JP2014071160A - 2軸型ガルバノミラーデバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ光を走査する第1走査部と、前記第1走査部で走査されたレーザ光を走査する第2走査部と、前記第1走査部の第1駆動部と前記第2走査部の第2駆動部とが、レーザ光を2次元走査可能に取り付けられるベース部材と、前記第1走査部とは別体に設けられて、前記第1駆動部が回動させる第1回転軸の回転角度を検出すると共に前記第1回転軸の軸方向に対して直交するように前記ベース部材に取り付けられる第1エンコーダ部と、前記第2走査部とは別体に設けられて、前記第2駆動部が回動させる第2回転軸の回転角度を検出すると共に前記第2回転軸の軸方向に対して直交するように前記ベース部材に取り付けられる第2エンコーダ部と、を備えるように構成する。
【選択図】図2
Description
例えば、一対のガルバノモータが、一体成形された金属ブロックであるモータマウンタの一対のモータ取付面と一対のモータ固定部とによって、それぞれ挟持されてモータ軸が互いに直交するように取り付けられ、レーザ光を2次元走査するXYスキャナがある(例えば、特許文献1参照。)。
2 レーザ光
3 第1走査部
5 第2走査部
6 第1エンコーダ部
7 第2エンコーダ部
8 ベース部材
11 第1ミラー部
12 モータ軸
13 第1駆動部
15 板状誘電体
16、23 取付孔
21 第2ミラー部
22 第2駆動部
31 外側固定電極
32 内側固定電極
33 第1エンコーダ案内部
35 第2エンコーダ案内部
37 放熱部
46 固定ヨーク
Claims (6)
- 第1回転軸を回動させる第1駆動部と、前記第1回転軸の一端に結合されてレーザ光を反射する第1ミラー部と、前記第1回転軸の他端に結合されて前記第1回転軸と一体的に回動する第1回動部材とを有して、レーザ光を走査する第1走査部と、
第2回転軸を回動させる第2駆動部と、前記第2回転軸の一端に結合されてレーザ光を反射する第2ミラー部と、前記第2回転軸の他端に結合されて前記第2回転軸と一体的に回動する第2回動部材とを有して、前記第1走査部で走査されたレーザ光を走査する第2走査部と、
前記第1走査部の第1駆動部と前記第2走査部の第2駆動部とが、レーザ光を2次元走査可能に取り付けられるベース部材と、
第1走査部とは別体に設けられて、前記第1回動部材の回転角度を検出するように前記ベース部材に取り付けられる第1エンコーダ部と、
前記第2走査部とは別体に設けられて、前記第2回動部材の回転角度を検出するように前記ベース部材に取り付けられる第2エンコーダ部と、
を備え、
前記ベース部材は、
前記第1駆動部を取付位置へ案内する第1取付案内部と、
前記第1エンコーダ部を取付位置へ案内する第1エンコーダ案内部と、
前記第2駆動部を取付位置へ案内する第2取付案内部と、
前記第2エンコーダ部を取付位置へ案内する第2エンコーダ案内部と、
を有し、
前記第1エンコーダ案内部の案内方向は、前記第1取付案内部の案内方向に対して直交すると共に、前記第2エンコーダ案内部の案内方向は、前記第2取付案内部の案内方向に対して直交するように設けられていることを特徴とする2軸型ガルバノミラーデバイス。 - 前記第1取付案内部は、前記第1駆動部を前記第1回転軸の軸方向に案内し、
前記第2取付案内部は、前記第2駆動部を前記第2回転軸の軸方向に案内することを特徴とする請求項1に記載の2軸型ガルバノミラーデバイス。 - 前記第1取付案内部の前記第1駆動部を案内する案内方向と前記第2取付案内部の前記第2駆動部を案内する案内方向とは、互いに直交するように設けられていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の2軸型ガルバノミラーデバイス。
- 前記第1エンコーダ部と前記第2エンコーダ部は、相対向する2枚の板状固定電極をそれぞれ有し、
前記第1回動部材と前記第2回動部材は、前記2枚の板状固定電極間に挿入可能な板状誘電体からそれぞれ構成され、
該第1エンコーダ部は、該第1回動部材の回動時における静電容量の変化に基づいて回転角度を検出し、該第2エンコーダ部は、該第2回動部材の回動時における静電容量の変化に基づいて回転角度を検出することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の2軸型ガルバノミラーデバイス。 - 前記第1走査部は、磁性材料から形成されて前記第1駆動部を囲んで固定ヨークとして機能する略円筒状の第1カバー部材を有し、
前記第2走査部は、磁性材料から形成されて前記第2駆動部を囲んで固定ヨークとして機能する略円筒状の第2カバー部材を有し、
前記ベース部材は、非磁性材料から形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の2軸型ガルバノミラーデバイス。 - 前記ベース部材は、前記第1走査部及び第2走査部から発生する熱を放熱する放熱部を有することを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の2軸型ガルバノミラーデバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012215166A JP5724982B2 (ja) | 2012-09-27 | 2012-09-27 | 2軸型ガルバノミラーデバイス |
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JP2012215166A JP5724982B2 (ja) | 2012-09-27 | 2012-09-27 | 2軸型ガルバノミラーデバイス |
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JP5724982B2 JP5724982B2 (ja) | 2015-05-27 |
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Family Applications (1)
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Cited By (2)
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2012
- 2012-09-27 JP JP2012215166A patent/JP5724982B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP5724982B2 (ja) | 2015-05-27 |
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