JP2013247799A - 振動アクチュエータの製造方法、振動アクチュエータ及び光学機器 - Google Patents
振動アクチュエータの製造方法、振動アクチュエータ及び光学機器 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】振動伝達効率の良い振動アクチュエータの製造方法、振動アクチュエータ及び光学機器を提供する。
【解決手段】本発明の振動アクチュエータ100の製造方法は、電気機械エネルギー変換素子33,34と第1部材31,32とを、金属結合により接合する工程と、前記電気機械エネルギー変換素子33,34と金属接合された前記第1部材31,32の表面に、耐摩耗性部材32Aを貼着する工程と、を備えること、を特徴とする。
【選択図】図4
【解決手段】本発明の振動アクチュエータ100の製造方法は、電気機械エネルギー変換素子33,34と第1部材31,32とを、金属結合により接合する工程と、前記電気機械エネルギー変換素子33,34と金属接合された前記第1部材31,32の表面に、耐摩耗性部材32Aを貼着する工程と、を備えること、を特徴とする。
【選択図】図4
Description
本発明は、振動アクチュエータの製造方法、振動アクチュエータ及び光学機器に関するものである。
従来、振動アクチュエータは、弾性体に圧電素子をエポキシ等の接着剤で接合し、圧電体の振動によって弾性体を振動させ、その弾性体に加圧接触された相対移動部材を回転させる。そして、この弾性体における相対移動部材と接触する駆動面に、耐磨耗性膜をつけることで、良好な摺動性を得ことが出来る(特許文献1参照)。
しかし、上記従来技術では、圧電素子と弾性体とを接着剤を介して接合しているため、接着剤部分で振動伝達のロスを生じている。
本発明の課題は、振動伝達効率の良い振動アクチュエータの製造方法、振動アクチュエータ及び光学機器を提供することである。
本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。
請求項1に記載の発明は、電気機械エネルギー変換素子(33,34)と第1部材(31,32)とを、金属結合により接合する工程と、前記電気機械エネルギー変換素子(33,34)と金属接合された前記第1部材(31,32)の表面に、耐摩耗性部材(32A)を貼着する工程と、を備える振動アクチュエータ(100)の製造方法である。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の振動アクチュエータ(100)の製造方法であって、前記耐摩耗性部材(32A)は、液状の樹脂材料を金属箔(32B)の表面に塗布して、前記樹脂材料及び該金属箔(32B)を加熱して前記樹脂材料を硬化させて製造されたものであること、を特徴とする振動アクチュエータ(100)の製造方法である。
請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載の振動アクチュエータ(100)の製造方法において、前記金属結合による接合は、表面活性化法による常温真空接合であること、を特徴とする振動アクチュエータ(100)の製造方法である。
請求項4に記載の発明は、請求項1から3のいずれか1項に記載の製造方法で製造された振動アクチュエータ(100)である。
請求項5に記載の発明は、電気機械エネルギー変換素子(33,34)と、該電気機械エネルギー変換素子(33,34)と金属結合により接合され、該電気機械エネルギー変換素子(33,34)の変形により駆動される第1部材(31,32)と、前記第1部材(31,32)に圧接され、該第1部材(31,32)の駆動によって該第1部材(31,32)に対して相対移動する相対移動部材(20)と、を備え、前記電気機械エネルギー変換素子(33,34)と金属接合された前記第1部材(31,32)の表面に、金属箔(32B)を介して耐摩耗性部材(32A)が貼着されていること、を特徴とする振動アクチュエータ(100)である。
請求項6に記載の発明は、請求項4または5に記載の振動アクチュエータ(100)を備える光学機器(200,300)である。
なお、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の振動アクチュエータ(100)の製造方法であって、前記耐摩耗性部材(32A)は、液状の樹脂材料を金属箔(32B)の表面に塗布して、前記樹脂材料及び該金属箔(32B)を加熱して前記樹脂材料を硬化させて製造されたものであること、を特徴とする振動アクチュエータ(100)の製造方法である。
