JP2013540570A5 - - Google Patents
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- 内面(112)と気体流入口(630)と気体流出口(640)とを有し、気体を含むように構成されたチャンバ(410,610,710,810,910,1010,1110,1210);
3.5×10 6 Paを超える第1圧力で第1液体を供給するように構成された第1液体源(140);並びに、
前記第1液体源及び前記チャンバと結合する第1注入装置(120);
を有し、
前記第1注入装置は、前記第1液体源から前記第1液体を受け取り、かつ、前記の受け取った第1液体を前記チャンバへ注入するように構成され、
前記第1注入装置は第1ノズルを有し、
前記第1ノズルは、面積6.45mm 2 未満の第1サイズを有する第1オリフィス(320)と、液滴の噴霧を生成するように構成された第1形状とを有し、
前記第1注入装置と前記第1圧力は、前記第1液体が前記第1オリフィスから前記チャンバへ噴霧される際、前記第1液体から第1噴霧液(150)を生成するように構成されている、
装置。 - 前記気体流出口から前記気体流入口を分離する内壁(420)をさらに有し、
前記内壁は、該内壁を貫通する第1ギャップ(430)を有し、
当該第1ギャップ(430)は、第1ギャップ幅(440)を有し、
前記第1注入装置は、前記第1ギャップから15cm未満の第1距離(450)をもって配置され、
前記第1注入装置と前記第1液体源とは、前記第1噴霧液が、前記第1ギャップで測定して、前記第1ギャップ幅の±5%の範囲内である第1噴霧幅(470)を有するように構成され、
前記第1注入装置は、さらに、前記第1噴霧液を、前記第1ギャップを介して注入するように構成される、
請求項1に記載の装置。 - 前記第1ノズルは、前記の受け取られた第1液体を、扇形の第1噴霧液にするように構成された第1形状を有し、前記第1噴霧液は、前記内壁において前記第1噴霧幅の10倍より大きい第1噴霧高さを有し、かつ、
前記第1ギャップは、前記第1ギャップ幅の10倍よりも大きい第1ギャップ高さ(510)を有する第1ギャップ形状を有し、
前記第1注入装置は、前記第1噴霧幅を前記第1ギャップ幅に合わせ、前記第1噴霧高さを前記第1ギャップ高さに合わせるように構成されている、
請求項2に記載の装置。 - 前記第1ノズルから前記第1ギャップへの前記第1距離は、前記第1ギャップ高さの2倍よりも小さく、前記第1ギャップ高さの10%よりも大きい、
請求項3に記載の装置。 - 前記第1圧力が、6.9×10 6 Paよりも大きい、請求項1から4のいずれかに記載の装置。
- 前記第1オリフィスは、長軸の長さが短軸の長さの少なくとも3倍である楕円で、かつ、
前記長軸の長さは1.27mm未満である、
請求項1から5のいずれかに記載の装置。 - 前記内壁の少なくとも一部が、ある軸について円筒形で、かつ、
前記第1注入装置はさらに、前記第1噴霧高さが前記軸に平行に配向するように構成される、
請求項3から6のいずれかに記載の装置。 - 前記内壁を貫通する第2ギャップ(432);
第2圧力で第2液体を供給するように構成された第2液体源;並びに、
前記第2液体源及び前記チャンバ(810、910、1010、1110)と結合する第2注入装置(122);
をさらに有し、
前記第2注入装置は、前記第2液体源から前記第2液体を受け取り、かつ、前記の受け取った第2液体を前記チャンバへ注入するように構成され、
前記第2注入装置は第2ノズルを有し、
前記第2ノズルは、第2サイズを有する第2オリフィスと第2形状を有し、
前記第2ノズルと第2圧力は、前記第2液体が前記第2オリフィスから前記チャンバへ噴霧される際、前記第2液体から第2噴霧液を生成するように構成され、
前記気体流入口から前記気体流出口への気体の流れに関して、前記第1注入装置は、前記第1ギャップを介して下流方向に前記第1噴霧液を注入するように構成され、かつ、前記第2注入装置は、前記第2ギャップを介して上流方向に前記第2噴霧液を注入するように構成される、
請求項2から7のいずれかに記載の装置。 - 前記第1ギャップと前記第2ギャップとは同一のギャップである、
請求項8に記載の装置。 - 少なくとも前記第1注入装置と第2注入装置に結合して、前記第1噴霧液と第2噴霧液のうちの少なくとも1つを制御するように構成される制御装置(870);並びに、
前記制御装置(870)と結合し、気体流量、液体流量、圧力、及び、粒子濃度のうちの少なくとも1つを検知するように構成されるセンサ(880);
をさらに有し、
前記制御装置(870)はさらに、前記センサからの入力を受け取り、かつ、前記入力に応じて前記第1噴霧液と第2噴霧液のうちの少なくとも1つを制御するように構成される、
請求項2から9のいずれかに記載の装置。 - 前記内壁が、ある軸について円筒形で、かつ、
前記第1注入装置と第2注入装置の各々は、扇形の噴霧液を生成するように構成される扇形ノズルを有し、前記扇形の噴霧液は、前記軸に平行に配向する噴霧高さ(520)を有する、
請求項8又は9に記載の装置。 - 前記内壁を貫通する少なくとも1つのギャップは、対応する前記ギャップ幅の少なくとも2倍大きいギャップ深さ(480)を有する、
請求項2から11のいずれかに記載の装置。 - 前記内壁は、内側チャンバを形成し、前記第1及び第2ギャップは異なるギャップであり、前記第1及び第2ギャップの一方は、前記内側チャンバと前記気体流入口との間で液体をやり取りするのみであり、前記第1及び第2ギャップの他方は、前記内側チャンバと前記気体流出口との間で液体をやり取りするのみである、
請求項8、10、11及び12のいずれかに記載の装置。 - 液体から気体へ運動量を移行させる方法であって、
請求項1から13のいずれかに記載の装置を準備することと、
前記気体流入口を介して前記チャンバの内部に気体を供給することと、
前記第1液体が前記第1オリフィスから前記チャンバへ噴霧される際、前記第1液体から第1噴霧液を生成させることと、を含み、
前記第1噴霧液は、前記第1液体の液滴を含み、当該液滴は、60.8m/sよりも大きい第1噴霧速度を有し、前記液滴の95%を超える部分は、前記チャンバの内面と接する前に、0.608m/s未満である終噴霧速度に減速する、
方法。 - 前記第1噴霧速度が122m/sよりも大きく、かつ、前記終噴霧速度が0.03m/s未満である、請求項14に記載の方法。
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