104 and the compression coil spring 103.
16 and FIG. 17 are compared, the angle θ formed between the end of the coil 118 of the compression coil spring 103 and the inclined surface 111 of the plunger 104 in the case of FIG.
Is α + β, and the angle θ between the end of the coil 118 of the compression coil spring 103 and the inclined surface 111 of the plunger 104 in the case of FIG. 17 is α−β, and the case of FIG.
The angle θ is larger than in the case of 7. As a result, the conventional probe pin 101 is, for example,
Contact position 1 between the inclined surface 111 of the plunger 104 and the compression coil spring 103 in FIG.
Even if the inclination angle α and angle θ of the inclined surface 111 of the plunger 104 are designed with reference to 20, the contact position 120 between the inclined surface 111 of the plunger 104 and the compression coil spring 103 in FIG. If changed, the angle θ formed between the end of the coil 118 of the compression coil spring 103 and the inclined surface 111 of the plunger 104 becomes too small, and the plunger 104
There is a possibility that contact between the outer surface of the tube and the inner surface of the bottomed cylindrical body 102 may be poor. On the other hand, in the conventional probe pin 101, for example, the inclination angle α and angle θ of the inclined surface 111 of the plunger 104 are designed based on the contact position 120 between the inclined surface 111 of the plunger 104 and the compression coil spring 103 in FIG. If the position changes to the contact position 120 between the inclined surface 111 of the plunger 104 and the compression coil spring 103 in FIG.
The angle θ formed by the end of the coil 118 and the inclined surface 111 of the plunger 104 becomes too large (the buckling angle of the compression coil spring 103 becomes too large), and the plunger 104 and the bottomed cylindrical body 102 are The frictional force of the contact portion and the contact portion between the compression coil spring 103 and the bottomed cylindrical body 102 is excessively increased, and abrasion occurs due to friction between these contact portions, and the durability is reduced or the compression coil spring 103 is provided. There arises a problem of stacking at the contact portion with the inner surface of the bottom cylindrical body 102. Since the buckling of the compression coil spring 103 is determined by the angle θ formed between the end of the coil 118 of the compression coil spring 103 and the inclined surface 111 of the plunger 104, the angle θ is referred to as a buckling angle.

このように、図15に示した従来のプローブピン101は、圧縮コイルばね103の座
屈角度θを所望の角度に設計することが困難であり、プランジャ104と有底筒状体10
2との接触部分の接触圧及び圧縮コイルばね103と有底筒状体102との接触部分の接
触圧を所望の数値範囲に設計することが困難であった。
Thus, it is difficult for the conventional probe pin 101 shown in FIG. 15 to design the buckling angle θ of the compression coil spring 103 to a desired angle, and the plunger 104 and the bottomed cylindrical body 10 are difficult to design.
It is difficult to design the contact pressure at the contact portion with 2 and the contact pressure at the contact portion between the compression coil spring 103 and the bottomed cylindrical body 102 within a desired numerical range.

そこで、本発明は、プランジャに対する圧縮コイルばねの座屈方向及び座屈角度を定め
ることができるようにし、従来例よりも小さな接触圧でプランジャとバレル及び圧縮コイ
ルばねとバレルとを接触させ、プローブピンの円滑で確実な作動を確保しつつ、プローブ
ピンの耐久性を向上させることを目的とする。
Therefore, the present invention makes it possible to determine the buckling direction and the buckling angle of the compression coil spring with respect to the plunger, bring the plunger and the barrel and the compression coil spring and the barrel into contact with a contact pressure smaller than that of the conventional example, and The object is to improve the durability of the probe pin while ensuring the smooth and reliable operation of the pin.

本発明は、図1〜3,4,6,7及び9に示すように、(1)筒状の導電性を有するバ
レル2と、(2)前記バレル2の内部の端部側に大径部11がスライド可能に収容され、
小径部12が前記バレル2の端部側から外方へ突出するようになっている導電性を有する
プランジャ3と、(3)前記バレル2の内部に収容され、前記プランジャ3を前記バレル
2から押し出す方向へ付勢する圧縮コイルばね4と、(4)前記バレル2の端部に位置し
、前記圧縮コイルばね4によって付勢された前記プランジャ3の前記大径部11の端部に
当接して、前記プランジャ3が前記圧縮コイルばね4のばね力で前記バレル2から押し出
されるのを防止するストッパ6と、を備えたプローブピン1に関するものである。
1 to 3, 4, 6, 7 and 9, the present invention includes (1) a cylindrical barrel 2 having conductivity, and (2) a large diameter on the end side inside the barrel 2. Part 11 is slidably accommodated,
A conductive plunger 3 having a small-diameter portion 12 projecting outward from the end side of the barrel 2; and (3) accommodated in the barrel 2, and the plunger 3 is removed from the barrel 2. A compression coil spring 4 urged in the pushing direction; and (4) located at an end of the barrel 2 and abutted against an end of the large-diameter portion 11 of the plunger 3 urged by the compression coil spring 4. And a stopper 6 that prevents the plunger 3 from being pushed out of the barrel 2 by the spring force of the compression coil spring 4.

この発明において、前記プランジャ3のうちの前記バレル2の内部に位置する内側端部
は、前記圧縮コイルばね4に対向する端面16と、この端面16よりも前記バレル2の内
方へ向かって出っ張る突起17と、を有している。
In the present invention, an inner end portion of the plunger 3 located inside the barrel 2 protrudes toward the inside of the barrel 2 from the end surface 16 facing the compression coil spring 4 and the end surface 16. And a protrusion 17.

また、前記圧縮コイルばね4は、
・前記圧縮コイルばね4の中心軸23に直交する仮想平面を平面視したと仮定した場合

・前記プランジャ3が前記圧縮コイルばね4を押し縮めた状態で前記バレル2の内部に
収容される過程において、前記中心軸23を中心とする第1象限乃至第4象限のうちの第
1象限と第2象限のいずれか一方で、コイル22の先端22aが前記突起17の側面17
aと前記端面16に突き当って位置決めされ、前記第1象限と前記第2象限のいずれか他
方で、前記コイル22の外表面が前記突起17の先端面17bに当接し、前記第1象限乃
至第4象限のうちの第3象限乃至第4象限の範囲内で、前記コイル22の外表面が前記端
面16に当接しない状態があり、
・少なくとも、前記プランジャ3が前記圧縮コイルばね4を押し縮めた状態で前記バレ
ル2の内部に収容された段階において、前記中心軸23を中心とする第1象限乃至第4象
限のうちの第1象限と第2象限のいずれか一方で、コイル22の先端22aが前記突起1
7の側面17aと前記端面16に突き当って位置決めされ、前記第1象限と前記第2象限
のいずれか他方で、前記コイル22の外表面が前記突起17の先端面17bに当接し、且
つ、前記第1象限乃至第4象限のうちの第3象限乃至第4象限の範囲内で、前記コイル2
2の外表面が前記端面16に当接することにより、
・前記バレル2の内部における座屈方向と座屈角度が定められ、前記プランジャ3を前
記バレル2の内壁面2aに押し付け、座屈した状態で前記バレルに当接するようになって
いる。
The compression coil spring 4 is
When assuming that a virtual plane orthogonal to the central axis 23 of the compression coil spring 4 is viewed in plan view,
In the process in which the plunger 3 is housed in the barrel 2 in a state where the compression coil spring 4 is compressed, the first quadrant of the first to fourth quadrants centered on the central axis 23 In either one of the second quadrants, the tip 22a of the coil 22 is connected to the side surface 17 of the protrusion 17.
a and abutting against the end face 16, and in either one of the first quadrant and the second quadrant, the outer surface of the coil 22 abuts on the tip face 17b of the protrusion 17, and the first quadrant to There is a state in which the outer surface of the coil 22 does not contact the end face 16 within the range of the third quadrant to the fourth quadrant of the fourth quadrant,
At least when the plunger 3 is housed in the barrel 2 in a state where the compression coil spring 4 is compressed, the first of the first to fourth quadrants centered on the central axis 23. In either the quadrant or the second quadrant, the tip 22a of the coil 22 is connected to the projection 1
7, the outer surface of the coil 22 abuts against the tip end surface 17 b of the projection 17 in either one of the first quadrant and the second quadrant, and Within the range of the third quadrant to the fourth quadrant of the first quadrant to the fourth quadrant, the coil 2
When the outer surface of 2 abuts against the end face 16,
A buckling direction and a buckling angle inside the barrel 2 are determined, and the plunger 3 is pressed against the inner wall surface 2a of the barrel 2 to come into contact with the barrel in a buckled state.

本発明は、プランジャに対する圧縮コイルばねの座屈方向及び座屈角度を定めることが
できるようにし、従来例よりも小さな接触圧でプランジャとバレル及び圧縮コイルばねと
バレルとを接触させ、プローブピンの円滑で確実な作動を確保しつつ、プローブピンの耐
久性を向上させることができる。
The present invention makes it possible to determine a buckling direction and a buckling angle of a compression coil spring with respect to a plunger, bring a plunger and a barrel and a compression coil spring and a barrel into contact with a contact pressure smaller than that of the conventional example, and The durability of the probe pin can be improved while ensuring a smooth and reliable operation.

