JP2013251542A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2013251542A5
JP2013251542A5 JP2013112636A JP2013112636A JP2013251542A5 JP 2013251542 A5 JP2013251542 A5 JP 2013251542A5 JP 2013112636 A JP2013112636 A JP 2013112636A JP 2013112636 A JP2013112636 A JP 2013112636A JP 2013251542 A5 JP2013251542 A5 JP 2013251542A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
periodic
stitches
array
subarray
periodicity
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2013112636A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2013251542A (ja
JP5745573B2 (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from US13/482,955 external-priority patent/US8640060B2/en
Application filed filed Critical
Publication of JP2013251542A publication Critical patent/JP2013251542A/ja
Publication of JP2013251542A5 publication Critical patent/JP2013251542A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5745573B2 publication Critical patent/JP5745573B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Claims (16)

  1. 所定の方向のサブアレイを特徴付ける少なくとも共通の複数の周期的な値が所定の閾値よりも小さい場合に、1つ又はそれ以上のダイの周期的サブアレイを特徴付ける設計データから、近接基準に適合し、かつ、選択された方向における両立可能な周期性によって特徴付けられる、隣接する周期的サブアレイの対を識別するステップと、
    前記識別された隣接する周期的サブアレイの各々の対に対して、それぞれの候補ステッチを定める矩形を生成するステップと、
    前記候補ステッチの中で周期的ステッチを識別するステップと、
    コンピュータによって、前記周期的ステッチと前記周期的サブアレイとを統合して周期的アレイを作成するステップと、
    前記設計データに基づいて生成された前記周期的アレイを使用して、レシピを発生させるステップと、
    を含むことを特徴とする方法。
  2. 周期的サブアレイの対は、C1及びC2をそれぞれ所与の方向における前記周期的サブアレイを特徴付ける周期性値として、max{C1,C2}がmin{C1,C2}で割り切れる場合に、前記所与の方向における両立可能な周期性によって特徴付けられることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
  3. 候補ステッチは、乗数Kを正の整数とし、LCMを所与の方向おけるそれぞれの隣接する周期的サブアレイを特徴付ける周期性値の最小公倍数として、周期性値Cs=K*LCMによって前記所与の方向において特徴付けられる場合に、前記周期性基準を満たすことを特徴とする、請求項1に記載の方法。
  4. 前記候補ステッチの中で周期的ステッチを識別するステップは、前記候補ステッチ区域内で、前記周期性基準を満たす1つ又はそれ以上の周期的断片を識別するステップを含むことを特徴とする、請求項1に記載の方法。
  5. 前記候補ステッチの中で周期的ステッチを識別するステップは、断片化基準を満たす周期的ステッチを識別するステップをさらに含むことを特徴とする、請求項4に記載の方法。
  6. 周期的ステッチは、該周期的ステッチ内の周期的断片の数が断片化閾値より小さく、各断片のそれぞれの方向におけるサイズが断片サイズ閾値より小さくない場合に、断片化基準を満たすことを特徴とする、請求項5に記載の方法。
  7. 前記周期的ステッチと前記周期的サブアレイとを統合して周期的アレイを作成するステップは、
    前記識別された各々の対の中の前記サブアレイを連結して、連結サブアレイにするステップと、
    1つ又はそれ以上のサブアレイ及びそれらの間のステッチを含む最大周期的グループであって、前記グループ内の隣接するサブアレイのあらゆる対がそれらの間に周期的ステッチを有する連結されたサブアレイであり、それらすべてのサブアレイが前記グループに含まれることで特徴付けられる最大周期的グループを生成するステップと、
    1つ又はそれ以上の重ならない均一化最大周期的グループを取得するステップと、
    同じ前記均一化最大周期的グループに属するサブアレイ及び周期的ステッチを単一の統合周期的アレイに統合し、このアレイに、それぞれの前記グループを特徴付ける前記周期性値を割り当てるステップと、
