JP2014017376A - 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】炭化珪素MOSFETにおいて、JFET領域のゲート酸化膜直下全面に電界緩和領域を備え、電界緩和領域はウェル領域より浅く形成し、電界緩和領域内の不純物濃度は、ウェル領域内で、電界緩和領域より浅い領域内の不純物濃度より高く設定する。
【選択図】 図1
Description
まず、この発明の実施の形態1における炭化珪素半導体装置の構成を説明する。図1は、この発明の実施の形態1における炭化珪素半導体装置を示す断面図である。図2は、前記半導体装置の一部を上から見た図である。ここでは、炭化珪素半導体装置の一例として、nチャネル炭化珪素MOSFETについて説明する。
また、n型(第1導電型)の不純物のイオン注入の深さは、0.1〜2μm程度で、ウェル領域3の厚さより浅いものとする。
図12は、本発明の実施の形態2におけるウェル領域3の深さ方向の不純物濃度プロファイルの一例を示す図である。本発明の実施の形態2では図1におけるウェル領域3の不純物濃度を表面から深い領域では高く、浅い領域では低くしたことを特徴とする。それ以外については、実施の形態1と同様である。
図13は、本発明の実施の形態3における炭化珪素半導体装置を示す断面図である。本実施の形態は、ウェル領域3の表面にn型チャネル領域11を設け、蓄積型MOSFETとしたことを特徴とする。それ以外については、実施の形態1及び2と同様である。
図14は、本発明の実施の形態3における炭化珪素半導体装置の製造方法を説明するための炭化珪素半導体装置の断面図である。本実施の形態は、ウェル領域3と電界緩和領域10を同時に形成する製造方法を用いたことを特徴とする。それ以外については、実施の形態1、2及び3と同様である。
2 ドリフト層
3 ウェル領域
3a 領域
4 ソース領域
5 ウェルコンタクト用領域
6 ゲート絶縁膜
7 ゲート電極
8 ソース電極
9 ドレイン電極
10 電界緩和領域
11 n型チャネル領域
12 注入マスク
Claims (8)
- 炭化珪素基板上に設けられた第1の導電型の炭化珪素ドリフト層の表層部に、互いに間隔をあけて形成された第2の導電型の複数のウェル領域と、
前記ウェル領域内に形成された第1の導電型のソース領域と、
前記ドリフト層および前記ウェル領域の表面に形成されるゲート絶縁膜と、
隣り合う前記ウェル領域の間の、前記ゲート絶縁膜直下の前記ドリフト層の表層部全面に形成された、前記隣り合う前記ウェル領域に隣接する第2の導電型の電界緩和領域と、
前記ソース領域の表面の一部に形成されたソース電極と、
前記ゲート絶縁膜の表面に、前記電界緩和領域と、前記ウェル領域と、前記ソース領域の端部と、対向するように形成されたゲート電極と、
を備え、
前記電界緩和領域の深さが前記ウェル領域よりも浅く、かつ、前記電界緩和領域の不純物濃度が、前記電界緩和領域の深さより浅い領域にある前記ウェル領域の不純物濃度より高い、
炭化珪素半導体装置。 - 前記ウェル領域の不純物濃度が、表面から浅い領域では、表面から深い領域の不純物濃度より低いこと、
を特徴とする請求項1に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記ウェル領域の不純物濃度が、1×1015〜1×1019cm−3の範囲であること、
を特徴とする請求項1または2に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記電界緩和領域の不純物濃度が1×1016〜1×1020cm−3の範囲であること、
を特徴とする請求項1または2に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記電界緩和領域の深さが0.01〜2μmの範囲であること、
を特徴とする請求項1または2に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記ウェル領域の表層部に第1の導電型の蓄積型チャネル領域を設け、蓄積型MOSFETとしたこと、
を特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。 - 前記ウェル領域内に形成され、前記ソース領域と隣接する第2の導電型のウェルコンタクト領域を備え、
前記ソース電極は、前記ウェルコンタクト領域の表面にも形成された、
nチャネル炭化珪素MOSFETであること、
を特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。 - 炭化珪素基板上に、炭化珪素からなる第1の導電型のドリフト層を成長させる第1の工程と、
前記ドリフト層の表面に注入マスクを形成する第2の工程と、
前記ドリフト層に第2の導電型である不純物イオンを注入する第3の工程と、
を備え、
前記第3の工程は、表面に前記注入マスクが形成されていない前記ドリフト層の領域に注入して複数のウェル領域を形成すると同時に、表面に前記注入マスクが形成されている前記ドリフト層の領域に前記注入マスクを介してスルー注入することによって電界緩和領域を形成すること、
を特徴とする請求項2に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
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