JP2014093533A - Board inspection apparatus system and board inspection method - Google Patents

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ソン‐ジュン リー
Moon Young Jeon
ムン‐ヤン ジョン
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus and a method for inspecting a board, capable of establishing an effective inspection condition.SOLUTION: A board inspection apparatus system comprises: an SPI device; an electronic component mounting device; an AIO device; and an information transfer section. The SPI device acquires first three-dimensional information of a solder paste applied on a board, and inspects whether the solder paste is formed good by a preset first tolerance on the basis of the information. The electronic component mounting device mounts an electronic component on the board, on which the solder paste has been applied, to join the electronic component and the solder paste each other. The AOI device acquires second three-dimensional information of a solder joint where the electronic component and the solder paste are joined and inspects whether the electronic component is mounted good by a preset second tolerance on the basis of the second three-dimensional information. The information transfer section transfers the first three-dimensional information of the solder paste to the AOI device, or transfers the second three-dimensional information to the SPI device. Thus, an effective inspection condition can be established, and a rate of defect for each apparatus can be greatly reduced.

Description

本発明は基板検査装置のシステムに関わり、より詳細には効果的な検査条件を設定することができる基板検査装置及び基板検査方法に関する。   The present invention relates to a system for a substrate inspection apparatus, and more particularly to a substrate inspection apparatus and a substrate inspection method capable of setting effective inspection conditions.

一般的に、電子装置内には少なくとも一つの印刷回路基板(printed circuit board;PCB)が具備され、このような印刷回路基板上には回路パターン、連結パッド部、前記連結パッド部と電気的に連結された駆動チップなど多様な回路素子が実装されている。   In general, at least one printed circuit board (PCB) is provided in an electronic device, and a circuit pattern, a connection pad portion, and the connection pad portion are electrically connected to the printed circuit board. Various circuit elements such as connected driving chips are mounted.

一般的に、印刷回路基板上に電子部品が実装された実装基板は多様な電子製品に使用されている。このような実装基板はベアー基板のパッド領域に鉛を塗布した後、電子部品の端子を鉛塗布領域に結合させる方式で製造される。   In general, a mounting board in which electronic components are mounted on a printed circuit board is used in various electronic products. Such a mounting substrate is manufactured by applying lead to the pad region of the bare substrate and then bonding the terminals of the electronic component to the lead application region.

電子部品を印刷回路基板に実装する前には、印刷回路基板のパッド領域に鉛がまともに塗布されているかを検査するソルダペースト検査(solder paste inspection;SPI)工程が遂行される。また、電子部品を印刷回路基板に実装した後には、前記電子部品が印刷回路基板にまともにはんだ付けされているかに対する多様なタイプの不良を検出する自動光学検査(automated optical inspection;AOI)工程が遂行される。   Before the electronic component is mounted on the printed circuit board, a solder paste inspection (SPI) process for inspecting whether or not lead is properly applied to the pad area of the printed circuit board is performed. In addition, after the electronic component is mounted on the printed circuit board, there is an automated optical inspection (AOI) process for detecting various types of defects with respect to whether the electronic component is properly soldered to the printed circuit board. Carried out.

従来、SPI工程は3次元形状測定を通じて遂行され、AOI工程は主に2次元形状測定を通じて遂行され、両検査方法は互いに独立的に遂行されてきた。   Conventionally, the SPI process is performed through three-dimensional shape measurement, the AOI process is performed mainly through two-dimensional shape measurement, and both inspection methods have been performed independently of each other.

従って、従来にはSPI工程は主に3次元形状測定を通じて遂行され、AOI工程は主に2次元形状測定を通じて遂行されてきたので、いずれか一つの検査による結果を他の検査に適用することに難しい問題点があった。しかし、いずれか一つの検査結果を他の検査に活用する場合より効果的な検査条件を設定するに有利することがある。   Accordingly, conventionally, the SPI process has been mainly performed through three-dimensional shape measurement, and the AOI process has been mainly performed through two-dimensional shape measurement. Therefore, the result of any one inspection is applied to another inspection. There was a difficult problem. However, it may be advantageous to set a more effective inspection condition than when any one inspection result is used for other inspections.

従って、本発明が解決しようとする課題は効果的な検査条件を設定することのできる基板検査装置システム及び基板検査方法を提供することにある。   Therefore, the problem to be solved by the present invention is to provide a substrate inspection apparatus system and a substrate inspection method capable of setting effective inspection conditions.

本発明の例示的な一実施例による基板検査装置システムは第1装置、第2装置、第3装置及び情報伝達部を含む。前記第1装置は基板上に塗布されたソルダペーストの第1の3次元情報を獲得し、前記第1の3次元情報に基づいて既設定された第1許容範囲(tolerance)に従ってソルダペーストの不良可否を検査する。前記第2装置は、前記ソルダペーストが塗布された基板上に電子部品と前記ソルダペーストとが互いに接合するように前記電子部品を搭載する。前記第3装置は前記電子部品と前記ソルダペーストとが接合するソルダージョイントの第2の3次元情報を獲得し、前記第2の3次元情報に基づいて既設定された第2許容範囲に従って前記電子部品搭載の不良可否を検査する。前記情報伝達部は前記ソルダペーストの第1の3次元情報を前記第3装置に伝達するか、前記ソルダージョイントの第2の3次元情報を前記第1装置に伝達する。   A substrate inspection apparatus system according to an exemplary embodiment of the present invention includes a first apparatus, a second apparatus, a third apparatus, and an information transmission unit. The first apparatus acquires first three-dimensional information of a solder paste applied on a substrate, and the solder paste is defective according to a first tolerance set based on the first three-dimensional information. Check availability. The second device mounts the electronic component on a substrate coated with the solder paste so that the electronic component and the solder paste are bonded to each other. The third device acquires second three-dimensional information of a solder joint where the electronic component and the solder paste are joined, and the electronic device is set in accordance with a second allowable range set based on the second three-dimensional information. Inspect for possible component mounting defects. The information transmission unit transmits first three-dimensional information of the solder paste to the third device, or transmits second three-dimensional information of the solder joint to the first device.

一実施例として、前記ソルダージョイントの第2の3次元情報は前記ソルダージョイントの形状情報を含んでいてもよく、前記第1装置は前記情報伝達部から伝達された前記ソルダージョイントの形状情報を用いて前記第1許容範囲を修正してもよい。例えば、前記ソルダペーストの嵩情報が前記第1許容範囲に含まれる場合として、前記ソルダージョイントの形状から抽出された曲率が前記第2許容範囲に含まれない場合、前記第1許容範囲は既設定された値分だけさらに狭く修正されてもよい。例えば、前記ソルダージョイントの形状から抽出された曲率が前記第2許容範囲に含まれる場合、前記第1許容範囲は既設定された値分だけさらに広く修正されてもよい。   As an example, the second 3D information of the solder joint may include shape information of the solder joint, and the first device uses the shape information of the solder joint transmitted from the information transmission unit. The first allowable range may be corrected. For example, when the curvature information extracted from the shape of the solder joint is not included in the second allowable range as the case where the bulk information of the solder paste is included in the first allowable range, the first allowable range is already set. It may be corrected more narrowly by the set value. For example, when the curvature extracted from the shape of the solder joint is included in the second allowable range, the first allowable range may be modified more widely by a preset value.

一実施例として、前記ソルダペーストの第1の3次元情報は前記ソルダペーストの嵩情報を含み、前記第3装置は前記情報伝達部から伝達された前記ソルダペーストの嵩情報を用いて前記第2許容範囲を修正してもよい。   In one embodiment, the first three-dimensional information of the solder paste includes bulk information of the solder paste, and the third device uses the bulk information of the solder paste transmitted from the information transmission unit. The allowable range may be corrected.

前記情報伝達部は前記第1装置及び前記第3装置のうち少なくとも一つに形成されてもよい。   The information transmission unit may be formed in at least one of the first device and the third device.

本発明の例示的な他の実施例による基板検査装置システムは、第1装置、第2装置、第3装置及び情報伝達部を含む。前記第1装置は基板上に塗布されたソルダペーストの第1の3次元情報を獲得し、前記第1の3次元情報に基づいて既設定された第1許容範囲に従って前記ソルダペーストの不良可否を検査する。前記第2装置は前記ソルダペーストが塗布された基板上に電子部品と前記ソルダペーストとが互いに接合するように前記電子部品を搭載する。前記第3装置は前記電子部品と前記ソルダペーストとが接合するソルダージョイントの第2の3次元情報を獲得し、前記第2の3次元情報に基づいて既設定された第2許容範囲に従って前記電子部品搭載の不良可否を検査する。前記情報伝達部は前記ソルダペーストの第1の3次元情報を前記第3装置に伝達するか、前記ソルダージョイントの第2の3次元情報を前記第1装置に伝達する。前記第1装置は前記情報伝達部から伝達された前記第2の3次元情報を用いて前記第1許容範囲を修正するか、前記第3装置は前記情報伝達部から伝達された前記第1の3次元情報を用いて前記第2許容範囲を修正する。   A substrate inspection apparatus system according to another exemplary embodiment of the present invention includes a first apparatus, a second apparatus, a third apparatus, and an information transmission unit. The first device acquires first three-dimensional information of the solder paste applied on the substrate, and determines whether the solder paste is defective according to a first tolerance set based on the first three-dimensional information. inspect. The second device mounts the electronic component on a substrate coated with the solder paste so that the electronic component and the solder paste are bonded to each other. The third device acquires second three-dimensional information of a solder joint where the electronic component and the solder paste are joined, and the electronic device is set in accordance with a second allowable range set based on the second three-dimensional information. Inspect for possible component mounting defects. The information transmission unit transmits first three-dimensional information of the solder paste to the third device, or transmits second three-dimensional information of the solder joint to the first device. The first device corrects the first allowable range using the second three-dimensional information transmitted from the information transmission unit, or the third device transmits the first information transmitted from the information transmission unit. The second allowable range is corrected using three-dimensional information.

本発明の例示的なさらに他の実施例によって基板を検査するために、まず、基板上に塗布されたソルダペーストの第1の3次元情報を獲得し、前記第1の3次元情報に基づいて既設定された第1許容範囲に従って前記ソルダペーストの不良可否を検査する。続いて、前記ソルダペーストが塗布された基板上に電子部品と前記ソルダペーストとが互いに接合するように前記電子部品を搭載する。次に、前記電子部品と前記ソルダペーストとが接合するソルダージョイントの第2の3次元情報を獲得し、前記第2の3次元情報に基づいて既設定された第2許容範囲に従って前記電子部品搭載の不良可否を検査する。続いて、前記ソルダペーストの第1の3次元情報と、前記ソルダージョイントの第2の3次元情報に基づいて前記第1許容範囲及び前記第2許容範囲のうち少なくとも一つを修正する。   In order to inspect a substrate according to another exemplary embodiment of the present invention, first, first 3D information of a solder paste applied on the substrate is obtained, and based on the first 3D information. The solder paste is inspected for defects according to a preset first allowable range. Subsequently, the electronic component is mounted on the substrate coated with the solder paste so that the electronic component and the solder paste are bonded to each other. Next, the second three-dimensional information of a solder joint where the electronic component and the solder paste are joined is acquired, and the electronic component mounting is performed according to a second allowable range set based on the second three-dimensional information. Inspect for defects. Subsequently, at least one of the first allowable range and the second allowable range is corrected based on the first three-dimensional information of the solder paste and the second three-dimensional information of the solder joint.

本発明の例示的なさらに他の実施例による基板検査装置システムは、第1装置、第2装置、データベース及びアラーム発生装置を含む。前記第1装置は基板上に塗布されたソルダペーストの第1の3次元情報を獲得し、前記第1の3次元情報に基づいて既設定された第1許容範囲に従って前記ソルダペーストの不良可否を検査する。前記第2装置は前記ソルダペーストが塗布された基板上に搭載される電子部品の搭載の不良可否の検査のための第2の3次元情報を獲得し、前記第2の3次元情報に基づいて既設定された第2許容範囲に従って前記電子部品搭載の不良可否を検査する。前記データベースは前記第1装置の第1の3次元情報及び前記第2装置の第2の3次元情報を貯蔵する。前記アラーム発生装置は前記データベースから前記第1の3次元情報及び前記第2の3次元情報の伝達を受けて、前記第2の3次元情報が前記第2許容範囲を離れる場合前記第1許容範囲を修正するようにアラームメッセージを発生させる。   A substrate inspection apparatus system according to another exemplary embodiment of the present invention includes a first apparatus, a second apparatus, a database, and an alarm generation apparatus. The first device acquires first three-dimensional information of the solder paste applied on the substrate, and determines whether the solder paste is defective according to a first tolerance set based on the first three-dimensional information. inspect. The second apparatus acquires second three-dimensional information for inspecting whether or not an electronic component mounted on the substrate coated with the solder paste is defective, and based on the second three-dimensional information. Whether or not the electronic component is mounted is inspected according to a preset second allowable range. The database stores first three-dimensional information of the first device and second three-dimensional information of the second device. The alarm generating device receives the first three-dimensional information and the second three-dimensional information from the database, and the first allowable range when the second three-dimensional information leaves the second allowable range. Raise the alarm message to correct.

