JP2014075392A - 清掃具及び清掃装置 - Google Patents

Abstract

【課題】被清掃面及び粘着性ローラの帯電を容易かつ確実に防止できる清掃具を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、略円柱状の芯材及びこの芯材の周面側に積層される略円筒状の粘着層を有するローラと、上記芯材を回転可能に支持するフレームとを備え、上記粘着層で被清掃面の異物除去を行う清掃具であって、上記フレームに接続され、フレームと反対側の先端部が被清掃面に接触可能に構成されるブラシをさらに備えており、上記芯材、粘着層、フレーム及びブラシが導電性を有し、上記芯材及び粘着層間と芯材及びフレーム間とが電気を伝導するよう構成されていることを特徴とする。上記ブラシとして、芯材の中心軸を挟んで対向する位置に配設される一対のブラシを備えているとよい。上記粘着層が、ウレタン系樹脂を主成分として含有しているとよい。上記粘着層が、カーボンブラックを含有しているとよい。
【選択図】図１

Description

本発明は、清掃具及び清掃装置に関する。

近年、半導体基板等の電子部品の精密化が進んでおり、日を追うごとに高機能化された電子機器が開発されつつある。このような電子機器の製造工程において電子部品に異物が付着し、そのまま電子機器を組み立てると、サブミクロンオーダーの微小な異物であっても電子機器の運転に支障をきたす場合がある。そこで、電子機器の製造工程では、基板等の電子部品に付着した異物等を除去するクリーニングが必須となる。

このクリーニングとしては、例えば粘着性ローラを有する清掃具を基板等の被クリーニング材の表面上に転動させることで異物を除去する作業が手動又は自動で行われている。この清掃具は、粘着性ローラを被クリーニング材の表面に接触させて異物を除去するものであるが、この際に粘着性ローラと被クリーニング材との摩擦によって静電気が発生し、粘着性ローラと被クリーニング材とが帯電する。

被クリーニング材が帯電すると、電子機器に不具合が発生したり、クリーニング後に異物を吸引しやすくなったりなどの不都合が生じ得る。また、粘着性ローラが帯電すると、粘着性ローラと被クリーニング材との間でスパーク（放電）等のトラブルが生じ得る。そこで、これらの不都合を防止すべく、導電性ブラシを備えた清掃具が考案されている（特開平７−２８１３３０号公報参照）。この清掃具は、粘着性ローラ及び被清掃面にそれぞれ接触する導電性ブラシを備え、これらに帯電した電荷を除電する構成を有している。しかしながら、この清掃具においては、間接的に粘着性ローラの除電を行っているため、粘着性ローラの除電が十分ではなく、スパークの危険性が完全に払拭されていない。また、粘着性ローラが常に導電性ブラシと摺動するため、粘着剤の剥離やローラ表面の粗面化が発生し、被清掃面に対する異物除去効果が劣化しやすいという不都合がある。

特開平７−２８１３３０号公報

本発明の目的は、以上のような事情に基づいてなされたものであり、被清掃面及び粘着性ローラの帯電を容易かつ確実に防止できる清掃具を提供することにある。

上記課題を解決するためになされた発明は、
略円柱状の芯材及びこの芯材の周面側に積層される略円筒状の粘着層を有するローラと、
上記芯材を回転可能に支持するフレームと
を備え、上記粘着層で被清掃面の異物除去を行う清掃具であって、
上記フレームに接続され、フレームと反対側の先端部が被清掃面に接触可能に構成されるブラシをさらに備えており、
上記芯材、粘着層、フレーム及びブラシが導電性を有し、
上記芯材及び粘着層間と芯材及びフレーム間とが電気を伝導するよう構成されていることを特徴とする。

