JP2013509139A5

JP2013509139A5 - フィルタ装置、フィルタバンク及び製造方法

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Publication number: JP2013509139A5
Application number: JP2012537161A
Authority: JP
Filing date: 2010-10-30
Publication date: 2013-07-25

Claims

基板と、前記基板の第１の表面上に設けられかつ１つ以上の水平ギャップ閉鎖アクチュエータ（ＧＣＡ）バラクタを有する複数のＧＣＡ装置とを有するフィルタ装置であって、
前記複数の水平ＧＣＡ装置の各々は、少なくとも１つのドライブくし形構造と、少なくとも１つの入力／出力（Ｉ／Ｏ）くし形構造と、前記ドライブくし形構造及び前記Ｉ／Ｏくし形構造とかみ合っている少なくとも１つのトラスくし形構造とを有し、前記トラスくし形構造は、前記トラスくし形構造及び前記ドライブくし形構造の間に印加されたバイアス電圧に基づいて、第１の嵌合位置及び少なくとも第２嵌合位置の間の移動軸に沿って動くように形成されており、
前記トラスくし形構造と、前記Ｉ／Ｏくし形構造及び前記ドライブくし形構造の各々との間の嵌合間隔は、前記水平ＧＣＡ装置の内の少なくとも第１のものと同じであり、かつ前記Ｉ／Ｏくし形構造及び前記トラスくし形構造の間の電気的な接触を促すように、前記水平ＧＣＡ装置の内の少なくとも第２のものと異なり、前記水平ＧＣＡ装置の内の前記第２のものはスイッチとして機能するように形成されており、
前記水平ＧＣＡ装置の内の前記少なくとも第１のものは、前記トラスくし形構造が動く量を制限するように形成されたストッパを有し、かつ前記トラスくし形構造及び前記Ｉ／Ｏくし形構造の間の少なくとも前記嵌合間隔がゼロになることを防ぐ、フィルタ装置。
前記複数の水平ＧＣＡ装置が前記基板上に形成された少なくとも１つのインダクタンス素子に結合されている、請求項１記載のフィルタ装置。
前記インダクタンス素子が、
前記基板の前記第１の表面上に設けられた少なくとも第１の導電性部分と、
前記基板の前記第１の表面上に設けられた少なくとも１つの第２の導電性部分と、
前記基板を通じて伸び、前記第１及び前記第２の導電性部分をグランドに短絡する少なくとも１つの導電性部分と
を有する、請求項２記載のフィルタ装置。
前記複数の水平ＧＣＡ装置は前記第１の表面上に設けられた少なくとも１つの平面インダクタタンス素子に結合されている、請求項１記載のフィルタ装置。
前記複数の水平ＧＣＡ装置が、Ｔ型フィルタ、π型フィルタ及び容量結合直列フィルタの内の何れかを形成するように結合されている、請求項１記載のフィルタ装置。
前記複数の水平ＧＣＡ装置の各々は、少なくとも１つの固定端部構造と、前記トラスくし形構造を前記固定端部構造にスプリングで結合する１つ以上のリード構造とを更に有する、請求項１記載のフィルタ装置。
前記複数の水平ＧＣＡ装置の内の少なくとも第１及び第２のものにおける前記第１及び第２の嵌合位置が、異なっている、請求項１記載のフィルタ装置。
基板と、
前記基板の第１の表面上に設けられ、１つ以上の水平ギャップ閉鎖アクチュエータ（ＧＣＡ）バラクタを有するＧＣＡ装置と、
前記基板を通じて伸び、前記複数の水平ＧＣＡ装置の少なくとも一部に電気的に結合する少なくとも１つの導電性部分と、
前記基板の底面に設けられ、導電性のビアに電気的に結合されている少なくとも１つの導電性グランド層と
を有し、前記複数の水平ＧＣＡ装置の各々は、少なくとも１つのドライブくし形構造と、少なくとも１つの入力／出力（Ｉ／Ｏ）くし形構造と、前記ドライブくし形構造及び前記Ｉ／Ｏくし形構造とかみ合っている少なくとも１つのトラスくし形構造とを有し、前記トラスくし形構造は、前記トラスくし形構造及び前記ドライブくし形構造の間に印加されたバイアス電圧に基づいて、第１の嵌合位置及び少なくとも第２嵌合位置の間の移動軸に沿って動くように形成されている、フィルタ装置。
