JP2013525750A - 干渉計エンコーダ・システム - Google Patents
干渉計エンコーダ・システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013525750A JP2013525750A JP2013502574A JP2013502574A JP2013525750A JP 2013525750 A JP2013525750 A JP 2013525750A JP 2013502574 A JP2013502574 A JP 2013502574A JP 2013502574 A JP2013502574 A JP 2013502574A JP 2013525750 A JP2013525750 A JP 2013525750A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- encoder
- encoder scale
- scale
- beams
- optical assembly
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 146
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 100
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 155
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 58
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 39
- 238000001459 lithography Methods 0.000 claims description 37
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 19
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 19
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 10
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 61
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 37
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 24
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- 230000008859 change Effects 0.000 description 8
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 7
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 4
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000001393 microlithography Methods 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000002860 competitive effect Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000002839 fiber optic waveguide Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/266—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light by interferometric means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/0271—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers
- H01L21/0273—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers characterised by the treatment of photoresist layers
- H01L21/0274—Photolithographic processes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
Description
一般に、第1の態様では、本発明は、エンコーダ・スケールの自由度に沿った変化についての情報を決定するための方法を特徴とし、この方法は、異なる経路に沿って第1のビームおよび第2のビームを導き、この第1のビームと第2のビームを結合して出力ビームを形成することであって、第1のビームおよび第2のビームが共通の光源から発生し、第1のビームおよび第2のビームの周波数が異なり、第1のビームが非リトロー角でエンコーダ・スケールに接触し、第1のビームがエンコーダ・スケールから少なくとも1度回折することと、出力ビームに基づいて干渉信号を検出することであって、この干渉信号が、第1のビームと第2のビームの間の光路差に関連したヘテロダイン位相を含むことと、このヘテロダイン位相に基づいてエンコーダ・スケールの自由度についての情報を決定することとを含む。
第1のビームおよび第2のビームは、直線偏光のビームとすることができる。エンコーダ・スケールからの回折の前後での第1のビームの経路は、平面を画定することができ、第1のビームは、この平面に対して垂直に偏光させることができる。実施形態によっては、エンコーダ・スケールは、第1の方向に沿って延在する回折格子ラインを備えることができ、測定ビームが、回折格子ラインに平行な方向で直線偏光される。第1のビームおよび第2のビームを導くことには、エンコーダ・スケールからの回折の前に、第1のビームの偏光状態を90°だけ回転させることが含まれ得る。
この方法にはさらに、第3のビームと第4のビームを結合して、第2の出力ビームを形成することであって、この第3のビームおよび第4のビームが共通の光源から得られ、第3のビームが少なくとも1度エンコーダ・スケールから回折することと、第2の出力ビームに基づいて第2の干渉信号を検出することであって、この第2の干渉信号が、第3のビームと第4のビームの間の光路差に関連したヘテロダイン位相を含むこととが含まれ得る。第1のビームと第3のビームは、同じ位置でエンコーダ・スケールに接触することができる。別法として、またはさらに、第1のビームと第2のビームは、互いに異なる位置でエンコーダ・スケールに接触することができる。第1の出力ビームと第2の出力ビームのヘテロダイン位相に基づいて、情報を決定することができる。1度回折した測定ビームおよび第3のビームは、それぞれ、測定ビームの+1次および−1次の回折次数とすることができる。
この方法には、共通の光源によって生成され、第1のビームがそこから得られる入力ビームの基準位相を監視することが含まれ得る。情報を決定することには、ヘテロダイン位相を基準位相と比較することが含まれ得る。
エンコーダ・スケールは、回折格子を備えることができる。この回折格子のピッチは、約1λ〜約20λの範囲とすることができ、ここでλは第1のビームの波長である。実施形態によっては、回折格子のピッチは、約1μm〜約10μmの範囲である。
エンコーダ・スケールには、回折格子が含まれ得る(たとえば、1次元または2次元のエンコーダ・スケール)。
一般に、別の態様では、本発明は、互いに異なる周波数を有する直線偏光のビームである第1のビームおよび第2のビームを入力ビームから得るように構成された光学アセンブリであって、この第1のビームおよび第2のビームを互いに異なる経路に沿って導き、第1のビームおよび第2のビームを結合して出力ビームを形成するようにさらに構成され、第1のビームの経路内に配置され、第1のビームの直線偏光状態を90°だけ回転させるように構成された光学素子を備える光学アセンブリと、第1のビームが回折エンコーダ・スケールから少なくとも1度回折するように第1のビームの経路内に配置された回折エンコーダ・スケールと、出力ビームを検出するように配置された検出器と、第1のビームと第2のビームの間の光路差に関連したヘテロダイン位相を含む干渉信号を検出器から受信し、このヘテロダイン位相に基づいてエンコーダ・スケールの自由度についての情報を決定するように構成された電子プロセッサとを備えるエンコーダ・システムを特徴とする。