当該清掃具は、芯材、粘着層及びフレームが導電性を有し、芯材及び粘着層間と芯材及びフレーム間とが電気を伝導するよう構成されているため、フレームを接地することで粘着層への帯電を防止することができる。また、当該清掃具は、フレームに接続され、フレームと反対側の先端部が被清掃面に接触可能に構成される導電性のブラシを有するため、粘着層が転動した被清掃面に導電性ブラシが接触可能であり、被清掃面に帯電した電荷を接地したフレームを介し除電することができる。また、粘着層とブラシとが電気的に導通されているため、当該清掃具の使用時に粘着層と被清掃面との電位が略等しく維持され、スパークの発生を効果的に防止できる。さらに当該清掃具は、粘着層と摺動する部材を有しないため、粘着層の劣化が防止され、耐久性を維持できる。

上記粘着層が、ウレタン系樹脂を主成分として含有しているとよい。このようにウレタン系樹脂を主成分とした材料で粘着層を形成することで、粘着層の耐摩耗性が向上するため、当該清掃具の耐久性を高めることができる。

上記粘着層が、カーボンブラックを含有しているとよい。このように粘着層にカーボンブラックを含有させることで、容易かつ確実に粘着層に導電性を付与することができる。また、カーボンブラックによって、粘着層を黒色に着色できるため、粘着層に付着した異物の確認を容易化できる。

上記ブラシとして、芯材の中心軸を挟んで対向する位置に配設される一対のブラシを備えているとよい。このように、芯材（ローラ）を挟んで対向するように一対の導電性ブラシを設けることで、被清掃面に対して一方のブラシで除電を行った後に粘着層が接触するため、効果的に異物を除去することができるとともに、粘着層との摩擦により被清掃面に帯電した電荷を他方のブラシが除電するため、異物の再付着を防止することができる。また、このブラシによる作用は、ローラの回転方向によらず発揮できる。この結果、当該清掃具又は被清掃面のどちらかを前後に往復させて清掃を行う場合、さらに効果的に異物除去を行うことができる。

上記フレームに接続される導電性の把手をさらに備えるとよい。このように、当該清掃具のフレームに把手を設けることで、当該清掃具をハンドクリーナとして使用することができ、使用者を介して粘着層及び被清掃面に帯電する静電気を除電することができる。

また、上記課題を解決するためになされた別の発明は、
当該清掃具と、
この清掃具のフレームを接地する接地手段と、
清掃具に対して被清掃面を相対的に移動させる搬送手段とを
備える清掃装置である。

当該清掃装置は、当該清掃具と当該清掃具をフレームを介して接地する接地手段と被清掃面移動用の搬送手段とを備えるため、自動で被清掃面を清掃できるとともに、粘着層及び被清掃面に帯電する静電気を容易かつ確実に除電し、清掃の不具合を防止することができる。

なお、「導電性」とは、ＪＩＳ−Ｋ７１９４に準拠して測定した抵抗率が１０^７Ωｃｍ以下であることを意味する。「中心軸を挟んで対向する位置」とは、中心軸を含む仮想平面の一方の側にある位置と他方の側にある位置とを意味する。

以上説明したように、本発明の清掃具は、被清掃面及び粘着性ローラの帯電を容易かつ確実に防止できる。

第一実施形態に係る本発明の清掃具を示す模式的側面図である。 第一実施形態に係る本発明の清掃具を示す模式的平面図であり、（ａ）は被クリーニング材の被清掃面側から見た模式的平面図、（ｂ）は被クリーニング材の被清掃面と反対側から見た模式的平面図である。 第一実施形態に係る本発明の清掃装置を示す模式的側面図である。 第一実施形態とは異なる実施形態に係る本発明の清掃具を示す模式的側面図である。

以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施形態を詳説する。

［清掃具］
図１及び図２で示す本実施形態の清掃具１は、略円柱状の芯材２及びこの芯材２の周面側に積層される略円筒状の粘着層３を有するローラ４と、上記芯材２を回転可能に支持するフレーム５と、このフレーム５に接続されるブラシ６及び把手７とを備える。

＜ローラ＞
上記ローラ４は、芯材２と被クリーニング材の被清掃面Ｘ上の異物を捕捉する粘着層３とから構成される略円柱状体である。この芯材２と粘着層３とは、それぞれ導電性を有する。また、芯材２の両端部には、フレーム５が回転可能に固定されている。