基板と、
前記基板の第１の表面上に設けられ、１つ以上の水平ギャップ閉鎖アクチュエータ（ＧＣＡ）バラクタを有する複数のＧＣＡ装置と、
複数の固定容量素子であって、該固定容量素子の各々は、前記ＧＣＡバラクタの１つに電気的に直列的に結合されかつ前記ＧＣＡバラクタの１つの最低容量値より小さな容量値を有する、複数の固定容量素子と、
を有し、前記複数の水平ＧＣＡ装置の各々は、少なくとも１つのドライブくし形構造と、少なくとも１つの入力／出力（Ｉ／Ｏ）くし形構造と、前記ドライブくし形構造及び前記Ｉ／Ｏくし形構造とかみ合っている少なくとも１つのトラスくし形構造とを有し、前記トラスくし形構造は、前記トラスくし形構造及び前記ドライブくし形構造の間に印加されたバイアス電圧に基づいて、第１の嵌合位置及び少なくとも第２嵌合位置の間の移動軸に沿って動くように形成されている、フィルタ装置。
基板と、
共通入力ノード及び共通出力ノードに結合された１つ以上のフィルタ素子であって、前記フィルタ素子の各々は、前記基板の第１の表面上に設けられかつ１つ以上の水平ギャップ閉鎖アクチュエータ（ＧＣＡ）バラクタを有する複数のＧＣＡ装置と
を有し、前記複数の水平ＧＣＡ装置の各々は、少なくとも１つのドライブくし形構造と、少なくとも１つの入力／出力（Ｉ／Ｏ）くし形構造と、前記ドライブくし形構造及び前記Ｉ／Ｏくし形構造とかみ合っている少なくとも１つのトラスくし形構造とを有し、前記トラスくし形構造は、前記トラスくし形構造及び前記ドライブくし形構造の間に印加されたバイアス電圧に基づいて、第１の嵌合位置及び少なくとも第２嵌合位置の間の移動軸に沿って動くように形成されており、
前記トラスくし形構造と、前記Ｉ／Ｏくし形構造及び前記ドライブくし形構造の各々との間の嵌合間隔は、前記Ｉ／Ｏくし形構造がバラクタの一部をなすように形成された前記水平ＧＣＡ装置の内の少なくとも第１のものと同じであり、かつ前記Ｉ／Ｏくし形構造及び前記トラスくし形構造の間の電気的な接触を促すように、前記水平ＧＣＡ装置の内の少なくとも第２のものと異なり、前記水平ＧＣＡ装置の内の前記第２のものはスイッチとして機能するように形成されており、
前記水平ＧＣＡ装置の内の前記少なくとも第１のものは、前記トラスくし形構造が動く量を制限するように形成されたストッパを有し、かつ前記トラスくし形構造及び前記Ｉ／Ｏくし形構造の間の少なくとも前記嵌合間隔がゼロになることを防ぐ、フィルタバンク。
前記複数の水平ＧＣＡ装置の少なくとも１つが前記基板上に形成された少なくとも１つのインダクタンス素子に結合されている、請求項１０記載のフィルタバンク。
前記複数の水平ＧＣＡ装置の各々は、少なくとも１つの固定端部構造と、前記トラスくし形構造を前記固定端部構造にスプリングで結合する１つ以上のリード構造とを更に有する、請求項１０記載のフィルタバンク
基板と、
共通入力ノード及び共通出力ノードに結合された１つ以上のフィルタ素子であって、前記フィルタ素子の各々は、前記基板の第１の表面上に設けられかつ１つ以上の水平ギャップ閉鎖アクチュエータ（ＧＣＡ）バラクタ及び少なくとも１つのＧＣＡスイッチを有する複数のＧＣＡ装置を有する、１つ以上のフィルタ素子と、
前記フィルタ素子のうちの少なくとも２つにおいて前記ＧＣＡスイッチに結合された第１の共通制御ノードと
を有し、前記複数の水平ＧＣＡ装置の各々は、少なくとも１つのドライブくし形構造と、少なくとも１つの入力／出力（Ｉ／Ｏ）くし形構造と、前記ドライブくし形構造及び前記Ｉ／Ｏくし形構造とかみ合っている少なくとも１つのトラスくし形構造とを有し、前記トラスくし形構造は、前記トラスくし形構造及び前記ドライブくし形構造の間に印加されたバイアス電圧に基づいて、第１の嵌合位置及び少なくとも第２嵌合位置の間の移動軸に沿って動くように形成されており、
