JP2013525600A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 蒸発することが意図される表面を実質的に１つの平面に含む、蒸発されるべき材料からなる第１の本体（３）を備えるアークソース用のターゲットであって、前記表面は当該平面で中央領域を取り囲んでいる、そのようなターゲットにおいて、前記中央領域には前記第１の本体（３）から電気的に絶縁された、好ましくは円板形状で構成された第２の本体（７）が設けられており、それにより前記第２の本体（７）から火花を維持するための電子が実質的に提供され得ないようになっていることを特徴とするターゲット。
2. 前記第１の本体（３）は前記第２の本体（７）が中に沈降していて絶縁ピン（９）により取り付けられた成形部（５）を前記中央領域に含んでおり、前記第１の本体（３）と前記第２の本体（９）の間の間隔は１．５ｍｍから３．５ｍｍの間の１つまたは複数の値をとることを特徴とする、請求項１に記載のターゲット。
3. 前記第２の本体（７）は少なくとも前記成形部（５）から突き出す表面に前記第１の本体（３）の材料に相当する材料を有していることを特徴とする、請求項２に記載のターゲット。
4. 前記第２の本体（７）は少なくとも１つの成形部（１３）を含んでおり、それにより軸上に位置している前記第２の本体（７）の重心が穴の外套面の高さに位置するようになっていることを特徴とする、請求項２または３に記載のターゲット。
5. 前記第２の本体は軟磁性材料で製作されていることを特徴とする、請求項１から４のうちいずれか１項に記載のターゲット。