JP2013533646A - 二軸異方性を有する磁気トンネリング接合素子の提供方法及びシステム - Google Patents
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Abstract
Description
11 従来の底部コンタクト
12 従来のシード層
14 従来の反強磁性層
16 従来のピンド層
17、21 磁化
18 従来のトンネリング障壁層
20 従来の自由層
22 従来のキャッピング層
24 従来の頂部コンタクト
100 磁気接合
102 任意のシード層
104 任意のピニング層
110 ピンド層
120、120’ 非磁性スペーサ層
130、130’、130’ ’ 自由層
132、134、136、138 層
140 任意のキャッピング層
150、150’ グラフ
160、170、180、180’ 曲線
162、172、182 極小値
164、174、186 点
184 極大値
200、200’、200’’、200’’’、200’’’’ 磁気接合
202、202’、202’’、202’’’、202’’’’、302 任意のシード層
204、204’、204’’、204’’’、204’’’’、304、360 任意のピニング層
210、210’、210’’、210’’’、310、350 ピンド層
212、212’ 強磁性層
212、212’ 磁化
214、214’ 非磁性スペーサ層
216、216’ 参照層
220、220’、220’’、220’’’、320、340 非磁性スペーサ層
230、230’、230’’、230’’’、230’’’’、330 自由層
232、232’236、236’ 強磁性層
232、232’ 容易軸
234、234’ 磁化
234、234’ 非磁性スペーサ層
240、240’、240’’240’’’、240’’’’、370 任意のキャッピング層
400 磁気メモリ
402、406 読み込み/書き込みコラム選択ドライバ
404 ワードライン選択ドライバ
410 磁気ストレージセル
412 磁気接合
414 選択デバイス
500 方法
502、504、506、508 段階
Claims (41)
- ピンド層と、
非磁性スペーサ層と、
磁気異方性を有する自由層と、を含む磁気接合であって、
前記非磁性スペーサ層が前記ピンド層と前記自由層との間に存在し、前記磁気異方性の少なくとも一部が二軸異方性であり、
前記磁気接合を介して書き込み電流が流れる際に、前記自由層が複数の安定な磁気状態間を切り替え可能であるように前記磁気接合が構成されていることを特徴とする磁気デバイスで使用するために磁気接合。 - 前記磁気異方性が一軸異方性及び前記二軸異方性を含むことを特徴とする請求項1に記載の磁気接合。
- 前記一軸異方性が容易軸に対応し、前記磁気異方性が前記容易軸からの角度で少なくとも一つの極小値を有する磁気異方性エネルギーに対応することを特徴とする請求項2に記載の磁気接合。
- 前記角度がゼロ以外であることを特徴とする請求項3に記載の磁気接合。
- 前記角度が少なくとも10度且つ多くて45度であることを特徴とする請求項4に記載の磁気接合。
- 前記角度が少なくとも20度且つ多くて40度であることを特徴とする請求項5に記載の磁気接合。
- 前記一軸異方性の絶対値が前記二軸異方性の絶対値よりも大きいことを特徴とする請求項2に記載の磁気接合。
- 前記二軸異方性が結晶性によって誘起されることを特徴とする請求項1に記載の磁気接合。
- 前記自由層がLaSrMnO3、GaAs、MnAs、MnAl、Nd2Fe14B、Ho2Fe14B、NdFeB、Fe、FeCo、YCo5、CoOFe2O3、FeO−Fe2O3、MnO−Fe2O3、NiO−Fe2O3、MgO−Fe2O3のうち少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項8に記載の磁気サブストラクチャ。
- 前記二軸異方性が構造によって誘起されることを特徴とする請求項1に記載の磁気接合。
- 前記自由層が飽和磁化及び結晶性異方性エネルギー係数を有し、前記飽和磁化が第一方向に増加し、前記結晶性異方性エネルギー係数が前記第一方向と反対の第二方向に増加することを特徴とする請求項10に記載の磁気接合。
- 前記自由層が実質的に面内であり、且つ前記第一方向が実質的に前記面に垂直であることを特徴とする請求項11に記載の磁気接合。
- 前記自由層が複数のサブ層を含み、前記複数のサブ層のそれぞれがサブ層飽和磁化及びサブ層結晶性異方性エネルギー係数を有し、前記飽和磁化が前記第一方向に増加するように前記サブ層飽和磁化が前記飽和磁化に寄与し、前記結晶性異方性エネルギー係数が前記第二方向に増加するように前記サブ層結晶性異方性エネルギー係数が前記結晶性異方性エネルギー係数に寄与することを特徴とする請求項12に記載の磁気接合。
- 前記二軸異方性が磁歪によって誘起されることを特徴とする請求項1に記載の磁気接合。
- 前記非磁性スペーサ層がトンネリング障壁層であることを特徴とする請求項1に記載の磁気接合。
- 前記非磁性スペーサ層が導電性スペーサ層であることを特徴とする請求項1に記載の磁気接合。
- 前記ピンド層が参照層、スペーサ層及び固定された磁性層を含み、前記スペーサ層が前記参照層と前記固定された磁性層との間に存在することを特徴とする請求項1に記載の磁気接合。
- 前記自由層が垂直異方性エネルギー及び面外消磁エネルギーを含み、前記面外消磁エネルギーが前記垂直異方性エネルギー未満であることを特徴とする請求項1に記載の磁気接合。
- 前記ピンド層がピンド層垂直異方性エネルギー及びピンド層面外消磁エネルギーを含み、前記ピンド層面外消磁エネルギーが前記ピンド層垂直異方性エネルギー未満であることを特徴とする請求項18に記載の磁気接合。
- 前記自由層が垂直異方性エネルギー及び面外消磁エネルギーを含み、前記面外消磁エネルギーが前記垂直異方性エネルギー以上であることを特徴とする請求項1に記載の磁気接合。
- 追加のピンド層と、追加の非磁性スペーサ層と、をさらに含み、前記追加の非磁性スペーサ層が前記自由層と前記追加のピンド層との間に存在することを特徴とする請求項1に記載の磁気接合。
- 前記非磁性スペーサ層及び前記追加の非磁性スペーサ層のうち少なくとも一つが結晶性MgOを含むことを特徴とする請求項21に記載の磁気接合。
- ピンド層と、
結晶性MgOを含む非磁性スペーサ層と、
一軸異方性及び二軸異方性を含む磁気異方性を有する自由層と、と含む磁気接合であって、
前記非磁性スペーサ層が前記ピンド層と前記自由層との間に存在し、前記一軸異方性が容易軸に対応し、前記磁気異方性が前記容易軸からの角度で少なくとも一つの極小値を有する磁気異方性エネルギーに対応し、前記角度が少なくとも10度且つ多くて20度であり、前記自由層が垂直異方性エネルギー及び面外消磁エネルギーを含み、前記面外消磁エネルギーが前記垂直異方性エネルギー未満であり、
前記磁気接合を介して書き込み電流が流れる際に、前記自由層が複数の安定な磁気状態間で切り替え可能であるように前記磁気接合が構成されていることを特徴とする磁気デバイスで使用するための磁気接合。 - 追加のピンド層と、追加の非磁性スペーサ層とをさらに含み、前記追加の非磁性スペーサ層が前記自由層と前記追加のピンド層との間に存在し、前記追加の非磁性スペーサ層がMgOを含むことを特徴とする請求項23に記載の磁気接合。
- 複数の磁気ストレージセルを含み、前記複数の磁気ストレージセルのそれぞれが少なくとも一つの磁気接合を含み、前記少なくとも一つの磁気接合がピンド層を含み、非磁性スペーサ層及び自由層が磁気異方性を有し、前記非磁性スペーサ層が前記ピンド層と前記自由層との間に存在し、磁気異方性の少なくとも一部が二軸異方性であり、前記磁気接合を介して書き込み電流が流れる際に前記自由層が複数の安定な磁気状態間を切り替え可能であるように前記少なくとも一つの磁気接合が構成されている磁気メモリ。
- 前記磁気異方性が一軸異方性及び前記二軸異方性を含むことを特徴とする請求項25に記載の磁気メモリ。
- 前記一軸異方性が容易軸に対応し、前記磁気異方性が容易軸からの角度で少なくとも一つの極小値を有する磁気異方性エネルギーに対応することを特徴とする請求項26に記載の磁気メモリ。
- 前記角度が少なくとも10度且つ多くて45度であることを特徴とする請求項27に記載の磁気メモリ。
- 前記角度が少なくとも20度且つ多くて40度であることを特徴とする請求項28に記載の磁気メモリ。
- 前記一軸異方性の絶対値が前記二軸異方性の絶対値より大きいことを特徴とする請求項2に記載の磁気接合。
- 前記二軸異方性が結晶性によって誘起される、構造によって誘起される及び磁歪によって誘起されるもののうち少なくとも一つであることを特徴とする請求項26に記載の磁気メモリ。
- 前記自由層がLaSrMnO3、GaAs、MnAs、MnAl、Nd2Fe14B、Ho2Fe14B、NdFeB、Fe、FeCo、YCo5、CoOFe2O3、FeO−Fe2O3、MnO−Fe2O3、NiO−Fe2O3、MgO−Fe2O3のうち少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項31に記載の磁気メモリ。
- 前記自由層が飽和磁化及び結晶性異方性エネルギー係数を有し、前記飽和磁化が第一方向に増加し、前記結晶性異方性エネルギー係数が前記第一方向と反対の第二方向に増加することを特徴とする請求項31に記載の磁気メモリ。
- 前記自由層が実質的に面内であり、且つ前記第一方向が実質的に前記面に垂直であることを特徴とする請求項33に記載の磁気メモリ。
- 前記自由層が複数のサブ層を含み、それぞれの前記複数の層がサブ層飽和磁化及びサブ層結晶性異方性エネルギー係数を有し、前記飽和磁化が前記第一方向に増加するように前記サブ層飽和磁化が前記飽和磁化に寄与し、前記結晶性異方性エネルギー係数が前記第二方向に増加するように前記サブ層結晶性異方性エネルギー係数が前記結晶性異方性エネルギー係数に寄与することを特徴とする請求項34に記載の磁気メモリ。
- 前記非磁性スペーサ層がトンネリング障壁層であることを特徴とする請求項25に記載の磁気メモリ。
- 前記ピンド層が参照層、スペーサ層及び固定された磁性層を含み、前記スペーサ層が前記参照層と前記固定された磁性層との間に存在することを特徴とする請求項25に記載の磁気メモリ。
- 前記自由層が垂直異方性エネルギー及び面外消磁エネルギーを含み、前記面外消磁エネルギーが前記垂直異方性エネルギー未満であることを特徴とする請求項25に記載の磁気メモリ。
- 前記自由層が垂直異方性エネルギー及び面外消磁エネルギーを含み、前記面外消磁エネルギーが前記垂直異方性エネルギー以上であることを特徴とする請求項25に記載の磁気メモリ。
- 前記磁気接合が、
追加のピンド層と、
追加の非磁性スペーサ層と、をさらに含み、
前記追加の非磁性スペーサ層が前記自由層と前記追加のピンド層との間に存在することを特徴とする請求項25に記載の磁気メモリ。 - 前記非磁性スペーサ層及び前記追加の非磁性スペーサ層のうち少なくとも一つが結晶性MgOを含むことを特徴とする請求項21に記載の磁気接合。
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