JP2014001730A

JP2014001730A - チャネルマーカー及び関連方法

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Publication number: JP2014001730A
Application number: JP2013123293A
Authority: JP
Inventors: Benjamin Paul Lacy; ベンジャミン・ポール・レイシー; Srikanth Chandrudu Kottilingam; スリカンス・チャンドルドゥ・コッティリンガム; Edward Schick David; デイヴィッド・エドワード・シック; Brian Lee Tollison; ブライアン・リー・トリソン
Original assignee: General Electric Co
Current assignee: General Electric Co
Priority date: 2012-06-15
Filing date: 2013-06-12
Publication date: 2014-01-09
Anticipated expiration: 2033-06-12
Also published as: US20130336800A1; CN103511058A; EP2674510B1; EP2674510A1; CN103511058B; RU2013126971A; JP6193635B2; US9303517B2; US20160177747A1

Abstract

【課題】高温で作動する部品を冷却するために部品内にチャネルが作られ、チャネルは冷却用流体の導管として機能するが、チャネルが塞がれ、適切に冷却することが困難になる可能性がある。このため、部品の内部に延在するチャネルを見分けるマーカーを形成することにより、チャネルの位置を確認しアクセスすることが可能となる方法を提供する。
【解決手段】本体４、本体４の一部分を通って延在するミクロチャネル６、ミクロチャネル６の一部分を被覆する遮熱コーティング（ＴＢＣ）１２、及びミクロチャネル６からＴＢＣ１２を通って又はミクロチャネル６の端部から延在するマーカー部材１４を形成する。マーカー部材１４は本体内のミクロチャネル６の位置を示す。
【選択図】図１

Description

本明細書に開示される主題は部品の冷却に関する。より特定的には、本発明の様々な態様は部品を冷却するための装置と方法を含む。

高温で作動するタービン、発電機、又はその他の機械に使用される部品のような部品の形成中、これらの部品を冷却できるようにするために部品内にチャネルが作られることが多い。これらのチャネルは部品の使用中冷却用の気体又は液体のような冷却用流体の導管として機能することができる。しかし、その後の慣用の製作プロセスでこれらのチャネルが塞がれ、使用中の部品を適切に冷却することが困難になる可能性がある。

米国特許第７９００４５８号

本発明の様々な実施形態は部品、部品の形成方法、及び部品の冷却方法を含む。幾つかの実施形態において、本体、本体の一部分を通って延在するミクロチャネル、ミクロチャネルの一部分を被覆する遮熱コーティング（ＴＢＣ）、及びミクロチャネルからＴＢＣを通って、又はミクロチャネルの端部から延在しており、本体内のミクロチャネルの位置を示すマーカー部材を含む部品が開示される。

本発明の第１の態様は、本体、本体の一部分を通って延在するミクロチャネル、ミクロチャネルの一部分を被覆する遮熱コーティング（ＴＢＣ）、及びミクロチャネルからＴＢＣを通って、又はミクロチャネルの端部に近接して延在しており、本体内のミクロチャネルの位置を示すマーカー部材を有する部品を含む。

本発明の第２の態様は、部品内にミクロチャネルを形成し、ミクロチャネル内にマーカーを設け、ミクロチャネル及びマーカーの一部分の上に遮熱コーティング（ＴＢＣ）を形成してミクロチャネルを実質的に封止することを含む方法であって、ＴＢＣの形成後マーカーの一部分がＴＢＣの外面を越えて延在する方法を含む。

本発明の第３の態様は、少なくとも部分的に内部を通って延在するミクロチャネル又はフィルムホール、ミクロチャネル又はフィルムホールの一部分を被覆する遮熱コーティング（ＴＢＣ）、及びチャネルからＴＢＣを通って、又はミクロチャネル又はフィルムホールの端部に近接して延在するマーカーを有する部品を提供し、マーカーを機械加工して、ＴＢＣを通してミクロチャネル又はフィルムホールを露出させることを含む方法を含む。

