JP2014086236A - Light-emitting device, and electronic apparatus - Google Patents

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Shuichi Takei
周一 武井
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light-emitting device capable of repairing light emission defects caused by coating unevenness of a function layer and entry of foreign matters in a light-emitting element and the like, on appearance, and to provide an electronic apparatus having the light-emitting device.SOLUTION: A pixel electrode 31 provided on a light-transmissive substrate is divided into a first pixel electrode 31a placed on an outer peripheral side of the pixel electrode 31, and a second pixel electrode 31b placed inside a region surrounded with the first pixel electrode 31a. First connection wiring 61 provided between connection wiring 55 connected to a drain of a driving transistor 23 and the first pixel electrode 31a, and second connection wiring 64 provided between the connection wiring 55 and the second pixel electrode 31b, are provided. At least a part of the first connection wiring 61 and at least a part of the second connection wiring 64 are not shielded for the purpose of allowing light incoming from the substrate side to arrive at there. Accordingly, the part of the first connection wiring 61 or the part of the second connection wiring 64 can be cut by being irradiated with laser light.

Description

本発明は、画素に発光素子を備える発光装置、電子機器に関する。   The present invention relates to a light-emitting device and an electronic device each including a light-emitting element in a pixel.

近年、液晶装置などの受光型の表示装置に対して、自発光型の表示装置が注目されている。中でも、液晶装置よりも薄型化、小型化、省電力化が可能であるとして有機エレクトロルミネッセンス(EL)素子を画素ごとに備えた発光装置は、中小型な製品がスマートフォンなどに採用されている。さらには、大型な製品の開発も進行しており、薄型テレビなどへの採用も期待されている。
一方で、安定した製品供給を実現するには、製造工程における高い歩留まりを実現する必要があるのは言うまでもない。ところが、有機EL素子を形成する過程で、異物などが有機EL素子に混入すると、部分的に発光機能が低下して点欠陥が生ずる。また、異物によって電気的に短絡した有機EL素子を含む画素が生ずると、短絡した画素に集中的に電流が流れることで、他の画素の有機EL素子に電流が流れ難くなって、表示不具合が全体に影響することがあった。
In recent years, a self-luminous display device has attracted attention as compared with a light-receiving display device such as a liquid crystal device. Among them, as a light emitting device provided with an organic electroluminescence (EL) element for each pixel as being thinner, smaller, and more power-saving than a liquid crystal device, a medium-sized product is adopted for a smartphone or the like. In addition, development of large products is progressing, and it is expected to be used in flat-screen TVs.
On the other hand, it goes without saying that a high yield in the manufacturing process must be realized in order to realize a stable product supply. However, in the process of forming the organic EL element, if a foreign substance or the like is mixed into the organic EL element, the light emitting function is partially lowered to cause a point defect. In addition, when a pixel including an organic EL element that is electrically short-circuited due to a foreign object is generated, a current flows intensively to the short-circuited pixel, so that it is difficult for the current to flow to the organic EL element of another pixel. It could affect the whole.

そこで、これらの異物による不具合を不良とせずに実質的に回避する手段として、例えば、特許文献1には、陽極としての画素電極を平面的に複数に分割し、分割された画素電極のそれぞれが1つのドライブトランジスターと電気的に繋がる配線を有するアクティブマトリックス表示装置が開示されている。また、例えば、特許文献2には、1つの画素に複数の発光機能を有する副素子を形成し、副素子ごとに電流遮断部を有する有機ELディプレイが開示されている。
上記特許文献1及び特許文献2によれば、異物に起因する不具合が生じている画素電極に繋がる部分の配線や、上記電流遮断部にレーザー光を照射して切断することにより、不具合が発生している画素を修復可能としている。
Therefore, as a means for substantially avoiding defects caused by these foreign substances without being defective, for example, Patent Document 1 discloses that a pixel electrode as an anode is divided into a plurality of planes, and each of the divided pixel electrodes is divided into two. An active matrix display device having a wiring electrically connected to one drive transistor is disclosed. Further, for example, Patent Document 2 discloses an organic EL display in which subelements having a plurality of light emitting functions are formed in one pixel, and a current interrupting unit is provided for each subelement.
According to Patent Document 1 and Patent Document 2 described above, a defect occurs by irradiating a laser beam to a portion of a wiring connected to a pixel electrode in which a defect caused by a foreign substance has occurred, or the current interrupting part, and cutting. It is possible to repair the pixel.

特開2008−65200号公報JP 2008-65200 A 特開2009−76348号公報JP 2009-76348 A

有機EL素子は陽極と陰極との間に発光層を含む機能層を有しており、機能層の形成方法として、真空蒸着などの気相プロセス、塗布法などの液相プロセス、あるいはこれらを組み合わせた形成方法が開発されている。
上記特許文献1及び特許文献2によれば、画素を平面的に均等に分割したサブ発光素子あるいは副素子を形成している。したがって、液相プロセスに見られる塗布ムラなどの不具合に対応した画素の修復構造ではないという課題があった。換言すれば、機能層の形成プロセスに係らず、画素の修復が可能な画素構造が望まれている。
An organic EL element has a functional layer including a light emitting layer between an anode and a cathode. As a method for forming the functional layer, a vapor phase process such as vacuum deposition, a liquid phase process such as a coating method, or a combination thereof. Formation methods have been developed.
According to Patent Document 1 and Patent Document 2, sub-light-emitting elements or sub-elements are formed by dividing pixels evenly in a plane. Therefore, there has been a problem that the pixel repair structure is not compatible with defects such as coating unevenness seen in the liquid phase process. In other words, there is a demand for a pixel structure that can repair a pixel regardless of the formation process of the functional layer.

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.

[適用例1]本適用例に係る発光装置は、透光性の基板上に設けられた、トランジスターと、前記トランジスターのソースまたはドレインの一方に電気的に接続された電源線と、前記ソースまたは前記ドレインのうち他方に電気的に接続された画素電極と、前記画素電極に対向配置された対向電極と、前記画素電極と前記対向電極との間で少なくとも1層が塗布法で形成された、発光層を含む機能層と、を有する発光素子とを備え、前記画素電極は、前記画素電極の外周側に配置された第1画素電極と、前記第1画素電極により囲まれた領域の内側に配置された第2画素電極とに分割され、前記ソースまたは前記ドレインの他方と前記第1画素電極との間に設けられた第1接続用配線と、前記ソースまたは前記ドレインの他方と前記第2画素電極との間に設けられた第2接続用配線とを有し、前記第1接続用配線の少なくとも一部及び前記第2接続用配線の少なくとも一部は、前記基板側から入射する光が届くように遮光されていないことを特徴とする。   Application Example 1 A light-emitting device according to this application example includes a transistor provided on a light-transmitting substrate, a power supply line electrically connected to one of a source or a drain of the transistor, the source or A pixel electrode electrically connected to the other of the drains; a counter electrode disposed opposite to the pixel electrode; and at least one layer formed by a coating method between the pixel electrode and the counter electrode. A light emitting element having a functional layer including a light emitting layer, and the pixel electrode is disposed inside a region surrounded by a first pixel electrode disposed on an outer peripheral side of the pixel electrode and the first pixel electrode. A first connection wiring provided between the other of the source or the drain and the first pixel electrode, and the other of the source or the drain and the second Pixel And at least a part of the first connection wiring and at least a part of the second connection wiring reach the light incident from the substrate side. Thus, it is not shielded from light.

本適用例によれば、第1接続用配線の一部または第2接続用配線の一部にレーザー光を照射してこれを切断することにより、第1画素電極または第2画素電極を電気的に孤立させることができる。したがって、第1画素電極または第2画素電極が設けられた領域に発光が正常に行われない異物などや機能層の塗布ムラが生じていたとしても、第1画素電極または第2画素電極のいずれかを電気的に孤立させることで、発光素子における発光を正常な状態に近づけることができる。また、画素電極の外周側に第1画素電極が配置され、第2画素電極は第1画素電極により囲まれた領域に配置されている。したがって、機能層のうちの少なくとも1層を塗布法で形成したときに、機能層の塗布ムラは第1画素電極が設けられた外周側に発生し易いので、機能層の塗布ムラに起因して生じた不具合を電気的に修復可能な発光素子を備えた発光装置を提供することができる。   According to this application example, by irradiating a part of the first connection wiring or the second connection wiring with laser light and cutting it, the first pixel electrode or the second pixel electrode is electrically connected. Can be isolated. Therefore, even if foreign matter that does not emit light normally or uneven application of the functional layer occurs in the region where the first pixel electrode or the second pixel electrode is provided, either the first pixel electrode or the second pixel electrode By electrically isolating these, light emission in the light emitting element can be brought close to a normal state. In addition, the first pixel electrode is disposed on the outer peripheral side of the pixel electrode, and the second pixel electrode is disposed in a region surrounded by the first pixel electrode. Therefore, when at least one of the functional layers is formed by a coating method, uneven application of the functional layer is likely to occur on the outer peripheral side where the first pixel electrode is provided. A light-emitting device including a light-emitting element that can electrically repair a defect that has occurred can be provided.

[適用例2]上記適用例に係る発光装置において、前記第1画素電極の外縁と重なって形成され、前記画素電極上に開口部を構成する第1絶縁層を有し、前記第1接続用配線及び前記第2接続用配線は、前記第1絶縁層により覆われていることが好ましい。
この構成によれば、第1接続用配線の一部または第2接続用配線の一部にレーザー光を照射しても、第1接続用配線及び第2接続用配線は第1絶縁層により覆われているので、レーザー光による機能層の損傷を防ぐことができる。
Application Example 2 In the light emitting device according to the application example described above, the light emitting device includes a first insulating layer that overlaps with an outer edge of the first pixel electrode and forms an opening on the pixel electrode. It is preferable that the wiring and the second connection wiring are covered with the first insulating layer.
According to this configuration, even if a part of the first connection wiring or the second connection wiring is irradiated with laser light, the first connection wiring and the second connection wiring are covered with the first insulating layer. Therefore, damage to the functional layer due to laser light can be prevented.

[適用例3]上記適用例に係る発光装置において、前記第1絶縁層は、前記第1画素電極に接して形成された無機絶縁材料からなる下層絶縁層と、前記下層絶縁層上に形成された有機絶縁材料からなる上層絶縁層とを含むことを特徴とする。
この構成によれば、より確実にレーザー光による機能層の損傷を防ぐことができる。また、下層絶縁層と上層絶縁層とを組み合わせて画素電極を区画する隔壁として機能させ、隔壁によって囲まれた領域に塗布法で機能層のうちの少なくとも1層を選択的に形成することができる。これにより、例えば異なる発光色が得られる発光層の塗り分けが可能となる。
Application Example 3 In the light emitting device according to the application example, the first insulating layer is formed on the lower insulating layer made of an inorganic insulating material and in contact with the first pixel electrode, and on the lower insulating layer. And an upper insulating layer made of an organic insulating material.
According to this configuration, damage to the functional layer due to laser light can be prevented more reliably. In addition, the lower insulating layer and the upper insulating layer can be combined to function as partition walls for partitioning the pixel electrode, and at least one of the functional layers can be selectively formed by a coating method in a region surrounded by the partition walls. . Thereby, for example, it is possible to separately coat the light emitting layers from which different emission colors can be obtained.

[適用例4]上記適用例に係る発光装置において、前記第1画素電極により囲まれた領域で、前記第1画素電極と前記第2画素電極との隙間を埋める第2絶縁層を有することが好ましい。
この構成によれば、第1画素電極及び第2画素電極に接するように機能層を形成したときに、第1画素電極と第2画素電極との隙間が第2絶縁層で埋められているので、第2絶縁層がない場合に比べて、画素電極上における機能層の膜厚の均一性と安定した膜形状とを実現できる。とりわけ、機能層のうちの少なくとも1層を塗布法で形成する場合に、第2絶縁層を設けることは有効である。
Application Example 4 In the light emitting device according to the application example, the light emitting device includes a second insulating layer that fills a gap between the first pixel electrode and the second pixel electrode in a region surrounded by the first pixel electrode. preferable.
According to this configuration, when the functional layer is formed so as to be in contact with the first pixel electrode and the second pixel electrode, the gap between the first pixel electrode and the second pixel electrode is filled with the second insulating layer. Compared with the case where the second insulating layer is not provided, it is possible to realize the uniformity of the thickness of the functional layer on the pixel electrode and the stable film shape. In particular, it is effective to provide the second insulating layer when at least one of the functional layers is formed by a coating method.

[適用例5]上記適用例に係る発光装置において、前記機能層は電気抵抗が10kΩ・cm以上100kΩ・cm未満の正孔注入層を含むことが好ましい。
この構成によれば、機能層のうち正孔注入層は、画素電極に接するように最初に形成される。したがって、正孔注入層の電気抵抗が10kΩ・cm未満の場合には、第1画素電極と第2画素電極との間の電気抵抗が小さくなって、第1接続用配線または第2接続用配線を切断しても、第1画素電極または第2画素電極を電気的に孤立させることができない。つまり、本発明における発光素子の修復効果が得られ難くなる。また、正孔注入層の電気抵抗が100kΩ・cm以上となると、電気的な絶縁性が高くなるためキャリア(正孔)の移動が困難になり、発光効率が低下するおそれがある。したがって、正孔注入層の電気抵抗を10kΩ・cm以上100kΩ・cm未満とすることで、発光素子の修復が確実に可能な発光装置を提供できる。
Application Example 5 In the light emitting device according to the application example described above, it is preferable that the functional layer includes a hole injection layer having an electric resistance of 10 kΩ · cm to less than 100 kΩ · cm.
According to this configuration, the hole injection layer in the functional layer is first formed so as to be in contact with the pixel electrode. Therefore, when the electrical resistance of the hole injection layer is less than 10 kΩ · cm, the electrical resistance between the first pixel electrode and the second pixel electrode becomes small, and the first connection wiring or the second connection wiring Even if is cut, the first pixel electrode or the second pixel electrode cannot be electrically isolated. That is, it becomes difficult to obtain the repair effect of the light emitting element in the present invention. In addition, when the electrical resistance of the hole injection layer is 100 kΩ · cm or more, the electrical insulation becomes high, so that the movement of carriers (holes) becomes difficult, and the light emission efficiency may be lowered. Therefore, by setting the electric resistance of the hole injection layer to 10 kΩ · cm or more and less than 100 kΩ · cm, a light emitting device capable of surely repairing the light emitting element can be provided.

