JP2014074900A - 波長選択スイッチ - Google Patents
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Abstract
【課題】 一次反射光を出力ポートに結合させるときに、二次反射光が出力ポートに結合することを抑制可能な波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】 波長選択スイッチにおいては、各値が式(θ2>2×θ1+α)を満たすように設定されているので、動作時にミラーの傾斜角を変更して一次反射光を出力ポートに近づけるように移動させたときに、二次反射光が出力ポートから遠ざかるように移動する。よって、ミラーの傾斜角を変更して一次反射光を出力ポートに結合させるときに、二次反射光が出力ポートに結合することが抑制される。
【選択図】図1
【解決手段】 波長選択スイッチにおいては、各値が式(θ2>2×θ1+α)を満たすように設定されているので、動作時にミラーの傾斜角を変更して一次反射光を出力ポートに近づけるように移動させたときに、二次反射光が出力ポートから遠ざかるように移動する。よって、ミラーの傾斜角を変更して一次反射光を出力ポートに結合させるときに、二次反射光が出力ポートに結合することが抑制される。
【選択図】図1
Description
本発明は、入力ポートからの波長多重光を分光して出力ポートから出力する波長選択スイッチに関する。
上記技術分野の従来の技術として、例えば、特許文献1に記載の波長選択スイッチが知られている。特許文献1に記載の波長選択スイッチは、第1の方向に配列された入力ポート及び出力ポートと、入力ポートから出力された光を波長に応じて分離して、第1の方向に直交する第2の方向に角度分散する分光素子としての回折格子と、分光素子によって角度分散された各波長の光を集光する集光レンズと、集光レンズによって集光された各波長の光の集光位置に配置された複数のミラーを有するミラーアレイとを備えている。特許文献2及び特許文献3にも、上記技術分野の従来の技術が記載されている。
ところで、波長選択スイッチにあっては、ミラーアレイの非動作時に、ミラーからの反射光(一次反射光)が出力ポートに結合していない状態とすることが望ましい。特許文献1に記載の波長選択スイッチにおいては、集光レンズを第2の方向にシフトさせておくことによって、ミラーアレイの非動作時に一次反射光を第2の方向に逸らせ、出力ポートに結合することを抑制している。しかしながら、このように集光レンズをシフトさせると、そのシフト量に応じてミラーアレイ等の部品を実装することとなるので作業が煩雑となり、調芯が困難になる。
これに対して、特許文献2に記載の波長選択スイッチのように、ミラーアレイの非動作時において、分光素子の分光方向に対してミラーを傾斜させれば、集光レンズをシフトさせることなく、一次反射光を出力ポートから逸らせて出力ポートに結合することを抑制できる。しかしながら、分光素子の分光方向に対してミラーを傾斜させると、集光レンズからミラーまでの距離が波長ごとに異なることとなる。
そこで、ミラーアレイの非動作時に一次反射光が出力ポートに結合することを避けるために、分光素子の分光方向に直交する方向にミラーアレイを傾斜させておくことによって、一次反射光を出力ポートから逸らせておくことが考えられる。この場合には、集光レンズからミラーまでの距離が波長ごとに異なることを避けることができる。しかしながら、この場合にも、特許文献3に記載されているようにミラーに対してカバーを設けると、次に述べるような問題が生じる。その問題について、具体的に説明する。
図6は、波長選択スイッチの一例を示す図である。図6(a)に示されるように、ミラーアレイの非動作時において、入力ポート5a及び出力ポート5bの配列方向(分光素子3の分光方向に直交する方向)に平行な基準線BLに対してミラー6を傾斜させておくことによって、ミラー6からの反射光(一次反射光)L6を出力ポート5bから逸らせておくと、カバー7からの反射光(カバー反射光)L7に加え、カバー7で反射した後に再びミラー6で反射されて出射される二次反射光L8も、一次反射光L6と同じ方向に逸らされることとなる。
その状態において、ミラーアレイの動作時に、図6(b)に示されるように、一次反射光L6を出力ポート5bに結合させるべく、ミラー6の傾斜角を変更して一次反射光L6を出力ポート5bに近づけるように移動させると、カバー反射光L7は移動しないものの、二次反射光L8も出力ポート5bに近づくように移動することとなる。その結果、二次反射光L8も出力ポート5bに結合してしまうおそれがある。
本発明は、そのような事情に鑑みてなされたものであり、一次反射光を出力ポートに結合させるときに、二次反射光が出力ポートに結合することを抑制可能な波長選択スイッチを提供することを課題とする。
本発明の一側面は、波長選択スイッチに関する。この波長選択スイッチは、入力ポート及び出力ポートを第1の方向に配列してなる入出力ポートアレイと、入力ポートからの波長多重光を入射すると共に、波長多重光を所定の波長成分ごとに第1の方向に直交する第2の方向に分光し分光光として出射する分光素子と、分光素子から出射された分光光を集光する集光光学系と、集光光学系により集光された分光光を入射して出力ポートに向けて偏向する反射型偏向素子と、を備え、反射型偏向素子は、集光光学系により集光された分光光を入射して出力ポートに向けて偏向する偏向面と、偏向面を覆うカバーとを有し、偏向面は、反射型偏向素子の非動作時において、第1の方向に対して傾斜しており、反射型偏向素子の非動作時における、第1の方向に対する偏向面の傾斜角θ1、第1の方向に対するカバーの傾斜角θ2、及び、偏向面に入射する分光光の第1の方向への傾斜角αが、下記式(1)
θ2>2×θ1+α・・・(1)
を満たす。
θ2>2×θ1+α・・・(1)
を満たす。
本発明によれば、一次反射光を出力ポートに結合させるときに、二次反射光が出力ポートに結合することを抑制可能な波長選択スイッチを提供することができる。
[本発明の実施形態の説明]
最初に本発明の実施形態の内容を列記して説明する。
最初に本発明の実施形態の内容を列記して説明する。
本発明は、その一側面として、波長選択スイッチに関する。この波長選択スイッチは、入力ポート及び出力ポートを第1の方向に配列してなる入出力ポートアレイと、入力ポートからの波長多重光を入射すると共に、波長多重光を所定の波長成分ごとに第1の方向に直交する第2の方向に分光し分光光として出射する分光素子と、分光素子から出射された分光光を集光する集光光学系と、集光光学系により集光された分光光を入射して出力ポートに向けて偏向する反射型偏向素子と、を備え、反射型偏向素子は、集光光学系により集光された分光光を入射して出力ポートに向けて偏向する偏向面と、偏向面を覆うカバーとを有し、偏向面は、反射型偏向素子の非動作時において、第1の方向に対して傾斜しており、反射型偏向素子の非動作時における、第1の方向に対する偏向面の傾斜角θ1、第1の方向に対するカバーの傾斜角θ2、及び、偏向面に入射する分光光の第1の方向への傾斜角αが、下記式(1)
θ2>2×θ1+α・・・(1)
を満たす。
θ2>2×θ1+α・・・(1)
を満たす。
この波長選択スイッチにおいては、反射型偏向素子の偏向面が、反射型偏向素子の非動作時において、分光素子の分光方向(第2の方向)に直交する入出力ポートの配列方向(第1の方向)に対して傾斜している。このため、偏向面までの距離が波長ごとに異なることを抑制しつつ、反射型偏向素子の非動作時において偏向面からの一次反射光が出力ポートに結合することを避けることが可能となる。特に、反射型偏向素子の非動作時における第1の方向に対する偏向面の傾斜角θ1、第1の方向に対するカバーの傾斜角θ2、及び、偏向面に入射する分光光の第1の方向への傾斜角αが上記式(1)を満たす。このため、一次反射光及びカバー反射光と、カバーで反射した後に再び偏向面で反射して反射型偏向素子から出射される二次反射光とが、偏向面に入射する分光光に対して互いに逆側に向かうこととなる。このため、反射型偏向素子の動作時に偏向面の傾斜角度を変更して一次反射光を出力ポートに近づけるように移動させたときに、二次反射光を出力ポートから遠ざかるように移動させること可能となる。よって、偏向面の傾斜を変更して一次反射光を出力ポートに結合させるときに、二次反射光が出力ポートに結合することを抑制することが可能となる。