第1のビームおよび第2のビームは、偏光ビームとすることができる。第1のビームは、第2のビームに対して垂直に偏光させることができる。第1のビームおよび第2のビームは、直線偏光のビームとすることができる。
自由度は、光学アセンブリに対する回折格子の傾斜とすることができる。
これらの方法には、共通の光源によって生成され、1次ビームがそこから得られる入力ビームの基準位相を監視することが含まれ得る。情報を決定することには、ヘテロダイン位相を基準位相と比較することが含まれ得る。
1次ビームは、第1の成分および第2の成分を含むことができ、第1の成分および第2の成分は、ヘテロダイン周波数および様々な直交偏光状態を規定する、互いに異なる周波数を有する。1次ビームは、400nm〜1,500nmの範囲の波長を有することができる。たとえば、1次ビームは、約633nmまたは約980nmの波長を有することができる。
添付図面および以下の説明において、1つまたは複数の実施形態の詳細を説明する。他の特徴および利点は、この説明および図面から、また特許請求の範囲から明らかになろう。
図1を参照すると、干渉計エンコーダ・システム100は、光源モジュール120(たとえば、レーザを含む)、光学アセンブリ110、測定対象物101、検出器モジュール130(たとえば、偏光子および検出器)、ならびに電子プロセッサ150を備える。一般に、光源モジュール120は光源を備え、ビーム成形光学装置(たとえば、光コリメーティング光学装置)、光ガイド構成部品(たとえば、光ファイバ導波管)ならびに/または偏光管理光学装置(たとえば、偏光子および/もしくは波長板)など、他の構成部品も備えることができる。光学アセンブリ110の様々な実施形態を以下に説明する。光学アセンブリは、「エンコーダ・ヘッド」とも呼ばれる。参考として直交座標系が示してある。
他の実施形態が図12に示してあり、ここで、2つの周波数成分の空間および角度が分離されており、エンコーダ・スケール105と相互作用すると、自動的に、互いに異なる回折次数の組合せが可能になる。ここで、エンコーダ1200はPBS1210を備え、このPBS1200は入力ビーム122を分割して、s偏光ビーム1222およびp偏光ビーム1224を生成する。PBS1210は、ビーム1222をエンコーダ・スケール105に向けて送り、ミラー1220から反射するビーム1224をエンコーダ・スケール105に向けて伝達する。ミラー1220は、ビーム1222と同じ位置で、ビーム1224がエンコーダ・スケール105に接触するように配向される。ビーム1222は、通常(少なくとも名目上)エンコーダ・スケール105に入射し、ビーム1224は、非法線方向に沿ってエンコーダ・スケール105に入射する。両方のビームが、エンコーダ・スケール105によって回折されて複数の回折次数になり、システムは、ビーム1222および1224のそれぞれからの2つの回折次数がオーバラップし、2つの出力ビーム1231および1233を生成するように構成される。一般に、出力ビーム用に様々な異なる回折次数を選択することができるが、実施形態によっては、出力ビーム1231は、ビーム1222の−1次の回折次数およびビーム1224の+3次の回折次数から形成することができる。出力ビーム1233は、ビーム1222の+1次の回折次数、およびビーム1224の+1次の回折次数から形成することができる。検出器1230および1232は、出力ビームを検出するように配置される。
コンピュータ・チップなどの大規模集積回路を製造するのに使用されるリソグラフィ用途において、リソグラフィ・ツールは特に有用である。リソグラフィは、半導体製造産業にとって、鍵となるテクノロジー・ドライバである。100nmの線幅(設計ルール)以下にまでオーバレイを改良することが、もっとも困難な5つの挑戦のうちの1つであり、たとえば「Semiconductor Industry Roadmap」(1997年)の82頁を参照されたい。
Claims (75)
- エンコーダ・スケールの自由度に沿った変化についての情報を決定するための方法であって、
異なる経路に沿って第1のビームおよび第2のビームを導き、該第1のビームと第2のビームを結合して出力ビームを形成することであって、該第1のビームおよび第2のビームが共通の光源から発生し、該第1のビームおよび第2のビームは異なる周波数を有し、該第1のビームが非リトロー角で該エンコーダ・スケールに接触し、該第1のビームが該エンコーダ・スケールから少なくとも1度回折する、前記形成すること、
該出力ビームに基づいて干渉信号を検出することであって、該干渉信号が、該第1のビームと該第2のビームとの間の光路差に関連したヘテロダイン位相を含む、前記検出すること、
該ヘテロダイン位相に基づいて該エンコーダ・スケールの自由度についての情報を決定すること
を含む方法。 - 前記第1のビームが、前記エンコーダ・スケールに垂直に入射する、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のビームが、前記エンコーダ・スケールに非垂直に入射する、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のビームは、回折した測定ビームが前記エンコーダ・スケールに対して垂直になるように、ある角度で該エンコーダ・スケールに入射する、請求項1に記載の方法。
- 前記自由度が、前記エンコーダ・スケールの面内に存在する軸に沿った該エンコーダ・スケールの位置である、請求項1に記載の方法。
- 前記第1および第2のビームが直線偏光のビームである、請求項1に記載の方法。
- 前記エンコーダ・スケールからの回折の前後での前記第1のビームの経路が平面を画定し、該第1のビームが、前記平面に対して垂直に偏光されている、請求項6に記載の方法。
- 前記エンコーダ・スケールが、第1の方向に沿って延在する回折格子ラインを備え、測定ビームが、回折格子ラインに平行な方向で直線偏光されている、請求項6に記載の方法。
- 前記第1のビームおよび第2のビームを導くことが、前記エンコーダ・スケールからの回折の前に、該第1のビームの偏光状態を90°だけ回転させることを含む、請求項6に記載の方法。
- 前記第1および第2のビームが直交偏光のビームである、請求項1に記載の方法。
- 前記干渉信号を検出することが、前記直交偏光された第1のビームおよび第2のビームのそれぞれの成分を伝達する偏光素子を介して、前記出力ビームを導くことを含む、請求項10に記載の方法。
- 異なる経路に沿って前記第1のビームおよび第2のビームを導くことが、ビーム・スプリッタを使用して、入力ビームから該第1のビームおよび第2のビームを得ることを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のビームおよび第2のビームが、前記ビーム・スプリッタを使用して結合される、請求項12に記載の方法。
- 前記第1のビームおよび第2のビームが、第2のビーム・スプリッタを使用して結合される、請求項12に記載の方法。
- 前記ビーム・スプリッタが、偏光ビーム・スプリッタである、請求項12に記載の方法。
- 前記第2のビームが、前記エンコーダ・スケールに接触しない、請求項1に記載の方法。
- 前記第2のビームが、前記エンコーダ・スケールから少なくとも1度回折する、請求項1に記載の方法。
- 前記回折された第2のビームが、ゼロ次の回折ビームである、請求項17に記載の方法。
- 前記回折された第2のビームが、前記エンコーダ・スケールにおいて前記第1のビームと同一直線上にある、請求項17に記載の方法。
- 前記第1のビームが、前記エンコーダ・スケールから1度だけ回折する、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のビームが、前記エンコーダ・スケールから2度以上回折する、請求項1に記載の方法。
- 前記エンコーダ・スケールから回折する前の前記第1のビームの経路が、2度目に該エンコーダ・スケールから回折した後の該第1のビームの経路に平行である、請求項21に記載の方法。
- 前記エンコーダ・スケールから1度目の回折をおこなった後、前記第1のビームが、再帰反射器によって導かれて、前記第2のビームと結合される前に該エンコーダ・スケールから2度目の回折をおこなう、請求項21に記載の方法。
- 前記情報が、2つ以上のヘテロダイン位相測定値に基づいて得られる、請求項1に記載の方法。
