JP2014077685A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2014077685A5
JP2014077685A5 JP2012224929A JP2012224929A JP2014077685A5 JP 2014077685 A5 JP2014077685 A5 JP 2014077685A5 JP 2012224929 A JP2012224929 A JP 2012224929A JP 2012224929 A JP2012224929 A JP 2012224929A JP 2014077685 A5 JP2014077685 A5 JP 2014077685A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
defect
image
pattern
light
unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2012224929A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2014077685A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2012224929A priority Critical patent/JP2014077685A/ja
Priority claimed from JP2012224929A external-priority patent/JP2014077685A/ja
Publication of JP2014077685A publication Critical patent/JP2014077685A/ja
Publication of JP2014077685A5 publication Critical patent/JP2014077685A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP2012224929A 2012-10-10 2012-10-10 パターン欠陥検出装置およびパターン欠陥検出方法 Pending JP2014077685A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012224929A JP2014077685A (ja) 2012-10-10 2012-10-10 パターン欠陥検出装置およびパターン欠陥検出方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012224929A JP2014077685A (ja) 2012-10-10 2012-10-10 パターン欠陥検出装置およびパターン欠陥検出方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014077685A JP2014077685A (ja) 2014-05-01
JP2014077685A5 true JP2014077685A5 (enExample) 2015-11-12

Family

ID=50783091

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012224929A Pending JP2014077685A (ja) 2012-10-10 2012-10-10 パターン欠陥検出装置およびパターン欠陥検出方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2014077685A (enExample)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017110653A1 (ja) 2015-12-22 2017-06-29 オリンパス株式会社 顕微鏡システム
JP6817893B2 (ja) * 2017-05-18 2021-01-20 Ntn株式会社 外観検査装置
WO2019239501A1 (ja) * 2018-06-12 2019-12-19 株式会社エフケー光学研究所 異物検査装置及び異物検査方法
JP7511875B2 (ja) * 2020-06-01 2024-07-08 株式会社 システムスクエア 検査装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61122648A (ja) * 1984-11-20 1986-06-10 Nippon Kogaku Kk <Nikon> 欠陥検査装置
JPH06208017A (ja) * 1993-01-11 1994-07-26 Sony Corp カラーフィルターの欠陥検査方法および欠陥検査装置
JP3243703B2 (ja) * 1993-10-26 2002-01-07 大日本印刷株式会社 ビューファインダー用カラーフイルターの欠陥検出方法
JPH08226901A (ja) * 1995-02-21 1996-09-03 Dainippon Printing Co Ltd ビューファインダー用カラーフイルターの検査装置
JP4521741B2 (ja) * 1999-06-25 2010-08-11 大日本印刷株式会社 カラーフィルタの欠陥修正方法
JP4707605B2 (ja) * 2006-05-16 2011-06-22 三菱電機株式会社 画像検査方法およびその方法を用いた画像検査装置
JP2010019880A (ja) * 2008-07-08 2010-01-28 Toppan Printing Co Ltd カラーフィルタの欠陥修正方法及び欠陥修正装置
JP2011128030A (ja) * 2009-12-18 2011-06-30 Sharp Corp 欠陥検査装置、及び欠陥情報管理方法
JP2012002676A (ja) * 2010-06-17 2012-01-05 Toshiba Corp マスク欠陥検査装置およびマスク欠陥検査方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP4354162A3 (en) Apparatus, method and computer program product for defect detection in work pieces
JP2010244484A5 (enExample)
JP2014077685A5 (enExample)
CN105784723A (zh) 透射式缺陷检查装置和透射式缺陷检查方法
US9069266B2 (en) Alignment method, alignment apparatus, and exposure apparatus
JP2016045194A (ja) 光学フィルム検査装置
WO2008042832A3 (en) Calibration apparatus and method for fluorescent imaging
JP2009271497A (ja) カラーフィルタ基板の欠陥検査装置および欠陥検査方法
JP7173641B2 (ja) 表示装置パネルに対するレーザーリペア及び検査方法とこれに適したリペア及び検査装置
TWI534424B (zh) 圖案檢查裝置及圖案檢查方法
EP2747423A3 (en) Projector and method for controlling projector
TWI740918B (zh) 偵測光學膜之缺陷的系統與方法
JP6707443B2 (ja) 欠陥検査用画像撮像システム、欠陥検査システム、フィルム製造装置、欠陥検査用画像撮像方法、欠陥検査方法及びフィルム製造方法
JP2015055849A5 (enExample)
JP2015031940A5 (enExample)
JP6616658B2 (ja) 被搬送物の検査方法
JP5556212B2 (ja) 偏光板を貼合した液晶パネルの欠陥検査方法
JP5971800B2 (ja) シート状物の検査装置
US8717544B2 (en) Alignment method, alignment apparatus, and exposure apparatus
JP2009049862A5 (enExample)
JP2014077685A (ja) パターン欠陥検出装置およびパターン欠陥検出方法
TW200619784A (en) Apparatus for inspecting backlight unit
JP5077887B2 (ja) カラーフィルタ欠陥修正方法およびカラーフィルタ欠陥修正装置
WO2015129138A1 (ja) 観察装置
JP2013195378A (ja) 液晶検査装置