[適用例6]上記適用例に係る発光装置において、前記画素電極は、前記第1画素電極により囲まれた領域の内側に配置された第3画素電極を含み、前記ソースまたは前記ドレインの他方と前記第3画素電極との間に設けられた第3接続用配線を有し、前記第3接続用配線の少なくとも一部は、前記基板側から入射する光が届くように遮光されていないことが好ましい。
この構成によれば、画素電極は3分割されるので、2分割される場合よりも、発光素子への異物や機能層の塗布ムラなどに起因する不具合をより効果的に修復可能な発光装置を提供できる。
Application Example 6 In the light emitting device according to the application example, the pixel electrode includes a third pixel electrode disposed inside a region surrounded by the first pixel electrode, and the other of the source or the drain and It has a third connection wiring provided between the third pixel electrode and at least a part of the third connection wiring is not shielded so that light incident from the substrate side can reach. preferable.
According to this configuration, since the pixel electrode is divided into three, a light-emitting device capable of more effectively repairing a defect caused by foreign matter on the light-emitting element or uneven application of the functional layer is more effective than when the pixel electrode is divided into two. Can be provided.

[適用例7]本適用例に係る電子機器は、上記適用例に記載の発光装置を備えたことを特徴とする。
本適用例によれば、コストパフォーマンスに優れた電子機器を提供できる。
Application Example 7 An electronic apparatus according to this application example includes the light-emitting device described in the application example.
According to this application example, it is possible to provide an electronic device with excellent cost performance.

(a)は第1実施形態の発光装置の電気的な構成を示す等価回路図、(b)はサブ画素の電気的な構成を示す回路図。FIG. 2A is an equivalent circuit diagram illustrating an electrical configuration of the light emitting device according to the first embodiment, and FIG. 2B is a circuit diagram illustrating an electrical configuration of a sub-pixel. 第1実施形態の発光装置におけるサブ画素の配置を示す概略平面図。FIG. 3 is a schematic plan view showing the arrangement of subpixels in the light emitting device according to the first embodiment. サブ画素の構成を示す概略平面図。FIG. 2 is a schematic plan view showing a configuration of subpixels. (a)は図3のA−A’線に沿った概略断面図、(b)は図3のC−C’線に沿った概略断面図。(A) is a schematic sectional drawing along the A-A 'line of FIG. 3, (b) is a schematic sectional drawing along the C-C' line of FIG. (a)〜(e)は有機EL素子の製造方法を示す概略断面図。(A)-(e) is a schematic sectional drawing which shows the manufacturing method of an organic EL element. (a)は機能層の塗布ムラの一例を示す概略平面図、(b)及び(c)はレーザー光を用いた有機EL素子の修復方法を示す概略断面図。(A) is a schematic plan view which shows an example of the coating nonuniformity of a functional layer, (b) And (c) is a schematic sectional drawing which shows the restoration | repair method of the organic EL element using a laser beam. 第2実施形態の発光装置におけるサブ画素の構成を示す概略平面図。The schematic plan view which shows the structure of the sub pixel in the light-emitting device of 2nd Embodiment. 第3実施形態の発光装置におけるサブ画素の構成を示す概略平面図。The schematic plan view which shows the structure of the sub pixel in the light-emitting device of 3rd Embodiment. (a)は電子機器の一例であるノート型のパーソナルコンピューターを示す概略図、(b)は電子機器の一例である薄型テレビ(TV)を示す概略図。FIG. 5A is a schematic diagram illustrating a notebook personal computer that is an example of an electronic device, and FIG. 5B is a schematic diagram illustrating a flat-screen television (TV) that is an example of the electronic device. 変形例の発光装置のサブ画素の構造を示す概略断面図。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view illustrating a structure of a subpixel of a light emitting device according to a modification.

以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。   DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the invention will be described with reference to the drawings. Note that the drawings to be used are appropriately enlarged or reduced so that the part to be described can be recognized.

なお、以下の形態において、例えば「基板上に」と記載された場合、基板の上に接するように配置される場合、または基板の上に他の構成物を介して配置される場合、または基板の上に一部が接するように配置され、一部が他の構成物を介して配置される場合を表すものとする。   In the following embodiments, for example, when “on the substrate” is described, the substrate is disposed so as to be in contact with the substrate, or is disposed on the substrate via another component, or the substrate. It is assumed that a part is arranged so as to be in contact with each other and a part is arranged via another component.

(第1実施形態)
<発光装置>
本実施形態の発光装置について、図1〜図4を参照して説明する。図1(a)は第1実施形態の発光装置の電気的な構成を示す等価回路図、図1(b)はサブ画素の電気的な構成を示す回路図、図2は第1実施形態の発光装置におけるサブ画素の配置を示す概略平面図、図3はサブ画素の構成を示す概略平面図、図4(a)は図3のA−A’線に沿った概略断面図、図4(b)は図3のC−C’線に沿った概略断面図である。
(First embodiment)
<Light emitting device>
The light-emitting device of this embodiment is demonstrated with reference to FIGS. 1A is an equivalent circuit diagram showing the electrical configuration of the light emitting device of the first embodiment, FIG. 1B is a circuit diagram showing the electrical configuration of the sub-pixels, and FIG. 2 is a diagram of the first embodiment. 3 is a schematic plan view showing the arrangement of sub-pixels in the light-emitting device, FIG. 3 is a schematic plan view showing the configuration of the sub-pixels, FIG. 4A is a schematic cross-sectional view taken along the line AA ′ in FIG. b) is a schematic sectional view taken along the line CC ′ of FIG.

図1(a)に示すように、本実施形態の発光装置100は、互いに並行して配置された複数の走査線12と、複数の走査線12のそれぞれと交差し、互いに並行して配置された複数のデータ線13及び複数の電源線14と、を有する。また、複数の走査線12と複数のデータ線13との各交差部に対応して配置された複数のサブ画素18を有する。さらに、複数の走査線12が接続される走査線駆動回路16と、複数のデータ線13が接続されるデータ線駆動回路15とを含んで構成されている。複数の電源線14は1つにまとめられて外部駆動回路から所定の電位が与えられる。発光装置100は、これらの信号線やサブ画素18の機能を検査可能な検査回路を備えていてもよい。   As shown in FIG. 1A, the light emitting device 100 of the present embodiment intersects with each of the plurality of scanning lines 12 arranged in parallel to each other and the plurality of scanning lines 12, and is arranged in parallel with each other. A plurality of data lines 13 and a plurality of power supply lines 14. In addition, it has a plurality of sub-pixels 18 arranged corresponding to each intersection of the plurality of scanning lines 12 and the plurality of data lines 13. Further, the scanning line driving circuit 16 is connected to a plurality of scanning lines 12 and the data line driving circuit 15 is connected to a plurality of data lines 13. The plurality of power supply lines 14 are combined into one and given a predetermined potential from an external drive circuit. The light emitting device 100 may include an inspection circuit capable of inspecting the functions of these signal lines and subpixels 18.

図1(b)に示すように、サブ画素18は、発光素子としての有機エレクトロルミネッセンス(EL)素子30と、走査線12、データ線13、電源線14に接続され、有機EL素子30の電気的な制御を行う画素回路20とを有している。   As shown in FIG. 1B, the sub-pixel 18 is connected to an organic electroluminescence (EL) element 30 as a light emitting element, a scanning line 12, a data line 13, and a power supply line 14. And a pixel circuit 20 that performs general control.

有機EL素子30は、陽極として機能する画素電極31と、陰極として機能する対向電極33と、画素電極31と対向電極33との間に設けられ、有機化合物からなる発光層を含む機能層32とにより構成されている。有機EL素子30の詳しい構成については、後述するが、本実施形態では、画素電極31は、第1画素電極31aと第2画素電極31bとに分割されている。   The organic EL element 30 includes a pixel electrode 31 that functions as an anode, a counter electrode 33 that functions as a cathode, and a functional layer 32 that is provided between the pixel electrode 31 and the counter electrode 33 and includes a light emitting layer made of an organic compound. It is comprised by. Although a detailed configuration of the organic EL element 30 will be described later, in the present embodiment, the pixel electrode 31 is divided into a first pixel electrode 31a and a second pixel electrode 31b.

画素回路20は、スイッチング用トランジスター21と、蓄積容量22と、駆動用トランジスター23とを含んで構成されている。2つのトランジスター21,23は、例えばnチャネル型もしくはpチャネル型の薄膜トランジスター(TFT;Thin Film transistor)やMOSトランジスターを用いて構成することができる。   The pixel circuit 20 includes a switching transistor 21, a storage capacitor 22, and a driving transistor 23. The two transistors 21 and 23 can be configured using, for example, an n-channel or p-channel thin film transistor (TFT) or a MOS transistor.

スイッチング用トランジスター21のゲートは走査線12に接続され、ソースまたはドレインのうち一方がデータ線13に接続され、ソースまたはドレインのうち他方が駆動用トランジスター23のゲートに接続されている。
駆動用トランジスター23のソースまたはドレインのうち一方が有機EL素子30の画素電極31(第1画素電極31a及び第2画素電極31b)に接続され、ソースまたはドレインのうち他方が電源線14に接続されている。駆動用トランジスター23のゲートと電源線14との間に蓄積容量22が接続されている。
The gate of the switching transistor 21 is connected to the scanning line 12, one of the source or drain is connected to the data line 13, and the other of the source or drain is connected to the gate of the driving transistor 23.
One of the source and drain of the driving transistor 23 is connected to the pixel electrode 31 (first pixel electrode 31 a and second pixel electrode 31 b) of the organic EL element 30, and the other of the source and drain is connected to the power supply line 14. ing. A storage capacitor 22 is connected between the gate of the driving transistor 23 and the power supply line 14.

走査線12が駆動されてスイッチング用トランジスター21がオン状態になると、そのときにデータ線13から供給される画像信号に基づく電位がスイッチング用トランジスター21を介して蓄積容量22に保持される。該蓄積容量22の電位すなわち駆動用トランジスター23のゲート電位に応じて、駆動用トランジスター23のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用トランジスター23がオン状態になると、電源線14から駆動用トランジスター23を介して画素電極31と対向電極33とに挟まれた機能層32にゲート電位に応じた量の電流が流れる。有機EL素子30は、機能層32を流れる電流量に応じて発光する。
なお、画素回路20の構成は、これに限定されるものではない。例えば、駆動用トランジスター23と画素電極31との間に、駆動用トランジスター23と画素電極31との間の導通を制御する発光制御用トランジスターを備えていてもよい。
When the scanning line 12 is driven and the switching transistor 21 is turned on, the potential based on the image signal supplied from the data line 13 at that time is held in the storage capacitor 22 via the switching transistor 21. The on / off state of the driving transistor 23 is determined according to the potential of the storage capacitor 22, that is, the gate potential of the driving transistor 23. When the driving transistor 23 is turned on, a current corresponding to the gate potential flows from the power supply line 14 to the functional layer 32 sandwiched between the pixel electrode 31 and the counter electrode 33 via the driving transistor 23. The organic EL element 30 emits light according to the amount of current flowing through the functional layer 32.
Note that the configuration of the pixel circuit 20 is not limited to this. For example, a light emission controlling transistor that controls conduction between the driving transistor 23 and the pixel electrode 31 may be provided between the driving transistor 23 and the pixel electrode 31.

図2に示すように、発光装置100は素子基板10を有する。素子基板10の表示領域E1に前述したサブ画素18がマトリックス状に配置されている。複数のサブ画素18は、赤色の発光が得られるサブ画素18R、緑色の発光が得られるサブ画素18G、青色の発光が得られるサブ画素18Bに大別される。サブ画素18の形状は略矩形状であり、複数のサブ画素18は、同色の発光が得られるサブ画素18がサブ画素18の長手方向に配列し、長手方向に対して交差(直交)する短手方向に異なる色の発光が得られるサブ画素18が配列している、所謂ストライプ方式の配列となっている。異なる色の発光が得られる3つのサブ画素18R,18G,18Bによって1つの画素19が構成され、フルカラー表示が可能となっている。以降、サブ画素18の短手方向をX方向とし、長手方向をY方向として説明する。なお、「略矩形状」とは、長方形、長方形の角部が丸くなったもの、長方形の短辺側が円弧となったもの、辺部の一部が変形したものを含む表現である。   As shown in FIG. 2, the light emitting device 100 includes an element substrate 10. The sub-pixels 18 described above are arranged in a matrix in the display area E1 of the element substrate 10. The plurality of sub-pixels 18 are roughly classified into a sub-pixel 18R that can emit red light, a sub-pixel 18G that can emit green light, and a sub-pixel 18B that can emit blue light. The shape of the sub-pixel 18 is a substantially rectangular shape, and the plurality of sub-pixels 18 are such that the sub-pixels 18 that can emit light of the same color are arranged in the longitudinal direction of the sub-pixels 18 and intersect (orthogonal) with respect to the longitudinal direction. This is a so-called stripe arrangement in which sub-pixels 18 capable of emitting light of different colors in the hand direction are arranged. One pixel 19 is constituted by three sub-pixels 18R, 18G, and 18B that can emit light of different colors, and full-color display is possible. Hereinafter, the short direction of the sub-pixel 18 will be described as the X direction, and the long direction will be described as the Y direction. The “substantially rectangular shape” is an expression including a rectangle, a rectangle whose corners are rounded, a rectangle whose short side is an arc, and a portion whose sides are deformed.

素子基板10の外縁と表示領域E1との間に非表示領域E2が設けられ、非表示領域E2には、前述したデータ線駆動回路15や走査線駆動回路16、検査回路などが設けられている。   A non-display area E2 is provided between the outer edge of the element substrate 10 and the display area E1, and the data line driving circuit 15, the scanning line driving circuit 16, an inspection circuit, and the like described above are provided in the non-display area E2. .