本発明の一側面に係る波長選択スイッチにおいては、反射型偏向素子の動作時における第1の方向に対する偏向面の傾斜角は、傾斜角θ1よりも小さいものとすることができる。このように、第1の方向に対する偏向面の傾斜角度を、反射型偏向素子の非動作時において最も大きくなるようにすれば、反射型偏向素子の動作時にその偏向面の傾斜角度を変更しても、上記式(1)を確実に満たすようになる。
本発明の一側面に係る波長選択スイッチにおいては、傾斜角θ1、集光光学系の焦点距離f、入力ポートから、入力ポートと最も離れた出力ポートまでの距離L、及び、傾斜角αが、下記式(2)
L<f×tan(2×(θ1+α))・・・(2)
を満たすことができる。この場合、反射型偏向素子の非動作時において、一次反射光を十分に出力ポートから逸らすことにより、一次反射光の出力ポートへの結合を確実に防止することができる。
L<f×tan(2×(θ1+α))・・・(2)
を満たすことができる。この場合、反射型偏向素子の非動作時において、一次反射光を十分に出力ポートから逸らすことにより、一次反射光の出力ポートへの結合を確実に防止することができる。
本発明の一側面に係る波長選択スイッチにおいては、傾斜角θ2、集光光学系の焦点距離f、入力ポートから、入力ポートと最も離れた出力ポートまでの距離L、及び、傾斜角αが、下記式(3)
L<f×tan(2×(θ2+α))・・・(3)
を満たすことができる。この場合、カバー反射光を十分に出力ポートから逸らすことにより、カバー反射光の出力ポートへの結合を確実に防止することができる。
L<f×tan(2×(θ2+α))・・・(3)
を満たすことができる。この場合、カバー反射光を十分に出力ポートから逸らすことにより、カバー反射光の出力ポートへの結合を確実に防止することができる。
本発明の一側面に係る波長選択スイッチにおいては、集光光学系の焦点距離f、入力ポートから、入力ポートと最も離れた出力ポートまでの距離L、及び、カバーで反射した後に再び偏向面で反射して反射型偏向素子から出射される二次反射光の出射角φが、下記式(4)
L<f×tanφ・・・(4)
を満たすことができる。この場合、二次反射光を十分に出力ポートから逸らすことにより、二次反射光の出力ポートへの結合を確実に防止することができる。
L<f×tanφ・・・(4)
を満たすことができる。この場合、二次反射光を十分に出力ポートから逸らすことにより、二次反射光の出力ポートへの結合を確実に防止することができる。
本発明の一側面に係る波長選択スイッチにおいては、第1の方向に直交する主面を有するベースをさらに備え、入出力ポートアレイ、分光素子、及び、集光光学系は、ベースの主面に搭載されており、反射型偏向素子のカバーは、集光光学系により集光されてカバーによって反射されたカバー反射光が、ベースの主面側に向かうように、第1の方向に対して傾斜しているものとすることができる。このように、偏向面の傾斜角の変更に伴って移動する二次反射光よりも、偏向面の傾斜角の変更に影響されないカバー反射光の方をベース側に向かうようにすることが好適である。
本発明の一側面に係る波長選択スイッチにおいては、ベースの主面上におけるカバー反射光が当たる位置は、粗面加工又は光吸収加工されているものとすることができる。この場合、カバー反射光が当該位置で反射されて迷光となることを避けることができる。
本発明の一側面に係る波長選択スイッチにおいては、ベースの主面上におけるカバー反射光が当たる位置には、モニタ光伝送用ファイバが設けられているものとすることができる。この場合、偏向面の傾斜角によらず一定の位置に到達するカバー反射光を用いて精度よく光出力のモニタをすることが可能となる。また、二次反射光がカバー反射光と逆側に逸らされるので、モニタ光伝送用ファイバに二次反射光が結合することを防止できる。
本発明の一側面に係る波長選択スイッチにおいては、入力ポートは、第1の方向について入出力ポートアレイの中央に配置されているものとすることができる。この場合、光学設計が容易となるうえに、相対的にロスを低減することができる。
[本発明の実施形態の詳細]
本発明の実施形態に係る波長選択スイッチの具体例を以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内ですべての変更が含まれることが意図される。
[第1実施形態]
本発明の実施形態に係る波長選択スイッチの具体例を以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内ですべての変更が含まれることが意図される。
[第1実施形態]
図1は、第1実施形態に係る波長選択スイッチの概略構成を示す側面図である。図2は、図1に示された波長選択スイッチの概略構成を示す平面図である。図1,2に示されるように、波長選択スイッチ1は、ベース10と、入出力ポートアレイ11と、コリメータ12と、アナモルフィック光学系13と、回折格子(分光素子)14と、集光光学系15と、MEMS(Micro Electro Mechanical System)ミラー(反射型偏向素子)16と、制御部18とを備えている。
ベース10は、主面10aを有している。入出力ポートアレイ11、コリメータ12、アナモルフィック光学系13、回折格子14、及び、集光光学系15は、ベース10の主面10aに搭載されている。入出力ポートアレイ11は、光を入力するための入力ポート11aと光を出力するための出力ポート11bとを有している。ここでは、入出力ポートアレイ11は、1つの入力ポート11aと複数の出力ポート11bとを、ベース10の主面10aに直交する方向(第1の方向)に配列することで構成されている。入力ポート11aは、ベース10の主面10aに直交する方向について、入出力ポートアレイ11の中央に配置されている。
アナモルフィック光学系13は、入出力ポートアレイ11からの光のビーム径を拡大する。アナモルフィック光学系13におけるビーム径の拡大方向は、入力ポート11a及び出力ポート11bの配列方向に直交する方向(第2の方向)である。アナモルフィック光学系13は、例えばプリズム等から構成される。回折格子14は、アナモルフィック光学系13からの光を所定の波長成分ごとに分光して分光光として出射する。回折格子14の分光方向は、入力ポート11a及び出力ポート11bの配列方向に直交する方向(第2の方向)である。集光光学系15は、回折格子14からの分光光のそれぞれを集光する。
MEMSミラー16は、集光光学系15によって集光された分光光を入射して、波長成分ごとに異なる出力ポート11bに向けて偏向する。MEMSミラー16は、集光光学系15の焦点位置に配置され、集光光学系15により集光された分光光を出力ポート11bに向けて反射(偏向)する複数のミラー(偏向面)16aと、ミラー16aを覆うカバー16bとを有している。ミラー16aは、複数の波長成分の分光光のそれぞれに対応して設けられており、それぞれ独立して光路を切り替えることができる。
MEMSミラー16は、制御部18と電気的に接続されて駆動される。したがって、波長選択スイッチ1においては、制御部18によって、MEMSミラー16のミラー16aの傾斜角度を所望の角度に制御することができる。なお、MEMSミラー16は、ベース10の主面10aに搭載されてもよいし、他の部材に搭載されてもよい。
