JP2013540570A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 内面（１１２）と気体流入口（630）と気体流出口（640）とを有し、気体を含むように構成されたチャンバ（４１０，６１０，７１０，８１０，９１０，１０１０，１１１０，１２１０）；
   3.5×10 ⁶ Paを超える第1圧力で第1液体を供給するように構成された第1液体源（１４０）；並びに、
   前記第1液体源及び前記チャンバと結合する第1注入装置（１２０）；
   を有し、
   前記第1注入装置は、前記第1液体源から前記第1液体を受け取り、かつ、前記の受け取った第1液体を前記チャンバへ注入するように構成され、
   前記第1注入装置は第1ノズルを有し、
   前記第1ノズルは、面積6.45mm ² 未満の第1サイズを有する第1オリフィス（３２０）と、液滴の噴霧を生成するように構成された第1形状とを有し、
   前記第1注入装置と前記第1圧力は、前記第1液体が前記第1オリフィスから前記チャンバへ噴霧される際、前記第1液体から第1噴霧液（１５０）を生成するように構成されている、
   装置。
2. 前記気体流出口から前記気体流入口を分離する内壁（４２０）をさらに有し、
   前記内壁は、該内壁を貫通する第1ギャップ（４３０）を有し、
   当該第1ギャップ（４３０）は、第１ギャップ幅（４４０）を有し、
   前記第1注入装置は、前記第１ギャップから１５ｃｍ未満の第１距離（４５０）をもって配置され、
   前記第１注入装置と前記第１液体源とは、前記第１噴霧液が、前記第１ギャップで測定して、前記第１ギャップ幅の±５％の範囲内である第１噴霧幅（４７０）を有するように構成され、
   前記第１注入装置は、さらに、前記第1噴霧液を、前記第1ギャップを介して注入するように構成される、
   請求項1に記載の装置。
3. 前記第１ノズルは、前記の受け取られた第1液体を、扇形の第1噴霧液にするように構成された第１形状を有し、前記第１噴霧液は、前記内壁において前記第1噴霧幅の１０倍より大きい第1噴霧高さを有し、かつ、
   前記第1ギャップは、前記第１ギャップ幅の１０倍よりも大きい第１ギャップ高さ（５１０）を有する第1ギャップ形状を有し、
   前記第１注入装置は、前記第１噴霧幅を前記第１ギャップ幅に合わせ、前記第１噴霧高さを前記第１ギャップ高さに合わせるように構成されている、
   請求項２に記載の装置。
4. 前記第1ノズルから前記第1ギャップへの前記第1距離は、前記第1ギャップ高さの2倍よりも小さく、前記第１ギャップ高さの１０％よりも大きい、
   請求項３に記載の装置。
5. 前記第1圧力が、6.9×10 ⁶ Paよりも大きい、請求項１から４のいずれかに記載の装置。
6. 前記第1オリフィスは、長軸の長さが短軸の長さの少なくとも3倍である楕円で、かつ、
   前記長軸の長さは1.27mm未満である、
   請求項１から５のいずれかに記載の装置。
7. 前記内壁の少なくとも一部が、ある軸について円筒形で、かつ、
   前記第1注入装置はさらに、前記第１噴霧高さが前記軸に平行に配向するように構成される、
   請求項３から６のいずれかに記載の装置。
8. 前記内壁を貫通する第２ギャップ（４３２）；
   第2圧力で第2液体を供給するように構成された第2液体源；並びに、
   前記第2液体源及び前記チャンバ（８１０、９１０、１０１０、１１１０）と結合する第2注入装置（１２２）；
   をさらに有し、
   前記第2注入装置は、前記第2液体源から前記第2液体を受け取り、かつ、前記の受け取った第2液体を前記チャンバへ注入するように構成され、
   前記第2注入装置は第2ノズルを有し、
   前記第2ノズルは、第2サイズを有する第2オリフィスと第2形状を有し、
   前記第2ノズルと第2圧力は、前記第2液体が前記第2オリフィスから前記チャンバへ噴霧される際、前記第2液体から第2噴霧液を生成するように構成され、
   前記気体流入口から前記気体流出口への気体の流れに関して、前記第１注入装置は、前記第１ギャップを介して下流方向に前記第１噴霧液を注入するように構成され、かつ、前記第２注入装置は、前記第２ギャップを介して上流方向に前記第２噴霧液を注入するように構成される、
   請求項２から７のいずれかに記載の装置。
9. 前記第１ギャップと前記第２ギャップとは同一のギャップである、
   請求項８に記載の装置。
10. 少なくとも前記第1注入装置と第2注入装置に結合して、前記第1噴霧液と第2噴霧液のうちの少なくとも1つを制御するように構成される制御装置（８７０）；並びに、
    前記制御装置（８７０）と結合し、気体流量、液体流量、圧力、及び、粒子濃度のうちの少なくとも1つを検知するように構成されるセンサ（８８０）；
    をさらに有し、
    前記制御装置（８７０）はさらに、前記センサからの入力を受け取り、かつ、前記入力に応じて前記第1噴霧液と第2噴霧液のうちの少なくとも1つを制御するように構成される、
    請求項２から９のいずれかに記載の装置。
11. 前記内壁が、ある軸について円筒形で、かつ、
    前記第1注入装置と第2注入装置の各々は、扇形の噴霧液を生成するように構成される扇形ノズルを有し、前記扇形の噴霧液は、前記軸に平行に配向する噴霧高さ（５２０）を有する、
    請求項８又は９に記載の装置。
12. 前記内壁を貫通する少なくとも１つのギャップは、対応する前記ギャップ幅の少なくとも２倍大きいギャップ深さ（４８０）を有する、
    請求項２から１１のいずれかに記載の装置。
13. 前記内壁は、内側チャンバを形成し、前記第１及び第２ギャップは異なるギャップであり、前記第１及び第２ギャップの一方は、前記内側チャンバと前記気体流入口との間で液体をやり取りするのみであり、前記第１及び第２ギャップの他方は、前記内側チャンバと前記気体流出口との間で液体をやり取りするのみである、
    請求項８、１０、１１及び１２のいずれかに記載の装置。
14. 液体から気体へ運動量を移行させる方法であって、
    請求項１から１３のいずれかに記載の装置を準備することと、
    前記気体流入口を介して前記チャンバの内部に気体を供給することと、
    前記第１液体が前記第１オリフィスから前記チャンバへ噴霧される際、前記第１液体から第１噴霧液を生成させることと、を含み、
    前記第１噴霧液は、前記第１液体の液滴を含み、当該液滴は、60.8m/sよりも大きい第１噴霧速度を有し、前記液滴の９５％を超える部分は、前記チャンバの内面と接する前に、0.608m/s未満である終噴霧速度に減速する、
    方法。
15. 前記第1噴霧速度が122m/sよりも大きく、かつ、前記終噴霧速度が0.03m/s未満である、請求項１４に記載の方法。