JP2013250069A - Inspection jig of optical component - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、光学顕微鏡による光学部品の欠陥検査時に用いる検査用治具に関する。 The present invention relates to an inspection jig used for defect inspection of an optical component by an optical microscope.
従来、各種の光学機器に使用される光学部品の製造工程において、当該光学部品を複数個ひとまとまりとしてトレーと称される保持具により保持して管理する方法が知られている。
図11に、光学部品を保持した状態のトレーの断面図を示す。
光学部品1は、レンズ部2と、レンズ部2の外周を囲うフランジ部3との2つの部位を備えて構成されている。
また、トレー4には、複数の凹部5が形成され、各凹部5の中央には、貫通孔6が形成されており、トレー4の各凹部5に光学部品1のフランジ部3が載置されて、貫通孔6からレンズ部2の一面が露出するようになっている。
2. Description of the Related Art Conventionally, in a manufacturing process of optical components used in various optical devices, a method is known in which a plurality of optical components are held together and managed by a holder called a tray.
FIG. 11 is a cross-sectional view of the tray in a state where the optical component is held.
The
In addition, a plurality of
ところで、光学部品には、その製造過程においてキズや割れ等の各種の欠陥が生じることがある。こうした欠陥は、光学部品の性能に甚大な影響を及ぼす恐れがあるため、欠陥検査を入念に行う必要がある。欠陥検査としては、例えば、光学顕微鏡を利用した目視検査が行われている。また、CCD画像を撮像し、その画像から欠陥を検出することも行われている。
こうした欠陥検査は、光学部品がトレーに保持された状態のまま行う方法が一般的に用いられる。かかる方法であれば、当該欠陥検査終了後にも、光学部品がトレーに整列された状態となっているため好ましい。
近年では、欠陥検査を自動的に行う装置が提案されており、例えば、トレーをXY方向に移動可能なテーブルや位置決め機能を備えたロボットにセットし、固定された検査用カメラと検査用光源に対してトレーを移動させて、当該トレーに保持された光学部品の欠陥検査用の画像を得る装置が開示されている(例えば、特許文献1参照)。
更に、このような欠陥検査においては、光学部品のレンズ部周縁部(レンズ部のフランジ部に近い部分)を検査する場合、レンズ部中央部を検査する場合と焦点位置が異なるため、焦点位置合わせのためにトレーを傾けることも行われている。
By the way, various defects such as scratches and cracks may occur in the optical component during the manufacturing process. Such defects can have a significant impact on the performance of the optical components, so it is necessary to carefully perform defect inspection. As the defect inspection, for example, a visual inspection using an optical microscope is performed. In addition, a CCD image is taken and a defect is detected from the image.
In general, such defect inspection is performed while the optical component is held in a tray. Such a method is preferable because the optical components are aligned on the tray even after the defect inspection is completed.
In recent years, an apparatus that automatically performs defect inspection has been proposed. For example, a tray is set on a table that can move in the XY direction or a robot having a positioning function, and a fixed inspection camera and inspection light source are used. On the other hand, an apparatus for moving a tray to obtain an image for defect inspection of an optical component held on the tray is disclosed (for example, refer to Patent Document 1).
Furthermore, in such a defect inspection, when inspecting the peripheral part of the lens part of the optical component (the part close to the flange part of the lens part), the focus position is different from the case of inspecting the central part of the lens part. Tilt the tray for the sake of it.
しかしながら、トレーを傾けて検査する場合、例えば、トレーの回転軸中心から離れた位置にある光学部品を検査するには、トレーの回転軸中心近くの光学部品を検査するのに比べて焦点位置合わせのためにトレーを傾ける際の移動量が大きくなるため、焦点位置合わせにおける作業負荷が大きく、結果として1つのトレーにかかる検査時間を長時間化させるという問題があった。 However, when inspecting with the tray tilted, for example, when inspecting an optical component at a position away from the center of rotation of the tray, focus alignment is performed compared to inspecting an optical component near the center of rotation of the tray. For this reason, the amount of movement when the tray is tilted is increased, so that the work load in focusing is large, resulting in a problem that the inspection time for one tray is lengthened.
本発明の課題は、光学部品の欠陥検査において、光学顕微鏡の焦点合せに関する作業負荷を低減し、検査時間の短縮を図ることのできる光学部品の検査用治具を提供することである。 An object of the present invention is to provide an optical component inspection jig capable of reducing the work load related to focusing of an optical microscope and reducing the inspection time in defect inspection of optical components.
本発明の一の態様によれば、
光学顕微鏡による光学部品の検査時に用いる検査用治具であって、
基台と、
前記基台上に直線状に設けられた第1レールと、
前記第1レール上に当該第1レールに沿って移動可能に配された支持部と、
前記支持部に、前記第1レールの延在方向に沿った回動軸に対して揺動可能に支持された保持体と、
前記保持体上に前記第1レールの延在方向と直交するよう直線状に設けられた第2レールと、
前記第2レール上に当該第2レールに沿って移動可能に配され、複数の光学部品を保持したトレーを載置する可動部と、
を備えることを特徴とする。
According to one aspect of the invention,
An inspection jig used when inspecting an optical component with an optical microscope,
The base,
A first rail linearly provided on the base;
A support portion disposed on the first rail so as to be movable along the first rail;
A holding body supported by the support portion so as to be swingable with respect to a rotation axis along the extending direction of the first rail;
A second rail provided linearly on the holding body so as to be orthogonal to the extending direction of the first rail;
A movable part on the second rail, which is movably disposed along the second rail, and on which a tray holding a plurality of optical components is placed;
It is characterized by providing.
本発明によれば、光学顕微鏡の光軸中心を回動軸上に合わせ、その交点を観察ポイントとし、トレーを第1レールと第2レールに沿って移動させて当該観察ポイントに順番に光学部品を合せて検査を行うようになっている。
このとき、保持体と別個に可動部が第2レールに沿って移動できるので、観察ポイントが常に回動軸上となるように可動部を移動させることができることとなって、トレー上のどの位置にある光学部品であっても、焦点合わせのためのトレーの移動量を最小ですませることができる。よって、光学部品の欠陥検査において、光学顕微鏡の焦点合せに関する作業負荷を低減し、検査時間の短縮を図ることができる。
According to the present invention, the optical axis center of the optical microscope is aligned with the rotation axis, the intersection is set as an observation point, the tray is moved along the first rail and the second rail, and the optical components are sequentially moved to the observation point. It is designed to perform inspections.
At this time, since the movable part can move along the second rail separately from the holding body, the movable part can be moved so that the observation point is always on the rotation axis. Even with the optical components in the above, the amount of movement of the tray for focusing can be minimized. Therefore, in the defect inspection of the optical component, it is possible to reduce the work load related to focusing of the optical microscope and shorten the inspection time.
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。ただし、発明の範囲は、図示例に限定されない。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. However, the scope of the invention is not limited to the illustrated examples.
先ず、構成について説明する。
本発明の実施の形態にかかる検査用治具100は、光学顕微鏡により光学部品Kのキズや割れ、異物混入などの欠陥検査を行うために用いられるものである。
検査用治具100は、光学顕微鏡の対物レンズの下方に設置され、複数の光学部品Kをひとまとまりとして載置したトレー10を水平面内で移動させて、当該トレー10に載置された複数の光学部品Kに対して順番に目視観察を行うことを可能とする。
First, the configuration will be described.
The
The
検査用治具100は、図1〜5に示すように、基台20と、基台20上に設けられた第1レール30と、第1レール30上に配された支持部40と、支持部40に揺動可能に支持された保持体50と、保持体50上に設けられた第2レール60と、第2レール60上に配され、トレー10が載置されるステージ70と、操作部80と、等を備えて構成されている。
なお、以下の説明において、第1レール30の延在方向を左右方向(X方向)とし、第2レール60の延在方向を前後方向(Y方向)とし、X及びY方向と直交する方向を上下方向(Z方向)とする。
As shown in FIGS. 1 to 5, the
In the following description, the extending direction of the
ここで、トレー10について説明する。
トレー10は、図6、7に示すように、その上面側に光学部品Kの載置される平面視略矩形状のプレートである。
トレー10には、その上面から下面側に向けて窪む平面視円形状の凹部11がマトリックス状を成して複数形成されており、各凹部11の中央には、その上下面を貫通する平面視円形状の貫通孔12が形成されている。
また、トレー10の左側部及び右側部には、それぞれ2つずつ切り欠き13、13が形成されている。
また、光学部品Kは、光学機能を有する光学面R1の形成されたレンズ部Rと、レンズ部Rの外周を囲うフランジ部Fとの2つの部位を備えている。光学面R1は、フランジ部Fより凸となっている。
そして、トレー10の各凹部11に光学部品Kのフランジ部Fが載置され、貫通孔12に光学部品Kの一方の光学面R1が配置されるようにして、トレー10に、複数の光学部品Kが載置される。
従って、光学部品Kは、トレー10に載置された状態で、他方の光学面R1及びフランジ部Fが上面に露出されている。
Here, the
As shown in FIGS. 6 and 7, the
The
Further, two
Further, the optical component K includes two portions, that is, a lens portion R on which an optical surface R1 having an optical function is formed and a flange portion F that surrounds the outer periphery of the lens portion R. The optical surface R1 is more convex than the flange portion F.
A plurality of optical components are mounted on the
Therefore, in the state where the optical component K is placed on the
なお、トレー10に載置される光学部品Kとしては、例えば、眼鏡、カメラ、撮像素子、光ピックアップ装置等に使用される樹脂性の光学レンズなどが挙げられる。
また、本実施形態の検査用治具100において検査可能な光学部品Kの大きさに特に制限はないが、例えば、平面視における直径(フランジ部Fまで含む)が5.5mm〜3mmに設計されたものなどに好適に用いられる。
また、トレー10に載置される光学部品Kの数に特に限定はないが、本実施形態においては、図6に示すように、X方向にa〜fの6列、Y方向にA〜Gの7行の計42個の光学部品Kが保持されたトレー10を例示する。
Examples of the optical component K placed on the
The size of the optical component K that can be inspected in the
Further, although the number of optical components K placed on the
基台20は、水平に配される長方形状の水平板21と、4本の脚部22とを備え、光学顕微鏡の観察台(図示省略)を跨ぐように設置される。
水平板21の後部中央には、光学顕微鏡に押し当てる凹部21aが形成されている。
The
In the center of the rear part of the
第1レール30は、平行な一対のレール部材31、32を備えている。
レール部材31、32は直線状であって、水平板21上の一方向(左右方向:X方向)に延在するように配設されている。
レール部材31、32の上には、当該レール部材31、32に沿って移動する支持部40が設置される。
The
The
On the
支持部40は、レール部材31、32に掛け渡すように配され、左右一対となる右支持部40R及び左支持部40Lを備えている。
右支持部40R及び左支持部40Lは、レール部材31、32のそれぞれに摺動可能に嵌め込まれる2つの嵌合部41、42と、2つの嵌合部41、42を連結する連結部43とを備えている。なお、嵌合部41、42及び連結部43は、一体に形成されることとしても良い。
また、右支持部40R及び左支持部40Lにおいて、連結部43の中央部には、固定ピン保持部44が立設され、固定ピン保持部44の上端部には、X方向に沿った固定ピン45が挿通されている。
なお、以下の説明において、右支持部40Rの固定ピン45と、左支持部40Lの固定ピン45とを結んだ仮想線を回動軸L1と称する。
The
The
In the
In the following description, an imaginary line connecting the fixing
また、固定ピン保持部44には、固定ピン45に直交する方向に抜き差し可能な固定ネジ(回動規制部材)46が備えられている。固定ネジ46は、ユーザーにより固定ピン45に対して抜き差しされ、その先端部が固定ピン45に当接した状態において、当該固定ピン45が回動しないよう固定させるものである。
Further, the fixed
このような右支持部40R及び左支持部40Lの間には、保持体50が固定ピン45、45を介して備えられており、これにより、右支持部40R及び左支持部40Lは連結されて同時に左右方向に移動するようになっている。
なお、かかる支持部40(右支持部40R及び左支持部40L)の移動は、後述する操作部80をユーザーが左右に動かすことによって実行される。
A holding
Note that the movement of the support unit 40 (the
また、左支持部40Lの連結部43には、上下方向に貫通して抜き差し可能な固定ネジ(第1移動規制部材)47が備えられている。固定ネジ47は、ユーザーにより連結部43に対して上下方向に抜き差しされ、その先端部が水平板21に当接した状態において、支持部40が移動しないよう固定させるものである。
Further, the connecting
また、右支持部40R及び左支持部40Lにおいて、連結部43の前側上部には、左右方向にスライド可能なストッパー48が備えられている。
ストッパー48は、保持体50に当接した状態において当該保持体50が水平状態を維持するように固定させるものである。
In the
The
保持体50は、右支持部40R及び左支持部40Lの固定ピン45、45により、支持部40に揺動可能に支持されている。
具体的に、保持体50は、Y方向に長尺な左右一対の側面部51R、51Lと、側面部51R、51Lの下端部から互いに向かい合うように延出したY方向に長尺な底面部52R、52Lと、を備えている。
そして、側面部51R、51Lの後方は、固定ピン45、45を介して右支持部40R及び左支持部40Lに固定され、保持体50は、この固定ピン45、45を軸として揺動可能となっている(図5参照)。
なお、最大傾斜角は、±12°程度である。
かかる保持体50の揺動は、後述する操作部80をユーザーが動かすことによって実行される。
The holding
Specifically, the holding
The rear portions of the
The maximum inclination angle is about ± 12 °.
The swinging of the holding
また、側面部51Lには、左右方向に貫通して抜き差し可能な固定ネジ(第2移動規制部材)53が備えられている。固定ネジ53は、ユーザーにより側面部51Lに対して左右方向に抜き差しされ、当該固定ネジ53の側面部が、後述するステージ70の可動部72の後端部に当接した状態において、この可動部72が移動しないよう固定させるものである。
また、底面部52R、52Lの上には、第2レール60が設置されている。
The
Further, the
第2レール60は、平行な一対のレール部材61、62を備えている。
レール部材61、62は、第1レール30の延在方向(X方向)と直交する方向(前後方向:Y方向)に延在するよう配設されている。
このうち、レール部材61は、下部材61aと、下部材61a上をY方向にスライド可能な上部材61bとが重ね合わされて構成されている。なお、上部材61bをスライドさせた際に、当該上部材61bが下部材61aから抜け落ちることはない。
下部材61aは、保持体50の底面部52L上に載置され、図示しない係止ピンによって固定されている。また、上部材61bは、図示しない係止ピンによってその上部に配される可動部72に固定されている。
同様に、レール部材62も、下部材62aと、下部材62a上をY方向にスライド可能な上部材62bとが重ね合わされて構成されている。なお、上部材62bをスライドさせた際に、当該上部材62bが下部材62aから抜け落ちることはない。
下部材62aは、保持体50の底面部52R上に載置され、図示しない係止ピンによって固定されている。また、上部材62bは、図示しない係止ピンによってその上部に配される可動部72に固定されている。
The
The
Among these, the
The
Similarly, the
The
ステージ70は、2枚の板体である固定部71及び可動部72を重ね合わせて構成されている。
The
固定部71は、保持体50の側面部51Rと側面部51Lとの間を固定するための部材であり、レール部材61、62の間隙に嵌め込まれて、その左右両側部が底面部52L、52R上に載置されるように設置されている。
また、固定部71上には、可動部72がY方向にスライド可能に保持されている。
なお、固定部71は、その後端部が回動軸L1より手前に位置するように設計されることが好ましい。これにより、固定部71の後端部が回動軸L1と重なり光学部品Kの観察の邪魔となるのを防止することができる。
The fixing
On the fixed
In addition, it is preferable that the fixing | fixed
可動部72は、固定部71より左右方向に幅広な寸法に形成され、その左右方向両側部がレール部材61、62の上部材61b、62b上に配された状態で固定されている。このため、可動部72は、図8、9に示すように、レール部材61、62の上部材61b、62bのスライドに伴ってY方向にスライドすることとなる。
The
なお、可動部72の前端部両側方には図示しない突起部が備えられている。
かかる突起部は、可動部72を後方にスライドさせた場合に、底面部52R、52Lの後端部に設けられた突起部(図示省略)と当接し、可動部72の後方へのスライドを所定位置にて停止させるものである。突起部は、例えば、トレー10のA行からG行にかけて検査を行う場合、最終行であるG行が光軸中心L2の下となる位置で可動部72のスライドが停止するように、位置決めされる。
これによって、検査中、可動部72を後方にスライドさせた場合に、凹部21aに設置された光学顕微鏡に当該可動部72が衝突するのが防止されるようになっている。即ち、凹部21aに設置された光学顕微鏡に可動部72が不用意に衝突して光学部品Kがトレー10から飛散する事態が発生するのを防止することができる。
なお、可動部72のスライド停止機構は、上記した構成に限定されるものではなく、可動部72のスライドを所定位置で停止できるものであれば如何なる構成であっても良い。
また、かかる可動部72のスライドは、後述する操作部80をユーザーが前後に動かすことによって実行される。
Note that protrusions (not shown) are provided on both sides of the front end portion of the
When the
This prevents the
The slide stopping mechanism of the
Further, the sliding of the
また、可動部72は、平面視略矩形状に形成され、可動部72上面には、トレー10を載置した際に当該トレー10の位置を決める位置決め部材73が備えられている。
位置決め部材73は、可動部72上面より上方に突出し、可動部72上面の左側部及び右側部にそれぞれ2つずつ配されている。各位置決め部材73は、その内側に、トレー10の切り欠き13に嵌め込むための凸部73aが設けられている。
トレー10は、位置決め部材73の凸部73aが切り欠き13に嵌め込まれることで可動部72上に固定され、移動や傾斜した際に不用意に位置ずれするのが防止されるようになっている。
また、トレー10を可動部72上に固定した状態において、当該トレー10の前端部及び後端部が可動部72の前端部及び後端部より僅かに突出するように構成されており、これによりトレー10の着脱を容易に行うことができるようになっている。
また、左手前方の位置決め部材73の上部には、操作部80が備えられている。
The
The
The
In addition, in a state where the
An
操作部80は、左手前方の位置決め部材73の上部に設置された固定部81と、固定部81から前方に突出した棒状の把持部82と、を備えている。
この操作部80は、トレー10を左右方向(X方向)や前後方向(Y方向)に移動させる場合や、トレー10を傾斜させる場合に、ユーザーが使用するためのものである。
The
The
具体的に、ユーザーが把持部82に対して前後方向に力を加えると、固定部81を介して可動部72に前後方向の力が作用し、可動部72が前後方向に移動するので、図8、9に示すように、トレー10も前後方向(Y方向)に移動することとなる。
また、ユーザーが把持部82に対して左右方向に力を加えると、固定部81、ステージ70、第2レール60、保持体50、及び支持部40に左右方向の力が作用し、これらが一体となって左右方向にスライドするので、図示はしないが、トレー10が左右方向(X方向)に移動することとなる。
また、ユーザーが把持部82に対して上下方向に力を加えると、固定部81、ステージ70、第2レール60、及び保持体50に上下方向の力が作用し、これらが一体となって固定ピン45に対して揺動することで、図5、10に示すように、トレー10が傾斜することとなる。
このように、操作部80を操作することで、トレー10の移動量・傾斜角度をユーザーが任意に調節することができる。
なお、把持部82の長さは、例えば三段階に切り替え可能となっており、ユーザーの好みに応じて調節することが可能である。
Specifically, when the user applies a force in the front-rear direction to the
Further, when the user applies a force in the left-right direction with respect to the gripping
Further, when the user applies a force in the vertical direction to the gripping
Thus, by operating the
Note that the length of the gripping
次に、上述のような検査用治具100を用いた欠陥検査の動作を説明する。
なお、この欠陥検査は、ユーザーが左手で操作部80を操作し、右手にピンセット等を持った状態にて、A行a列の光学部品K(図6参照)から、G行f列の光学部品K(図6参照)まで順番に観察し、不良品が発見された場合には、その場でその不良品をトレー10から取り出すようにして行われるものである。
Next, an operation of defect inspection using the
In this defect inspection, the user operates the
先ず、ユーザーは、支持部40が、図1、2等に示すように、右手前方にある状態(当初位置)であることを確認する。
次いで、ユーザーは、光学部品Kを保持したトレー10を、位置決め部材73の間にセットする。
なお、当初位置においては、保持体50、第2レール60、及びステージ70が一体となって、その前端部が下方となるように傾斜することとなるため、保持体50が水平状態を維持するようにストッパー48にて固定し、この状態においてトレー10のセットを行う。
First, the user confirms that the
Next, the user sets the
In the initial position, the holding
次いで、ユーザーは、当初位置において、光学顕微鏡の対物レンズ90の光軸中心L2が、回動軸L1上に重なるように位置合わせを行う。この光軸中心L2と回動軸L1との交点が、観察ポイントとなる。
また、ユーザーは、操作部80を操作して、A行a列(図6参照)の光学部品Kを観察ポイントに合せる。これにより、A行の全列の光学部品Kの光学面R1の中心が回動軸L1上に重なることとなる。
なお、本実施形態においては、検査用治具100は、支持部40が当初位置にある場合に、水平板21の凹部21aに光学顕微鏡を押し当てた際に、対物レンズ90の光軸中心L2が、回動軸L1上のA行a列の光学部品Kに重なるように設計されており、上記したセッティング作業(光軸中心L2と回動軸L1とA行a列の光学部品Kとの位置合わせ)を短時間で容易に行うことが可能となっている。
Next, at the initial position, the user performs alignment so that the optical axis center L2 of the
In addition, the user operates the
In this embodiment, the
次いで、ユーザーは、保持体50に当接したストッパー48を、保持体50から離間させるようにスライドさせて保持体50の固定を解除する。
Next, the user releases the fixing of the holding
次いで、ユーザーは、A行a列の光学部品Kの観察を行う。
次いで、ユーザーは、操作部80を操作して、トレー10をX方向(左方向)に移動させながら、A行の光学部品Kをb列目からf列目まで順に観察する。
このとき、A行の光学部品Kの光学面R1の中心は回動軸L1上に在るため、トレー10を一列ずつX方向(左方向)に移動させるだけで、b列目からf列目までの光学部品Kを順番に観察ポイントに合せることができる。
Next, the user observes the optical component K in A row and a column.
Next, the user operates the
At this time, since the center of the optical surface R1 of the optical component K in the A row is on the rotation axis L1, it is only necessary to move the
次いで、A行f列の光学部品Kの観察まで終了すると、ユーザーは、操作部80を操作して、トレー10をY方向(後ろ方向)に1行分移動させ、B行f列の光学部品Kを観察ポイントに合せる。即ち、回動軸L1に対してトレー10をY方向(後ろ方向)に1行分移動させ、これにより、B行の全列の光学部品Kの光学面R1の中心が回動軸L1上に重なることとなる。
次いで、ユーザーは、このB行f列の光学部品Kの観察を行う。
Next, when the observation up to the observation of the optical component K in the A row and the f column is completed, the user operates the
Next, the user observes the optical component K in the B row and the f column.
次いで、ユーザーは、操作部80を操作して、トレー10をX方向(右方向)に移動させながら、B行の光学部品Kをe列目からa列目まで順に観察する。
このとき、B行の光学部品Kの光学面R1の中心は回動軸L1上に在るため、トレー10を一列ずつX方向(右方向)に移動させるだけで、e列目からa列目までの光学部品Kを順番に観察ポイントに合せることができる。
Next, the user operates the
At this time, since the center of the optical surface R1 of the optical component K in the B row is on the rotation axis L1, the
以下、同様にして、G行f列の光学部品Kまで順次観察を行い、全ての観察が終了すると支持部40を当初位置に戻し、ストッパー48を保持体50に当接するようスライドさせて保持体50を固定し、一連の動作は終了する。
In the same manner, the observation is sequentially performed up to the optical component K in the G row and the f column, and when all the observations are completed, the
また、上記した一連の動作において、光学部品Kを斜めから観察する場合には、図5、10に示すように、操作部80を上下に操作することでトレー10を傾斜させ、光学部品Kを光軸に対して傾斜させる。
このとき、光軸中心L2(観察ポイント)が回動軸L1上にあるため、焦点合わせのためのトレー10の移動量を最小ですませることができる。
Further, in the series of operations described above, when the optical component K is observed obliquely, as shown in FIGS. 5 and 10, the
At this time, since the optical axis center L2 (observation point) is on the rotation axis L1, the movement amount of the
また、上記した一連の動作において、固定ネジ46、47、53を差し込むことで、トレー10を適宜固定することができる。
Further, in the series of operations described above, the
以上のように、本実施形態によれば、光学顕微鏡の光軸中心L2を回動軸L1上に合わせ、その交点を観察ポイントとし、トレー10を第1レール30と第2レール60に沿って移動させて当該観察ポイントに順番に光学部品Kを合せて検査を行うようになっている。
このとき、保持体50と別個に可動部72が第2レール60に沿って移動できるので、観察ポイントが常に回動軸L1上となるように可動部72を移動させることができることとなって、トレー10上のどの位置にある光学部品Kであっても、焦点合わせのためのトレー10の移動量を最小ですませることができる。
よって、光学部品Kの欠陥検査において、光学顕微鏡の焦点合せに関する作業負荷を低減し、検査時間の短縮を図ることができる。
また、XY方向にトレー10を順番に移動させていく構成であるため、欠陥検査の際の列飛ばしが減少し、操作性が良好となる。
また、欠陥検査には、光学部品Kに上方から光を照射して反射させ、主に光学部品K表面の傷や汚れ等を観察する手法と、光学部品Kに下方から光を照射して透過させ、光学部品K内部の異物等を観察する手法と、の2種類がある。このため、基台20の水平板21、及びトレー10が載置される可動部72は透明部材である必要があり、また、この透明部材に傷や汚れ等があると、光学部品Kの不良とユーザーが誤判定する虞があって作業性が低下するため、当該透明部材においては傷や汚れ等が無いことが求められる。
本実施形態によれば、基台20に接触して移動する部材がないため、基台20に傷や汚れ等ができづらく、このため、基台20の傷や汚れに起因する誤判定の可能性が低減され、作業性が低下することがない。
As described above, according to the present embodiment, the optical axis center L2 of the optical microscope is aligned with the rotation axis L1, the intersection is set as an observation point, and the
At this time, since the
Therefore, in the defect inspection of the optical component K, the work load related to the focusing of the optical microscope can be reduced, and the inspection time can be shortened.
In addition, since the
In addition, for defect inspection, the optical component K is irradiated with light from above and reflected to mainly observe the scratches and dirt on the surface of the optical component K, and the optical component K is irradiated with light from below and transmitted. And a method of observing foreign matter or the like inside the optical component K. For this reason, the
According to the present embodiment, since there is no member that moves in contact with the
また、本実施形態によれば、支持部40には、固定ピン45に対して直交する方向から抜き差し可能に挿通され、固定ピン45に当接した状態において固定ピン45の回動を規制する固定ネジ46を備えている。
このため、トレー10を傾斜させた状態で固定することができ、作業性が向上する。
Further, according to the present embodiment, the
For this reason, the
また、本実施形態によれば、支持部40には、上下方向に抜き差し可能に挿通され、基台20の水平板21に当接した状態において支持部40の第1レール30に沿った移動を規制する固定ネジ47を備えている。
このため、トレー10をX方向に任意の距離移動させた状態で固定することができ、作業性が向上する。
Further, according to the present embodiment, the
For this reason, the
また、本実施形態によれば、保持体50には、第1レール30に沿った方向から抜き差し可能に挿通され、可動部72に当接した状態において可動部72の第2レール60に沿った移動を規制する固定ネジ53を備えている。
このため、トレー10をY方向に任意の距離移動させた状態で固定することができ、作業性が向上する。
Further, according to the present embodiment, the holding
For this reason, the
また、本実施形態によれば、可動部72の側面には、支持部40及び可動部72の移動と、保持体50の揺動とを実行する際に、ユーザーが操作する操作部80が備えられている。
このため、ユーザーは操作部80を用いて、トレー10の移動及び傾斜を実行することができ、作業性が向上する。
Further, according to the present embodiment, the
For this reason, the user can move and tilt the
また、本実施形態によれば、トレー10が可動部72に載置された場合、トレー10の端部は可動部72の端部から突出するよう構成されている。
このため、トレー10の可動部72への着脱を容易に行うことができる。
Further, according to the present embodiment, when the
For this reason, the
なお、実施形態の詳細な部分については、上記実施形態の内容に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、上記実施形態においては、位置決め部材73の凸部73aをトレー10の切り欠き13に嵌め込むことでトレー10を可動部72に固定する構成を例示して説明したが、可動部72の上面に枠状の保持部を設け、その枠状の保持部内にトレー10を載置する構成等とすることもできる。
In addition, about the detailed part of embodiment, it is not limited to the content of the said embodiment, In the range which does not deviate from the meaning of this invention, it can change suitably.
For example, in the above embodiment, the configuration in which the
また、上記実施形態においては、固定ネジ47が、左支持部40Lの連結部43にのみ備えられた構成を例示して説明したが、右支持部40Rにも固定ネジ47を備えることとしても良い。
同様に、上記実施形態においては、固定ネジ53が、保持体50の側面部51Lにのみ備えられた構成を例示して説明したが、側面部51Rにも固定ネジ53を備えることとしても良い。
Moreover, in the said embodiment, although the fixing
Similarly, in the above-described embodiment, the configuration in which the fixing
また、上記実施形態においては、操作部80は、ユーザーが左手で操作することを想定してトレー保持部72aの左側面前方に設置した構成を例示して説明したが、その取付位置は適宜変更可能である。例えば、ユーザーが右手で操作することを想定してトレー保持部72aの右側面前方に設置することとしても良い。
また、操作部80を備えない構成とすることもできる。かかる構成であっても、ステージ70の可動部72や支持部40を押すなどして力を加えることで、これらをスライドさせることができる。
Moreover, in the said embodiment, although the
Further, the
また、上記実施形態においては、第1レール30として、一対のレール部材31、32を備えた構成を例示して説明したが、支持部40がX方向に移動可能に設置できるものであればその構成はこれに限定されず、例えば、第1レール30として、一本の直線状のレールを備えることとしても良いし、三本以上の直線状のレールを備えることとしても良い。
同様に、第2レール60として、一対のレール部材61、62を備えた構成を例示して説明したが、可動部72をY方向に移動可能に設置できるものであればその構成はこれに限定されず、第2レール60として、一本の直線状のレールを備えることとしても良いし、三本以上の直線状のレールを備えることとしても良い。
Moreover, in the said embodiment, although the structure provided with a pair of
Similarly, the configuration including the pair of
また、上記実施形態においては、光学部品として、レンズ部Rの上下の光学面が凸となった光学部品Kを例示して説明したが、検査用治具100を使用可能な光学部品Kの形状はこれに限定されるものではなく、例えば、一方の光学面が凸形状で他方の光学面が凹形状の光学部品や、両面が凹形状の光学部品等であっても良い。
Moreover, in the said embodiment, although the optical component K which the upper and lower optical surfaces of the lens part R became convex was illustrated and demonstrated as an optical component, the shape of the optical component K which can use the jig |
100 検査用治具
20 基台
21 水平板
22 脚部
30 第1レール
31、32 レール部材
40 支持部
40L 左支持部
40R 右支持部
41、42 嵌合部
43 連結部
44 回動軸保持部
45 固定ピン
46 固定ネジ(回動規制部材)
47 固定ネジ(第1移動規制部材)
48 ストッパー
50 保持体
51R、51L 側面部
52R、52L 底面部
53 固定ネジ(第2移動規制部材)
60 第2レール
61、62 レール部材
70 ステージ
71 固定部
72 可動部
73 位置決め部材
73a 凸部
72a トレー保持部
80 操作部
81 固定部
82 把持部
10 トレー
11 凹部
12 貫通孔
13 切り欠き
K 光学部品
L1 回動軸
L2 光軸中心
DESCRIPTION OF
47 Fixing screw (first movement restricting member)
48
60
Claims (6)
基台と、
前記基台上に直線状に設けられた第1レールと、
前記第1レール上に当該第1レールに沿って移動可能に配された支持部と、
前記支持部に、前記第1レールの延在方向に沿った回動軸に対して揺動可能に支持された保持体と、
前記保持体上に前記第1レールの延在方向と直交するよう直線状に設けられた第2レールと、
前記第2レール上に当該第2レールに沿って移動可能に配され、複数の光学部品を保持したトレーの載置される可動部と、
を備えることを特徴とする光学部品の検査用治具。 An inspection jig used when inspecting an optical component with an optical microscope,
The base,
A first rail linearly provided on the base;
A support portion disposed on the first rail so as to be movable along the first rail;
A holding body supported by the support portion so as to be swingable with respect to a rotation axis along the extending direction of the first rail;
A second rail provided linearly on the holding body so as to be orthogonal to the extending direction of the first rail;
A movable part placed on the second rail so as to be movable along the second rail and on which a tray holding a plurality of optical components is placed;
An inspection jig for optical parts, comprising:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012122875A JP2013250069A (en) | 2012-05-30 | 2012-05-30 | Inspection jig of optical component |
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105716834A (en) * | 2016-03-22 | 2016-06-29 | 泉州市大秦光电有限公司 | Lens testing device |
KR102093668B1 (en) * | 2018-12-04 | 2020-03-26 | 주식회사 윈텍오토메이션 | Tool for inspecting carbide inserts for milling of high speed carbide inserts using orthogonal robot |
KR102082135B1 (en) * | 2018-11-14 | 2020-04-20 | 주식회사 윈텍오토메이션 | A jig for a carbide insert inspection of a carbide insert high-speed inspection machine using an orthogonal robot |
CN111289437A (en) * | 2020-03-30 | 2020-06-16 | 大智精创(厦门)科技有限公司 | Automatic detection equipment for eye protection lens |
WO2021256610A1 (en) * | 2020-06-19 | 2021-12-23 | 주식회사 윈텍오토메이션 | Improved inspection-dedicated jig for inspecting inner wall of center hole of carbide insert |
-
2012
- 2012-05-30 JP JP2012122875A patent/JP2013250069A/en active Pending
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