このような波長選択スイッチ1においては、まず、入力ポート11aから波長多重光が入力される。入力ポート11aから入力された波長多重光は、アナモルフィック光学系13においてビーム径が拡大される。アナモルフィック光学系13によってビーム径が拡大された波長多重光L1は、回折格子14によって所定の波長成分ごとに分光される。回折格子14によって分光された分光光L2は、図示しない折り返しミラー等によって光路が調整される。さらに、集光光学系15によってMEMSミラー16の所定のミラー16aに導かれた後に、ミラー16aによって反射される。そして上述した経路を逆にたどりつつ出力ポート11bから出力される。
ここで、MEMSミラー16の非動作時においては、図1に示されるように、MEMSミラー16のミラー16aが、入力ポート11a及び出力ポート11bの配列方向に平行な基準線BL1に対して傾斜角θ1で傾斜している。また、カバー(カバー16bのミラー16aに対向する面)16bが、基準線BL1に対して傾斜角度θ2で傾斜している。
これは、MEMSミラー16の非動作時に、ミラー16aからの反射光(ミラー16aで最初に反射された一次反射光)L3を出力ポート11bから逸らせておくため、及び、カバー16bからの反射光(カバー反射光)L4を出力ポート11bから逸らせるためである。したがって、MEMSミラー16の動作時には、基準線BL1に対するミラー16aの傾斜角を変更して(小さくして)、一次反射光L3を出力ポート11bに結合させることとなる。
その際に、ミラー16aとカバー16bの内表面との間で多重反射した後にMEMSミラー16から(カバー16bから)出射される光(ここでは、多重反射光のうち、最初にミラー16aで反射された後にカバー16bで反射され再びミラー16aで反射されてMEMSミラー16から出射される二次反射光)L5が、出力ポート11bに結合しないようにする。そのために、MEMSミラー16の非動作時におけるミラー16aの傾斜角θ1、及びカバー16bの傾斜角θ2が、所定の条件を満たすように設定されている。その所定の条件について具体的に説明する。なお、カバー16bのベース(ミラー16aの反対側の面)は、MEMSミラー16の非動作時においては、ミラー16aと略平行となっている。
MEMSミラー16の動作時に、一次反射光L3を出力ポート11bに結合させるために、ミラー16aの傾斜角を小さくすると、一次反射光L3が基準線BL1に沿って出力ポート11bに近づいていく。そのとき、二次反射光L5が基準線BL1に沿って出力ポート11bから遠ざかるように移動すれば、二次反射光L5が出力ポート11bに結合することが避けられる。そのためには、MEMSミラー16の非動作時において、一次反射光L3及びカバー反射光L4と、二次反射光L5とを、ミラー16aに入射する分光光L2に対して互いに逆方向に(互いに遠ざかるように)向かわせる必要がある。
図1及び図3に示されるように、ここでは、一次反射光L3及びカバー反射光L4は、ミラー16aに入射する分光光L2に対して、入力ポート11a及び出力ポート11bの配列方向(基準線BL1に沿った方向)の下側(ベース10の主面10a側)に向かっている。したがって、この場合には、二次反射光L5を、分光光L2に対して、入力ポート11a及び出力ポート11bの配列方向の上側(ベース10の主面10aから離れる側)に向かわせればよい。そのためには、一次反射光L3とカバー16bとのなす角βを90度未満とし、二次反射光L5となる一次反射光L3の一部を、カバー16bによって上側に反射させればよい。つまり、一次反射光L3とカバー16bとのなす角βが、下記式(A)
β<90°・・・(A)
を満たせばよい。
β<90°・・・(A)
を満たせばよい。
一次反射光L3とカバー16bとのなす角βは、図3に示される三角形Tに着目すれば、β=180°−(θ2−θ1)−(90°−θ1)であるから、上記式(A)を傾斜角θ1,θ2について変形すると、下記式(B)
θ2>2×θ1・・・(B)
が得られる。
θ2>2×θ1・・・(B)
が得られる。
ミラー16aに入射する分光光L2の基準線BL1への傾斜角αが0°よりも大きい一般の場合(すなわち、分光光L2が基準線BL1に垂直でない場合)には、上記式(B)は、下記式(1)
θ2>2×θ1+α・・・(1)
となる。
θ2>2×θ1+α・・・(1)
となる。
つまり、傾斜角θ1,θ2が、上記式(1)を満たせば、一次反射光L3及びカバー反射光L4と、二次反射光L5とを、ミラー16aに入射する分光光L2に対して互いに逆方向に向かわせることができる。その結果、MEMSミラー16の動作時に二次反射光L5が出力ポート11bに結合することを抑制可能となる。なお、図3において、基準線BL2は、ミラー16aの法線を示しており、基準線BL3は、カバー16bの法線を示しており、基準線BL4は、ミラー16aに入射する分光光L2の光軸の平行線(ここでは、回折格子14の分光方向及び基準線BL1に垂直な線)を示している。
なお、MEMSミラー16の動作時における基準線BL1に対するミラー16aの傾斜角を、傾斜角θ1よりも小さくする、すなわち、基準線BL1に対するミラー16aの傾斜角を非動作時において最も大きくすることにより、MEMSミラー16の動作時にミラー16aの傾斜角を変更しても、確実に上記(1)式を満たすことが可能となる。
このように、本実施形態に係る波長選択スイッチ1においては、各値が上記式(1)を満たすように設定されているので、MEMSミラー16の動作時にミラー16aの傾斜角を変更して一次反射光L3を基準線BL1に沿って出力ポート11bに近づけるように移動させたときに、二次反射光L5が基準線BL1に沿って出力ポート11bから遠ざかるように移動する。よって、図4に示されるように、ミラー16aの傾斜角を変更して一次反射光L3を出力ポート11bに結合させるときに、二次反射光L5が出力ポート11bに結合することが抑制される。なお、このような効果は、二次反射光の場合に限らず、ミラー16aとカバー16bとの間で多重反射された後にMEMSミラー16から出射される多重反射光についても同様に奏される。また、本実施形態においては、ミラー16aとカバー16bとの距離は、焦点距離fに対して微小であるため無視されている。
ここで、本実施形態に係る波長選択スイッチ1は、MEMSミラー16の非動作時における一次反射光L3、カバー反射光L4、及び二次反射光L5の出力ポート11bへの結合を確実に防止するために、さらに以下の条件を満たしている。
すなわち、図1に示されるように、一次反射光L3を、MEMSミラー16の非動作時に出力ポート11bから外すために、傾斜角θ1、集光光学系15の焦点距離f、入力ポート11aから、入力ポート11aと最も離れた出力ポート11bまでの距離L、及び、傾斜角α(図1中では0°)が、下記式(2)
L<f×tan(2×(θ1+α))・・・(2)
を満たしている。
L<f×tan(2×(θ1+α))・・・(2)
を満たしている。
各値の一例としては、例えば、距離L=6mm、焦点距離f=100mm、傾斜角α=0°としたとき、傾斜角θ1=2.2°とすれば、
6<100×tan(2×(2.2°+0°))≒7.69
といったように、上記式(2)を満たす。
6<100×tan(2×(2.2°+0°))≒7.69
といったように、上記式(2)を満たす。
また、カバー反射光L4を出力ポート11bから外すために、傾斜角θ2、焦点距離f、距離L、及び、傾斜角αが、下記式(3)
L<f×tan(2×(θ2+α))・・・(3)
を満たしている。
L<f×tan(2×(θ2+α))・・・(3)
を満たしている。
各値の一例としては、例えば、距離L=6mm、焦点距離f=100mm、傾斜角α=0°としたとき、傾斜角θ2=4.5°とすれば、
6<100×tan(2×(4.5°+0°))≒15.84
といったように、上記式(3)を満たす。
6<100×tan(2×(4.5°+0°))≒15.84
といったように、上記式(3)を満たす。
また、二次反射光L5を出力ポート11bから外すために、焦点距離f、距離L、及び、二次反射光L5の出射角φが、下記式(4)
L<f×tanφ・・・(4)