芯材２は、略円柱状の中芯２ａとこの中芯２ａの周面に外挿される略円筒状の外筒２ｂとからなる。外筒２ｂは、中芯２ａの周面上を回転自在に外挿されている。そのため、中芯２ａの固定により、外筒２ｂ及び粘着層３を回転自在に支持することができる。

外筒２ｂ内部には、中芯２ａを軸支するために軸受が設けられている。この軸受としては、例えば金属製又は樹脂製の玉軸受を用いることができる。金属製又は導電性樹脂製の軸受を用いる場合は、この軸受を介して中芯２ａと外筒２ｂとが電気的に導通されるが、軸受の摩耗により導通性が低下するおそれがあるため、導電性グリスを軸受に塗布するか、別途電極を設けることが好ましい。この電極は、例えば外筒２ｂの内周面に一端が固定され、もう一端が中芯２ａの外周面に摺動するように設けることができる。また、絶縁性樹脂製の軸受を用いる場合はこの電極が必須となる。なお、上記導電性樹脂としては、導電性ポリアミド系樹脂が好適に用いられ、上記絶縁性樹脂としては、ポリアセタールが好適に用いられる。

芯材２の寸法は特に限定されず、例えば中心軸長を１０ｍｍ以上２０００ｍｍ以下とすることができる。また、中芯２ａの外径を１ｍｍ以上１００ｍｍ以下、外筒２ｂの外径を５ｍｍ以上５００ｍｍ以下とすることができる。

上記芯材２（中芯２ａ及び外筒２ｂ）の材料は導電性を有するものであれば特に限定されず、金属の他に導電性を有するカーボン材や合成樹脂等を用いることができる。これらの中でも強度及びコストの観点から金属が好ましい。この金属としては、特に軽量性及び加工性の観点からアルミニウムを好ましく用いることができる。

粘着層３は、上記芯材２（外筒２ｂ）の周面側に積層され、略円筒状に形成されている。粘着層３の寸法は特に限定されないが、外観、製造性等の観点から中心軸長は芯材２と略同一とすることが好ましい。粘着層３の厚さとしては、例えば１ｍｍ以上５０ｍｍ以下とすることができる。粘着層３の厚さが上記範囲未満の場合、柔軟性の低下によって、被清掃面Ｘに対する追従性が低下するおそれや、粘着層３の寿命が短くなるおそれがある。逆に、粘着層３の厚さが上記範囲を超える場合、製造コストが増大するおそれがある。

粘着層３の硬度の上限としては、２５°が好ましく、２０°がより好ましい。粘着層３の硬度が上記上限を超える場合、被清掃面Ｘに対する追従性が低下するおそれがある。なお、粘着層３の硬度とは、ＪＩＳ−Ａ硬度を意味し、具体的には、ＪＩＳ−Ｋ６２５３−３に準拠して計測されるデュロメータ硬さを意味する。

粘着層３の抵抗率は、導電性を発揮する１０^７Ωｃｍ以下であることが必須であり、さらに１０^６Ωｃｍ以下であることがより好ましい。粘着層３の抵抗率が上記上限を超える場合、粘着層３の導電性が低下し、静電気を十分除去することができないおそれがある。なお、抵抗率はＪＩＳ−Ｋ７１９４に準拠して測定される値である。

粘着層３の粘着力としては、１Ｎ／ｃｍ以上が好ましく、２Ｎ／ｃｍ以上がより好ましく、２．５Ｎ／ｃｍ以上がさらに好ましい。粘着層３の粘着力が上記下限未満の場合、異物を十分捕捉できないおそれがある。なお、粘着力は、ガラス板を粘着層３の長手方向に対して平行に、かつガラス板の中心線と粘着層３の中心線が合うように台の上に設置した粘着層３の上方から垂直に接触させ、８００ｋｇの荷重をガラス板に３０秒間かけた後、オートグラフで垂直方向にガラス板を速度５０ｍｍ／ｍｉｎで引張ったときの力の最大値をガラス板の長さで除して得られる値である。

