JP2013529776A - 湿度センサの検査方法及びそのためのセンサモジュール - Google Patents

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Abstract

本発明は、相対湿度を定める湿度センサ(110)を有するセンサモジュール(100)を駆動する方法であって、湿度センサ(110)を用いて、相対湿度の少なくとも第1の測定値が定められる(200)、上記方法に関する。本発明によれば、温度調整装置(120)を用いて、湿度センサ(110)の範囲内の周囲温度が変更され(210)、湿度センサ(110)の範囲内の周囲温度の変更(210)の後に、湿度センサ(110)を用いて、相対湿度の少なくとも第2の測定値が定められ、第1の測定値及び第2の測定値に従って、湿度センサ(110)の動作状態及び/又は正常な動作が推測されることが構想される。
【選択図】図1

Description

本発明は、相対湿度を定める湿度センサを有するセンサモジュールを駆動する方法であって、湿度センサを用いて相対湿度の少なくとも1つの測定値が定められる、上記方法に関する。
さらに、本発明は対応するセンサモジュールに関する。
本発明の課題は、冒頭に挙げた形態の方法及びセンサモジュールを、動作状態についての正確な情報を獲得しうる程度にまで改善することである。
本課題は、冒頭に挙げた形態の方法において、本発明に基づいて、温度調整装置を用いて湿度センサの範囲内の周囲温度が変更され、湿度センサの範囲内の周囲温度の変更の後に、湿度センサを用いて相対湿度の少なくとも第2の測定値が定められ、第1の測定値及び第2の測定値に従って、湿度センサの動作状態及び/又は正常な動作が推測されることによって解決される。
本発明の原則は、湿度センサの基本的な駆動条件の合目的的な「調整」(Verstimmung)、即ち、周囲温度の合目的的な「調整」に基づいている。出願人の調査によれば、周囲温度と共に、湿度センサの範囲内の相対湿度も、当業者には知られた熱力学的な法則に基づいて変化する。これにより、有利に、本発明に係る方法の枠組みにおいて収集される相対湿度の測定値に基づいて、周囲温度の変更前及び当該変更後に、湿度センサも実際に、温度変更と符合する相対湿度の変化を示すかどうかを検査することが可能である。
特に、一実施形態によれば、相対湿度の第1の測定値と第2の測定値とが、少なくとも、好適に温度変更に従って選択される予め設定可能な差分値の分だけ異なっていない場合には、湿度センサのエラーが推測されうる。
更なる別の実施形態によれば、特に有利に、湿度センサの範囲内の周囲温度が、第2の測定値が定められる前に、温度調整装置によって上げられる。これにより、例えば電気的な抵抗加熱器の形態による温度調整装置を実現するための、特に僅かな構造上のコストが必要となる。代替的又は追加的に、温度調整装置は、適切な設計において、湿度センサの範囲内の周囲温度を、例えばペルティエ素子を用いて下げることも可能である。両方向の温度変更による本発明に係る方法の複数回の実施も同様に構想されうる。湿度センサの範囲内での周囲温度の変更とは、ここでは特に、湿度センサを包囲する媒体、例えば空気の温度の変更として理解される。
センサモジュールが空気流量センサを有する、本発明の更なる別の特に好適な実施形態では、好適に、空気流量センサの加熱素子が、湿度センサの範囲内の周囲温度を変更する温度調整装置として利用されることが構想されうる。これについて、加熱素子を用いて合目的的に湿度センサの周囲温度に影響を及ぼしうるように、加熱素子と湿度センサとの互いの相対的な構造上の配置が必要である。空気流量センサが、又は、その加熱素子も、残りのセンサモジュール又は湿度センサとは別に駆動され又は電気エネルギーが供給されうる限りにおいて、好適に、湿度センサの範囲内の周囲温度を変更するために、空気流量センサ又はその加熱素子を選択的に作動し及び/又は停止することが構想される。
例えば、熱膜・空気流量センサとして構成された空気流量センサは、通常では、公知のやり方で空気流量センサの他の構成要素を加熱するよう構成された加熱素子を有する。従って、本発明に係る方法の枠組みにおける熱膜・空気流量センサの停止によって、好適に、湿度センサの周囲の温度変更、即ち冷却がもたらされ、この温度変更によって、様々な温度の際の相対湿度の様々な測定値を比較することによる、湿度センサの機能の検査が可能となる。
本発明の課題の更なる別の解決策は、請求項6に記載の方法によって示される。本方法では、相対湿度の測定値に加えて、湿度センサの範囲内の温度及び気圧が定められる。温度及び気圧に従って、湿度センサの範囲内の空気の絶対含水量の少なくとも1つの限界値であって、熱力学的な法則に基づき超えられない上記限界値が定められる。代替的に、湿度センサの範囲内の空気の絶対含水量の上限値及び下限値を定めることも同様に構想されうる。相対湿度の測定値、及び、空気の絶対含水量の限界値に従って、本発明に基づいて、好適に、湿度センサの動作状態及び/又は正常な動作が推測されうる。即ち、例えば、本発明に基づき温度及び気圧から求められた絶対含水量の理論的な限界値と矛盾する相対湿度が、湿度センサによって示される場合には、有利に、湿度センサ又は更なる別の関与するセンサ(気圧、温度)の破損が推測される。
本発明の課題の更なる別の解決策として、請求項7に記載のセンサモジュールが提示される。
更なる別の有利な実施形態は、従属請求項の主題である。
更なる別の利点、特徴、及び、個々の詳細は、図面を参照して本発明の様々な実施形態を示される以下の明細書の記載から明らかとなろう。その際に、特許請求の範囲及び明細書で言及される特徴は、それぞれ個別に、又は、任意の組み合わせにおいて、本発明にとって本質的でありうる。
湿度センサを備えたセンサモジュールの第1の実施形態の簡素化したブロック図を概略的に示す。 図1の湿度センサの駆動方法の一実施形態の簡素化したフロー図を示す。 センサモジュールの更なる別の実施形態の簡素化したブロック図を概略的に示す。 図3のセンサモジュールの駆動方法の一実施形態の簡素化したフロー図を示す。
図1は、相対湿度を定めるために例えば車両分野で使用されるようなセンサモジュール100を概略的に示している。センサモジュール100は測定チャネル102を有し、この測定チャネル102の中を、気体媒体104が湿度測定のために通り抜ける。
湿度センサ110は、図1から分かるように、測定チャネル102の範囲内に配置され、測定チャネル102を通り抜ける媒体104の相対湿度を検出するよう構成される。
センサモジュール100は、湿度センサ110に加えて温度調整装置120を有し、この温度調整装置120は、湿度センサ110の範囲内の周囲温度を変更するよう構成され、例えば当該周囲温度を下げ又は上げるよう構成される。温度調整装置120は、測定される媒体(空気104)を、対応して温めることが可能であり、又は冷却することも可能である。
図2は、センサモジュール100のための駆動方法の一実施形態の簡素化したフロー図を示す。第1のステップ200において、湿度センサ110を用いて、空気104(図1)の相対湿度の少なくとも第1の測定値が定められる。これに続くステップ210において、湿度センサ110の範囲内の周囲温度が変更され、例えば上げられる。周辺温度の上昇によって、湿度センサ110の範囲内の気体媒体104は原則的に、より多量の水蒸気を含むことが可能であるが、測定チャネル102内、特に湿度センサ110の範囲内の媒体104の絶対含水量は、温度調整装置120による加熱に基づいて変化しない。結果的に、相対湿度は熱力学の法則に従って下がることになる。
第3のステップ220(図2)において、相対湿度の少なくとも第2の値が湿度センサ110を用いて定められる。後続のステップ230において、湿度センサ110の動作状態若しくは正常な動作又はエラーを推測することを目的として、相対湿度の第1の測定値及び第2の測定値の評価が行われる。
評価230は、例えば、2つの湿度測定値の差分形成をその目的とすることが可能であり、相対湿度の第1の測定値と第2の測定値とが、少なくとも、予め設定可能な差分の分だけ互いに異なっていない場合には、湿度センサ110のエラーが推測されうる。即ち、この場合、湿度センサ110は、当該湿度センサ110の範囲内の周囲温度の本発明に係る変更210にも関わらず、当該温度変更とは符合しない相対湿度の変化をシグナリングしたであろう。予め設定可能な差分は、好適に温度変更に従って選択される。
ステップ230で検討した相対湿度の2つの測定値の差分が、有効な熱力学的因果関係を考慮した上で、本発明に基づき温度調整装置120により引き起こされた周囲温度の変更と十分良好に符合する限りにおいて、湿度センサの正常な動作が推測される。
更なる別の特に有利な実施形態において、センサモジュール100は、湿度センサ110の他に、空気流量センサ120aを有する(図1参照)。特に、熱膜・空気流量センサとして構成された空気流量センサの場合、空気流量センサ120aは、組み込まれた加熱素子120a’を有する。更なる別の本発明の観点によれば、有利に、空気流量センサ120aの加熱素子120a’は、湿度センサ110の範囲内の周囲温度の変更を引き起すために利用されうる。上記変更は、例えば、空気流量センサ120a又はその加熱素子120a’の合目的的な作動又は停止によって遂行されうる。
従って、空気流量センサ120aの対応する構成において、有利に、センサモジュール100内の別体の温度調整装置120の提供が省略されうる。
図1のセンサモジュール100が、記載したように熱膜・空気流量センサ120aを有する場合には、センサモジュール100は通常駆動で駆動され、通常駆動においては、湿度が湿度センサ110を用いて定められ、空気流量が空気流量センサ120aを用いて定められる。この通常駆動では、センサモジュール100又はその湿度センサ110の診断は行われない。しかしながら、本発明に係る原則を利用して、湿度センサ110の診断を実行するために、通常駆動の間に作動された空気流量センサ120a又はその加熱素子120a’を、本発明に係る診断工程のために停止させることが可能であり、このことによって、湿度センサ110の範囲内の周囲温度の低下がもたらされる。この周囲温度の低下の間に、先に図2を参照して記載した方法に依拠して、相対湿度の第2の測定値が湿度センサ110によって定められる。この第2の測定値は、以前に、即ち、空気流量センサ120が作動され対応して湿度センサ110の周囲温度が上げられた際に定められた相対湿度の測定値と共に評価される(ステップ230参照)。
場合によってはセンサモジュール100に含まれる温度調整装置120であって、周囲温度を上げ及び下げることが可能な上記温度調整装置120が設けられる限りにおいて、本発明に係る方法は、有利に、更なる別の周囲温度範囲でも適用され、これにより、湿度センサ110の作動範囲の詳細な診断が可能である。
温度調整工程210を監視又は制御するために、センサモジュール100は、温度センサ及び対応する制御電子機器(図示せず)を有しうる。
図3は、測定チャネル120を通過する気体媒体104の相対湿度を定める湿度センサ110を有するセンサモジュール100aの更なる別の好適な実施形態を示している。
センサモジュールはさらに、測定チャネル102内の気圧を定める気圧センサ130と、測定チャネル102の中を通り抜ける媒体104の温度を定める温度センサ140と、を有する。
図3のセンサモジュール100aでは、以下で図4のフロー図を参照して記載される診断方法が実施されうる。
第1のステップ300において、相対湿度の測定値が湿度センサ110を用いて定められる。同時に、気圧センサ130を用いて気圧が定められ、温度センサ140を用いて測定チャネル102内の周囲空気104の温度が定められる。後続のステップ310において、公知の熱力学の因果関係を利用して、湿度センサ110の範囲内の気体媒体104の絶対含水量の少なくとも1つの限界値が、例えば特性マップを用いて定められる。気体媒体104の絶対含水量の上限値及び下限値を定めることも可能である。限界値は、例えば、特性マップ等を利用しても定めることが可能である。
ステップ320において、相対湿度の測定値、及び、空気104の絶対含水量の限界値に従って、湿度センサ110の動作状態及び/又は正常な動作、又は、湿度センサ110のエラーが推測される。即ち、湿度センサ110から伝達される相対湿度の値が、ステップ310で定められた、測定チャネル102内の温度及び気圧に依存する絶対含水量と矛盾する限りにおいて、関与する構成要素110、130、140のうちの少なくとも1つのエラーが推測されうる。
先に図1、図3を参照して記載した診断原則は、有利に、互いに組み合わせることも可能である。これについて、図3のセンサモジュール100aは、例えば、温度調整装置120(図1)の分だけ、又は、温度調整装置120の機能を実現する空気流量センサ120aの分だけ補充されうる。
本発明の課題の更なる別の解決策は、以下に記載の方法によって示される。本方法では、相対湿度の測定値に加えて、湿度センサの範囲内の温度及び気圧が定められる。温度及び気圧に従って、湿度センサの範囲内の空気の絶対含水量の少なくとも1つの限界値であって、熱力学的な法則に基づき超えられない上記限界値が定められる。代替的に、湿度センサの範囲内の空気の絶対含水量の上限値及び下限値を定めることも同様に構想されうる。相対湿度の測定値、及び、空気の絶対含水量の限界値に従って、本発明に基づいて、好適に、湿度センサの動作状態及び/又は正常な動作が推測されうる。即ち、例えば、本発明に基づき温度及び気圧から求められた絶対含水量の理論的な限界値と矛盾する相対湿度が、湿度センサによって示される場合には、有利に、湿度センサ又は更なる別の関与するセンサ(気圧、温度)の破損が推測される。
本発明の課題の更なる別の解決策として、請求項に記載のセンサモジュールが提示される。

Claims (9)

  1. 相対湿度を定める湿度センサ(110)を有するセンサモジュール(100)を駆動する方法であって、前記湿度センサ(110)を用いて、前記相対湿度の少なくとも第1の測定値が定められる(200)、前記方法において、温度調整装置(120)を用いて、前記湿度センサ(110)の範囲内の周囲温度が変更され(210)、前記湿度センサ(110)の範囲内の前記周囲温度の前記変更(210)の後に、前記湿度センサ(110)を用いて、前記相対湿度の少なくとも第2の測定値が定められ、前記第1の測定値及び前記第2の測定値に従って、前記湿度センサ(110)の動作状態及び/又は正常な動作が推測されることを特徴とする、方法。
  2. 前記相対湿度の前記第1の測定値と前記第2の測定値とが、少なくとも、予め設定可能な差分値の分だけ異なっていない場合に、前記湿度センサ(110)のエラーが推測されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
  3. 前記湿度センサ(110)の範囲内の前記周囲温度は、前記第2の値が定められる前に前記温度調整装置(120)によって上げられることを特徴とする、請求項1〜2のいずれか1項に記載の方法。
  4. 前記センサモジュール(100)は空気流量センサ(120a)を有する、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の方法において、前記空気流量センサ(120a)の加熱素子(120a’)が、前記湿度センサ(110)の範囲内の前記周囲温度を変更する(210)温度調整装置として利用されることを特徴とする、方法。
  5. 前記空気流量センサ(120a)又はその加熱素子(120a’)が、前記湿度センサ(110)の範囲内の前記周囲温度を変更する(210)ために作動され及び/又は停止されることを特徴とする、請求項4に記載の方法。
  6. 相対湿度を定める湿度センサ(110)を有するセンサモジュール(100)を駆動する方法であって、前記湿度センサ(110)を用いて、前記相対湿度の少なくとも1つの測定値が定められる(200)、前記方法において、前記相対湿度の前記測定値に加えて、前記湿度センサ(110)の範囲内の温度及び気圧が定められ、前記温度及び前記気圧に従って、前記湿度センサ(110)の範囲内の空気の絶対含水量の少なくとも1つの限界値が定められ、前記相対湿度の前記測定値及び前記絶対含水量の前記限界値に従って、前記湿度センサ(110)の動作状態及び/又は正常な動作が推測されることを特徴とする、方法。
  7. 相対湿度を定める湿度センサ(110)を備えたセンサモジュール(100)であって、前記センサモジュール(100)は、前記湿度センサ(110)を用いて、前記相対湿度の少なくとも第1の測定値を定め、温度調整装置(120)を用いて、前記湿度センサ(110)の範囲内の周囲温度を変更し(210)、前記湿度センサ(110)の範囲内の前記周囲温度の前記変更(210)の後に、前記湿度センサ(110)を用いて、前記相対湿度の少なくとも第2の測定値を定め、前記第1の測定値及び前記第2の測定値に従って、前記湿度センサ(110)の動作状態及び/又は正常な動作を推測するよう構成されることを特徴とする、センサモジュール(100)。
  8. 前記センサモジュール(100)は空気流量センサ(120a)を有し、前記空気流量センサ(120a)の加熱素子(120a’)は、前記湿度センサ(110)の範囲内の前記周囲温度を変更する(210)温度調整装置として利用されうることを特徴とする、請求項7に記載のセンサモジュール(100)。
  9. 前記相対湿度の測定値に加えて、前記湿度センサ(110)の範囲内の温度及び気圧を定めることが可能であり、前記センサモジュール(100)は、前記温度及び前記気圧に従って、前記湿度センサ(110)の範囲内の空気の絶対含水量の少なくとも1つの限界値を定め、前記相対湿度の前記測定値及び前記絶対含水量の前記限界値に従って、前記湿度センサ(110)の動作状態及び/又は正常な動作を推測するよう構成されることを特徴とする、請求項7又は8に記載のセンサモジュール(100)。
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WO (1) WO2011160899A1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015159663A1 (ja) * 2014-04-16 2015-10-22 日立オートモティブシステムズ株式会社 湿度測定装置
WO2016111253A1 (ja) * 2015-01-08 2016-07-14 日立オートモティブシステムズ株式会社 湿度測定装置
KR102565376B1 (ko) * 2023-03-14 2023-08-09 신종민 수분 측정 장치

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9389198B2 (en) * 2013-04-18 2016-07-12 Ford Global Technologies, Llc Humidity sensor and engine system
CN105424767B (zh) * 2015-10-29 2018-02-16 上海申矽凌微电子科技有限公司 湿度传感器芯片大批量生产的测试装置及测试方法
EP3379218B1 (en) * 2017-03-21 2020-07-15 MEAS France Method for providing a diagnostic on a combined humidity and temperature sensor
US10196996B2 (en) 2017-07-07 2019-02-05 Ford Global Technologies, Llc Methods and systems for diagnosing an engine intake humidity sensor
CN107478259A (zh) * 2017-07-18 2017-12-15 上海申矽凌微电子科技有限公司 传感器芯片批量生产的测试装置及测试方法
KR102429067B1 (ko) * 2017-12-27 2022-08-04 현대자동차주식회사 에어 플로우 센서의 오측정 방지 방법
DE102018201946A1 (de) * 2018-02-08 2019-08-08 Audi Ag Verfahren und Vorrichtung zur Plausibilisierung der Messwerte eines Feuchtesensors
TWM569412U (zh) * 2018-08-07 2018-11-01 捷騰光電股份有限公司 溫濕度感測模組之烘乾裝置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007333750A (ja) * 2000-10-20 2007-12-27 Fisher & Paykel Healthcare Ltd 呼吸用気体絶対湿度センサの精度を自動的に検査するシステム及び方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FI82554C (fi) * 1988-11-02 1991-03-11 Vaisala Oy Kalibreringsfoerfarande foer maetning av den relativa halten av gas eller aonga.
WO1997002486A1 (de) * 1995-06-30 1997-01-23 Zuechner Klaus Messeinrichtung und verfahren zur bestimmung des wassergehaltes in einem gas
US5792938A (en) * 1996-12-13 1998-08-11 Panametrics, Inc. Humidity sensor with differential thermal detection and method of sensing
US6564563B2 (en) * 2001-06-29 2003-05-20 International Business Machines Corporation Logic module refrigeration system with condensation control
DE10203637B4 (de) * 2002-01-30 2004-09-16 Testo Ag Verfahren und Vorrichtung zur Kalibrierung eines Feuchtesensors
DE10316294B4 (de) * 2003-04-09 2006-06-14 Siemens Ag Verfahren zur Steuerung/Regelung einer Klimaanlage für ein Kraftfahrzeug
DE102008028681A1 (de) * 2008-06-17 2009-12-31 Airbus Deutschland Gmbh Verfahren zum Betreiben eines Metalloxid-Gassensors, Sensorvorrichtung zum Durchführen des Verfahrens sowie Verwendung desselben

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007333750A (ja) * 2000-10-20 2007-12-27 Fisher & Paykel Healthcare Ltd 呼吸用気体絶対湿度センサの精度を自動的に検査するシステム及び方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015159663A1 (ja) * 2014-04-16 2015-10-22 日立オートモティブシステムズ株式会社 湿度測定装置
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