を満たしている。ここで、図3に示されるように、傾斜角α=0°のとき、二次反射光L5の出射角φ=γ−θ1=2×(θ2−θ1)であるから(γ=90°−(β−(θ2−θ1))である)、上記式(4)は、下記式(C)
L<f×tan(2×(θ2−θ1))・・・(C)
と表される。傾斜角αが0°でない場合には、上記式(C)は、下記式(D)
L<f×tan(2×(θ2−θ1)−α)・・・(D)
と表される。なお、基準線BL5は、カバー16bの平行線を示す。
L<f×tanφ・・・(4)
を満たしている。ここで、図3に示されるように、傾斜角α=0°のとき、二次反射光L5の出射角φ=γ−θ1=2×(θ2−θ1)であるから(γ=90°−(β−(θ2−θ1))である)、上記式(4)は、下記式(C)
L<f×tan(2×(θ2−θ1))・・・(C)
と表される。傾斜角αが0°でない場合には、上記式(C)は、下記式(D)
L<f×tan(2×(θ2−θ1)−α)・・・(D)
と表される。なお、基準線BL5は、カバー16bの平行線を示す。
各値の一例としては、距離L=6mm、焦点距離100mm、傾斜角α=0°としたとき、傾斜角θ1=2.2°とし、傾斜角θ2=4.5°とすれば、
6<100×tan(2×(4.5°−2.2°)−0°)≒8.05
といったように、上記式(D)(すなわち上記式(4))を満たす。
6<100×tan(2×(4.5°−2.2°)−0°)≒8.05
といったように、上記式(D)(すなわち上記式(4))を満たす。
ここで、ベース10の主面10a側に向かうカバー反射光L4を除去する除去部がベース10の主面10a上に設けられていてもよい。この除去部は、例えば、図4に示されるように、カバー反射光L4が当たる位置P1,P2においてベース10の主面10a等に粗面加工又は光吸収加工等を施すことによって構成することができる。このように除去部を設ければ、カバー反射光L4が当該位置P1,P2で反射されて意図しない出力ポートに結合することを避けることができる。
また、入出力ポートアレイ11及びコリメータ12における所定の位置P1にモニタ光伝送用ファイバを設けてもよい。この場合には、偏向面の傾斜角によらず一定の位置に到達するカバー反射光L4を用いて精度よく光出力のモニタをすることが可能となる。また、二次反射光L5がカバー反射光L4と逆側に逸らされるので、モニタ光伝送用ファイバに二次反射光L5が結合することを防止できる。
なお、カバー16bからのカバー反射光L4の反射角が大きい場合には、位置P2に光路変更ミラー20を配置することによって、上述したように位置P1に設けられたモニタ光伝送用ファイバにそのカバー反射光L4を導くようにしてもよい。
このように、本実施形態に係る波長選択スイッチ1においては、各値が上記式(2)〜(4)をさらに満たしているので、MEMSミラー16の非動作時における一次反射光L3、カバー反射光L4、及び二次反射光L5を、出力ポート11bから十分に逸らすことにより、出力ポートへの結合を確実に防止することができる。さらに、ベース10の主面10a等に向かうカバー反射光L4が主面10aに当たって意図しない出力ポートに結合することを抑制することができる。
以上の実施形態は、本発明に係る波長選択スイッチの一実施形態を説明したものである。したがって、本発明に係る波長選択スイッチは、上述した波長選択スイッチ1に限定されるものではない。本発明に係る波長選択スイッチは、各請求項の要旨を変更しない範囲において、上述した波長選択スイッチ1を任意に変形したものとすることができる。
上記実施形態においては、一次反射光L3及びカバー反射光L4がベース10の主面10a側に向かい、二次反射光L5が主面10aと逆側に向かう場合について説明したが、各光の進行方向はこの逆であってもよい。その場合には、二次反射光L5がベース10の主面10aに当たらないために、各値が、下記(5)式
L<f×tan(2×(θ2−θ1)−α)<D・・・(5)
を満たすようにすることができる。
L<f×tan(2×(θ2−θ1)−α)<D・・・(5)
を満たすようにすることができる。
各値の一例としては、距離L=6mm、焦点距離f=100mm、傾斜角α=0°、距離D=7.5mmとしたとき、傾斜角θ1=2.2°とし、傾斜角θ2=4.3°とすれば、
6<100×tan(2×(4.3°−2.2°)−0°)≒7.34<7.5
といったように、上記(6)式を満たす。
6<100×tan(2×(4.3°−2.2°)−0°)≒7.34<7.5
といったように、上記(6)式を満たす。
また、本発明は、例えば図5に示されるように、集光光学系15によって集光された分光光L2が、折り返しミラー19等によって、90°向きを変えてMEMSミラー16に入射するような波長選択スイッチ1Bに対しても適用することができる。
[第2実施形態]
[第2実施形態]
図7は、第2実施形態に係る波長選択スイッチの概略構成を示す側面図である。図8は、図7に示された波長選択スイッチの概略構成を示す平面図である。図7,図8に示されるように、本実施形態に係る波長選択スイッチ1Aは、上述した波長選択スイッチ1と同様の構成を有する。ここで、MEMSミラー16のカバー16bは、図8に示されるように、入力ポート11a及び出力ポート11bの配列方向に直交する方向(すなわち回折格子14の分光方向)に平行な基準線BL1Aに対して傾斜している。基準線BL1Aに対するカバー16bの傾斜は、集光光学系15によって集光されてカバー16bによって反射されたカバー反射光L4と、集光光学系15によって集光されてミラー16aとカバー16bの内表面との間で多重反射した後にMEMSミラー16から(カバー16bから)出射される光(ここでは、多重反射光のうち、最初にミラー16aで反射された後にカバー16bで反射され再びミラー16aで反射されてMEMSミラー16から出射される二次反射光)L5とが、回折格子14の分光方向について出力ポート11bから逸らされるように設定される。
より具体的には、カバー反射光L4を出力ポート11bから逸らすために、回折格子14の分光方向についての基準線BL1Aに対するカバー16bの傾斜角θ2Aが、集光光学系15の焦点距離をf、MEMSミラー16に入射する分光光L2の基準線BL1Aへの傾斜角をα2A(図8中では0°)、出力ポート11bに結合する光の強度を40dB程度低下させるための出力ポート11bからの距離をLA、アナモルフィック光学系13の拡大倍率をrとしたとき、下記式(2A)
LA<(1/r)×f×tan(2×(θ2A+α2A))・・・(2A)
を満たしている。これにより、カバー反射光L4が出力ポート11bから十分に逸らされ、出力ポート11bに結合することが抑制される。
LA<(1/r)×f×tan(2×(θ2A+α2A))・・・(2A)
を満たしている。これにより、カバー反射光L4が出力ポート11bから十分に逸らされ、出力ポート11bに結合することが抑制される。
各値の一例としては、距離LA=1mm、焦点距離f=100mm、傾斜角α2A=0°、拡大倍率r=10倍、傾斜角θ2A=3.5°とすれば、
1<(1/10)×100×tan(2×(3.5°+0°))≒1.23
といったように、上記式(2A)を満たす。
1<(1/10)×100×tan(2×(3.5°+0°))≒1.23
といったように、上記式(2A)を満たす。
また、波長選択スイッチ1Aにおいては、二次反射光L5を出力ポート11bから逸らすために、二次反射光L5の出射角φA、距離LA、焦点距離f、及び、拡大倍率rが、下記式(4A)
LA<(1/r)×f×tanφA・・・(4A)
を満たす。
LA<(1/r)×f×tanφA・・・(4A)
を満たす。
ここで、回折格子14の分光方向についての基準線BL1Aに対するミラー16aの傾斜角をθ1A(図8中では0°)とすると、傾斜角α2A=0°の場合、図9に示されるように、二次反射光L5の出射角φA=γA−θ1A=2×(θ2A−θ1A)であるから(γA=90°−(βA−(θ2A−θ1A))、βA=90°−θ2A+2×θ1Aである)、上記式(4A)は、下記式(AA)