上記粘着層３の材料は粘着性及び導電性を有するものであれば特に限定されず、例えば粘着性を有する主組成物に導電性を与える導電性付与剤を添加したものを用いることができる。上記主組成物としては、例えばウレタン系樹脂、ブチルゴム、シリコンゴム等を挙げることができるが、これらの中でもウレタン系樹脂が特に好ましい。ウレタン系樹脂を粘着層３の主成分として用いることで、粘着層３の耐摩耗性を向上させ、ひいては当該清掃具１の耐久性を高めることができる。

上記ウレタン系樹脂としては、例えばポリエステルポリウレタン、ポリエーテルポリウレタン等を挙げることができる。

ウレタン系樹脂の製造方法としては、プレポリマー法、擬プレポリマー法、ワンショット法、擬ワンショット法等が挙げられるが、プレポリマー法が最も一般的である。プレポリマー法においては、典型的に、イソシアネート化合物とポリオール化合物とを約５０〜１５０℃で反応させることによってウレタンプレポリマーを合成し、このウレタンプレポリマー及び適当量の硬化剤（並びに他の任意成分）を約５０〜１５０℃で加熱し反応・硬化させることによって、ウレタン系樹脂を製造することができる。ウレタン系樹脂は、所望の形状を有する金型に液状の原料（ウレタンプレポリマー及び硬化剤等）を注入し、加熱・硬化させることによって成形することができる。

粘着層３に添加する導電性付与剤としては、例えばカーボンブラック、炭素繊維、金属又は金属酸化物の微粉末、イミドリチウムなどのイオン導電剤等を挙げることができ、これらの導電性付与剤を単体又は複数の組合せで用いることができる。また、上記導電性付与剤の中でもカーボンブラックが特に好ましい。カーボンブラックは、入手が容易でコストも低く、さらに粘着層３の成形時にブリードアウトしにくいため、カーボンブラックを導電性付与剤として用いることで、低コストで容易かつ確実に導電性を有する粘着層３を形成することができる。さらに、カーボンブラックによって、粘着層３を黒色に着色できるため、粘着層３に付着した異物の視認が容易になる。また、上記カーボンブラックとしては、中空のシェル状のものが導電性向上の観点から特に好ましい。

上記導電性付与剤の添加量としては、樹脂組成物１００質量部に対して０．１質量部以上１０質量部以下が好ましい。導電性付与剤の添加量が上記範囲未満の場合、粘着層３が十分な導電性を有しないおそれがある。逆に、導電性付与剤の添加量が上記範囲を超える場合、粘着層３の機械強度等が低下するおそれがある。

粘着層３を芯材２の周面側に積層させる方法としては特に限定されず、例えば粘着層３の形成材料を遠心成形によって円柱状に形成し、その後芯材２に外挿して積層する方法や、芯材２の外側に金型を同心で配置してこの間に粘着層３の形成材料を注入し、芯材２の周面に直接粘着層３を成形して積層する方法等を用いることができる。なお、芯材２と粘着層３との接合強度を高めるために、芯材２の周面に導電性接着剤を塗布してから粘着層３を積層することが好ましい。導電性を有する粘着層３をこのように芯材２に積層することで、芯材２と粘着層３とが電気を伝導するように構成される。

＜フレーム＞
フレーム５は、フレーム本体５ａと、ブラシ支持部５ｂと、接続部５ｃとからなる。また、フレーム５は導電性を有する。

フレーム本体５ａは、平面視略長方形の平板の両端を同じ方向（被清掃面Ｘ側）に略直角に湾曲させた形状を有する。ローラ４はこの２つの湾曲部の間に挟まれるように配設され、芯材２（中芯２ａ）と湾曲部とが接続部５ｃを介して連結されている。フレーム本体５ａの湾曲部を除いた平板部は、当該清掃具１の使用時に被清掃面Ｘと略平行に維持される。

フレーム本体５ａの平板部の長さはローラ４の長さよりも大きければ特に限定されず、例えば１５ｍｍ以上２５００ｍｍ以下とすることができる。また、湾曲部の長さはローラ４とフレーム本体５ａの接続部５ｃ以外の部分とが接触しなければ特に限定されず、例えば１０ｍｍ以上５００ｍｍ以下とすることができる。また、フレーム本体５ａの厚さは、例えば２ｍｍ以上３０ｍｍ以下とすることができ、幅は、例えば１５ｍｍ以上２５００ｍｍ以下とすることができる。

接続部５ｃの形状は、ローラ４の芯材２（中芯２ａ）とフレーム本体５ａとを接続して固定できれば特に限定されず、例えば角柱や円柱とすることができる。特に、接続部５ｃを円柱状の雄ネジとし、中芯２ａの端面にこれと螺合する雌ネジを形成し、さらにフレーム本体５ａの湾曲部に接続部５ｃの貫通孔を形成することで、容易かつ確実にフレーム本体５ａと中芯２ａとを接続し固定することができる。また、このように接続部５ｃを芯材２に接続することで、芯材２とフレーム５とが電気を伝導するように構成される。

ブラシ支持部５ｂは、フレーム本体５ａに取付けられ、ローラ４の転動方向の前後を囲繞するように配設されている。具体的には、ブラシ支持部５ｂは、薄板で形成され、２か所の屈曲部を有し、これらの屈曲線で分けられた３つの領域を有する。これらの領域のうち、中央の水平領域は、フレーム本体５ａと略平行になるようにフレーム本体５ａに固定されている。残りの２つの垂直領域は、ローラ４（芯材２）の中心軸を挟んで対向する位置に一対となるように水平領域と略垂直に配設されている。また、この垂直領域の先端部にはそれぞれブラシ６が配設されている。

ブラシ支持部５ｂの寸法としては、ブラシ支持部５ｂがローラ４に接触せず、かつ２つの垂直領域に配設されるブラシ６の先端部とローラ４とが同時に被清掃面Ｘに接触できれば特に限定されず、例えば幅（ローラ４の中心軸方向長さ）を１０ｍｍ以上２０００ｍｍ以下、水平領域の長さ（ローラ４の中心軸と垂直な方向）を２０ｍｍ以上６００ｍｍ以下、各垂直領域の長さを１０ｍｍ以上５００ｍｍ以下とすることができる。また、ブラシ支持部５ｂの厚さとしては、例えば０．１ｍｍ以上５ｍｍ以下とすることができる。

ブラシ支持部５ｂとローラ４との水平距離の上限としては、２０ｍｍが好ましく、１０ｍｍがより好ましい。一方、ブラシ支持部５ｂとローラ４との水平距離の下限としては、５ｍｍが好ましい。上記水平距離が上記上限を超える場合、静電気除去が効果的に行えないおそれがある。逆に、上記水平距離が上記下限未満の場合、当該清掃具１の使用時にブラシ６と粘着層３とが接触するおそれがある。なお、ブラシ支持部５ｂとローラ４との水平距離とは、粘着層３の外周面とブラシ支持部５ｂの垂直領域との最短距離を意味する。

フレーム５（フレーム本体５ａ、ブラシ支持部５ｂ及び接続部５ｃ）の材料は導電性を有するものであれば特に限定されず、金属の他に導電性を有するカーボン材や合成樹脂等を用いることができる。これらの中でも強度及びコストの観点から金属が好ましい。この金属としては、特に防錆の観点からはステンレス鋼が好ましく用いることができ、軽量化の観点からはアルミニウムが好ましく用いることができる。

フレーム本体５ａとブラシ支持部５ｂとの接続方法は電気的な導通を確保できれば特に限定されず、例えば導電性接着剤による接着や、金属製ネジによる固定等の方法を用いることができる。

＜ブラシ＞
ブラシ６は、複数の導電性繊維６ａ及び支持部材６ｂを有し、上記フレーム５のブラシ支持部５ｂの両先端部に１つずつ配設されている。ブラシ６を構成する導電性繊維６ａは、それぞれブラシ支持部５ｂの２つの垂直領域から突出するように垂直領域と略平行に配設され、ローラ４の中心軸方向に並列している。

複数の導電性繊維６ａは、支持部材６ｂを介してブラシ支持部５ｂの垂直領域に固定されている。支持部材６ｂは、２枚の板状部材で構成され、この２枚の板状部材の間に複数の導電性繊維６ａが挟持されている。この板状部材の材質は導電性を有するものであれば特に限定されないが、加工性や軽量性の観点からアルミニウムが好ましい。複数の導電性繊維６ａ及び２枚の板状部材は、例えば接着剤で固定することができる。また、支持部材６ｂとブラシ支持部５ｂとの接続方法は電気的な導通を確保できれば特に限定されず、例えば導電性接着剤による接着や、金属製ネジによる固定等の方法を用いることができる。

ブラシ支持部５ｂの２つの垂直領域に配設される複数の導電性繊維６ａのフレーム５と反対側の先端位置は、ローラ４と同時に被清掃面Ｘに接触できるように調節される。具体的には、フレーム本体５ａが被清掃面Ｘと水平になるように当該清掃具１を設置したときに、被清掃面Ｘと導電性繊維６ａの先端との距離が０〜２ｍｍとなるように調節することが好ましい。

ブラシ６の幅（ローラ４の中心軸方向の繊維の並列長）としては、ローラ４の中心軸長の８０％以上であることが好ましく、ローラ４の中心軸長の９０％以上であることがより好ましく、ローラ４の中心軸長の１００％以上であることが特に好ましい。ブラシ６の幅が上記範囲未満の場合、ローラ４と接触した被清掃面Ｘにおいて、ブラシ６が接触しない個所が増大し静電気が十分除去できないおそれがある。

導電性繊維６ａの寸法は特に限定されず、例えば長さを５ｍｍ以上２０ｍｍ以下とすることができる。また、ブラシ６が有する導電性繊維６ａの本数は、例えば１０本／ｃｍ以上１００本／ｃｍ以下とすることができる。

導電性繊維６ａとしては、合成繊維にカーボンを含有させた公知の導電性繊維を用いることができ、主成分の合成繊維としては例えばポリエステル繊維、ポリアミド繊維、アクリル繊維等を挙げることができる。また、導電性繊維６ａには、ステンレス、真鍮等で形成された金属ワイヤーを用いてもよい。

＜把手＞
把手７は、当該清掃具１の使用時に使用者が握る部位であり、導電性を有する。把手７は、略円柱状に形成され、フレーム５に接続されている。具体的には、把手７は、フレーム本体５ａの略中央部に、その中心軸がフレーム本体５ａの平板部、ひいては被清掃面Ｘと一定の角度を有するように接続されている。この把手７の中心軸とフレーム本体５ａの平板部との成す角度としては特に限定されないが、例えば１０度以上６０度以下とすることができる。上記角度が上記範囲未満の場合、把手７をフレーム本体５ａに接続することが困難になるおそれがある。逆に、上記角度が上記範囲を超える場合、当該清掃具１の使用性が低下するおそれがある。

把手７の寸法は使用者が握り易ければ特に限定されず、例えば長さを５０ｍｍ以上２００ｍｍ以下、直径を２０ｍｍ以上５０ｍｍ以下とすることができる。

把手７の材料としては導電性を有するものであれば特に限定されず、金属の他に導電性を有するカーボン材や合成樹脂等を用いることができる。これらの中でも把持性及び加工性の観点から、導電性を有する合成樹脂が好ましく、特に耐摩耗性と機械加工性に優れた導電性ポリアミド系樹脂が好適に用いることができる。

把手７とフレーム本体５ａとの接続方法は電気的な導通を確保できれば特に限定されず、例えば導電性接着剤による接着や、金属製ネジによる固定等の方法を用いることができる。

［清掃具の使用方法］
当該清掃具１は、把手７を使用者が把持し、被清掃面Ｘ上にローラ４を転動させることで、粘着層３が被清掃面Ｘ上の異物を捕捉し、被清掃面Ｘを清掃することができる。このとき、当該清掃具１は、ローラ４、フレーム５及び把手７が導電性を有しているため、粘着層３から、芯材２、フレーム５、把手７及び使用者（人体）の順に通電する。その結果、粘着層３の電位は略０となり、粘着層３と被清掃面Ｘとの摩擦によって発生する静電気が除去され、粘着層３が帯電しない。また、当該清掃具１は、フレーム５に接続される導電性のブラシ６を備えているため、粘着層３が転動した後の被清掃面Ｘにブラシ６が接触することでこの被清掃面Ｘの電位も略０となり、静電気が除去される。

なお、上記被清掃面Ｘは、例えば半導体基板の表面等とすることができる。

［清掃具の利点］
上述のように、当該清掃具１は、粘着層３及び被清掃面Ｘに帯電する静電気を除電することができる。また、当該清掃具１は、粘着層３と摺動する部材を有しないため、粘着層３の劣化を防止して、清掃効果を維持できる。

さらに、当該清掃具１は、ブラシ６がローラ４の中心軸を挟んで対向する位置に一対で配設されているため、被清掃面Ｘに対して一方のブラシ６で除電を行った後に粘着層３が接触して効果的に異物を除去することができるとともに、粘着層３との摩擦により被清掃面Ｘに帯電した電荷を他方のブラシ６が除電するため、異物の再付着を防止することができる。

［清掃装置］
次に、図３で示す本実施形態の清掃装置１０について説明する。

当該清掃装置１０は、ローラ、フレーム及びブラシを有する清掃具１１と、フレームを接地する接地手段（図示せず）と、被クリーニング材Ｙを搬送し、清掃具１１に対して被清掃面Ｘを相対的に移動させる搬送手段１２とを備える。清掃具１１が有するローラ、フレーム及びブラシは、上記清掃具１のものと同様であるため、説明を省略する。

上記接地手段としてはフレーム、ひいては清掃具１１の電位を略０とすることができるものであれば特に限定されず、例えばアース線を用いてフレームを接地されている部位に電気的に接続する手段を用いることができる。

搬送手段１２は、被クリーニング材Ｙをブラシの先端に接触させながらローラに対し相対移動可能なように被クリーニング材Ｙを支持する手段である。この搬送手段１２としては例えば、ベルトコンベア、ローラ等を用いることができる。

被クリーニング材Ｙの移動は、搬送手段１２を稼働することによって行ってもよいし、清掃具１１のローラの回転によって被クリーニング材Ｙを移動させてもよい。清掃具１１のローラの回転によって被クリーニング材Ｙを移動させる場合、搬送手段１２は、被クリーニング材Ｙの移動に連れて遊動するように設計される。

当該清掃装置１０は、搬送手段１２に被クリーニング材Ｙを設置し、被クリーニング材Ｙ（被清掃面Ｘ）をローラに対し相対移動させることで、被清掃面Ｘの異物を除去することができる。また当該清掃装置１０は、ローラ及び被クリーニング材Ｙに帯電する静電気を除電することができるとともに、ローラと摺動する部材を有しないため、ローラの劣化を防止して、清掃効果を維持できる。

＜その他の実施形態＞
本発明の清掃具は、上述の実施形態に限定されるものではなく、以下のような実施形態とすることもできる。

上記実施形態の清掃具１は、ブラシ６をローラ４の中心軸を挟んで対向する位置に一対で配設したが、ブラシ６はローラ４の片側にのみ配設してもよい。なお、ブラシ６をローラ４の片側にのみ配設する場合は、ローラ４が転動した後の被清掃面Ｘにブラシ６が接触するように、ローラ４の転動方向と逆側にブラシ６を配設することが好ましい。

また、上記実施形態の清掃具１では、ブラシ６を接続するためのブラシ支持部５ｂをローラ４の被清掃面Ｘに対して反対側（上側）を覆うように設けたが、図４に示すようにローラ４の両端部側に設けてもよい。

さらに、ローラ４とフレーム５とは、ローラ４が回転自在かつ電気を伝導できるように接続されればよいため、上記実施形態のように芯材２が中芯２ａと外筒２ｂとから構成されているものに限定されない。つまり、芯材２が略円柱状に一体形成され、その両端にフレーム５の接続部５ｃを軸支した構成も本願発明の意図する範囲内である。

以下、実施例によって当該発明をさらに具体的に説明するが、当該発明は以下の実施例に限定されるものではない。

［実施例１］
アルミニウム製の芯材の周面に導電性接着剤（種類：ウレタン系）を塗布し、カーボンブラックを分散させたポリオールと架橋剤を混合し、芯材の外側に同心で配置した金型に注入して加熱架橋することで粘着層を形成した。この芯材と粘着層からなるローラにステンレス製のフレームを取り付け、さらにローラ周面の一方にブラシ（導電性繊維：ステンレスワイヤー）を取り付けて実施例１の清掃具を得た。

［比較例１］
実施例１と同様の手順で、アルミニウム製の芯材の周面にブチルゴムからなる粘着層を形成した。この芯材と粘着層からなるローラにステンレス製のフレームのみを取り付けて比較例１の清掃具を得た。

［比較例２］
実施例１と同様の手順で、アルミニウム製の芯材の周面にシリコンゴムからなる粘着層を形成した。この芯材と粘着層からなるローラにステンレス製のフレームのみを取り付けて比較例２の清掃具を得た。

＜評価＞
実施例１、比較例１及び２の清掃具を用いて、アクリル板、ポリエチレンテレフタレート板及びＭＣナイロン板の各試験板の表面にローラを１０回転動させた。その後、ローラ及び試験板の表面電位を計測した。計測結果を表１に示す。

表１に示す通り、実施例１の清掃具を用いた場合、ローラ及び試験板（被クリーニング材）の表面電位の絶対値が小さく抑えられており、静電気が効果的に除電されていることがわかる。

本発明の清掃具及び清掃装置は、半導体基板等の異物除去を目的とした清掃に好適に用いることができる。

１ 清掃具
２ 芯材
２ａ 中芯
２ｂ 外筒
３ 粘着層
４ ローラ
５ フレーム
５ａ フレーム本体
５ｂ ブラシ支持部
５ｃ 接続部
６ ブラシ
６ａ 導電性繊維
６ｂ 支持部材
７ 把手
１０ 清掃装置
１１ 清掃具
１２ 搬送手段
Ｘ 被清掃面
Ｙ 被クリーニング材

Claims (6)

1. 略円柱状の芯材及びこの芯材の周面側に積層される略円筒状の粘着層を有するローラと、
   上記芯材を回転可能に支持するフレームと
   を備え、上記粘着層で被清掃面の異物除去を行う清掃具であって、
   上記フレームに接続され、フレームと反対側の先端部が被清掃面に接触可能に構成されるブラシをさらに備えており、
   上記芯材、粘着層、フレーム及びブラシが導電性を有し、
   上記芯材及び粘着層間と芯材及びフレーム間とが電気を伝導するよう構成されていることを特徴とする清掃具。
2. 上記粘着層が、ウレタン系樹脂を主成分として含有している請求項１に記載の清掃具。
3. 上記粘着層が、カーボンブラックを含有している請求項２に記載の清掃具。
4. 上記ブラシとして、芯材の中心軸を挟んで対向する位置に配設される一対のブラシを備えている請求項１、請求項２又は請求項３に記載の清掃具。
5. 上記フレームに接続される導電性の把手をさらに備える請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の清掃具。
6. 請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の清掃具と、
   この清掃具のフレームを接地する接地手段と、
   清掃具に対して被清掃面を相対的に移動させる搬送手段とを
   備える清掃装置。

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