本発明の実施形態に係るプローブピンを示すものであり、図1(a)がプローブピンの正面図であり、図1(b)が図1(a)のプローブピンの上方から下方(−Z方向)へ向かって見た状態を示す図(プローブピンの上面図)であり、図1(c)が図1(a)のプローブピンの下方から上方(+Z方向)へ向かって見た状態を示す図(プローブピンの下面図)である。FIG. 1A shows a probe pin according to an embodiment of the present invention, FIG. 1A is a front view of the probe pin, and FIG. 1B is a top view of the probe pin in FIG. FIG. 1C is a diagram (a top view of the probe pin) as viewed toward the direction), and FIG. 1C illustrates the state viewed from the lower side of the probe pin in FIG. 1A toward the upper side (+ Z direction). It is a figure (bottom view of a probe pin) shown. 図1(a)のA1−A1線に沿ってバレルを破断した状態のプローブピンの図であり、プローブピンの内部構造を示す図である。It is a figure of the probe pin of the state which fractured | ruptured the barrel along the A1-A1 line | wire of Fig.1 (a), and is a figure which shows the internal structure of a probe pin. プランジャの端部形状を示す図であり、図3(a)がプランジャの端部側正面図であり、図3(b)がプランジャの端部側下面図(端面図)である。It is a figure which shows the edge part shape of a plunger, Fig.3 (a) is an end part side front view of a plunger, FIG.3 (b) is an end part side bottom view (end view) of a plunger. 第1プランジャを圧縮コイルばねの一端部に乗せた状態を示す図であり、図4(a)が第1プランジャと圧縮コイルばねの一端部との関係を示す正面図であり、図4(b)が第1プランジャと圧縮コイルばねの一端部との関係を示す平面図(ただし、第1プランジャを仮想線で示した平面図)である。It is a figure which shows the state which put the 1st plunger on the one end part of a compression coil spring, FIG. 4 (a) is a front view which shows the relationship between a 1st plunger and the one end part of a compression coil spring, FIG. ) Is a plan view showing the relationship between the first plunger and one end of the compression coil spring (however, the plan view showing the first plunger in phantom lines). 圧縮コイルばねの他端部を第2プランジャに乗せた状態を示す図であり、図5(a)が第2プランジャと圧縮コイルばねの他端部との関係を示す正面図であり、図5(b)が第2プランジャと圧縮コイルばねの他端部との関係を示す平面図である。It is a figure which shows the state which put the other end part of the compression coil spring on the 2nd plunger, and Fig.5 (a) is a front view which shows the relationship between a 2nd plunger and the other end part of a compression coil spring, FIG. (B) is a top view which shows the relationship between a 2nd plunger and the other end part of a compression coil spring. プローブピン1の組立手順の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the assembly procedure of the probe pin. 図7(a)は、図2のプローブピンにおける第1プランジャと圧縮コイルばねの一端部との関係を示す正面図である。図7(b)は、図2のプローブピンにおける第1プランジャと圧縮コイルばねの一端部との関係を示す平面図(ただし、第1プランジャを仮想線で示した平面図)である。Fig.7 (a) is a front view which shows the relationship between the 1st plunger in the probe pin of FIG. 2, and the one end part of a compression coil spring. FIG. 7B is a plan view showing the relationship between the first plunger and one end portion of the compression coil spring in the probe pin of FIG. 2 (however, the plan view showing the first plunger in phantom). 図8(a)は、図2のプローブピンにおける第2プランジャと圧縮コイルばねの他端部との関係を示す正面図である。図8(b)は、図2のプローブピンにおける第2プランジャと圧縮コイルばねの他端部との関係を示す平面図である。Fig.8 (a) is a front view which shows the relationship between the 2nd plunger in the probe pin of FIG. 2, and the other end part of a compression coil spring. FIG. 8B is a plan view showing the relationship between the second plunger and the other end of the compression coil spring in the probe pin of FIG. 図9(a)は、第1プランジャの突起の先端面と圧縮コイルばねのコイルの外表面との間に微小隙間が生じた状態を示す図である。図9(b)は、第1プランジャの端面と圧縮コイルばねのコイルの先端との間に微小隙間が生じた状態を示す図である。FIG. 9A is a view showing a state in which a minute gap is generated between the distal end surface of the protrusion of the first plunger and the outer surface of the coil of the compression coil spring. FIG. 9B is a diagram illustrating a state in which a minute gap is generated between the end surface of the first plunger and the tip of the coil of the compression coil spring. 第1プランジャ及び第2プランジャにおける端面側形状の第1の変形例を示す図であり、図10(a)が第1プランジャ及び第2プランジャにおける端面側形状の正面図であり、図10(b)が第1プランジャ及び第2プランジャにおける端面側形状の下面図であり、図10(c)が図10(a)に示した端面側形状の変形例を示す図である。It is a figure which shows the 1st modification of the end surface side shape in a 1st plunger and a 2nd plunger, FIG. 10 (a) is a front view of the end surface side shape in a 1st plunger and a 2nd plunger, FIG. ) Is a bottom view of the end face side shape of the first plunger and the second plunger, and FIG. 10C is a view showing a modification of the end face side shape shown in FIG. 第1プランジャ及び第2プランジャにおける端面側形状の第2の変形例を示す図であり、図11(a)が第1プランジャ及び第2プランジャにおける端面側形状の正面図であり、図11(b)が第1プランジャ及び第2プランジャにおける端面側形状の下面図であり、図11(c)が図11(a)に示した端面側形状の変形例を示す図である。It is a figure which shows the 2nd modification of the end surface side shape in a 1st plunger and a 2nd plunger, Fig.11 (a) is a front view of the end surface side shape in a 1st plunger and a 2nd plunger, FIG.11 (b) ) Is a bottom view of the end face side shape of the first plunger and the second plunger, and FIG. 11C is a view showing a modification of the end face side shape shown in FIG. 第1プランジャ及び第2プランジャにおける端面側形状の第3の変形例を示す図であり、図12(a)が第1プランジャ及び第2プランジャにおける端面側形状の正面図であり、図12(b)が第1プランジャ及び第2プランジャにおける端面側形状の下面図(又は平面図)である。It is a figure which shows the 3rd modification of the end surface side shape in a 1st plunger and a 2nd plunger, FIG. 12 (a) is a front view of the end surface side shape in a 1st plunger and a 2nd plunger, FIG. ) Is a bottom view (or a plan view) of the end face side shape of the first plunger and the second plunger. 第1プランジャ及び第2プランジャにおける端面側形状の第4の変形例を示す図であり、図13(a)が第1プランジャ及び第2プランジャにおける端面側形状の正面図であり、図13(b)が第1プランジャ及び第2プランジャにおける端面側形状の下面図(又は平面図)である。It is a figure which shows the 4th modification of the end surface side shape in a 1st plunger and a 2nd plunger, Fig.13 (a) is a front view of the end surface side shape in a 1st plunger and a 2nd plunger, FIG.13 (b) ) Is a bottom view (or a plan view) of the end face side shape of the first plunger and the second plunger. 本発明の実施形態に係るプローブピンを複数収容してなるプローブピンユニット、及びこのプローブピンユニットを備えたICソケットを示す図(模式的に示すICソケットの要部断面図)である。FIG. 2 is a diagram (a schematic cross-sectional view of the main part of an IC socket schematically showing) a probe pin unit containing a plurality of probe pins according to an embodiment of the present invention and an IC socket provided with the probe pin unit. 従来のプローブピンを示す図(有底筒状体を破断して示す構造図)である。It is a figure which shows the conventional probe pin (structure figure which fractures | ruptures and shows a bottomed cylindrical body). 従来のプローブピンにおけるプランジャと圧縮コイルばねとの第1の状態を示す図であり、図16(a)がプランジャと圧縮コイルばねとの第1の状態を示す正面図であり、図16(b)がプランジャと圧縮コイルばねとの第1の状態を示す平面図(ただし、プランジャを仮想線で示した平面図)である。It is a figure which shows the 1st state of the plunger and compression coil spring in the conventional probe pin, FIG.16 (a) is a front view which shows the 1st state of a plunger and compression coil spring, FIG.16 (b) ) Is a plan view showing a first state of the plunger and the compression coil spring (however, the plan view showing the plunger in phantom lines). 従来のプローブピンにおけるプランジャと圧縮コイルばねとの第2の状態を示す図であり、図17(a)がプランジャと圧縮コイルばねとの第2の状態を示す正面図であり、図17(b)がプランジャと圧縮コイルばねとの第2の状態を示す平面図(ただし、プランジャを仮想線で示した平面図)である。It is a figure which shows the 2nd state of the plunger and compression coil spring in the conventional probe pin, FIG.17 (a) is a front view which shows the 2nd state of a plunger and compression coil spring, FIG.17 (b) ) Is a plan view showing a second state of the plunger and the compression coil spring (however, the plan view showing the plunger in phantom lines). 図16(a)におけるプランジャと圧縮コイルばねとの第1の状態を示す図(実線で示す図)に、図17(a)におけるプランジャと圧縮コイルばねとの第2の状態を示す図(仮想線で示す図)を重ね合わせて示す図であり、圧縮コイルばねのコイルの先端位置を一致させるようにして示す図である。FIG. 16A shows a first state of the plunger and the compression coil spring (shown by a solid line) in FIG. 16A, and shows a second state of the plunger and the compression coil spring in FIG. It is a figure which overlaps and shows the tip position of the coil of a compression coil spring so that it may correspond. 従来のプローブピンにおけるプランジャと圧縮コイルばねの接触状態を示す図である。図19(a−1)は、プランジャが自重のみで圧縮コイルばねに接触した状態を示す正面図である。図19(a−2)は、図19(a−1)の圧縮コイルばねを平面視した状態を示す図であり、プランジャとの接触点を示す図である。図19(b−1)は、プランジャを押し込んで圧縮コイルばねを押し縮めた状態を示す正面図である。図19(b−2)は、図19(b−1)の圧縮コイルばねを平面視した状態を示す図であり、プランジャとの接触点を示す図である。図19(c−1)は、プランジャを更に押し込んで圧縮コイルばねを更に押し縮めた状態を示す正面図である。図19(c−2)は、図19(c−1)の圧縮コイルばねを平面視した状態を示す図であり、プランジャとの接触点を示す図である。It is a figure which shows the contact state of the plunger and compression coil spring in the conventional probe pin. FIG. 19A-1 is a front view showing a state where the plunger is in contact with the compression coil spring only by its own weight. FIG. 19 (a-2) is a diagram illustrating a state in which the compression coil spring of FIG. 19 (a-1) is viewed in plan, and is a diagram illustrating a contact point with the plunger. FIG. 19B-1 is a front view showing a state where the plunger is pushed in and the compression coil spring is pushed and contracted. FIG.19 (b-2) is a figure which shows the state which planarly viewed the compression coil spring of FIG.19 (b-1), and is a figure which shows a contact point with a plunger. FIG. 19 (c-1) is a front view showing a state where the plunger is further pushed in and the compression coil spring is further compressed. Fig. 19 (c-2) is a diagram illustrating a state in plan view of the compression coil spring of Fig. 19 (c-1), and is a diagram illustrating a contact point with the plunger.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づき詳述する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

(プローブピンの構造)
図1乃至図2は、本実施形態に係るプローブピン1を示すものである。なお、図1にお
いて、図1(a)がプローブピン1の正面図であり、図1(b)が図1(a)のプローブ
ピン1の上方から下方(−Z方向)へ向かって見た状態を示す図(プローブピン1の上面
図)であり、図1(c)が図1(a)のプローブピン1の下方から上方(+Z方向)へ向
かって見た状態を示す図(プローブピン1の下面図)である。また、図2は、図1(a)
のA1−A1線に沿ってバレル2を破断した状態のプローブピン1の図であり、プローブ
ピン1の内部構造を示す図である。
(Probe pin structure)
1 and 2 show a probe pin 1 according to the present embodiment. In FIG. 1, FIG. 1 (a) is a front view of the probe pin 1, and FIG. 1 (b) is viewed from the upper side to the lower side (−Z direction) of the probe pin 1 in FIG. 1 (a). It is a figure (top view of probe pin 1) which shows a state, and a figure (probe pin) in which Drawing 1 (c) looked from the lower part of probe pin 1 of Drawing 1 (a) toward the upper part (+ Z direction) 1 is a bottom view of FIG. Further, FIG. 2 is shown in FIG.
It is a figure of the probe pin 1 of the state which fractured | ruptured the barrel 2 along the A1-A1 line | wire, and is a figure which shows the internal structure of the probe pin 1. FIG.

これらの図に示すように、プローブピン1は、バレル2の内部に第1プランジャ3,圧
縮コイルばね4及び第2プランジャ5を収容し、バレル2の一端部側に第1ストッパ6を
有し、バレル2の他端部側に第2ストッパ7を有している。
As shown in these drawings, the probe pin 1 houses the first plunger 3, the compression coil spring 4 and the second plunger 5 inside the barrel 2, and has a first stopper 6 on one end side of the barrel 2. The second stopper 7 is provided on the other end side of the barrel 2.

図1乃至図2に示すように、バレル2は、導電性金属材料で円筒状に形成されている。
このバレル2は、一端部側が端部(上端部)へ向かうに従って直径を漸減するようなテー
パ状に縮径変形させられることにより、第1ストッパ6が一体に形成されている。また、
このバレル2は、他端部側が端部(下端部)へ向かうに従って直径を漸減するようなテー
パ状に縮径変形させられることにより、第2ストッパ7が一体に形成されている。その結
果、バレル2は、一端部側の開口部8の内径及び他端部側の開口部10の内径が他部の内
径よりも小さくなっている。なお、バレル2は、第1ストッパ6及び第2ストッパ7を除
いた部分が同一内径となるように、パイプ状の導電性金属材料を素材として形成されてい
る。
As shown in FIGS. 1 and 2, the barrel 2 is formed in a cylindrical shape from a conductive metal material.
The barrel 2 is integrally formed with the first stopper 6 by being reduced in diameter and tapered so that the diameter of the barrel 2 gradually decreases toward the end (upper end). Also,
The barrel 2 is deformed into a taper shape so that the diameter of the barrel 2 gradually decreases toward the end (lower end) toward the end (lower end), so that the second stopper 7 is integrally formed. As a result, the barrel 2 has an inner diameter of the opening 8 on one end side and an inner diameter of the opening 10 on the other end side smaller than the inner diameter of the other part. The barrel 2 is formed of a pipe-like conductive metal material so that the portions excluding the first stopper 6 and the second stopper 7 have the same inner diameter.

図1乃至図2に示すように、第1プランジャ3は、丸棒状の導電性金属材料で形成され
、大径部11と小径部12とを有している。この第1プランジャ3は、大径部11がバレ
ル2の内部にスライド可能に収容され、小径部12がバレル2の一端部側の開口部8から
バレル2の外方へ突出するようになっている。また、この第1プランジャ3の小径部12
の先端は、ICパッケージ13の端子14に確実に接触させるため(図14参照)、複数
の突起でクラウン状に形成されている。また、この第1プランジャ3の大径部11と小径
部12は、テーパ状の接続部分15によって滑らかに接続されている。また、この第1プ
ランジャ3は、大径部11の端面16(圧縮コイルばね4に対向する側の端面16)に突
起17が一体に形成されている(図3参照)。
As shown in FIGS. 1 and 2, the first plunger 3 is formed of a round bar-like conductive metal material and has a large diameter portion 11 and a small diameter portion 12. The first plunger 3 is configured such that the large diameter portion 11 is slidably accommodated inside the barrel 2, and the small diameter portion 12 projects outward from the opening 8 on one end side of the barrel 2. Yes. Further, the small-diameter portion 12 of the first plunger 3
The tip of each is formed in a crown shape with a plurality of protrusions so as to be surely brought into contact with the terminal 14 of the IC package 13 (see FIG. 14). The large diameter portion 11 and the small diameter portion 12 of the first plunger 3 are smoothly connected by a tapered connection portion 15. The first plunger 3 has a protrusion 17 integrally formed on the end face 16 of the large-diameter portion 11 (end face 16 on the side facing the compression coil spring 4) (see FIG. 3).

図2及び図3に示すように、突起17は、端面16から第1プランジャ3の中心軸18
に沿って(バレル2の中心軸20に沿って)突出しており、端面16を平面視した場合(
図3の下方から+Z軸方向へ向かって見た場合)、X軸方向に沿った中心線C1と平行な
弦21であって、且つ、+Y軸方向に沿った第1プランジャ3の大径部11の半径を2分
するように位置する弦(突起17の端縁)21によって、端面16と区画されている。ま
た、突起17は、圧縮コイルばね4がクローズドエンド(無研削)の場合、圧縮コイルば
ね4のコイル22の先端(上端)22aが突起17の側面17aに突き当たると共に圧縮
コイルばね4のコイル22の先端22aが端面16に当接するように、第1プランジャ3
が圧縮コイルばね4の端部に乗せられ、且つ、第1プランジャ3の中心軸18と圧縮コイ
ルばね4の中心軸23とを同心となるように合わせた際に、突起17の先端面17bが圧
縮コイルばね4のコイル22の外表面に当接する突出高さに形成されている(図4参照)
。この際の第1プランジャ3と圧縮コイルばね4の接触状態は、図4に示すように、圧縮
コイルばね22の中心軸23に直交する仮想平面を平面視したと仮定した場合、中心軸2
3を中心とする第1象限において、圧縮コイルばね4のコイル22の先端22aが第1プ
ランジャ3の突起17の側面17aと端面16に当接し、中心軸23を中心とする第2象
限において、圧縮コイルばね4のコイル22の外表面が第1プランジャ3の突起17の先
端面17bに当接し、中心軸23を中心とする第3象限及び第4象限において、第1プラ
ンジャ3と圧縮コイルばね4とが接触していない。すなわち、中心軸23を中心とする第
3象限及び第4象限において、第1プランジャ3の端面16と圧縮コイルばね4のコイル
22の外表面との間には角度θ分の隙間が生じるようになっている。これによって、圧縮
コイルばね4のプランジャ3に対する座屈方向が一義的に定められる。また、この第1プ
ランジャ3の端面16と圧縮コイルばね4のコイル22の外表面との間における角度θ分
の隙間に応じ、圧縮コイルばね4の座屈角度が定められるようになっている(図4(a)
参照)。なお、座屈方向は、圧縮コイルばね4とプランジャ3との接触点S1,S2を結
ぶ仮想直線の中間と圧縮コイルばね4の中心軸23とを結ぶ線分Faの方向となっている
。また、本実施形態においては、圧縮コイルばね4のコイル22の先端22aと第1プラ
ンジャ3の突起17の側面17aとの当接位置を、説明の便宜上、第1象限としている。
As shown in FIGS. 2 and 3, the protrusion 17 extends from the end surface 16 to the central axis 18 of the first plunger 3.
Projecting along the central axis 20 of the barrel 2 and the end face 16 is viewed in plan (
3. When viewed from the bottom of FIG. 3 toward the + Z-axis direction), the chord 21 parallel to the center line C1 along the X-axis direction and the large-diameter portion of the first plunger 3 along the + Y-axis direction 11 is separated from the end face 16 by a chord 21 (an end edge of the protrusion 17) located so as to divide the radius of 11 into two. Further, when the compression coil spring 4 has a closed end (no grinding), the protrusion 17 has a tip (upper end) 22a of the coil 22 of the compression coil spring 4 that abuts against the side surface 17a of the protrusion 17 and the coil 22 of the compression coil spring 4. The first plunger 3 is arranged so that the tip 22a abuts against the end face 16.
Is placed on the end of the compression coil spring 4 and the center axis 18 of the first plunger 3 and the center axis 23 of the compression coil spring 4 are aligned so as to be concentric, the tip surface 17b of the projection 17 is It is formed in the protrusion height which contact | abuts the outer surface of the coil 22 of the compression coil spring 4 (refer FIG. 4).
. As shown in FIG. 4, the contact state between the first plunger 3 and the compression coil spring 4 at this time is the center axis 2 assuming that a virtual plane orthogonal to the center axis 23 of the compression coil spring 22 is viewed in plan view.
In the first quadrant centered on 3, the tip 22 a of the coil 22 of the compression coil spring 4 abuts the side surface 17 a and the end surface 16 of the projection 17 of the first plunger 3, and in the second quadrant centered on the central axis 23, The outer surface of the coil 22 of the compression coil spring 4 abuts on the distal end surface 17b of the protrusion 17 of the first plunger 3, and the first plunger 3 and the compression coil spring in the third and fourth quadrants centered on the central axis 23. 4 is not in contact. That is, in the third and fourth quadrants centered on the central axis 23, a gap corresponding to an angle θ is generated between the end face 16 of the first plunger 3 and the outer surface of the coil 22 of the compression coil spring 4. It has become. Thereby, the buckling direction of the compression coil spring 4 with respect to the plunger 3 is uniquely determined. Further, the buckling angle of the compression coil spring 4 is determined according to the gap of the angle θ between the end face 16 of the first plunger 3 and the outer surface of the coil 22 of the compression coil spring 4 ( FIG. 4 (a)
reference). The buckling direction is the direction of a line segment Fa connecting the middle of the imaginary straight line connecting the contact points S <b> 1 and S <b> 2 between the compression coil spring 4 and the plunger 3 and the central axis 23 of the compression coil spring 4. In the present embodiment, the contact position between the tip 22a of the coil 22 of the compression coil spring 4 and the side surface 17a of the protrusion 17 of the first plunger 3 is defined as the first quadrant for convenience of explanation.