本発明の上記及びその他の特徴は、本発明の様々な実施形態を示す添付の図面と合わせて、本発明の様々な態様についての以下の詳細な説明を読めば、より容易に理解されるであろう。
図１は、本発明の様々な実施形態による部品の上面図を示す。図２は、本発明の様々な実施形態による部品の端面図を示す。図３は、本発明の様々な実施形態による部品の側面図を示す。図４は、本発明の様々な代わりの実施形態による部品の側面図を示す。図５は、本発明の様々な実施形態による部品を含むターボ機関の概略図を示す。図６は、本発明の様々な実施形態によるプロセスを説明するフローチャートを示す。図７は、本発明の様々な実施形態による、少なくとも１つのフィルムホール及び関連するマーカーを有する代わりの実施形態の部品の側面図を示す。図８は、本発明の様々な実施形態によるプロセスを説明するフローチャートを示す。

本発明の図面は必ずしも一定の縮尺ではないことに留意されたい。図面は、本発明の典型的な態様のみを示すためのものであり、従って本発明の範囲を限定するものと考えるべきではない。図面中、類似の符号は図面間の類似の要素を表す。

本明細書中に示されているように、開示されている主題は部品の冷却に関する。より特定的には、本発明の態様は、内部に延在する冷却用導管を見分けるマーカーを有する部品を含み、マーカーは部品上のコーティングを通って延在する。

慣習的に、例えば部品を冷却するための１以上のチャネル（例えば、ミクロチャネル又はフィルムホール）を部品内に形成する際、これらのチャネルはその後遮熱コーティング（ＴＢＣ）を用いて封止又は被覆される。しかし、ＴＢＣを形成した後、このコーティングの下に埋まっているミクロチャネル又はフィルムホールの位置を確認しアクセスすることは困難である可能性がある。ミクロチャネル（又はフィルムホール）にアクセスすることは、チャネルを通って流れる冷却剤のための出口通路を提供するのに役立つ可能性がある。

本発明の様々な実施形態は、後に形成されるＴＢＣを通ってアクセス可能な、ミクロチャネル（又はフィルムホール）のためのマーカー又はその他の指示器を形成することによって、従来のミクロチャネル／フィルムホール形成プロセスにおける上述の欠点を改善するのに役立つ。

本発明の様々な実施形態は、本体、本体の一部を通って延びるミクロチャネル、ミクロチャネルの一部（例えば、上部）を覆う遮熱コーティング（ＴＢＣ）、及びミクロチャネルからＴＢＣを貫通して、又はミクロチャネルの端部に近接して（例えば、接触又はほぼ接触して）延びるマーカー部材を有する部品を含み、このマーカー部材は本体内のミクロチャネルの位置を示す。後に、このマーカーを用いて、出口ホールをドリル加工するための位置を決定することができる。マーカー自体が多様な方法でドリル加工することができ、この出口ホールを作成する際の補助となることができる。

様々な実施形態は部品を形成する方法を含み、この方法は、部品内にミクロチャネルを形成し、ミクロチャネル内にマーカーを挿入し、ミクロチャネル及びマーカーの一部の上に遮熱コーティング（ＴＢＣ）を形成して、ミクロチャネルを実質的に封止することを含んでおり、ここでマーカーの一部は、ＴＢＣの形成後ＴＢＣの外面を越えて延びる。

様々な他の実施形態は部品を冷却する方法を含み、この方法は、少なくとも部分的に内部を通って延びるミクロチャネル、ミクロチャネルの一部を覆う遮熱コーティング（ＴＢＣ）、及びチャネルからＴＢＣを貫通して、又はミクロチャネルの端部に近接して（例えば、触れ、又は殆ど触れて）延びるマーカーを有する部品を提供し、マーカーを機械加工してＴＢＣを通してミクロチャネルを露出させることを含む。この方法は、部品を冷却するためのミクロチャネルの入口に冷却用流体を提供することを含むことができる。この入口は機械加工されたミクロチャネルから形成することができる。

図１及び２を参照すると、本発明の様々な実施形態による部品２の一部分の平面図及び端面図がそれぞれ示されている。本明細書に記載されているように、幾つかの場合において、部品２はガスタービン部品（又は蒸気タービン部品）のようなタービン部品を含む。幾つかの特定の場合において、部品２は、タービンの作動中高温条件に付され得るタービンベーン又はノズル、タービンシュラウド、プラットフォーム、末端壁、等を含む。

いずれの場合も、部品２は、例えば鋼又は別の適切な合金のような金属で形成することができる本体４を含むことができる。同様に図示されているように、部品２は、本体４の一部分を通って延在するミクロチャネル６を含むことができる。幾つかの場合において、ミクロチャネル６は大きさが約０．０１インチ〜約０．１インチの幅で、同様な深さの寸法（０．０１〜０．１インチ）の範囲であることができる。様々な場合において、ミクロチャネル６は実質的に長方形の横断面を有するが、他の場合にミクロチャネル６は実質的に円形、丸い、又は卵形の横断面を有する。幾つかの場合において、ミクロチャネル６はその長さ（Ｌ）全体にわたって実質的に一定の横断面を有することができるが、他の場合には不定の横断面を有することができる。様々な実施形態において、ミクロチャネル６はタービュレーターのような熱伝達増強性の特徴を含むことができる。

図２の端面図に、ミクロチャネル６がさらに詳細に示されている。特に、ミクロチャネル６はトラフ８及びトラフ８の縁にショルダー１０を含むことができる。ミクロチャネル６は任意の慣用の金属機械加工技術、例えば、レーザー形成などを用いて形成することができる。ミクロチャネル６の一部分（例えば、上面部）を被覆する遮熱コーティング（ＴＢＣ）１２も示されている。様々な実施形態において、ミクロチャネル６はＴＢＣ１２を適用する前に被覆することができる。幾つかの場合に、ミクロチャネル６は、次の工程、すなわち、チャネルの上にボンドコートを橋架けする、チャネルを充填した後ボンドコート上に溶射噴霧し、その後充填物を浸出する、チャネルを箔又はワイヤで被覆し、その後箔又はワイヤを表面に溶接又はろう付けする、又はミクロチャネルを被覆するための任意の他の慣用のアプローチの少なくとも１つによって被覆することができる。特定の実施形態において、ミクロチャネル６は本明細書中でさらに記載されるマーカー部材１４を用いて被覆することができる。

ＴＢＣ１２は溶射、蒸着、等のような慣用の技術によってミクロチャネル６上に形成することができる。その名前が示すように、ＴＢＣ１２は部品２が受ける環境条件に対して本体４のための熱障壁として機能することが意図されている。ＴＢＣ１２は本体４の表面の実質的に全体を被覆することができ、幾つかの場合には、ＴＢＣ１２は本体４の複数の面を被覆する。

同様に図示されているように、部品２は、本体４内のミクロチャネル６の位置を示すことができるマーカー部材１４を含むことができる。マーカー部材１４は、幾つかの実施形態において、ワイヤ、例えば金属ワイヤで形成することができる。しかし、他の実施形態において、マーカー部材１４は溶接又はろう付けの肉盛、例えば溶接又はろう付け材料（例えば、金属）の肉盛、又は箔により形成することができる。さらに、マーカー部材１４はミクロチャネル６上又は近接して接合することができるであろうセラミックペグのような非金属性マーカーから形成することができる。本明細書に記載されているように、マーカー部材１４は、ＴＢＣ１２の外部の位置、例えば、ＴＢＣ１２の上方の位置又はミクロチャネル６の端部に近接した位置から、ミクロチャネル６の位置を示すことができる。幾つかの場合において、図１及び２に示されているように、幾つかのマーカー部材１４はミクロチャネル６から垂直に（ページの外側に）延び、ミクロチャネル６の内側の一部分１８（図３）でＴＢＣ１２を通って延在することができ、この内側の一部分１８はそのミクロチャネル６の端部１６の内側であるか又はそのミクロチャネル６の端部１６に近接している（接触する又は殆ど接触する）。この内側の一部分１８は、ＴＢＣ１２の下で延在するミクロチャネル６のいかなる面積を含むこともできる。他の実施形態において、マーカー部材１４はミクロチャネル６を越えて実質的に平行に、例えばミクロチャネル６の端部１６から外へ延在することができる。

すなわち、本発明の様々な実施形態において、マーカー部材１４はＴＢＣ１２を通ってＴＢＣ１２の外面２２の上の位置２０まで延びることができる。従って、マーカー部材１４はＴＢＣ１２が本体４の上に形成された後位置２０からアクセス可能である。本明細書中に示されているように、マーカー部材１４は金属ワイヤのような金属、又は溶接若しくはろう付けの肉盛で形成することができる。当技術分野で公知のように、ＴＢＣ１２は絶縁材料（絶縁体）で形成される。マーカー部材１４がＴＢＣ１２を越えて延在する場合、放電機械加工（ＥＤＭ）のような電気的製造技術を用いてマーカー部材１４を機械加工（例えば、除去）してミクロチャネル６にアクセスすることができる。

マーカー部材１４を形成するのに使用した材料に関わりなく、マーカー部材１４は、ミクロチャネル６の一部分にアクセスするために機械加工、例えばドリル加工することができるものと理解されたい。本明細書に記載されているように、ミクロチャネル６にアクセスするためのマーカー部材１４の機械加工を実施して、ミクロチャネル６内の冷却剤のための出口通路を提供することができる。

図４を参照すると、本発明の様々な実施形態による代わりの実施形態の部品４２が示されている。この実施形態において、部品４２はミクロチャネル６の上に形成されたマーカー部材１４を含むことができ、このマーカー部材は少なくとも部分的に上方にＴＢＣ１２を通りＴＢＣの上面２２を越えて（上面２２の上の位置２０まで）、及び／又はミクロチャネル６の端部１６から延在することができる。

図５を参照すると、本発明の様々な実施形態によるターボ機関５０の一部分の概略的描写が示されている。示されているように、ターボ機関５０の選択された部品のこの部分的な描写はロータ５４を実質的に包囲するステータ５２を含むことができる。ステータ５２は、ロータ５４の本体６０から延在するバケット５８の表面を横切って作動流体（例えば、蒸気）の流れを導くためのベーン５６を含むことができる。示されているように、ベーン５６及び／又はバケット５８は本明細書に記載した部品の幾つか（例えば、部品２、４２）を含むことができる。すなわち、本明細書に記載した部品２、４２はベーン５６、バケット５８、シュラウド６２の一部分、又はその他ターボ機関５０内の部品を含むことができる。

本発明の実施形態による様々な方法も開示される。図６を参照すると、本発明の様々な実施形態によるプロセスを説明する流れ図が示されている。

様々な実施形態による予備的な（任意の）工程であり得る第１の工程Ｐ１においては、部品内にミクロチャネルを形成する。この場合、タービン部品のような部品を機械加工して１以上のミクロチャネル（例えば、ミクロチャネル６）を形成する。幾つかの場合、ミクロチャネル６はウォータージェット加工、放電加工、ミリング（フライス加工）、レーザー切断又はその他の適切な手段によって形成される。ミクロチャネル６はトラフ８及びショルダー１０と共に形成することができ、ここでショルダー１０は後の加工処理中マーカー部材１４のための台座として機能し得る。

ミクロチャネルの形成後、工程Ｐ２はミクロチャネル６内にマーカー部材（例えば、マーカー部材１４）を提供することを含むことができる。マーカー部材１４がワイヤを含む幾つかの場合、マーカー部材１４はミクロチャネル６内又はミクロチャネル６の端部１６に隣接して配置される。他の場合、マーカー部材１４は、ミクロチャネル６内に溶接又はろう付けの肉盛としてマーカー部材１４を形成することによって提供される。他の幾つかの場合、ミクロチャネル６は箔又はワイヤを用いて被覆され得、この箔又はワイヤはその後ミクロチャネル６の上にろう付け又は溶接することができる。これらの実施形態において、マーカー部材１４は、この箔又はワイヤから、箔又はワイヤをミクロチャネル６を越えて延在させることによりミクロチャネル６の端部１６に近接して、及び／又はＴＢＣ１２又はＴＢＣ１２の上の追加のコーティング２５（図２に点線で示す）の外面２２を越えてマーカー部材１４が延在するように箔又はワイヤをＴＢＣ１２の外面２２に向けて上方に（かつ越えて）曲げることにより形成することができる。幾つかの場合、本明細書に記載されているように、マーカー部材１４はセラミックペグのような非金属性材料を含むことができる。

工程Ｐ２の後、工程Ｐ３はミクロチャネル６及びマーカー部材１４の一部分の上にＴＢＣを形成することを含むことができる。本明細書中に示されているように、ＴＢＣ１２は任意の慣用のやり方で溶射、蒸着又はその他の方法でミクロチャネル６の上に形成することができる。ＴＢＣ１２はミクロチャネル６を、特にミクロチャネル６の長さに沿って実質的に被覆することができる。ＴＢＣ１２はさらに部品２の本体４の実質的に全体を被覆して、使用（例えば、ガスタービン内での使用）中の部品２に対する熱損傷を防ぐことができる。しかし、本明細書中に示されているように、本体４（ミクロチャネル６を含む）の上にＴＢＣ１２を形成した後、マーカー部材１４は、ＴＢＣ１２の表面の上の位置からアクセス可能なままである。

図７は、マーカー部材１４が部品７２、例えば翼形部品内のフィルムホール７６の位置を示すために使用される代わりの実施形態の側面図である。幾つかの特定の場合、部品７２はガスタービン翼形部のようなタービン翼形部品を含む。当技術分野で理解されるように、フィルムホール７６は部品７２のセグメント全体に延在することができ、幾つかの場合、フィルムホール７６はある角度（例えば、角度ａ）で部品７２のセグメントを通って延在することができる。フィルムホール７６は部品７２の前面７８から部品７２後面８０まで延在することができ、部品７２の本体８２を通る冷却用流体の通過を許容できる。図示示されているように、部品７２は、フィルムホール７６（幾つかが示されている）、フィルムホール７６の一部分を覆うＴＢＣ１２（例えば、本明細書に記載した１以上の他のＴＢＣと類似）を含むことができる。また、フィルムホール７６からＴＢＣ１２を通って延在するマーカー部材１４（本明細書に記載し図示した１以上のマーカー部材と同様）も示されている。様々な実施形態において、フィルムホール７６は、その前面７８に対する開口がその後面８０上の開口と異なる直径を有するように不均一な幅を有することができる。様々な実施形態において、マーカー部材１４はまた、前面７８又は後面８０のいずれか又は両方上のフィルムホール７６の開口にぴったり直接ではなく、フィルムホール７６の開口の縁上又はそれから少しずれることも可能であることが理解されよう。

図８は、本発明の様々な実施形態に従って、本体４の上にＴＢＣ１２を形成した後ミクロチャネル６へのアクセスに関連するプロセスを含む流れ図を示す。このプロセスは、工程Ｐ２１で、内部に少なくとも部分的に延在するミクロチャネル６又はフィルムホール７６、ミクロチャネル６又はフィルムホール７６の一部分を被覆するＴＢＣ１２、及びミクロチャネル６又はフィルムホール７６からＴＢＣ１２を通って延在するマーカー部材１４を有する部品（例えば、部品２）を提供することを含むことができる。幾つかの実施形態において、部品は本明細書に記載し図示した部品２又は部品７２と実質的に同様であることができ、ここでマーカー部材１４はワイヤ又はろう付け若しくは溶接の肉盛を含んで形成される。

工程Ｐ２２は、マーカー部材１４を機械加工してＴＢＣ１２を通ってミクロチャネル６を露出させることを含むことができる。本明細書中に示されているように、マーカー部材１４をＴＢＣ１２の外面２２の外部の位置から機械加工してミクロチャネル６を露出させることができる。幾つかの特定の場合、機械加工は、放電加工（ＥＤＭ）を実施してマーカー部材１４の一部分を除去することを含むことができる。その他の場合、マーカーは、任意の機械加工プロセスによってドリル加工して穴をあけることができよう。表面２２の外部の位置からミクロチャネル６に至るマーカー部材１４の所望の一部分を機械加工した後、ミクロチャネル６は、例えば部品２の冷却用にその中を通る流体を提供するためにアクセス可能である。

本明細書に記載した部品及び方法は「ミクロチャネル」に言及しているが、本発明の原理はフィルムホールともいわれるフィルムの開口に同様に適用することができると理解されたい。すなわち、本発明の様々な実施形態は、本明細書に記載し図示した１以上のマーカー部材（例えば、マーカー部材１４）を用いて標識することができるフィルムホールを有する部品を含むことができる。

本明細書で使用している語法は特定の実施形態を説明するためのみのものであり、本開示を限定する意図はない。本明細書で使用する場合、単数形態は、前後関係から明らかに他の意味を示さない限り、複数形態も包含することを意図している。さらに、本明細書で使用する場合、用語「からなる」及び／又は「含む」は、規定の特徴、実体、ステップ、作動、要素、及び／又は部品の存在を明記するが、１以上の他の特徴、実体、ステップ、作動、要素、部品、及び／又はその群の存在又は追加を排除しないことが理解されよう。さらに、用語「前部」及び「背部」は限定する意図はなく、適宜交換可能であることを意図したものであることを理解されたい。

以上の説明では、最良の態様を含めて本発明を開示し、また、あらゆるデバイス又はシステムを作り使用し、あらゆる援用した方法を実行することを含めて当業者が本発明を実施することができるようにするために例を用いた。本発明の特許可能な範囲は特許請求の範囲に規定されており、当業者には自明の他の例を含み得る。かかる他の例は、特許請求の範囲の文言と異ならない構造要素を有するならば、又は特許請求の範囲の文言と実質的に異ならない等価な構造要素を含むならば、特許請求の範囲内に入るものである。

２部品
４本体
６ミクロチャネル
８トラフ
１０ショルダー
１２遮熱コーティング（ＴＢＣ）
１４マーカー部材
１６端部
１８内側の一部分
２０位置
２２外面
４２部品
５０ターボ機関
５２ステータ
５４ロータ
５６ベーン
５８バケット
６０本体
６２シュラウド
７２部品
７６フィルムホール
７８前面
８０後面
８２本体

Claims

本体と、
本体の一部分を通って延在するミクロチャネルと、
ミクロチャネルの一部分を被覆する遮熱コーティング（ＴＢＣ）と、
ミクロチャネルからＴＢＣを通って又はミクロチャネルの端部に近接して延在するマーカー部材と
を含む部品であって、マーカー部材が本体内のミクロチャネルの位置を示す、部品。
本体が金属を含む、請求項１記載の部品。
マーカー部材がミクロチャネルの端部から延在する場合、マーカー部材はＴＢＣを通って延在しない、請求項１記載の部品。
マーカー部材がミクロチャネルの内側の一部分から延在する、請求項１記載の部品。
マーカー部材がワイヤを含む、請求項１記載の部品。
ワイヤが金属を含む、請求項５記載の部品。
マーカー部材が溶接肉盛又はセラミック部材の少なくとも１つを含む、請求項１記載の部品。
本体がタービン翼形部本体を含む、請求項１記載の部品。
部品内にミクロチャネルを形成し、
ミクロチャネル内にマーカー部材を用意し、
ミクロチャネル及びマーカー部材の一部分の上に遮熱コーティング（ＴＢＣ）を形成して、ミクロチャネルを実質的に封止する
ことを含み、ＴＢＣの形成後、マーカー部材の一部分がＴＢＣの外面を越えて延在する、方法。
さらに、外面の外部の位置からマーカー部材を機械加工して、ミクロチャネルを露出させることを含む、請求項９記載の方法。
機械加工が、放電加工を実施してマーカー部材の一部分を除去することを含む、請求項１０記載の方法。
提供することが、ＴＢＣの形成前に、ミクロチャネルの少なくとも１つ表面に沿ってワイヤ又は箔の少なくとも１つを溶接することを含む、請求項９記載の方法。
提供することが、ＴＢＣの形成前に、ミクロチャネルの少なくとも１つの表面に沿ってワイヤ又は箔の少なくとも１つをろう付けすることを含む、請求項９記載の方法。
ミクロチャネルの形成することが、部品内にトラフを形成し、トラフの縁にショルダーを形成することを含む、請求項９記載の方法。
少なくとも部分的に内部を通って延在するミクロチャネル又はフィルムホール、
ミクロチャネル又はフィルムホールの一部分を被覆する遮熱コーティング（ＴＢＣ）、及び
ミクロチャネル又はフィルムホールからＴＢＣを通って又はミクロチャネル又はフィルムホールの端部に近接して延在するマーカー部材
を有する部品を提供し、
マーカー部材を機械加工して、ＴＢＣを通ってミクロチャネル又はフィルムホールを露出させる
ことを含む方法。
さらに、ミクロチャネル又はフィルムホールの入口に部品を冷却するための冷却用流体を供給することを含む、請求項１５記載の方法。
マーカー部材がミクロチャネル又はフィルムホールからＴＢＣを通って延在する場合、マーカー部材の機械加工がＴＢＣの外面の外部の位置からマーカー部材を機械加工することを含む、請求項１５記載の方法。
マーカー部材が金属を含む、請求項１５記載の方法。
機械加工が、放電加工（ＥＤＭ）を実施してマーカー部材の一部分を除去することを含む、請求項１８記載の方法。
提供することが、
ミクロチャネル又はフィルムホールを部品内に形成し、
ミクロチャネル又はフィルムホール内にマーカー部材をろう付け又は溶接し、
ミクロチャネル又はフィルムホール及びマーカー部材の一部分の上にＴＢＣを形成して、ミクロチャネル又はフィルムホールを実質的に封止する
ことを含む、請求項１５記載の方法。