LA<(1/r)×f×tan(2×(θ2A−θ1A))・・・(AA)
と表される。図9に示されるように傾斜角α2Aが0°でない場合には、上記式(AA)は、下記式(BA)
LA<(1/r)×f×tan(2×(θ2A−θ1A)−α2A)・・・(BA)
となる。このように、上記式(BA)を満たすことにより(換言すれば上記式(4A)を満たすことにより)、二次反射光L5が出力ポート11bから十分に逸らされ、出力ポート11bに結合することが抑制される。
LA<(1/r)×f×tan(2×(θ2A−θ1A))・・・(AA)
と表される。図9に示されるように傾斜角α2Aが0°でない場合には、上記式(AA)は、下記式(BA)
LA<(1/r)×f×tan(2×(θ2A−θ1A)−α2A)・・・(BA)
となる。このように、上記式(BA)を満たすことにより(換言すれば上記式(4A)を満たすことにより)、二次反射光L5が出力ポート11bから十分に逸らされ、出力ポート11bに結合することが抑制される。
各値の一例としては、距離LA=1mm、焦点距離f=100mm、傾斜角θ1A=0°、傾斜角θ2A=3.5°、傾斜角α2A=0°、拡大倍率r=10倍とすれば、
1<(1/10)×100×tan(2×(3.5°−0°)−0°)≒1.23
といったように、上記式(BA)を満たす。
1<(1/10)×100×tan(2×(3.5°−0°)−0°)≒1.23
といったように、上記式(BA)を満たす。
なお、図9において、基準線BL2Aは、ミラー16aの法線を示しており、基準線BL3Aは、カバー16bの法線を示しており、基準線BL4Aは、ミラー16aに入射する分光光L2の光軸の平行線(ここでは、入力ポート11a及び出力ポート11bの配列方向と、基準線BL1Aとに垂直な線)を示している。また、基準線BL5Aは、カバー16bの平行線を示している。また、本実施形態においては、ミラー16aとカバー16bとの距離は、焦点距離fに対して微小であるため無視されている。
また、本実施形態における出力ポート11bに結合する光の強度を40dB程度低下させるための出力ポート11bからの距離LAは、例えば、所定の光(例えばミラー16aから反射光(一次反射光)L3等)が図10(a)に示されるようなビームプロファイルを有している場合には、そのビーム中心が出力ポート11bから離れるほど検出される光強度が低下するため、図10(b)に示されるように、概ね1mm程度とすることができる。
このように、本実施形態に係る波長選択スイッチ1Aにおいては、カバー16bが、カバー反射光L4及び二次反射光L5を回折格子14の分光方向について出力ポート11bから逸らすように、基準線BL1Aに対して傾斜している。特に、波長選択スイッチ1においては、各値が、上記式(2A)及び(4A)を満たすので、カバー反射光L4及び二次反射光L5が出力ポート11bから十分に逸らされて、出力ポート11bに結合することが確実に抑制される。なお、このような効果は、二次反射光の場合に限らず、ミラー16aとカバー16bとの間で多重反射された後にMEMSミラー16から出射される多重反射光についても同様に奏される。
ここで、本実施形態に係る波長選択スイッチ1Aは、さらに以下の条件を満たしている。すなわち、波長選択スイッチ1においては、図7に示されるように、MEMSミラー16の非動作時に、ミラー16aが、入力ポート11a及び出力ポート11bの配列方向(すなわち、回折格子14の分光方向に直交する方向)に平行な基準線BL6Aに対して傾斜している。
特に、入力ポート11a及び出力ポート11bの配列方向についての基準線BL6Aに対するミラー16aの傾斜角θ3A、MEMSミラー16に入射する分光光L2の基準線BL6Aへの傾斜角α3、入力ポート11aから、入力ポート11aと最も離れた出力ポート11bまでの距離DA、及び、焦点距離fが、下記式(5A)
DA<f×tan(2×(θ3A+α3A))・・・(5A)
を満たしている。このため、MEMSミラー16の非動作時に、一次反射光L3が、入出力ポートアレイ11及び出力ポート11bの配列方向について出力ポート11bから逸らされ、出力ポート11bに結合することが抑制される。なお、カバー16bのベース(ミラー16aの反対側の面)は、MEMSミラー16の非動作時においては、ミラー16aと略平行となっている。
DA<f×tan(2×(θ3A+α3A))・・・(5A)
を満たしている。このため、MEMSミラー16の非動作時に、一次反射光L3が、入出力ポートアレイ11及び出力ポート11bの配列方向について出力ポート11bから逸らされ、出力ポート11bに結合することが抑制される。なお、カバー16bのベース(ミラー16aの反対側の面)は、MEMSミラー16の非動作時においては、ミラー16aと略平行となっている。
また、本実施形態に係る波長選択スイッチ1Aは、図8に示されるように、回折格子14の分光方向について、カバー反射光L4と二次反射光L5とが、MEMSミラー16に入射する分光光L2(すなわち入出力ポートアレイ11)を挟んで互いに逆側に向かうように、次の条件を満たしている。
カバー反射光L4と二次反射光L5とを、MEMSミラー16に入射する分光光L2に対して互いに逆側に向かうようにするためには、図9に示されるようにカバー反射光L4が回折格子14の分光方向の下側に向かう場合、一次反射光L3とカバー16bとのなす角βAを90度未満とし、二次反射光L5となる一次反射光L3の一部を、カバー16bによって上側に反射させればよい。つまり、一次反射光L3とカバー16bとのなす角βAが、下記式(CA)
βA<90°・・・(CA)
を満たせばよい。
βA<90°・・・(CA)
を満たせばよい。
一次反射光L3とカバー16bとのなす角βAは、図9に示される三角形TAに着目すれば、上述したように、βA=180°−(θ2A−θ1A)−(90°−θ1A)=90°−θ2A+2×θ1Aであるから、上記式(CA)を傾斜角θ1A,θ2Aについて変形すると、下記式(DA)
θ2A>2×θ1A・・・(DA)
が得られる。
θ2A>2×θ1A・・・(DA)
が得られる。
ミラー16aに入射する分光光L2の基準線BL1Aへの傾斜角α2Aが0°よりも大きい一般の場合(すなわち、分光光L2が基準線BL1Aに垂直でない場合)には、上記式(DA)は、下記式(6A)
θ2A>2×θ1A+α2A・・・(6A)
となる。
θ2A>2×θ1A+α2A・・・(6A)
となる。
つまり、傾斜角θ1A,θ2Aが、上記式(6A)を満たせば、カバー反射光L4と、二次反射光L5とを、入出力ポートアレイ11に対して互いに逆方向に向かわせることができる。このため、例えば、カバー反射光L4を利用して光出力のモニタを行う場合に、二次反射光L5がモニタ光伝送用ファイバに結合することが避けられるので、精度よくモニタを行うことが可能となる。
引き続いて、以上のように構成される波長選択スイッチ1Aにおける制御部18の動作の一例について説明する。図11は、ポート切替時における制御部の動作の一例を説明するための模式図であり、入出力ポートを正面から見た状態を示している。制御部18は、ポート切替時に、まず、図11(a),図11(b)に示されるように、入力ポート11a及び出力ポート11bの配列方向に直交する方向について、ミラー16aの傾斜角を変更する。
これにより、入力ポート11a及び出力ポート11bの配列方向に直交する方向について一次反射光L3が移動し、一次反射光L3が出力ポート11bから外される。その際に、制御部18は、一次反射光L3が二次反射光L5の側に移動するようにミラー16aの傾斜角を変更する。これにより、一次反射光L3を移動させたときに、二次反射光L5が出力ポート11bからより遠ざかるように移動するので、二次反射光L5が出力ポート11bに結合することを抑制することができる。
