JP2014034499A - ナノ構造物の製造方法、および、ナノ構造物 - Google Patents
ナノ構造物の製造方法、および、ナノ構造物 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】ナノ構造物の製造方法は、基板210の表面に対して垂直方向に延伸するように、複数のナノ構造体220を基板210の表面に成長させてナノ構造層230を成膜する工程(ナノ構造層成膜工程S110)と、レーザ光を照射して、ナノ構造体220を加熱するとともに、ナノ構造体220に反応ガスを接触させる工程(照射工程S120)とを含む。
【選択図】図1
Description
図1は、第1の実施形態にかかるナノ構造物の製造方法の処理の流れを説明するためのフローチャートであり、図2は、第1の実施形態にかかるナノ構造物の製造方法の処理の流れを説明するための図である。本実施形態の図2では、垂直に交わるX軸、Y軸、Z軸(鉛直方向)を図示の通り定義している。
ナノ構造層成膜工程S110では、プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)法、MOCVD(Metal Organic CVD)法等を利用して、図2(a)に示すように、複数のナノ構造体220(図2中、黒い塗り潰しで示す)を、基板210の表面に対して垂直方向(図2中、Z軸方向)に延伸するように、基板210の表面に成長させてナノ構造層230を成膜する。なお、ナノ構造層230は、基板210の表面に対して実質的に垂直方向に延伸していればよく、垂直方向を0°としたとき、±10°程度まで傾いていてもよい。
図1に戻って説明すると、照射工程S120では、レーザ光を照射して、ナノ構造体220を加熱するとともに、ナノ構造体220に反応ガスを接触させる。照射工程S120において、YAGレーザ、YLFレーザ、エキシマレーザ等のパルスレーザや、半導体レーザ等のCW(Continuous Wave)レーザを採用することができるが、パルスレーザを用いる方がより好ましい。パルスレーザを走査して照射させることで、CWレーザと比較して、ナノ構造層230の面積(図2中、XY平面における面積)が大きい場合であっても、実質的に均一にナノ構造体220を加熱することが可能である。また、レーザ光を照射する際には大気雰囲気であっても、真空であってもよい。
上述した第1の実施形態では、ナノ構造体220に半導体分子を成膜する技術について説明した。しかし、反応ガスを工夫することで、ナノ構造体220をエッチングすることもできる。第2の実施形態では、ナノ構造体220をエッチングするナノ構造物の製造方法について説明する。
S120 …照射工程
210 …基板
220 …ナノ構造体
230 …ナノ構造層
260 …機能層
300、400 …ナノ構造物
Claims (4)
- 基板の表面に対して垂直方向に延伸するように、複数のナノ構造体を該基板の表面に成長させてナノ構造層を成膜する工程と、
レーザ光を照射して、前記ナノ構造体を加熱するとともに、該ナノ構造体に反応ガスを接触させる工程と、
を含むことを特徴とするナノ構造物の製造方法。 - 前記レーザ光の波長は、前記ナノ構造体が該レーザ光を吸収する波長であることを特徴とする請求項1に記載のナノ構造物の製造方法。
- 前記ナノ構造体は、グラフェンシートの単層体または多層体であるカーボンナノウォールであることを特徴とする請求項1または2に記載のナノ構造物の製造方法。
- ガラス転移点、または、融点が700℃未満の基板と、
前記基板の表面に、複数のナノ構造体が、垂直方向に延伸するように複数形成されるとともに、前記ナノ構造体の表面に半導体分子が成膜された機能層と、
を備えたことを特徴とするナノ構造物。
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