請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載の振動アクチュエータ(100)の製造方法において、前記金属結合による接合は、表面活性化法による常温真空接合であること、を特徴とする振動アクチュエータ(100)の製造方法である。
請求項4に記載の発明は、請求項1から3のいずれか1項に記載の製造方法で製造された振動アクチュエータ(100)である。
請求項5に記載の発明は、電気機械エネルギー変換素子(33,34)と、該電気機械エネルギー変換素子(33,34)と金属結合により接合され、該電気機械エネルギー変換素子(33,34)の変形により駆動される第1部材(31,32)と、前記第1部材(31,32)に圧接され、該第1部材(31,32)の駆動によって該第1部材(31,32)に対して相対移動する相対移動部材(20)と、を備え、前記電気機械エネルギー変換素子(33,34)と金属接合された前記第1部材(31,32)の表面に、金属箔(32B)を介して耐摩耗性部材(32A)が貼着されていること、を特徴とする振動アクチュエータ(100)である。
請求項6に記載の発明は、請求項4または5に記載の振動アクチュエータ(100)を備える光学機器(200,300)である。
なお、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。
本発明によれば、振動伝達効率の良い振動アクチュエータの製造方法、振動アクチュエータ及び光学機器を提供することができる。
以下、本発明の実施の形態である振動アクチュエータの製造方法、振動アクチュエータ、その振動アクチュエータを備えたレンズ鏡筒、及びそのレンズ鏡筒を備えたカメラを図面に基づいて説明する。
図1は、振動アクチュエータ100の正面図である。図2は、振動アクチュエータ100を備えるレンズ鏡筒300およびそのレンズ鏡筒300が装着されたカメラ200の概念図である。
図1に示すように、本実施形態の振動アクチュエータ100は、ベース部材10と、ベース部材10上に載置されたロータ20と、を備えている。
図1に示すように、本実施形態の振動アクチュエータ100は、ベース部材10と、ベース部材10上に載置されたロータ20と、を備えている。
ベース部材10は、例えばステンレス鋼等の金属材料により中空円筒状に形成され、中央に支持軸115が挿通固定されている。
ベース部材10におけるロータ20と対向する端部には、後述する駆動機構30を収容する保持凹部11が、周方向に6カ所設けられている。
ベース部材10におけるロータ20と対向する端部には、後述する駆動機構30を収容する保持凹部11が、周方向に6カ所設けられている。
ロータ20は、支持軸115によって回転自在に軸支されている。ロータ20の外周面には、回転力を出力するための歯車125が形成されている。ロータ20は、駆動機構30によって支持されている。
駆動機構30は6つ設けられており、周方向に6カ所設けられた保持凹部11にそれぞれ保持されている。
1つの駆動機構30は、ロータ20を持ち上げるリフタ31と、ロータ20を回転方向に移動するスライダ32と、リフタ31とベース部材10との間に配置されたリフト駆動体33と、リフタ31とスライダ32との間に配置されたスライド駆動体34とを備えている。
1つの駆動機構30は、ロータ20を持ち上げるリフタ31と、ロータ20を回転方向に移動するスライダ32と、リフタ31とベース部材10との間に配置されたリフト駆動体33と、リフタ31とスライダ32との間に配置されたスライド駆動体34とを備えている。
リフタ31は、例えば亜鉛ダイキャストで、ベース部材10における保持凹部11に収容されている。その上面は、ベース部材10の上面より所定量上側に突出している。
リフト駆動体33とスライド駆動体34とは、それぞれ並列配置された2つの圧電素子を備えている。各圧電素子は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)によって製造された矩形の板材であって、圧電効果を有している。
リフト駆動体33は、リフタ31の外面と、保持凹部11の内壁面との間に、それぞれ配置されている。リフト駆動体33と、リフタ31の外面との間は、常温真空接合によって接合されている。
