JP2014044168A - 電圧測定用センサおよび電圧測定装置 - Google Patents
電圧測定用センサおよび電圧測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014044168A JP2014044168A JP2012187808A JP2012187808A JP2014044168A JP 2014044168 A JP2014044168 A JP 2014044168A JP 2012187808 A JP2012187808 A JP 2012187808A JP 2012187808 A JP2012187808 A JP 2012187808A JP 2014044168 A JP2014044168 A JP 2014044168A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- conductor layer
- measurement
- conductor
- shield electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】第1シールド電極用導体層51で構成されて「基準電位」に接続される第1シールド電極と、第1シールド電極用導体層51に対して絶縁された状態で第1シールド電極用導体層51の上に形成された検出電極用導体層41で構成されて「電圧測定部」に接続される検出電極31とを備えると共に、検出電極用導体層41に対して絶縁された状態で検出電極31を囲むようにして検出電極用導体層41と同層に形成された第2シールド電極用導体層52で構成されて「基準電位」に接続される第2シールド電極を備えている。
【選択図】図3
Description
ンサ基板30は、「電圧測定用センサ」の一例であって、図1に示すように、検出電極31およびシールド電極32を備えている。なお、同図では、電圧測定用センサ基板30に関し、図3,4におけるC−C線断面を図示している。この電圧測定用センサ基板30は、図3,4に示すように、検出電極31を構成する検出電極用導体層41、接続用導体33a(図1参照)を構成する接続用導体層42、「第1シールド電極」を構成する第1シールド電極用導体層51、「第2シールド電極」を構成する第2シールド電極用導体層52、「第3シールド電極」を構成する第3シールド電極用導体層53、接続用導体層42と第1シールド電極用導体層51とを相互に絶縁する第1絶縁層61、および検出電極用導体層41と第3シールド電極用導体層53とを相互に絶縁すると共に接続用導体層42と第2シールド電極用導体層52とを相互に絶縁する第2絶縁層62の各層が公知の多層基板製造プロセスに従って形成されて、第2シールド電極用導体層52側の面をセンサ面として使用して電圧を検出するように構成されている。
2 装置本体
3 センサ部
4 信号ケーブル
11 基準電圧生成部
12 電流電圧変換部
15 制御部
30,70,80,90 電圧測定用センサ基板
31,71 検出電極
31a 第1電圧検出部
31b 第2電圧検出部
32,72,82,92 シールド電極
33a,33b 接続用導体
41 検出電極用導体層
42 接続用導体層
43,54 ビア
51 第1シールド電極用導体層
52 第2シールド電極用導体層
53 第3シールド電極用導体層
61 第1絶縁層
62 第2絶縁層
63,64 絶縁材
X 測定対象導線
Claims (6)
- 第1導体層で構成されて電圧測定装置の基準電位に接続される第1シールド電極と、前記第1導体層に対して絶縁された状態で当該第1導体層の上に形成された第2導体層で構成されて前記電圧測定装置の電圧測定部に接続される検出電極とを備えた電圧測定用センサであって、
前記第2導体層に対して絶縁された状態で前記検出電極を囲むようにして当該第2導体層と同層に形成された第3導体層で構成されて前記基準電位に接続される第2シールド電極を備えている電圧測定用センサ。 - 前記第1導体層および前記第3導体層の間に形成された第4導体層で構成されて前記検出電極に接続された接続用導体を備えている請求項1記載の電圧測定用センサ。
- 前記第2導体層および前記第4導体層に対して絶縁された状態で前記接続用導体を囲むようにして当該第4導体層と同層に形成された第5導体層で構成されて前記基準電位に接続される第3シールド電極を備えている請求項2記載の電圧測定用センサ。
- 前記検出電極は、予め規定された測定位置に位置させられた測定対象導線に対向させられる第1電圧検出部と、当該第1電圧検出部から延出するように当該第1電圧検出部を挟んで配置されて前記測定位置から線幅方向に位置ずれした前記測定対象導線に対向させられる一対の第2電圧検出部とを備えている請求項1から3のいずれかに記載の電圧測定用センサ。
- 前記第1電圧検出部は、前記測定位置に位置させられた前記測定対象導線の線長方向に沿った長さが線幅方向に沿った長さよりも長く規定され、
前記各第2電圧検出部は、前記位置ずれした測定対象導線の線長方向に沿った長さが前記第1電圧検出部における前記線長方向に沿った長さよりも短く規定されると共に各々の面積が当該第1電圧検出部の面積よりも小さい面積となるように形成されている請求項4記載の電圧測定用センサ。 - 請求項1から5のいずれかに記載の電圧測定用センサを備えて構成されている電圧測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012187808A JP5981270B2 (ja) | 2012-08-28 | 2012-08-28 | 電圧測定用センサおよび電圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012187808A JP5981270B2 (ja) | 2012-08-28 | 2012-08-28 | 電圧測定用センサおよび電圧測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014044168A true JP2014044168A (ja) | 2014-03-13 |
JP5981270B2 JP5981270B2 (ja) | 2016-08-31 |
Family
ID=50395526
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012187808A Active JP5981270B2 (ja) | 2012-08-28 | 2012-08-28 | 電圧測定用センサおよび電圧測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5981270B2 (ja) |
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014052329A (ja) * | 2012-09-10 | 2014-03-20 | Hioki Ee Corp | 電圧測定用センサおよび電圧測定装置 |
US10119998B2 (en) | 2016-11-07 | 2018-11-06 | Fluke Corporation | Variable capacitance non-contact AC voltage measurement system |
US10120021B1 (en) | 2017-06-16 | 2018-11-06 | Fluke Corporation | Thermal non-contact voltage and non-contact current devices |
US10139435B2 (en) | 2016-11-11 | 2018-11-27 | Fluke Corporation | Non-contact voltage measurement system using reference signal |
US10254375B2 (en) | 2016-11-11 | 2019-04-09 | Fluke Corporation | Proving unit for voltage measurement systems |
