JP2014021124A - 合成されたスペクトルデータを用いた分光法 - Google Patents
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- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 title abstract description 11
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 title description 6
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 62
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 35
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 43
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 23
- 238000002149 energy-dispersive X-ray emission spectroscopy Methods 0.000 claims description 9
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims description 5
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 15
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 7
- 229910052729 chemical element Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000000724 energy-dispersive X-ray spectrum Methods 0.000 description 14
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 7
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 238000000177 wavelength dispersive X-ray spectroscopy Methods 0.000 description 7
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000004451 qualitative analysis Methods 0.000 description 2
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 2
- 238000012800 visualization Methods 0.000 description 2
- 238000004876 x-ray fluorescence Methods 0.000 description 2
- 230000005461 Bremsstrahlung Effects 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000441 X-ray spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 230000001010 compromised effect Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000005272 metallurgy Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000005469 synchrotron radiation Effects 0.000 description 1
- GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N vanadium Chemical compound [V]#[V] GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004846 x-ray emission Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/225—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
- G01N2223/076—X-ray fluorescence
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
【解決手段】集束された荷電粒子ビーム404を試料410に照射して試料410から放出された誘導光放射線束を多チャネル光子計数検出器を420を用いて検出する。その際に荷電粒子ビーム404のビームパラメータを、試料410の第1組の各位置に対してビームパラメータの第1の値を用い、試料410の第2組の各位置に対しては第1の値とは異なる第2の値を用いてスペクトルを取得する。
【選択図】図1
Description
− 集束ビームとは、調査中の試料と比較して小さくなるように限定された断面積を有するビームと解される。このようにしてビームの衝突領域を、試料の相対的に小さな領域に限定することが可能となる。ビームは本質的に収束ビームでも良いし又はコリメートされたビームであっても良い。
− 誘導光放射線とは、相対的に高いエネルギーの粒子(たとえば電子、イオン、X線又はγ線)の衝突によって促進される原子の効果の結果として生成される光放射線であると解される。衝突ビーム(入射ビーム)が発生しない場合、誘導光放射線束は止まる。この語句は、レーザー科学において用いられる誘導放出の概念と混同してはならない。
− 多チャネル検出器とは、入射光放射線束を、各々が所与のエネルギー範囲を表す複数のエネルギーチャネルに分類できる検出器と解される。