一実施例として、前記第1の3次元情報は前記ソルダペーストの嵩情報を含み、前記第2の3次元情報は前記ソルダペーストと前記電子部品との間の接合度を定量化したソルダージョイントのスコア(score)情報を含んでいてもよい。この際、前記アラーム発生装置は前記データベースから前記ソルダペーストの嵩情報及び前記ソルダージョイントのスコア情報の伝達を受けて、前記ソルダージョイントのスコア情報が前記第2許容範囲を離れる場合前記第1許容範囲を修正するように前記アラームメッセージを発生させる。   As an example, the first three-dimensional information includes bulk information of the solder paste, and the second three-dimensional information includes a solder joint obtained by quantifying the degree of bonding between the solder paste and the electronic component. Score information may be included. In this case, the alarm generation device receives the solder paste bulk information and the solder joint score information from the database, and the solder joint score information leaves the second allowable range. The alarm message is generated to correct the error.

一実施例として、前記ソルダペーストは前記電子部品に対応して少なくとも2つの地点で塗布されてもよい。この場合、前記第1の3次元情報は前記2つの地点それぞれに対する前記ソルダペーストの嵩の間の差異である嵩差(volume difference)情報を含み、前記第2の3次元情報は前記電子部品が水平に対して傾いた程度を示す同一平面性(co−planarity)情報を含んでいてもよい。この際、前記アラーム発生装置は前記データベースから前記嵩差情報及び前記同一平面性情報の伝達を受けて、前記同一平面性情報が前記第2許容範囲を離れる場合前記第1許容範囲を修正するように前記アラームメッセージを発生させる。   As an example, the solder paste may be applied at at least two points corresponding to the electronic component. In this case, the first three-dimensional information includes volume difference information that is a difference between the volumes of the solder paste with respect to each of the two points, and the second three-dimensional information includes the electronic component. Co-planarity information indicating the degree of inclination with respect to the horizontal may be included. At this time, the alarm generation device receives the difference information and the same flatness information from the database, and corrects the first allowable range when the same flatness information leaves the second allowable range. The alarm message is generated.

一実施例として、前記第2装置は、前記電子部品が前記基板上に配置された後、リフロー(reflow)過程前に前記電子部品配置不良可否検査のための第3の3次元情報を獲得し、前記第3の3次元情報に基づいて既設定された第3許容範囲に従って前記電子部品搭載の不良可否を検査し、前記データベースは前記第3の3次元情報を貯蔵し、前アラーム発生装置は、前記データベースから前記第2の3次元情報及び前記第3の3次元情報の伝達を受けて、前記第2の3次元情報が前記第2許容範囲を離れる場合前記第3許容範囲を修正するようにアラームメッセージを発生させる。   In one embodiment, the second device acquires third three-dimensional information for checking whether the electronic component is defective after the electronic component is placed on the substrate and before a reflow process. The electronic component is checked for defects according to a third tolerance set based on the third three-dimensional information, the database stores the third three-dimensional information, and the previous alarm generator is And receiving the second three-dimensional information and the third three-dimensional information from the database, and correcting the third allowable range when the second three-dimensional information leaves the second allowable range. Alarm message.

本発明の例示的な更なる他の実施例による基板検査装置システムはSPI装置、第1AOI装置、第2AOI装置、データベース及びアラーム発生装置を含む。前記SPI装置は基板上に塗布されたソルダペーストの第1の3次元情報を獲得し、前記第1の3次元情報に基づいて既設定された第1許容範囲に従って前記ソルダペーストの不良可否を検査する。前記第1AOI装置は、リフロー過程以後、前記電子部品の搭載状態に対する第2の3次元情報を獲得し、前記第2の3次元情報に基づいて既設定された第2許容範囲に従って前記電子部品の搭載不良可否を検査する。前記第2AOI装置は前記リフロー過程前に前記電子部品の搭載状態に対する第3の3次元情報を獲得し、前記第3の3次元情報に基づいて既設定された第3許容範囲に従って前記電子部品の搭載不良可否を検査する。前記データベースは前記SPI装置の第1の3次元情報及び前記AOI装置の第2及び第3の3次元情報を貯蔵する。前記アラーム発生装置は前記データベースから前記第1の3次元情報、前記第2の3次元情報及び前記第3の3次元情報の伝達を受けて、前記第1、第2及び第3の3次元情報のうちいずれか一つの情報が既設定された許容範囲を離れる場合残りの情報のうち少なくとも一つの許容範囲を修正するようにアラームメッセージを発生させる。   A substrate inspection apparatus system according to still another embodiment of the present invention includes an SPI apparatus, a first AOI apparatus, a second AOI apparatus, a database, and an alarm generation apparatus. The SPI device acquires first three-dimensional information of the solder paste applied on the substrate, and inspects whether or not the solder paste is defective according to a first allowable range set based on the first three-dimensional information. To do. After the reflow process, the first AOI device acquires second three-dimensional information on the mounting state of the electronic component, and the electronic component of the electronic component is set according to a second allowable range set based on the second three-dimensional information. Inspect for possible mounting failure. The second AOI device acquires third three-dimensional information on the mounting state of the electronic component before the reflow process, and the electronic component of the electronic component is set according to a third allowable range set based on the third three-dimensional information. Inspect for possible mounting failure. The database stores first three-dimensional information of the SPI device and second and third three-dimensional information of the AOI device. The alarm generator receives the first three-dimensional information, the second three-dimensional information, and the third three-dimensional information from the database, and receives the first, second, and third three-dimensional information. If any one of the information leaves the preset allowable range, an alarm message is generated so as to correct at least one of the remaining information.

一実施例として、前記アラーム発生装置は、前記データベースから前記第1の3次元情報及び前記第3の3次元情報の伝達を受けて、前記第3の3次元情報が前記第3許容範囲を離れる場合前記第1許容範囲を修正するようにアラームメッセージを発生させる。   As an example, the alarm generation device receives the transmission of the first three-dimensional information and the third three-dimensional information from the database, and the third three-dimensional information leaves the third allowable range. An alarm message is generated to correct the first tolerance.

一実施例として、前記アラーム発生装置は、前記データベースから前記第2の3次元情報及び前記第3の3次元情報の伝達を受けて、前記第2の3次元情報が前記第2許容範囲を離れる場合前記第3許容範囲を修正するようにアラームメッセージを発生させる。   In one embodiment, the alarm generating device receives the second three-dimensional information and the third three-dimensional information from the database, and the second three-dimensional information leaves the second allowable range. An alarm message is generated to correct the third tolerance.

一実施例として、前記第1の3次元情報は前記ソルダペーストが形成されるべき位置から離れた程度を表すソルダペーストのオフセット情報を含み、前記第3の3次元情報は前記電子部品を搭載しリフロー工程を遂行する前に、前記電子部品が搭載されるべき位置から離れた情報を表す電子部品の前−オフセット情報を含んでいてもよい。この際、前記アラーム発生装置は、前記データベースから前記ソルダペーストのオフセット情報及び前記前−オフセット情報の伝達を受けて、前記前−オフセット情報が前記第3許容範囲を離れる場合前記第1許容範囲を修正するようにアラームメッセージを発生させてもよい。   As an example, the first three-dimensional information includes solder paste offset information indicating a degree away from a position where the solder paste is to be formed, and the third three-dimensional information includes the electronic component. Prior to performing the reflow process, pre-offset information of an electronic component representing information away from a position where the electronic component is to be mounted may be included. At this time, the alarm generation device receives the information on the solder paste offset and the previous-offset information from the database, and if the previous-offset information leaves the third allowable range, the first allowable range is set. An alarm message may be generated to correct.

一実施例として、前記第2の3次元情報は前記電子部品を搭載しリフロー工程を遂行した後前記電子部品が装着されるべき位置から離れた程度を表す電子部品の後−オフセット情報を含み、前記第3の3次元情報は前記電子部品を搭載しリフロー工程を遂行する前に、前記電子部品が搭載されるべき位置から離れた程度を表す電子部品の前−オフセット情報を含んでいてもよい。この際、前記アラーム発生装置は、前記データベースから前記前−オフセット情報及び前記後−オフセット情報の伝達を受けて、前記後−オフセット情報が前記第2許容範囲を離れる場合前記第3許容範囲を修正するようにアラームメッセージを発生させてもよい。   As an example, the second three-dimensional information includes post-offset information of an electronic component representing a degree away from a position where the electronic component is to be mounted after the electronic component is mounted and a reflow process is performed. The third three-dimensional information may include pre-offset information of an electronic component representing a degree away from a position where the electronic component is to be mounted before the electronic component is mounted and the reflow process is performed. . At this time, the alarm generation device receives the transmission of the front-offset information and the rear-offset information from the database, and corrects the third allowable range when the rear-offset information leaves the second allowable range. An alarm message may be generated as described.

本発明によると、SPI装置とAOI装置でそれぞれ3次元情報を獲得し獲得されたそれぞれの3次元情報を互いに交換することで、SPI装置とAOI装置との間に検査結果を共有することができる。   According to the present invention, the inspection result can be shared between the SPI device and the AOI device by acquiring the three-dimensional information by the SPI device and the AOI device and exchanging the acquired three-dimensional information with each other. .

具体的に、SPI装置及びAOI装置でソルダペーストの3次元情報及びソルダージョイントの3次元情報をそれぞれ獲得し、獲得された3次元情報を互いに交換していずれか一つの検査結果を他の検査に活用することで、両装置の検査条件をより効果的な検査条件として適用することができる。   Specifically, 3D information of solder paste and 3D information of solder joint are respectively acquired by the SPI device and the AOI device, and the acquired 3D information is exchanged with each other, and any one inspection result is used for another inspection. By utilizing it, the inspection conditions of both apparatuses can be applied as more effective inspection conditions.

また、SPI装置とAOI装置の3次元測定結果をデータベースに貯蔵し、アラーム発生装置が前記データベースから3次元情報の伝達を受けていずれか一つの検査結果が許容範囲を離れる場合他の検査にアラームメッセージを発生させることで、自動または受動で検査条件をより効果的に修正することができる。   Also, the three-dimensional measurement results of the SPI device and the AOI device are stored in a database, and when one of the inspection results leaves the allowable range when the alarm generation device receives the transmission of the three-dimensional information from the database, an alarm is given to another inspection. By generating a message, the inspection condition can be corrected more effectively automatically or passively.

即ち、SPI装置とAOI装置と間の連動を通じて各装置から獲得された検査結果情報を互いに交換することで、各装置に設定された不良可否許容範囲を狭くしたり広くしたりするなどの柔軟な調節を遂行して、SPI及びAOI検査の際発生する多様な仮性エラーを画期的に減少させることができるという利点がある。   In other words, by exchanging the inspection result information acquired from each device through the linkage between the SPI device and the AOI device, it is possible to flexibly reduce or widen the allowable defect tolerance range set in each device. There is an advantage that various false errors that occur during the SPI and AOI tests can be dramatically reduced by performing the adjustment.

本発明の一実施例による基板検査装置システムを示すブロック図である。It is a block diagram which shows the board | substrate inspection apparatus system by one Example of this invention. 本発明の他の実施例による基板検査装置システムを示すブロック図である。It is a block diagram which shows the board | substrate inspection apparatus system by the other Example of this invention. 本発明の他の実施例による基板検査装置システムを示すブロック図である。It is a block diagram which shows the board | substrate inspection apparatus system by the other Example of this invention. 図3の基板検査装置システムがアラームメッセージを発生させる一実施例を示すグラフである。4 is a graph showing an example in which the board inspection apparatus system of FIG. 3 generates an alarm message. 図3の基板検査装置システムがアラームメッセージを発生させる一実施例を示すグラフである。4 is a graph showing an example in which the board inspection apparatus system of FIG. 3 generates an alarm message. 図3の基板検査装置システムがアラームメッセージを発生させる他の実施例を示すグラフである。It is a graph which shows the other Example in which the board | substrate inspection apparatus system of FIG. 3 generates an alarm message. 図3の基板検査装置システムがアラームメッセージを発生させる他の実施例を示すグラフである。It is a graph which shows the other Example in which the board | substrate inspection apparatus system of FIG. 3 generates an alarm message. 本発明のさらに他の実施例による基板検査装置システムを示すブロック図である。It is a block diagram which shows the board | substrate inspection apparatus system by further another Example of this invention. 図8の基板検査装置システムがアラームメッセージを発生させる一実施例を示す概念図である。FIG. 9 is a conceptual diagram illustrating an embodiment in which the board inspection apparatus system of FIG. 8 generates an alarm message.