US10281503B2 (en) | 2016-11-11 | 2019-05-07 | Fluke Corporation | Non-contact voltage measurement system using multiple capacitors |
US10352967B2 (en) | 2016-11-11 | 2019-07-16 | Fluke Corporation | Non-contact electrical parameter measurement systems |
US10359494B2 (en) | 2016-11-11 | 2019-07-23 | Fluke Corporation | Proving unit for non-contact voltage measurement systems |
US10502807B2 (en) | 2017-09-05 | 2019-12-10 | Fluke Corporation | Calibration system for voltage measurement devices |
US10509063B2 (en) | 2017-11-28 | 2019-12-17 | Fluke Corporation | Electrical signal measurement device using reference signal |
US10539643B2 (en) | 2017-09-01 | 2020-01-21 | Fluke Corporation | Proving unit for use with electrical test tools |
US10551416B2 (en) | 2018-05-09 | 2020-02-04 | Fluke Corporation | Multi-sensor configuration for non-contact voltage measurement devices |
US10557875B2 (en) | 2018-05-09 | 2020-02-11 | Fluke Corporation | Multi-sensor scanner configuration for non-contact voltage measurement devices |
US10591515B2 (en) | 2016-11-11 | 2020-03-17 | Fluke Corporation | Non-contact current measurement system |
US10605832B2 (en) | 2016-11-11 | 2020-03-31 | Fluke Corporation | Sensor subsystems for non-contact voltage measurement devices |
US10677876B2 (en) | 2018-05-09 | 2020-06-09 | Fluke Corporation | Position dependent non-contact voltage and current measurement |
US10746767B2 (en) | 2018-05-09 | 2020-08-18 | Fluke Corporation | Adjustable length Rogowski coil measurement device with non-contact voltage measurement |
US10775409B2 (en) | 2018-05-09 | 2020-09-15 | Fluke Corporation | Clamp probe for non-contact electrical parameter measurement |
US10802072B2 (en) | 2018-05-11 | 2020-10-13 | Fluke Corporation | Non-contact DC voltage measurement device with oscillating sensor |
US10908188B2 (en) | 2018-05-11 | 2021-02-02 | Fluke Corporation | Flexible jaw probe for non-contact electrical parameter measurement |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010286347A (ja) * | 2009-06-11 | 2010-12-24 | Hioki Ee Corp | 電圧検出装置 |
WO2011080308A1 (en) * | 2009-12-31 | 2011-07-07 | Mapper Lithography Ip B.V. | Capacitive sensing system |
JP2011196889A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | 高電圧測定装置 |
-
2012
- 2012-08-28 JP JP2012187808A patent/JP5981270B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010286347A (ja) * | 2009-06-11 | 2010-12-24 | Hioki Ee Corp | 電圧検出装置 |
WO2011080308A1 (en) * | 2009-12-31 | 2011-07-07 | Mapper Lithography Ip B.V. | Capacitive sensing system |
JP2011196889A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | 高電圧測定装置 |
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014052329A (ja) * | 2012-09-10 | 2014-03-20 | Hioki Ee Corp | 電圧測定用センサおよび電圧測定装置 |
US10119998B2 (en) | 2016-11-07 | 2018-11-06 | Fluke Corporation | Variable capacitance non-contact AC voltage measurement system |
US10591515B2 (en) | 2016-11-11 | 2020-03-17 | Fluke Corporation | Non-contact current measurement system |
US10139435B2 (en) | 2016-11-11 | 2018-11-27 | Fluke Corporation | Non-contact voltage measurement system using reference signal |
US10254375B2 (en) | 2016-11-11 | 2019-04-09 | Fluke Corporation | Proving unit for voltage measurement systems |
US10281503B2 (en) | 2016-11-11 | 2019-05-07 | Fluke Corporation | Non-contact voltage measurement system using multiple capacitors |
US10352967B2 (en) | 2016-11-11 | 2019-07-16 | Fluke Corporation | Non-contact electrical parameter measurement systems |