- 第3のビームと第4のビームを結合して、第2の出力ビームを形成することであって、前記第3のビームおよび第4のビームが前記共通の光源から得られ、該第3のビームが前記エンコーダ・スケールから少なくとも1度回折する、前記形成すること、
該第2の出力ビームに基づいて第2の干渉信号を検出することであって、該第2の干渉信号が、該第3のビームと該第4のビームの間の光路差に関連したヘテロダイン位相を含む、前記検出すること
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記第1および第3のビームが、同じ位置で前記エンコーダ・スケールに接触する、請求項25に記載の方法。
- 前記第1および第2のビームが、互いに異なる位置で前記エンコーダ・スケールに接触する、請求項25に記載の方法。
- 前記情報が、第1の出力ビームと第2の出力ビームの前記ヘテロダイン位相に基づいて決定される、請求項25に記載の方法。
- 1度回折した測定ビームおよび前記第3のビームが、それぞれ、該測定ビームの+1次および−1次の回折次数である、請求項25に記載の方法。
- 前記自由度が、前記エンコーダ・スケールの面内の第1の軸に沿った該エンコーダ・スケールの変位に対応する、請求項1に記載の方法。
- 前記エンコーダ・スケールの第2の自由度についての情報を決定することをさらに含む、請求項31に記載の方法。
- 前記第2の自由度が、前記第1の軸に対して垂直な第2の軸に沿った前記エンコーダ・スケールの変位である、請求項32に記載の方法。
- 前記第2の軸が、前記エンコーダ・スケールの面内にある、請求項33に記載の方法。
- 前記第2の軸が、前記エンコーダ・スケールの面に垂直である、請求項33に記載の方法。
- 前記自由度が、軸の周りの前記エンコーダ・スケールの傾斜である、請求項1に記載の方法。
- 前記共通の光源によって生成され、かつ前記第1のビームがそこから得られる入力ビームの基準位相を監視することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記情報を決定することが、前記ヘテロダイン位相と前記基準位相を比較することを含む、請求項37に記載の方法。
- 前記第1のビームが、400nm〜1,500nmの範囲の波長を有する、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のビームが、約633nmまたは約980nmの波長を有する、請求項39に記載の方法。
- 前記エンコーダ・スケールが回折格子を備える、請求項1に記載の方法。
- 前記回折格子のピッチが、約1λ〜約20λの範囲であり、ここでλが前記第1のビームの波長である、請求項41に記載の方法。
- 前記回折格子のピッチが、約1μm〜約10μmの範囲である、請求項41に記載の方法。
- 前記第1のビームおよび第2のビームが、光学アセンブリを使用して、それぞれの経路に沿って導かれ、前記方法がさらに、前記情報を決定している間に前記光学アセンブリに対して前記エンコーダ・スケールを移動させることを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記光学アセンブリまたはエンコーダ・スケールが、ウェーハ・ステージに取り付けられ、前記方法がさらに、前記情報に基づいて、リソグラフィ・システムからの放射に対するウェーハの位置を監視することを含む、請求項44に記載の方法。
- 前記光学アセンブリまたはエンコーダ・スケールが、レチクル・ステージに取り付けられ、前記方法がさらに、前記情報に基づいて、リソグラフィ・システムからの放射に対するレチクルの位置を監視することを含む、請求項44に記載の方法。
- エンコーダ・システムであって、
入力ビームから第1のビームおよび第2のビームを得て、該第1のビームおよび第2のビームを互いに異なる経路に沿って導き、該第1のビームと第2のビームを結合して出力ビームを形成するように構成された光学アセンブリであって、該第1のビームおよび第2のビームが互いに異なる周波数を有する、前記光学アセンブリと、
該第1のビームが非リトロー角で回折エンコーダ・スケールに接触し、該第1のビームが該回折エンコーダ・スケールから少なくとも1度回折するように該第1のビームの経路に配置された回折エンコーダ・スケールと、
該出力ビームを検出するように配置された検出器と、
該第1のビームと第2のビームとの間の光路差に関連したヘテロダイン位相を含む干渉信号を該検出器から受信し、該ヘテロダイン位相に基づいて該エンコーダ・スケールの自由度についての情報を決定するように構成された電子プロセッサと
を備えるエンコーダ・システム。 - 前記光学アセンブリが、前記入力ビームを前記第1のビームおよび第2のビームに分割する光学素子を備える、請求項47に記載のエンコーダ・システム。
- 前記光学素子が非偏光ビーム・スプリッタである、請求項48に記載のエンコーダ・システム。
- 前記光学素子が偏光ビーム・スプリッタである、請求項48に記載のエンコーダ・システム。
- 前記光学素子が、前記第1のビームと第2のビームを結合して、前記出力ビームを形成する、請求項48に記載のエンコーダ・システム。
- 前記光学アセンブリは、前記第1のビームおよび第2のビームを得る前に、前記入力ビームを2つの平行なサブ入力ビームに分割するように構成された、1つまたは複数の光学素子を備える、請求項47に記載のエンコーダ・システム。
- 前記光学アセンブリは、前記サブ入力ビームのうちの一方を前記第1のビームおよび第2のビームに分割し、他方のサブ入力ビームを第3のビームおよび第4のビームに分割するように構成されたビーム・スプリッタを備え、該光学アセンブリが、該第3のビームおよび第4のビームを、互いに異なる経路に沿って導き、該第3のビームと第4のビームとを結合して第2の出力ビームを形成する、請求項52に記載のエンコーダ・システム。
- 前記光学アセンブリが、前記第3のビームを導いて、前記エンコーダ・スケールから少なくとも1度回折させる、請求項53に記載のエンコーダ・システム。
- 前記光学アセンブリは、1度回折した第1のビームおよび第3のビームをそれぞれ反射して、前記エンコーダ・スケールから2度目に回折させるように配置された2つの再帰反射器を備える、請求項54に記載のエンコーダ・システム。
- 前記第1および第3のビームが、互いに異なる位置で前記エンコーダ・スケールに接触する、請求項55に記載のエンコーダ・システム。
- 前記エンコーダ・スケールが、前記第1のビームおよび第3のビームを回折させて、それぞれ+1次および−1次の回折次数にする、請求項55に記載のエンコーダ・システム。
- 前記光学アセンブリにおける前記入力ビームの経路が、第1の出力ビームおよび第2の出力ビームの経路に平行である、請求項53に記載のエンコーダ・システム。
- 前記入力ビームならびに、第1および第2の出力ビームの経路が、前記エンコーダ・スケールの面に平行である、請求項58に記載のエンコーダ・システム。
- 前記光学アセンブリが、前記第1のビームの前記経路内に半波長板を備える、請求項47に記載のエンコーダ・システム。
- 前記エンコーダ・スケールが回折格子を備える、請求項47に記載のエンコーダ・システム。
- 前記回折格子が、1次元または2次元の回折格子である、請求項61に記載のエンコーダ・システム。
- システムであって、
移動可能なステージと、
請求項47に記載のエンコーダ・システムと
を備え、エンコーダ・スケールまたは光学アセンブリのいずれかが該ステージに取り付けられている、システム。 - エンコーダ・システムであって、
入力ビームから第1のビームおよび第2のビームを得るための手段であって、該第1のビームおよび第2のビームが互いに異なる周波数を有する、前記得るための手段と、
該第1のビームおよび第2のビームを互いに異なる経路に沿って導くための手段と、
該第1のビームと第2のビームとを結合して出力ビームを形成するための手段と、
該第1のビームが非リトロー角で回折エンコーダ・スケールに接触し、該第1のビームが該回折エンコーダ・スケールから少なくとも1度回折するように該第1のビームの経路に配置された回折エンコーダ・スケールと、
該出力ビームを検出するための手段と、
該第1のビームと第2のビームとの間の光路差に関連したヘテロダイン位相を含む干渉信号を検出器から受信し、該ヘテロダイン位相に基づいて該エンコーダ・スケールの自由度についての情報を決定するための手段と
を備えるエンコーダ・システム。 - エンコーダ・システムであって、
互いに異なる周波数を有する直線偏光のビームである第1のビームおよび第2のビームを入力ビームから得るように構成された光学アセンブリであって、該第1のビームおよび第2のビームを互いに異なる経路に沿って導き、該第1のビームと第2のビームを結合して出力ビームを形成するようにさらに構成され、該光学アセンブリは、該第1のビームの経路内に配置され、かつ該第1のビームの直線偏光状態を90°だけ回転させるように構成された光学素子を備える、前記光学アセンブリと、
該第1のビームが回折エンコーダ・スケールから少なくとも1度回折するように該第1のビームの該経路内に配置された回折エンコーダ・スケールと、
該出力ビームを検出するように配置された検出器と、
該第1のビームと第2のビームの間の光路差に関連するヘテロダイン位相を含む干渉信号を該検出器から受信し、該ヘテロダイン位相に基づいて該エンコーダ・スケールの自由度についての情報を決定するように構成された電子プロセッサと
を備えるエンコーダ・システム。 - 前記光学素子が、前記第1のビームの前記経路と2度交差し、そのたびに前記第1のビームの前記直線偏光状態を90°だけ回転させる、請求項65に記載のエンコーダ・システム。
- 前記光学素子が半波長板である、請求項65に記載のエンコーダ・システム。
- 前記第1のビームが、前記エンコーダ・スケールから2度回折する、請求項65に記載のエンコーダ・システム。
- 前記第1のビームが、前記エンコーダ・スケールにおいてp偏光である、請求項65に記載のエンコーダ・システム。
- エンコーダ・システムであって、
第1の方向で第1のビームを反射し、該第1の方向に対して垂直な第2の方向で第2のビームを伝達し、該第1のビームと第2のビームを結合して、該第2の方向に平行な経路に沿って偏光ビーム分割素子から出る出力ビームを形成するように構成された偏光ビーム分割素子であって、該第1のビームおよび第2のビームは、互いに異なる周波数を有し、共通の光源から得られる、前記偏光ビーム分割素子と、
該第1のビームが回折エンコーダ・スケールから少なくとも1度回折するように該第1のビームの経路内に配置された回折エンコーダ・スケールと、
該出力ビームを検出するように配置された検出器と、
該第1のビームと第2のビームとの間の光路差に関連したヘテロダイン位相を含む干渉信号を該検出器から受信し、該ヘテロダイン位相に基づいて該エンコーダ・スケールの自由度についての情報を決定するように構成された電子プロセッサと
を備えるエンコーダ・システム。 - 前記回折エンコーダ・スケールが、前記第1の方向に対して垂直に配向される、請求項70に記載のエンコーダ・システム。
- 前記第1のビームが、前記回折エンコーダ・スケールに垂直に入射する、請求項70に記載のエンコーダ・システム。
- 基板上に集積回路を製造するのに使用するためのリソグラフィ法であって、
移動可能なステージ上で該基板を支持すること、
空間的にパターン形成された放射を該基板上に結像すること、
該ステージの位置を調整すること、
請求項1に記載の方法を使用して該ステージの位置を監視すること
を含み、
エンコーダ・スケールまたは光学アセンブリが該ステージに取り付けられ、情報が、軸に沿った該ステージの該位置に対応する、リソグラフィ法。 - 基板上に集積回路を製造するためのリソグラフィ法であって、
空間的にパターン形成された放射に該基板を曝すよう、リソグラフィ・システムの第1の構成部品を、リソグラフィ・システムの第2の構成部品に対して位置決めすること、
請求項1に記載の方法を使用して、該第1の構成部品の位置を監視すること
を含み、
エンコーダ・スケールまたは光学アセンブリが該第1の構成部品に取り付けられ、情報が、該第1の構成部品の該位置に対応する、リソグラフィ法。 - ウェーハ上に集積回路を製造するのに使用するためのリソグラフィ・システムであって、
空間的にパターン形成された放射を該ウェーハ上に結像する映写レンズと、
該結像された放射に対する該ウェーハの位置を監視するように構成された、請求項47に記載のエンコーダ・システムと、
該結像された放射に対するステージの位置を調整するための位置決めシステムと
を備え、該ウェーハが該ステージによって支持される、リソグラフィ・システム。 - ウェーハ上に集積回路を製造するのに使用するためのリソグラフィ・システムであって、
放射源、マスク、位置決めシステム、映写レンズ、及び請求項47に記載のエンコーダ・システムを含む照明システムを備え、
動作中、該放射源が、該マスクを通して放射を導いて、空間的にパターン形成された放射を生成し、該位置決めシステムが、該放射源からの該放射に対する該マスクの位置を調整し、該映写レンズが、該空間的にパターン形成された放射をステージによって支持された該ウェーハ上に結像し、該システムが、該放射源からの該放射に対する該マスクの位置を監視する、リソグラフィ・システム。
Applications Claiming Priority (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US31925210P | 2010-03-30 | 2010-03-30 | |
US61/319,252 | 2010-03-30 | ||
US32798310P | 2010-04-26 | 2010-04-26 | |
US61/327,983 | 2010-04-26 | ||
US42248210P | 2010-12-13 | 2010-12-13 | |
US61/422,482 | 2010-12-13 | ||
PCT/US2011/025039 WO2011126610A2 (en) | 2010-03-30 | 2011-02-16 | Interferometric encoder systems |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013525750A true JP2013525750A (ja) | 2013-06-20 |
JP5814339B2 JP5814339B2 (ja) | 2015-11-17 |
Family
ID=44763458
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013502574A Active JP5814339B2 (ja) | 2010-03-30 | 2011-02-16 | 干渉計エンコーダ・システム |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US8300233B2 (ja) |
EP (2) | EP2553401B1 (ja) |
JP (1) | JP5814339B2 (ja) |
KR (1) | KR101725529B1 (ja) |
CN (1) | CN102906545B (ja) |
TW (1) | TWI471535B (ja) |
WO (1) | WO2011126610A2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4053497A1 (en) | 2021-03-05 | 2022-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Stage device, lithography apparatus, and article manufacturing method |
Families Citing this family (43)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5849103B2 (ja) | 2011-02-01 | 2016-01-27 | ザイゴ コーポレーションZygo Corporation | 干渉ヘテロダイン光学エンコーダシステム |
US9074911B2 (en) * | 2011-08-26 | 2015-07-07 | Nikon Corporation | Measurement system and method utilizing high contrast encoder head for measuring relative movement between objects |
CN106289336B (zh) * | 2011-11-09 | 2019-07-09 | 齐戈股份有限公司 | 双通干涉测量编码器系统 |
TWI479125B (zh) * | 2011-11-09 | 2015-04-01 | Zygo Corp | 干涉式編碼器系統的密接式編碼頭 |
JP5922788B2 (ja) * | 2011-11-09 | 2016-05-24 | ザイゴ コーポレーションZygo Corporation | 熱的に安定な光学センサマウント |
EP2776791A4 (en) * | 2011-11-09 | 2015-06-24 | Zygo Corp | INTERFEROMETRY WITH LOW COHERENCE USING CODIER SYSTEMS |
EP2776790B1 (en) | 2011-11-09 | 2016-09-14 | Zygo Corporation | Compact encoder head for interferometric encoder system |
JP6156147B2 (ja) | 2011-11-17 | 2017-07-05 | 株式会社ニコン | エンコーダ装置、光学装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
DE102012204572A1 (de) | 2012-03-22 | 2013-09-26 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung und Anordnung mit einer derartigen Positionsmesseinrichtung |
CN104220846A (zh) * | 2012-03-23 | 2014-12-17 | 住友电气工业株式会社 | 干涉测量装置 |
TWI516746B (zh) * | 2012-04-20 | 2016-01-11 | 賽格股份有限公司 | 在干涉編碼系統中執行非諧循環錯誤補償的方法、裝置及計算機程式產品,以及微影系統 |
DE102013224381A1 (de) * | 2012-12-20 | 2014-06-26 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optische Positionsmesseinrichtung |
SG11201605108VA (en) | 2014-01-09 | 2016-07-28 | Zygo Corp | Measuring topography of aspheric and other non-flat surfaces |
CN103759656B (zh) * | 2014-01-23 | 2017-01-18 | 清华大学 | 一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统 |
CN103759655B (zh) * | 2014-01-23 | 2016-08-17 | 清华大学 | 基于光学倍程法的二自由度零差光栅干涉仪位移测量系统 |
JP6427399B2 (ja) * | 2014-04-14 | 2018-11-21 | Dmg森精機株式会社 | 変位検出装置 |
US11061338B2 (en) * | 2014-04-17 | 2021-07-13 | Nikon Corporation | High-resolution position encoder with image sensor and encoded target pattern |
US9282304B1 (en) | 2014-06-02 | 2016-03-08 | Bruker Nano Inc. | Full-color images produced by white-light interferometry |
JP6322069B2 (ja) | 2014-07-02 | 2018-05-09 | Dmg森精機株式会社 | 変位検出装置 |
WO2016011024A1 (en) * | 2014-07-14 | 2016-01-21 | Zygo Corporation | Interferometric encoders using spectral analysis |
KR102299921B1 (ko) | 2014-10-07 | 2021-09-09 | 삼성전자주식회사 | 광학 장치 |
US10066974B2 (en) | 2014-10-13 | 2018-09-04 | Zygo Corporation | Interferometric encoder systems having at least partially overlapping diffracted beams |
NL2015826A (en) * | 2014-12-19 | 2016-09-20 | Asml Netherlands Bv | Optical encoder system, encoder head and lithographic apparatus. |
US9823061B2 (en) * | 2015-06-15 | 2017-11-21 | Zygo Corporation | Displacement measurement of deformable bodies |
CN105203031A (zh) * | 2015-09-14 | 2015-12-30 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 四倍光学细分的两轴外差光栅干涉仪 |
CN105627921B (zh) * | 2015-12-18 | 2018-08-21 | 佛山轻子精密测控技术有限公司 | 一种绝对式编码器的细分采集系统及其测量方法 |
CN106931887B (zh) * | 2015-12-30 | 2019-11-26 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 双频光栅测量装置 |
CN105758435B (zh) * | 2016-04-14 | 2018-02-09 | 清华大学深圳研究生院 | 一种绝对式光栅尺 |
WO2017195029A1 (en) * | 2016-05-11 | 2017-11-16 | Otm Technologies Ltd. | Devices and methods for determining relative motion |
CN107664482B (zh) * | 2016-07-29 | 2019-08-23 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 光栅测量装置 |
CN107664481B (zh) | 2016-07-29 | 2019-08-23 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 光栅测量装置 |
US10120196B2 (en) * | 2016-09-30 | 2018-11-06 | National Taiwan University Of Science And Technology | Optical device |
JP7200234B2 (ja) * | 2017-10-04 | 2023-01-06 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 干渉計ステージ位置決めデバイス |
DE102018103869B3 (de) * | 2018-02-21 | 2019-05-09 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Maßelement für eine optische Messvorrichtung |
US11281111B2 (en) * | 2018-08-28 | 2022-03-22 | Kla-Tencor Corporation | Off-axis illumination overlay measurement using two-diffracted orders imaging |
CN109238148B (zh) * | 2018-09-13 | 2020-10-27 | 清华大学 | 一种五自由度外差光栅干涉测量系统 |
CN109579694B (zh) * | 2018-12-26 | 2021-03-16 | 哈尔滨工业大学 | 一种高容差的二自由度外差光栅干涉测量方法及系统 |
CN109632010B (zh) * | 2019-01-23 | 2020-07-17 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种位移与角度同步测量方法 |
CN109632011B (zh) * | 2019-01-23 | 2020-08-21 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种位移与角度同步测量系统 |
CN112882347B (zh) * | 2019-11-29 | 2022-05-10 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种光栅可切换位移测量装置、测量方法及光刻系统 |
CN114459516B (zh) * | 2022-02-21 | 2023-07-28 | 清华大学深圳国际研究生院 | 一种绝对式六自由度光栅编码器 |
US20230366670A1 (en) | 2022-05-10 | 2023-11-16 | Zygo Corporation | Data age reduction |
CN114877811B (zh) * | 2022-06-15 | 2023-06-20 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一维光栅位移测量装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6338102A (ja) * | 1986-08-01 | 1988-02-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 微小変位測定方法および微小変位測定装置 |
JPH05126603A (ja) * | 1991-11-05 | 1993-05-21 | Canon Inc | 格子干渉測定装置 |
JP2005338075A (ja) * | 2004-05-21 | 2005-12-08 | Agilent Technol Inc | ウェハステージの平行移動を測定するヘテロダインレーザ干渉計 |
Family Cites Families (55)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3090279A (en) | 1960-05-13 | 1963-05-21 | Bausch & Lomb | Interferometer using a diffraction grating |
DE2240968A1 (de) | 1972-08-21 | 1974-03-07 | Leitz Ernst Gmbh | Optisches verfahren zur messung der relativen verschiebung eines beugungsgitters sowie einrichtungen zu seiner durchfuehrung |
US4436424A (en) | 1981-07-27 | 1984-03-13 | Gca Corporation | Interferometer using transverse deviation of test beam |
US4512661A (en) | 1982-09-02 | 1985-04-23 | The United States Of America As Represented By The Aministration Of The National Aeronautics And Space Administration | Dual differential interferometer |
US4629886A (en) | 1983-03-23 | 1986-12-16 | Yokogawa Hokushin Electric Corporation | High resolution digital diffraction grating scale encoder |
DE3484649D1 (de) | 1983-11-04 | 1991-07-04 | Sony Magnescale Inc | Optisches instrument zur messung einer verschiebung. |
IT1213280B (it) | 1984-04-30 | 1989-12-14 | Enea | Interferometro ottico con elemento deviatore di tipo dispersivo |
US4670646A (en) | 1985-06-12 | 1987-06-02 | Western Research Corporation | Laser wavefront measurement device utilizing crossed Ronchi gratings |
FR2598797B1 (fr) * | 1986-05-07 | 1990-05-11 | Nippon Telegraph & Telephone | Procede de mesure et/ou d'ajustement du deplacement d'un objet et appareil pour la mise en oeuvre de ce procede |
EP0248277A3 (en) | 1986-06-03 | 1990-03-28 | Optra, Inc. | Two-frequency laser rotation sensor system |
US4728193A (en) | 1986-12-11 | 1988-03-01 | Hughes Aircraft Company | Precision automatic mask-wafer alignment system |
JPH073344B2 (ja) | 1987-06-15 | 1995-01-18 | キヤノン株式会社 | エンコ−ダ− |
JP2603305B2 (ja) | 1988-07-19 | 1997-04-23 | キヤノン株式会社 | 変位測定装置 |
US5035507A (en) | 1988-12-21 | 1991-07-30 | Mitutoyo Corporation | Grating-interference type displacement meter apparatus |
US5050993A (en) * | 1989-06-14 | 1991-09-24 | Rockwell International Corporation | Diffraction encoded position measuring apparatus |
DE9007559U1 (ja) | 1990-03-13 | 1992-09-24 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | |
US5118932A (en) * | 1990-11-13 | 1992-06-02 | Hughes Aircraft Company | Shaft rotation rate sensor with a diffraction grating producing a velocity-related beat frequency |
US6111645A (en) | 1991-04-29 | 2000-08-29 | Massachusetts Institute Of Technology | Grating based phase control optical delay line |
DE69211086T2 (de) * | 1991-10-03 | 1996-11-14 | Canon K.K., Tokio/Tokyo | Messverfahren und Messgerät |
US5341213A (en) | 1992-07-21 | 1994-08-23 | Avco Corporation | Alignment of radiation receptor with lens by Fourier optics |
JP3219349B2 (ja) | 1993-06-30 | 2001-10-15 | キヤノン株式会社 | 波長コンペンセータ、該波長コンペンセータを用いたレーザ干渉測定装置、該レーザ干渉測定装置を有するステージ装置、該ステージ装置を有する露光システム、および該露光システムを用いたデバイスの製造方法 |
US5638396A (en) | 1994-09-19 | 1997-06-10 | Textron Systems Corporation | Laser ultrasonics-based material analysis system and method |