次に、図3を参照して、サブ画素18における各構成の配置について説明する。本実施形態では、画素回路20を構成する2つのトランジスター21,23は、素子基板10に形成された薄膜トランジスター(TFT)であるとして説明する。なお、前述したようにTFTに限定されるものではない。   Next, the arrangement of each component in the sub-pixel 18 will be described with reference to FIG. In the present embodiment, the two transistors 21 and 23 constituting the pixel circuit 20 are described as thin film transistors (TFTs) formed on the element substrate 10. As described above, the present invention is not limited to the TFT.

図3に示すように、サブ画素18は走査線12及びデータ線13並びに電源線14によって区切られた領域に設けられている。
スイッチング用トランジスター21の半導体層21aは平面視で略矩形状であり、走査線12に沿ってデータ線13の近傍に配置されている。駆動用トランジスター23の半導体層23aも平面視で略矩形状であり、電源線14の近傍において長手方向がX方向に沿うように配置されている。Y方向において、スイッチング用トランジスター21の半導体層21aと駆動用トランジスター23の半導体層23aとの間に蓄積容量22が配置されている。
As shown in FIG. 3, the sub-pixel 18 is provided in a region partitioned by the scanning line 12, the data line 13, and the power supply line 14.
The semiconductor layer 21 a of the switching transistor 21 has a substantially rectangular shape in plan view, and is disposed in the vicinity of the data line 13 along the scanning line 12. The semiconductor layer 23a of the driving transistor 23 is also substantially rectangular in plan view, and is arranged in the vicinity of the power supply line 14 so that the longitudinal direction is along the X direction. In the Y direction, the storage capacitor 22 is disposed between the semiconductor layer 21 a of the switching transistor 21 and the semiconductor layer 23 a of the driving transistor 23.

各半導体層21a,23aは、例えば多結晶シリコンからなり、不純物が注入されて形成された、ソース領域と、ドレイン領域と、ソース領域とドレイン領域とに挟まれたチャネル領域とを有する。以降、説明を簡略化するために、半導体層21aの長手方向(X方向)において、データ線13に近い左側をソース領域とし、右側をドレイン領域とする。また、半導体層23aの長手方向(X方向)において、電源線14に近い右側をソース領域とし、左側をドレイン領域とする。   Each of the semiconductor layers 21a and 23a is made of, for example, polycrystalline silicon, and has a source region, a drain region, and a channel region sandwiched between the source region and the drain region, which are formed by implanting impurities. Hereinafter, in order to simplify the description, in the longitudinal direction (X direction) of the semiconductor layer 21a, the left side close to the data line 13 is a source region, and the right side is a drain region. In the longitudinal direction (X direction) of the semiconductor layer 23a, the right side close to the power supply line 14 is a source region, and the left side is a drain region.

半導体層21aのチャネル領域と重なるように配置されたゲート電極21gは、走査線12と重なる位置までY方向に延在し、走査線12と重なった部分に設けられたコンタクトホール41によって、スイッチング用トランジスター21のゲート電極21gと走査線12とが電気的に接続されている。半導体層21aのソース領域からデータ線13に向って接続配線44が配置され、接続配線44の両端に設けられたコンタクトホール42,45によって、スイッチング用トランジスター21のソースとデータ線13とが電気的に接続されている。   The gate electrode 21g disposed so as to overlap with the channel region of the semiconductor layer 21a extends in the Y direction to a position overlapping with the scanning line 12, and is switched by a contact hole 41 provided in a portion overlapping with the scanning line 12. The gate electrode 21g of the transistor 21 and the scanning line 12 are electrically connected. A connection wiring 44 is arranged from the source region of the semiconductor layer 21 a toward the data line 13, and the source of the switching transistor 21 and the data line 13 are electrically connected by contact holes 42 and 45 provided at both ends of the connection wiring 44. It is connected to the.

蓄積容量22は、一対の電極22a,22bの間に誘電体層を有するものである。一対の電極22a,22bは、平面視で略矩形状であり、長手方向がX方向に延在するように配置されている。一対の電極22a,22bのうち、図3において手前側に位置する方を上電極22aと呼び、奥に位置する方を下電極22bと呼ぶ。
上電極22aは、対向する長辺のそれぞれからY方向に延びた突出部22c,22dを有する。突出部22cは半導体層21aのドレイン領域と重なっており、その端部に設けられたコンタクトホール43によって、上電極22aはスイッチング用トランジスター21のドレインと電気的に接続されている。突出部22dは半導体層23aのチャネル領域と重なっており、駆動用トランジスター23のゲート電極23gとして機能している。
下電極22bの角部から電源線14に向って接続配線46が設けられており、接続配線46の両端に設けられたコンタクトホール47,48によって、下電極22bと電源線14とが電気的に接続されている。
The storage capacitor 22 has a dielectric layer between a pair of electrodes 22a and 22b. The pair of electrodes 22a and 22b has a substantially rectangular shape in plan view, and is arranged such that the longitudinal direction extends in the X direction. Of the pair of electrodes 22a and 22b, the one located on the near side in FIG. 3 is referred to as the upper electrode 22a, and the one located behind is referred to as the lower electrode 22b.
The upper electrode 22a has projecting portions 22c and 22d extending in the Y direction from the opposing long sides. The protruding portion 22c overlaps with the drain region of the semiconductor layer 21a, and the upper electrode 22a is electrically connected to the drain of the switching transistor 21 through a contact hole 43 provided at the end thereof. The protruding portion 22 d overlaps with the channel region of the semiconductor layer 23 a and functions as the gate electrode 23 g of the driving transistor 23.
A connection wiring 46 is provided from the corner of the lower electrode 22 b toward the power supply line 14, and the lower electrode 22 b and the power supply line 14 are electrically connected by contact holes 47 and 48 provided at both ends of the connection wiring 46. It is connected.

半導体層23aのソース領域から電源線14に向かって接続配線53が設けられており、接続配線53の両端に設けられたコンタクトホール52,54によって、駆動用トランジスター23のソースと電源線14とが電気的に接続されている。
半導体層23aのドレイン領域からデータ線13に向い、データ線13に沿って折り曲がった接続配線55が設けられている。接続配線55は、ドレイン領域と重なった部分に設けられたコンタクトホール51によって、駆動用トランジスター23のドレインと電気的に接続されている。
A connection wiring 53 is provided from the source region of the semiconductor layer 23 a toward the power supply line 14, and the source of the driving transistor 23 and the power supply line 14 are connected by contact holes 52 and 54 provided at both ends of the connection wiring 53. Electrically connected.
A connection wiring 55 bent from the drain region of the semiconductor layer 23 a toward the data line 13 along the data line 13 is provided. The connection wiring 55 is electrically connected to the drain of the driving transistor 23 through a contact hole 51 provided in a portion overlapping with the drain region.

駆動用トランジスター23よりもY方向において下側の領域であって、X方向においてデータ線13と電源線14との間に、画素電極31が配置されている。画素電極31は、Y方向に長い略矩形状であって、画素電極31の外周側に配置された第1画素電極31aと、第1画素電極31aで囲まれた領域の内側に配置された第2画素電極31bとにより構成されている。   A pixel electrode 31 is disposed between the data line 13 and the power supply line 14 in the X direction, which is a region below the driving transistor 23 in the Y direction. The pixel electrode 31 has a substantially rectangular shape that is long in the Y direction, and a first pixel electrode 31a disposed on the outer peripheral side of the pixel electrode 31 and a first electrode disposed on the inner side of a region surrounded by the first pixel electrode 31a. It is composed of two pixel electrodes 31b.

第1画素電極31aの左側の辺部から接続配線55に向ってX方向に延在する第1接続用配線61が設けられ、第1接続用配線61の両端に設けられたコンタクトホール62,63によって、第1画素電極31aと接続配線55とが電気的に接続されている。
第1画素電極31aの左側の辺部は、一部が切り欠かれており、当該切り欠かれた部分に第2画素電極31bの突出部が設けられている。当該突出部から接続配線55に向ってX方向に延在する第2接続用配線64が設けられ、第2接続用配線64の両端に設けられたコンタクトホール65,66によって、第2画素電極31bと接続配線55とが電気的に接続されている。これにより、第1画素電極31aは、第1接続用配線61と接続配線55を介して、駆動用トランジスター23のドレインと電気的に接続されている。同様に、第2画素電極31bは、第2接続用配線64と接続配線55を介して、駆動用トランジスター23のドレインと電気的に接続されている。
A first connection wiring 61 extending in the X direction from the left side of the first pixel electrode 31 a toward the connection wiring 55 is provided, and contact holes 62 and 63 provided at both ends of the first connection wiring 61. Thus, the first pixel electrode 31a and the connection wiring 55 are electrically connected.
A part of the left side portion of the first pixel electrode 31a is notched, and a protruding portion of the second pixel electrode 31b is provided in the notched portion. A second connection wiring 64 extending in the X direction from the protruding portion toward the connection wiring 55 is provided, and the second pixel electrode 31b is formed by contact holes 65 and 66 provided at both ends of the second connection wiring 64. And the connection wiring 55 are electrically connected. Thus, the first pixel electrode 31 a is electrically connected to the drain of the driving transistor 23 via the first connection wiring 61 and the connection wiring 55. Similarly, the second pixel electrode 31 b is electrically connected to the drain of the driving transistor 23 via the second connection wiring 64 and the connection wiring 55.

第1画素電極31aの外縁と重なって第1接続用配線61及び第2接続用配線64を覆うと共に、画素電極31上に開口部27aを構成するように絶縁層27が形成されている。また、絶縁層27は各種の信号線や画素回路20を覆って形成されている。   An insulating layer 27 is formed on the pixel electrode 31 so as to form an opening 27 a while overlapping the outer edge of the first pixel electrode 31 a to cover the first connection wiring 61 and the second connection wiring 64. The insulating layer 27 is formed so as to cover various signal lines and the pixel circuit 20.

次に、発光装置100におけるサブ画素18の構造について、図4(a)及び(b)を参照して説明する。
図4(a)に示すように、発光装置100は、基材11上に駆動用トランジスター23などの画素回路20と、機能層32を有する有機EL素子30と、有機EL素子30を封止する封止層34とを備えた素子基板10を有している。また、基材38上に遮光部36と、カラーフィルター37とを備えた対向基板40を有している。素子基板10と対向基板40とは透明樹脂層35を介して対向配置されて接着されている。
Next, the structure of the sub-pixel 18 in the light emitting device 100 will be described with reference to FIGS.
As illustrated in FIG. 4A, the light emitting device 100 seals the pixel circuit 20 such as the driving transistor 23, the organic EL element 30 having the functional layer 32, and the organic EL element 30 on the base material 11. The element substrate 10 including the sealing layer 34 is included. In addition, a counter substrate 40 having a light shielding portion 36 and a color filter 37 is provided on a base material 38. The element substrate 10 and the counter substrate 40 are disposed to be opposed to each other via the transparent resin layer 35 and bonded thereto.

素子基板10の基材11は、透明なガラスなどの基板を用いる。本実施形態では、基材11は透明な無アルカリガラスである。基材11の表面を覆って例えば酸化シリコンなどからなる下地絶縁膜11aが形成される。下地絶縁膜11a上には、まず、スイッチング用トランジスター21の半導体層21a(図示省略)や駆動用トランジスター23の半導体層23aが形成される。その後に、データ線13や電源線14が形成される。前述したように、半導体層21a,23aは例えば多結晶シリコンを用いて形成される。データ線13や電源線14も例えば導電性を持たせた多結晶シリコンを成膜してパターニングすることにより形成することができる。   The substrate 11 of the element substrate 10 uses a substrate such as transparent glass. In this embodiment, the base material 11 is transparent alkali-free glass. A base insulating film 11 a made of, for example, silicon oxide is formed so as to cover the surface of the base material 11. First, the semiconductor layer 21a (not shown) of the switching transistor 21 and the semiconductor layer 23a of the driving transistor 23 are formed on the base insulating film 11a. Thereafter, the data line 13 and the power line 14 are formed. As described above, the semiconductor layers 21a and 23a are formed using, for example, polycrystalline silicon. The data line 13 and the power line 14 can also be formed, for example, by forming and patterning polycrystalline silicon having conductivity.

半導体層23aやデータ線13、電源線14を覆って、例えば酸化シリコンなどからなるゲート絶縁膜11bが形成される。半導体層23aのチャネル領域と重なる位置のゲート絶縁膜11b上にゲート電極23gが形成される。前述したように、ゲート電極23gは蓄積容量22の上電極22aの一部として形成される。なお、図4(a)には図示していないが、走査線12や蓄積容量22の下電極22bも同様に基材11上に形成される。   A gate insulating film 11b made of, for example, silicon oxide is formed so as to cover the semiconductor layer 23a, the data line 13, and the power supply line 14. A gate electrode 23g is formed on the gate insulating film 11b at a position overlapping the channel region of the semiconductor layer 23a. As described above, the gate electrode 23g is formed as a part of the upper electrode 22a of the storage capacitor 22. Although not shown in FIG. 4A, the scanning line 12 and the lower electrode 22b of the storage capacitor 22 are also formed on the substrate 11 in the same manner.

ゲート電極23gを覆って例えば酸化シリコンなどからなる第1層間絶縁膜24が形成される。第1層間絶縁膜24は、各種の信号線や画素回路20の形成に伴う凹凸を緩和するため、その表面が平坦となるようにCMP処理などの平坦化処理が施される。   A first interlayer insulating film 24 made of, for example, silicon oxide is formed so as to cover the gate electrode 23g. The first interlayer insulating film 24 is subjected to a flattening process such as a CMP process so as to flatten the surface of the first interlayer insulating film 24 in order to alleviate the unevenness caused by the formation of various signal lines and pixel circuits 20.

第1層間絶縁膜24とゲート絶縁膜11bとを貫通して、半導体層23aのドレイン領域、ソース領域、電源線14に至るコンタクトホール51,52,54が形成される。   Contact holes 51, 52, and 54 are formed so as to penetrate the first interlayer insulating film 24 and the gate insulating film 11b and reach the drain region, the source region, and the power supply line 14 of the semiconductor layer 23a.

第1層間絶縁膜24の表面を覆うと共に、コンタクトホール51,52,54を埋めるように、例えばアルミニウムやアルミニウムの合金などからなる導電膜が成膜され、該導電膜をパターニングすることにより、接続配線53,55が形成される。接続配線53は、コンタクトホール52,54を埋めた該導電膜により電気的に半導体層23aのソース領域と電源線14とに接続される。接続配線55の一方の端部は、コンタクトホール51を埋めた該導電膜により電気的に半導体層23aのドレイン領域に接続される。   A conductive film made of, for example, aluminum or an alloy of aluminum is formed so as to cover the surface of the first interlayer insulating film 24 and fill the contact holes 51, 52, and 54. Wirings 53 and 55 are formed. The connection wiring 53 is electrically connected to the source region of the semiconductor layer 23 a and the power supply line 14 by the conductive film filling the contact holes 52 and 54. One end of the connection wiring 55 is electrically connected to the drain region of the semiconductor layer 23 a by the conductive film filling the contact hole 51.

接続配線53,55を覆って例えば酸化シリコンなどからなる第2層間絶縁膜25が形成される。第2層間絶縁膜25を貫通して接続配線55の他方の端部に至るコンタクトホール62が形成される。図4(a)には図示していないが、図3のコンタクトホール65もまた第2層間絶縁膜25を貫通して接続配線55に至るように形成される。   A second interlayer insulating film 25 made of, for example, silicon oxide is formed so as to cover the connection wirings 53 and 55. A contact hole 62 that penetrates through the second interlayer insulating film 25 and reaches the other end of the connection wiring 55 is formed. Although not shown in FIG. 4A, the contact hole 65 of FIG. 3 is also formed so as to penetrate the second interlayer insulating film 25 and reach the connection wiring 55.

第2層間絶縁膜25を覆うと共に、コンタクトホール62,65を埋めるように、例えばアルミニウムやアルミニウムの合金などからなる導電膜が形成され、該導電膜をパターニングすることにより、反射層60、第1接続用配線61が形成される。図4(a)には図示していないが、第2接続用配線64も第1接続用配線61と同時に形成される。第1接続用配線61はコンタクトホール62を埋めた導電膜により接続配線55と電気的に接続される。同様に、第2接続用配線64もコンタクトホール65を埋めた導電膜により接続配線55と電気的に接続される。   A conductive film made of, for example, aluminum or an aluminum alloy is formed so as to cover the second interlayer insulating film 25 and fill the contact holes 62 and 65, and the conductive film is patterned to form the reflective layer 60, the first Connection wiring 61 is formed. Although not shown in FIG. 4A, the second connection wiring 64 is formed simultaneously with the first connection wiring 61. The first connection wiring 61 is electrically connected to the connection wiring 55 by a conductive film filling the contact hole 62. Similarly, the second connection wiring 64 is also electrically connected to the connection wiring 55 by a conductive film filling the contact hole 65.

第1接続用配線61及び第2接続用配線64は、コンタクトホール62,65と重なる部分を除けば、基材11側から見て他の接続配線や信号線と重なっていないので、遮光されていない。詳しくは後述するが、基材11側からレーザー光を照射して、第1接続用配線61、第2接続用配線64をそれぞれ切断可能な配線構造となっている。   The first connection wiring 61 and the second connection wiring 64 are shielded from light since they do not overlap with other connection wirings and signal lines when viewed from the base material 11 side except for portions overlapping the contact holes 62 and 65. Absent. As will be described in detail later, the first connection wiring 61 and the second connection wiring 64 can be cut by irradiating laser light from the substrate 11 side.

反射層60、第1接続用配線61、第2接続用配線64を覆って例えば酸化シリコンなどからなる第3層間絶縁膜26が形成される。第3層間絶縁膜26を貫通して第1接続用配線61に至るコンタクトホール63が形成される。図4(a)には図示していないが、第3層間絶縁膜26を貫通して第2接続用配線64に至るコンタクトホール66も同時に形成される。   A third interlayer insulating film 26 made of, for example, silicon oxide is formed so as to cover the reflective layer 60, the first connection wiring 61, and the second connection wiring 64. A contact hole 63 that penetrates through the third interlayer insulating film 26 and reaches the first connection wiring 61 is formed. Although not shown in FIG. 4A, a contact hole 66 that penetrates through the third interlayer insulating film 26 and reaches the second connection wiring 64 is also formed.

第3層間絶縁膜26の表面を覆うと共に、コンタクトホール63,66を埋めるように、例えばITOなどの透明導電膜が形成され、この透明導電膜をパターニングすることにより、第1画素電極31aと第2画素電極31bとからなる画素電極31が形成される。画素電極31の膜厚はおよそ50nm〜100nmである。第1画素電極31aは、コンタクトホール63を埋めた透明導電膜により第1接続用配線61と電気的に接続される。図4(a)には図示していないが、第2画素電極31bもまた、コンタクトホール66を埋めた透明導電膜により第2接続用配線64と電気的に接続される。   A transparent conductive film such as ITO is formed so as to cover the surface of the third interlayer insulating film 26 and fill the contact holes 63 and 66. By patterning the transparent conductive film, the first pixel electrode 31a and the first conductive film are patterned. A pixel electrode 31 including the two pixel electrodes 31b is formed. The film thickness of the pixel electrode 31 is approximately 50 nm to 100 nm. The first pixel electrode 31 a is electrically connected to the first connection wiring 61 by a transparent conductive film filling the contact hole 63. Although not shown in FIG. 4A, the second pixel electrode 31b is also electrically connected to the second connection wiring 64 by a transparent conductive film filling the contact hole 66.

画素電極31(第1画素電極31a及び第2画素電極31b)を覆って第3層間絶縁膜26上に例えば酸化シリコンなどからなる絶縁膜が成膜され、該絶縁膜をパターニングすることにより、画素電極31(第1画素電極31a)の外縁と重なって、画素電極31上に開口部27aを構成する絶縁層27が形成される。また、同時に、図3及び図4(b)に示すように、第1画素電極31aで囲まれた領域内に形成された第2画素電極31bと第1画素電極31aとの間を埋める絶縁層29が形成される。絶縁層29が形成される開口部27a内における第1画素電極31aと第2画素電極31bとの隙間は、およそ1μm〜2μmである。絶縁層27,29の膜厚は、画素電極31と同じくおよそ50nm〜100nmである。   An insulating film made of, for example, silicon oxide is formed on the third interlayer insulating film 26 so as to cover the pixel electrode 31 (the first pixel electrode 31a and the second pixel electrode 31b), and the insulating film is patterned to form a pixel. An insulating layer 27 that forms an opening 27 a is formed on the pixel electrode 31 so as to overlap with the outer edge of the electrode 31 (first pixel electrode 31 a). At the same time, as shown in FIGS. 3 and 4B, an insulating layer that fills the space between the second pixel electrode 31b and the first pixel electrode 31a formed in the region surrounded by the first pixel electrode 31a. 29 is formed. The gap between the first pixel electrode 31a and the second pixel electrode 31b in the opening 27a where the insulating layer 29 is formed is approximately 1 μm to 2 μm. The film thickness of the insulating layers 27 and 29 is approximately 50 nm to 100 nm, like the pixel electrode 31.

画素電極31(第1画素電極31a及び第2画素電極31b)、絶縁層27,29を覆って例えば感光性ポリイミドなどからなる感光性樹脂層が形成され、該感光性樹脂層をパターニングすることにより、画素電極31上に開口部28aを構成する有機絶縁層28が形成される。有機絶縁層28の膜厚は、およそ1μm〜2μmである。有機絶縁層28の開口部28aは、絶縁層27の開口部27aよりもわずかであるが一回り大きい開口を構成している。言い換えれば、有機絶縁層28の開口部28aよりも内側に絶縁層27がはみ出して開口部27aを構成している。   A photosensitive resin layer made of, for example, photosensitive polyimide is formed so as to cover the pixel electrode 31 (the first pixel electrode 31a and the second pixel electrode 31b) and the insulating layers 27 and 29, and the photosensitive resin layer is patterned. The organic insulating layer 28 that forms the opening 28 a is formed on the pixel electrode 31. The film thickness of the organic insulating layer 28 is approximately 1 μm to 2 μm. The opening 28a of the organic insulating layer 28 forms an opening that is slightly larger than the opening 27a of the insulating layer 27 but slightly larger. In other words, the insulating layer 27 protrudes inside the opening 28a of the organic insulating layer 28 to form the opening 27a.

本実施形態において、無機絶縁材料からなる絶縁層27が本発明の下層絶縁層に相当し、有機絶縁材料からなる有機絶縁層28が上層絶縁層に相当するものである。また、絶縁層27と有機絶縁層28とを含む構成が本発明の第1絶縁層に相当する。そして、開口部27a内の第1画素電極31aと第2画素電極31bとの隙間を埋める絶縁層29が本発明の第2絶縁層に相当するものである。   In this embodiment, the insulating layer 27 made of an inorganic insulating material corresponds to the lower insulating layer of the present invention, and the organic insulating layer 28 made of an organic insulating material corresponds to the upper insulating layer. The configuration including the insulating layer 27 and the organic insulating layer 28 corresponds to the first insulating layer of the present invention. The insulating layer 29 that fills the gap between the first pixel electrode 31a and the second pixel electrode 31b in the opening 27a corresponds to the second insulating layer of the present invention.

開口部27a(開口部28a)の画素電極31上に機能層32が形成される。本実施形態の機能層32は、例えば正孔注入層、中間層、発光層とからなり、いずれも液相プロセス(塗布法)を用いて形成される。詳しい形成方法は後述するが、各層の形成材料を含む機能液を有機絶縁層28で囲まれた開口部28a内に塗布して乾燥することによって、正孔注入層、中間層、発光層が順に形成される。したがって、有機絶縁層28は開口部28a内に機能液を留める役目を果たすため、以降、有機絶縁層28を隔壁28と呼ぶこととする。なお、機能層32の構成は、正孔注入層、中間層、発光層に限定されず、画素電極31と対向電極33との間でキャリア(正孔や電子)の流れを制御する他の層が設けられていてもよい。   A functional layer 32 is formed on the pixel electrode 31 in the opening 27a (opening 28a). The functional layer 32 of the present embodiment includes, for example, a hole injection layer, an intermediate layer, and a light emitting layer, and all are formed using a liquid phase process (coating method). Although a detailed formation method will be described later, the hole injection layer, the intermediate layer, and the light emitting layer are sequentially formed by applying and drying a functional liquid containing a material for forming each layer in the opening 28a surrounded by the organic insulating layer 28 and drying it. It is formed. Therefore, since the organic insulating layer 28 plays a role of retaining the functional liquid in the opening 28a, the organic insulating layer 28 is hereinafter referred to as a partition wall 28. The configuration of the functional layer 32 is not limited to the hole injection layer, the intermediate layer, and the light emitting layer, and other layers that control the flow of carriers (holes and electrons) between the pixel electrode 31 and the counter electrode 33. May be provided.

次に、機能層32と隔壁28とを覆って対向電極33が形成される。対向電極33は、例えばMgAg合金を用いて、光透過性を有するように膜厚が制御されて形成される。対向電極33は少なくとも表示領域E1を覆って、複数のサブ画素18に跨るように共通電極として形成される。これによって、画素電極31と対向電極33との間に発光層を含む機能層32が形成された有機EL素子30ができあがる。   Next, the counter electrode 33 is formed so as to cover the functional layer 32 and the partition wall 28. The counter electrode 33 is formed by using, for example, an MgAg alloy so that the film thickness is controlled so as to have optical transparency. The counter electrode 33 is formed as a common electrode so as to cover at least the display region E <b> 1 and straddle the plurality of sub-pixels 18. Thereby, the organic EL element 30 in which the functional layer 32 including the light emitting layer is formed between the pixel electrode 31 and the counter electrode 33 is completed.

次に、複数の有機EL素子30に水分や酸素などが浸入して発光特性や発光寿命が劣化しないように、水分や酸素などの浸入を防ぐ封止層34が形成される。封止層34は、例えば、対向電極33側から順に形成された、第1封止層34a、緩衝層34b、第2封止層34cを含んで構成されている。第1封止層34a、第2封止層34cは、水分や酸素などの成分を透過し難く、透光性の無機材料が好ましく、例えば酸窒化シリコン(SiON)を挙げることができる。酸窒化シリコンの膜厚を厚くすれば水分や酸素などの浸入をより抑制することができるが、厚膜化すると熱膨張や収縮によってクラックなどが発生し易いので、ある程度の膜厚で第1封止層34aを成膜した後に、緩衝層34bを挟んで第2封止層34cを積層することが好ましい。緩衝層34bは、有機EL素子30が形成された基材11の表面を平坦化する目的で、有機材料を用いて形成してもよいし、第1封止層34aや第2封止層34cと異なる無機材料で形成してもよい。   Next, a sealing layer 34 that prevents the entry of moisture, oxygen, or the like is formed so that moisture, oxygen, or the like does not enter the plurality of organic EL elements 30 to deteriorate the light emission characteristics or the light emission lifetime. The sealing layer 34 includes, for example, a first sealing layer 34a, a buffer layer 34b, and a second sealing layer 34c that are sequentially formed from the counter electrode 33 side. The first sealing layer 34a and the second sealing layer 34c are preferably made of a light-transmitting inorganic material that hardly transmits components such as moisture and oxygen, and examples thereof include silicon oxynitride (SiON). Increasing the thickness of the silicon oxynitride can further suppress the intrusion of moisture, oxygen, etc. However, if the thickness is increased, cracks and the like are likely to occur due to thermal expansion and contraction, so that the first seal with a certain thickness can be obtained. After forming the stop layer 34a, the second sealing layer 34c is preferably stacked with the buffer layer 34b interposed therebetween. The buffer layer 34b may be formed using an organic material for the purpose of flattening the surface of the substrate 11 on which the organic EL element 30 is formed, or the first sealing layer 34a and the second sealing layer 34c. It may be formed of a different inorganic material.

本実施形態の発光装置100は、図4(b)に示すように、素子基板10における有機EL素子30(機能層32)の発光が、反射層60によって反射して、対向基板40側から取り出されるトップエミッション型である。したがって、対向基板40の基材38は透明なガラスなどの基板が用いられる。遮光部36は、基材38上においてサブ画素18を区画するように形成されるブラックマトリックス(BM)である。遮光部36は、遮光性の金属材料やその合金、あるいは遮光性の樹脂材料を用いて形成することができる。カラーフィルター37は、少なくとも赤(R)、緑(G)、青(B)の着色層(フィルター層)を有するものであって、例えば色材を含む感光性樹脂材料を用いて、遮光部36を覆って形成される。サブ画素18ごとに着色層が形成される。有機EL素子30からの発光がカラーフィルター37を透過して対向基板40側から取り出されることにより、発光の色純度が改善される。
このような対向基板40と素子基板10とは透明樹脂層35を介して接着される。
In the light emitting device 100 of the present embodiment, as shown in FIG. 4B, the light emitted from the organic EL element 30 (functional layer 32) in the element substrate 10 is reflected by the reflective layer 60 and extracted from the counter substrate 40 side. The top emission type. Therefore, a substrate such as transparent glass is used as the base material 38 of the counter substrate 40. The light shielding portion 36 is a black matrix (BM) formed so as to partition the sub-pixel 18 on the base material 38. The light shielding portion 36 can be formed using a light shielding metal material or an alloy thereof, or a light shielding resin material. The color filter 37 has a colored layer (filter layer) of at least red (R), green (G), and blue (B), and uses, for example, a photosensitive resin material containing a color material to block the light shielding portion 36. It is formed to cover. A colored layer is formed for each sub-pixel 18. The light emission from the organic EL element 30 passes through the color filter 37 and is extracted from the counter substrate 40 side, whereby the color purity of the light emission is improved.
Such a counter substrate 40 and the element substrate 10 are bonded via a transparent resin layer 35.

なお、発光装置100のサブ画素18における画素回路20のスイッチング用トランジスター21、蓄積容量22、駆動用トランジスター23の平面的な配置や、基材11上における配線構造は、これに限定されるものではない。第1画素電極31aに接続された第1接続用配線61の一部及び第2画素電極31bに接続された第2接続用配線64の一部が、基材11側から見て遮光されておらず、詳しくは後述するが、基材11側から入射するレーザー光が届く位置に形成されていればよい。   Note that the planar arrangement of the switching transistor 21, the storage capacitor 22, and the driving transistor 23 of the pixel circuit 20 in the sub-pixel 18 of the light emitting device 100 and the wiring structure on the substrate 11 are not limited to this. Absent. A part of the first connection wiring 61 connected to the first pixel electrode 31a and a part of the second connection wiring 64 connected to the second pixel electrode 31b are shielded from light when viewed from the substrate 11 side. However, as will be described later in detail, it may be formed at a position where the laser beam incident from the substrate 11 side can reach.

<有機EL素子の製造方法>
次に、より具体的な有機EL素子30の製造方法について、図5を参照して説明する。図5(a)〜(e)は有機EL素子の製造方法を示す概略断面図である。なお、図5では、基材11上において画素電極31よりも下層に形成される、信号線や画素回路などの構成の図示を省略している。
<Method for producing organic EL element>
Next, a more specific method for manufacturing the organic EL element 30 will be described with reference to FIG. 5A to 5E are schematic cross-sectional views illustrating a method for manufacturing an organic EL element. In FIG. 5, illustration of configurations of signal lines, pixel circuits, and the like that are formed below the pixel electrode 31 on the base material 11 is omitted.

図5(a)に示すように、まず、隔壁28によって区画された開口部28a内の画素電極31の表面が親液性を示すように表面処理を施す。表面処理の方法としては、酸素ガスを処理ガスとしたプラズマ処理が好ましい。これによって、開口部28a内に露出した透明導電膜からなる画素電極31の表面と、酸化シリコンなどの無機絶縁材料からなる絶縁層27,29の表面とに親液性が付与される。続いて、四フッ化炭素などのフッ素系処理ガスを用いてプラズマ処理を施す。これによって、有機絶縁材料からなる隔壁28の表面にフッ素が導入されて撥液性が付与される。なお、隔壁28を構成する有機絶縁材料中にフッ素系化合物やシロキサン系化合物などの撥液材料を含有させることにより、隔壁28の表面が撥液性を示すようにして、フッ素系処理ガスによるプラズマ処理を省略してもよい。   As shown in FIG. 5A, first, surface treatment is performed so that the surface of the pixel electrode 31 in the opening 28a defined by the partition wall 28 is lyophilic. As the surface treatment method, plasma treatment using oxygen gas as a treatment gas is preferable. Thereby, lyophilicity is imparted to the surface of the pixel electrode 31 made of the transparent conductive film exposed in the opening 28a and the surfaces of the insulating layers 27 and 29 made of an inorganic insulating material such as silicon oxide. Subsequently, plasma processing is performed using a fluorine-based processing gas such as carbon tetrafluoride. As a result, fluorine is introduced into the surface of the partition wall 28 made of an organic insulating material to impart liquid repellency. The organic insulating material constituting the partition wall 28 contains a liquid repellent material such as a fluorine-based compound or a siloxane-based compound so that the surface of the partition wall 28 exhibits liquid repellency so that the plasma generated by the fluorine-based processing gas is used. Processing may be omitted.

次に、図5(b)に示すように、開口部28a内に正孔注入層形成材料を含む機能液80を塗布する。本実施形態では、機能液80の塗布方法として、吐出ヘッド(インクジェットヘッド)70を用いた。吐出ヘッド70は、ノズルから機能液80を液滴として吐出するので、所定量の機能液80を精度よく塗布することができる。
正孔注入層形成材料としては、成膜後の電気抵抗が10kΩ・cm以上100kΩ・cm未満となる材料が好ましく、例えばポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)などのポリチオフェン誘導体にドーパントとしてのポリスチレンスルホン酸(PSS)を加えた混合物(PEDOT/PSS)を挙げることができる。
本実施形態では、ジエチレングリコールと水とを含む溶媒にPEDOT/PSSを0.5wt%程度含んだ機能液80を開口部28aに塗布した。塗布された機能液80は表面が撥液性の隔壁28との界面張力によって開口部28aで盛り上がる。そして、塗布された機能液80を例えばランプアニールなどの方法によって加熱して乾燥することにより、図5(c)に示すように、開口部28aにおいて、画素電極31を覆った正孔注入層32aを形成した。正孔注入層32aの膜厚はおよそ50nmである。
Next, as shown in FIG. 5B, a functional liquid 80 containing a hole injection layer forming material is applied in the opening 28a. In the present embodiment, a discharge head (inkjet head) 70 is used as a method for applying the functional liquid 80. Since the ejection head 70 ejects the functional liquid 80 from the nozzle as droplets, a predetermined amount of the functional liquid 80 can be applied with high accuracy.
As the hole injection layer forming material, a material having an electrical resistance after film formation of 10 kΩ · cm or more and less than 100 kΩ · cm is preferable. For example, a polythiophene derivative such as polyethylenedioxythiophene (PEDOT) is used as a polystyrene sulfonic acid as a dopant ( A mixture (PEDOT / PSS) to which PSS) is added can be mentioned.
In this embodiment, the functional liquid 80 containing about 0.5 wt% of PEDOT / PSS in a solvent containing diethylene glycol and water is applied to the opening 28a. The applied functional liquid 80 swells at the opening 28 a due to the interfacial tension with the liquid repellent partition wall 28. Then, the applied functional liquid 80 is heated and dried by a method such as lamp annealing, for example, and as shown in FIG. 5C, the hole injection layer 32a covering the pixel electrode 31 in the opening 28a. Formed. The film thickness of the hole injection layer 32a is approximately 50 nm.

次に、正孔注入層32aと同様にして吐出ヘッド70を用いて液滴吐出法(インクジェット法)により、中間層形成材料を含む機能液を塗布して乾燥させる。続いて、発光層形成材料を含む機能液を塗布して乾燥させる。このようにして、図5(d)に示すように、正孔注入層32aに中間層32cと発光層32rとが順に積層された機能層32Rを形成した。図5(d)に示した発光層32rは赤(R)の発光が得られるものである。したがって、図5には図示していないが、緑(G)の発光を得ようとするサブ画素18G(機能層32G)では発光層32gを形成し、青(B)の発光を得ようとするサブ画素18B(機能層32B)では発光層32bを形成する。   Next, the functional liquid containing the intermediate layer forming material is applied and dried by the droplet discharge method (inkjet method) using the discharge head 70 in the same manner as the hole injection layer 32a. Subsequently, a functional liquid containing the light emitting layer forming material is applied and dried. In this way, as shown in FIG. 5D, the functional layer 32R in which the intermediate layer 32c and the light emitting layer 32r were sequentially stacked on the hole injection layer 32a was formed. The light emitting layer 32r shown in FIG. 5D can emit red (R) light. Therefore, although not shown in FIG. 5, the light emitting layer 32g is formed in the sub-pixel 18G (functional layer 32G) to obtain green (G) light emission, and blue (B) light emission is obtained. In the sub-pixel 18B (functional layer 32B), the light emitting layer 32b is formed.

中間層32cは、正孔注入層32aと発光層32r,32g,32bとの間に設けられ、発光層32r,32g,32bに対する正孔の輸送性(注入性)を向上させると共に、発光層32r,32g,32bから正孔注入層32aに電子が侵入することを抑制するために設けられている。すなわち、発光層32r,32g,32bにおける正孔と電子との結合による発光の効率を改善するものである。中間層32cの材料としては、例えば、正孔輸送性が良好なトリフェニルアミン系ポリマーを含んだものが挙げられる。
本実施形態では、例えば、溶媒としてのシクロヘキシルベンゼンに、中間層形成材料として、上記のトリフェニルアミン系ポリマーをおよそ0.1wt%程度含んだ機能液を用いて、膜厚がおよそ10nm〜20nmの中間層32cを形成した。
The intermediate layer 32c is provided between the hole injection layer 32a and the light emitting layers 32r, 32g, and 32b, and improves the hole transportability (injection property) with respect to the light emitting layers 32r, 32g, and 32b, and the light emitting layer 32r. , 32g, 32b are provided in order to prevent electrons from entering the hole injection layer 32a. That is, the light emission efficiency is improved by the combination of holes and electrons in the light emitting layers 32r, 32g, and 32b. As a material for the intermediate layer 32c, for example, a material containing a triphenylamine-based polymer having a good hole transport property can be used.
In this embodiment, for example, using a functional liquid containing about 0.1 wt% of the above triphenylamine polymer as an intermediate layer forming material in cyclohexylbenzene as a solvent, the film thickness is about 10 nm to 20 nm. An intermediate layer 32c was formed.

発光層形成材料としては、例えば、赤色、緑色、青色の発光が得られるポリフルオレン誘導体(PF)、ポリパラフェニレンビニレン誘導体(PPV)、ポリフェニレン誘導体(PP)、ポリパラフェニレン誘導体(PPP)、ポリビニルカルバゾール(PVK)、PEDOTなどのポリチオフェニレン誘導体、ポリメチルフェニレンシラン(PMPS)等を用いることができる。また、これらの高分子材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素などの高分子材料や、ルブレン、ペリレン、9,10−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン6、キナクドリン等低分子材料をドープしてもよい。
本実施形態では、例えば、溶媒としてのシクロヘキシルベンゼンに、発光層形成材料としてポリフルオレン誘導体(PF)をおよそ0.7wt%含んだ機能液を用いて、膜厚が50nm〜100nmの発光層32r,32g,32bを形成した。
As the light emitting layer forming material, for example, polyfluorene derivative (PF), polyparaphenylene vinylene derivative (PPV), polyphenylene derivative (PP), polyparaphenylene derivative (PPP), polyvinyl which can produce red, green and blue light emission can be used. Polythiophenylene derivatives such as carbazole (PVK) and PEDOT, polymethylphenylenesilane (PMPS), and the like can be used. In addition, polymer materials such as perylene dyes, coumarin dyes, rhodamine dyes, rubrene, perylene, 9,10-diphenylanthracene, tetraphenylbutadiene, nile red, coumarin 6, quinacrine, etc. A low molecular material may be doped.
In the present embodiment, for example, by using a functional liquid containing approximately 0.7 wt% of a polyfluorene derivative (PF) as a light emitting layer forming material in cyclohexylbenzene as a solvent, a light emitting layer 32r having a film thickness of 50 nm to 100 nm, 32g and 32b were formed.

次に、図5(e)に示すように、隔壁28と機能層32R(機能層32G、機能層32B)とを覆うように陰極としての対向電極33を形成する。これにより有機EL素子30R(30)が構成される。
対向電極33の材料としては、アルミニウム(Al)や銀(Ag)とマグネシウム(Mg)の合金などが用いられる。機能層32R(機能層32G、機能層32B)に近い側に仕事関数が小さいCa、Ba、LiFの膜を形成してもよい。対向電極33の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法、CVD法などが挙げられる。特に機能層32R(機能層32G、機能層32B)の熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。対向電極33は、光透過性を有するように膜厚をおよそ20nm〜40nmとして形成される。
Next, as shown in FIG. 5E, a counter electrode 33 as a cathode is formed so as to cover the partition wall 28 and the functional layer 32R (functional layer 32G, functional layer 32B). Thereby, the organic EL element 30R (30) is configured.
As the material of the counter electrode 33, aluminum (Al), an alloy of silver (Ag) and magnesium (Mg), or the like is used. A Ca, Ba, or LiF film having a small work function may be formed on the side close to the functional layer 32R (functional layer 32G, functional layer 32B). Examples of the method for forming the counter electrode 33 include vapor deposition, sputtering, and CVD. In particular, the vapor deposition method is preferable in that the functional layer 32R (functional layer 32G, functional layer 32B) can be prevented from being damaged by heat. The counter electrode 33 is formed with a film thickness of about 20 nm to 40 nm so as to have optical transparency.