これらについては以降でより詳細に説明される。
(i) 第1の問題は、利用される物理過程(束縛電子のはじき出しと緩和)の特性に起因し、かつ、この機構を介した光子の生成に関して、全ての元素が、同一の「輝度」を示さないという事実によって生じる。その結果、測定期間中での計数(積算)時間が一定であるとすると、試料中の各異なる元素についての顕著に異なる光子計数が発生しうる。単一の元素でさえ、放出スペクトルは一般に、それぞれ高さの異なる複数のピークを含む。あるピークはあまりに高すぎてスペクトル内で支配的となる一方、他のピークは、得られたデータ内におけるわずかなこぶよりも小さいこともある。しかし輝度が顕著に異なる複数の元素からの光子を同時に計数するとき、最高ピークと最低ピークとの間での大きさの差異ははるかに大きくなりうる。そのようにピーク高さが広い範囲にわたることで、計数時間が顕著に増大しない限り、小さなピークがバックグラウンドノイズ内で失われる/無視される恐れがある。しかしこのように計数時間を増大させることで、スループット上の不利益が必然的に発生する。これは一般に望ましくない。
(ii) 第2の問題は、使用される検出器の作用の仕方に起因する。使用される検出器は、検出されたエネルギーに従って複数の光子を各異なる「チャネル」に分類し、割り当てられた計数時間の範囲内で各チャネル内での光子数を計数する。この分類過程は、本質的に直列的で、かつ、短時間に2つの光子が連続して検出器に到達するとき(この事象は通常「パイルアップ」と呼ばれる)に混乱を起こす恐れがある。これらの光子がそれぞれE1及びE2のエネルギーを有するとすると、検出に用いられている処理回路は、2つの別な光子を見ているのか、エネルギーがE1+E2の1つの光子を「見ている」のかを識別できない。その理由は、光子の時間間隔の大きさが、これらの光子の間での変曲点を、ノイズ効果から信頼できるように区別するには十分ではないからである。得られたデータを「ダメにする」のを回避するため、そのようなパイルアップ事象はこれまで、前記処理回路によって破棄されている。相対的に高い試料からの誘導放射線(X線)束を含む測定シナリオでは、かなり有用になると思われるデータがこのようにして破棄されなければならない。そのため測定性能は不可避的に悪化する。高い線束にもかかわらず、使用される検出器にとって有用なデータが相対的に少なくなる。その結果、得られたスペクトルはノイズを含むようになり相対的に低分解能となる恐れがある。(複数の)ピーク高さはもはや、問題となる(複数の)ピークを発生される(複数の)元素の相対量を高い信頼性で推定するのに利用できない。このことは、ある意味皮肉である。
(iii) 第1の問題と第2の問題は互いに悪化させる傾向にある。たとえば(i)で割り当てられているように高い輝度を有する元素を考える。この元素によって生成される高い光束は、使用される検出器の処理回路を圧倒する。そのため繰り返しパイルアップが起こることで検出効率が劇的に減少する。このように検出効率が減少することで、低輝度の元素に起因する(弱い)スペクトルピークを実効的に検出することはさらに困難になる。
− 前記誘導光放射線束の大きさに影響を及ぼす入射放射線ビームのビームパラメータを選択する段階、
− 前記試料上の第1組の位置に属する各位置について、前記ビームパラメータの第1の値を用いてスペクトルを取得する段階、及び、
− 前記試料上の第2組の位置に属する各位置について、前記第1の値とは異なる第2の値を用いてスペクトルを取得する段階、
を有することを特徴とする。
− 高い光束を得るビームパラメータの値を選択することで、低輝度の第1元素からの相対的に弱いスペクトルデータを検討することが可能なる。同時に存在する高輝度の第2元素は重大なパイルアップを引き起こす恐れがあり、その結果、対応するスペクトルの性能について妥協させられることになる。従来技術においては、このミスマッチを甘受せざるを得なかった。
− しかし本発明では、従来のスペクトル測定は第1測定のみである。本発明は第2測定を導入する。前記第2測定では、選択されたビームパラメータが調節されることで、観測された光束が上述のパイルアップ問題を緩和するレベルにまで低下する。第2スペクトルが測定される。前記第2スペクトルは、前記第2元素についてより信頼できるデータを与える。
− 全体としては、本発明に従って行われた分光分析の一般的な試料は、様々な位置の「モザイク」を有して良い。つまり一部は(最終的に)、第1の値のビーム電流(たとえば高輝度の元素の分光に適する)を用いて調査され、他の一部は(最終的に)、前記第1の値とは異なる第2の値のビーム電流(たとえば低輝度の元素の分光に適する)を用いて調査される。ここで「最終的に」という語句が用いられているのは以下の理由があるからである。所与の位置で、複数の異なるスペクトルが様々なビームパラメータの値を用いることによって生成されうる。これらのスペクトルうちの(たとえば分解能/信号対雑音比の観点から)最適なものは最終的には、特定の目的(たとえば定性分析)にとって「最高の」試料と位置づけられ得る。これらのスペクトルうちの別なものは当然のこととして、他の目的(たとえば定量分析)に適すると考えられる。本明細書においては、規定された第1組の位置と第2組の位置は重なって良いし、一方は他方の部分集合であっても良いし、又は、第1組の位置と第2組の位置は同一であっても良いことに留意して欲しい。どちらかの部分集合(又は両方)は、測定が行われる位置の全シリーズに対応して(又は対応しなくて)良い。
− 単位時間あたりの入射ビーム内の入射粒子の数を調節する。つまりビーム強度(荷電粒子ビームの場合であればビーム電流に相当する)を調節する。電子を生成するのにショットキーエミッタ(又はたとえば熱電子銃のような他の電子源)が用いられる場合であれば、ビーム電流の調節はたとえば、電子ビーム路中に1つ以上の収束レンズとダイアフラムを設け、かつ、その1つ以上の収束レンズを用いて、そのダイアフラムに衝突するビーム径を変化させることによって実現されて良い。これに対応して、前記ダイアフラムの下流のビーム内の電流が変化する。他方、電子流を減速させることによって(たとえば制動放射又はシンクロトロン放射によって)出力を発生させるX線源の場合では、ビーム強度は、前記電子流の電流を変化させることによって調節されて良い。