    を含むことを特徴とする、請求項1に記載の方法。
  8. 前記重ならない均一化最大周期的グループは、それぞれのグループにおける全てのサブアレイに等しい周期性値によって特徴付けされることを特徴とする、請求項7に記載の方法。
  9. プロセッサと、
    前記プロセッサによってアクセス可能なメモリと、
    を備えるシステムであって、
    前記メモリは、前記プロセッサに、以下の機能、即ち
    所定の方向のサブアレイを特徴付ける少なくとも共通の複数の周期的な値が所定の閾値よりも小さい場合に、1つ又はそれ以上のダイの周期的サブアレイを特徴付ける設計データから、近接基準に適合し、かつ、選択された方向における両立可能な周期性によって特徴付けられる、隣接する周期的サブアレイの対を識別するステップと、
    前記識別された隣接する周期的サブアレイの各々の対に対して、それぞれの候補ステッチを定める矩形を生成するステップと、
    前記候補ステッチの中で周期的ステッチを識別するステップと、
    コンピュータによって、前記周期的ステッチと前記周期的サブアレイとを統合して周期的アレイを作成するステップと、
    前記設計データに基づいて生成された前記周期的アレイを使用して、レシピを発生させるステップと、
    を実行させる機械命令を格納する、
    ことを特徴とするシステム。
  10. 周期的サブアレイの対は、C1及びC2をそれぞれ所与の方向における前記周期的サブアレイを特徴付ける周期性値として、max{C1,C2}がmin{C1,C2}で割り切れる場合に、前記所与の方向における両立可能な周期性によって特徴付けられることを特徴とする、請求項9に記載のシステム。
  11. 候補ステッチは、周期性値Cs=K*max{Cy1,Cy2}によって所与の方向において特徴付けられる場合に周期性基準を満たし、乗数Kは正の整数であり、C1及びC2の各々は、前記所与の方向におけるそれぞれの隣接する周期性サブアレイを特徴付ける周期性値である、請求項9に記載のシステム。
  12. 前記候補ステッチの中で周期的ステッチを識別するステップは、前記候補ステッチ区域内で、前記周期性基準を満たす1つ又はそれ以上の周期的断片を識別するステップを含むことを特徴とする、請求項9に記載のシステム。
  13. 前記候補ステッチの中で周期的ステッチを識別するステップは、断片化基準を満たす周期的ステッチを識別するステップをさらに含むことを特徴とする、請求項12に記載のシステム。
  14. 周期的ステッチは、該周期的ステッチ内の周期的断片の数が断片化閾値より小さく、各断片のそれぞれの方向におけるサイズが断片サイズ閾値より小さくない場合に、断片化基準を満たすことを特徴とする、請求項13に記載のシステム。
  15. 前記周期的ステッチと前記周期的サブアレイとを統合して周期的アレイを作成することは、
    前記識別された各々の対の中の前記サブアレイを連結して、連結サブアレイにすることと、
    1つ又はそれ以上のサブアレイ及びそれらの間のステッチを含む最大周期的グループであって、前記グループ内の隣接するサブアレイのあらゆる対がそれらに間に周期的ステッチを有する連結されたサブアレイであり、それらすべてのサブアレイが前記グループに含まれることを特徴とする最大周期的グループを生成することと、
    1つ又はそれ以上の重ならない均一化最大周期的グループを取得することと、
    同じ前記均一化最大周期的グループに属するサブアレイ及び周期的ステッチを単一の統合周期的アレイに統合し、このアレイに、それぞれの前記グループを特徴付ける前記周期性値を割り当てることと、
    を含むことを特徴とする、請求項9に記載のシステム。
  16. 処理システムによって実行されるとき、前記処理システムに、
    所定の方向のサブアレイを特徴付ける少なくとも共通の複数の周期的な値が所定の閾値よりも小さい場合に、1つ又はそれ以上のダイの周期的サブアレイを特徴付ける設計データから、近接基準に適合し、かつ、選択された方向における両立可能な周期性によって特徴付けられる、隣接する周期的サブアレイの対を識別するステップと、
    前記識別された隣接する周期的サブアレイの各々の対に対して、それぞれの候補ステッチを定める矩形を生成するステップと、
    前記候補ステッチの中で周期的ステッチを識別するステップと、
    コンピュータによって、前記周期的ステッチと前記周期的サブアレイとを統合して周期的アレイを作成するステップと、
    前記設計データに基づいて生成された前記周期的アレイを使用して、レシピを発生させるステップと、
    を含む方法を実行させる命令を含むことを特徴とする、非一時的コンピュータ可読媒体。
JP2013112636A 2012-05-29 2013-05-29 製造ツールのレシピを生成する方法及びそのシステム Active JP5745573B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US13/482,955 2012-05-29
US13/482,955 US8640060B2 (en) 2012-05-29 2012-05-29 Method of generating a recipe for a manufacturing tool and system thereof

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2013251542A JP2013251542A (ja) 2013-12-12
JP2013251542A5 true JP2013251542A5 (ja) 2014-09-18
JP5745573B2 JP5745573B2 (ja) 2015-07-08

Family

ID=49671900

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013112636A Active JP5745573B2 (ja) 2012-05-29 2013-05-29 製造ツールのレシピを生成する方法及びそのシステム

Country Status (4)

Country Link
US (1) US8640060B2 (ja)
JP (1) JP5745573B2 (ja)
KR (1) KR101521190B1 (ja)
TW (1) TWI474208B (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9141730B2 (en) * 2011-09-12 2015-09-22 Applied Materials Israel, Ltd. Method of generating a recipe for a manufacturing tool and system thereof
US10012689B2 (en) 2015-03-25 2018-07-03 Applied Materials Israel Ltd. Method of inspecting a specimen and system thereof
US10671786B2 (en) 2016-11-29 2020-06-02 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Method of modeling a mask by taking into account of mask pattern edge interaction
US10466586B2 (en) 2016-11-29 2019-11-05 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Method of modeling a mask having patterns with arbitrary angles
CN109246257B (zh) * 2018-10-12 2021-10-08 平安科技(深圳)有限公司 流量调配方法、装置、计算机设备及存储介质
CN109446695A (zh) * 2018-11-08 2019-03-08 中铁山桥集团有限公司 一种基于acad快速拼图的方法
US20220230314A1 (en) * 2021-01-15 2022-07-21 Kulicke And Soffa Industries, Inc. Intelligent pattern recognition systems for wire bonding and other electronic component packaging equipment, and related methods

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3191710B2 (ja) * 1997-01-20 2001-07-23 日本電気株式会社 図形一括電子線描画用マスク及び図形一括電子線描画用マスク作成方法並びに図形一括電子線描画装置
US6486066B2 (en) * 2001-02-02 2002-11-26 Matrix Semiconductor, Inc. Method of generating integrated circuit feature layout for improved chemical mechanical polishing
US6886153B1 (en) * 2001-12-21 2005-04-26 Kla-Tencor Corporation Design driven inspection or measurement for semiconductor using recipe
JP4868727B2 (ja) * 2004-09-27 2012-02-01 株式会社東芝 自動検査レシピ作成装置及び作成方法
US7869643B2 (en) * 2007-01-31 2011-01-11 Applied Materials South East Asia Pte. Ltd. Advanced cell-to-cell inspection
KR100924338B1 (ko) * 2007-06-25 2009-11-05 주식회사 하이닉스반도체 선형 패턴 어레이 형성 방법, 이에 따른 반도체 소자 및이에 사용되는 포토 마스크
US9141730B2 (en) * 2011-09-12 2015-09-22 Applied Materials Israel, Ltd. Method of generating a recipe for a manufacturing tool and system thereof

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2013251542A5 (ja)
JP6726246B2 (ja) 畳み込みニューラルネットワークにおいて演算を実行する方法および装置並びに非一時的な記憶媒体
WO2015126968A3 (en) Data management systems and methods
WO2016183028A3 (en) Methods and architecture for enhanced computer performance
US9411659B2 (en) Data processing method used in distributed system
JP2020527794A5 (ja)
JP2014501013A5 (ja)
EP2804101A3 (en) Automated scaling of applications in virtual data centers
JP2017538194A5 (ja)
MX2015008799A (es) Sistema y metodo para motores de consulta de base de datos distribuidos.
JP2013534007A5 (ja)
JP2013536958A5 (ja)
JP2017520058A5 (ja)
JP2015522887A5 (ja)
JP2017529580A5 (ja)
JP2013164704A5 (ja)
JP2010186272A5 (ja)
JP2014211718A5 (ja)
WO2018205689A1 (zh) 合并文件的方法、存储装置、存储设备和存储介质
EP3242227A4 (en) Page querying method and data processing node in oltp cluster database
WO2017222533A3 (en) Parallel, distributed processing in a heterogeneous, distributed environment
JP2010162745A5 (ja)
US20150254873A1 (en) Parallel image compression
JP6365102B2 (ja) データ処理装置およびプログラム
Thoni et al. Novel strategies for hardware acceleration of frequent itemset mining with the apriori algorithm