続いて、制御部18は、図11(b),図11(c)に示されるように、入力ポート11a及び出力ポート11bの配列方向についてミラー16aの傾斜角を変更する。これにより、入力ポート11a及び出力ポート11bの配列方向について一次反射光L3が移動する。このとき、制御部18は、一次反射光L3が、所望の出力ポート11bに対応する位置まで移動するように、ミラー16aの傾斜角を制御する。
そして、制御部18は、図11(c),図11(d)に示されるように、入力ポート11a及び出力ポート11bの配列方向に直交する方向についてミラー16aの傾斜角を変更する。ここでは、入力ポート11a及び出力ポート11bの配列方向に直交する方向について、ミラー16aの傾斜角が元に戻ることとなる。これにより、入力ポート11a及び出力ポート11bに直交する方向について一次反射光L3が移動して、所望の出力ポート11bに結合する。
このように、一次反射光L3を出力ポート11bから逸らせる際に、制御部18が、入力ポート11a及び出力ポート11bの配列方向に直交する方向について一次反射光L3を二次反射光L5の側に向かわせるように、ミラー16aの傾斜角を変更する。このため、ポート切替時において、二次反射光L5が出力ポート11bに結合することを抑制できる。
以上の実施形態は、波長選択スイッチの一実施形態を説明したものである。上述した波長選択スイッチ1Aは、任意に変形することができる。
例えば、上記第2実施形態においては、波長選択スイッチ1Aの各値が満たす条件として、上記式(2A)及び上記式(4A)を示したが、波長選択スイッチ1Aがアナモルフィック光学系13を備えない場合には、各値は、上記式(2A)に代えて、下記式(1A)
LA<f×tan(2×(θ2A+α2A))・・・(1A)
を満たせばよいし、上記式(4A)に代えて、下記式(3A)
LA<f×tanφA・・・(3A)
を満たせばよい。
LA<f×tan(2×(θ2A+α2A))・・・(1A)
を満たせばよいし、上記式(4A)に代えて、下記式(3A)
LA<f×tanφA・・・(3A)
を満たせばよい。
また、図7に示されるように、ベース10の主面10a側に向かうカバー反射光L4を除去する除去部がベース10の主面10a上に設けられていてもよい。この除去部は、例えば、カバー反射光L4が当たる位置P1,P2においてベース10の主面10a等に粗面加工又は光吸収加工等を施すことによって構成することができる。このように除去部を設ければ、カバー反射光L4が当該位置P1,P2で反射されて迷光となることを避けることができる。
また、図7,8に示されるように、カバー反射光L4が当たる位置P1に、モニタ光伝送用ファイバを設けることができる。この場合には、偏向面の傾斜角によらずに一定の位置に到達するカバー反射光を用いて精度よく光出力のモニタをすることが可能となる。また、二次反射光L5がカバー反射光L4と逆側に逸らされるので、モニタ光伝送用ファイバに二次反射光L5が結合することを防止できる。
なお、カバー16bからのカバー反射光L4の反射角が大きい場合には、位置P2に光路変更ミラー20を配置することによって、上述したように位置P1に設けられたモニタ光伝送用ファイバにそのカバー反射光L4を導くようにしてもよい。
また、波長選択スイッチ1Aにおいては、ミラー16a及びカバー16bを、カバー反射光L4及び二次反射光L5がベース10の主面10aに当たらないように傾斜させることにより、カバー反射光L4及び二次反射光L5がベース10の主面10aに反射した後に出力ポート11bに結合することを避けることができる。
また、上記実施形態においては、ポート切替時の制御部18の動作として、図11に示されるように、カバー反射光L4と二次反射光L5とが入出力ポートアレイ11を挟んで互いに逆側にある場合について説明したが、図12に示されるように、カバー反射光L4と二次反射光L5とが入出力ポートアレイ11に対して互いに同じ側にある場合にも、一次反射光L3を出力ポート11bから外す際に、二次反射光L5のある側に一次反射光L3が移動するようにミラー16aの傾斜角を制御すれば、二次反射光L5が出力ポート11bに結合することを避けることができる。
また、波長選択スイッチ1Aは、例えば図13に示されるように、集光光学系15によって集光された分光光L2が、折り返しミラー19等によって、90°向きを変えてMEMSミラー16に入射するような波長選択スイッチ1AAとすることができる。
さらに、反射型偏向素子は、MEMSミラー40に限定されず、例えば、LCOS(Liquid Crystal on Silicon)や、DLP(Digital Light Processing)等の任意の光路切替素子とすることができる。
例えば、図14に示される位相変調素子17を採用することができる。図14は、位相変調素子の一例としてのLCOSを示す断面図である。図14に示されるように、位相変調素子17は、シリコン基板171と、シリコン基板171の主面上に設けられた複数の画素電極172とを有する。複数の画素電極172は、シリコン基板171の主面に沿って二次元状に配列されている。また、シリコン基板171の主面上には、液晶層173、透明電極174、及びカバー175が順に配置されている。
そして、透明電極174と複数の画素電極172との間に形成される電界の大きさに応じて、液晶層173に入射した各分光光の位相が変調される。この位相変調量は、画素電極172ごとに異なる大きさの電界が形成されることにより、画素ごとに異なる大きさとなる。即ち、複数の画素電極172、液晶層173、及び透明電極174によって、反射型偏向素子の偏向面17aが主に構成される。
偏向面17aでは、0(rad)から2π(rad)にかけて位相変調量が階段的に増加し、2π(rad)に達すると、再び0(rad)に戻り、0(rad)から2π(rad)にかけて位相変調量が階段的に増加する。このような位相変調パターンにより、階段状に単調増加する回折格子状の位相変調パターンが実質的に実現される。そして、このような位相変調パターンが呈示された偏向面17aに各分光光L2が入射すると、回折格子の周期に応じた出射角θでもって各分光光L2が反射する。
なお、反射ミラーである複数の画素電極172自体の角度は変動しない。この場合には、LCOSに対する入射光に対する出射光(一次反射光L3)の出射角θに基づいて、位相変調を行うことなく当該出射角θを実現するために反射ミラー自体の角度を変動させた場合を想定することで、偏向面17aの角度を定義することができる。図14においては、LCOSに対して入射した各分光光L2を出射角θでもって反射する位相変調パターンが表されており、偏向面17aを反射ミラーに置き換えると、θ/2の傾きをもった反射ミラーであると言える。すなわち、偏向面17aの角度は、必ずしも反射ミラー自体が傾斜する角度を指すものではなく、偏向面における入射光に対する出射光(一次反射光L3)の出射角θに基づいて規定することができる。
以上の実施形態に関して、以下を付記する。
(付記1)
入力ポート及び出力ポートを第1の方向に配列してなる入出力ポートアレイと、
前記入力ポートからの波長多重光を入射すると共に、前記波長多重光を所定の波長成分ごとに前記第1の方向に直交する第2の方向に分光し分光光として出射する分光素子と、
前記分光素子から出射された前記分光光を集光する集光光学系と、
前記集光光学系により集光された前記分光光を入射して前記出力ポートに向けて偏向する反射型偏向素子と、を備え、
前記反射型偏向素子は、前記集光光学系により集光された前記分光光を入射して前記出力ポートに向けて偏向する偏向面と、前記偏向面を覆うカバーとを有し、
前記カバーは、前記集光光学系により集光されて前記カバーによって反射されたカバー反射光と、前記カバーで反射した後に再び前記偏向面で反射して前記反射型偏向素子から出射される二次反射光とが、前記第2の方向について前記出力ポートから逸らされように前記第2の方向に対して傾斜している、
ことを特徴とする波長選択スイッチ。
入力ポート及び出力ポートを第1の方向に配列してなる入出力ポートアレイと、