本発明は多様な変更を加えることができ、多様な形態を有することできる。ここでは、特定の実施形態を図面に例示し本文に詳細に説明する。しかし、これは本発明を特定の開示形態に限定するものではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれる全ての変更、均等物乃至代替物を含むこととして理解されるべきである。   The present invention can be variously modified and can have various forms. Here, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this should not be construed as limiting the invention to the specific forms disclosed, but includes all modifications, equivalents or alternatives that fall within the spirit and scope of the invention.

第1、第2などの用語は多用な構成要素を説明するのに使用されることがあるが、前記構成要素は前記用語によって限定解釈されない。前記用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的のみとして使用される。例えば、本発明の権利範囲を外れることなく第1構成要素を第2構成要素ということができ、類似に第2構成要素も第1構成要素ということができる。   Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components are not limited to the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, the first component can be referred to as the second component without departing from the scope of rights of the present invention, and similarly, the second component can also be referred to as the first component.

本出願において使用した用語は単なる特定の実施形態を説明するために使用されたもので、本発明を限定しようとする意図ではない。単数の表現は文脈上明白に示さない限り、複数の表現を含む。本出願において、「含む」または「有する」などの用語は明細書に記載された特徴、数字、ステップ、段階、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものが存在することを意味し、一つまたはそれ以上の他の特徴や数字、ステップ、段階、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものの存在または付加可能性を予め排除しないこととして理解されるべきである。   The terms used in the present application are merely used to describe particular embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular form includes the plural form unless the context clearly indicates otherwise. In this application, terms such as “comprising” or “having” mean that there are features, numbers, steps, steps, actions, components, parts or combinations thereof described in the specification. It should be understood as not excluding in advance the presence or applicability of one or more other features or numbers, steps, steps, actions, components, parts or combinations thereof.

特別に定義しない限り、技術的、科学的用語を含んでここで使用される全ての用語は本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者によって一般的に理解されるのと同一の意味を有する。   Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical and scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Have.

一般的に使用される辞書に定義されている用語と同じ用語は関連技術の文脈上有する意味と一致する意味を有すると解釈されるべきであり、本出願で明白に定義しない限り、理想的またも過度に形式的な意味に解釈されない。   The same terms as those defined in commonly used dictionaries should be construed to have meanings that are consistent with those in the context of the related art and are ideal or not defined unless explicitly defined in this application. Is not overly interpreted in a formal sense.

以下、図面を参照して本発明の好適な一実施例をより詳細に説明する。   Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.

図1は本発明の一実施例による基板検査装置システムを示すブロック図である。   FIG. 1 is a block diagram showing a substrate inspection apparatus system according to an embodiment of the present invention.

図1を参照すると、本発明の一実施例による基板検査装置システム100はソルダペースト検査(solder paste inspection;SPI)装置110、電子部品搭載装置(mounter)120、リフロー(reflow)(図示せず)、自動光学検査(automated optical inspection;AOI)130及び情報伝達部140などを含んでいてもよい。   Referring to FIG. 1, a substrate inspection apparatus system 100 according to an embodiment of the present invention includes a solder paste inspection (SPI) apparatus 110, an electronic component mounting apparatus 120, and a reflow (not shown). In addition, an automatic optical inspection (AOI) 130, an information transmission unit 140, and the like may be included.

前記基板検査装置システム100は、例えば、印刷回路基板(PCB)のような基板の伝達を受けて前記基板の不良可否を検査する。前記基板検査装置システム100は前記基板の伝達を受けた後、前記SPI装置110を用いてソルダペーストがまともに塗布されているかを検査して1次的に不良可否を検査する。続いて、ソルダペーストが塗布された前記基板上に前記電子部品搭載装置120を用いて電子部品を搭載した後、例えば、リフロー装備を用いたリフロー工程を通じて前記基板上に塗布されたソルダペーストを溶融させて前記電子部品を前記基板に装着することができる。次に、基板に形成された前記電子部品を、前記AOI装置130を用いて、前記電子部品が前記基板にもとまに装着されているかを検査して2次的に不良可否を検査する。   The board inspection apparatus system 100 receives a board such as a printed circuit board (PCB) and inspects whether or not the board is defective. After receiving the transmission of the substrate, the substrate inspection apparatus system 100 inspects whether the solder paste is properly applied by using the SPI apparatus 110 and first inspects whether there is a defect. Subsequently, after mounting the electronic component on the substrate on which the solder paste has been applied using the electronic component mounting apparatus 120, for example, the solder paste applied on the substrate is melted through a reflow process using reflow equipment. Thus, the electronic component can be mounted on the substrate. Next, using the AOI device 130, the electronic component formed on the substrate is inspected as to whether the electronic component is mounted on the substrate or not, and secondarily inspected for defects.

このように、前記AOI装置130は基本的にリフロー工程以後に配置されて基板に装着された電子部品の不良可否を検査するので、前記電子部品搭載装置120と前記リフローとの間に配置されるか、リフロー工程前端及び後端にそれぞれ配置されてもよい。   As described above, the AOI device 130 is basically disposed after the reflow process and inspects whether or not the electronic component mounted on the board is defective. Therefore, the AOI device 130 is disposed between the electronic component mounting device 120 and the reflow. Or you may arrange | position at the reflow process front end and back end, respectively.

図1に示されたブロック矢印は前記SPI装置110、前記電子部品搭載装置120及びAOI装置130を経る基板の流れを示す。   The block arrows shown in FIG. 1 indicate the flow of the substrate through the SPI device 110, the electronic component mounting device 120, and the AOI device 130.

以下、前記基板検査装置システム100をより具体的に説明する。   Hereinafter, the substrate inspection apparatus system 100 will be described in more detail.

前記SPI装置110は基板上に塗布されたソルダペーストの第1の3次元情報を獲得し、前記第1の3次元情報に基づいて既設定された第1許容範囲に従ってソルダペーストの不良可否を検査する。   The SPI device 110 obtains first three-dimensional information of the solder paste applied on the substrate, and inspects whether or not the solder paste is defective according to a first allowable range set based on the first three-dimensional information. To do.

一実施例として、前記SPI装置110は基板のパッド上に外部電子部品を実装するために形成されたソルダペーストの3次元形状を測定して前記第1の3次元情報を獲得する。前記第1の3次元情報は、例えば、ソルダペーストの3次元形状、嵩、高さ、広さ、重さ中心及び偏心量などを含み、前記第1の3次元情報は基板及びソルダペーストの2次元情報も含んでいてもよい。   As an example, the SPI device 110 obtains the first three-dimensional information by measuring a three-dimensional shape of a solder paste formed to mount an external electronic component on a pad of a substrate. The first three-dimensional information includes, for example, a three-dimensional shape, a bulk, a height, a width, a weight center, an eccentric amount, and the like of the solder paste, and the first three-dimensional information includes 2 of the substrate and the solder paste. Dimensional information may also be included.

例えば、前記第1許容範囲は前記ソルダペーストの未(insufficient error)鉛、過(excessive error)鉛、冷鉛(cold−solder joint)を判断するためのソルダペーストの嵩の範囲であってよい。これとは異なり、前記第1許容範囲は前記ソルダペーストの位置不良を判断するための位置範囲、ブリッジ不良を判断するためのブリッジ形状の範囲などを含んでいてもよい。   For example, the first allowable range may be a bulk range of the solder paste for determining an insufficient error lead, an excessive error lead, and a cold-solder joint of the solder paste. In contrast, the first allowable range may include a position range for determining a position defect of the solder paste, a bridge shape range for determining a bridge defect, and the like.

前記電子部品搭載装置120は前記ソルダペーストが塗布された基板上に電子部品と前記ソルダペーストとが互いに接合するように前記電子部品を搭載する。   The electronic component mounting apparatus 120 mounts the electronic component on the substrate coated with the solder paste so that the electronic component and the solder paste are bonded to each other.

前記AOI装置130は前記電子部品と前記ソルダペーストとが接合するソルダージョイントの第2の3次元情報を獲得し、前記第2の3次元情報に基づいて既設定された第2許容範囲に従って前記電子部品搭載の不良可否を検査する。   The AOI device 130 acquires second three-dimensional information of a solder joint where the electronic component and the solder paste are joined, and the electronic device according to a second allowable range set based on the second three-dimensional information. Inspect for possible component mounting defects.

前記AOI装置130は電子部品搭載の不良可否を検査するものの、3次元情報を獲得した後獲得された前記3次元情報を用いて電子部品搭載の不良可否を検査する。一実施例として、前記AOI装置130は基板上に搭載された電子部品とソルダージョイントの3次元形状を測定して前記第2の3次元情報を獲得する。前記第2の3次元情報は、例えば、電子部品の3次元オフセット情報、ソルダージョイントの3次元形状及び位置による曲率情報などを含み、前記第2の3次元情報は基板及び電子部品に対する2次元情報も含んでいてもよい。   Although the AOI device 130 checks whether or not electronic component mounting is defective, the three-dimensional information acquired after acquiring three-dimensional information is used to check whether or not electronic component mounting is defective. As an example, the AOI apparatus 130 acquires the second three-dimensional information by measuring a three-dimensional shape of an electronic component and a solder joint mounted on a substrate. The second three-dimensional information includes, for example, three-dimensional offset information of the electronic component, curvature information based on the three-dimensional shape and position of the solder joint, and the second three-dimensional information is two-dimensional information on the substrate and the electronic component. May also be included.

例えば、前記第2許容範囲は電子部品の実装位置不良を判断するためのオフセット範囲と、前記ソルダージョイント形状からリードずれ、ソルダフィレット(fillet)の不良などを判断するためのソルダージョイントの形状の範囲であってよい。また、前記第2許容範囲は前記ソルダージョイントの位置による曲率の範囲を含んでいてもよい。   For example, the second allowable range includes an offset range for determining a mounting position defect of an electronic component, and a solder joint shape range for determining lead misalignment, a solder fillet defect, and the like from the solder joint shape. It may be. The second allowable range may include a curvature range depending on a position of the solder joint.

前記情報伝達部140は前記ソルダペーストの第1の3次元情報を前記AOI装置130に伝達するか、前記ソルダージョイントの第2の3次元情報を前記SPI装置110に伝達することができる。   The information transmission unit 140 may transmit the first three-dimensional information of the solder paste to the AOI device 130 or may transmit the second three-dimensional information of the solder joint to the SPI device 110.

前記SPI装置110は前記情報伝達部140から伝達された前記第2の3次元情報を用いて前記第1許容範囲を修正することができる。   The SPI device 110 may correct the first allowable range using the second three-dimensional information transmitted from the information transmission unit 140.

一実施例として、前記ソルダージョイントの第2の3次元情報は前記ソルダージョイントの形状情報を含み、前記SPI装置110は前記情報伝達部140から伝達されたソルダージョイントの形状情報を用いて前記第1許容範囲を修正することができる。この際、ソルダージョイントの形状から抽出された曲率情報に従って前記第1許容範囲が修正できる。例えば、前記第1許容範囲が前記ソルダペーストの嵩範囲に設定される時、前記ソルダージョイントが望ましい曲率を形成する場合、前記ソルダペーストの嵩が多少少なくても正常である可能性が高いので、前記第1許容範囲である嵩の範囲はより広く修正されてもよい。   As an example, the second 3D information of the solder joint includes shape information of the solder joint, and the SPI device 110 uses the solder joint shape information transmitted from the information transmission unit 140 to perform the first information. The tolerance can be modified. At this time, the first allowable range can be corrected according to curvature information extracted from the shape of the solder joint. For example, when the first allowable range is set to the bulk range of the solder paste, when the solder joint forms a desired curvature, it is likely that the solder paste is normal even if the bulk of the solder paste is small. The range of the bulk that is the first allowable range may be modified more widely.

即ち、前記第1許容範囲修正方式は既設定された値分だけ段階別に広く修正したり狭く修正したりすることができ、これはSPI装置100で自動制御するか、修正範囲情報を運用者にディスプレーすることで、運用者が直接制御することもできる。   In other words, the first permissible range correction method can be corrected widely or narrowly in stages by a preset value, which can be automatically controlled by the SPI device 100 or the correction range information can be sent to the operator. By displaying it, the operator can also control it directly.

また、前記AOI装置130は前記情報伝達部140から伝達された前記第1の3次元情報を用いて前記第2許容範囲を修正することもできる。   In addition, the AOI device 130 may correct the second allowable range using the first three-dimensional information transmitted from the information transmission unit 140.

一実施例として、前記ソルダペーストの第1の3次元情報は前記ソルダペーストの嵩情報を含み、前記AOI装置130は前記情報伝達部140から伝達された前記ソルダペーストの嵩情報を用いて前記第2許容範囲を修正することができる。例えば、ソルダペーストの望ましいと認定される嵩の範囲を予め設定して前記第1の3次元情報の嵩情報が前記予め設定された嵩の範囲に該当し、ずれが発生していない状態では前記ソルダージョイントの形状が多少正常から離れても正常である可能性が高いので、前記第2許容範囲はより広く修正されてもよい。   As one example, the first three-dimensional information of the solder paste includes bulk information of the solder paste, and the AOI device 130 uses the bulk information of the solder paste transmitted from the information transmission unit 140 to perform the first information. 2 The tolerance can be modified. For example, in a state where a bulk range that is recognized as desirable for the solder paste is set in advance and the bulk information of the first three-dimensional information corresponds to the preset bulk range, and no deviation occurs, Since it is highly possible that the shape of the solder joint is normal even if it is slightly different from the normal shape, the second allowable range may be modified more widely.

即ち、前記第2許容範囲修正方式は既設定された値分だけ段階別に広く修正するか狭く修正することができ、これは前記AOI装置130から自動制御するか、修正範囲情報を運用者にディスプレーすることで、運用者が直接制御することもできる。   In other words, the second permissible range correction method can be corrected widely or narrowly in stages by the set value, which can be automatically controlled from the AOI device 130 or the correction range information can be displayed to the operator. By doing so, the operator can also directly control.

一実施例として、前記情報伝達部140は前記SPI装置110及び前記AOI装置130のうち少なくとも一つに形成されてもよい。例えば、前記情報伝達部140は第1情報伝達部142及び第2情報伝達部144を含んでいてもよい。前記第1情報伝達部142は前記SPI装置110に形成され、前記第2情報伝達部144は前記AOI装置130に形成されてもよい。この際、前記第1情報伝達部142は前記SPI装置110を駆動するための中央処理ユニット(central process unit;CPU)または制御ユニットに含まれ、前記第2情報伝達部144は前記AOI装置130を駆動するための中央処理ユニットまたは制御ユニットに含んでいてもよい。   As an example, the information transmission unit 140 may be formed in at least one of the SPI device 110 and the AOI device 130. For example, the information transmission unit 140 may include a first information transmission unit 142 and a second information transmission unit 144. The first information transfer unit 142 may be formed in the SPI device 110, and the second information transfer unit 144 may be formed in the AOI device 130. At this time, the first information transfer unit 142 is included in a central process unit (CPU) or a control unit for driving the SPI device 110, and the second information transfer unit 144 is connected to the AOI device 130. It may be included in a central processing unit or control unit for driving.

図1に示された実線矢印は前記SPI装置110と前記AOI装置140との間で前記ソルダペーストの第1の3次元情報及び前記ソルダージョイントの第2の3次元情報を相互伝達する情報伝達信号の流れを示す。   A solid arrow shown in FIG. 1 indicates an information transmission signal for mutually transmitting the first three-dimensional information of the solder paste and the second three-dimensional information of the solder joint between the SPI device 110 and the AOI device 140. Shows the flow.

これとは異なり、前記情報伝達部140は前記SPI装置110及び前記AOI装置130とは別途の装置で形成してもよい。   In contrast, the information transmission unit 140 may be formed by a device separate from the SPI device 110 and the AOI device 130.

一方、電子部品搭載装置120にもSPI装置110及びAOI装置130に含まれた情報伝達部(図示せず)が含まれてもよい。電子部品搭載装置120の情報伝達部には各電子部品の搭載のための部品別移動制御情報を含み、これは電子部品搭載装置120を駆動するための中央処理ユニットまたは制御ユニットに含んでいてもよい。   On the other hand, the electronic component mounting device 120 may also include an information transmission unit (not shown) included in the SPI device 110 and the AOI device 130. The information transmission unit of the electronic component mounting device 120 includes component-specific movement control information for mounting each electronic component, which may be included in the central processing unit or control unit for driving the electronic component mounting device 120. Good.

これにAOI装置130では電子部品搭載装置120から基板移送の際電子部品搭載装置120の情報伝達部を通じて移送された基板情報及び各部品別移動制御情報を受信することができる。即ち、AOI装置130では各部品別移動制御情報を通じて基板内の各位置にどんな部品が既設定された距離分だけ移動されて搭載されているかの可否を確認することができ、既設定された電子部品オフセット情報に基づいて位置捩れ不良が発生する場合として、判断結果電子部品搭載装置120の部品移動制御が必要な場合には電子部品搭載装置120に部品移動制御要請メセッジ(移動制御命令を含んでいてもよい)を送付することができる。   In addition, the AOI apparatus 130 can receive the board information transferred from the electronic component mounting apparatus 120 through the information transmission unit of the electronic component mounting apparatus 120 and the movement control information for each part when the board is transferred. That is, the AOI device 130 can confirm whether or not any part is moved by a predetermined distance and mounted at each position in the board through the movement control information for each part. As a case where a position twist failure occurs based on the component offset information, if the component movement control of the electronic component mounting apparatus 120 is necessary as a result of the determination, the electronic component mounting apparatus 120 includes a component movement control request message (including a movement control command). Can be sent).

図2は本発明の他の実施例による基板検査装置システムを示すブロック図である。   FIG. 2 is a block diagram showing a substrate inspection apparatus system according to another embodiment of the present invention.

図2を参照すると、本発明の他の実施例による基板検査装置システム102はSPI装置112、電子部品搭載装置120、AOI装置132及び情報伝達部150を含み、前記基板検査装置システム102は前記情報150がSPI装置、電子部品搭載装置及びAOI装置から分離されて形成されるのを除いては、図1に示された基板検査装置システム100と実質的に同一であるので、重複される詳細な説明は省略する。   Referring to FIG. 2, a board inspection apparatus system 102 according to another embodiment of the present invention includes an SPI apparatus 112, an electronic component mounting apparatus 120, an AOI apparatus 132, and an information transmission unit 150. The board inspection apparatus system 102 includes the information inspection apparatus 102. Except that 150 is formed separately from the SPI device, the electronic component mounting device, and the AOI device, it is substantially the same as the substrate inspection device system 100 shown in FIG. Description is omitted.

前記情報伝達部150は前記SPI装置112、電子部品搭載装置120及び前記AOI装置132とは別途の装置で形成されてもよい。この場合、前記情報伝達部150は前記SPI装置112、前記電子部品搭載装置120及び前記AOI装置132とは別途の中央処理ユニットまたは制御ユニットを有することができ、前記SPI装置112、前記電子部品搭載装置120及び前記AOI装置132と分離及び結合可能であってよい。   The information transmission unit 150 may be formed by a device separate from the SPI device 112, the electronic component mounting device 120, and the AOI device 132. In this case, the information transmission unit 150 may include a central processing unit or a control unit that is separate from the SPI device 112, the electronic component mounting device 120, and the AOI device 132, and the SPI device 112, the electronic component mounting. The device 120 and the AOI device 132 may be separable and connectable.

また、情報伝達部150には各装備(例えば、SPI装置112、電子部品搭載装置120及びAOI装置132の第1、2許容範囲情報及び部品移動制御情報を含み、前記第1、2許容範囲及び部品移動制御情報を既設定された段階別に修正した後、修正された情報を各装備に伝送することもできる。これを通じて各装備別制御なしに情報伝達部150から各装備の不良検出条件の許容範囲を統合制御することもできる。   The information transmission unit 150 includes first and second permissible range information and component movement control information for each equipment (for example, the SPI device 112, the electronic component mounting device 120, and the AOI device 132). After the component movement control information is corrected for each preset stage, the corrected information can be transmitted to each equipment, thereby permitting the defect detection condition of each equipment from the information transmission unit 150 without control for each equipment. The range can be integrated and controlled.

一方、図2に示された実線矢印は前記SPI装置112及び前記AOI装置132の間で前記ソルダペーストの第1の3次元情報及び前記ソルダージョイントの第2の3次元情報を相互伝達する情報伝達信号の流れを示す。   On the other hand, a solid line arrow shown in FIG. 2 indicates that the first three-dimensional information of the solder paste and the second three-dimensional information of the solder joint are transmitted between the SPI device 112 and the AOI device 132. The signal flow is shown.

図3は本発明の他の実施例による基板検査装置システムを示すブロック図である。   FIG. 3 is a block diagram showing a substrate inspection apparatus system according to another embodiment of the present invention.

図3を参照すると、本発明の他の実施例による基板検査装置システム200はSPI装置210、AOI装置220、データベース230及びアラーム発生装置240などを含んでいてもよい。   Referring to FIG. 3, a substrate inspection apparatus system 200 according to another embodiment of the present invention may include an SPI apparatus 210, an AOI apparatus 220, a database 230, an alarm generation apparatus 240, and the like.

前記基板検査装置システム200は、例えば、印刷回路基板のような基板の伝達を受けて前記基板の不良可否を検査する。前記基板検査装置システム200は前記基板の伝達を受けた後、前記SPI装置210を用いてソルダペーストがまともに塗布されているかを検査して1次的に不良可否を検査する。続いて、ソルダペーストが塗布された前記基板上に電子部品を搭載した後、例えば、リフロー装備を用いたリフロー工程を通じて前記基板上にソルダペーストを溶融させて前記電子部品を前記基板に装着することができる。次に、基板に形成された前記電子部品を前記AOI装置220を用いて前記電子部品が前記基板にまともに装着されているかを検査して2次的に不良可否を検査する。   For example, the substrate inspection apparatus system 200 receives a substrate such as a printed circuit board and inspects whether the substrate is defective. After receiving the transmission of the substrate, the substrate inspection apparatus system 200 inspects whether or not the solder paste is properly applied by using the SPI apparatus 210 and first inspects whether there is a defect. Subsequently, after mounting the electronic component on the substrate coated with the solder paste, for example, the solder paste is melted on the substrate through a reflow process using a reflow equipment, and the electronic component is mounted on the substrate. Can do. Next, the electronic component formed on the substrate is inspected to determine whether the electronic component is properly mounted on the substrate by using the AOI apparatus 220, and secondly, the defect is inspected.

このように、前記AOI装置220は基本的にリフロー工程以後に配置されて基板に装着された電子部品の不良可否を検査することができる。   As described above, the AOI apparatus 220 can be inspected for defects of electronic components that are basically disposed after the reflow process and mounted on the board.

図3に示されたブロック矢印は前記SPI装置210及び前記AOI装置220を経る基板の流れを示す。   The block arrows shown in FIG. 3 indicate the flow of the substrate through the SPI device 210 and the AOI device 220.

以下、前記基板検査装置システム200をより具体的に説明する。   Hereinafter, the substrate inspection apparatus system 200 will be described in more detail.

前記SPI装置210は基板上に塗布されたソルダペーストの第1の3次元情報を獲得し、前記第1の3次元情報に基づいて既設定された第1許容範囲に従って前記ソルダペーストの不良可否を検査する。前記SPI装置210は図1及び図2に示されたSPI装置110と実質的に同一であるので、重複される詳細な説明は省略する。   The SPI device 210 obtains first three-dimensional information of the solder paste applied on the substrate, and determines whether the solder paste is defective according to a first allowable range set based on the first three-dimensional information. inspect. Since the SPI device 210 is substantially the same as the SPI device 110 shown in FIGS. 1 and 2, a detailed description thereof is omitted.

一方、前記ソルダペーストは前記電子部品に対応して少なくとも2つの地点で塗布され、この場合前記第1の3次元情報は前記2つの地点それぞれに対する前記ソルダペーストの嵩の間の差異である嵩差(volume difference)情報を含んでいてもよい。   On the other hand, the solder paste is applied at at least two points corresponding to the electronic component, and in this case, the first three-dimensional information is a difference in volume between the bulks of the solder paste at the two points. (Volume difference) information may be included.

前記SPI装置210を用いてソルダペーストの不良可否を検査した後には、図1及び図2において説明された前記電子部品搭載装置120のような装備を用いて前記ソルダペーストが塗布された基板上に電子部品と前記ソルダペーストとが互いに接合するように前記電子部品を搭載する。   After inspecting whether or not the solder paste is defective using the SPI device 210, the solder paste is applied onto the substrate on which the solder paste is applied using equipment such as the electronic component mounting device 120 described in FIGS. The electronic component is mounted so that the electronic component and the solder paste are bonded to each other.

前記AOI装置220は前記ソルダペーストが塗布された基板上に搭載される電子部品の搭載の不良可否の検査のための第2の3次元情報を獲得し、前記第2の3次元情報に基づいて既設定された第2許容範囲に従って前記電子部品搭載の不良可否を検査する。前記AOI装置220は図1及び図2に示されたAOI装置130と実質的に同一であるので、重複される詳細な説明は省略する。   The AOI apparatus 220 obtains second 3D information for inspecting whether or not the electronic component mounted on the substrate coated with the solder paste is defective, and based on the second 3D information Whether or not the electronic component is mounted is inspected according to a preset second allowable range. Since the AOI device 220 is substantially the same as the AOI device 130 shown in FIGS. 1 and 2, a detailed description thereof is omitted.

一方、前記第2の3次元情報は前記ソルダペーストと前記電子部品との間の接合度を定量化したソルダージョイントのスコア情報を含んでいてもよい。ここで、前記ソルダペーストと電子部品との間の接合度とは前記ソルダペーストが塗布された基板上に前記電子部品が搭載される際、前記電子部品のリードが前記ソルダペーストにどんなに多めに接合されているかを示すもので、これを定量化して前記ソルダージョイントのスコアを設定することができる。   Meanwhile, the second three-dimensional information may include solder joint score information obtained by quantifying the degree of bonding between the solder paste and the electronic component. Here, the degree of bonding between the solder paste and the electronic component refers to how much leads of the electronic component are bonded to the solder paste when the electronic component is mounted on a substrate coated with the solder paste. It is possible to set the score of the solder joint by quantifying this.

また、前記ソルダペーストは前記電子部品に対応して少なくとも2つの地点で塗布され、この場合前記第2の3次元情報は前記電子部品が水平に対して傾いた程度を示す同一平面性(co−planarity)情報を含んでいてもよい。前記同一平面性情報は、例えば、前記電子部品両端の高さの差の情報、前記電子部品上面の傾き情報などを含むので、同一の電子部品別傾き情報の比較を遂行することができる。   In addition, the solder paste is applied at at least two points corresponding to the electronic component, and in this case, the second three-dimensional information indicates the same planarity (co− planarity) information. The coplanarity information includes, for example, information on the height difference between both ends of the electronic component, tilt information on the top surface of the electronic component, and the like, and comparison of the same tilt information for each electronic component can be performed.

前記データベース230は前記SPI装置210の第1の3次元情報及びAOI装置220の第2の3次元情報を貯蔵する。   The database 230 stores the first three-dimensional information of the SPI device 210 and the second three-dimensional information of the AOI device 220.

前記アラーム発生装置240は前記データベース230から前記第1の3次元情報及び前記第2の3次元情報の伝達を受けて、前記第2の3次元情報が前記第2許容範囲を離れる場合前記第1許容範囲を修正するようにアラームメッセージを発生させる。例えば、前記第1の3次元情報が第1許容範囲内に存在して、前記基板上に塗布されたソルダペーストが良好と判断された場合でも、前記第2の3次元情報が第2許容範囲の外に存在するようになって前記電子部品が搭載された後のソルダージョイント、部品の配置形態などが不良として判断された場合には、前記アラームメッセージを発生させてSPI装置210に伝送することができる。   The alarm generator 240 receives the first three-dimensional information and the second three-dimensional information from the database 230, and when the second three-dimensional information leaves the second allowable range, the first Generate an alarm message to correct the tolerance. For example, even when the first three-dimensional information is within the first allowable range and the solder paste applied on the substrate is determined to be good, the second three-dimensional information is not within the second allowable range. If the solder joint after the electronic component is mounted and the arrangement form of the component is determined to be defective, the alarm message is generated and transmitted to the SPI device 210. Can do.

アラームメッセージを受信したSPI装置210の中央処理ユニットまたは制御ユニットでは既設定された値分だけ段階別に第1許容範囲を広く修正するか狭く修正することができ、これはSPI装置210で自動制御するか、修正範囲情報を運用者にディスプレーすることで、運用者が直接制御することもできる。   The central processing unit or the control unit of the SPI device 210 that has received the alarm message can correct the first allowable range widely or narrowly by the set value, which is automatically controlled by the SPI device 210. Alternatively, the operator can directly control the correction range information by displaying it to the operator.

一例として、前記アラーム発生装置240は前記データベース230から前記ソルダペーストの嵩情報及び前記ソルダージョイントのスコア情報の伝達を受けて、前記ソルダージョイントのスコア情報が前記第2許容範囲を離れる場合前記第1許容範囲を修正するようにアラームメッセージを発生させることができる。   For example, the alarm generator 240 receives the solder paste bulk information and the solder joint score information from the database 230, and the solder joint score information leaves the second allowable range. An alarm message can be generated to correct the tolerance.

これに発生されたアラームメッセージはSPI装置210に伝送されてSPI装置210では前記第1許容範囲を既設定された段階で一つの段階の下の狭い範囲に設定することができる。   The generated alarm message is transmitted to the SPI device 210, and the SPI device 210 can set the first allowable range to a narrow range below one step at a preset stage.

図4及び図5は図3の基板検査装置システムのアラームメッセージを発生させる一実施例を示すグラフである。   4 and 5 are graphs showing an embodiment for generating an alarm message in the substrate inspection apparatus system of FIG.

図4はグラフの縦軸は前記第1の3次元情報に対応するソルダペーストの嵩情報Vを示し、図5のグラフの縦軸は前記第2の3次元情報に対応するソルダージョイントのスコア情報Sを示す。図4及び図5の横軸は多様な事例を示す。具体的に、前記事例は電子部品のソルダペーストまたはジョイントのうちいずれか一つにつきまして複数の基板に対して検査された結果を示し、電子部品のソルダペーストまたはジョイントに付きまして複数の基板に対して検査された結果を示し、ソルダペーストまたはジョイントの平均につきまして複数の基板に対して検査された結果を示すこともできる。   4, the vertical axis of the graph represents the solder paste bulk information V corresponding to the first three-dimensional information, and the vertical axis of the graph of FIG. 5 represents the solder joint score information corresponding to the second three-dimensional information. S is shown. The horizontal axis of FIG.4 and FIG.5 shows various examples. Specifically, the above example shows a result of inspection on a plurality of substrates with respect to any one of the solder paste or joint of the electronic component, and the plurality of substrates attached to the solder paste or joint of the electronic component. It can also show the results of inspection, and can also indicate the results of inspection on multiple substrates for solder paste or joint average.

図4及び図5を参照すると、前記SPI装置210によって基板を検査した結果ソルダペーストの嵩が第1許容範囲TL1内で存在するが、前記AOI装置220によって基板を検査した結果ソルダージョイントのスコアは第2許容範囲TL2を離れる。従って、前記SPI装置210によって良好と判断された基板でも前記AOI装置220によって不良として判断され得ることがわかる。即ち、ソルダペーストの塗布量が適切してソルダペーストの塗布が良好と判断された場合にも、実際に基板に電子部品を搭載した後のソルダージョイントの形態が不適切して前記電子部品の搭載は不良と判断され得る。   Referring to FIGS. 4 and 5, the solder paste as a result of inspecting the substrate by the SPI device 210 is present within the first allowable range TL1, but the solder joint score as a result of inspecting the substrate by the AOI device 220 is as follows. Leave the second allowable range TL2. Therefore, it can be seen that even the board determined to be good by the SPI apparatus 210 can be determined as defective by the AOI apparatus 220. That is, even when the solder paste application amount is appropriate and the solder paste application is determined to be good, the solder joint form after the electronic component is actually mounted on the board is improperly mounted. Can be judged as bad.

この場合、前記アラーム発生装置240は前記データベース230から前記ソルダペーストの嵩情報及び前記ソルダージョイントのスコア情報の伝達を受けて、前記ソルダージョイントのスコア情報が前記第2許容範囲TL2を離れる場合アラームメッセージを発生させることで、前記第1許容範囲TL1をより狭い範囲である修正−第1許容範囲TL1’に修正するようにすることができる。   In this case, the alarm generator 240 receives the solder paste volume information and the solder joint score information from the database 230, and the alarm information is output when the solder joint score information leaves the second allowable range TL2. By generating the first allowable range TL1, the first allowable range TL1 can be corrected to a narrower range-the first allowable range TL1 '.

このように、前記第1個TL1を修正−第1許容範囲TL1’を修正すると、以後前記SPI装置210で修正−第1許容範囲TL1’を基準としてソルダペーストの嵩に対して不良なしに移送されたソルダペースト基板に対して前記AOI装置220でソルダージョイントのスコア情報が第2許容範囲TL2内に含まれるので不良基板を事前に防止することができる。   In this way, the first piece TL1 is corrected—the first allowable range TL1 ′ is corrected, and then the SPI device 210 is corrected—the first allowable range TL1 ′ is used as a reference to transfer the solder paste without any defects. Since the score information of the solder joint is included in the second allowable range TL2 by the AOI apparatus 220 with respect to the solder paste substrate thus formed, it is possible to prevent a defective substrate in advance.

図6及び図7は図3の基板検査装置システムがアラームメッセージを発生させる他の実施例を示すグラフである。   6 and 7 are graphs showing another embodiment in which the substrate inspection apparatus system of FIG. 3 generates an alarm message.

図6に示したグラフの縦軸は、前記ソルダペーストが電子部品に対応して少なくとも2つの地点で塗布された場合、前記第1の3次元情報に対応するソルダペーストの嵩差情報VDを示し、図7のグラフの縦軸は前記第2の3次元情報に対応する電子部品の同一平面性情報Cを示す。図6及び図7の横軸は多様な事例を示す。   The vertical axis of the graph shown in FIG. 6 indicates the bulk difference information VD of the solder paste corresponding to the first three-dimensional information when the solder paste is applied at at least two points corresponding to the electronic component. The vertical axis of the graph of FIG. 7 shows the same plane information C of the electronic component corresponding to the second three-dimensional information. The horizontal axis of FIGS. 6 and 7 shows various cases.

具体的に、前記事例は、電子部品のソルダペーストまたは電子部品のうちいずれか一つに対して複数の基板に対して検査された結像基板さを示し、電子部品のソルダペーストまたは電子部品に対して複数の基板に対して検査された結果を示すこともでき、ソルダペーストまたは電子部品の平均に対して複数の基板に対して検査された結果を示すこともできる。   Specifically, the example shows an imaging substrate that has been inspected against a plurality of substrates for any one of an electronic component solder paste or an electronic component, and the electronic component solder paste or electronic component On the other hand, it is possible to show the results of inspection on a plurality of substrates, and it is also possible to show the results of inspection on a plurality of substrates against the average of solder paste or electronic components.

図6及び図7を参照すると、前記SPI装置210によって基板を検査した結果少なくとも2つの地点の間のソルダペーストの嵩差が第1許容範囲TL1内で存在するが、前記AOI装置220によって基板を検査した結果電子部品の同一平面性は第2許容範囲TL2を離れる。従って、前記SPI装置210によって良好と判断された基板でも前記AOI装置220によって不良として判断され得ることがわかる。即ち、前記少なくとも2つの地点に塗布されたソルダペーストの嵩差が適切してソルダペーストの塗布が良子と判断された場合にも、実際に基板に電子部品を搭載した後の同一平面性が不適切して前記電子部品の搭載状態に対しては不良として判断され得る。   Referring to FIGS. 6 and 7, as a result of inspecting the substrate by the SPI device 210, a solder paste bulk difference between at least two points exists within the first allowable range TL1, but the substrate is removed by the AOI device 220. As a result of the inspection, the same planarity of the electronic component leaves the second allowable range TL2. Therefore, it can be seen that even the board determined to be good by the SPI apparatus 210 can be determined as defective by the AOI apparatus 220. That is, even when the solder paste applied to the at least two points is appropriate and the solder paste is determined to be good, the same flatness after mounting electronic components on the board is not good. Appropriately, the mounting state of the electronic component can be determined as defective.

この場合、前記アラーム発生装置240は前記データベース230から前記嵩差情報及び前記同一平面性情報の伝達を受けて、前記同一平面性情報が前記第2許容範囲TL2を離れる場合アラームメッセージを発生させることで、前記第1許容範囲TL1を、よリ狭い範囲である修正−第1許容範囲(TL1’)に修正するようにすることができる。   In this case, the alarm generator 240 receives the difference information and the same flatness information from the database 230, and generates an alarm message when the same flatness information leaves the second allowable range TL2. Thus, the first allowable range TL1 can be corrected to a correction-first allowable range (TL1 ′) which is a narrower range.

一方、前記修正作業は、既設定された分だけ段階別に行われる。また、前記修正作業は、前記SPI装置210で自動制御されるようにするか、使用者に情報を提供することで使用者が直接制御することもできる。   On the other hand, the correction work is performed step by step by the amount already set. The correction operation can be automatically controlled by the SPI device 210 or can be directly controlled by the user by providing information to the user.

このように、前記第1許容範囲TL1を修正−第1許容範囲TL1’に修正すると、以後前記SPI装置210で修正−第1許容範囲TL1’を基準としてソルダペーストの嵩差に対する不良なしに移送されたソルダペースト基板に対して前記AOI装置220で同一平面性情報が前記第2許容範囲TL2内に含まれるので不良率を減少させることができる。   As described above, when the first allowable range TL1 is corrected to the first allowable range TL1 ′, the SPI device 210 thereafter corrects the transfer without causing a defect with respect to the solder paste bulk difference based on the first allowable range TL1 ′. Since the same planarity information is included in the second allowable range TL2 by the AOI apparatus 220 with respect to the solder paste substrate thus formed, the defect rate can be reduced.

図8は本発明のさらに他の実施例による基板検査装置システムを示すブロック図である。   FIG. 8 is a block diagram showing a substrate inspection apparatus system according to still another embodiment of the present invention.

図8を参照すると、本発明のさらに他の実施例による基板検査装置システム202はSPI装置210、第1AOI装置222、第2AOI装置224、ディスプレー230及びアラーム発生装置240などを含んでいてもよい。   Referring to FIG. 8, a substrate inspection apparatus system 202 according to still another embodiment of the present invention may include an SPI apparatus 210, a first AOI apparatus 222, a second AOI apparatus 224, a display 230, an alarm generation apparatus 240, and the like.

図8に示された基板検査装置システム202は電子部品搭載の後、リフロー過程を遂行する前に不良可否を追加的に検査することのできる第2AOI装置224をさらに含んでいてもよい。   The board inspection apparatus system 202 shown in FIG. 8 may further include a second AOI apparatus 224 capable of additionally inspecting whether or not there is a defect after performing an electronic component and before performing a reflow process.

具体的に、前記基板検査装置システム202は、例えば、印刷回路基板PCBのような基板の伝達を受けて前記基板の不良可否を検査する。前記基板検査装置システム202は前記基板の伝達を受けた後、前記SPI装置210を用いてソルダペーストがまともに塗布されているかを検査して1次的に不良可否を検査する。続いて、ソルダペーストが塗布された前記基板上に例えば、電子部品搭載装置を通じて電子部品を搭載した後、前記第2AOI装置224を用いて電子部品がソルダペースト上にまともに位置するかを検査して2次的に不良可否を検査する。   Specifically, the board inspection system 202 inspects whether or not the board is defective by receiving a board such as a printed circuit board PCB. After receiving the transmission of the substrate, the substrate inspection apparatus system 202 inspects whether the solder paste is properly applied by using the SPI apparatus 210 and first inspects whether there is a defect. Subsequently, after the electronic component is mounted on the substrate on which the solder paste is applied, for example, through an electronic component mounting device, the second AOI device 224 is used to check whether the electronic component is properly positioned on the solder paste. Secondly, it is inspected for defects.

次に、例えば、リフロー装備を用いたリフロー工程を通じて前記基板上に塗布されたソルダペーストを溶融させて前記電子部品を前記基板に装着した後、基板に形成された電子部品を前記第1AOI装置222を用いて前記電子部品が前記基板にまともに装着されているかを検査して3次的に不良可否を検査する。   Next, for example, after the solder paste applied on the substrate is melted through a reflow process using a reflow equipment and the electronic component is mounted on the substrate, the electronic component formed on the substrate is attached to the first AOI device 222. Is used to inspect whether or not the electronic component is properly mounted on the substrate, and thirdly, it is inspected for defects.

このように、前記第2AOI装置224はリフロー工程前端に配置されて前記基板に対して検査することができる。一方、前記第1及び第2AOI装置222、224は実質的に同一の装置をリフロー工程前端及び後端にそれぞれ配置して使用することもでき、同一の装置を基板の流れを制御してリフロー工程の前及び後に重複的に活用することもできる。   As described above, the second AOI device 224 is disposed at the front end of the reflow process and can inspect the substrate. Meanwhile, the first and second AOI devices 222 and 224 may be used by disposing substantially the same devices at the front end and the rear end of the reflow process, respectively. It can also be used before and after.

図8に示されたブロック矢印は前記SPI210、前記第1AOI装置222及び前記第2AOI装置224を経る基板の流れを示す。   The block arrows shown in FIG. 8 indicate the flow of the substrate through the SPI 210, the first AOI device 222, and the second AOI device 224.

以下、前記基板検査装置システム202をより具体的に説明する。   Hereinafter, the substrate inspection apparatus system 202 will be described in more detail.

前記SPI装置210は基板上に塗布されたソルダペーストの第1の3次元情報を獲得し、前記第1の3次元情報に基づいて既設定された第1許容範囲に従って前記ソルダペーストの不良可否を検査する。前記SPI装置210は図1及び図2に示されたSPI装置110と実質的に同一であるので、重複される詳細な説明は省略する。   The SPI device 210 obtains first three-dimensional information of the solder paste applied on the substrate, and determines whether the solder paste is defective according to a first allowable range set based on the first three-dimensional information. inspect. Since the SPI device 210 is substantially the same as the SPI device 110 shown in FIGS. 1 and 2, a detailed description thereof is omitted.

一方、前記第1の3次元情報はソルダペーストが形成されるべき位置から離れた程度を示すソルダペーストのオフセット情報を含んでいてもよい。これとは異なり、前記第1の3次元情報は単純にソルダペーストが形成されたソルダペーストの位置情報であってもよい。前記ソルダペーストのオフセット情報及び前記ソルダペーストの位置情報は前記ソルダペーストの形状情報から獲得されてもよい。   On the other hand, the first three-dimensional information may include solder paste offset information indicating a degree away from a position where the solder paste is to be formed. Unlike this, the first three-dimensional information may simply be the position information of the solder paste on which the solder paste is formed. The solder paste offset information and the solder paste position information may be obtained from the shape information of the solder paste.

前記第1AOI装置222は前記ソルダペーストが塗布された基板上に搭載される電子部品の搭載の不良可否の検査のための3次元情報を獲得するものの、リフロー過程を遂行した後測定された第2の3次元情報を獲得し、前記第2の3次元情報に基づいて既設定された第2許容範囲に従って前記電子部品搭載の不良可否を検査する。前記AOI装置222は図3に示されたAOI装置220と実質的に同一であるので、重複される詳細な説明は省略する。   The first AOI device 222 acquires three-dimensional information for inspecting whether or not the electronic component mounted on the substrate coated with the solder paste is defective, but the second AOI device 222 is measured after performing the reflow process. 3D information is acquired, and whether or not the electronic component is defective is inspected according to a second allowable range set based on the second 3D information. Since the AOI device 222 is substantially the same as the AOI device 220 shown in FIG. 3, a detailed description thereof is omitted.

一方、前記第2の3次元情報は、前記電子部品を搭載しリフロー工程を遂行した後、前記電子部品が装着されるべき位置から離れた程度を示す電子部品の後−オフセット情報を含んでいてもよい。これとは異なり、前記第2の3次元情報は単純に電子部品が装着された電子部品の後−位置情報であってもよい。前記電子部品の後−オフセット情報や前記電子部品の後−位置情報は前記電子部品の形状情報(例えば、既入力受けたキャドデータまたは電子部品搭載装置から伝達受けた電子部品搭載情報など)から獲得されてもよい。   On the other hand, the second three-dimensional information includes post-offset information of the electronic component indicating a degree away from a position where the electronic component is to be mounted after the electronic component is mounted and the reflow process is performed. Also good. In contrast to this, the second three-dimensional information may simply be rear-position information of the electronic component on which the electronic component is mounted. The post-offset information of the electronic component and the post-position information of the electronic component are obtained from the shape information of the electronic component (for example, cad data already received or electronic component mounting information received from the electronic component mounting device) May be.

前記第2AOI装置224はソルダペーストが塗布された状態の基板に電子部品が搭載された状態で前記リフロー過程を遂行する前に測定された第3次元情報を獲得し、前記第3の3次元情報に基づいて既設定された第3次元情報に従って前記電子部品の搭載の不良可否を検査する。前記第2AOI装置224は前記第1AOI222装置と実質的に同一の装置が採用されてもよい。   The second AOI device 224 obtains third dimension information measured before performing the reflow process in a state where an electronic component is mounted on a substrate on which a solder paste is applied, and the third three-dimensional information is obtained. In accordance with the already set third dimension information based on the above, whether or not the electronic component is mounted is inspected. The second AOI device 224 may be substantially the same device as the first AOI 222 device.

一方、前記第3の3次元情報は、前記電子部品を搭載しリフロー工程を遂行する前、前記電子部品が搭載されるべき位置から離れた程度を示す電子部品の前−オフセット情報を含んでいてもよい。これとは異なり、前記第3の3次元情報は単純に電子部品が搭載された電子部品の前−位置情報であってもよい。前記電子部品の前−オフセット情報や前記電子部品の前−位置情報は前記電子部品の形状情報(例えば、既入力受けたキャドデータまたは電子部品搭載装置から伝達受けた電子部品搭載情報など)から獲得されてもよい。   On the other hand, the third three-dimensional information includes pre-offset information of the electronic component indicating a degree away from a position where the electronic component is to be mounted before the electronic component is mounted and the reflow process is performed. Also good. Unlike this, the third three-dimensional information may simply be front-position information of an electronic component on which the electronic component is mounted. The electronic component front-offset information and the electronic component front-position information are obtained from the shape information of the electronic component (for example, CAD data already received or electronic component mounting information transmitted from the electronic component mounting device). May be.

前記データベース230は前記SPI装置210の第1の3次元情報、前記第1AOI装置222の第2の3次元情報及び前記第2AOI装置224の第3の3次元情報を貯蔵する。   The database 230 stores the first three-dimensional information of the SPI device 210, the second three-dimensional information of the first AOI device 222, and the third three-dimensional information of the second AOI device 224.

前記アラーム発生装置240は前記データベース230から前記第1の3次元情報、前記第2の3次元情報及び前記第3の3次元情報の伝達を受けて、前記第1、第2及び第3の3次元情報のうちいずれか一つの情報が既設定された許容範囲を離れる場合残りの情報のうち少なくとも一つの許容範囲を修正するようにアラームメッセージを発生させる。   The alarm generator 240 receives the first three-dimensional information, the second three-dimensional information, and the third three-dimensional information from the database 230, and receives the first, second, and third 3 When any one of the dimension information leaves the preset allowable range, an alarm message is generated so as to correct at least one allowable range of the remaining information.

一実施例として、前記アラーム発生装置240は前記第3の3次元情報が前記第3許容範囲を離れる場合前記第1許容範囲を修正するようにアラームメッセージを発生させSPI装置210に伝送させることができる。   As an example, when the third three-dimensional information leaves the third allowable range, the alarm generating device 240 generates an alarm message so as to correct the first allowable range and transmits the alarm message to the SPI device 210. it can.

例えば、前記第1の3次元情報が第1許容範囲内に存在してソルダペーストの形成が良好と判断された場合でも、前記第3の3次元情報が第3許容範囲の外に存在するようになってリフロー工程の前の前記電子部品の搭載状態が不良として判断される場合には、前記アラームメッセージを発生させることで前記第1許容範囲をより狭い範囲に修正するようにSPI装置210及び前記SPI装置210運用者に情報を提供することができる。   For example, even when the first three-dimensional information exists within the first allowable range and the formation of the solder paste is determined to be good, the third three-dimensional information seems to exist outside the third allowable range. When the mounting state of the electronic component before the reflow process is determined as defective, the SPI device 210 and the SPI device 210 and the first allowable range are corrected to be narrower by generating the alarm message. Information can be provided to an operator of the SPI device 210.

一実施例として、前記アラーム発生装置240は前記データベース230からソルダペーストのオフセット情報及びリフロー工程前の電子部品の前−オフセット情報の伝達を受けて、前記電子部品の前−オフセット情報が前記第3許容範囲を離れる場合前記第1許容範囲を修正するようにアラームメッセージを発生させることができる。   In one embodiment, the alarm generator 240 receives the solder paste offset information and the pre-offset information of the electronic component before the reflow process from the database 230, and the electronic component pre-offset information is the third information. An alarm message can be generated to correct the first tolerance range when leaving the tolerance range.

これとは異なり、前記アラーム発生装置240は前記第2の3次元情報が前記第2許容範囲を離れる場合前記第3許容範囲を修正するようにアラームメッセージを発生させることもできる。   On the other hand, the alarm generator 240 may generate an alarm message so as to correct the third allowable range when the second three-dimensional information leaves the second allowable range.

例えば、前記第3の3次元情報が前記第3許容範囲内に存在してリフロー工程前の前記基板上に搭載された電子部品の状態が良好と判断された場合でも、前記第2の3次元情報が第2許容範囲の外に存在するようになってリフロー工程の後の前記電子部品の搭載状態が不良と判断される場合には、前記アラームメッセージを発生させることで前記第3許容範囲をより狭い範囲に修正するように第2SOI装置224及び前記第2AOI装置224運用者に情報を提供することができる。   For example, even if it is determined that the state of the electronic component mounted on the substrate before the reflow process is good because the third three-dimensional information exists within the third tolerance, the second three-dimensional If the information is present outside the second tolerance range and the electronic component is not properly mounted after the reflow process, the alarm message is generated to set the third tolerance range. Information can be provided to the operator of the second SOI device 224 and the second AOI device 224 so as to correct to a narrower range.

一実施例として、前記アラーム発生装置240は前記データベース230からリフロー工程前の前記電子部品の前−オフセット情報及びリフロー工程の後の前記電子部品の後−オフセット情報の伝達を受けて、前記電子部品の後−オフセット情報が前記第2許容範囲を離れる場合前記第3許容範囲を修正するようにアラームメッセージを発生させることができる。   In one embodiment, the alarm generator 240 receives from the database 230 the pre-offset information of the electronic component before the reflow process and the post-offset information of the electronic component after the reflow process. If the post-offset information leaves the second tolerance range, an alarm message can be generated to modify the third tolerance range.

図9は図8の基板検査装置システムがアラームメッセージを発生させる一実施例を示す概念図である。   FIG. 9 is a conceptual diagram showing an embodiment in which the substrate inspection apparatus system of FIG. 8 generates an alarm message.

図9においてX−Y座標計はオフセットを示し、円点はソルダペーストまたは電子部品が全く捩れのない場合を示す。図9において、一実施例として、第1許容範囲TL1、第2許容範囲TL2及び第3許容範囲TL3は全部同一である。   In FIG. 9, an XY coordinate meter indicates an offset, and a circle indicates a case where the solder paste or the electronic component is not twisted at all. In FIG. 9, as an example, the first allowable range TL1, the second allowable range TL2, and the third allowable range TL3 are all the same.

図9を参照すると、前記SPI装置210及び前記第2AOI装置224によって基板をそれぞれ検査した結果ソルダペーストのオフセットOSsp及び電子部品の前記オフセットOSPREはそれぞれ第1許容範囲TL1及び第3許容範囲TL3内で存在するが、前記第1AOI装置222によって基板を検査した結果電子部品の後−オフセットOSPostは第2許容範囲TL2を離れる。 Referring to FIG. 9, as a result of inspecting the substrate by the SPI device 210 and the second AOI device 224, the offset OS sp of the solder paste and the offset OS PRE of the electronic component are the first allowable range TL1 and the third allowable range TL3, respectively. The post-offset OS Post of the electronic component leaves the second allowable range TL2 as a result of inspecting the substrate by the first AOI device 222.

従って、前記SPI装置210及び前記第2AOI装置224によって良好と判断された基板でも前記第1AOI装置222によって不良と判断されたことがわかる。即ち、ソルダペーストの塗布位置及び電子部品の搭載位置が適切してソルダペーストの塗布及びリフロー工程前の電子部品の搭載が良好と判断された場合にも、実際に、リフロー工程後の電子部品の形態が適切して前記電子部品の搭載は不良と判断され得る。   Therefore, it can be seen that even the board determined to be good by the SPI device 210 and the second AOI device 224 is determined to be defective by the first AOI device 222. That is, even if it is determined that the solder paste application position and the electronic component mounting position are appropriate and the solder paste application and the electronic component mounting before the reflow process are good, the electronic component after the reflow process is actually mounted. It can be determined that the form is appropriate and the electronic component is not properly mounted.

この場合、前記アラーム発生装置240は前記データベース230から前記電子部品の前−オフセットOSPRE情報及び前記電子部品の後−オフセットOSPost情報の伝達を受けて、前記電子部品の後−オフセットOSPost情報が前記第2許容範囲TL2を離れる場合アラームメッセージを発生させて第2AOI装置224に伝送させることで、前記第3許容範囲TL3をより狭い範囲である修正−第3許容範囲TL3’に修正するようにすることができる。 In this case, the alarm generator 240 receives the electronic component front-offset OS PRE information and the electronic component rear-offset OS Post information from the database 230, and the electronic component rear-offset OS Post information. When the user leaves the second allowable range TL2, an alarm message is generated and transmitted to the second AOI device 224 so that the third allowable range TL3 is corrected to a narrower range-a third allowable range TL3 '. Can be.

一方、前記修正作業は、既設定された値分だけ段階別に行われる。また、前記修正作業は、前記第2AOI装置224で自動制御できるようにするか、使用者に情報を提供することで、使用者が直接制御することもできる。   On the other hand, the correction operation is performed step by step by the set value. In addition, the correction operation can be controlled automatically by the second AOI device 224 or directly by the user by providing information to the user.

このように、前記第3許容範囲TL3を修正−第3許容範囲TL3’に修正すると、前記第1AOI装置222においての不良基板発生率を事前に防止することができる。   As described above, when the third allowable range TL3 is corrected to the third corrected allowable range TL3 ', the defective substrate generation rate in the first AOI device 222 can be prevented in advance.

前記のような基板検査装置システムによると、SPI装置とAOI装置でそれぞれ3次元情報を獲得し獲得されたそれぞれの3次元情報を互いに交換することで、SPI装置とAOI装置との間に検査結果を共有することができる。   According to the substrate inspection apparatus system as described above, the inspection result is obtained between the SPI apparatus and the AOI apparatus by acquiring the three-dimensional information by the SPI apparatus and the AOI apparatus and exchanging the acquired three-dimensional information with each other. Can be shared.

具体的に、SPI装置及びAOI装置でソルダペーストの3次元情報及びソルダージョイントの3次元情報をそれぞれ獲得し、獲得された3次元情報を互いに交換していずれか一つの検査結果を他の検査に活用することで、量装置の検査条件をより効果的な検査条件に修正することができる。   Specifically, 3D information of solder paste and 3D information of solder joint are respectively acquired by the SPI device and the AOI device, and the acquired 3D information is exchanged with each other, and any one inspection result is used for another inspection. By utilizing, the inspection conditions of the quantity device can be corrected to more effective inspection conditions.

また、SPI装置とAOI装置の3次元情報結果をデータベースに貯蔵し、アラーム発生装置が前記データベースから3次元情報の伝達を受けていずれか一つの検査結果が許容範囲を離れる場合他の検査にアラームメッセージを発生させることで、自動または受動に検査条件をより効果的に修正することができる。   In addition, the 3D information result of the SPI device and the AOI device is stored in a database, and when the alarm generating device receives the 3D information from the database and any one test result leaves the allowable range, an alarm is given to another test. By generating a message, the inspection condition can be corrected more effectively automatically or passively.

即ち、SPI装置とAOI装置と間の連動を通じて各装置から獲得された検査結果情報を互いに交換することで、各装置に設定された不良可否許容範囲を狭くしたり広くするなどの柔軟な調節を遂行して、SPI及びAOI検査の際発生できる多様な 仮性エラーを画期的に減少させることができるという利点がある。   In other words, by exchanging the inspection result information acquired from each device through the linkage between the SPI device and the AOI device, flexible adjustment such as narrowing or widening the tolerance range set for each device is possible. There is an advantage that various pseudo errors that can occur during the SPI and AOI inspections can be dramatically reduced.

以上、本発明の実施例によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者であれば、本発明の思想と精神を離れることなく、本発明を修正または変更できる。   As described above, the embodiments of the present invention have been described in detail. However, the present invention is not limited thereto, and those who have ordinary knowledge in the technical field to which the present invention belongs can be used without departing from the spirit and spirit of the present invention. The present invention can be modified or changed.

100、102、200、202:基板検査装置システム
110、112、210:SPI装置
120:電子部品搭載装置
130、132、220:AOI装置
140、150:情報伝達部
222:第1AOI装置
224:第2AOI装置
230:データベース
240:アラーム発生装置
100, 102, 200, 202: Board inspection system 110, 112, 210: SPI device 120: Electronic component mounting device 130, 132, 220: AOI device 140, 150: Information transmission unit 222: First AOI device 224: Second AOI Device 230: Database 240: Alarm generator

Claims (14)

基板上に塗布されたソルダペーストの第1の3次元情報を獲得し、前記第1の3次元情報に基づいて既設定された第1許容範囲に従ってソルダペーストの不良可否を検査する第1装置と、
前記ソルダペーストが塗布された基板上に電子部品と前記ソルダペーストとが互いに接合するように前記電子部品を搭載する第2装置と、
前記電子部品と前記ソルダペーストとが接合するソルダージョイントの第2の3次元情報を獲得し、前記第2の3次元情報に基づいて既設定された第2許容範囲に従って前記電子部品搭載の不良可否を検査する第3装置と、
前記ソルダペーストの第1の3次元情報を前記第3装置に伝達するか、前記ソルダージョイントの第2の3次元情報を前記第1装置に伝達する情報伝達部と、
を含むことを特徴とする基板検査装置システム。
A first apparatus for acquiring first three-dimensional information of a solder paste applied on a substrate and inspecting whether or not the solder paste is defective according to a first allowable range set based on the first three-dimensional information; ,
A second device for mounting the electronic component on the substrate coated with the solder paste so that the electronic component and the solder paste are bonded to each other;
Obtaining second three-dimensional information of a solder joint where the electronic component and the solder paste are joined, and determining whether or not the electronic component is defective according to a second allowable range set based on the second three-dimensional information A third device for inspecting
Transmitting the first three-dimensional information of the solder paste to the third device, or transmitting the second three-dimensional information of the solder joint to the first device;
A substrate inspection apparatus system comprising:
前記ソルダージョイントの第2の3次元情報は前記ソルダージョイントの形状情報を含み、
前記第1装置は前記情報伝達部から伝達された前記ソルダージョイントの形状情報を用いて前記第1許容範囲を修正することを特徴とする請求項1に記載の基板検査装置システム。
The second three-dimensional information of the solder joint includes shape information of the solder joint,
The substrate inspection apparatus system according to claim 1, wherein the first apparatus corrects the first allowable range by using shape information of the solder joint transmitted from the information transmission unit.
前記ソルダペーストの嵩情報が前記第1許容範囲に含まれる場合として、前記ソルダージョイントの形状から抽出された曲率が前記第2許容範囲に含まれない場合、前記第1許容範囲は既設定された値分だけさらに狭く修正されることを特徴とする請求項2に記載の基板検査装置システム。   When the curvature information extracted from the shape of the solder joint is not included in the second allowable range, the first allowable range is already set as the bulk information of the solder paste is included in the first allowable range. The substrate inspection apparatus system according to claim 2, wherein the correction is performed more narrowly by a value. 前記ソルダージョイントの形状から抽出された曲率が前記第2許容範囲に含まれる場合、前記第1許容範囲は既設定された値分だけさらに広く修正されることを特徴とする請求項2に記載の基板検査装置システム。   3. The method according to claim 2, wherein when the curvature extracted from the shape of the solder joint is included in the second allowable range, the first allowable range is further broadened by a preset value. Board inspection system. 前記ソルダペーストの第1の3次元情報は前記ソルダペーストの嵩情報を含み、
前記第3装置は前記情報伝達部から伝達された前記ソルダペーストの嵩情報を用いて前記第2許容範囲を修正することを特徴とする請求項1に記載の基板検査装置システム。
The first three-dimensional information of the solder paste includes bulk information of the solder paste,
The substrate inspection apparatus system according to claim 1, wherein the third apparatus corrects the second allowable range using bulk information of the solder paste transmitted from the information transmission unit.
基板上に塗布されたソルダペーストの第1の3次元情報を獲得し、前記第1の3次元情報に基づいて既設定された第1許容範囲に従って前記ソルダペーストの不良可否を検査する第1装置と、
前記ソルダペーストが塗布された基板上に電子部品と前記ソルダペーストとが互いに接合するように前記電子部品を搭載する第2装置と、
前記電子部品と前記ソルダペーストとが接合するソルダージョイントの第2の3次元情報を獲得し、前記第2の3次元情報に基づいて既設定された第2許容範囲に従って前記電子部品搭載の不良可否を検査する第3装置と、
前記ソルダペーストの第1の3次元情報を前記第3装置に伝達するか、前記ソルダージョイントの第2の3次元情報を前記第1装置に伝達する情報伝達部と、
を含み、
前記第1装置は前記情報伝達部から伝達された前記第2の3次元情報を用いて前記第1許容範囲を修正するか、前記第3装置は前記情報伝達部から伝達された前記第1の3次元情報を用いて前記第2許容範囲を修正することを特徴とする基板検査装置システム。
A first apparatus for acquiring first three-dimensional information of a solder paste applied on a substrate and inspecting whether or not the solder paste is defective according to a preset first allowable range based on the first three-dimensional information When,
A second device for mounting the electronic component on the substrate coated with the solder paste so that the electronic component and the solder paste are bonded to each other;
Obtaining second three-dimensional information of a solder joint where the electronic component and the solder paste are joined, and determining whether or not the electronic component is defective according to a second allowable range set based on the second three-dimensional information A third device for inspecting
Transmitting the first three-dimensional information of the solder paste to the third device, or transmitting the second three-dimensional information of the solder joint to the first device;
Including
The first device corrects the first allowable range using the second three-dimensional information transmitted from the information transmission unit, or the third device transmits the first information transmitted from the information transmission unit. A substrate inspection apparatus system, wherein the second allowable range is corrected using three-dimensional information.
基板上に塗布されたソルダペーストの第1の3次元情報を獲得し、前記第1の3次元情報に基づいて既設定された第1許容範囲に従って前記ソルダペーストの不良可否を検査する段階と、
前記ソルダペーストが塗布された基板上に電子部品と前記ソルダペーストとが互いに接合するように前記電子部品を搭載する段階と、
前記電子部品と前記ソルダペーストとが接合するソルダージョイントの第2の3次元情報を獲得し、前記第2の3次元情報に基づいて既設定された第2許容範囲に従って前記電子部品搭載の不良可否を検査する段階と、
前記ソルダペーストの第1の3次元情報と、前記ソルダージョイントの第2の3次元情報に基づいて前記第1許容範囲及び前記第2許容範囲のうち少なくとも一つを修正する段階と、
を含むことを特徴とする基板検査方法。
Obtaining first three-dimensional information of the solder paste applied on the substrate, and inspecting whether the solder paste is defective according to a first allowable range set based on the first three-dimensional information;
Mounting the electronic component such that the electronic component and the solder paste are bonded to each other on a substrate coated with the solder paste;
Obtaining second three-dimensional information of a solder joint where the electronic component and the solder paste are joined, and determining whether or not the electronic component is defective according to a second allowable range set based on the second three-dimensional information Inspecting, and
Modifying at least one of the first tolerance range and the second tolerance range based on the first three-dimensional information of the solder paste and the second three-dimensional information of the solder joint;
A substrate inspection method comprising:
基板上に塗布されたソルダペーストの第1の3次元情報を獲得し、前記第1の3次元情報に基づいて既設定された第1許容範囲に従って前記ソルダペーストの不良可否を検査する第1装置と、
前記ソルダペーストが塗布された基板上に搭載される電子部品の搭載の不良可否の検査のための第2の3次元情報を獲得し、前記第2の3次元情報に基づいて既設定された第2許容範囲に従って前記電子部品搭載の不良可否を検査する第2装置と、
前記第1装置の第1の3次元情報及び前記第2装置の第2の3次元情報を貯蔵するデータベースと、
前記データベースから前記第1の3次元情報及び前記第2の3次元情報の伝達を受けて、前記第2の3次元情報が前記第2許容範囲を離れる場合前記第1許容範囲を修正するようにアラームメッセージを発生させるアラーム発生装置と、
を含むことを特徴とする基板検査装置システム。
A first apparatus for acquiring first three-dimensional information of a solder paste applied on a substrate and inspecting whether or not the solder paste is defective according to a preset first allowable range based on the first three-dimensional information When,
Second 3D information for inspecting whether or not an electronic component to be mounted on the substrate to which the solder paste is applied is inspected is acquired, and a second preset is set based on the second 3D information. A second device for inspecting whether or not the electronic component is defective according to two tolerances;
A database storing first three-dimensional information of the first device and second three-dimensional information of the second device;
In response to the transmission of the first three-dimensional information and the second three-dimensional information from the database, the first allowable range is modified when the second three-dimensional information leaves the second allowable range. An alarm generating device for generating an alarm message;
A substrate inspection apparatus system comprising:
前記第1の3次元情報は前記ソルダペーストの嵩情報を含み、前記第2の3次元情報は前記ソルダペーストと前記電子部品との間の接合度を定量化したソルダージョイントのスコア情報を含み、
前記アラーム装置は前記データベースから前記ソルダペーストの嵩情報及び前記ソルダージョイントのスコア情報の伝達を受けて、前記ソルダージョイントのスコア情報が前記第2許容範囲を離れる場合前記第1許容範囲を修正するように前記アラームメッセージを発生させることを特徴とする請求項8に記載の基板検査装置システム。
The first three-dimensional information includes bulk information of the solder paste, and the second three-dimensional information includes score information of a solder joint obtained by quantifying the degree of bonding between the solder paste and the electronic component,
The alarm device receives the volume information of the solder paste and the score information of the solder joint from the database, and corrects the first allowable range when the score information of the solder joint leaves the second allowable range. 9. The substrate inspection apparatus system according to claim 8, wherein the alarm message is generated at a time.
前記ソルダペーストは前記電子部品に対応して少なくとも2つの地点で塗布され、
前記第1の3次元情報は前記2つの地点それぞれに対する前記ソルダペーストの嵩の間の差異である嵩差情報を含み、前記第2の3次元情報は前記電子部品が水平に対して傾いた程度を示す同一平面性情報を含み、
前記アラーム発生装置は前記データベースから前記嵩差情報及び前記同一平面性情報の伝達を受けて、前記同一平面性情報が前記第2許容範囲を離れる場合前記第1許容範囲を修正するように前記アラームメッセージを発生させることを特徴とする請求項8に基板の基板検査装置システム。
The solder paste is applied at at least two points corresponding to the electronic component,
The first three-dimensional information includes bulk difference information that is a difference between the bulks of the solder paste with respect to each of the two points, and the second three-dimensional information includes a degree to which the electronic component is inclined with respect to the horizontal. Including coplanarity information indicating
The alarm generator receives the difference information and the coplanarity information from the database, and corrects the first permissible range when the coplanarity information leaves the second permissible range. 9. A substrate inspection apparatus system for a substrate according to claim 8, wherein a message is generated.
前記第2装置は、前記電子部品が前記基板上に配置された後、リフロー過程前に前記電子部品配置不良可否検査のための第3の3次元情報を獲得し、前記第3の3次元情報に基づいて既設定された第3許容範囲に従って前記電子部品搭載の不良可否を検査し、
前記データベースは前記第3の3次元情報を貯蔵し、
前アラーム発生装置は、前記データベースから前記第2の3次元情報及び前記第3の3次元情報の伝達を受けて、前記第2の3次元情報が前記第2許容範囲を離れる場合前記第3許容範囲を修正するようにアラームメッセージを発生させることを特徴とする請求項8に記載の基板検査装置システム。
The second device acquires third three-dimensional information for checking whether or not the electronic component is defective before the reflow process after the electronic component is placed on the substrate, and the third three-dimensional information. Inspecting whether or not the electronic component is defective according to the third tolerance set based on
The database stores the third three-dimensional information;
The previous alarm generation device receives the second three-dimensional information and the third three-dimensional information from the database, and when the second three-dimensional information leaves the second allowable range, 9. The substrate inspection system according to claim 8, wherein an alarm message is generated so as to correct the range.
基板上に塗布されたソルダペーストの第1の3次元情報を獲得し、前記第1の3次元情報に基づいて既設定された第1許容範囲に従って前記ソルダペーストの不良可否を検査するSPI装置と、
リフロー過程以後、前記電子部品の搭載状態に対する第2の3次元情報を獲得し、前記第2の3次元情報に基づいて既設定された第2許容範囲に従って前記電子部品の搭載不良可否を検査する第1AOI装置と、
前記リフロー過程前に前記電子部品の搭載状態に対する第3の3次元情報を獲得し、前記第3の3次元情報に基づいて既設定された第3許容範囲に従って前記電子部品の搭載不良可否を検査する第2AOI装置と、
前記SPI装置の第1の3次元情報及び前記AOI装置の第2及び第3の3次元情報を貯蔵するデータベースと、
前記データベースから前記第1の3次元情報、前記第2の3次元情報及び前記第3の3次元情報の伝達を受けて、前記第1、第2及び第3の3次元情報のうちいずれか一つの情報が既設定された許容範囲を離れる場合残りの情報のうち少なくとも一つの許容範囲を修正するようにアラームメッセージを発生させるアラーム発生装置と、
を含むことを特徴とする基板検査装置システム。
An SPI device for acquiring first three-dimensional information of a solder paste applied on a substrate and inspecting whether or not the solder paste is defective according to a first allowable range set based on the first three-dimensional information; ,
After the reflow process, second 3D information on the mounting state of the electronic component is obtained, and whether or not the electronic component is defective is inspected according to a second allowable range set based on the second 3D information. A first AOI device;
Before the reflow process, the third three-dimensional information about the mounting state of the electronic component is acquired, and the electronic component is checked for mounting failure according to a third allowable range set based on the third three-dimensional information. A second AOI device,
A database for storing first three-dimensional information of the SPI device and second and third three-dimensional information of the AOI device;
One of the first, second, and third three-dimensional information is received in response to the transmission of the first three-dimensional information, the second three-dimensional information, and the third three-dimensional information from the database. An alarm generating device for generating an alarm message so as to correct at least one of the remaining information when one information leaves a set allowable range; and
A substrate inspection apparatus system comprising:
前記第1の3次元情報は前記ソルダペーストが形成されるべき位置から離れた程度を表すソルダペーストのオフセット情報を含み、前記第3の3次元情報は前記電子部品を搭載しリフロー工程を遂行する前、前記電子部品が搭載されるべき位置から離れた程度を表す電子部品の前−オフセット情報を含み、
前記アラーム発生装置は、前記データベースから前記ソルダペーストのオフセット情報及び前記前−オフセット情報の伝達を受けて、前記前−オフセット情報が前記第3許容範囲を離れる場合前記第1許容範囲を修正するようにアラームメッセージを発生させることを特徴とする請求項12に記載の基板検査装置システム。
The first three-dimensional information includes solder paste offset information indicating a degree away from a position where the solder paste is to be formed, and the third three-dimensional information mounts the electronic component and performs a reflow process. Before, including electronic component front-offset information representing a degree away from a position where the electronic component is to be mounted;
The alarm generation device receives the transmission of the offset information of the solder paste and the previous-offset information from the database, and corrects the first allowable range when the previous-offset information leaves the third allowable range. The board inspection apparatus system according to claim 12, wherein an alarm message is generated.
前記第2の3次元情報は前記電子部品を搭載しリフロー工程を遂行した後前記電子部品が装着されるべき位置から離れた程度を表す電子部品の後−オフセット情報を含み、前記第3の3次元情報は前記電子部品を搭載しリフロー工程を遂行する前に、前記電子部品が搭載されるべき位置から離れた程度を表す電子部品の前−オフセット情報を含み、
前記アラーム発生装置は、前記データベースから前記前−オフセット情報及び前記後−オフセット情報の伝達を受けて、前記後−オフセット情報が前記第2許容範囲を離れる場合前記第3許容範囲を修正するようにアラームメッセージを発生させることを特徴とする請求項12に記載の基板検査装置システム。
The second three-dimensional information includes post-offset information of the electronic component indicating a degree away from a position where the electronic component is to be mounted after the electronic component is mounted and a reflow process is performed. The dimension information includes pre-offset information of the electronic component representing a degree away from a position where the electronic component is to be mounted before the electronic component is mounted and the reflow process is performed.
The alarm generation device receives the transmission of the front-offset information and the rear-offset information from the database, and corrects the third allowable range when the rear-offset information leaves the second allowable range. The substrate inspection apparatus system according to claim 12, wherein an alarm message is generated.
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