US6469790B1 (en) | 1996-10-28 | 2002-10-22 | Christopher J. Manning | Tilt-compensated interferometers |
JP3389799B2 (ja) | 1996-12-12 | 2003-03-24 | 三菱電機株式会社 | 測長装置 |
US6407815B2 (en) | 1998-07-02 | 2002-06-18 | Sony Precision Technology Inc. | Optical displacement measurement system |
US6483593B1 (en) | 1999-08-10 | 2002-11-19 | The Boeing Company | Hetrodyne interferometer and associated interferometric method |
EP1182509B1 (en) | 2000-08-24 | 2009-04-08 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, calibration method thereof and device manufacturing method |
TW527526B (en) | 2000-08-24 | 2003-04-11 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus, device manufacturing method, and device manufactured thereby |
US7019842B2 (en) | 2000-09-14 | 2006-03-28 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Position measuring device |
US7006231B2 (en) | 2001-10-18 | 2006-02-28 | Scimed Life Systems, Inc. | Diffraction grating based interferometric systems and methods |
TWI259898B (en) | 2002-01-24 | 2006-08-11 | Zygo Corp | Method and apparatus for compensation of time-varying optical properties of gas in interferometry |
US6744520B2 (en) | 2002-03-04 | 2004-06-01 | Industrial Technology Research Institute | Method for measuring two-dimensional displacement using conjugate optics |
JP3891872B2 (ja) | 2002-04-04 | 2007-03-14 | 株式会社ミツトヨ | 微小周期構造評価装置及び微小周期構造評価方法 |
US7130059B2 (en) | 2002-06-24 | 2006-10-31 | Light Gage, Inc | Common-path frequency-scanning interferometer |
US7193204B2 (en) * | 2002-07-08 | 2007-03-20 | Gsi Group Corporation | Multi-track optical encoder employing beam divider |
US20040061869A1 (en) | 2002-07-29 | 2004-04-01 | Hill Henry A. | Compensation for errors in off-axis interferometric measurements |
EP1396704B1 (de) | 2002-08-07 | 2015-10-07 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Interferenzielle Positionsmesseinrichtung |
CN1263999C (zh) * | 2002-08-21 | 2006-07-12 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种柱面光栅轴角干涉式编码器 |
US7224466B2 (en) | 2003-02-05 | 2007-05-29 | Agilent Technologies, Inc. | Compact multi-axis interferometer |
EP1447648B1 (en) | 2003-02-12 | 2015-07-01 | Mitutoyo Corporation | Optical Encoder |
US6897961B2 (en) * | 2003-03-19 | 2005-05-24 | The Boeing Company | Heterodyne lateral grating interferometric encoder |
US7177031B2 (en) | 2003-05-12 | 2007-02-13 | University Of Rochester | Grating array systems having a plurality of gratings operative in a coherently additive mode and methods for making such grating array systems |
US7126696B2 (en) | 2003-09-30 | 2006-10-24 | Mitutoyo Corporation | Interferometric miniature grating encoder readhead using fiber optic receiver channels |
US7196797B2 (en) | 2004-05-28 | 2007-03-27 | Agilent Technologies, Inc. | Differential interferometer with improved cyclic nonlinearity |
US7791727B2 (en) | 2004-08-16 | 2010-09-07 | Asml Netherlands B.V. | Method and apparatus for angular-resolved spectroscopic lithography characterization |
US7342659B2 (en) | 2005-01-21 | 2008-03-11 | Carl Zeiss Meditec, Inc. | Cross-dispersed spectrometer in a spectral domain optical coherence tomography system |
DE102005029917A1 (de) | 2005-06-28 | 2007-01-04 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
DE102005043569A1 (de) | 2005-09-12 | 2007-03-22 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
US7362446B2 (en) * | 2005-09-15 | 2008-04-22 | Asml Netherlands B.V. | Position measurement unit, measurement system and lithographic apparatus comprising such position measurement unit |
US7440113B2 (en) | 2005-12-23 | 2008-10-21 | Agilent Technologies, Inc. | Littrow interferometer |
US7636165B2 (en) | 2006-03-21 | 2009-12-22 | Asml Netherlands B.V. | Displacement measurement systems lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7502122B2 (en) | 2006-07-31 | 2009-03-10 | Mitutoyo Corporation | Fiber-optic miniature encoder for fine pitch scales |