前記入力ポートからの波長多重光を入射すると共に、前記波長多重光を所定の波長成分ごとに前記第1の方向に直交する第2の方向に分光し分光光として出射する分光素子と、
前記分光素子から出射された前記分光光を集光する集光光学系と、
前記集光光学系により集光された前記分光光を入射して前記出力ポートに向けて偏向する反射型偏向素子と、を備え、
前記反射型偏向素子は、前記集光光学系により集光された前記分光光を入射して前記出力ポートに向けて偏向する偏向面と、前記偏向面を覆うカバーとを有し、
前記カバーは、前記集光光学系により集光されて前記カバーによって反射されたカバー反射光と、前記カバーで反射した後に再び前記偏向面で反射して前記反射型偏向素子から出射される二次反射光とが、前記第2の方向について前記出力ポートから逸らされように前記第2の方向に対して傾斜している、
ことを特徴とする波長選択スイッチ。
(付記2)
前記第2の方向に対する前記カバーの傾斜角θ2A、前記集光光学系の焦点距離f、前記反射型偏向素子に入射する前記分光光の前記第2の方向への傾斜角α2A、及び、出力ポートに結合する光の強度を40dB低下させるための前記出力ポートからの距離LAが、下記式(1A)
LA<f×tan(2×(θ2A+α2A))・・・(1A)
を満たすことを特徴とする付記1に記載の波長選択スイッチ。
前記第2の方向に対する前記カバーの傾斜角θ2A、前記集光光学系の焦点距離f、前記反射型偏向素子に入射する前記分光光の前記第2の方向への傾斜角α2A、及び、出力ポートに結合する光の強度を40dB低下させるための前記出力ポートからの距離LAが、下記式(1A)
LA<f×tan(2×(θ2A+α2A))・・・(1A)
を満たすことを特徴とする付記1に記載の波長選択スイッチ。
(付記3)
前記入力ポートからの前記波長多重光を入射すると共にビーム径を拡大して前記分光素子に入射させるビーム拡大光学系を備え、
前記ビーム拡大光学系の拡大倍率をrとしたとき、前記傾斜角θ2A、前記焦点距離f、前記傾斜角α2A、及び、前記距離LAが、下記式(2A)
LA<(1/r)×f×tan(2×(θ2A+α2A))・・・(2A)
を満たすことを特徴とする付記2に記載の波長選択スイッチ。
前記入力ポートからの前記波長多重光を入射すると共にビーム径を拡大して前記分光素子に入射させるビーム拡大光学系を備え、
前記ビーム拡大光学系の拡大倍率をrとしたとき、前記傾斜角θ2A、前記焦点距離f、前記傾斜角α2A、及び、前記距離LAが、下記式(2A)
LA<(1/r)×f×tan(2×(θ2A+α2A))・・・(2A)
を満たすことを特徴とする付記2に記載の波長選択スイッチ。
(付記4)
前記集光光学系の焦点距離f、出力ポートに結合する光の強度を40dB低下させるための前記出力ポートからの距離LA、及び、前記二次反射光の出射角φAが、下記式(3A)
LA<f×tanφA・・・(3A)
を満たすことを特徴とする付記1〜3のいずれかに記載の波長選択スイッチ。
前記集光光学系の焦点距離f、出力ポートに結合する光の強度を40dB低下させるための前記出力ポートからの距離LA、及び、前記二次反射光の出射角φAが、下記式(3A)
LA<f×tanφA・・・(3A)
を満たすことを特徴とする付記1〜3のいずれかに記載の波長選択スイッチ。
(付記5)
前記入力ポートからの前記波長多重光を入射すると共にビーム径を拡大して前記分光素子に入射させるビーム拡大光学系を備え、
前記ビーム拡大光学系の拡大倍率をrとしたとき、前記焦点距離f、前記距離LA、及び、前記出射角φAが、下記式(4A)
LA<(1/r)×f×tanφA・・・(4A)
を満たすことを特徴とする付記4に記載の波長選択スイッチ。
前記入力ポートからの前記波長多重光を入射すると共にビーム径を拡大して前記分光素子に入射させるビーム拡大光学系を備え、
前記ビーム拡大光学系の拡大倍率をrとしたとき、前記焦点距離f、前記距離LA、及び、前記出射角φAが、下記式(4A)
LA<(1/r)×f×tanφA・・・(4A)
を満たすことを特徴とする付記4に記載の波長選択スイッチ。
(付記6)
前記偏向面は、前記反射型偏向素子の非動作時において前記第1の方向に傾斜しており、
前記反射型偏向素子の非動作時における前記第1の方向に対する前記偏向面の傾斜角θ3A、前記集光光学系の焦点距離f、前記反射型偏向素子に入射する前記分光光の前記第1の方向への傾斜角α3A、及び、前記入力ポートから、前記入力ポートと最も離れた出力ポートまでの距離DAが、下記式(5A)
DA<f×tan(2×(θ3A+α3A))・・・(5A)
を満たすことを特徴とする付記1〜5のいずれかに記載の波長選択スイッチ。
前記偏向面は、前記反射型偏向素子の非動作時において前記第1の方向に傾斜しており、
前記反射型偏向素子の非動作時における前記第1の方向に対する前記偏向面の傾斜角θ3A、前記集光光学系の焦点距離f、前記反射型偏向素子に入射する前記分光光の前記第1の方向への傾斜角α3A、及び、前記入力ポートから、前記入力ポートと最も離れた出力ポートまでの距離DAが、下記式(5A)
DA<f×tan(2×(θ3A+α3A))・・・(5A)
を満たすことを特徴とする付記1〜5のいずれかに記載の波長選択スイッチ。
(付記7)
前記入力ポートは、前記第1の方向について前記入出力ポートアレイの中央に配置されている、ことを特徴とする付記1〜6のいずれかに記載の波長選択スイッチ。
前記入力ポートは、前記第1の方向について前記入出力ポートアレイの中央に配置されている、ことを特徴とする付記1〜6のいずれかに記載の波長選択スイッチ。
(付記8)
前記カバー反射光が当たる位置には、モニタ光伝送用ファイバが設けられている、ことを特徴とする付記1〜7のいずれかに記載の波長選択スイッチ。
前記カバー反射光が当たる位置には、モニタ光伝送用ファイバが設けられている、ことを特徴とする付記1〜7のいずれかに記載の波長選択スイッチ。
(付記9)
前記第2の方向に対する前記偏向面の傾斜角θ1A、前記第2の方向に対する前記カバーの傾斜角θ2A、及び、前記偏向面に入射する前記分光光の前記第2の方向への傾斜角α2Aが、下記式(6A)
θ2A>2×θ1A+α2A・・・(6A)
を満たすことを特徴とする付記1〜8のいずれかに記載の波長選択スイッチ。
前記第2の方向に対する前記偏向面の傾斜角θ1A、前記第2の方向に対する前記カバーの傾斜角θ2A、及び、前記偏向面に入射する前記分光光の前記第2の方向への傾斜角α2Aが、下記式(6A)
θ2A>2×θ1A+α2A・・・(6A)
を満たすことを特徴とする付記1〜8のいずれかに記載の波長選択スイッチ。
(付記10)
前記第1の方向に直交する主面を有するベースを備え、
前記入出力ポートアレイ、前記分光素子、及び、前記集光光学系は、前記主面に搭載されており、
前記偏向面及び前記カバーは、前記カバー反射光及び前記二次反射光が、前記主面に当たらないように傾斜している、ことを特徴とする付記1〜9のいずれかに記載の波長選択スイッチ。
前記第1の方向に直交する主面を有するベースを備え、
前記入出力ポートアレイ、前記分光素子、及び、前記集光光学系は、前記主面に搭載されており、
前記偏向面及び前記カバーは、前記カバー反射光及び前記二次反射光が、前記主面に当たらないように傾斜している、ことを特徴とする付記1〜9のいずれかに記載の波長選択スイッチ。
(付記11)
前記反射型偏向素子を制御するための制御部を備え、
前記制御部は、ポート切替時において、前記第2の方向に対する前記偏向面の傾斜角を変更することによって前記偏向面からの反射光である一次反射光を所定の前記出力ポートから前記第2に方向について前記二次反射光の側に逸らした後に、前記第1の方向に対する前記偏向面の傾斜角を変更することにより前記一次反射光を前記第1の方向に沿って他の所定の前記出力ポートに対応する位置まで移動させ、その後に、前記第2の方向に対する前記偏向面の傾斜角を変更することにより前記一次反射光を前記第2の方向に移動させて前記他の所定の出力ポートに結合させる、ことを特徴とする付記1〜10のいずれかに記載の波長選択スイッチ。
前記反射型偏向素子を制御するための制御部を備え、
前記制御部は、ポート切替時において、前記第2の方向に対する前記偏向面の傾斜角を変更することによって前記偏向面からの反射光である一次反射光を所定の前記出力ポートから前記第2に方向について前記二次反射光の側に逸らした後に、前記第1の方向に対する前記偏向面の傾斜角を変更することにより前記一次反射光を前記第1の方向に沿って他の所定の前記出力ポートに対応する位置まで移動させ、その後に、前記第2の方向に対する前記偏向面の傾斜角を変更することにより前記一次反射光を前記第2の方向に移動させて前記他の所定の出力ポートに結合させる、ことを特徴とする付記1〜10のいずれかに記載の波長選択スイッチ。
付記1に係る波長選択スイッチにおいては、反射型偏向素子が、分光素子からの分光光を出力ポートに向けて反射する偏向面に加えて、偏向面を覆うカバーを有している。そして、反射型偏向素子のカバーが、分光素子の分光方向(第2の方向)について、カバーからの反射光であるカバー反射光と、カバーで反射した後に再び偏向面で反射して出射される二次反射光とを出力ポートから逸らすように、第2の方向に対して傾斜している。このため、カバー反射光及び二次反射光が出力ポートに結合することを抑制することができる。
付記2に係る波長選択スイッチによれば、第2の方向について、カバー反射光を出力ポートから十分に逸らせることにより、カバー反射光の出力ポートへの結合を確実に抑制することができる。付記3に係る波長選択スイッチによれば、ビーム拡大光学系によって波長多重光のビーム径を第2の方向に拡大することにより、分光素子における分光を効果的に行うことができる。また、出力ポートに対するカバー反射光のシフト量は、ビーム拡大光学系の拡大倍率の分だけ縮小するが、各値が上記式(2A)を満たすことにより、カバー反射光を出力ポートから十分に逸らせて出力ポートへの結合を確実に抑制することができる。
付記4に係る波長選択スイッチによれば、第2の方向について、二次反射光を出力ポートから十分に逸らせることにより、二次反射光の出力ポートへの結合を確実に抑制することができる。付記5に係る波長選択スイッチによれば、ビーム拡大光学系によって波長多重光のビーム径を第2の方向に拡大することにより、分光素子における分光を効果的に行うことができる。また、出力ポートに対する二次反射光のシフト量は、ビーム拡大光学系の分だけ縮小するが、各値が上記式(4A)を満たすことにより、二次反射光を出力ポートから十分に逸らせて出力ポートへの結合を確実に抑制することができる。
付記6に係る波長選択スイッチによれば、反射型偏向素子の非動作時において、一次反射光が出力ポートに結合しないようにすることができる。付記7に係る波長選択スイッチによれば、光学設計が容易となるうえに、相対的にロスを低減することができる。
付記8に係る波長選択スイッチによれば、偏向面の傾斜角によらずに一定の位置に到達するカバー反射光を用いて精度よく光出力のモニタをすることが可能となる。付記9に係る波長選択スイッチによれば、第2の方向について、カバー反射光と二次反射光とを反射型偏向素子に入射する分光光に対して(入出力ポートに対して)互いに逆側に向かわせることができる。このため、例えば、カバー反射光を利用して光出力のモニタを行う場合に、二次反射光がモニタ光伝送用ファイバに結合することを防止できるので、より一層精度よく当該モニタを行うことが可能となる。
付記10に係る波長選択スイッチによれば、カバー反射光及び二次反射光がベースの主面に反射した後に入出力ポートに結合することを避けることができる。付記11に係る波長選択スイッチにおいては、制御部は、ポートの切り替えを行う際に、まず、偏向面の傾斜角を変更して、一次反射光が結合している所定の出力ポートから、一次反射光を逸らせる。その際に、制御部は、第2の方向について一次反射光が二次反射光の側に向かうように、偏向面の傾斜角を変更する。このため、一次反射光を出力ポートから逸らせる際に、二次反射光が、第2の方向について出力ポートからより遠ざかることとなる。よって、付記11に係る波長選択スイッチによれば、ポート切替時において、二次反射光が出力ポートに結合することを抑制することができる。
1,1A,1AA…波長選択スイッチ、10…ベース、10a…主面、11…入出力ポートアレイ、11a…入力ポート、11b…出力ポート、13…アナモルフィック光学系、14…回折格子(分光素子)、15…集光光学系、16…MEMSミラー(反射型偏向素子)、16a…ミラー(偏向面)、16b…カバー、18…制御部、L2…分光光、L3…一次反射光、L4…カバー反射光、L5…二次反射光。
Claims (9)
- 入力ポート及び出力ポートを第1の方向に配列してなる入出力ポートアレイと、
前記入力ポートからの波長多重光を入射すると共に、前記波長多重光を所定の波長成分ごとに前記第1の方向に直交する第2の方向に分光し分光光として出射する分光素子と、
前記分光素子から出射された前記分光光を集光する集光光学系と、
前記集光光学系により集光された前記分光光を入射して前記出力ポートに向けて偏向する反射型偏向素子と、を備え、
前記反射型偏向素子は、前記集光光学系により集光された前記分光光を入射して前記出力ポートに向けて偏向する偏向面と、前記偏向面を覆うカバーとを有し、
前記偏向面は、前記反射型偏向素子の非動作時において、前記第1の方向に対して傾斜しており、
前記反射型偏向素子の非動作時における、前記第1の方向に対する前記偏向面の傾斜角θ1、
前記第1の方向に対する前記カバーの傾斜角θ2、
及び、前記偏向面に入射する前記分光光の前記第1の方向への傾斜角αが、
下記式(1)
θ2>2×θ1+α・・・(1)
を満たす波長選択スイッチ。 - 前記反射型偏向素子の動作時における前記第1の方向に対する前記偏向面の傾斜角は、前記傾斜角θ1よりも小さい、請求項1に記載の波長選択スイッチ。
- 前記傾斜角θ1、
前記集光光学系の焦点距離f、
前記入力ポートから、前記入力ポートと最も離れた前記出力ポートまでの距離L、
及び、前記傾斜角αが、
下記式(2)
L<f×tan(2×(θ1+α))・・・(2)
を満たす請求項1又は2に記載の波長選択スイッチ。 - 前記傾斜角θ2、
前記集光光学系の焦点距離f、
前記入力ポートから、前記入力ポートと最も離れた前記出力ポートまでの距離L、
及び、前記傾斜角αが、
下記式(3)
L<f×tan(2×(θ2+α))・・・(3)
を満たす請求項1〜3のいずれか一項に記載の波長選択スイッチ。 - 前記集光光学系の焦点距離f、
前記入力ポートから、前記入力ポートと最も離れた前記出力ポートまでの距離L、
及び、前記カバーで反射した後に再び前記偏向面で反射して前記反射型偏向素子から出射される二次反射光の出射角φが、
下記式(4)
L<f×tanφ・・・(4)
を満たす請求項1〜4のいずれか一項に記載の波長選択スイッチ。 - 前記第1の方向に直交する主面を有するベースをさらに備え、
前記入出力ポートアレイ、前記分光素子、及び、前記集光光学系は、前記主面に搭載されており、
前記カバーは、前記集光光学系により集光されて前記カバーによって反射されたカバー反射光が、前記主面側に向かうように、前記第1の方向に対して傾斜している、請求項1〜5のいずれか一項に記載の波長選択スイッチ。 - 前記主面上における前記カバー反射光が当たる位置は、粗面加工されている、又は、光吸収加工されている、請求項6に記載の波長選択スイッチ。
- 前記主面上における前記カバー反射光が当たる位置には、モニタ光伝送用ファイバが設けられている、請求項6に記載の波長選択スイッチ。
- 前記入力ポートは、前記第1の方向について前記入出力ポートアレイの中央に配置されている、請求項1〜8のいずれか一項に記載の波長選択スイッチ。
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