リフト駆動体33は、リフタ31の外面と、保持凹部11の内壁面との間に、それぞれ配置されている。リフト駆動体33と、リフタ31の外面との間は、常温真空接合によって接合されている。
スライダ32は、例えばステンレス製で、スライド駆動体34を介してリフタ31の上面に配設されている。スライダ32の上面には、樹脂材料32Aが金属箔32Bを介して接合されている。この樹脂材料32A及び金属箔32Bについては後述する。
リフト駆動体33と、スライド駆動体34とには、図示しない制御装置によって制御される駆動回路からそれぞれ駆動電圧が印加される。この駆動電圧によってリフト駆動体33が振動してリフタ31を昇降駆動すると共に、スライド駆動体34が振動してスライダ32を周方向Rに駆動する。
6個の駆動機構30における、一つおきの駆動機構30は同一グループとして同位相で、一つおきの他方のグループとは異なる位相で作動する。これにより、同一グループの駆動機構30ごとに、ロータ20を周方向Rにおいて交互に支持し、ベース部材10に対して相対的に駆動させ、ロータ20は周方向Rに連続して回転駆動する。
図2は、振動アクチュエータ100を備えるレンズ鏡筒300が装着されたカメラ200の概念図である。カメラ200は、撮像素子202を有するカメラボディ201と、レンズ鏡筒300とを備えている。レンズ鏡筒300は、カメラボディ201に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態では、レンズ鏡筒300は、交換レンズである例を示したが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒としてもよい。
レンズ鏡筒300は、フォーカシングレンズ301、カム筒302、振動アクチュエータ100およびこれらを包囲する筐体303等を備えている。
振動アクチュエータ100は、カム筒302と筐体303の間の円環状の隙間に配置されている。振動アクチュエータ100は、そのロータ20の歯車125が、カム筒302の外周に形成された歯車に噛合して配設され、カム筒302を回転駆動する。これにより、カメラ200のフォーカス動作時においてフォーカシングレンズ301を駆動する。
振動アクチュエータ100は、カム筒302と筐体303の間の円環状の隙間に配置されている。振動アクチュエータ100は、そのロータ20の歯車125が、カム筒302の外周に形成された歯車に噛合して配設され、カム筒302を回転駆動する。これにより、カメラ200のフォーカス動作時においてフォーカシングレンズ301を駆動する。
カム筒302は、振動アクチュエータ100による回転操作によって、筐体303内に光軸OAと平行する方向に移動可能に設けられている。
フォーカシングレンズ301は、カム筒302に保持されている。そして、振動アクチュエータ100の駆動によるカム筒302の移動によって光軸OA方向に移動して焦点調節を行う。
なお、図示しないが、レンズ鏡筒300は、フォーカシングレンズ301の他に複数のレンズ群を備えている。
フォーカシングレンズ301は、カム筒302に保持されている。そして、振動アクチュエータ100の駆動によるカム筒302の移動によって光軸OA方向に移動して焦点調節を行う。
なお、図示しないが、レンズ鏡筒300は、フォーカシングレンズ301の他に複数のレンズ群を備えている。
そして、フォーカシングレンズ301は、被写体の位置に応じて、振動アクチュエータ100を介して駆動され、フォーカスが調整され、撮像素子202の撮像面に被写体像が結像される。撮像素子202によって、結像された被写体像が電気信号に変換され、その信号をA/D変換することによって、画像データが得られる。
次に、本実施形態に係る、駆動機構30の製造方法について説明する。
図3は、リフタ31と、リフト駆動体33との接合方法を示すフローチャートである。
まず、リフタ31を洗浄して塵埃を除去する(S1)。
次に、リフタ31を金属メッキ槽に入れてリフタ31のリフト駆動体33が接合される接合面31aに金属メッキをする(S3)。金属メッキは、銅、錫、金、銀及びニッケル等のメッキであるが、実験結果によると、銅メッキが接合性に優れていることが判明している。また、金属メッキの厚みは、0.1μ〜10μが好ましい。
