JP2014017412A - 熱拡散装置 - Google Patents

Abstract

【課題】容易に形成することができ、且つ、高熱伝導性部材の特性を充分に生かした熱拡散装置を提供する。
【解決手段】複数の熱拡散部１２１は、仮想平面上において、発熱体１１０が投影される発熱体領域Ａを中心として、長手方向が少なくとも所定の第１の方向ｘと、第１の方向に直交する第２の方向ｙと、第１の方向および第２の方向の間に位置する第３の方向ｚとを向くように配置されると共に、発熱体領域Ａで、互いに当接するように接合されており、複数の熱拡散部１２１が接合されることによって形成される平面部１２２の面積は、発熱体領域Ａの面積以上となるように形成されている。
【選択図】図２

Description

本発明は、半導体素子等の発熱体の熱を効果的に拡散する熱拡散装置に関するものである。

従来、半導体等の発熱体が発する熱を拡散させるための熱拡散装置として、例えば特許文献１に記載されたものが知られている。特許文献１の熱拡散装置では、熱拡散板（特許文献１では放熱性基板）は、細長矩形状のグラファイトシートの短辺が熱拡散板の厚み方向となるように多数設けられて、更に各グラファイトシートの間にアルミニウム等の金属材料が充填されて形成されている。

多数のグラファイトシートは、各グラファイトシートの１つの短辺が発熱体搭載位置を含む近傍に配置されると共に、他の短辺が発熱体搭載面を平面視したときの放射状外方に位置するように配置され、全体で見たときに円板状に形成されている。そして、金属材料は、上記のように配置された多数のグラファイトシートの間と、円板状の外側領域に設けられて、四角形の板状を成す熱拡散板が形成されている。

特開２０１０−２５１４６６号公報

しかしながら、特許文献１の熱拡散板においては、多数のグラファイトシートを配置する際に、各グラファイトシート同士を固定する部材（固定手段）はなんら設けられていないので、多数のグラファイトシートの間に金属材料を充填することは事実上困難である。また、仮に金属材料を充填可能としたとしても、金属材料の材料コスト、および充填のための工数がかかる。

更に、多数のグラファイトシートは放射状に配置されることから、隣り合うグラファイトシートの間には隙間が形成されることになるので、発熱体搭載部においては、発熱体の全面を全てのグラファイトシートに接触させることができず、グラファイトシートの高熱伝導性を充分に生かすことができない。

本発明の目的は、上記問題に鑑み、容易に形成することができ、且つ、高熱伝導性部材の特性を充分に生かした熱拡散装置を提供することにある。

本発明は上記目的を達成するために、以下の技術的手段を採用する。

本発明では、発熱体（１１０）と、
発熱体（１１０）が発する熱を、発熱体（１１０）と対向する仮想平面方向に拡散する熱拡散体（１２０）と、を備える熱拡散装置において、
熱拡散体（１２０）は、細長に形成されて少なくとも長手方向に高熱伝導性を有する複数の熱拡散部（１２１）から形成されており、
複数の熱拡散部（１２１）は、仮想平面上において、発熱体（１１０）が投影される発熱体領域（Ａ）を中心として、長手方向が少なくとも所定の第１の方向（ｘ）と、第１の方向に直交する第２の方向（ｙ）と、第１の方向および第２の方向の間に位置する第３の方向（ｚ）とを向くように配置されると共に、発熱体領域（Ａ）で、互いに当接するように接合されており、
複数の熱拡散部（１２１）が接合されることによって形成される仮想平面方向の平面部（１２２）の面積は、発熱体領域（Ａ）の面積以上となるように形成されたことを特徴としている。

本発明によれば、複数の熱拡散部（１２１）の長手方向は、発熱体領域（Ａ）を中心として、少なくとも第１〜第３の方向を向くように配置されて、発熱体領域（Ａ）で互いに当接するように接合されているので、容易に熱拡散体（１２０）を形成することができる。そして、複数の熱拡散部（１２１）が接合されることによって形成される平面部（１２２）の面積は、発熱体領域（Ａ）の面積以上となるようにしているので、発熱体（１１０）の熱を全ての熱拡散部（１２１）に伝えることができ、熱拡散部（１２１）の高熱伝導性を充分に生かすことができる。つまり、熱伝導性に優れる熱拡散体（１２０）とすることができる。