前記フィルタ素子のうちの少なくとも２つの前記ＧＣＡスイッチに関する前記第１及び第２の嵌合位置は異なっている、フィルタバンク。
前記フィルタ素子の前記ＧＣＡバラクタのうちの少なくとも２つに結合された第２の共通制御ノードを更に有し、
前記第２の共通ノードに結合された前記ＧＣＡバラクタのうちの少なくとも２つの前記第１及び第２の嵌合位置が、異なっている、請求項１３記載のフィルタバンク。
基板と、
共通入力ノード及び共通出力ノードに結合された１つ以上のフィルタ素子であって、前記フィルタ素子の各々は、前記基板の第１の表面上に設けられかつ１つ以上の水平ギャップ閉鎖アクチュエータ（ＧＣＡ）バラクタを有する複数のＧＣＡ装置を有する、１つ以上のフィルタ素子と、
複数の固定容量素子であって、該固定容量素子の各々は、前記ＧＣＡバラクタの１つに関連付けられかつ前記ＧＣＡバラクタの１つのうち関連付けられているものの最低容量値より小さな容量値を有する、複数の固定容量素子と、
を有し、前記複数の水平ＧＣＡ装置の各々は、少なくとも１つのドライブくし形構造と、少なくとも１つの入力／出力（Ｉ／Ｏ）くし形構造と、前記ドライブくし形構造及び前記Ｉ／Ｏくし形構造とかみ合っている少なくとも１つのトラスくし形構造とを有し、前記トラスくし形構造は、前記トラスくし形構造及び前記ドライブくし形構造の間に印加されたバイアス電圧に基づいて、第１の嵌合位置及び少なくとも第２嵌合位置の間の移動軸に沿って動くように形成されている、フィルタ装置。
フィルタ装置の製造方法であって、
少なくとも１つのベース層と、前記ベース層上にある少なくとも１つのリリース装置と、前記リリース層上にある少なくとも１つの構造層との積層構造を有する基板を設けるステップと、
前記構造層上に少なくとも１つの導電層を形成するステップと、
前記導電層、前記構造層及び前記リリース層に複数のボイドを形成するステップと
を有し、前記複数のボイドは、１つ以上のギャップ閉鎖アクチュエータ（ＧＣＡ）バラクタを含む複数の水平ＧＣＡ装置を規定する複数のパターニングされた領域を規定し、
前記複数の水平ＧＣＡ装置の各々は、少なくとも１つのドライブくし形構造と、少なくとも１つの入力／出力（Ｉ／Ｏ）くし形構造と、前記ドライブくし形構造及び前記Ｉ／Ｏくし形構造とかみ合っている少なくとも１つのトラスくし形構造とを有し、前記リリース層にある前記複数のボイドは、前記トラスくし形構造の直下にまで伸び、前記トラスくし形構造が、少なくとも第１の嵌合位置及び第２の嵌合位置の間の移動軸に沿って動けるようにする、製造方法。
フィルタ装置の製造方法であって、
少なくとも１つのベース層と、前記ベース層上にある少なくとも１つのリリース装置と、前記リリース層上にある少なくとも１つの構造層との積層構造を有する基板を設けるステップと、
前記構造層上に少なくとも１つの導電層を形成するステップと、
前記導電層、前記構造層及び前記リリース層に複数のボイドを形成するステップと
を有し、前記複数のボイドは、１つ以上のギャップ閉鎖アクチュエータ（ＧＣＡ）バラクタを含む複数の水平ＧＣＡ装置を規定する複数のパターニングされた領域を規定し、
前記複数の水平ＧＣＡ装置の各々は、少なくとも１つのドライブくし形構造と、少なくとも１つの入力／出力（Ｉ／Ｏ）くし形構造と、前記ドライブくし形構造及び前記Ｉ／Ｏくし形構造とかみ合っている少なくとも１つのトラスくし形構造とを有し、前記リリース層にある前記複数のボイドは、前記トラスくし形構造の直下にまで伸び、前記トラスくし形構造が、少なくとも第１の嵌合位置及び第２の嵌合位置の間の移動軸に沿って動けるようにし、
前記複数のボイドを形成するステップにおいて、少なくとも固定端部構造及び１つ以上のリード構造において前記複数の水平ＧＣＡ装置の各々を規定するように前記複数のボイドを選択し、前記トラスくし形構造を前記固定端部構造にスプリングを用いて結合する、製造方法。
フィルタ装置の製造方法であって、
少なくとも１つのベース層と、前記ベース層上にある少なくとも１つのリリース装置と、前記リリース層上にある少なくとも１つの構造層との積層構造を有する基板を設けるステップと、
前記構造層上に少なくとも１つの導電層を形成するステップと、
前記導電層、前記構造層及び前記リリース層に複数のボイドを形成するステップと
を有し、前記複数のボイドは、１つ以上のギャップ閉鎖アクチュエータ（ＧＣＡ）バラクタを含む複数の水平ＧＣＡ装置を規定する複数のパターニングされた領域を規定し、
前記複数の水平ＧＣＡ装置の各々は、少なくとも１つのドライブくし形構造と、少なくとも１つの入力／出力（Ｉ／Ｏ）くし形構造と、前記ドライブくし形構造及び前記Ｉ／Ｏくし形構造とかみ合っている少なくとも１つのトラスくし形構造とを有し、前記リリース層にある前記複数のボイドは、前記トラスくし形構造の直下にまで伸び、前記トラスくし形構造が、少なくとも第１の嵌合位置及び第２の嵌合位置の間の移動軸に沿って動けるようにし、
前記複数のボイドを形成するステップにおいて、前記ＧＣＡバラクタの少なくとも第１及び第２において異なる第１及び第２の嵌合位置を設定するように前記複数のボイドを選択する、製造方法。
フィルタ装置の製造方法であって、
少なくとも１つのベース層と、前記ベース層上にある少なくとも１つのリリース装置と、前記リリース層上にある少なくとも１つの構造層との積層構造を有する基板を設けるステップと、
前記構造層上に少なくとも１つの導電層を形成するステップと、
前記導電層、前記構造層及び前記リリース層に複数のボイドを形成するステップと
を有し、前記複数のボイドは、１つ以上のギャップ閉鎖アクチュエータ（ＧＣＡ）バラクタを含む複数の水平ＧＣＡ装置を規定する複数のパターニングされた領域を規定し、
前記複数の水平ＧＣＡ装置の各々は、少なくとも１つのドライブくし形構造と、少なくとも１つの入力／出力（Ｉ／Ｏ）くし形構造と、前記ドライブくし形構造及び前記Ｉ／Ｏくし形構造とかみ合っている少なくとも１つのトラスくし形構造とを有し、前記リリース層にある前記複数のボイドは、前記トラスくし形構造の直下にまで伸び、前記トラスくし形構造が、少なくとも第１の嵌合位置及び第２の嵌合位置の間の移動軸に沿って動けるようにし、
前記複数のボイドを形成するステップにおいて、１つ以上のＧＣＡスイッチを規定し、前記ＧＣＡスイッチのうち少なくとも第１及び第２のものにおいて異なる第１及び第２の嵌合位置を設定するように前記複数のボイドを選択する、製造方法。
フィルタ装置の製造方法であって、
少なくとも１つのベース層と、前記ベース層上にある少なくとも１つのリリース装置と、前記リリース層上にある少なくとも１つの構造層との積層構造を有する基板を設けるステップと、
前記構造層上に少なくとも１つの導電層を形成するステップと、
前記導電層、前記構造層及び前記リリース層に複数のボイドを形成するステップであって、前記複数のボイドは、複数のパターニングされた領域を規定し、前記複数のパターニングされた領域は、１つ以上のギャップ閉鎖アクチュエータ（ＧＣＡ）バラクタを含む複数の水平ＧＣＡ装置を規定し、前記複数の水平ＧＣＡ装置の各々は、少なくとも１つのドライブくし形構造と、少なくとも１つの入力／出力（Ｉ／Ｏ）くし形構造と、前記ドライブくし形構造及び前記Ｉ／Ｏくし形構造とかみ合っている少なくとも１つのトラスくし形構造とを有し、前記リリース層にある前記複数のボイドは、前記トラスくし形構造の直下にまで伸び、前記トラスくし形構造が、少なくとも第１の嵌合位置及び第２の嵌合位置の間の移動軸に沿って動けるようにする、ステップと、
複数の固定容量素子を形成するステップと
を有し、前記複数の固定容量素子の各々は、前記ＧＣＡバラクタのうちの何れかに関連付けられかつ該関連する何れかのＧＣＡバラクタの最低容量値より小さな容量値を有する、製造方法。