JP2014044135A5 - - Google Patents
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Description
本発明の検出対象物の測定方法は、粘着シートを環境内に一定期間曝露して検出対象物である検体として所定の前記環境内の異物を前記粘着シートに保持する工程と、前記粘着シートをスキャナーで読み込んで画像データを取得する工程と、前記画像データをソフトウェアが格納された機器に転送する工程と、前記画像データを前記ソフトウェアにより自動的に所定のしきい値で２値化処理して前記検体を検出する工程と、前記ソフトウェアにより自動的に前記検体の慣性主軸を求めて慣性主軸と平行な長さを測定する工程と、前記ソフトウェアにより自動的に前記検体の個数を測定する工程と、前記ソフトウェアにより自動的に前記検体の測定結果をデータ処理する工程とを有し、前記データ処理において、前記検体の個数が前記異物の一定の大きさの範囲毎の個数に整理されて所定の清浄度が算出され、検出する前記検体の大きさに応じて前記スキャナーの解像度が決定され、前記粘着シートが、前記検体を採取する検体付着面と、前記検体の採取後に前記検体付着面を保護するために貼り付けられる保護フィルムとから構成され、前記検体を保持する工程後に前記保護フィルムにより異物の付着を防止すると共に、前記スキャナーで読み込む工程時に前記保護フィルムにより前記スキャナーの保護が行われることを特徴とする。
また、前記保護フィルムに空気を通す穴が設けられることが好ましい。
また、前記所定の環境がクリーンルームであっても良い。
Claims (3)
- 粘着シートを環境内に一定期間曝露して検出対象物である検体として所定の前記環境内の異物を前記粘着シートに保持する工程と、
前記粘着シートをスキャナーで読み込んで画像データを取得する工程と、
前記画像データをソフトウェアが格納された機器に転送する工程と、
前記画像データを前記ソフトウェアにより自動的に所定のしきい値で２値化処理して前記検体を検出する工程と、
前記ソフトウェアにより自動的に前記検体の慣性主軸を求めて慣性主軸と平行な長さを測定する工程と、
前記ソフトウェアにより自動的に前記検体の個数を測定する工程と、
前記ソフトウェアにより自動的に前記検体の測定結果をデータ処理する工程と
を有し、前記データ処理において、前記検体の個数が前記異物の一定の大きさの範囲毎の個数に整理されて所定の清浄度が算出され、
検出する前記検体の大きさに応じて前記スキャナーの解像度が決定され、
前記粘着シートが、前記検体を採取する検体付着面と、前記検体の採取後に前記検体付着面を保護するために貼り付けられる保護フィルムとから構成され、前記検体を保持する工程後に前記保護フィルムにより異物の付着を防止すると共に、前記スキャナーで読み込む工程時に前記保護フィルムにより前記スキャナーの保護が行われることを特徴とする検出対象物の測定方法。 - 前記保護フィルムに空気が通る穴が設けられることを特徴とする請求項１記載の検出対象物の測定方法。
- 前記所定の環境がクリーンルームであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の検出対象物の測定方法。
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