尚、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

第１実施形態における熱拡散装置を示す斜視図である。 第１実施形態における熱拡散装置を示す分解斜視図である。 図１、図２の熱拡散部を示す斜視図である。 図３の熱拡散部の他の製造方法を示す斜視図である。 図２の熱拡散部の平面部を示す平面図である。 ａ／ｂに対する熱拡散体の熱抵抗を示すグラフである。 比較品１、２、および本発明を示す外観図である。 比較品１、２に対する本発明の熱抵抗低減率、重量減少率を示す表である。 第２実施形態における熱拡散装置を示す斜視図である。 第３実施形態における、（ａ）は熱拡散装置を示す断面図、（ｂ）は冷却フィンに対する冷却媒体の流れ方向を示す説明図である。 第３実施形態の変形例１における熱拡散装置を示す断面図である。 第３実施形態の変形例２における熱拡散装置を示す断面図である。 熱拡散装置の制御端子におけるリード線を示す断面図である。 第４実施形態における熱拡散装置を示す斜視図である。 第４実施形態における熱拡散装置を示す断面図である。

以下に、図面を参照しながら本発明を実施するための複数の形態を説明する。各形態において先行する形態で説明した事項に対応する部分には同一の参照符号を付して重複する説明を省略する場合がある。各形態において構成の一部のみを説明している場合は、構成の他の部分については先行して説明した他の形態を適用することができる。各実施形態で具体的に組み合わせが可能であることを明示している部分同士の組み合わせばかりではなく、特に組み合わせに支障が生じなければ、明示していなくても実施形態同士を部分的に組み合せることも可能である。

（第１実施形態）
第１実施形態における熱拡散装置１００について図１〜図８を用いて説明する。本実施形態の熱拡散装置１００は、図１〜図５に示すように、発熱体１１０と熱拡散体１２０とを備えており、発熱体１１０の熱を熱拡散体１２０の板面方向および板厚方向に拡散させる装置となっている。

発熱体１１０は、例えば、ＩＧＢＴ（絶縁ゲートバイポーラトランジスタ）や、ＦＷＤ（フライホイールダイオード）等の半導体素子である。発熱体１１０は、図示しない制御端子から供給される制御信号に基づいて、発熱体１１０自身に入力される電力を制御して、図示しない電極部に出力するようになっており、電力制御時に発熱を伴うものとなっている。発熱体１１０は、例えば四角形の板状を成しており、熱拡散体１２０の一方の板面（ここでは導電性板材１２３の外側面）のほぼ中央に当接するように設けられている。

熱拡散体１２０は、図１、図２に示すように、複数の熱拡散部１２１、導電性板材１２３、および放熱板１２４等を備えており、全体が板状に形成されている。熱拡散体１２０は、熱伝導性に優れ、発熱体１１０の熱を板面方向および板厚方向に拡散させるようになっている。

熱拡散部１２１は、本実施形態では、外観が細長の棒状に形成されたグラファイト積層体が使用されている。熱拡散部１２１は、図３に示すように、複数のグラファイト板材１２１ａが積層されて形成されている。

グラファイト板材１２１ａは、短冊状を成す極薄の板部材であり、短冊状板の板厚方向に比べて長手方向（本発明の長辺方向）および幅方向（本発明の短辺方向）、つまり、短冊状の板面の２方向において熱伝導性に優れる高配向性グラファイト材料が使用されている。グラファイト板材１２１ａは、その板厚方向（図３中の左右方向）に複数積層されることで、細長棒状の熱拡散部１２１を形成している。

尚、熱拡散部１２１は、複数のグラファイト板材１２１ａを積層した後に高温、高圧プレスで接合することによって、あるいは、ガス状としたグラファイト材料を平面の上に順次堆積（ＣＶＤ法）させていくことで、積層体として形成される。あるいは、図４に示すように、図３に対応する幅方向の寸法が大きく設定されたグラファイト板材１２１ｂを積層してグラファイト積層体１２１１とし、そのグラファイト積層体１２１１を幅方向にわたって順に細かく切断していくことで、熱拡散部１２１を形成することも可能である。

上記の熱拡散部１２１においては、グラファイト板材１２１ａの長手方向における長辺によって積層方向に板状に拡がる板面が形成されており、更に、板面に直交する方向が、熱拡散部１２１の厚さ方向となっている。熱拡散部１２１の板面は、換言すると、グラファイト板材１２１ａの長辺と、積層方向に形成される辺とによって囲まれる面となっている。熱拡散部１２１の厚さ方向における寸法は、グラファイト板材１２１ａの幅方向の寸法に等しい。よって、熱拡散部１２１においては、積層されたグラファイト板材１２１ａの長手方向と幅方向との２方向において熱伝導性に優れるものとなっている。

上記のように形成される熱拡散部１２１は、発熱体１１０の一方の板面と対向する仮想平面上に乗るように複数配置されて、各熱拡散部１２１の一方の長手方向端部同士が互いに当接するように接合されることで、熱拡散部ブロック１２１Ａを形成している。

各熱拡散部１２１の一方の長手方向端部は、仮想平面上に発熱体１１０を垂直方向から投影した場合に想定される四角形の発熱体領域Ａ（図２）を中心として、互いに当接するように接合されている。各熱拡散部１２１の一方の長手方向端部は、図２、図５に示すように、それぞれ楔状に形成されており、これらの楔状部が互いにはまり合うことで、互いに当接し合って接合されている。尚、「互いに当接する」とは理想的には「互いに隙間無く」という技術思想を備えるものであるが、製造上のバラツキ等によりやむなく形成される微小な隙間は、許容するものとしている。

そして、各熱拡散部１２１の他方の長手方向の端部は、図２、図５に示すように、少なくとも以下の３つの方向（ｘ方向、ｙ方向、ｚ方向）を向くように設定されている。３つの方向の１つめは、四角形の発熱体領域Ａの一辺と平行なｘ方向である。ｘ方向は本発明の所定の第１の方向に対応する。また、３つの方向の２つめは、四角形の発熱体領域Ａの一辺と隣合う辺と平行な、つまりｘ方向に直交するｙ方向である。ｙ方向は本発明の第１の方向に直交する第２の方向に対応する。更に、３つの方向の３つめは、ｘ方向とｙ方向との間に位置するｚ方向である。ｚ方向は、本発明の第１の方向および第２の方向の間に位置する第３の方向に対応する。よって、本実施形態では、８つの熱拡散部１２１が使用されて、この８つの熱拡散部１２１によって、熱拡散部ブロック１２１Ａが形成されている。尚、一般的には、ｘ方向、ｙ方向、ｚ方向というと、３次元（空間内）における３方向を示すが、ここでは、２次元（平面上）における３つの方向として定義している。

各熱拡散部１２１が互いに接合される部位には、図５に示すように、発熱体１１０の一方の板面と対向する（仮想平面方向となる）平面部１２２が形成されている。平面部１２２は、発熱体領域Ａと同様の四角形領域を成す平面として形成されている。平面部１２２の４辺のうち、２つの辺はｘ方向と平行であり、残りの２つの辺はｙ方向と平行となっている。そして、平面部１２２の面積は、ｘ方向、ｙ方向、ｚ方向を向く熱拡散部１２１の幅寸法を調節することで、発熱体領域Ａの面積と同等以上になるように設定されている。つまり、平面部１２２は発熱体１１０を垂直方向から投影したときに、発熱体１１０（発熱体領域Ａ）を内包可能とする大きさの領域となっている。

また、ｘ方向、およびｙ方向を向く熱拡散部１２１の幅寸法をａとし、平面部１２２の一辺の寸法をｂとしたときに、後述するようにａ／ｂが、０．０５〜０．５（つまり５〜５０％）の値となるように設定すると良く、ここでは、ａ／ｂ＝０．２（２０％）となるように設定されている。

導電性板材１２３は、導電性の金属材から形成された四角形の板材であり、図１、図２に示すように、複数の熱拡散部１２１（熱拡散部ブロック１２１Ａ）の発熱体１１０側の面に接合されている。導電性板材１２３の各辺は、発熱体１１０（発熱体領域Ａ）の各辺と平行となっている。発熱体１１０は、導電性板材１２３の熱拡散部１２１が接合される面とは反対側の面に接合されている。

放熱板１２４は、上記導電性板材１２３と同様に、導電性の金属材から形成された四角形の板材であり、複数の熱拡散部１２１（熱拡散部ブロック１２１Ａ）の導電性板材１２３とは反対側の面に接合されている。放熱板１２４の各辺は、発熱体１１０（発熱体領域Ａ）の各辺と平行となっている。また、放熱板１２４の一辺の長さは、導電性板材１２３の一辺の長さと同等に設定されている。尚、放熱板１２４の熱拡散部１２１が接合される面とは反対側の面に、空冷、水冷等の各種冷却器を設けることが可能である。

ここで、複数の熱拡散部１２１の他方の長手方向端部は、導電性板材１２３、および放熱板１２４の外周辺の位置まで延びている。更に、ｚ方向を向く熱拡散部１２１の他方の長手方向端部は、導電性板材１２３、および放熱板１２４の角部位置に一致するように延びている。尚、このような導電性板材１２３、および放熱板１２４が設けられる熱拡散体１２０においては、導電性板材１２３、あるいは放熱板１２４の平面は、本発明の仮想平面に対応するものとして捉えることができる。

以上のように構成される熱拡散装置１００においては、発熱体１１０の熱が、熱拡散体１２０の導電性板材１２３を介して複数の熱拡散部１２１（熱拡散部ブロック１２１Ａ）に至り、各熱拡散部１２１の長手方向および厚さ方向に移動し、放熱板１２４の全体に亘って拡がるように伝導される。そして、発熱体１１０の熱は、放熱板１２４から空気中に放出され、発熱体１１０は冷却されることになる。尚、放熱板１２４に冷却器を設けた場合であると、放熱板１２４に伝導された熱は、冷却器に吸熱されて、発熱体１１０の冷却効果を高めることが可能となる。

本実施形態では、複数の熱拡散部１２１の長手方向は、発熱体領域Ａを中心として、少なくともｘ方向、ｙ方向、ｚ方向の３の方向を向くように配置されて、発熱体領域Ａで互いに当接するように接合されているので、容易に熱拡散体１２０（熱拡散部ブロック１２１Ａ）を形成することができる。そして、複数の熱拡散部１２１が接合されることによって形成される平面部１２２の面積は、発熱体領域Ａの面積以上となるようにしているので、発熱体１１０の熱を全ての熱拡散部１２１に伝えることができ、熱拡散部１２１の高熱伝導性を充分に生かすことができる。つまり、熱伝導性に優れる熱拡散体１２０とすることができる。

また、熱拡散部１２１をグラファイト積層体とすることで、仮想平面方向（導電性板材１２３、放熱板１２４の平面方向）と仮想平面に対して直行する方向とに熱伝導性の優れる熱拡散体１２０とすることできる。つまり、好適な熱拡散を可能とする熱拡散体１２０とすることができる。

また、複数の熱拡散部１２１（熱拡散部ブロック１２１Ａ）に導電性板材１２３、および放熱板１２４を接合するようにしている。これにより、導電性板材１２３および放熱板１２４が複数の熱拡散部１２１に対する補強板の役目を果たすので、強固な熱拡散体１２０とすることができる。このとき、導電性板材１２３を発熱体１１０の電力出力部（電極部）として使用することができる。また、放熱板１２４の外側面に冷却器等の冷却手段を設けることが可能であり、発熱体１１０の効果的な冷却が可能となる。

ここで、図６に示すように、本出願人らは、平面部１２２におけるａ／ｂの値を、種々変更することで、熱拡散体１２０の熱抵抗が最小値をとることを見出した。確認用のサンプルとして、発熱体１１０は、一辺５ｍｍで発熱量３００Ｗのものを使用した。熱拡散部ブロック１２１Ａは、高熱伝導方向に１７００Ｗ／ｍＫ、低熱伝導方向に７Ｗ／ｍＫのパイロイドＨＴを使用した。また、導電性板材１２３、放熱板１２４は、一辺が２０ｍｍのものを使用し、放熱板１２４には水冷の冷却器を取り付けた。

熱拡散体１２０の熱抵抗は、ａ／ｂの値が０．２（２０％）において最小となり、ａ／ｂを０．０５〜０．５（５〜５０％）とすることで、ｘ方向、ｙ方向、ｚ方向の各熱拡散部１２１における熱伝導量の好適なバランスをとることができ、熱伝導性に優れる熱拡散体１２０が得られることが解った。

尚、ａ／ｂ＝０に相当する比較用熱拡散体は、グラファイト積層体を４つ使用して全体が板状になるように形成し、各グラファイト積層体のグラファイト板材の長手方向が、中心と各角部とを結んだ線と平行となるようにしたものである。この比較用熱拡散体に対して、本実施形態では熱抵抗が下回るものが得られている。

更に、図７、図８に示すように、本出願人らは、厚さ２ｍｍの銅板（熱伝導率＝３９８Ｗ／ｍＫ）を熱拡散体とした比較例１と、グラファイト板材を単純に積層したグラファイト積層体（厚さ１．６ｍｍ）を銅板（厚さ０．２ｍｍ）で挟んで熱拡散体とした比較例２との比較において、本実施形態の熱拡散体１２０では、熱抵抗、および重量に対して共に大きな低減効果が得られたことを確認した。

（第２実施形態）
第２実施形態の熱拡散装置１００Ａを図９に示す。第２実施形態の熱拡散装置１００Ａは、上記第１実施形態の熱拡散装置１００に対して、熱拡散体１２０の放熱板１２４を絶縁性板材１２５に変更したものである。

絶縁性板材１２５は、例えばセラミック製の板材から形成されている。絶縁性板材１２５の外側面（図９の下側面）に、冷却器を設けるような場合であると、本実施形態では、絶縁性板材１２５を、放熱板として使用すると共に、発熱体１１０からの漏電防止用板として使用することができる。

（第３実施形態）
第３実施形態の熱拡散装置１１０Ｂを図１０に示す。第３実施形態の熱拡散装置１００Ｂは、上記第２実施形態の熱拡散装置１００Ａ（第１実施形態の熱拡散装置１００でも良い）に対して、絶縁性板材１２５（あるいは放熱板１２４）に放熱用の冷却器２００を接続したものである。冷却器２００と熱拡散装置１００Ａは、放熱グリス２３０などを用いて接触熱抵抗を低減した接触部を介して接続されている。

冷却器２００は、内部に冷却媒体が流通する通路２１０ａの形成された本体部２１０と、通路２１０ａ内に設けられた冷却フィン２２０とから形成されている。冷却フィン２２０は、例えば、断面が波状に形成されたウェーブフィンを用いることができる。尚、図１０（ａ）では、冷却器２００を模式的に表示したものであり、冷却媒体は、図１０（ｂ）に示すように、冷却フィン２２０の波形状が連続する方向に対して直交する方向に流れるようになっている。

本実施形態により、発熱体１１０で発生した熱は、熱拡散体１２０により拡散された後に、接触部（放熱グリス２３０）を通して冷却器２００に伝わり、最終的に冷却器２００内を流れる冷却媒体に効率的に放出され、発熱体１１０を効果的に冷却することが可能となる。冷却媒体は、例えば水や空気を用いることができる。

第３実施形態における変形例１の熱拡散装置１００Ｃを図１１に示す。変形例１の熱拡散装置１００Ｃは、上記第１実施形態の熱拡散装置１００に対して、放熱板１２４にフィン状部１２４ａを追加したものである。

フィン状部１２４ａは、放熱板１２４の外側面（図１１中の下側面）から発熱体１１０とは反対方向に突出する多数の突部であり、放熱板１２４の外側面の表面積を拡大するように形成されている。発熱体１１０から放熱板１２４に伝導された熱は、フィン状部１２４ａにて空気（冷却媒体）に効率よく放出される。よって、発熱体１１０の冷却効果を高めることが可能となる。

尚、放熱板１２４にフィン状部１２４ａを設けずとも、図１２に示す変形例２の熱拡散装置１００Ｄのように、放熱板１２４の表面に直接的に冷却空気や冷却水等の冷却媒体を流通させるようにしても良く、発熱体１１０の冷却効果を高めることが可能となる。

（第４実施形態）
図１３に示すように、熱拡散装置１００Ｅにおいて、発熱体１１０に電力制御用の制御信号を供給するために、制御端子１３０から発熱体１１０に接続されるリード線１３１を設ける場合がある。リード線１３１は、本発明の信号線に対応する。また、熱拡散体１２０が発熱体１１０を挟むように２つ設けられる場合であると、リード線１３１が２つの熱拡散体１２０に干渉しないように、スペーサ１４０を設けて、両熱拡散体１２０の間に適度な隙間が形成されるようにしている。尚、図１３中の符号１５０は、各部材をモールドする樹脂製のモールド材である。

第４実施形態の熱拡散装置１００Ｆを図１４、図１５に示す。第４実施形態の熱拡散装置１００Ｆは、上記第１実施形態の熱拡散装置１００に対して、熱拡散体１２０を熱拡散体１２０Ａとしたものである。

熱拡散体１２０Ａは、２組の熱拡散部ブロック１２１Ａが導電性板材１２３、および放熱板１２４の板面方向に並ぶように設けられている。更に熱拡散体１２０Ａは、２つ設けられており、発熱体１１０を挟むように設けられている。発熱体１１０は、２つ設けられており、各熱拡散体１２０Ａにおける熱拡散部ブロック１２１Ａの中心位置（各熱拡散部１２１が接合される部位）に対応するように配置されている。

２つの熱拡散体１２０Ａのうち、少なくとも一方の熱拡散体１２０Ａの導電性板材１２３には、切欠き部１２３ａが形成されている。切欠き部１２３ａは、導電性板材１２３において、リード線１３１が取り回しされる領域で、且つ、隣り合う熱拡散部１２１の間となる領域が取り除かれたものである。

これにより、リード線１３１を熱拡散部１２１の間を通るように取り回しすることができるので、ことさらスペーサ等を設けて２つの熱拡散体１２０の間の寸法を拡げる必要がない。

（その他の実施形態）
上記各実施形態では、熱拡散体１２０、１２０Ａは、熱拡散部ブロック１２１Ａ、導電性板材１２３、および放熱板１２４（あるいは絶縁性板材１２５）から形成されるものとして説明したが、最小限の構成として、熱拡散部ブロック１２１Ａのみから形成されるものとしても良い。

また、熱拡散体１２０、１２０Ａは、熱拡散部ブロック１２１Ａの発熱体１１０側の面、およびその反対側の面の少なくとも一方に導電性板材１２３が設けられるものとしても良い。

また、上記各実施形態では、熱拡散部１２１は、グラファイト積層体から形成されるものとして説明したが、これに限らず、銅やアルミニウム等の金属とグラファイトとを混合した複合材料（カーボンコンポジット材）、あるいはセラミック（窒化ホウ素）等から形成されるものとしても良い。

また、複数の熱拡散部１２１のうち、ｚ方向を向く熱拡散部１２１の他方の長手方向端部は、導電性板材１２３、放熱板１２４（あるいは絶縁性板材１２５）の角部位値に一致するようにしたが、これに限らず、ｘ方向およびｙ方向を向く熱拡散部１２１の間に配置されるようにしても良い。

１００、１００Ａ〜１００Ｆ 熱拡散装置
１１０ 発熱体
１２０ 熱拡散体
１２１ 熱拡散部
１２１ａ グラファイト板材
１２２ 平面部
１２３ 導電性板材
１２５ 絶縁性板材
１３１ リード線（信号線）

Claims (7)

1. 発熱体（１１０）と、
   前記発熱体（１１０）が発する熱を、前記発熱体（１１０）と対向する仮想平面方向に拡散する熱拡散体（１２０）と、を備える熱拡散装置において、
   前記熱拡散体（１２０）は、細長に形成されて少なくとも長手方向に高熱伝導性を有する複数の熱拡散部（１２１）から形成されており、
   前記複数の熱拡散部（１２１）は、前記仮想平面上において、前記発熱体（１１０）が投影される発熱体領域（Ａ）を中心として、前記長手方向が少なくとも所定の第１の方向（ｘ）と、前記第１の方向に直交する第２の方向（ｙ）と、前記第１の方向および前記第２の方向の間に位置する第３の方向（ｚ）とを向くように配置されると共に、前記発熱体領域（Ａ）で、互いに当接するように接合されており、
   前記複数の熱拡散部（１２１）が接合されることによって形成される前記仮想平面方向の平面部（１２２）の面積は、前記発熱体領域（Ａ）の面積以上となるように形成されたことを特徴とする熱拡散装置。
2. 前記複数の熱拡散部（１２１）のうち、前記第１の方向（ｘ）、および前記第２の方向（ｙ）を向く熱拡散部（１２１）の幅寸法をａ、前記平面部（１２２）の前記幅寸法ａと平行となる一辺の寸法をｂとしたときに、
   前記ａ／前記ｂは、０．０５〜０．５となるように設定されていることを特徴とする請求項１に記載の熱拡散装置。
3. 前記複数の熱拡散部（１２１）は、短冊状を成して長辺方向および短辺方向に高熱伝導性を有するグラファイト板材（１２１ａ）が複数積層されて形成されており、前記短辺方向が前記仮想平面に対して直交する方向を向くように配置されたグラファイト積層体（１２１）であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の熱拡散装置。
4. 前記熱拡散体（１２０）の前記発熱体（１１０）と対向する側、およびその反対側の少なくとも一方には、導電性の板材（１２３）が設けられたことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１つに記載の熱拡散装置。
5. 前記熱拡散体（１２０）の前記発熱体（１１０）と対向する側に導電性の板材（１２３）が設けられ、
   前記熱拡散体（１２０）の前記発熱体（１１０）とは反対側に絶縁性の板材（１２５）が設けられたことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１つに記載の熱拡散装置。
6. 前記第１の方向（ｘ）は、前記導電性の板材（１２３）あるいは前記絶縁性の板材（１２５）の一辺に平行となる方向であり、
   前記第２の方向（ｙ）は、前記導電性の板材（１２３）あるいは前記絶縁性の板材（１２５）の前記一辺の隣にある辺に平行となる方向であり、
   前記第３の方向（ｚ）は、前記導電性の板材（１２３）あるいは前記絶縁性の板材（１２５）の角に向かう方向であることを特徴とする請求項４または請求項５に記載の熱拡散装置。
7. 前記熱拡散体（１２０）は、２つ設けられて、２つの前記熱拡散体（１２０）は、前記発熱体（１１０）を挟むように配置されており、
   前記発熱体（１１０）には、外部から発熱体制御用の信号を前記発熱体（１１０）に供給する信号線（１３１）が接続されており、
   前記信号線（１３１）は、前記複数の熱拡散部（１２１）の間を通るように取り回しされていることを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれか１つに記載の熱拡散装置。

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