US7812965B2 (en) * | 2006-12-11 | 2010-10-12 | Zygo Corporation | Multiple-degree of freedom interferometer with compensation for gas effects |
US7864336B2 (en) | 2008-04-28 | 2011-01-04 | Agilent Technologies, Inc. | Compact Littrow encoder |
KR101670624B1 (ko) * | 2008-04-30 | 2016-11-09 | 가부시키가이샤 니콘 | 스테이지 장치, 패턴 형성 장치, 노광 장치, 스테이지 구동 방법, 노광 방법, 그리고 디바이스 제조 방법 |
-
2011
- 2011-02-16 CN CN201180025887.4A patent/CN102906545B/zh active Active
- 2011-02-16 EP EP11766307.0A patent/EP2553401B1/en active Active
- 2011-02-16 WO PCT/US2011/025039 patent/WO2011126610A2/en active Application Filing
- 2011-02-16 US US13/028,787 patent/US8300233B2/en active Active
- 2011-02-16 KR KR1020127028431A patent/KR101725529B1/ko active IP Right Grant
- 2011-02-16 EP EP15182014.9A patent/EP3006902B1/en active Active
- 2011-02-16 JP JP2013502574A patent/JP5814339B2/ja active Active
- 2011-03-07 TW TW100107548A patent/TWI471535B/zh active
- 2011-12-14 US US13/326,117 patent/US8670127B2/en active Active
-
2013
- 2013-10-02 US US14/044,222 patent/US8988690B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6338102A (ja) * | 1986-08-01 | 1988-02-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 微小変位測定方法および微小変位測定装置 |
JPH05126603A (ja) * | 1991-11-05 | 1993-05-21 | Canon Inc | 格子干渉測定装置 |
JP2005338075A (ja) * | 2004-05-21 | 2005-12-08 | Agilent Technol Inc | ウェハステージの平行移動を測定するヘテロダインレーザ干渉計 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4053497A1 (en) | 2021-03-05 | 2022-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Stage device, lithography apparatus, and article manufacturing method |
EP4273597A2 (en) | 2021-03-05 | 2023-11-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Stage device, lithography apparatus, and article manufacturing method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2011126610A2 (en) | 2011-10-13 |
US8988690B2 (en) | 2015-03-24 |
CN102906545A (zh) | 2013-01-30 |
US20120170048A1 (en) | 2012-07-05 |
US8300233B2 (en) | 2012-10-30 |
EP3006902A1 (en) | 2016-04-13 |
JP5814339B2 (ja) | 2015-11-17 |
WO2011126610A3 (en) | 2012-01-05 |
EP2553401B1 (en) | 2015-09-02 |
EP2553401A2 (en) | 2013-02-06 |
KR20130018284A (ko) | 2013-02-20 |
KR101725529B1 (ko) | 2017-04-10 |
US8670127B2 (en) | 2014-03-11 |
US20110255096A1 (en) | 2011-10-20 |
EP3006902B1 (en) | 2018-04-11 |
CN102906545B (zh) | 2016-01-20 |
EP2553401A4 (en) | 2014-04-02 |
US20140049782A1 (en) | 2014-02-20 |
TW201140002A (en) | 2011-11-16 |
TWI471535B (zh) | 2015-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5814339B2 (ja) | 干渉計エンコーダ・システム | |
JP6224019B2 (ja) | ダブルパス干渉方式エンコーダシステムを用いた物体の位置判定方法。 | |
US9140537B2 (en) | Interferometric heterodyne optical encoder system | |
US9201313B2 (en) | Compact encoder head for interferometric encoder system | |
US10066974B2 (en) | Interferometric encoder systems having at least partially overlapping diffracted beams | |
JP6162137B2 (ja) | エンコーダシステムを使用する低コヒーレンス干渉法 | |
TWI479125B (zh) | 干涉式編碼器系統的密接式編碼頭 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130904 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140128 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140218 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140512 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140519 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140818 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150224 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150511 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150908 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150917 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5814339 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |