JP2014005516A5 - - Google Patents

Description

本発明の実施の形態の処理装置は、被処理体を処理する処理液を貯容する処理槽と、前記処理槽の内部で前記処理液に含浸される前記被処理体の表面に沿って前記処理槽の平面視での一端側と他端側との間で移動可能に配設されて前記処理液を撹拌し、前記処理槽の深さ方向に延在するとともに、前記移動のＸ軸方向に対して斜めに配設される撹拌部材と、
前記撹拌部材を前記処理槽内で前記一端側と前記他端側との間でＸ軸方向に反復的に移動させる駆動装置と、前記処理槽の底部において、前記処理槽のＸ軸方向の前記一端側に接続される流入口と、前記処理槽のＸ軸方向の前記他端側に接続される流出口とを有し、前記Ｘ軸方向の一端側の前記流入口から前記Ｘ軸方向の他端側の前記流出口に向けて前記処理液をバイパスさせるバイパス配管とを含む。

Claims (9)

1. 被処理体を処理する処理液を貯容する処理槽と、
   前記処理槽の内部で前記処理液に含浸される前記被処理体の表面に沿って前記処理槽の平面視での一端側と他端側との間で移動可能に配設されて前記処理液を撹拌し、前記処理槽の深さ方向に延在するとともに、前記移動のＸ軸方向に対して斜めに配設される撹拌部材と、
   前記撹拌部材を前記処理槽内で前記一端側と前記他端側との間でＸ軸方向に反復的に移動させる駆動装置と、
   前記処理槽の底部において、前記処理槽のＸ軸方向の前記一端側に接続される流入口と、前記処理槽のＸ軸方向の前記他端側に接続される流出口とを有し、前記Ｘ軸方向の一端側の前記流入口から前記Ｘ軸方向の他端側の前記流出口に向けて前記処理液をバイパスさせるバイパス配管と
   を含む、処理装置。
2. 前記撹拌部材を前記処理槽の深さ方向に対して斜めに保持し、前記駆動装置によって前記処理槽のＸ軸方向の前記一端側と前記他端側との間で移動される枠部をさらに含み、
   前記撹拌部材は、前記枠部が前記駆動装置によって前記処理槽のＸ軸方向の前記一端側と前記他端側との間で移動される、請求項１記載の処理装置。
3. 前記枠部には、前記処理槽のＸ軸方向の前記一端側から前記他端側に向かう方向に貫通する貫通孔が形成される、請求項２記載の処理装置。
4. 前記撹拌部材は、一方の面が前記処理槽のＸ軸方向の前記一端側を向き、他方の面が前記処理槽のＸ軸方向の前記他端側を向く板状の部材である、請求項１乃至３のいずれか一項記載の処理装置。
5. 前記板状の部材は、前記処理槽のＸ軸方向の前記一端側から前記他端側に向かう方向に対する幅方向の端部が面取りされている、請求項４記載の処理装置。
6. 前記板状の部材は、前記処理槽のＸ軸方向の前記一端側から前記他端側に向かう方向に対する幅方向の断面形状が矩形、楕円形、又は平行四辺形である、請求項４記載の処理装置。
7. 前記処理槽のＸ軸方向の前記一端側において前記供給口よりも前記処理槽のＸ軸方向の前記他端側に配設される上端と、前記処理槽のＸ軸方向の前記一端側において前記流入口よりも前記処理槽のＸ軸方向の前記他端側に配設される下端と、前記上端及び前記下端との間に形成される第１貫通孔とを有する第１隔壁と、
   前記処理槽のＸ軸方向の前記他端側において前記戻り口よりも前記処理槽のＸ軸方向の前記一端側に配設される上端と、前記処理槽のＸ軸方向の前記他端側において前記流出口よりも前記処理槽のＸ軸方向の前記一端側に配設される下端と、前記上端及び前記下端との間に形成される第２貫通孔とを有する第２隔壁とをさらに含む、請求項１乃至６のいずれか一項記載の処理装置。
8. 前記撹拌部材は、Ｘ軸方向の前記一端側に位置する第１端部の方がＸ軸方向の前記他端側に位置する第２端部よりも前記処理槽の深さ方向において上部にあることにより、前記処理槽の深さ方向に対して斜めに配設される、請求項１乃至７のいずれか一項記載の処理装置。
9. 前記処理槽の外部に配設され、前記処理液を貯容する貯容槽と、
   一端が前記処理槽の上部のＸ軸方向の前記一端側に配設される供給口に接続され、中間部に前記貯容槽が接続され、他端が前記処理槽の上部のＸ軸方向の前記他端側に配設される戻り口に接続され、前記戻り口を通じて前記処理槽内の処理液を前記貯容槽に戻すとともに、前記貯容槽内の処理液を前記供給口を通じて前記処理槽に供給する循環配管と
   をさらに含む、請求項１乃至８のいずれか一項記載の処理装置。