図2に示すように、第2プランジャ5は、丸棒状の導電性金属材料で形成され、大径部
24と小径部25とを有している。この第2プランジャ5は、大径部24がバレル2の内
部にスライド可能に収容され、小径部25がバレル2の他端部側の開口部10からバレル
2の外方へ突出するようになっている。また、この第2プランジャ5の小径部25の先端
側は、基板26の通電用電極27に確実に接触させるため、略円錐形状に形成されている
(図14参照)。また、この第2プランジャ5の大径部24と小径部25は、テーパ状の
接続部分28によって滑らかに接続されている。また、この第2プランジャ5は、大径部
24の端面30(圧縮コイルばね4に対向する側の端面30)に突起31が一体に形成さ
れている。
As shown in FIG. 2, the second plunger 5 is made of a round bar-like conductive metal material and has a large diameter portion 24 and a small diameter portion 25. The second plunger 5 is configured such that the large diameter portion 24 is slidably accommodated inside the barrel 2, and the small diameter portion 25 projects outward from the opening 10 on the other end side of the barrel 2. ing. Further, the distal end side of the small diameter portion 25 of the second plunger 5 is formed in a substantially conical shape so as to be surely brought into contact with the energizing electrode 27 of the substrate 26 (see FIG. 14). The large diameter portion 24 and the small diameter portion 25 of the second plunger 5 are smoothly connected by a tapered connection portion 28. Further, in the second plunger 5, a protrusion 31 is integrally formed on the end surface 30 (the end surface 30 on the side facing the compression coil spring 4) of the large diameter portion 24.

図2及び図3に示すように、突起31は、端面30から第2プランジャ5の中心軸32
に沿って(バレル2の中心軸20に沿って)突出しており、端面30を平面視した場合(
図2の上方から−Z軸方向へ向かって見た場合)、X軸方向に沿った中心線C1と平行な
弦33であって、且つ、+Y軸方向に沿った第2プランジャ5の大径部24の半径を2分
するように位置する弦(突起31の端縁)33によって、端面30と区画されている。ま
た、突起31は、圧縮コイルばね4がクローズドエンド(無研削)の場合、圧縮コイルば
ね4のコイル22の先端(下端)22bが突起31の側面31aに突き当たると共に圧縮
コイルばね4のコイル22の先端側外表面が端面30に当接するように、圧縮コイルばね
4の端部が第2プランジャ5に乗せられ、且つ、第2プランジャ5の中心軸32と圧縮コ
イルばね4の中心軸23とを同心となるように合わせた際に、突起31の先端面31bが
圧縮コイルばね4のコイル22の外表面に当接する突出高さに形成されている。この際の
第2プランジャ5と圧縮コイルばね4の接触状態は、図5に示すように、圧縮コイルばね
4の中心軸23に直交する仮想平面を平面視したと仮定した場合、中心軸23を中心とす
る第2象限において、圧縮コイルばね4のコイル22の先端22bが第2プランジャ5の
突起31の側面31aと端面30に当接し、中心軸23を中心とする第1象限において、
圧縮コイルばね4のコイル22の外表面が第2プランジャ5の突起31の先端面31bに
当接し、中心軸23を中心とする第3象限及び第4象限において、第2プランジャ5と圧
縮コイルばね4とが接触していない。すなわち、中心軸23を中心とする第3象限及び第
4象限において、第2プランジャ5の端面30と圧縮コイルばね4のコイル22の外表面
との間には隙間が生じるようになっている。これによって、圧縮コイルばね4の第2プラ
ンジャ5に対する座屈方向が一義的に定められる。そして、この第2プランジャ5の端面
30と圧縮コイルばね4のコイル22の外表面との間における角度θ分の隙間に応じ、圧
縮コイルばね4の座屈角度が定められるようになっている(図5(a)参照)。なお、座
屈方向は、圧縮コイルばね4と第2プランジャ5との接触点S3,S4を結ぶ仮想直線の
中間と圧縮コイルばね4の中心軸23とを結ぶ線分Fbの方向となっている。また、第2
プランジャ5の端面30及び突起31の形状は、第1プランジャ3の端面16及び突起1
7の形状と同一である。そして、圧縮コイルばね4の一端部側の座屈角度と他端部側の座
屈角度が同一となるように、第1プランジャ3,第2プランジャ5,圧縮コイルばね4及
びバレル2が形成されている。
As shown in FIGS. 2 and 3, the protrusion 31 extends from the end surface 30 to the central axis 32 of the second plunger 5.
Projecting along the central axis 20 of the barrel 2 and when the end face 30 is viewed in plan (
2 when viewed from the top in the −Z-axis direction), the large diameter of the second plunger 5 which is the chord 33 parallel to the center line C1 along the X-axis direction and along the + Y-axis direction. The end face 30 is defined by a chord 33 (an end edge of the protrusion 31) located so as to divide the radius of the portion 24 into two. Further, when the compression coil spring 4 has a closed end (no grinding), the protrusion 31 has the tip (lower end) 22b of the coil 22 of the compression coil spring 4 abutted against the side surface 31a of the protrusion 31 and the coil 22 of the compression coil spring 4 The end of the compression coil spring 4 is placed on the second plunger 5 such that the outer surface on the front end side contacts the end surface 30, and the center axis 32 of the second plunger 5 and the center axis 23 of the compression coil spring 4 are connected. When aligned so as to be concentric, the tip end surface 31 b of the projection 31 is formed at a protruding height that abuts against the outer surface of the coil 22 of the compression coil spring 4. As shown in FIG. 5, the contact state between the second plunger 5 and the compression coil spring 4 at this time is assumed to be a plan view of a virtual plane orthogonal to the center axis 23 of the compression coil spring 4. In the second quadrant centered, the tip 22b of the coil 22 of the compression coil spring 4 abuts the side surface 31a and the end surface 30 of the projection 31 of the second plunger 5, and in the first quadrant centered on the central axis 23,
The outer surface of the coil 22 of the compression coil spring 4 abuts on the tip surface 31b of the protrusion 31 of the second plunger 5, and the second plunger 5 and the compression coil spring in the third and fourth quadrants centered on the central axis 23. 4 is not in contact. In other words, in the third and fourth quadrants centered on the central axis 23, a gap is generated between the end surface 30 of the second plunger 5 and the outer surface of the coil 22 of the compression coil spring 4. Thereby, the buckling direction of the compression coil spring 4 with respect to the second plunger 5 is uniquely determined. The buckling angle of the compression coil spring 4 is determined according to the gap of the angle θ between the end face 30 of the second plunger 5 and the outer surface of the coil 22 of the compression coil spring 4 ( (See FIG. 5 (a)). The buckling direction is a direction of a line segment Fb connecting the middle of the imaginary straight line connecting the contact points S3 and S4 between the compression coil spring 4 and the second plunger 5 and the central axis 23 of the compression coil spring 4. . Second
The shapes of the end face 30 and the protrusion 31 of the plunger 5 are the same as the end face 16 and the protrusion 1 of the first plunger 3.
The shape is the same as that of FIG. The first plunger 3, the second plunger 5, the compression coil spring 4 and the barrel 2 are formed so that the buckling angle on the one end side of the compression coil spring 4 and the buckling angle on the other end side are the same. ing.

圧縮コイルばね4は、導電性金属材料で右巻きに形成されたものであって、クローズド
エンド(無研削)のものが使用されている。
The compression coil spring 4 is formed of a conductive metal material in a right-handed manner, and a closed end (non-ground) type is used.

なお、圧縮コイルばね4は、オープンエンド(無研削)のものを使用してもよい。但し
、この場合(圧縮コイルばね4がオープンエンド(無研削)の場合)、第1プランジャ3
の突起17の高さ(端面16からの中心軸18に沿った高さ)と端面16の形状及び第2
プランジャ5の突起31の高さ(端面30からの中心軸32に沿った高さ)と端面30の
形状は、圧縮コイルばね4の端部形状に合わせて決定する必要がある。
The compression coil spring 4 may be an open end (no grinding). However, in this case (when the compression coil spring 4 is open-ended (unground)), the first plunger 3
The height of the protrusion 17 (height along the central axis 18 from the end face 16), the shape of the end face 16, and the second
The height of the protrusion 31 of the plunger 5 (height along the central axis 32 from the end face 30) and the shape of the end face 30 need to be determined in accordance with the end shape of the compression coil spring 4.

また、圧縮コイルばね4は、左巻きのものを使用してもよい。但し、この場合(圧縮コ
イルばね4が左巻きの場合)、圧縮コイルばね4のコイル22の先端22a側と第1プラ
ンジャ3との接触位置は、中心軸18(23)を中心とした第2象限である。また、第1
プランジャ3の突起17の先端面17bと圧縮コイルばね4のコイル22の外表面との接
触位置は、中心軸18(23)を中心とした第1象限である。また、圧縮コイルばね4の
コイル22の先端22b側と第2プランジャ5との接触位置は、中心軸32(23)を中
心とした第1象限である。また、第2プランジャ5の突起31の先端面31bと圧縮コイ
ルばね4のコイル22の外表面との接触位置は、中心軸32(23)を中心とした第2象
限である。
The compression coil spring 4 may be a left-handed one. However, in this case (when the compression coil spring 4 is left-handed), the contact position between the tip 22a side of the coil 22 of the compression coil spring 4 and the first plunger 3 is in the second quadrant centered on the central axis 18 (23). It is. The first
The contact position between the distal end surface 17b of the protrusion 17 of the plunger 3 and the outer surface of the coil 22 of the compression coil spring 4 is in the first quadrant centered on the central axis 18 (23). Further, the contact position between the distal end 22b side of the coil 22 of the compression coil spring 4 and the second plunger 5 is in the first quadrant with the central axis 32 (23) as the center. The contact position between the tip surface 31b of the projection 31 of the second plunger 5 and the outer surface of the coil 22 of the compression coil spring 4 is in the second quadrant with the center axis 32 (23) as the center.

(プローブピンの組立手順)
図6を参照して、プローブピン1の組立手順の一例を示す。先ず、図6(a)に示すよ
うに、第2ストッパ7が形成されたバレル2の内部には、第2プランジャ5の小径部25
がバレル2の他端側の開口部10からバレル2の外部に突出するように収容される。この
際、第2プランジャ5は、その大径部25がバレル2の第2ストッパ7に当接した状態で
停止している。
(Assembly procedure of probe pin)
With reference to FIG. 6, an example of the assembly procedure of the probe pin 1 is shown. First, as shown in FIG. 6A, a small diameter portion 25 of the second plunger 5 is disposed inside the barrel 2 where the second stopper 7 is formed.
Is accommodated so as to protrude from the opening 10 on the other end side of the barrel 2 to the outside of the barrel 2. At this time, the second plunger 5 is stopped with the large-diameter portion 25 in contact with the second stopper 7 of the barrel 2.

次に、図6(b)に示すように、バレル2の内部には、圧縮コイルばね4が収容される
。この圧縮コイルばね4は、他端側のコイル22の先端22bが第2プランジャ5の大径
部24の端面30に乗せられ、且つ第2プランジャ5の突起31の側面31aに突き当て
られる。これによって、圧縮コイルばね4は、第2プランジャ5に対して位置決めされる
(図5参照)。また、圧縮コイルばね4は、コイル22の外表面が突起31の先端面31
bに当接している(図5参照)。
Next, as shown in FIG. 6B, the compression coil spring 4 is accommodated inside the barrel 2. In the compression coil spring 4, the tip 22 b of the coil 22 on the other end side is placed on the end surface 30 of the large diameter portion 24 of the second plunger 5 and is abutted against the side surface 31 a of the protrusion 31 of the second plunger 5. Thereby, the compression coil spring 4 is positioned with respect to the second plunger 5 (see FIG. 5). In the compression coil spring 4, the outer surface of the coil 22 is the tip surface 31 of the protrusion 31.
b (see FIG. 5).

次に、図6(c)に示すように、バレル2の内部には、第1プランジャ3が大径部11
を先に(下に)して挿入される。この際、第1プランジャ3は、その大径部11の端面1
6を圧縮コイルばね4の一端側に乗せると共に、大径部11の突起17の側面17aを圧
縮コイルばね4のコイル22の先端22aに突き当てる。これによって、第1プランジャ
3は、圧縮コイルばね4に対して位置決めされる(図4参照)。また、圧縮コイルばね4
は、コイル22の外表面が突起17の先端面17bに当接している(図4参照)。
Next, as shown in FIG. 6 (c), the first plunger 3 is placed in the large diameter portion 11 inside the barrel 2.
Is inserted first (down). At this time, the first plunger 3 has an end face 1 of the large diameter portion 11.
6 is placed on one end side of the compression coil spring 4, and the side surface 17 a of the protrusion 17 of the large diameter portion 11 is abutted against the tip 22 a of the coil 22 of the compression coil spring 4. Thus, the first plunger 3 is positioned with respect to the compression coil spring 4 (see FIG. 4). The compression coil spring 4
The outer surface of the coil 22 is in contact with the tip end surface 17b of the protrusion 17 (see FIG. 4).

次に、図6(d)〜(e)に示すように、第1プランジャ3が圧縮コイルばね22を押
し縮めながらバレル2の内部に所定量だけ押し込まれ、バレル2の一端部が縮径変形させ
られて第1ストッパ6が形成される。その後、第1プランジャ3をバレル2の内部に押し
込む力が解除されると、第1プランジャ3の大径部11が圧縮コイルばね4のばね力で第
1ストッパ6に押し付けられる。これによって、プローブピン1の組立作業が完了する(
図2参照)。
Next, as shown in FIGS. 6D to 6E, the first plunger 3 is pushed into the barrel 2 by a predetermined amount while pushing and compressing the compression coil spring 22, and one end of the barrel 2 is deformed to a reduced diameter. As a result, the first stopper 6 is formed. Thereafter, when the force for pushing the first plunger 3 into the barrel 2 is released, the large-diameter portion 11 of the first plunger 3 is pressed against the first stopper 6 by the spring force of the compression coil spring 4. Thereby, the assembly work of the probe pin 1 is completed (
(See FIG. 2).

そして、図7に示すように、プローブピン1の組立作業が完了した段階において、第1
プランジャ3と圧縮コイルばね4の接触状態は、圧縮コイルばね4の中心軸23に直交す
る仮想平面を平面視したと仮定した場合、中心軸23を中心とする第1象限において、圧
縮コイルばね4の一端部側におけるコイル22の先端22aが第1プランジャ3の突起1
7の側面17aと端面16に当接し、中心軸23を中心とする第2象限において、圧縮コ
イルばね4のコイル22の外表面が第1プランジャ3の突起17の先端面17bに当接し
、中心軸23を中心とする第1象限,第4象限及び第3象限にわたる範囲(図7の円弧状
点線34aで示す範囲)内において、圧縮コイルばね4のコイル22の外表面が第1プラ
ンジャ3の端面16に線状に当接している。その結果、圧縮コイルばね4は、第1プラン
ジャ3によって座屈角度が所定角度(θ)に制限される。そして、座屈した圧縮コイルば
ね4は、一端部側から他端側方向へ向かって離れた位置でバレル2の内壁面2aに当接し
、一端部側が第1プランジャ3をバレル2の内壁面2aに押し付け、第1プランジャ3と
バレル2とを確実に接触させる(図2参照)。
Then, as shown in FIG. 7, at the stage where the assembly work of the probe pin 1 is completed, the first
Assuming that the contact state between the plunger 3 and the compression coil spring 4 is a plan view of a virtual plane orthogonal to the center axis 23 of the compression coil spring 4, the compression coil spring 4 is in the first quadrant centered on the center axis 23. The tip 22a of the coil 22 on one end side of the
7, the outer surface of the coil 22 of the compression coil spring 4 is in contact with the distal end surface 17 b of the protrusion 17 of the first plunger 3, and the center surface 23 is in contact with the side surface 17 a and the end surface 16. The outer surface of the coil 22 of the compression coil spring 4 is within the range of the first plunger 3 within a range extending over the first quadrant, the fourth quadrant, and the third quadrant centered on the shaft 23 (the range indicated by the arcuate dotted line 34a in FIG. The end surface 16 abuts linearly. As a result, the buckling angle of the compression coil spring 4 is limited to a predetermined angle (θ) by the first plunger 3. The buckled compression coil spring 4 abuts on the inner wall surface 2a of the barrel 2 at a position away from the one end side toward the other end side, and the one end side makes the first plunger 3 the inner wall surface 2a of the barrel 2. The first plunger 3 and the barrel 2 are securely brought into contact with each other (see FIG. 2).

また、図8に示すように、プローブピン1の組立作業が完了した段階において、第2プ
ランジャ5と圧縮コイルばね4の接触状態は、圧縮コイルばね4の中心軸23に直交する
仮想平面を平面視したと仮定した場合、中心軸23を中心とする第2象限において、圧縮
コイルばね4の他端部側におけるコイル22の先端22bが第2プランジャ5の突起31
の側面31aと端面30に当接し、中心軸23を中心とする第1象限において、圧縮コイ
ルばね4のコイル22の外表面が第2プランジャ5の突起31の先端面31bに当接し、
中心軸23を中心とする第2象限から第4象限にわたる範囲(図8の円弧状点線34bで
示す範囲)内において、圧縮コイルばね4のコイル22の外表面が第2プランジャ5の端
面30に線状に当接している。その結果、圧縮コイルばね4は、第2プランジャ5によっ
て座屈角度が所定角度(θ)に制限される。そして、座屈した圧縮コイルばね4は、他端
部側から一端側方向へ向かって離れた位置でバレル2の内壁面2aに当接し、他端部側が
第2プランジャ5をバレル2の内壁面2aに押し付け、第2プランジャ5とバレル2とを
確実に接触させる(図2参照)。
Further, as shown in FIG. 8, when the assembly work of the probe pin 1 is completed, the contact state between the second plunger 5 and the compression coil spring 4 is a flat plane perpendicular to the central axis 23 of the compression coil spring 4. In the second quadrant centered on the central axis 23, it is assumed that the tip 22b of the coil 22 on the other end side of the compression coil spring 4 is the protrusion 31 of the second plunger 5,
The outer surface of the coil 22 of the compression coil spring 4 is in contact with the distal end surface 31b of the projection 31 of the second plunger 5 in the first quadrant centered on the central axis 23.
The outer surface of the coil 22 of the compression coil spring 4 faces the end face 30 of the second plunger 5 within a range extending from the second quadrant to the fourth quadrant centered on the central axis 23 (a range indicated by an arc-shaped dotted line 34 b in FIG. 8). It is in linear contact. As a result, the buckling angle of the compression coil spring 4 is limited to a predetermined angle (θ) by the second plunger 5. Then, the buckled compression coil spring 4 abuts on the inner wall surface 2a of the barrel 2 at a position away from the other end portion toward the one end side, and the other end portion side connects the second plunger 5 to the inner wall surface of the barrel 2. The second plunger 5 and the barrel 2 are securely brought into contact with each other (see FIG. 2).

なお、図4(a)において、第1プランジャ3及び圧縮コイルばね4の製造誤差等によ
って、図9(a)に示すように、第1プランジャ3の突起17の先端面17bと圧縮コイ
ルばね4のコイル22の外表面との間に微小隙間δ1が生じたり、図9(b)に示すよう
に、第1プランジャ3の端面16と圧縮コイルばね4のコイル22の先端22aとの間に
微小隙間δ2が生じる場合がある。しかしながら、図6(c)〜(d)に示すプローブピ
ン1の組立過程において、圧縮コイルばね4が第1プランジャ3によって押し縮められる
ため、図9(a)に示した微小隙間δ1、又は図9(b)に示した微小隙間δ2がなくな
り、図4(a)に示す状態になる。また、図5(a)において、第2プランジャ5及び圧
縮コイルばね4の製造誤差等によって、第2プランジャ5の突起31の先端面31bと圧
縮コイルばね4のコイル22の外表面との間に微小隙間が生じたり、第2プランジャ5の
端面30と圧縮コイルばね4のコイル22の先端22bとの間に微小隙間が生じたとして
も、図6(c)〜(d)に示すプローブピン1の組立過程において、圧縮コイルばね4が
第1プランジャ3によって押し縮められるため、上述の第1プランジャ3と圧縮コイルば
ね4との関係と同様に、上記微小隙間がなくなり、図5(a)に示す状態になる。
In FIG. 4A, due to manufacturing errors of the first plunger 3 and the compression coil spring 4, as shown in FIG. 9A, the tip surface 17b of the projection 17 of the first plunger 3 and the compression coil spring 4 A small gap δ1 is formed between the outer surface of the coil 22 and a small space between the end surface 16 of the first plunger 3 and the tip 22a of the coil 22 of the compression coil spring 4 as shown in FIG. The gap δ2 may occur. However, in the assembly process of the probe pin 1 shown in FIGS. 6C to 6D, the compression coil spring 4 is compressed by the first plunger 3, so that the minute gap δ1 shown in FIG. The minute gap δ2 shown in FIG. 9B disappears, and the state shown in FIG. Further, in FIG. 5A, due to manufacturing errors of the second plunger 5 and the compression coil spring 4, a gap between the tip end surface 31 b of the protrusion 31 of the second plunger 5 and the outer surface of the coil 22 of the compression coil spring 4. Even if a minute gap occurs or a minute gap occurs between the end surface 30 of the second plunger 5 and the tip 22b of the coil 22 of the compression coil spring 4, the probe pin 1 shown in FIGS. Since the compression coil spring 4 is compressed and contracted by the first plunger 3 in the assembly process of FIG. 5, the minute gap is eliminated as in the relationship between the first plunger 3 and the compression coil spring 4, and FIG. It will be in the state shown.

(プローブピンの作用・効果)
以上のように、本実施形態に係るプローブピン1は、圧縮コイルバネ4の一端側におけ
るコイル22の先端22aと第1プランジャ3との接点を位置決めでき、圧縮コイルばね
4の第1プランジャ3に対する座屈方向を定めることができるため、圧縮コイルばね4の
一端側の座屈角度を所定角度(θ)に定めることができる。したがって、本実施形態に係
るプローブピン1は、従来例と比較して、第1プランジャ3とバレル2との接触圧及び圧
縮コイルばね4とバレル2との接触圧を小さくしても、第1プランジャ3とバレル2を確
実に接触させることができる。
(Function and effect of probe pin)
As described above, the probe pin 1 according to the present embodiment can position the contact point between the tip 22a of the coil 22 and the first plunger 3 on one end side of the compression coil spring 4, and the seat of the compression coil spring 4 with respect to the first plunger 3 can be positioned. Since the bending direction can be determined, the buckling angle on one end side of the compression coil spring 4 can be set to a predetermined angle (θ). Therefore, the probe pin 1 according to the present embodiment is the first even if the contact pressure between the first plunger 3 and the barrel 2 and the contact pressure between the compression coil spring 4 and the barrel 2 are reduced as compared with the conventional example. The plunger 3 and the barrel 2 can be reliably brought into contact with each other.

また、本実施形態に係るプローブピン1は、圧縮コイルバネ4の他端側におけるコイル
22の先端22bと第2プランジャ5との接点を位置決めでき、圧縮コイルばね4の第2
プランジャ5に対する座屈方向を定めることができるため、圧縮コイルばね4の他端側の
座屈角度を所定角度(θ)に定めることができる。したがって、本実施形態に係るプロー
ブピン1は、従来例と比較して、第2プランジャ5とバレル2との接触圧及び圧縮コイル
ばね4とバレル2との接触圧を小さくしても、第2プランジャ5とバレル2を確実に接触
させることができる。
Further, the probe pin 1 according to the present embodiment can position the contact point between the tip 22b of the coil 22 and the second plunger 5 on the other end side of the compression coil spring 4, and the second of the compression coil spring 4 can be positioned.
Since the buckling direction with respect to the plunger 5 can be determined, the buckling angle on the other end side of the compression coil spring 4 can be set to a predetermined angle (θ). Therefore, the probe pin 1 according to the present embodiment has the second advantage that even if the contact pressure between the second plunger 5 and the barrel 2 and the contact pressure between the compression coil spring 4 and the barrel 2 are reduced as compared with the conventional example. The plunger 5 and the barrel 2 can be reliably brought into contact with each other.

その結果、本実施形態に係るプローブピン1は、第1プランジャ3,第2プランジャ5
とバレル2の接触部における摩耗を低減でき、圧縮コイルばね4とバレル2の接触部にお
ける摩耗を低減できるため、円滑な作動を長期間確保することができ、耐久性を向上させ
ることが可能になる。
As a result, the probe pin 1 according to this embodiment includes the first plunger 3 and the second plunger 5.
Since the wear at the contact portion between the compression coil spring 4 and the barrel 2 can be reduced, smooth operation can be ensured for a long period of time, and the durability can be improved. Become.

また、本実施形態に係るプローブピン1は、従来例と比較して、圧縮コイルばね4が第
1プランジャ3及び第2プランジャ5を付勢するばね力のばらつきを少なくすることがで
きるため、ICパッケージ13の端子14と第1プランジャ3との接触圧を一定化できる
と共に、基板26の通電用電極27と第2プランジャ5との接触圧を一定化することがで
き、ICパッケージ13の電気的テストを高精度に且つ安定して行うことができる。
Further, the probe pin 1 according to the present embodiment can reduce variations in spring force that the compression coil spring 4 biases the first plunger 3 and the second plunger 5 as compared with the conventional example. The contact pressure between the terminal 14 of the package 13 and the first plunger 3 can be made constant, and the contact pressure between the energization electrode 27 of the substrate 26 and the second plunger 5 can be made constant. The test can be performed with high accuracy and stability.

(第1プランジャ及び第2プランジャの変形例)
図10乃至図13は、第1プランジャ3及び第2プランジャ5の端面16,30側の形
状の変形例を示すものである。
(Modifications of the first plunger and the second plunger)
10 to 13 show modified examples of the shapes of the end surfaces 16 and 30 of the first plunger 3 and the second plunger 5.

すなわち、図10(a)〜(b)及び図11(a)〜(b)に示すように、第1プラン
ジャ3及び第2プランジャ5は、端面16,30のうちの突起17,31に隣接する部分
を突起17,31の弦21,33と平行に凹ませて凹部35とし、この凹部35が座屈し
た圧縮コイルばね4と接触しないようにして、端面16,30と圧縮コイルばね4との接
触範囲を狭くしている。このような本変形例に係る第1プランジャ3及び第2プランジャ
5を使用したプローブピン1は、圧縮コイルばね4と端面16,30との接触範囲が、第
4象限,第3象限の一部に限定される(図7,図8参照)。なお、図10(c)及び図1
1(c)に示すように、第1プランジャ3及び第2プランジャ5は、突起17,31の先
端面17b,31bを弦21,33に沿って切り欠いて、先端面17b,31bを略線状
の微小先端面とし、端面16,30を弦29,39に沿って切り欠いて、端面16,30
を略線状の微小端面としてもよい。
That is, as shown in FIGS. 10A to 10B and FIGS. 11A to 11B, the first plunger 3 and the second plunger 5 are adjacent to the protrusions 17 and 31 of the end surfaces 16 and 30, respectively. The recesses 35 are recessed in parallel with the strings 21 and 33 of the protrusions 17 and 31 to form the recesses 35, and the end surfaces 16 and 30 and the compression coil springs 4 The contact area is narrowed. In the probe pin 1 using the first plunger 3 and the second plunger 5 according to this modification, the contact range between the compression coil spring 4 and the end faces 16 and 30 is a part of the fourth quadrant and the third quadrant. (See FIGS. 7 and 8). Note that FIG. 10C and FIG.
As shown in FIG. 1 (c), the first plunger 3 and the second plunger 5 are formed by cutting off the tip surfaces 17b and 31b of the protrusions 17 and 31 along the strings 21 and 33, so that the tip surfaces 17b and 31b are substantially drawn. The end surfaces 16 and 30 are cut out along the chords 29 and 39, and the end surfaces 16 and 30 are formed.
May be a substantially linear minute end face.

また、図12及び図13に示すように、第1プランジャ3及び第2プランジャ5は、座
屈した圧縮コイルばね4のコイル22の先端22a,22bと突起17,31の側面17
a,31aとの接触位置から座屈した圧縮コイルばね4のコイル22の外表面と突起17
,31の先端面17b,31bとの接触位置までの全域(第1象限の一部、第2象限の一
部、第3及び第4象限の全域)において、座屈した圧縮コイルばね4のコイル22の外表
面が端面16,30によって支持されるようになっている(図7,図8参照)。なお、図
12は、第1プランジャ3及び第2プランジャ4の大径部11,24が中実丸棒形状の場
合を示している。また、図13は、第1プランジャ3及び第2プランジャ5の大径部11
,24が中空丸棒形状又は中心に円形の穴(凹み)36がある場合を示している。
Further, as shown in FIGS. 12 and 13, the first plunger 3 and the second plunger 5 are composed of the tips 22 a and 22 b of the coil 22 of the buckled compression coil spring 4 and the side surfaces 17 of the protrusions 17 and 31.
The outer surface of the coil 22 of the compression coil spring 4 buckled from the contact position with a and 31a and the protrusion 17
31 of the compression coil spring 4 buckled in the whole area (part of the first quadrant, part of the second quadrant, whole area of the third and fourth quadrants) up to the contact position with the tip surfaces 17b, 31b of The outer surface 22 is supported by the end faces 16 and 30 (see FIGS. 7 and 8). In addition, FIG. 12 has shown the case where the large diameter parts 11 and 24 of the 1st plunger 3 and the 2nd plunger 4 are solid round bar shapes. FIG. 13 shows the large diameter portion 11 of the first plunger 3 and the second plunger 5.
24 have a hollow round bar shape or a circular hole (dent) 36 at the center.

(プローブピンユニット及びこれを備えたICソケット)
図14は、本実施形態に係るプローブピン1を備えたプローブピンユニット40及びこ
のプローブピンユニット40を組み込んでなるICソケット41を示すものである。
(Probe pin unit and IC socket equipped with the same)
FIG. 14 shows a probe pin unit 40 provided with the probe pin 1 according to this embodiment and an IC socket 41 into which the probe pin unit 40 is incorporated.

この図14に示すように、プローブピンユニット40は、絶縁性樹脂材料で形成された
プローブピン収容体42に複数のプローブピン収容穴43を所定のピッチで形成し、本実
施形態に係るプローブピン1を各プローブピン収容穴43にそれぞれ収容できるようにな
っている。プローブピン収容体42のプローブピン収容穴43に収容されたプローブピン
1は、バレル2の一端(図14の上端)がプローブピン収容体42の抜け止め突起44に
押し当てられる。そして、プローブピン収容体42のプローブピン収容穴43に収容され
たプローブピン1は、第1プランジャ3の小径部12がプローブピン収容穴43の一端部
側開口部45からプローブピン収容体42の外方へ突出するようになっている。
As shown in FIG. 14, the probe pin unit 40 has a plurality of probe pin accommodation holes 43 formed at a predetermined pitch in a probe pin accommodation body 42 made of an insulating resin material. 1 can be accommodated in each probe pin accommodation hole 43. As for the probe pin 1 accommodated in the probe pin accommodation hole 43 of the probe pin accommodation body 42, one end (the upper end of FIG. 14) of the barrel 2 is pressed against the retaining projection 44 of the probe pin accommodation body 42. The probe pin 1 accommodated in the probe pin accommodation hole 43 of the probe pin accommodation body 42 has the small diameter portion 12 of the first plunger 3 from the one end side opening 45 of the probe pin accommodation hole 43 of the probe pin accommodation body 42. It protrudes outward.

また、図14に示すように、ICソケット41は、ソケット本体47のプローブピンユ
ニット収容部48内にプローブピンユニット40が収容されている。そして、このICソ
ケット41に収容されたプローブピンユニット40のプローブピン1は、第2プランジャ
5の小径部25の先端が基板26上の通電用電極27に押圧され、第1プランジャ3の小
径部12の先端にICパッケージ13の端子14がICパッケージ押圧手段50によって
押し付けられるようになっている。この際、図2及び図14に示したプローブピン1は、
第1プランジャ3がICパッケージ13で押されてバレル2内に押し込まれ、圧縮コイル
ばね4がバレル2内で押し縮められる。そして、第1プランジャ3と第2プランジャ5は
、バレル2内で座屈した圧縮コイルばね4のばね力によってバレル2の内壁面2aに押し
付けられた状態になっている。このような状態において、ICソケット41は、ICパッ
ケージ13の端子14と基板26の通電用電極27とがプローブピン1の第1プランジャ
3,バレル2及び第2プランジャ5を介して電気的に接続され、ICパッケージ13の電
気的テストを長期間にわたって確実に実行できるようになっている。
As shown in FIG. 14, the IC socket 41 has a probe pin unit 40 accommodated in a probe pin unit accommodation portion 48 of the socket body 47. In the probe pin 1 of the probe pin unit 40 accommodated in the IC socket 41, the tip of the small diameter portion 25 of the second plunger 5 is pressed by the energizing electrode 27 on the substrate 26, and the small diameter portion of the first plunger 3 is pressed. The terminal 14 of the IC package 13 is pressed against the tip of 12 by the IC package pressing means 50. At this time, the probe pin 1 shown in FIGS.
The first plunger 3 is pushed by the IC package 13 and pushed into the barrel 2, and the compression coil spring 4 is pushed and compressed in the barrel 2. The first plunger 3 and the second plunger 5 are pressed against the inner wall surface 2 a of the barrel 2 by the spring force of the compression coil spring 4 buckled in the barrel 2. In such a state, in the IC socket 41, the terminal 14 of the IC package 13 and the energizing electrode 27 of the substrate 26 are electrically connected via the first plunger 3, the barrel 2 and the second plunger 5 of the probe pin 1. Thus, the electrical test of the IC package 13 can be reliably performed over a long period of time.

(その他の変形例)
図6に示したように、バレル2は、予め第2ストッパ7を形成しておき、後に第1スト
ッパ6を形成するようになっているが、これに限定されず、予め第1ストッパ6を形成し
ておき、後に第2ストッパ7を形成するようにしてもよい。ただし、この場合、バレル2
には、第1プランジャ3,圧縮コイルばね4,第2プランジャ5の順で収容されることに
なる。また、第1,第2ストッパ6,7を同時に形成してもよい。
(Other variations)
As shown in FIG. 6, the barrel 2 is formed with the second stopper 7 in advance, and then the first stopper 6 is formed later. However, the present invention is not limited to this. Alternatively, the second stopper 7 may be formed later. In this case, however, barrel 2
The first plunger 3, the compression coil spring 4, and the second plunger 5 are accommodated in this order. Moreover, you may form the 1st, 2nd stoppers 6 and 7 simultaneously.

また、本発明は、第2プランジャ5がバレル2に固定され、第1プランジャ3がバレル
2に対してスライド移動できるようになっているプローブピン(例えば、図15に示すプ
ローブピン101参照)にも適用できる。なお、この場合、第1プランジャ3における圧
縮コイルばね4の支持構造は、図4及び図7に示した構造となる。一方、第2プランジャ
5における圧縮コイルばね4の支持構造は、図5及び図8に示した構造に限定されない。
例えば、第2プランジャ5における圧縮コイルばね4の支持面を平坦面又は円錐面にして
もよい。
In the present invention, the second plunger 5 is fixed to the barrel 2 and the first plunger 3 is slidable with respect to the barrel 2 (see, for example, the probe pin 101 shown in FIG. 15). Is also applicable. In this case, the support structure of the compression coil spring 4 in the first plunger 3 is the structure shown in FIGS. 4 and 7. On the other hand, the support structure of the compression coil spring 4 in the second plunger 5 is not limited to the structure shown in FIGS.
For example, the support surface of the compression coil spring 4 in the second plunger 5 may be a flat surface or a conical surface.

1……プローブピン、2……バレル、2a……内壁面、3……第1プランジャ(プラン
ジャ)、4……圧縮コイルばね、5……第2プランジャ、6……第1ストッパ(ストッパ
)、7……第2ストッパ、11,24……大径部、12,25……小径部、13……IC
パッケージ、14……端子、16,30……端面、17,31……突起、17a,31a
……側面、17b,31b……先端面、22……コイル、22a,22b……先端、23
……中心軸、26……基板、27……通電用電極、40……プローブピンユニット、41
……ICソケット、42……プローブピン収容体、43……プローブピン収容穴、47…
…ソケット本体、50……ICパッケージ押圧手段
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Probe pin, 2 ... Barrel, 2a ... Inner wall surface, 3 ... 1st plunger (plunger), 4 ... Compression coil spring, 5 ... 2nd plunger, 6 ... 1st stopper (stopper) 7, second stopper, 11, 24 ... large diameter part, 12, 25 ... small diameter part, 13 ... IC
Package, 14 ... terminal, 16, 30 ... end face, 17, 31 ... projection, 17a, 31a
…… Side, 17b, 31b …… Tip, 22 …… Coil, 22a, 22b …… Tip, 23
…… Center axis, 26 …… Substrate, 27 …… Electroconductive electrode, 40 …… Probe pin unit, 41
... IC socket, 42 ... probe pin housing, 43 ... probe pin housing hole, 47 ...
... Socket body, 50 ... IC package pressing means

Claims (4)

筒状の導電性を有するバレルと、
前記バレルの内部の端部側に大径部がスライド可能に収容され、小径部が前記バレルの
端部側から外方へ突出するようになっている導電性を有するプランジャと、
前記バレルの内部に収容され、前記プランジャを前記バレルから押し出す方向へ付勢す
る圧縮コイルばねと、
前記バレルの端部に位置し、前記圧縮コイルばねによって付勢された前記プランジャの
前記大径部の端部に当接して、前記プランジャが前記圧縮コイルばねのばね力で前記バレ
ルから押し出されるのを防止するストッパと、
を備えたプローブピンであって、
前記プランジャのうちの前記バレルの内部に位置する内側端部は、前記圧縮コイルばね
に対向する端面と、この端面よりも前記バレルの内方へ向かって出っ張る突起と、を有し