図3は、リフタ31と、リフト駆動体33との接合方法を示すフローチャートである。
まず、リフタ31を洗浄して塵埃を除去する(S1)。
次に、リフタ31を金属メッキ槽に入れてリフタ31のリフト駆動体33が接合される接合面31aに金属メッキをする(S3)。金属メッキは、銅、錫、金、銀及びニッケル等のメッキであるが、実験結果によると、銅メッキが接合性に優れていることが判明している。また、金属メッキの厚みは、0.1μ〜10μが好ましい。
金属メッキされた表面とリフト駆動体33との表面は、接合し易いように平坦であることが好ましい。表面の粗さ条件は、Ra(粗さの平均値)及びRz(粗さの最大値)が最大で1μmであることが好ましい。幾何学交差条件は、接合面全体にわたり、平面度が最大で0.5μmであることが好ましい。また、金属メッキをされた表面は、酸化されていないことが好ましい。このため、金属メッキの表面を化学的な接合面酸化膜除去処理を行う(酸化膜除去工程,S5)。なお、この酸化膜除去工程は、接合直前が好ましい。
一方、リフト駆動体33も洗浄して塵埃を除去する(S11)。
次に、リフト駆動体33の接合面33aをスパッタリングして表面の酸化膜を除去する表面活性化処理をする(S13)。
この場合、リフト駆動体33の表面は、接合し易いにように、表面粗さ条件は、RaとRzが最大で1μmであることが好ましい。幾何学交差条件は、接合面全体にわたり、平面度が最大で0.5μmであることが好ましい。
次に、リフト駆動体33の接合面33aをスパッタリングして表面の酸化膜を除去する表面活性化処理をする(S13)。
この場合、リフト駆動体33の表面は、接合し易いにように、表面粗さ条件は、RaとRzが最大で1μmであることが好ましい。幾何学交差条件は、接合面全体にわたり、平面度が最大で0.5μmであることが好ましい。
次に、リフタ31とリフト駆動体33とにおいて、金属メッキされた部分と表面活性化処理をされた部分とを接合する(S21)。
このとき、金属メッキの表面は、酸化されていない活性化された表面になっている。そして、リフタ31及びスライダ32の金属メッキの表面原子とリフト駆動体33の活性化された表面の表面原子とが接合して、リフタ31とリフト駆動体33とが表面活性化常温真空接合(SAB、Suface−activated Room−temperature Bonding)される。
このとき、金属メッキの表面は、酸化されていない活性化された表面になっている。そして、リフタ31及びスライダ32の金属メッキの表面原子とリフト駆動体33の活性化された表面の表面原子とが接合して、リフタ31とリフト駆動体33とが表面活性化常温真空接合(SAB、Suface−activated Room−temperature Bonding)される。
なお、上記にリフタ31とリフト駆動体33の接合について説明したが、リフタとスライド駆動体34との間の接合、及びスライダ32とスライド駆動体34との間の接合も同様にSABで行う。これにより、リフタ31の側面にリフト駆動体33が接合され、リフタ31の上面に、スライド駆動体34を挟んでスライダ32が接合された駆動機構30が製造される。
次いで、上述の方法で製造された駆動機構30に、本実施形態の方法により樹脂材料32Aを接合する。
一般に、弾性体(本願のスライダ)に樹脂材料(樹脂膜)を設ける場合、弾性体上に液状の樹脂を塗布して加熱硬化させる。しかし、本実施形態の場合、駆動機構30の製造において常温真空接合を用いる。この常温真空接合を行う前に、樹脂材料を形成すると、常温接合の際に樹脂材料からガスが発生する。また、常温接合を行った後で、スライダ上に液状樹脂を塗布して加熱硬化させると、圧電素子に悪影響を及ぼす。
そこで、本実施形態では、樹脂材料を先に熱硬化させた後、駆動機構30(スライダ32の表面)に貼着する。
一般に、弾性体(本願のスライダ)に樹脂材料(樹脂膜)を設ける場合、弾性体上に液状の樹脂を塗布して加熱硬化させる。しかし、本実施形態の場合、駆動機構30の製造において常温真空接合を用いる。この常温真空接合を行う前に、樹脂材料を形成すると、常温接合の際に樹脂材料からガスが発生する。また、常温接合を行った後で、スライダ上に液状樹脂を塗布して加熱硬化させると、圧電素子に悪影響を及ぼす。
そこで、本実施形態では、樹脂材料を先に熱硬化させた後、駆動機構30(スライダ32の表面)に貼着する。
