JP2014093396A - レーザ電源装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザダイオードにLD駆動電流を供給するレーザ電源ユニット3と、LD駆動電流の値およびレーザダイオードから出力されたレーザ光の強度をそれぞれ検出してパワーモニタ信号として出力するパワーモニタユニット5と、パワーモニタ信号に基づいてレーザ電源ユニット3の出力を制御する制御ユニット6とを有するレーザ電源装置1において、パワーモニタユニット5は、LD駆動電流値またはレーザ光の強度のうちの少なくとも一方の異常値を検出した場合、LD駆動電流の供給を停止する停止指令信号をレーザ電源ユニット3に出力し、レーザ電源ユニット3は、停止指令信号に基づいてLD駆動電流の供給を停止する。
【選択図】図1
Description
電磁開閉器2をONにしてレーザ電源ユニット3に通電すると、レーザ電源ユニット3が制御ユニット6からの運転指令(電流値指示信号)を受けて所定の大きさのLD駆動電流をレーザダイオードユニット4に出力する。具体的には、入力回路11によって電磁開閉器2からの3相交流の入力を受け、平滑回路によって交流を平滑し、最終段の出力ゲート回路12によって所定の大きさに生成されたLD駆動電流をファイバレーザ発振ユニット4に供給する。
運転開始時より、電流検出センサ21によるLD駆動電流の検出と、両フォトセンサ23a、23bによるレーザ光FBの強度の検出とによる監視が開始されるとともに運転が終了するまで継続される。
LD駆動電流の大きさおよびレーザ光FBの強度がそれぞれ正常値である場合には、電流検出センサ21を用いたカレントフィードバックモードの運転と、両フォトセンサ23a、23bを用いたパワーフィードバックモードの運転とが実行される。
電流検出センサ21によって検出され電流検出回路22によって算出されたLD駆動電流の電流測定値は、比較器26において、たとえば待機電流値や緩和発信設定電流値等の基準値と比較され、基準値より大きい場合に比較電流値がアラーム判定回路27に出力される。この基準値と比較することにより定常運転時のみにおけるカレントフィードバックモードの運転を可能としている。続いて、アラーム判定回路27においては、異常値となる過電流値より低い正常値の比較電流値の入力があると、そのままLD電源外部アラーム回路29に出力する。LD電源外部アラーム回路29は正常値を示す比較電流値をそのままパワーモニタ信号PMSとしてレーザ電源ユニット3のフィードバック制御回路14に対してフィードバック信号として出力するとともに、フィードバック制御回路14を通して制御ユニット6に対してモニタ信号として出力する。続いて、制御ユニット6からも、レーザ電源ユニット3のフィードバック制御回路14に対して、検出されたLD駆動電流値をあらかじめ設定した設定電流値に補正する指令(電流値指示信号)が送られて適正なLD駆動電流値がファイバレーザ発振ユニット4へ出力される。以後、この運転が継続される。
一方のフォトセンサ23bによって検出され、モニタ検出回路24bで得られたレーザ出力測定値は、比較器30において、たとえばレーザ光FBとしての設定出力値より若干低い値からなる基準値と比較され、基準値より大きい場合に比較レーザ出力値がアラーム判定回路27に出力される。この基準値と比較することにより定常運転時のみにおけるパワーフィードバックモードの運転を可能としている。続いて、アラーム判定回路27においては、異常値となる過剰なレーザ光の強度を示す値より低い正常値の比較レーザ出力値の入力があると、そのままLD電源外部アラーム回路29に出力する。LD電源外部アラーム回路29は正常値を示す比較レーザ出力値をそのままパワーモニタ信号PMSとしてレーザ電源ユニット3のフィードバック制御回路14に対してフィードバック信号として出力するとともに、フィードバック制御回路14を通して制御ユニット6に対してモニタ信号として出力する。続いて、制御ユニット6からも、レーザ電源ユニット3のフィードバック制御回路14に対して、検出されたレーザ出力測定値をあらかじめ設定した設定レーザ出力値に補正する指令(電流値指示信号)が送られて適正なLD駆動電流値がファイバレーザ発振ユニット4へ出力される。以後、この運転が継続される。
レーザダイオード9のON・OFFにかかわらずにパワーモニタが故障した場合や、正常運転時に異常が発生した場合には、次のようにしてレーザ電源ユニット3の電流供給を停止させる。
各フォトセンサ23a、23bおよび各モニタ検出回路24a、24bによって検出して得られた各レーザ出力測定値は、バランス検出回路28に入力されて、バランス検出回路28において双方のレーザ出力測定値の差分を常時取って監視を行っている。この差分としては、各レーザ出力測定値はあらかじめ設定した設定レーザ出力値になるものであるので、当該あらかじめ設定した設定レーザ出力値とするとよい。この監視中において、いずれかのフォトセンサ23a、23bが故障した場合、具体的にはバランス検出回路28において設定した差分の値が検出された場合に、バランス逸脱信号BSをLD電源外部アラーム回路29へ出力する。LD電源外部アラーム回路29は、バランス検出回路28からバランス逸脱信号BSが入力されと、レーザ電源ユニット3の運転を停止させるエラー信号ESをレーザ電源ユニット3の停止回路15に出力するとともに、中継ユニット8を通して公知の通信手段を利用して制御ユニット6へ直接出力する。このエラー信号ESの入力を受けたレーザ電源ユニット3は出力ゲート回路12のゲートを閉鎖してレーザ駆動電流の供給を緊急停止させる。中継ユニット8を通してエラー信号ESの入力を直接受けた制御ユニット6は、インターロックユニット7を通して公知の通信手段を利用して電磁開閉器2に対して遮断する指令(停止指令信号)を出力し、電磁開閉器2による電源遮断を実行してレーザ駆動電流の供給を緊急停止させることを確実に実行させる。さらに、制御ユニット6は、パワーモニタユニット5から停止回路15に対する直接的なエラー信号ESの送付が故障した場合のバックアップとして、レーザ電源ユニット3の停止回路15に対しても電流供給を停止する指令(停止指令信号)を出力し、レーザ駆動電流の供給を緊急停止させることを確実に実行させる。
カレントフィードバックモードの運転時において、過剰なLD駆動電流が供給されると電流検出センサ21、電流検出回路22および比較器26を通して出力される比較電流値が異常値となる。この異常な比較電流値の入力を受けたアラーム判定回路27はアラーム信号をLD電源外部アラーム回路29へ出力する。LD電源外部アラーム回路29は、アラーム判定回路27からアラーム信号が入力されると、レーザ電源ユニット3の運転を停止させるエラー信号ESをレーザ電源ユニット3の停止回路15に出力するとともに、中継ユニット8を介して制御ユニット6へ出力する。その後は前記のパワーモニタが故障した場合と同様にしてレーザ駆動電流の供給の緊急停止が迅速かつ確実に実行される。
パワーフィードバックモードの運転時において、レーザ光FBの強度が過剰に上昇すると、フォトセンサ23b、モニタ検出回路24bおよび比較器30を通して出力される比較レーザ出力測定値が異常値となる。この異常な比較レーザ出力測定値の入力を受けたアラーム判定回路27はアラーム信号をLD電源外部アラーム回路29へ出力する。LD電源外部アラーム回路29は、アラーム判定回路27からアラーム信号が入力されると、レーザ電源ユニット3の運転を停止させるエラー信号ESをレーザ電源ユニット3の停止回路15に出力するとともに、中継ユニット8を介して制御ユニット6へ出力する。その後は前記のパワーモニタが故障した場合と同様にしてレーザ駆動電流の供給の緊急停止が迅速かつ確実に実行される。
3 レーザ電源ユニット
4 レーザダイオードユニット
5 パワーモニタユニット
6 制御ユニット
21 電源検出センサ
22 電源検出回路
23a、23b フォトセンサ
24a、24b モニタ検出回路
27 アラーム判定回路
28 バランス検出回路
29 LD電源外部アラーム回路
Claims (4)
- レーザダイオードにLD駆動電流を供給するレーザ電源ユニットと、
前記LD駆動電流の値およびレーザダイオードから出力されたレーザ光の強度をそれぞれ検出してパワーモニタ信号として出力するパワーモニタユニットと、
前記パワーモニタ信号に示される前記LD駆動電流値および前記レーザ光の強度に基づいて前記レーザ電源ユニットの出力を制御する制御ユニットと
を有するレーザ電源装置において、
前記パワーモニタユニットが前記LD駆動電流値および前記レーザ光の強度のうちの少なくとも一方の異常値を検出した場合、当該パワーモニタユニットは前記LD駆動電流の供給を停止するエラー信号を前記レーザ電源ユニットに出力し、
当該レーザ電源ユニットは、前記エラー信号に基づいて前記LD駆動電流の供給を停止する
ことを特徴とするレーザ電源装置。 - 前記パワーモニタユニットは、前記レーザ電源ユニットにLD駆動電流の供給を停止するエラー信号を出力するとともに前記制御ユニットに直に前記エラー信号を出力することを特徴とする請求項1記載のレーザ電源装置。
- 前記パワーモニタユニットは、
前記LD駆動電流を検出して前記パワーモニタ信号の一部として出力する1組の電流検出センサおよび電流検出回路と、
前記レーザ光の強度を検出して前記パワーモニタ信号の一部として出力する少なくとも2組のフォトセンサおよびモニタ検出回路と、
前記LD駆動電流値および前記レーザ光の強度のうちの少なくとも一方が異常値である場合にアラーム信号を出力するアラーム判定回路と、
前記2組のモニタ検出回路から受信した前記レーザ光の強度を比較して閾値を越えている場合にバランス逸脱信号を出力するバランス検出回路と、
前記アラーム信号およびバランス逸脱信号のうちの少なくとも一方を受信した場合に前記エラー信号を出力するLD電源外部アラーム回路とを備えている
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のレーザ電源装置。 - 前記電流検出センサは前記LD駆動電流を検出して電流検出値を出力し、前記電流検出回路は前記電流検出センサから得られた電流検出値より前記LD駆動電流値を算出して出力するように形成されており、
前記フォトセンサは前記レーザ光の強度を検出して光強度検出値を出力し、前記モニタ検出回路は前記フォトセンサから得られた光強度検出値より前記レーザ光の強度を算出して出力するように形成されている
ことを特徴とする請求項3に記載のレーザ電源装置。
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