US10359494B2 (en) | 2016-11-11 | 2019-07-23 | Fluke Corporation | Proving unit for non-contact voltage measurement systems |
US11237192B2 (en) | 2016-11-11 | 2022-02-01 | Fluke Corporation | Non-contact current measurement system |
US10605832B2 (en) | 2016-11-11 | 2020-03-31 | Fluke Corporation | Sensor subsystems for non-contact voltage measurement devices |
US10120021B1 (en) | 2017-06-16 | 2018-11-06 | Fluke Corporation | Thermal non-contact voltage and non-contact current devices |
US10539643B2 (en) | 2017-09-01 | 2020-01-21 | Fluke Corporation | Proving unit for use with electrical test tools |
US10502807B2 (en) | 2017-09-05 | 2019-12-10 | Fluke Corporation | Calibration system for voltage measurement devices |
US10509063B2 (en) | 2017-11-28 | 2019-12-17 | Fluke Corporation | Electrical signal measurement device using reference signal |
US10557875B2 (en) | 2018-05-09 | 2020-02-11 | Fluke Corporation | Multi-sensor scanner configuration for non-contact voltage measurement devices |
US10551416B2 (en) | 2018-05-09 | 2020-02-04 | Fluke Corporation | Multi-sensor configuration for non-contact voltage measurement devices |
US10677876B2 (en) | 2018-05-09 | 2020-06-09 | Fluke Corporation | Position dependent non-contact voltage and current measurement |
US10746767B2 (en) | 2018-05-09 | 2020-08-18 | Fluke Corporation | Adjustable length Rogowski coil measurement device with non-contact voltage measurement |
US10775409B2 (en) | 2018-05-09 | 2020-09-15 | Fluke Corporation | Clamp probe for non-contact electrical parameter measurement |
US10802072B2 (en) | 2018-05-11 | 2020-10-13 | Fluke Corporation | Non-contact DC voltage measurement device with oscillating sensor |
US10908188B2 (en) | 2018-05-11 | 2021-02-02 | Fluke Corporation | Flexible jaw probe for non-contact electrical parameter measurement |
US11209480B2 (en) | 2018-05-11 | 2021-12-28 | Fluke Corporation | Non-contact DC voltage measurement device with oscillating sensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5981270B2 (ja) | 2016-08-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5981270B2 (ja) | 電圧測定用センサおよび電圧測定装置 | |
JP5981271B2 (ja) | 電圧測定用センサおよび電圧測定装置 | |
US8390272B2 (en) | Position detecting device | |
JP5391819B2 (ja) | タッチパネル検査装置 | |
JP6204813B2 (ja) | インダクティブ位置測定装置 | |
CN108089047B (zh) | 使用多个电容器的非接触式电压测量系统 | |
JP2013518370A5 (ja) | ||
JP2011080970A (ja) | 多相電流の検出装置 | |
JP6341824B2 (ja) | 測定装置 | |
JP2018136301A (ja) | 非接触式電圧測定装置用センササブシステム | |
TWI512308B (zh) | 檢測裝置及檢測方法 | |
JP2007006608A (ja) | コイルの水漏れ検出方法およびこの検出方法に適用する水漏れ検出装置 | |
JP2014052329A (ja) | 電圧測定用センサおよび電圧測定装置 | |
JP5533169B2 (ja) | 検査装置 | |
JP2011222809A5 (ja) | 基板相対位置検出方法、積層デバイス製造方法および検出装置 | |
CN105182081B (zh) | 一种薄层材料方块电阻测试方法 | |
TWI681199B (zh) | 單層型檢查對象物的檢查裝置及檢查方法 | |
TW201412205A (zh) | 電性連接組件及其檢測方法 | |
JP2013210247A (ja) | 絶縁検査装置及び絶縁検査方法 | |
JP2010060546A (ja) | 電流センサ | |
JP6876153B2 (ja) | 抵抗膜タッチパネルの制御回路、タッチ式入力装置 | |
JP2018173347A (ja) | 表面電位センサ、表面電位測定方法及び画像形成装置 | |
KR101430040B1 (ko) | 절연검사장치 및 절연검사방법 | |
JP4691208B1 (ja) | 微小電流測定装置及び線間非接触電圧計測装置 | |
JP2019027819A (ja) | クランプセンサおよび測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150626 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160520 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160531 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160628 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160726 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160728 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5981270 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |