JP2014031311A - 多結晶シリコンロッドを粉砕する装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】支持台、少なくとも1つの可動性粉砕工具および、少なくとも1つの不動性アンビルを含む粉砕装置であって、少なくとも1つの粉砕工具が、支持台の表面に平行または実質的に平行に向いている長手軸を有し、支持台の表面にある粉砕すべきシリコンロッドが、粉砕工具とアンビルの間で、粉砕工具およびアンビルがシリコンロッドの領域においてそれぞれシリコンロッドと接触し、シリコンロッドとアンビルの接触点、ならびにロッド中心を通るシリコンロッドの横軸、またはその横軸に平行でロッド中心からロッド直径の30%まで離れているシリコンロッドの軸が、それぞれ粉砕工具の長手軸または粉砕工具の長手軸に平行で粉砕工具の長手軸からロッド直径の30%まで離れている軸上にあるように調整可能である装置。
【選択図】なし
Description
好ましいと考えられる打撃順序パターンのいくつかの実施形態が上記に記載されるが、本発明の精神から逸脱せずに、打撃順序パターンの変更が可能なことは明らかである。したがって、本発明は、記載された具体的な実施形態に全く限定されないものとする。
数多くの破砕試験から、本発明者らは、可能な最小の打撃エネルギーで最適な破砕結果が得られるのは、それぞれ、シリコンロッドとアンビルの接触点、ならびにロッド中心を通るシリコンロッドの横軸、またはその横軸に平行でロッド中心からロッド直径の30%まで離れているシリコンロッドの軸が、粉砕工具の長手軸、または粉砕工具の長手軸に平行で粉砕工具の長手軸からロッド直径の30%まで離れている軸上にある場合だけであることを認識した。
異なるシリコン材料の挙動についても試験を実施した。そのために、脆く多孔性の材料ならびに緻密なシリコンで試験を実施した。アンビルの剛性も試験において変化させた。
Claims (8)
- 支持台、ならびに少なくとも1つの可動性粉砕工具および、必要な場合、少なくとも1つの不動性アンビルを含む、多結晶シリコンロッドを粉砕する装置であって、前記少なくとも1つの粉砕工具が、前記支持台の表面に平行または実質的に平行に向いている長手軸を有し、前記支持台の表面にある粉砕すべきシリコンロッドが、粉砕工具とアンビルの間で、前記粉砕工具および前記アンビルが前記シリコンロッドの領域においてそれぞれ前記シリコンロッドと接触し、シリコンロッドとアンビルの接触点、ならびにロッド中心を通る前記シリコンロッドの横軸、またはその横軸に平行で前記ロッド中心からロッド直径の30%まで離れている前記シリコンロッドの軸が、それぞれ前記粉砕工具の長手軸または前記粉砕工具の長手軸に平行で前記粉砕工具の長手軸から前記ロッド直径の30%まで離れている軸上にあるようにそれぞれ調整可能である、装置。
- アンビルとシリコンロッドが正確に1つの接触点を有し、この接触点を含む前記アンビルの表面が湾曲している、請求項1に記載の装置。
- 前記粉砕工具の先端および前記アンビルが炭化タングステンからなる、請求項1または請求項2に記載の装置。
- 前記支持体が、シリコンに対する汚染リスクの低い材料でライニングされており、前記シリコンロッドを受け入れ安定化させるための好適なくぼみを含み、アンビルが備えられていない、請求項1に記載の装置。
- 多結晶シリコンロッドを粉砕する方法であって、前記多結晶シリコンロッドを支持台上に配置し、少なくとも1つの可動性粉砕工具と、必要な場合、少なくとも1つの不動性アンビルとの間で、前記粉砕工具および前記アンビルが前記シリコンロッドの領域中でそれぞれ前記シリコンロッドと接触し、シリコンロッドとアンビルの接触点、ならびにロッド中心を通る前記シリコンロッドの横軸、またはその横軸に平行で前記ロッド中心からロッド直径の30%まで離れているシリコンロッドの軸が、それぞれ前記粉砕工具の長手軸または前記粉砕工具の長手軸に平行で前記粉砕工具の長手軸から前記ロッド直径の30%まで離れている軸上にあるように調整し、次いで、打撃運動量を始め、打撃運動量が始まるときに工具とシリコンロッドは触れておらず、その後、前記粉砕工具が前記シリコンロッドの粉砕を実施する、方法。
- 前記アンビルが、前記粉砕工具の長手軸に対して直角、または実質的に直角である幾何学的軸を有する、請求項5に記載の方法。
- 複数の粉砕工具が連続して接続されており、打撃順序の形態の打撃運動量が、シリコンロッドの長さにわたって外側から内側へ交互に達成される、請求項5または6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記支持台が、シリコンに対する汚染リスクの低い材料でライニングされており、前記粉砕の間にシリコンロッドを安定な位置に保つための好適なくぼみを含み、別のアンビルが備えられていない、請求項5に記載の方法。
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