− 入射ビーム内の個々の粒子のエネルギーを調節する。これにより前記相互作用の量子効率が影響を受ける。荷電粒子ビームの場合では、これはたとえば、ビームを加速させるのに用いられる電位の大きさを調節することによって実現されて良い。それに対応して、上述したX線源の場合では、ビームエネルギーは、前記電子流のエネルギーを変化させることによって調節されて良い。
− たとえばダイアフラムを用いることによって又は試料上でのビーム入射角を変化させることによって(実効的な)ビーム断面積を調節する。
− 前記ビームパラメータの第1値を選択する段階、
− 第1測定実行時に、前記ビームパラメータの第1値を維持しながら、前記第1組の位置の各位置についてのスペクトルを取得する段階、
− 前記ビームパラメータの第2値を選択する段階、
− 第2測定実行時に、前記ビームパラメータの第2値を維持しながら、前記第2組の位置の各位置についてのスペクトルを取得する段階、
を有する。
− 前記第1測定実行中に、前記検出器が、所与の許容値未満の時間間隔で分離する2つの連続する光子に遭遇する場合にイベント信号を発生する段階、
− 所与の位置Lfにて、発生したイベント信号が特定の閾値を超える場合に警告信号を発生して、前記位置Lfをメモリ内に記憶する段階、
− 警告信号の発生に応じて、前記誘導光放射線束の大きさを減少させるように前記ビームパラメータの第2値を選択する段階、
− 前記位置Lfを含むように前記第2組の位置を選択する段階、
を有する。
− たとえ相対的に低レベルの誘導光放射線束であっても、上述したようにイベント信号を発生させるのは、任意の時点で起こりうる統計的効果である。この理由は、特定の位置でのイベント信号の数が所定(任意)の閾値−これは統計的に顕著なものを定義する−を超えるときにしか、警告信号が発生しないからである。係る閾値はたとえば約50程度の大きさであって良い。
− 前記許容値(イベント信号の生成に用いられる)もまた、多くの商業上入手可能な検出器にとって調節可能である。しかし一般的には、本発明において用いられる検出器においては、記録時間と記録精度(エネルギー分解能)との間にはトレードオフが存在する。(パイルアップの機会を減少させるように)短い記録時間を選択することで、記録される光子のエネルギーの測定の不確実性もそれに伴って減少する。逆も真なりである。
− 前記第2スペクトルが生成される(複数の)位置Lfの一部については、これは任意であり、かつ、一般的には特定の試料調査の条件−たとえば利用可能時間、試料の重要度、調査の性質、分光装置利用者の好み等−に依存する。前記位置Lfの一部は、前記位置Lfの全てを含んで良いし、又はその一部を含んでも良い。たとえば警告位置Lf以外の位置について第2スペクトルが生成されても良い。
− 反復的「試行錯誤」法の一部として任意に選ぶ。たとえばI2=0.75I1と選び、パイルアップ挙動が依然として観測される場合には、さらに小さな値−たとえばI2=0.5I1等−にすればよい。
− 誘導光放射線束の生成及びその検出の物理的過程を含むモデルを用いて推定し、たとえば過去の測定に基づいて校正/精緻化する。
− 同様の状況での過去の実験に基づいて選択する。
− イベント信号が位置Leで生成される場合、そのイベント信号に係る検出器データはバッファに記憶される。
− このバッファからのデータは、位置Leで生成されたスペクトルに含まれるが、イベント信号に係るものとしてラベル付けされる。
− ビーム404による照射に応じて試料410から放出される誘導光放射線束を検出する第1検出器420。この実施例では、検出器420はX検出器(たとえばEDX/EDS検出器)である。
− ビーム404による照射に応じて試料410から放出される異なる種類の誘導光放射線を検出する第2検出器100。この実施例では、第2検出器100は区分化された電子検出器である。前記区分化された電子検出器はたとえば、後方散乱電子/2次電子の検出に用いることができる。
− 試料410が、試料ホルダ408及び/又はビーム404の移動によって、ビーム404の光軸(図示されていない)に対して位置設定される。前記移動は、ビーム404の経路内に試料410の特定の位置を設置するように行われる。
− ビーム404が試料410の前記位置に衝突するとき、試料410は、(とりわけ)上述したX線束を発生させる。このX線束は、(一般的には)様々なエネルギーのX線光子流を含む。このX線束の一部は検出器420の検出開口部に衝突する。検出器420の前記検出開口部は、光電変換装置を有する。この変換装置は、X線光子の記録に応じて電子のシャワーを生成する。続いてこの電子のシャワーは、検出器420に係る処理回路によって処理されて良い。前記回路は、前記検出器の内部/上に設けられて良いし、及び/又は、前記検出器の外部に設けられても良い。
− 検出器420は所謂多チャネル検出器である。前記多チャネル検出器は、エネルギー(チャネル)に従って記録されたX線光子を分類し、チャネル毎に記録されたイベント数を計数することができる。(所与の計数事件/積算時間について)係る情報が視覚的に描画されるとき、その情報は、たとえば図2に示されているような測定スペクトルを与える(これについては以降で詳述する)。
− このようにして前記位置のスペクトルが得られた後、試料ホルダ408とビーム404の適切な相対運動を起こすことによって、試料410上の次の位置に移動する。
− 図3A:このスペクトルは、相対的に低い入射ビーム電流、相対的に長い計数(積算)時間、及び相対的に長い記録時間(低計数速度)を用いて生成された。このスペクトルは相対的に「理想的な」スペクトルである。その理由はこのスペクトルには、Lα部分が、約2.29keVでの高いピークとして明確に視認でき、かつ、Lβ1部分は、約2.37keVで小さな「肩」として現れているからである。しかしこのスペクトルの良好な詳細と分解能は、スループットを犠牲にして得られた。