前記圧縮コイルばねは、
前記圧縮コイルばねの中心軸に直交する仮想平面を平面視したと仮定した場合、
前記プランジャが前記圧縮コイルばねを押し縮めた状態で前記バレルの内部に収容され
る過程において、前記中心軸を中心とする第1象限乃至第4象限のうちの第1象限と第2
象限のいずれか一方で、コイルの先端が前記突起の側面と前記端面に突き当って位置決め
され、前記第1象限と前記第2象限のいずれか他方で、前記コイルの外表面が前記突起の
先端面に当接し、前記第1象限乃至第4象限のうちの第3象限乃至第4象限の範囲内で、
前記コイルの外表面が前記端面に当接しない状態があり、
少なくとも、前記プランジャが前記圧縮コイルばねを押し縮めた状態で前記バレルの内
部に収容された段階において、前記中心軸を中心とする第1象限乃至第4象限のうちの第
1象限と第2象限のいずれか一方で、コイルの先端が前記突起の側面と前記端面に突き当
って位置決めされ、前記第1象限と前記第2象限のいずれか他方で、前記コイルの外表面
が前記突起の先端面に当接し、且つ、前記第1象限乃至第4象限のうちの第3象限乃至第
4象限の範囲内で、前記コイルの外表面が前記端面に当接することにより、
前記バレルの内部における座屈方向と座屈角度が定められ、前記プランジャを前記バレ
ルの内壁面に押し付け、座屈した状態で前記バレルに当接するようになっている、
ことを特徴とするプローブピン。
A barrel having a cylindrical conductivity;
A plunger having conductivity, wherein a large diameter portion is slidably accommodated on an end portion inside the barrel, and a small diameter portion protrudes outward from the end portion side of the barrel;
A compression coil spring housed in the barrel and biasing the plunger in a direction of pushing out the barrel;
The plunger is pushed out of the barrel by the spring force of the compression coil spring, located at the end of the barrel, abutting against the end of the large diameter portion of the plunger biased by the compression coil spring. A stopper to prevent
A probe pin comprising:
The inner end portion of the plunger located inside the barrel has an end surface facing the compression coil spring, and a protrusion protruding toward the inside of the barrel from the end surface,
The compression coil spring is
When assuming that the virtual plane orthogonal to the central axis of the compression coil spring is viewed in plan,
In the process in which the plunger is housed in the barrel with the compression coil spring compressed, the first quadrant and the second quadrant of the first to fourth quadrants centered on the central axis.
In one of the quadrants, the tip of the coil is positioned against the side surface and the end surface of the projection, and in either one of the first quadrant or the second quadrant, the outer surface of the coil is the tip of the projection. In contact with the surface, within the range of the third quadrant to the fourth quadrant of the first quadrant to the fourth quadrant,
There is a state where the outer surface of the coil does not contact the end surface,
At least the first and second quadrants of the first to fourth quadrants centered on the central axis in the stage where the plunger is housed in the barrel with the compression coil spring compressed. Either of the first and second quadrants is positioned so that the tip of the coil hits the side surface and the end surface of the projection, and the outer surface of the coil is the tip surface of the projection. And the outer surface of the coil is in contact with the end face within the range of the third quadrant to the fourth quadrant of the first quadrant to the fourth quadrant,
The buckling direction and the buckling angle inside the barrel are determined, the plunger is pressed against the inner wall surface of the barrel, and comes into contact with the barrel in a buckled state.
A probe pin characterized by that.
筒状の導電性を有するバレルと、
前記バレルの内部の一端側に大径部がスライド可能に収容され、小径部が前記バレルの
一端側から外方へ突出するようになっている導電性を有する第1プランジャと、
前記バレルの内部の他端側に大径部がスライド可能に収容され、小径部が前記バレルの
他端側から外方へ突出するようになっている導電性を有する第2プランジャと、
前記バレルの内部で且つ前記第1プランジャと前記第2プランジャとの間に収容され、
前記第1プランジャと前記第2プランジャを前記バレルから押し出す方向へ付勢する圧縮
コイルばねと、
前記バレルの一端部に位置し、前記圧縮コイルばねによって付勢された前記第1プラン
ジャの前記大径部の端部に当接して、前記第1プランジャが前記圧縮コイルばねのばね力
で前記バレルから押し出されるのを防止する第1ストッパと、
前記バレルの他端部に位置し、前記圧縮コイルばねによって付勢された前記第2プラン
ジャの前記大径部の端部に当接して、前記第2プランジャが前記圧縮コイルばねのばね力
で前記バレルから押し出されるのを防止する第2ストッパと、
を備えたプローブピンであって、
前記第1プランジャ及び前記第2プランジャのうちの前記バレルの内部に位置する内側
端部は、前記圧縮コイルばねに対向する端面と、この端面よりも前記バレルの内方へ向か
って出っ張る突起と、を有し、
前記圧縮コイルばねは、
前記圧縮コイルばねの中心軸に直交する仮想平面を平面視したと仮定した場合、
前記第1プランジャ及び前記第2プランジャが前記圧縮コイルばねを押し縮めた状態で
前記バレルの内部に収容される過程において、前記中心軸を中心とする第1象限乃至第4
象限のうちの第1象限と第2象限のいずれか一方で、コイルの先端が前記突起の側面と前
記端面に突き当って位置決めされ、前記第1象限と前記第2象限のいずれか他方で、前記
コイルの外表面が前記突起の先端面に当接し、前記第1象限乃至第4象限のうちの第3象
限乃至第4象限の範囲内で、前記コイルの外表面が前記端面に当接しない状態があり、
少なくとも、前記第1プランジャ及び前記第2プランジャが前記圧縮コイルばねを押し
縮めた状態で前記バレルの内部に収容された段階において、前記中心軸を中心とする第1
象限乃至第4象限のうちの第1象限と第2象限のいずれか一方で、コイルの先端が前記突
起の側面と前記端面に突き当って位置決めされ、前記第1象限と前記第2象限のいずれか
他方で、前記コイルの外表面が前記突起の先端面に当接し、且つ、前記第1象限乃至第4
象限のうちの第3象限乃至第4象限の範囲内で、前記コイルの外表面が前記端面に当接す
ることにより、
前記バレルの内部における座屈方向と座屈角度が定められ、前記第1プランジャ及び前
記第2プランジャを前記バレルの内壁面に押し付け、座屈した状態で前記バレルに当接す
るようになっている、
ことを特徴とするプローブピン。
A barrel having a cylindrical conductivity;
A first plunger having conductivity, wherein a large-diameter portion is slidably accommodated at one end inside the barrel, and a small-diameter portion protrudes outward from one end of the barrel;
A second plunger having conductivity, wherein a large-diameter portion is slidably accommodated on the other end side of the barrel, and a small-diameter portion protrudes outward from the other end side of the barrel;
Housed within the barrel and between the first plunger and the second plunger;
A compression coil spring that biases the first plunger and the second plunger in a direction to push out the barrel;
The first plunger is located at one end of the barrel and abuts on the end of the large diameter portion of the first plunger biased by the compression coil spring, and the first plunger is pressed by the spring force of the compression coil spring. A first stopper for preventing the first stopper from being pushed out,
The second plunger is located at the other end of the barrel and abuts against an end of the large diameter portion of the second plunger biased by the compression coil spring, and the second plunger is moved by the spring force of the compression coil spring. A second stopper to prevent extrusion from the barrel;
A probe pin comprising:
Of the first plunger and the second plunger, an inner end portion located inside the barrel includes an end face facing the compression coil spring, and a protrusion protruding toward the inside of the barrel from the end face. Have
The compression coil spring is
When assuming that the virtual plane orthogonal to the central axis of the compression coil spring is viewed in plan,
In the process in which the first plunger and the second plunger are accommodated in the barrel in a state where the compression coil spring is compressed, the first quadrant to the fourth quadrant centering on the central axis.
One of the first quadrant and the second quadrant of the quadrant, the tip of the coil is positioned against the side surface and the end surface of the projection, and in either one of the first quadrant and the second quadrant, The outer surface of the coil abuts on the tip surface of the protrusion, and the outer surface of the coil does not abut on the end surface within the third to fourth quadrants of the first to fourth quadrants. There is a state
At least when the first plunger and the second plunger are accommodated in the barrel in a state where the compression coil spring is compressed, the first plunger centered on the central axis
One of the first quadrant and the second quadrant of the quadrant to the fourth quadrant, the tip of the coil is positioned against the side surface and the end surface of the projection, and either the first quadrant or the second quadrant On the other hand, the outer surface of the coil abuts against the tip surface of the protrusion, and the first quadrant to the fourth quadrant.
Within the range of the third quadrant to the fourth quadrant of the quadrant, the outer surface of the coil abuts on the end face,
A buckling direction and a buckling angle inside the barrel are determined, the first plunger and the second plunger are pressed against the inner wall surface of the barrel, and are in contact with the barrel in a buckled state.
A probe pin characterized by that.
絶縁性材料で形成されたプローブピン収容体と、
前記プローブピン収容体に形成された複数のプローブピン収容穴に収容される請求項1
又は2に記載のプローブピンと、
を備えたことを特徴とするプローブピンユニット。
A probe pin housing formed of an insulating material;
The probe pin accommodating body is accommodated in a plurality of probe pin accommodating holes formed in the probe pin accommodating body.
Or the probe pin according to 2,
A probe pin unit comprising:
基板上に設置されるソケット本体と、
前記ソケット本体内に収容される請求項3に記載のプローブピンユニットと、
前記プローブピンユニットの前記プローブピン収容穴に収容された前記プローブピンの
一端部にICパッケージの端子を押圧し、前記ICパッケージの前記端子と前記基板の通
電用電極とを前記プローブピンを介して電気的に接続できるようにするICパッケージ押
圧手段と、
を備えたことを特徴とするICソケット。
A socket body installed on the board;
The probe pin unit according to claim 3 accommodated in the socket body,
A terminal of the IC package is pressed against one end portion of the probe pin housed in the probe pin housing hole of the probe pin unit, and the terminal of the IC package and the current-carrying electrode of the substrate are interposed through the probe pin. IC package pressing means for enabling electrical connection;
An IC socket characterized by comprising:
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