JP2014032144A - グロー放電検出器およびテラヘルツ波検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】グロー放電検出器2は、互いに対向して配置されたカソード電極21およびアノード電極22を備え、カソード電極21とアノード電極22との間に形成されたプラズマ領域Pに検出対象のテラヘルツ波Wが入射されることによりテラヘルツ波Wを検出する。また、カソード電極21は、検出対象のテラヘルツ波Wの周波数に応じて定められる周期でテラヘルツ波Wの入射方向Bに交差する方向に配列された複数の貫通孔21bであって、検出対象のテラヘルツ波Wの周波数に応じて定められる直径φを有する複数の貫通孔21bを有している。
【選択図】図1
Description
図1は、第1実施形態に係るテラヘルツ波検出装置の構成を概略的に示す図である。図1に示されるように、テラヘルツ波検出装置1は、テラヘルツ波W(検出対象の電磁波)を検出するための装置であって、グロー放電検出器2と、処理回路4と、を備えている。
図8は、第2実施形態に係るグロー放電検出器の構成を概略的に示す図である。図8に示されるように、バルブ23の外部から平行光として入射したテラヘルツ波Wをカソード電極21に集光する構成を有する点において、上述した第1実施形態のグロー放電検出器2と相違している。すなわち、第2実施形態のグロー放電検出器2は、軸外し放物面鏡31(集光部)と、支持部32と、をさらに備えている。
図13は、第3実施形態に係るグロー放電検出器の構成を概略的に示す図である。図13に示されるように、第3実施形態のグロー放電検出器2は、カソード電極21およびアノード電極22の形状および配置において、上述した第1実施形態のグロー放電検出器2と相違している。すなわち、第3実施形態のグロー放電検出器2は、同軸型グロー放電検出器である。
図15は、第4実施形態に係るグロー放電検出器の構成を概略的に示す図である。図15に示されるように、第4実施形態のグロー放電検出器2は、カソード電極21およびアノード電極22を含む電極構造Eにおいて、上述した第1実施形態のグロー放電検出器2と相違している。すなわち、第4実施形態のグロー放電検出器2は、絶縁スペーサ36をさらに備える。
図16は、第5実施形態に係るグロー放電検出器の構成を概略的に示す図である。図16に示されるように、第5実施形態のグロー放電検出器2は、カソード電極21およびアノード電極22の形状および配置において、上述した第1実施形態のグロー放電検出器2と相違している。すなわち、第5実施形態のグロー放電検出器2は、ホローカソード型グロー放電検出器である。
Claims (18)
- 互いに対向して配置されたカソード電極およびアノード電極を備え、前記カソード電極と前記アノード電極との間に形成されたプラズマ領域に検出対象の電磁波が入射されることにより前記電磁波を検出するグロー放電検出器であって、
前記カソード電極は、前記電磁波の周波数に応じて定められる周期で前記電磁波の入射方向に交差する方向に配列された複数の貫通孔であって、前記電磁波の周波数に応じて定められる直径を有する複数の貫通孔を有していることを特徴とするグロー放電検出器。 - 前記カソード電極は、板状の電極であることを特徴とする請求項1に記載のグロー放電検出器。
- 前記アノード電極は、板状の電極であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のグロー放電検出器。
- 前記アノード電極は、前記周期で配列された前記直径を有する複数の貫通孔を有していることを特徴とする請求項3に記載のグロー放電検出器。
- 前記カソード電極と前記アノード電極との間の放電電流を検出するためのセンシング電極をさらに備えることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載のグロー放電検出器。
- 前記センシング電極は、前記周期で配列された前記直径を有する複数の貫通孔を有する板状の電極であることを特徴とする請求項5に記載のグロー放電検出器。
- 前記アノード電極は棒状の電極であり、
前記カソード電極は、前記アノード電極を囲むように設けられた筒状の電極であることを特徴とする請求項1に記載のグロー放電検出器。 - 前記カソード電極の一端が閉塞されていることを特徴とする請求項7に記載のグロー放電検出器。
- 前記カソード電極および前記アノード電極との間に設けられた絶縁スペーサをさらに備え、
前記絶縁スペーサには、前記カソード電極に設けられた前記貫通孔の各々に対応する位置に放電用貫通孔が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のグロー放電検出器。 - 前記カソード電極は筒状の電極であり、
前記アノード電極は、前記カソード電極と同軸のリング状の電極であることを特徴とする請求項1に記載のグロー放電検出器。 - 外部から入射した電磁波を、前記方向に沿ってカソード電極に集光する集光部をさらに備えることを特徴とする請求項1〜請求項10のいずれか一項に記載のグロー放電検出器。
- 前記カソード電極および前記アノード電極を透過した電磁波を反射して、前記アノード電極に出射する反射部をさらに備え、
前記アノード電極は、前記周期で配列された複数の貫通孔を有していることを特徴とする請求項11に記載のグロー放電検出器。 - 外部から入射した電磁波を、前記方向と平行に前記カソード電極に出射する軸外し放物面鏡をさらに備えることを特徴とする請求項1〜請求項10のいずれか一項に記載のグロー放電検出器。
- 前記カソード電極において、前記複数の貫通孔が三角配置されていることを特徴とする請求項1〜請求項13のいずれか一項に記載のグロー放電検出器。
- 前記カソード電極において、前記複数の貫通孔が四角配置されていることを特徴とする請求項1〜請求項13のいずれか一項に記載のグロー放電検出器。
- 前記電磁波は、テラヘルツ波であることを特徴とする請求項1〜請求項15のいずれか一項に記載のグロー放電検出器。
- 請求項1〜請求項16のいずれか一項に記載のグロー放電検出器と、
前記カソード電極にグロー放電を生じさせるための電源と、
前記カソード電極と前記アノード電極との間の放電電流の電流量の変化を検出する計測装置と、
を備えることを特徴とするテラヘルツ波検出装置。 - 請求項5または請求項6に記載のグロー放電検出器と、
前記カソード電極にグロー放電を生じさせるための電源と、
前記センシング電極の電位の変化を検出する計測装置と、
を備えることを特徴とするテラヘルツ波検出装置。
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