− 図3B:スループットを増大させるため、このスペクトルは、より大きな入射ビーム電流と短い計数(積算)時間を用いて生成された。図3Aと比較して、カウント数が劇的に少なくなっている。それに対応してノイズが増えている。Lα部分とLβ1部分は依然として視認できるものの、ノイズレベルが増大したことで、Lβ1部分の肩を識別するのが困難になっている。スペクトルの性能の低下は、パイルアップが多くなったためである。そのパイルアップの大半は使用された検出器の処理回路によって破棄された。しかし(たとえば2つの光子が厳密に同時に到達したことに起因する)少数の「通り抜けた(破棄されなかった)」パイルアップが、結果として約4.6keVと4.7keVでの小さな偽ピークとして現れている。
− 図3C:このスペクトルは、パイルアップの入り込みを減少させるように短い記録時間を用いて生成された。その結果、カウント数は増大し、かつ、ノイズは減少した。しかし前述したように、記録時間が短くなったことで、エネルギー分解能が低下している。従ってLβ1の肩がもはや(明確に)視認できなくなっている。
402 粒子光学鏡筒
404 荷電粒子ビーム
406 真空チャンバ
408 試料ホルダ
410 試料
412 電子源
414 複合レンズ系
416 複合レンズ系
418 偏向ユニット
420 検出器
422 電源
424 制御装置
426 表示装置
Claims (7)
- 分光装置を用いた試料の検査方法であって:
前記試料を試料ホルダ上に載置する段階;
前記試料上の位置へ集束された入射放射線ビームを案内して、前記位置から誘導光放射線束を放出させる相互作用を発生させる段階;
多チャネル光子計数検出器を用いて前記束を検査することで、前記位置についての測定スペクトルを取得する段階;
前記試料上の一連の位置について前記集束された入力放射線ビームを案内する段階と前記束を検査する段階を自動的に繰り返す段階;
前記誘導光放射線束の大きさに影響を及ぼす入射放射線ビームのビームパラメータを選択する段階;
前記試料上の第1組の位置に属する各位置について、前記ビームパラメータの第1の値を用いてスペクトルを取得する段階;及び、
前記試料上の第2組の位置に属する各位置について、前記第1の値とは異なる第2の値を用いてスペクトルを取得する段階;
を有する方法。 - 前記ビームパラメータの第1値を選択する段階;
第1測定実行時に、前記ビームパラメータの第1値を維持しながら、前記第1組の位置の各位置についてのスペクトルを取得する段階;
前記ビームパラメータの第2値を選択する段階;
第2測定実行時に、前記ビームパラメータの第2値を維持しながら、前記第2組の位置の各位置についてのスペクトルを取得する段階;
を有する、請求項1に記載の方法。 - 前記第1測定実行中に、前記検出器が、所与の許容値未満の時間間隔で分離する2つの連続する光子に遭遇する場合にイベント信号を発生する段階;
所与の位置Lfにて、発生したイベント信号が特定の閾値を超える場合に警告信号を発生して、前記位置Lfをメモリ内に記憶する段階;
警告信号の発生に応じて、前記誘導光放射線束の大きさを減少させるように前記ビームパラメータの第2値を選択する段階;及び、
前記位置Lfを含むように前記第2組の位置を選択する段階;
を有する、請求項2に記載の方法。 - イベント信号が位置Leで生成される場合、前記イベント信号に係る検出器データがバッファに記憶され、
前記バッファからのデータは、位置Leで生成されたスペクトルに含まれるが、イベント信号に係るものとしてラベル付けされる、
請求項3に記載の方法。 - 前記入射ビームが、電子、X線、γ線、陽子、陽電子、又はイオンからなる群から選ばれる放射線を有し、
前記誘導光放射線束はX線を有し、
前記ビームパラメータは、電流と強度からなる群から選ばれる、
請求項1乃至4のうちいずれか一項に記載の方法。 - 前記入射ビームが電子を有し、かつ、
前記誘導光放射線束が、エネルギー分散X線分光法を用いて検討される、
請求項5に記載の方法。 - 請求項1乃至6のうちいずれか一項に記載の方法を実行するように構成される荷電粒子顕微鏡。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP12177454.1A EP2690431A1 (en) | 2012-07-23 | 2012-07-23 | X-ray spectroscopic technique using merged spectral data |
EP12177454.1 | 2012-07-23 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014021124A true JP2014021124A (ja) | 2014-02-03 |
JP2014021124A5 JP2014021124A5 (ja) | 2017-02-09 |
JP6155123B2 JP6155123B2 (ja) | 2017-06-28 |
Family
ID=48771360
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013150137A Active JP6155123B2 (ja) | 2012-07-23 | 2013-07-19 | 合成されたスペクトルデータを用いた分光法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8653457B2 (ja) |
EP (2) | EP2690431A1 (ja) |
JP (1) | JP6155123B2 (ja) |
CN (1) | CN103575755B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20220026373A1 (en) * | 2019-03-26 | 2022-01-27 | Fei Company | Methods and systems for inclusion analysis |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2993682A1 (en) | 2014-09-04 | 2016-03-09 | Fei Company | Method of performing spectroscopy in a transmission charged-particle microscope |
EP2998979A1 (en) | 2014-09-22 | 2016-03-23 | Fei Company | Improved spectroscopy in a transmission charged-particle microscope |
JP6289339B2 (ja) * | 2014-10-28 | 2018-03-07 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び情報処理装置 |
US9719950B2 (en) | 2015-02-25 | 2017-08-01 | Fei Company | Sample-specific reference spectra library |
KR101756171B1 (ko) * | 2015-12-15 | 2017-07-12 | (주)새론테크놀로지 | 주사 전자 현미경 |
US10453647B2 (en) | 2017-02-16 | 2019-10-22 | Fei Company | Emission noise correction of a charged particle source |
JP6543670B2 (ja) * | 2017-09-29 | 2019-07-10 | 本田技研工業株式会社 | 電解質膜の膜厚測定方法及びその装置 |
EP3614414A1 (en) * | 2018-08-20 | 2020-02-26 | FEI Company | Method of examining a sample using a charged particle microscope |
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US7899153B2 (en) * | 2008-04-17 | 2011-03-01 | Thermo Niton Analyzers Llc | Automated x-ray fluorescence analysis |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6266390B1 (en) * | 1998-09-21 | 2001-07-24 | Spectramet, Llc | High speed materials sorting using x-ray fluorescence |
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JP4930874B2 (ja) * | 2006-06-22 | 2012-05-16 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | エネルギー分散型放射線検出システム及び対象元素の含有量測定方法 |
-
2012
- 2012-07-23 EP EP12177454.1A patent/EP2690431A1/en not_active Withdrawn
-
2013
- 2013-07-16 EP EP13176585.1A patent/EP2690432B1/en active Active
- 2013-07-19 US US13/946,755 patent/US8653457B2/en active Active
- 2013-07-19 JP JP2013150137A patent/JP6155123B2/ja active Active
- 2013-07-23 CN CN201310310310.9A patent/CN103575755B/zh active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US7899153B2 (en) * | 2008-04-17 | 2011-03-01 | Thermo Niton Analyzers Llc | Automated x-ray fluorescence analysis |
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US11921053B2 (en) * | 2019-03-26 | 2024-03-05 | Fei Company | Methods and systems for inclusion analysis |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2690431A1 (en) | 2014-01-29 |
EP2690432A1 (en) | 2014-01-29 |
CN103575755B (zh) | 2017-06-23 |
CN103575755A (zh) | 2014-02-12 |
US8653457B2 (en) | 2014-02-18 |
JP6155123B2 (ja) | 2017-06-28 |
EP2690432B1 (en) | 2016-06-22 |
US20140021346A1 (en) | 2014-01-23 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160712 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161222 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20161222 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20170116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170516 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170605 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6155123 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |