JP2014020950A - パターン検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被検査試料のパターンの欠陥を検査するパターン検査装置であって、被検査試料11を透過又は反射した光を結像する複数のレンズ群を備えた結像光学系15と、結像光学系15により結像される画像を撮像する撮像センサ16と、複数のレンズ群の一部と撮像センサ16を光軸方向に移動する移動機構31,32と、移動機構31,32による移動位置を制御して撮像倍率を変更する倍率制御回路25と、変更された倍率に応じて検査画像及び設計データから得られた参照画像の一方を補正する画像補正回路26と、補正された画像と検査画像及び参照画像の他方とを比較してパターンの欠陥検査を行う検査部24と、を具備した。
【選択図】図1
Description
図1は、第1の実施形態に係わるフォトマスクのパターン検査装置を示す概略構成図である。
図5は、第2の実施形態に係わるフォトマスクのパターン検査装置を示す概略構成図である。なお、図1と同一部分には同一符号を付して、その詳しい説明は省略する。
なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではない。
12…XYθテーブル
13…光源
14…照明光学系
15…結像光学系
16…フォトダイオードアレイ(撮像センサ)
17…センサ回路
18…XYθモータ
20…ホスト計算機
21…ステージ制御回路
22…データメモリ
23…参照データ生成回路
24…比較回路
25…倍率制御回路
26…画像補正回路
27…補正テーブル
31,32…ステッピングモータステージ
41…補正前の検査画像
42…補正後の検査画像
51…被検査領域
52…検査ストライプ
151〜154…レンズ群
Claims (7)
- 被検査試料を照明する照明光学系と、
前記照明により前記被検査試料を透過又は反射した光を結像する複数のレンズ群を備えた結像光学系と、
前記結像光学系により結像された光学像を撮像するための撮像センサと、
前記複数のレンズ群の一部を光軸方向に移動するレンズ移動機構と、
前記撮像センサを光軸方向に移動するセンサ移動機構と、
前記レンズ移動機構と前記センサ移動機構による各移動位置を制御して撮像倍率を変更する倍率制御回路と、
前記倍率制御回路により変更された倍率に応じて、前記撮像センサで得られた検査画像及び設計データから得られた参照画像の一方を補正する画像補正回路と、
前記画像補正回路によって補正された一方の画像と前記検査画像及び参照画像の他方とを比較してパターンの欠陥検査を行う検査部と、
を具備したことを特徴とするパターン検査装置。 - 前記画像補正回路は、前記倍率制御回路により設定される複数の倍率と該倍率の違いにより変化する前記検査画像の変位量との関係を記憶した補正テーブルに基づいて、前記検査画像の補正を行うことを特徴とする請求項1記載のパターン検査装置。
- 前記画像補正回路は、前記倍率制御回路により設定される複数の倍率と該倍率の違いにより変化する前記検査画像の変位量との関係を記憶した補正テーブルに基づいて、前記参照画像の補正を行うことを特徴とする請求項1記載のパターン検査装置。
- 前記画像補正回路は、前記倍率制御回路により設定された倍率で基準パターンを撮像して得られる基準パターン画像から、該画像の変位量を算出し、算出した変位量に基づいて前記検査画像の補正を行うことを特徴とする請求項1記載のパターン検査装置。
- 前記画像補正回路は、前記倍率制御回路により設定された倍率で基準パターンを撮像して得られる基準パターン画像から、該画像の変位量を算出し、算出した変位量に基づいて前記参照画像の補正を行うことを特徴とする請求項1記載のパターン検査装置。
- 指定された検査時間に応じて前記倍率制御回路による倍率を設定することを特徴とする請求項1乃至5の何れかに記載のパターン検査装置。
- 指定された検査精度に応じて前記倍率制御回路による倍率を設定することを特徴とする請求項1乃至5の何れかに記載のパターン検査装置。
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JP2012160488A JP2014020950A (ja) | 2012-07-19 | 2012-07-19 | パターン検査装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN104914112A (zh) * | 2014-03-12 | 2015-09-16 | 欧姆龙株式会社 | 片材检查装置 |
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-
2012
- 2012-07-19 JP JP2012160488A patent/JP2014020950A/ja active Pending
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