<有機EL素子の修復>
次に、有機EL素子30の機能層32を液相プロセス(液滴吐出法)で形成するにあたり、発生し易い機能層32の塗布ムラに起因する不具合と、この不具合の修復方法について、図6を参照して説明する。図6(a)は機能層の塗布ムラの一例を示す概略平面図、図6(b)及び(c)はレーザー光を用いた有機EL素子の修復方法を示す概略断面図である。なお、図6(b)及び(c)は図4(a)の断面図うち要部の断面を示すものである。
<Repair of organic EL element>
Next, a defect caused by uneven application of the functional layer 32 that easily occurs when the functional layer 32 of the organic EL element 30 is formed by a liquid phase process (droplet discharge method), and a method for repairing the defect are illustrated in FIG. Will be described with reference to FIG. FIG. 6A is a schematic plan view showing an example of coating unevenness of the functional layer, and FIGS. 6B and 6C are schematic cross-sectional views showing a method for repairing the organic EL element using laser light. 6 (b) and 6 (c) show a cross section of the main part of the cross sectional view of FIG. 4 (a).

機能層32は、前述したように正孔注入層32a、中間層32c、発光層(発光層32r、発光層32g、発光層32b)が積層されて構成される。機能層32から所望の輝度の発光を実現し、且つ所望の発光寿命を確保するには、各層がそれぞれ画素電極31上においてねらいの膜厚で均一に形成されることが望ましい。
例えば、開口部27a(開口部28a)に露出した画素電極31の表面をすべて覆って正孔注入層32aが形成されず、一部に正孔注入層32aが形成されない部分が生ずると、発光層(発光層32r、発光層32g、発光層32b)には正孔が注入されない部分が生ずる。正孔が注入されない部分からは発光が得られなくなり、暗点(ダークスポット)が生ずる。
また、例えば、画素電極31を覆う正孔注入層32aの膜厚が薄い部分が生ずると、膜厚が薄い部分の機能層32における電気抵抗が他の部分に比べて低くなる。そうすると、電気抵抗が低くなった部分が他の部分に比べて電流が流れ易くなるため、電流がたくさん流れる部分が他の部分よりも発光輝度が高く(明るく)なる輝点が生ずる。輝点において電流が集中的に流れると、発光寿命が短くなるおそれがある。
このような暗点(ダークスポット)や輝点は、正孔注入層32aの塗布ムラに起因するだけでなく、中間層32cや発光層(発光層32r,32g,32b)の塗布ムラが生じた場合にも発生する。また、機能層32中に異物が含まれた場合にも発生する。
As described above, the functional layer 32 is formed by stacking the hole injection layer 32a, the intermediate layer 32c, and the light emitting layer (the light emitting layer 32r, the light emitting layer 32g, and the light emitting layer 32b). In order to realize light emission with a desired luminance from the functional layer 32 and to secure a desired light emission lifetime, it is desirable that each layer is uniformly formed with a target film thickness on the pixel electrode 31.
For example, if the hole injection layer 32a is not formed so as to cover the entire surface of the pixel electrode 31 exposed in the opening 27a (opening 28a), and a portion where the hole injection layer 32a is not formed is formed in part, the light emitting layer In the (light emitting layer 32r, light emitting layer 32g, light emitting layer 32b), a portion where holes are not injected is generated. Light emission cannot be obtained from a portion where holes are not injected, and a dark spot is generated.
Further, for example, when a portion with a thin film thickness of the hole injection layer 32a covering the pixel electrode 31 is generated, the electric resistance in the functional layer 32 in the thin film portion is lower than in other portions. Then, current flows more easily in the portion where the electrical resistance is lower than in the other portions, so that a bright point is generated where the portion where a large amount of current flows is higher (brighter) than the other portions. If the current flows intensively at the bright spot, the light emission life may be shortened.
Such dark spots (spots) and bright spots are caused not only by uneven coating of the hole injection layer 32a but also by uneven coating of the intermediate layer 32c and the light emitting layers (light emitting layers 32r, 32g, 32b). It also occurs in some cases. It also occurs when foreign material is included in the functional layer 32.

とりわけ、機能層32を液相プロセス(液滴吐出法)を用いて形成する場合、開口部28aに機能層32をムラ無く形成するために、開口部28aの画素電極31の表面に親液性を付与したり、隔壁28の表面に撥液性を付与する表面処理を均質に施すことが求められる。ところが、表面処理を均質に施したとしても、撥液性を有する隔壁28で囲まれた開口部28aにおける角部では、塗布された機能液の界面張力の影響を受けて機能液が角部に濡れ広がり難い。したがって、図6(a)に示すように、開口部28aの角部に機能層32の塗布ムラが生じ易いという傾向がある。塗布ムラの部分は、機能層32のうちの正孔注入層32a、中間層32c、発光層(発光層32r,32g,32b)のいずれかが成膜されていなかったり、膜厚がねらいの膜厚よりも薄かったり、あるいはねらいの膜厚よりも厚かったりしている。つまり、開口部28aの角部や開口部28aに沿った部分に暗点(ダークスポット)や輝点が発生し易い。   In particular, when the functional layer 32 is formed using a liquid phase process (droplet discharge method), the surface of the pixel electrode 31 in the opening 28a is lyophilic in order to form the functional layer 32 uniformly in the opening 28a. Or a surface treatment for imparting liquid repellency to the surface of the partition wall 28 is required. However, even if the surface treatment is performed uniformly, the functional liquid is applied to the corners of the opening 28a surrounded by the liquid-repellent partition walls 28 due to the influence of the interfacial tension of the applied functional liquid. Difficult to spread wet. Therefore, as shown in FIG. 6A, uneven application of the functional layer 32 tends to occur at the corners of the opening 28a. The uneven coating portion is a film in which any of the hole injection layer 32a, the intermediate layer 32c, and the light emitting layer (light emitting layers 32r, 32g, and 32b) in the functional layer 32 is not formed or the film thickness is intended. It is thinner than the thickness or thicker than the target film thickness. That is, dark spots (spots) and bright spots are likely to occur at the corners of the opening 28a and at portions along the opening 28a.

本実施形態の発光装置100におけるサブ画素18の画素電極31は、画素電極31の外周側に位置する第1画素電極31aと、開口部27a(開口部28a)内において第1画素電極31aによって囲まれた領域に設けられた第2画素電極31bとに分割されている。言い換えれば、第1画素電極31aは開口部27a(開口部28a)内縁と重なった位置に形成されている。したがって、上記のような塗布ムラが生じたときには、図6(b)に示すように、基材11側から第1画素電極31aに電気的に接続されている第1接続用配線61の一部にレーザー光を照射して、図6(c)に示すように第1接続用配線61の一部を切断する。これにより、第1画素電極31aには駆動用トランジスター23を介して電源線14から電流が流れなくなる。ゆえに、開口部27a(開口部28a)の中央側に位置する第2画素電極31bと接する機能層32に電流を流して選択的に発光させることができる。すなわち、サブ画素18における発光面積は減少するものの、機能層32の塗布ムラに起因する暗点(ダークスポット)や輝点の影響を受けないように有機EL素子30を修復することができる。   The pixel electrode 31 of the sub-pixel 18 in the light emitting device 100 of the present embodiment is surrounded by the first pixel electrode 31a located on the outer peripheral side of the pixel electrode 31 and the first pixel electrode 31a in the opening 27a (opening 28a). The second pixel electrode 31b provided in the region is divided. In other words, the first pixel electrode 31a is formed at a position overlapping the inner edge of the opening 27a (opening 28a). Therefore, when the coating unevenness as described above occurs, as shown in FIG. 6B, a part of the first connection wiring 61 that is electrically connected to the first pixel electrode 31a from the substrate 11 side. Is irradiated with a laser beam, and a part of the first connection wiring 61 is cut as shown in FIG. As a result, no current flows from the power supply line 14 to the first pixel electrode 31a via the driving transistor 23. Therefore, it is possible to selectively emit light by flowing a current through the functional layer 32 in contact with the second pixel electrode 31b located on the center side of the opening 27a (opening 28a). That is, although the light emitting area in the sub-pixel 18 is reduced, the organic EL element 30 can be repaired so as not to be affected by dark spots (spots) or bright spots caused by uneven coating of the functional layer 32.

もちろん、機能層32に異物などが含まれることによって発生する暗点(ダークスポット)や輝点についても、異物の大きさや位置にもよるが、第1接続用配線61の一部または第2接続用配線64の一部にレーザー光を照射して切断すれば、その影響を受けないように有機EL素子30を修復できる。   Of course, a dark spot or a bright spot generated when the functional layer 32 contains a foreign substance or the like also depends on the size or position of the foreign substance, but a part of the first connection wiring 61 or the second connection. If a part of the wiring 64 is irradiated with laser light and cut, the organic EL element 30 can be repaired so as not to be affected.

本実施形態の発光装置100の製造方法は、発光装置100を発光させて暗点や輝点を有するサブ画素18を検出する検査工程と、暗点や輝点を有するサブ画素18の第1接続用配線61または第2接続用配線64にレーザー光を照射して切断する有機EL素子30の修復工程とを含むものである。   The manufacturing method of the light emitting device 100 according to the present embodiment includes an inspection process for detecting the subpixel 18 having a dark spot or a bright spot by causing the light emitting device 100 to emit light, and a first connection of the subpixel 18 having a dark spot or a bright spot. And a repairing process of the organic EL element 30 that cuts the first wiring 61 or the second connecting wiring 64 by irradiating with laser light.

レーザー光により配線を切断する方法としては、例えば、YAGレーザーを用いる方法が挙げられる。具体的には、波長λが1064nm、532nm、355nm、266nmの中から選択され、パルス幅が5nsec〜10nsec、出力エネルギーがおよそ6mJ/パルス、ビーム径が2mmのYAGレーザーを図6(b)に示すように集光レンズ90などの光学系を用いて集光し、配線の一部に照射する。
このようなYAGレーザーによって切断が可能な配線の構成としては、アルミニウム(Al)、クロム(Cr)、銅(Cu)、金(Au)、モリブデン(Mo)、タンタル(Ta)、チタン(Ti)、ニッケル(Ni)などの金属単体やその合金などが挙げられる。また、ITOなどの透明導電膜もYAGレーザーにより切断が可能である。切断可能な配線の厚みは0.5μm〜1.0μm、線幅は数μm程度が好ましい。
Examples of the method of cutting the wiring with the laser beam include a method using a YAG laser. Specifically, FIG. 6B shows a YAG laser in which the wavelength λ is selected from 1064 nm, 532 nm, 355 nm, and 266 nm, the pulse width is 5 nsec to 10 nsec, the output energy is approximately 6 mJ / pulse, and the beam diameter is 2 mm. As shown, the light is condensed using an optical system such as a condensing lens 90 and irradiated to a part of the wiring.
Wiring structures that can be cut by such a YAG laser include aluminum (Al), chromium (Cr), copper (Cu), gold (Au), molybdenum (Mo), tantalum (Ta), and titanium (Ti). And simple metals such as nickel (Ni) and alloys thereof. A transparent conductive film such as ITO can also be cut with a YAG laser. The thickness of the cuttable wiring is preferably 0.5 μm to 1.0 μm, and the line width is preferably about several μm.

上記第1実施形態によれば、以下の効果が得られる。
(1)発光装置100のサブ画素18における画素電極31は、外周側に位置する第1画素電極31aと第1画素電極31aの内側に位置する第2画素電極31bとに分割されている。駆動用トランジスター23のドレインと第1画素電極31aとの電気的な接続を図る第1接続用配線61の一部と、駆動用トランジスター23のドレインと第2画素電極31bとの電気的な接続を図る第2接続用配線64の一部とは、基材11側から見て遮光されていない配線構造となっている。したがって、第1接続用配線61の一部や第2接続用配線64の一部にレーザー光を照射して切断することにより、第1画素電極31a、第2画素電極31bをそれぞれ電気的に孤立させることができる。ゆえに、機能層32を液相プロセス(液滴吐出法)で形成する際に開口部28aに沿った部分に生じ易い機能層32の塗布ムラや異物などに起因する暗点(ダークスポット)や輝点が生じたときには、暗点(ダークスポット)や輝点が生じている第1画素電極31aまたは第2画素電極31bを電気的に孤立させて、暗点(ダークスポット)や輝点が生じないように有機EL素子30を修復することができる。
(2)機能層32のうち画素電極31上に最初に形成される正孔注入層32aは、正孔注入層形成材料として、成膜後の電気抵抗が10kΩ・cm以上、100kΩ・cm未満の例えばPEDOT/PSSを用いて形成されている。したがって、画素電極31を第1画素電極31aと第2画素電極31bとに分割しても、第1画素電極31aと第2画素電極31bとの間においてリーク電流が流れ難い状態となる。ゆえに、機能層32の塗布ムラや異物に起因する暗点や輝点を修復するため、第1接続用配線61または第2接続用配線64にレーザー光を照射して切断すれば、第1画素電極31aと第2画素電極31bとをそれぞれ電気的に確実に孤立させることができる。
(3)第1接続用配線61及び第2接続用配線64は、基材11上において第1絶縁層としての絶縁層27及び隔壁28によって覆われている。したがって、第1接続用配線61または第2接続用配線64にレーザー光を照射して切断する修復作業において、機能層32や対向電極33にレーザー光が直接に照射されないので、レーザー光によって機能層32や対向電極33が損傷することを防ぐことができる。
(4)開口部27a内の第1画素電極31aと第2画素電極31bとの隙間は第2絶縁層としての絶縁層29によって埋められている。したがって、絶縁層29がない場合に比べて、機能層32を液相プロセスで形成したときに、機能層32が上記隙間の影響を受け難いので、機能層32の膜厚の均一性と膜形状(断面形状)を安定化させることができる。
According to the first embodiment, the following effects can be obtained.
(1) The pixel electrode 31 in the sub-pixel 18 of the light emitting device 100 is divided into a first pixel electrode 31a located on the outer peripheral side and a second pixel electrode 31b located inside the first pixel electrode 31a. A part of the first connection wiring 61 for electrical connection between the drain of the driving transistor 23 and the first pixel electrode 31a, and the electrical connection between the drain of the driving transistor 23 and the second pixel electrode 31b. A part of the second connection wiring 64 to be designed has a wiring structure that is not shielded from light as viewed from the base material 11 side. Accordingly, the first pixel electrode 31a and the second pixel electrode 31b are electrically isolated from each other by irradiating and cutting a part of the first connection wiring 61 and a part of the second connection wiring 64 with laser light. Can be made. Therefore, when the functional layer 32 is formed by a liquid phase process (droplet discharge method), dark spots (dark spots) or bright spots caused by uneven application of the functional layer 32 or foreign matters that are likely to occur in a portion along the opening 28a. When a dot is generated, the first pixel electrode 31a or the second pixel electrode 31b in which a dark spot (dark spot) or a bright spot is generated is electrically isolated, and no dark spot (dark spot) or bright spot is generated. Thus, the organic EL element 30 can be repaired.
(2) The hole injection layer 32a initially formed on the pixel electrode 31 in the functional layer 32 has a post-deposition electrical resistance of 10 kΩ · cm or more and less than 100 kΩ · cm as a hole injection layer forming material. For example, it is formed using PEDOT / PSS. Therefore, even if the pixel electrode 31 is divided into the first pixel electrode 31a and the second pixel electrode 31b, a leak current hardly flows between the first pixel electrode 31a and the second pixel electrode 31b. Therefore, if the first connection wiring 61 or the second connection wiring 64 is cut by irradiating the first connection wiring 61 or the second connection wiring 64 in order to repair dark spots and bright spots caused by uneven coating of the functional layer 32 and foreign matters, the first pixel The electrode 31a and the second pixel electrode 31b can be electrically isolated from each other reliably.
(3) The first connection wiring 61 and the second connection wiring 64 are covered with the insulating layer 27 and the partition wall 28 as the first insulating layer on the substrate 11. Therefore, in the repairing operation in which the first connection wiring 61 or the second connection wiring 64 is cut by irradiating the laser beam, the functional layer 32 and the counter electrode 33 are not directly irradiated with the laser beam. 32 and the counter electrode 33 can be prevented from being damaged.
(4) A gap between the first pixel electrode 31a and the second pixel electrode 31b in the opening 27a is filled with an insulating layer 29 as a second insulating layer. Therefore, when the functional layer 32 is formed by a liquid phase process as compared with the case where the insulating layer 29 is not provided, the functional layer 32 is not easily affected by the gap. (Cross sectional shape) can be stabilized.

(第2実施形態)
次に、第2実施形態の発光装置について、図7を参照して説明する。図7は第2実施形態の発光装置におけるサブ画素の構成を示す概略平面図である。第2実施形態の発光装置におけるサブ画素18は、第1実施形態の発光装置100におけるサブ画素18の画素電極31の分割方法を異ならせたものである。したがって、第1実施形態と同じ構成には同じ符号を付して詳細な説明は省略する。
(Second Embodiment)
Next, the light-emitting device of 2nd Embodiment is demonstrated with reference to FIG. FIG. 7 is a schematic plan view showing the configuration of subpixels in the light emitting device of the second embodiment. The subpixels 18 in the light emitting device of the second embodiment are different in the division method of the pixel electrodes 31 of the subpixels 18 in the light emitting device 100 of the first embodiment. Therefore, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals and detailed description thereof is omitted.

図7に示すように、本実施形態における発光装置のサブ画素18は、画素電極31が3分割されている。具体的には、画素電極31の外周側に位置する第1画素電極31aと、第1画素電極31aの内側の辺部に沿って環状に設けられた第2画素電極31cと、第2画素電極31cで囲まれた領域に設けられた第3画素電極31dとに分割されている。   As shown in FIG. 7, the pixel electrode 31 is divided into three parts in the sub-pixel 18 of the light emitting device in the present embodiment. Specifically, a first pixel electrode 31a located on the outer peripheral side of the pixel electrode 31, a second pixel electrode 31c provided in an annular shape along an inner side of the first pixel electrode 31a, and a second pixel electrode It is divided into a third pixel electrode 31d provided in a region surrounded by 31c.

駆動用トランジスター23のドレインにコンタクトホール51を介して電気的に接続された接続配線55に対して、第1画素電極31aは、第1接続用配線61と、第1接続用配線61の両端に設けられたコンタクトホール62,63とによって電気的に接続されている。同様に、接続配線55に対して、第2画素電極31cは、第2接続用配線64と、第2接続用配線64の両端に設けられたコンタクトホール65,66とによって電気的に接続されている。同様に、接続配線55に対して、第3画素電極31dは、第3接続用配線67と、第3接続用配線67の両端に設けられたコンタクトホール68,69とによって電気的に接続されている。   With respect to the connection wiring 55 electrically connected to the drain of the driving transistor 23 through the contact hole 51, the first pixel electrode 31 a is connected to both ends of the first connection wiring 61 and the first connection wiring 61. The contact holes 62 and 63 are electrically connected. Similarly, the second pixel electrode 31 c is electrically connected to the connection wiring 55 by a second connection wiring 64 and contact holes 65 and 66 provided at both ends of the second connection wiring 64. Yes. Similarly, the third pixel electrode 31 d is electrically connected to the connection wiring 55 by a third connection wiring 67 and contact holes 68 and 69 provided at both ends of the third connection wiring 67. Yes.

第1接続用配線61、第2接続用配線64、第3接続用配線67において、コンタクトホール62,65,68を除く部分は、基材11側から見て他の接続配線や信号配線などを重なっておらず遮光されていない。したがって、第1接続用配線61の一部、第2接続用配線64の一部、第3接続用配線67の一部のいずれかにレーザー光を照射して切断すると、第1画素電極31a、第2画素電極31c、第3画素電極31dのそれぞれを電気的に孤立させることができる。
特に、機能層32を液相プロセス(液滴吐出法)で形成したときに、機能層32の塗布ムラが第1画素電極31aだけでなく、第2画素電極31cの部分に及んだとしても、第1画素電極31aと第2画素電極31cとを電気的に孤立させれば、塗布ムラに起因する暗点や輝点を見かけ上修復することができる。すなわち、第1実施形態のように画素電極31を2分割する場合に比べて、より効果的な有機EL素子30の修復が可能である。
In the first connection wiring 61, the second connection wiring 64, and the third connection wiring 67, portions other than the contact holes 62, 65, and 68 are other connection wirings, signal wirings, etc. as viewed from the base material 11 side. It does not overlap and is not shielded from light. Therefore, when one of the first connection wiring 61, the second connection wiring 64, or the third connection wiring 67 is cut by irradiating with laser light, the first pixel electrode 31a, Each of the second pixel electrode 31c and the third pixel electrode 31d can be electrically isolated.
In particular, when the functional layer 32 is formed by a liquid phase process (droplet discharge method), even if the coating unevenness of the functional layer 32 reaches not only the first pixel electrode 31a but also the second pixel electrode 31c. If the first pixel electrode 31a and the second pixel electrode 31c are electrically isolated, it is possible to apparently repair dark spots and bright spots caused by coating unevenness. That is, it is possible to repair the organic EL element 30 more effectively than in the case where the pixel electrode 31 is divided into two as in the first embodiment.

(第3実施形態)
次に、第3実施形態の発光装置について、図8を参照して説明する。図8は第3実施形態の発光装置におけるサブ画素の構成を示す概略平面図である。第3実施形態の発光装置におけるサブ画素は、第1実施形態の発光装置100におけるサブ画素18の画素電極31の分割方法を異ならせたものである。したがって、第1実施形態と同じ構成には同じ符号を付して詳細な説明は省略する。
(Third embodiment)
Next, the light-emitting device of 3rd Embodiment is demonstrated with reference to FIG. FIG. 8 is a schematic plan view showing the configuration of subpixels in the light emitting device of the third embodiment. The sub-pixels in the light-emitting device of the third embodiment are different in the division method of the pixel electrode 31 of the sub-pixel 18 in the light-emitting device 100 of the first embodiment. Therefore, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals and detailed description thereof is omitted.

図8に示すように、本実施形態における発光装置のサブ画素18は、画素電極31が3分割されている。具体的には、画素電極31は、画素電極31の外周側に位置する第1画素電極31aと、第1画素電極31aによって囲まれた領域で、サブ画素18の長手方向(Y方向)において上下に対称的に分割された第2画素電極31eと、第3画素電極31fとにより構成されている。   As shown in FIG. 8, the pixel electrode 31 is divided into three parts in the sub-pixel 18 of the light emitting device in the present embodiment. Specifically, the pixel electrode 31 is a region surrounded by the first pixel electrode 31a located on the outer peripheral side of the pixel electrode 31 and the first pixel electrode 31a, and is vertically moved in the longitudinal direction (Y direction) of the sub-pixel 18. The second pixel electrode 31e and the third pixel electrode 31f are symmetrically divided.

駆動用トランジスター23のドレインにコンタクトホール51を介して電気的に接続された接続配線55に対して、第1画素電極31aは、第1接続用配線61と、第1接続用配線61の両端に設けられたコンタクトホール62,63とによって電気的に接続されている。同様に、接続配線55に対して、第2画素電極31eは、第2接続用配線64と、第2接続用配線64の両端に設けられたコンタクトホール65,66とによって電気的に接続されている。同様に、接続配線55に対して、第3画素電極31fは、第3接続用配線67と、第3接続用配線67の両端に設けられたコンタクトホール68,69とによって電気的に接続されている。   With respect to the connection wiring 55 electrically connected to the drain of the driving transistor 23 through the contact hole 51, the first pixel electrode 31 a is connected to both ends of the first connection wiring 61 and the first connection wiring 61. The contact holes 62 and 63 are electrically connected. Similarly, the second pixel electrode 31e is electrically connected to the connection wiring 55 by a second connection wiring 64 and contact holes 65 and 66 provided at both ends of the second connection wiring 64. Yes. Similarly, the third pixel electrode 31 f is electrically connected to the connection wiring 55 by a third connection wiring 67 and contact holes 68 and 69 provided at both ends of the third connection wiring 67. Yes.

第1接続用配線61、第2接続用配線64、第3接続用配線67において、コンタクトホール62,65,68を除く部分は、基材11側から見て他の接続配線や信号配線などを重なっておらず遮光されていない。したがって、第1接続用配線61の一部、第2接続用配線64の一部、第3接続用配線67の一部のいずれかにレーザー光を照射して切断すると、第1画素電極31a、第2画素電極31e、第3画素電極31fのそれぞれを電気的に孤立させることができる。   In the first connection wiring 61, the second connection wiring 64, and the third connection wiring 67, portions other than the contact holes 62, 65, and 68 are other connection wirings, signal wirings, etc. as viewed from the base material 11 side. It does not overlap and is not shielded from light. Therefore, when one of the first connection wiring 61, the second connection wiring 64, or the third connection wiring 67 is cut by irradiating with laser light, the first pixel electrode 31a, Each of the second pixel electrode 31e and the third pixel electrode 31f can be electrically isolated.

特に、機能層32の形成過程で、機能層32に異物が侵入したとしても、画素電極31が3分割され、且つ、第2画素電極31eと第3画素電極31fとは面積が等しくなるように分割されているので、第1実施形態のように画素電極31を2分割する場合に比べて、修復によって発光しなくなる面積が抑えられ、より効果的な有機EL素子30の修復が可能である。   In particular, even if a foreign substance enters the functional layer 32 in the process of forming the functional layer 32, the pixel electrode 31 is divided into three, and the second pixel electrode 31e and the third pixel electrode 31f have the same area. Since it is divided, compared to the case where the pixel electrode 31 is divided into two as in the first embodiment, the area that does not emit light due to the repair is suppressed, and the organic EL element 30 can be repaired more effectively.

(第4実施形態)
次に、本実施形態の電子機器について、図9を参照して説明する。図9(a)は電子機器の一例であるノート型のパーソナルコンピューターを示す概略図、図9(b)は電子機器の一例である薄型テレビ(TV)を示す概略図である。
(Fourth embodiment)
Next, the electronic apparatus of this embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 9A is a schematic diagram illustrating a laptop personal computer that is an example of an electronic device, and FIG. 9B is a schematic diagram illustrating a flat-screen television (TV) that is an example of the electronic device.

図9(a)に示すように、電子機器としてのパーソナルコンピューター1000は、キーボード1002を備えた本体部1001と、表示部1004を備える表示ユニット1003とにより構成され、表示ユニット1003は、本体部1001に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このパーソナルコンピューター1000において、表示部1004に上記第1実施形態の発光装置100が搭載されている。
As shown in FIG. 9A, a personal computer 1000 as an electronic device includes a main body portion 1001 including a keyboard 1002 and a display unit 1003 including a display portion 1004. The display unit 1003 is a main body portion 1001. On the other hand, it is rotatably supported via a hinge structure.
In the personal computer 1000, the light emitting device 100 of the first embodiment is mounted on the display unit 1004.

図9(b)に示すように、電子機器としての薄型テレビ(TV)1100は、表示部1101に上記第1実施形態の発光装置100が搭載されている。   As shown in FIG. 9B, in a flat-screen television (TV) 1100 as an electronic device, the light emitting device 100 of the first embodiment is mounted on a display unit 1101.

発光装置100はサブ画素18における暗点や輝点を見かけ上修復可能となっているので、暗点や輝点を不良とする割合が減少する。したがって、歩留まりよく発光装置100が製造されるので、コストパフォーマンスに優れたパーソナルコンピューター1000や薄型TV1100を提供することができる。   Since the light emitting device 100 can apparently repair the dark spots and bright spots in the sub-pixel 18, the ratio of defective dark spots and bright spots decreases. Therefore, since the light-emitting device 100 is manufactured with high yield, the personal computer 1000 and the thin TV 1100 with excellent cost performance can be provided.

発光装置100が搭載される電子機器は、上記パーソナルコンピューター1000や薄型TV1100に限定されない。例えば、スマートフォンやPOSなどの携帯型情報端末、ナビゲーター、ビューワー、デジタルカメラ、モニター直視型のビデオレコーダーなどの表示部を有する電子機器が挙げられる。   The electronic device on which the light emitting device 100 is mounted is not limited to the personal computer 1000 or the thin TV 1100. For example, an electronic apparatus having a display unit such as a portable information terminal such as a smartphone or a POS, a navigator, a viewer, a digital camera, or a monitor direct-view video recorder can be given.

本発明は、上記した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う発光装置100及び該発光装置100を適用する電子機器もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately changed without departing from the gist or concept of the invention that can be read from the claims and the entire specification. Electronic devices to which the light emitting device 100 is applied are also included in the technical scope of the present invention. Various modifications other than the above embodiment are conceivable. Hereinafter, a modification will be described.

(変形例1)機能層32を構成する有機層のすべてが液相プロセスで形成されることに限定されない。機能層32を構成するところの正孔注入層32a、中間層32c、発光層(発光層32r,32g,32b)のうち少なくとも1層が液相プロセスで形成されていれば、本発明を用いることによって有機EL素子30の修復が効果的に可能となる。   (Modification 1) It is not limited that all the organic layers constituting the functional layer 32 are formed by a liquid phase process. The present invention is used if at least one of the hole injection layer 32a, the intermediate layer 32c, and the light emitting layer (light emitting layers 32r, 32g, 32b) constituting the functional layer 32 is formed by a liquid phase process. Thus, the organic EL element 30 can be effectively repaired.

(変形例2)発光装置100において、サブ画素18R,18G,18Bごとに異なる色の発光が得られる機能層32が形成されることに限定されない。図10は変形例の発光装置のサブ画素の構造を示す概略断面図である。なお、上記発光装置100と同じ構成には同じ符号を付して説明する。図10に示すように、変形例の発光装置200は、素子基板10に有機EL素子30R,30G,30Bを有する。有機EL素子30R,30G,30Bのそれぞれは、第1画素電極31aと第2画素電極31bとに2分割された画素電極31R,31G,31Bを有する。また、画素電極31R,31G,31Bと共通電極としての対向電極33との間には、有機EL素子30R,30G,30Bに共通して設けられた機能層32を有する。機能層32は白色発光が得られる構成を有している。例えば、機能層32は、赤(R)の発光が得られる発光層と、緑(G)の発光が得られる発光層と、青(B)の発光が得られる発光層とを含むものである。また、例えば、青(B)の発光が得られる発光層と、黄(Y)の発光が得られる発光層とを含んで擬似白色発光が得られる構成であってもよい。
有機EL素子30R,30G,30Bからの発光は、反射層60によって反射され、対向基板40の着色層(フィルター層)37R,37G,37Bを透過して対向基板40側から取り出される。したがって、発光装置200はトップエミッション型である。
発光装置200において、白色発光が得られる機能層32は、液相プロセスまたは気相プロセス、あるいはその両方を用いて形成することができる。代表的な液相プロセスとしてはスピンコート法などを挙げることができる。画素電極31(第1画素電極31a)の外縁に重なる絶縁層27によって開口部27aが形成されている。したがって、例えば、スピンコート法を用いて機能層32を形成する場合、開口部27aの辺部に沿って機能層32の塗布ムラが生ずる可能性がある。ゆえに、画素電極31を第1画素電極31aと第2画素電極31bとに分割しておくことは有効である。
(Modification 2) In the light emitting device 100, the functional layer 32 that can emit light of different colors is not formed for each of the sub-pixels 18R, 18G, and 18B. FIG. 10 is a schematic cross-sectional view illustrating the structure of a subpixel of a light emitting device according to a modification. In addition, the same code | symbol is attached | subjected and demonstrated to the same structure as the said light-emitting device 100. As illustrated in FIG. 10, a light emitting device 200 according to a modification includes organic EL elements 30 </ b> R, 30 </ b> G, and 30 </ b> B on an element substrate 10. Each of the organic EL elements 30R, 30G, and 30B includes pixel electrodes 31R, 31G, and 31B that are divided into two parts, a first pixel electrode 31a and a second pixel electrode 31b. Further, between the pixel electrodes 31R, 31G, and 31B and the counter electrode 33 as a common electrode, a functional layer 32 provided in common to the organic EL elements 30R, 30G, and 30B is provided. The functional layer 32 has a configuration capable of obtaining white light emission. For example, the functional layer 32 includes a light emitting layer capable of obtaining red (R) light emission, a light emitting layer capable of obtaining green (G) light emission, and a light emitting layer capable of obtaining blue (B) light emission. For example, the light emitting layer which can obtain blue (B) light emission, and the light emitting layer from which yellow (Y) light emission is obtained may be the structure which can obtain pseudo white light emission.
Light emitted from the organic EL elements 30R, 30G, and 30B is reflected by the reflective layer 60, passes through the colored layers (filter layers) 37R, 37G, and 37B of the counter substrate 40, and is extracted from the counter substrate 40 side. Therefore, the light emitting device 200 is a top emission type.
In the light emitting device 200, the functional layer 32 capable of obtaining white light emission can be formed using a liquid phase process, a gas phase process, or both. A typical liquid phase process includes a spin coating method. An opening 27a is formed by the insulating layer 27 overlapping the outer edge of the pixel electrode 31 (first pixel electrode 31a). Therefore, for example, when the functional layer 32 is formed using a spin coating method, there is a possibility that uneven application of the functional layer 32 may occur along the side of the opening 27a. Therefore, it is effective to divide the pixel electrode 31 into the first pixel electrode 31a and the second pixel electrode 31b.

(変形例3)上記第2実施形態及び上記第3実施形態では、サブ画素18の画素電極31を3分割したが、これに限定されず、さらに分割数を増やすこともできる。例えば、第1画素電極31aをY方向において上下に分割して、画素電極31を4分割としてもよい。   (Modification 3) In the second embodiment and the third embodiment, the pixel electrode 31 of the sub-pixel 18 is divided into three. However, the present invention is not limited to this, and the number of divisions can be increased. For example, the first pixel electrode 31a may be divided into upper and lower parts in the Y direction, and the pixel electrode 31 may be divided into four parts.

(変形例4)トップエミッション型の発光装置100における画素電極31の平面的な配置は、これに限定されない。例えば、図3において、反射層60をスイッチング用トランジスター21、蓄積容量22、駆動用トランジスター23と重なるように配置すれば、画素電極31も反射層60に対応して、スイッチング用トランジスター21、蓄積容量22、駆動用トランジスター23と重なるように配置することができる。したがって、より大きな発光面積とすることができる。   (Modification 4) The planar arrangement of the pixel electrode 31 in the top emission type light emitting device 100 is not limited to this. For example, in FIG. 3, if the reflective layer 60 is arranged so as to overlap the switching transistor 21, the storage capacitor 22, and the driving transistor 23, the pixel electrode 31 also corresponds to the reflective layer 60, and the switching transistor 21, the storage capacitor 22 and the driving transistor 23 can be arranged so as to overlap. Therefore, a larger light emission area can be obtained.

(変形例5)本発明の画素電極31の分割が適用される発光装置は、トップエミッション型に限定されない。基材11上において、反射層60を削除し、対向電極33が光反射性を有するように構成すれば、機能層32からの発光を基材11側から取り出すボトムエミッション型の発光装置にも適用することができる。   (Modification 5) The light emitting device to which the division of the pixel electrode 31 of the present invention is applied is not limited to the top emission type. If the reflective layer 60 is deleted on the base material 11 and the counter electrode 33 is configured to have light reflectivity, it is also applicable to a bottom emission type light emitting device that extracts light emitted from the functional layer 32 from the base material 11 side. can do.

10…素子基板、11…基板としての基材、14…電源線、23…トランジスターとしての駆動用トランジスター、27…下層絶縁層としての絶縁層、28…上層絶縁層としての有機絶縁層または隔壁、29…第2絶縁層としての絶縁層、30…発光素子としての有機EL素子、31…画素電極、31a…第1画素電極、31b,31c,31e…第2画素電極、31d,31f…第3画素電極、32,32R,32G,32B…機能層、32a…正孔注入層、32c…中間層、32r,32g,32b…発光層、33…対向電極、37…カラーフィルター、40…対向基板、61…第1接続用配線、64…第2接続用配線、67…第3接続用配線、100,200…発光装置、1000…電子機器としてのパーソナルコンピューター、1100…電子機器としての薄型テレビ(TV)。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Element board | substrate, 11 ... Base material as a board | substrate, 14 ... Power supply line, 23 ... Transistor for a drive as a transistor, 27 ... Insulating layer as a lower insulating layer, 28 ... Organic insulating layer or partition as an upper insulating layer, 29 ... an insulating layer as a second insulating layer, 30 ... an organic EL element as a light emitting element, 31 ... a pixel electrode, 31a ... a first pixel electrode, 31b, 31c, 31e ... a second pixel electrode, 31d, 31f ... a third Pixel electrode, 32, 32R, 32G, 32B ... functional layer, 32a ... hole injection layer, 32c ... intermediate layer, 32r, 32g, 32b ... light emitting layer, 33 ... counter electrode, 37 ... color filter, 40 ... counter substrate, 61 ... 1st connection wiring, 64 ... 2nd connection wiring, 67 ... 3rd connection wiring, 100, 200 ... Light-emitting device, 1000 ... Personal computer as electronic equipment, 11 0 ... a flat-screen TV as an electronic equipment (TV).

Claims (7)

透光性の基板上に設けられた、
トランジスターと、
前記トランジスターのソースまたはドレインの一方に電気的に接続された電源線と、
前記ソースまたは前記ドレインのうち他方に電気的に接続された画素電極と、
前記画素電極に対向して配置された対向電極と、
前記画素電極と前記対向電極との間で少なくとも1層が塗布法で形成された、発光層を含む機能層と、を有する発光素子とを備え、
前記画素電極は、前記画素電極の外周側に配置された第1画素電極と、前記第1画素電極により囲まれた領域の内側に配置された第2画素電極とに分割され、
前記ソースまたは前記ドレインの他方と前記第1画素電極との間に設けられた第1接続用配線と、
前記ソースまたは前記ドレインの他方と前記第2画素電極との間に設けられた第2接続用配線とを有し、
前記第1接続用配線の少なくとも一部及び前記第2接続用配線の少なくとも一部は、前記基板側から入射する光が届くように遮光されていないことを特徴とする発光装置。
Provided on a translucent substrate,
Transistors,
A power line electrically connected to one of a source or a drain of the transistor;
A pixel electrode electrically connected to the other of the source or the drain;
A counter electrode disposed to face the pixel electrode;
A light emitting element having a functional layer including a light emitting layer, wherein at least one layer is formed by a coating method between the pixel electrode and the counter electrode,
The pixel electrode is divided into a first pixel electrode arranged on the outer peripheral side of the pixel electrode and a second pixel electrode arranged inside a region surrounded by the first pixel electrode,
A first connection wiring provided between the other of the source or the drain and the first pixel electrode;
A second connection wiring provided between the other of the source or the drain and the second pixel electrode;
At least a part of the first connection wiring and at least a part of the second connection wiring are not shielded so that light incident from the substrate side can reach.
前記第1画素電極の外縁と重なって形成され、前記画素電極上に開口部を構成する第1絶縁層を有し、
前記第1接続用配線及び前記第2接続用配線は、前記第1絶縁層により覆われていることを特徴とする請求項1に記載の発光装置。
A first insulating layer formed on the outer edge of the first pixel electrode and forming an opening on the pixel electrode;
The light emitting device according to claim 1, wherein the first connection wiring and the second connection wiring are covered with the first insulating layer.
前記第1絶縁層は、前記第1画素電極に接して形成された無機絶縁材料からなる下層絶縁層と、前記下層絶縁層上に形成された有機絶縁材料からなる上層絶縁層とを含むことを特徴とする請求項2に記載の発光装置。   The first insulating layer includes a lower insulating layer made of an inorganic insulating material formed in contact with the first pixel electrode, and an upper insulating layer made of an organic insulating material formed on the lower insulating layer. The light-emitting device according to claim 2. 前記第1画素電極により囲まれた領域で、前記第1画素電極と前記第2画素電極との隙間を埋める第2絶縁層を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の発光装置。   4. The semiconductor device according to claim 1, further comprising a second insulating layer that fills a gap between the first pixel electrode and the second pixel electrode in a region surrounded by the first pixel electrode. 5. The light-emitting device of description. 前記機能層は電気抵抗が10kΩ・cm以上100kΩ・cm未満の正孔注入層を含むことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 1, wherein the functional layer includes a hole injection layer having an electric resistance of 10 kΩ · cm or more and less than 100 kΩ · cm. 前記画素電極は、前記第1画素電極により囲まれた領域の内側に配置された第3画素電極を含み、
前記ソースまたは前記ドレインの他方と前記第3画素電極との間に設けられた第3接続用配線を有し、
前記第3接続用配線の少なくとも一部は、前記基板側から入射する光が届くように遮光されていないことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の発光装置。
The pixel electrode includes a third pixel electrode disposed inside a region surrounded by the first pixel electrode,
A third connection wiring provided between the other of the source or the drain and the third pixel electrode;
6. The light emitting device according to claim 1, wherein at least a part of the third connection wiring is not shielded so that light incident from the substrate side reaches. 6.
請求項1乃至6のいずれか一項に記載の発光装置を備えたことを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising the light emitting device according to claim 1.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2019061777A (en) * 2017-09-25 2019-04-18 キヤノン株式会社 Organic el display device
WO2022238804A1 (en) * 2021-05-13 2022-11-17 株式会社半導体エネルギー研究所 Light-emitting device, light-emitting apparatus, display apparatus, electronic equipment, and lighting apparatus

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