JP2014095515A - ワーク収納用容器およびこれを用いた光学素子熱処理用容器ならびにワーク収納用容器の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 熱処理による不純物の付着の少ないワーク収納用容器および光学素子熱処理用容器を提供することを目的とするものである。
【解決手段】 本発明のワーク収納用容器101，102，103によれば、セラミックからな
る板状体１の主面１ａにワーク７を収納するための凹部４を有し、凹４部の内側面４ｂに深さ方向に沿って伸びる凸部５を有していることから、凹部４の内に滞留したガスを、内側面４ｂの凸部５と谷部12の隙間を伝わって外部に排出することができ、ワーク７への付着を抑制することができ、本発明の光学素子熱処理用容器201は、光学素子203への付着を抑制できる。本発明のワーク収納用容器101の製造方法は、第１のセラミックグリーンシ
ート８に凹部４となる貫通孔９を、帯鋸21またはワイヤー22を用いて形成することから容易に作製できる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、ワーク収納用容器およびこれを用いた光学素子熱処理用容器ならびにワーク収納用容器の製造方法に関する。

ワークを熱処理するときに、ワークを個別に収納するための容器として、耐熱性の高い鋼材やセラミックスで作製された容器を使用することがよく知られている。

例えば、特許文献１には、セラミックシートの積層体からなる基体の一方の主面側に複数の凹部を設けた熱処理用容器が開示されている。

特開2005-213086号公報

しかしながら、特許文献１に記載の熱処理用容器では、ワークが凹部の内側面に接触して配置された状態で熱処理をした場合において、ワークから発生したガスが凹部とワークの間に滞留し易く、熱処理後において、そのガスに含まれる成分がワークの表面に付着するおそれがあった。

本発明は、上記課題を解決するために案出されたものであり、ワーク表面の付着物を抑制することができるワーク収納用容器およびこれを用いた光学素子熱処理用容器ならびにワーク収納用容器の製造方法を提供することを目的とするものである。

本発明のワーク収納用容器は、セラミックからなる板状体の主面にワークを収納するための凹部を有し、該凹部の内側面に深さ方向に沿って伸びる凸部を有していることを特徴とするものである。

本発明の光学素子熱処理用容器は上記構成のワーク収納用容器からなり、光学素子である前記ワークを熱処理するために用いられることを特徴とするものである。

本発明のワーク収納用容器の製造方法は、セラミックからなる板状体の主面にワークを収納するための凹部を有し、該凹部の内側面に深さ方向に沿って伸びる凸部を有しているワーク収納用容器の製造方法であって、
第１のセラミックグリーンシートを準備する工程と、
該第１のセラミックグリーンシートに貫通孔を作製する工程と
該貫通孔に、帯鋸盤またはワイヤーカッティングマシンに備えられた帯鋸またはワイヤーのいずれかを通し、前記帯鋸または前記ワイヤーを前記セラミックグリーンシートの厚み方向に回転運動または往復運動させて、前記貫通孔を所定の大きさに形成する工程と、
前記第１のセラミックグリーンシートとは別に、第２のセラミックグリーンシートを準備する工程と、
別に準備した前記第２のセラミックグリーンシートを、前記貫通孔を有する第１のセラミックグリーンシートの一方側に積層して成形体を作製する工程と、
該成形体を焼成する工程と、を有することを特徴とするものである。

本発明のワーク収納用容器によれば、セラミックからなる板状体の主面にワークを収納するための凹部を有し、該凹部の内側面に深さ方向に沿って伸びる凸部を有していることから、ワークが凹部の内側面に接触して配置された場合であっても、ワークと凹部との間に隙間を有することができ、熱処理時に発生したガスを効率よく外部に排出することができ、ワーク表面における不純物の付着を抑制することができる。

また、本発明の光学素子熱処理用容器は、上記構成のワーク収納用容器からなり、光学素子である前記ワークを熱処理するために用いられることから、光学素子の表面における不純物の付着を抑制することができる。

また、本発明のワーク収納用容器の製造方法によれば、セラミックからなる板状体の主面にワークを収納するための凹部を有し、該凹部の内側面に深さ方向に沿って伸びる凸部を有しているワーク収納用容器を容易に作製することができる。

本実施形態のワーク収納用容器の一例を示す、（ａ）はワーク収納用容器を構成する板状体の斜視図であり、（ｂ）は板状体の主面側の平面図であり、（ｃ）は（ｂ）のＡ−Ａ’線を部分的に拡大した断面図である。 本実施形態のワーク収納用容器の凹部の他の一例を示す、四角形状の開口部の平面図である。 本実施形態のワーク収納用容器の板状体が積層体からなる一例を示す、（ａ）は凹部を含む周囲の部分的な断面図であり、（ｂ）は（ａ）の点線で囲んだＢ部を拡大した断面図である。 本実施形態のワーク収納用容器の凹部の他の一例を示す、開口部側に位置する第１の凹部と、第１の凹部よりも縮径した第２の凹部とを備えた凹部の周辺を含む部分的な断面図である。 本実施形態の光学素子熱処理用容器の一例を示す断面図である。 本実施形態のワーク収納用容器の製造方法の一例を示す工程フロー図である。 本実施形態のワーク収納用容器の製造方法の一例を示し、（ａ）〜（ｇ）は図６で示す各工程における加工品の斜視図であり、（ｈ）は（ｄ）のセラミックグリーンシートに凹部となる貫通孔を形成する工程を部分的に拡大した断面図である。

以下、本発明の実施の形態について説明する。

本発明のワーク収納用容器の実施の形態の一例を、図１，図２を用いて説明する。

図１は、本実施形態のワーク収納用容器の一例を示す、（ａ）はワーク収納用容器を構成する板状体の斜視図であり、（ｂ）は板状体の主面側の平面図であり、（ｃ）は（ｂ）のＡ−Ａ’線を部分的に拡大した断面図であり、図２は本実施形態のワーク収納用容器の凹部の他の一例を示す、四角形状の開口部の平面図である。

図１に示すワーク収納用容器101は、板状体１の主面１ａにワーク７を収納するための
凹部４を有し、凹部４の内側面４ｂに深さ方向に沿って伸びる凸部５を有している。それにより、ワーク７が凹部４の内側面４ｂに接触して配置された場合であっても、ワーク７は凸部５に接触する状態となり、凹部４の内側面４ｂのうち、凸部５と隣接する谷部12と
ワーク７との間には隙間が生じることとなる。それゆえ、例えば、ワーク７がガラスの部材等である場合に熱処理を行なうと、ワーク７よりガスが発生するものの、発生したガスは、ワーク７と、内側面４ｂの凸部５と谷部12との間とで構成される隙間を伝わって流れ、開口部４ａから外部に排出することができる。言い換えれば、ワーク７と、内側面４ｂの凸部５と谷部12との間との部分が、ガスが流れる流路となる。さらには、ワーク７で凹部４を塞いだとしても、ワーク７と、内側面４ｂの凸部５と谷部12との間とには隙間ができるため、この隙間がガスの流れる流路となる。したがって、本実施形態のワーク収納用容器101は、熱処理等により生じたガスを効率よく排出することができることから、降温
時にガスに含まれる成分が付着物となってワーク７表面に付着することを抑制できる。

また、ワーク収納用容器101がセラミックからなることから、熱伝導性および耐熱性に
富んでおり、熱処理用の容器として用いたとき、ワーク７への熱伝導性にも優れ、かつ、繰り返し熱処理用の容器として用いても変形等のおそれの少ないものとすることができる。なお、ワーク収納用容器を構成するセラミック材料としては、アルミナ、ジルコニア、ムライト、炭化硅素、窒化珪素および、窒化アルミニウムやこれらの複合材料などがあげられる。

ここで、凹部４の平面形状として、図１においては、それぞれの谷部12を通る点線で示した仮想線が円形のものを示したが、例えば図２に示すように、四角形などの多角形とすることもでき、ワーク７の形状に基づいて適宜選択することができる。

また、本実施形態においては、図１においては、ワーク収納用容器101の凹部４の内側
面４ｂに有する凸部５を内周方向に７つ設けた例を、図２においては、ワーク収納用容器102の凹部４の内側面４ｂに有する凸部５を内周方向に８つ設けた例を示しているが、凸
部５の数はこれに限られるものではなく、例えば１つであってもよい。

ただし、ワーク７より発生するガスを効率よく排出するにあたっては、凹部４の内側面４ｂに、複数の凸部５が凹部４の内周面４ｂに沿って繰り返し設けられていることが好ましい。それにより、ワーク７と、内側面４ｂの凸部５と谷部12との間との隙間が適度な間隔を持って複数生じることとなることから、熱処理等により生じたガスをより効率よく排出することができ、ガスに含まれる成分が付着物となってワーク７表面に付着することをさらに抑制できる。

なお凸部５は、凹部４の内側面４ｂに深さ方向に沿って伸びて設けられていればよい。言い換えれば、必ずしも凹部４の上端から下端までにわたって設けられている必要はなく、また凸部５の伸びる向きが傾斜していてもよい。

また、凸部５の高さ、言い換えれば凸部５の凹部４に向けた突出の幅は、凹部４におけるワーク７の収納に支障がない範囲で、かつ熱処理により生じるガスが効率よく流れることができる範囲で、適宜設定することができる。

さらに、凸部５の形状は、凹部４の内側面４ｂに突出する形状であればよい。すなわち、図１および図２に示すワーク収納用容器101,102においては、凸部５が三角形状に突出
した例を示したが、矩形状や曲面状に突出した形状とすることもできる。

また、図１（ｃ）では、凹部４の内側面４ｂは深さ方向に鉛直に設けられているが、底面４ｃに対して90度よりプラスまたはマイナスの何れの傾斜があってもよい。

さらに、板状体１の主面１ａに設ける凹部４は、１つ乃至複数のいずれでもよくワーク７のサイズやワーク７の収納数により適宜選択すればよい。

図３は、本実施形態のワーク収納用容器の板状体が積層体からなる一例を示す、（ａ）は凹部を含む周囲の部分的な断面図であり、（ｂ）は（ａ）の点線で囲んだＢ部を拡大した断面図である。

本実施形態のワーク収納用容器103は、板状体１が複数の部材２を積層した積層体３か
らなり、それぞれの部材２間の少なくとも一部は、凹部４と連通する隙間を有していないことが好ましい。なお、図３においては、複数の部材２間の少なくとも一部に凹部４と連通する隙間を有している場合を仮想して符号Ｂにて示しており、図３（ｂ）で示すＢ部の拡大図においては、積層体３を構成する部材２の接合部に、凹部４と連通する隙間６がある場合を仮想して、この隙間６を点線で記載している。

上述したワーク収納用容器101,102を作製するにあたり、設計の自由度等の観点から、
板状体１を複数の部材２を積層してなる積層体３とすることができる。しかしながら、板状体１を複数の部材２を積層してなる積層体３とした場合において、それぞれの部材２間に凹部４に連通する隙間が生じる場合がある。

ここで、それぞれの部材２間に隙間が生じている場合には、熱処理等により生じたガスが隙間に滞留してしまい、この滞留したガスに含まれる成分が付着物となってワーク７表面に付着するおそれがある。

それゆえ、本実施形態のワーク収納用容器103においては、それぞれの部材２間の少な
くとも一部は、凹部４と連通する隙間を有していない構成とすることにより、熱処理等により生じたガスが滞留することを抑制でき、ガスに含まれる成分が付着物となってワーク７表面に付着することを抑制できる。なお、より効率よくガスに含まれる成分がワーク７表面に付着することを抑制するにあたっては、全ての部材２間に凹部４に連通する隙間がないことが好ましい。

なお、本実施形態において、それぞれの部材２間に凹部４と連通する隙間６を有していないとは、それぞれの部材２間の接合部の内側面４ｂ側において、セラミックの粒子サイズレベルの脱粒やボイドなどにより隙間が生じているものは除くものとし、隙間の奥行きが15μｍ以下は隙間とみなさないものとする。

図４は、本実施形態のワーク収納用容器の他の一例を示す、開口部に位置する第１の凹部と、第１の凹部よりも径の小さい第２の凹部とを備えた凹部の周辺を含む部分的な断面図である。

本実施形態のワーク収納用容器104は、凹部４が、開口部４ａに位置する第１の凹部４
ｄと、第１の凹部４ｄよりも径の小さい第２の凹部４ｂとを備えている。言い換えれば、凹部４の内側面４ｂが断面視において階段状となっている。

ここで、図４に示すようにワーク７を、凹部４を塞ぐように配置する場合において、ワーク７を階段状となった部位にて保持することができる。この場合には、ワーク７が凹部４の底面４ｃに接触しないことから、底面４ｃに付着している異物がワーク７に付着することが抑制できる。なお、ワーク７の一端が凹部４の底面４ｃに接触するように配置する場合においては、ワーク７を階段状の部分で支持することができる。

なお、凹部４が階段状であるワーク収納用容器104において、板状体１を、複数の部材
２を積層してなる積層体３とした場合には、部材２毎に任意の貫通孔を形成し、それらの部材２を積層することにより、容易に凹部４の内側面４ｂが階段状であるワーク収納用容
器104とすることができる。

図５は、本実施形態の光学素子熱処理用容器の一例を示す断面図である。

図５に示す本実施形態の光学素子熱処理用容器201は、本実施形態のワーク収納用容器101，102，103，104の板状体１の主面１ａに、凹部４を塞ぐように蓋体202を備えている。なお、板状体１の主面１ａと対向する蓋体202側には溝11が形成されている。

本実施形態の光学素子熱処理用容器201は、ワーク収納用容器101，102，103，104の板
状体１に備えられた凹部４に、レンズなどの光学素子203を収納し屈折率調整などの目的
として熱処理用として用いたときに、光学素子203が、凹部４の内側面４ｂに接触して配
置された場合であっても、光学素子203から発生したガスが、光学素子203と、凹部４の内側面４ｂの凸部５と谷部12との間とのガスが流れる流路を介して、蓋体202に設けられた
溝11から効率よく外部に排出されることから、ガスに含まれる成分が付着物となって光学素子203の表面に付着することを抑制できる。

なお、板状体１の凹部４内で発生したガスを板状体１の外部へ排出する通路として、蓋体202に設けられた溝11を通路とする場合を例示したが、板状体１の凹部４の内側面４ｂ
または底面４ｃと外部を繋ぐ通路とすることもでき、適宜設定することができる。

次に、本実施形態のワーク収納用容器の製造方法について、図６および図７を用いて説明する。

図６は、本実施形態のワーク収納用容器の製造方法の一例を示す工程フロー図であり、図７は、本実施形態のワーク収納用容器の製造方法の一例を示し、（ａ）〜（ｇ）は図６で示す各工程における加工品の斜視図であり、（ｈ）は（ｄ）のセラミックグリーンシートに貫通孔を形成するときの貫通孔の周囲を部分的に拡大した断面図である。

なお、図７は、ワーク収納用容器の板状体の凹部が複数の部材を積層した場合について図示しているが、凹部が単層の部材からなる場合についても本図を併用する。また、ここでは、凹部４の平面形状が略円形のワーク収納用容器101について図示するが、略四角形
であるワーク収納用容器102、凹部４に第１の凹部４ｄと第２の凹部４ｅがあるワーク収
納用容器104についても製造方法はほぼ同一であり、必要により相違する箇所は説明を加
える。

セラミックからなる板状体１の主面１ａにワーク７を収納するための凹部４を有し、凹部４の内側面４ｂに深さ方向に沿って伸びる凸部５を有しているワーク収納用容器101の
製造方法は、まず、はじめに、図６のＡおよび図７（ａ）に示すように、ワーク収納用容器となる成形体の作製工程として、公知のセラミックスラリーを用いるドクターブレード法や、セラミック粉末を用いてロールコンパクション法によりテープ状とし、打ち抜き成型やレーザ加工等により所定の板状体を成形して、複数の第１のセラミックグリーンシート８（以下、単にセラミックグリーンシート８という場合がある。）を準備する。

次に、図６のＢおよび図７（ｂ）に示すように、準備した複数のセラミックグリーンシート８を積層し、加圧し積層体を作製する。なお、セラミックグリーンシート８を積層するにあたっては、セラミックグリーンシート８の積層面に、セラミックグリーンシート８を準備するときに用いたセラミックの泥漿とほぼ同一の成分からなる泥漿を塗布し、セラミックグリーンシート８を積層したあとに、セラミックグリーンシート８の接合面全体に、満遍なく加圧力がかかるようにして加圧する。

次に、図６のＣおよび図７（ｃ）に示すように、セラミックグリーンシート８の厚みｔ方向に貫通する貫通孔９ａを作製する。なお、貫通孔９ａは、後で所定の凹部４となる貫通孔を形成するための予備孔であり、キリやドリルまたはレーザ加工やプレス成型などで貫通孔９ａを作製すればよい。

次に、図６のＤおよび図７（ｄ）で示すように、上記工程において設けた貫通孔９ａに帯鋸盤またはワイヤーカッティングマシンに備えられた帯鋸21またはワイヤー22のいずれかを通し、帯鋸21またはワイヤー22をセラミックグリーンシート８の厚みｔ方向に回転運動または往復運動させ、かつ、セラミックグリーンシート８の幅ｗ方向に沿って動かすことにより、図７（ｅ）に示す貫通孔９が形成されたセラミックグリーンシート８を作製する。なお、帯鋸21またはワイヤー22は、凹部４の平面形状に応じて適宜選択して使用することができる。

この貫通孔９の形成において、凹部４の内側面４ｂとなる貫通孔９の内面には、セラミックグリーンシート８の厚みｔ方向に進行した帯鋸21またはワイヤー22の切削痕の凹凸が形成され、凸となる箇所が凹部４の内側面４ｂの深さ方向に伸びる凸部５となる。

なお、帯鋸21とは俗称バンドソーを指し、通常は炭素鋼やステンレス等からなるエンドレスの薄厚の板にダイヤモンドなどの固定砥粒を備えたものであり、刃先形状は鋸状のセグメントタイプから固定砥粒が連続する連続タイプまであり、適宜選択して用いることができる。

また、ワイヤー22とは俗称ワイヤソーに用いるもので、通常は炭素鋼等からなるエンドレスの糸状のワイヤー22にノズルによりダイヤモンド等の砥粒を含有する泥漿を吹き付ける遊離砥粒や、あるいは、同様の砥粒を備えた固定砥粒などを用いることができる。

ワーク収納用容器101における凹部４の内側面４ｂの凸部５の高さを調整するときは、
貫通孔９の形成工程で、帯鋸21を用いるときには、刃先がセグメントタイプであれば凸部５は高くなり、刃先が連続タイプであれば凸部５は低くなる。また、ワイヤー22を用いるときは、固定砥粒の粒径や固着状態を加味したワイヤー22の径の凹凸が大きいと凸部５は高くなり、ワイヤー22の径の凹凸が小さいと凸部５は低くなる。そして、凹部４の内周方向に１つまたは部分的に深さ方向に伸びる凸部５を形成するときは、帯鋸21またはワイヤー22を交換して貫通孔９を形成すればよく、凹部４の内周に沿って凸部５を繰り返し設けるときには、同一の帯鋸21またはワイヤー22を用いて貫通孔９を形成すればよい。

ここで、帯鋸21またはワイヤー22の進行速度は、セラミックグリーンシート８が柔らかいため、アルミニウム板や銅板の加工時の速度よりも早くしても構わない。

次に、図６のＥおよび図７（ｆ）に示すように、凹部となる貫通孔９を設けたセラミックグリーンシート８と、このセラミックグリーンシート８とは別に、貫通孔９を設けていない第２のセラミックグリーンシート10（以下、単にセラミックグリーンシート10という場合がある。）を準備し、別に準備したセラミックグリーンシート10を、貫通孔９を有するセラミックグリーンシート８が積層された積層体の一方側に積層、加圧して成形体101
’を作製する。

なお、それぞれのセラミックグリーンシート８，10の材質は成形体101’を焼成したと
きの収縮率を合わせるためには同一のものが好ましく、積層するセラミックグリーンシート８の少なくとも一方にテープ状のセラミックグリーンシート８，10を成形するときに用いたセラミックスラリーとほぼ同一の泥漿を接合面に塗布し、積層した後、加圧することによって、成形体101’を作製することができる。

次に、図６のＦに示すように、上記工程にて得られた成形体101’を焼成する。成形体101’の焼成工程は、公知のトンネル式連続炉やバッチ式炉などにより焼成するが、アルミナセラミックであれば、最高温度が1400〜1600℃程度で焼成すればよい。それにより、図７（ｇ）に示す本実施形態のワーク収納用容器101を作製することができる。

このように、本実施形態のワーク収納用容器101の製造方法によれば、セラミックから
なる板状体１の主面１ａにワーク７を収納するための凹部４を有し、凹部４の内側面４ｂに深さ方向に沿って伸びる凸部５を容易に作製することができる。

なお、図４のワーク収納用容器104に示すように、凹部４が第１の凹部４ｄと第１の凹
部４ｄより径の小さい第２の凹部４ｅとからなるときには、それぞれの凹部４ｄ，４ｅを構成するセラミックグリーンシート８を個別に積層、加圧して作製した積層体に貫通孔９を形成したのち、積層すればよい。またワーク収納用容器を単層の板状体にて作製する場合には、上記の工程を適宜変更して作製すればよい。

このように、凹部４をセラミックグリーンシート８の積層体で作製するとともに、貫通孔９を帯鋸21またはワイヤー22にて形成する方法であれば、それぞれの部材２間の少なくとも一部において、凹部４と連通する隙間６を有さないワーク収納用容器101を容易に作
製することができる。

次に、ワーク収納用容器101の凹部４の内側面４ｂに深さ方向に伸びる凸部５の高さの
調整について、図７（ｄ）および（ｈ）を用いて説明する。

図７（ｈ）は、（ｄ）のセラミックグリーンシート８に貫通孔９を形成するときの部分的に拡大した断面図であり、複数のセラミックグリーンシート８の積層体に、帯鋸21またはワイヤー22を通し凹部４となる貫通孔９を形成する。ここでは、ワイヤー22で平面形状が円形の貫通孔９を加工する。

貫通孔９を所定の大きさに形成する工程において、帯鋸21またはワイヤー22のセラミックグリーンシート８の幅ｗ方向における振れ幅ｒを規制することにより、貫通孔９の内側面に深さ方向に沿って伸びる凸部、言い換えればワーク収納用容器101の凹部４の内側面
４ｂに深さ方向に伸びる凸部５の高さを容易に調整することができる。

図７（ｈ）においては、帯鋸21またはワイヤー22のセラミックグリーンシート８の幅ｗ方向における振れ幅ｒを規制するために、加工用テーブル23の下部に振れ幅規制部材24を取付けた例を示しているが、この振れ幅ｒの設定を広げることによって、セラミックグリーンシート８の厚みｔ方向に伸びる凸部５の高さを高くすることができる。

なお、より厳密に凸部５の高さを設定し、また、凸部５の高さを低くするときには、帯鋸21であれば砥粒が連続して固着された連続刃を用い、またワイヤー22であれば固定砥粒の砥粒の高さがばらつきの少ないものを用いればよい。

101，102，103，104：ワーク収納用容器
201：光学素子熱処理用容器
203：光学素子
１：板状体
２：部材
３：積層体
４：凹部
５：凸部
６：隙間
７：ワーク
８：セラミックグリーンシート
９：貫通孔
21：帯鋸
22：ワイヤー

Claims (7)

1. セラミックからなる板状体の主面にワークを収納するための凹部を有し、該凹部の内側面に深さ方向に沿って伸びる凸部を有していることを特徴とするワーク収納用容器。
2. 前記凸部が前記凹部の内周に沿って繰り返し設けられていることを特徴とする請求項１に記載のワーク収納用容器。
3. 前記板状体が複数の部材を積層した積層体からなり、それぞれの前記部材間の少なくとも一部は、前記凹部と連通する隙間を有していないことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のワーク収納用容器。
4. 請求項１乃至請求項３のうちいずれかに記載のワーク収納用容器からなり、光学素子である前記ワークを熱処理するために用いられることを特徴とする光学素子熱処理用容器。
5. セラミックからなる板状体の主面にワークを収納するための凹部を有し、該凹部の内側面に深さ方向に沿って伸びる凸部を有しているワーク収納用容器の製造方法であって、
   第１のセラミックグリーンシートを準備する工程と、
   該第１のセラミックグリーンシートに貫通孔を作製する工程と
   該貫通孔に、帯鋸盤またはワイヤーカッティングマシンに備えられた帯鋸またはワイヤーのいずれかを通し、前記帯鋸または前記ワイヤーを前記セラミックグリーンシートの厚み方向に回転運動または往復運動させて、前記貫通孔を所定の大きさに形成する工程と、
   前記第１のセラミックグリーンシートとは別に、第２のセラミックグリーンシートを準備する工程と、
   別に準備した前記第２のセラミックグリーンシートを、前記貫通孔を有する第１のセラミックグリーンシートの一方側に積層して成形体を作製する工程と、
   該成形体を焼成する工程と、を有することを特徴とするワーク収納用容器の製造方法。
6. 前記第１のセラミックグリーンシートを準備する工程が、複数の第１のセラミックグリーンシートを準備する工程を含み、それぞれの前記第１のセラミックグリーンシートに予備孔となる貫通孔を作製する工程との間に、前記複数の第１のセラミックグリーンシートを積層する工程を有することを特徴とする請求項５に記載のワーク収納用容器の製造方法。
7. 前記貫通孔を所定の大きさに形成する工程において、前記帯鋸または前記ワイヤーの前記第１のセラミックグリーンシートの幅方向における振れ幅を規制することにより、前記貫通孔の内側面に深さ方向に沿って伸びる凸部の高さを調整することを特徴とする請求項５または請求項６に記載のワーク収納用容器の製造方法。

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