以下、その樹脂材料の取り付け方法について説明する。図4は、樹脂材料の取り付け方法の説明図である。また、図5は樹脂材料の取り付け方法を説明するフローチャートである。
まず、アルミや銅製の金属箔32Bを用意する。この金属箔32Bは洗浄等を行い、塵埃を除去して表面を清浄な状態にしておく(S31)なお、金属箔の厚さは、例えば10〜20μmである。
この金属箔の上に、樹脂材料32Aを塗布する(S32)。樹脂材料32Aは、例えばPTFEを含んだポリアミドイミド等の熱硬化性樹脂である。
この金属箔の上に、樹脂材料32Aを塗布する(S32)。樹脂材料32Aは、例えばPTFEを含んだポリアミドイミド等の熱硬化性樹脂である。
樹脂材料32Aが塗布された金属箔32Bの焼付けを行い、樹脂材料32Aを硬化させる。この硬化によって樹脂材料32Aと金属箔32Bとが接合される(S33)。なお、硬化後の樹脂材料の厚さは50μm程度である。
金属箔32Bと硬化された樹脂材料32Aとの接合体を切断する(S34)。
金属箔32Bと硬化された樹脂材料32Aとの接合体を切断する(S34)。
切断された金属箔32Bと樹脂材料32Aとの接合体を、金属箔32B側が駆動機構30(スライダ32)の摺動面側になるようにして接着剤によって貼り付ける(S35)。接着剤は、例えばシアノ系の接着剤や嫌気性の接着剤である。
この際、駆動機構30(スライダ32)の駆動面が面取りされている場合は面取りの形状に沿って貼着する。金属箔及び樹脂材料は薄い場合はそのまま貼着することで、面取り形状に沿った形になる。また、厚い場合は、金属箔等に切れ込みを入れて貼着してもよい。
以上の工程により、駆動機構30の表面に樹脂材料32Aが接合される。
この際、駆動機構30(スライダ32)の駆動面が面取りされている場合は面取りの形状に沿って貼着する。金属箔及び樹脂材料は薄い場合はそのまま貼着することで、面取り形状に沿った形になる。また、厚い場合は、金属箔等に切れ込みを入れて貼着してもよい。
以上の工程により、駆動機構30の表面に樹脂材料32Aが接合される。
以上、本実施形態によると、以下の効果を有する。
(1)一般に、弾性体(本願のスライダ及びリフト駆動体)に樹脂材料を設ける場合、弾性体上に液状の樹脂を塗布して加熱硬化させる。しかし、本実施形態の場合、駆動機構30の製造において常温真空接合を用いる。この常温真空接合を行う前に、樹脂材料を形成すると、常温接合の際に樹脂材料からガスが発生する。また、常温接合を行った後で、スライダ上に液状樹脂を塗布して加熱硬化させると、圧電素子に悪影響を及ぼす。さらに、硬化後の樹脂は、潤滑性を有するために弾性体に直接貼り付けることが出来ない。
しかし、本実施形態では、金属箔32B上に塗布された樹脂材料32Aを先に熱硬化させ、この熱硬化後の樹脂材料32Aを駆動機構30(スライダ32の表面)に貼着する。これによって、常温真空接合で圧電素子(リフト駆動体33,スライド駆動体34)が接合された弾性体(スライダ32,リフタ31)に、悪影響を及ぼすことなく、樹脂材料32Aを取り付け方法ることが出来る。
(1)一般に、弾性体(本願のスライダ及びリフト駆動体)に樹脂材料を設ける場合、弾性体上に液状の樹脂を塗布して加熱硬化させる。しかし、本実施形態の場合、駆動機構30の製造において常温真空接合を用いる。この常温真空接合を行う前に、樹脂材料を形成すると、常温接合の際に樹脂材料からガスが発生する。また、常温接合を行った後で、スライダ上に液状樹脂を塗布して加熱硬化させると、圧電素子に悪影響を及ぼす。さらに、硬化後の樹脂は、潤滑性を有するために弾性体に直接貼り付けることが出来ない。
しかし、本実施形態では、金属箔32B上に塗布された樹脂材料32Aを先に熱硬化させ、この熱硬化後の樹脂材料32Aを駆動機構30(スライダ32の表面)に貼着する。これによって、常温真空接合で圧電素子(リフト駆動体33,スライド駆動体34)が接合された弾性体(スライダ32,リフタ31)に、悪影響を及ぼすことなく、樹脂材料32Aを取り付け方法ることが出来る。
(2)また、金属箔32Bは、十数μmと薄いため、振動への影響は非常に小さい。
(3)さらに、金属箔32Bを貼り付ける接着剤の減衰は、樹脂材料32Aと同等であるため、影響は出ない。
(4)スライド駆動体34の面取り形状に沿って金属箔32Bと樹脂材料32Bとの接合体を貼着するので、R面が簡単に形成できる。
(5)本実施形態の構造によると、摺動面(スライダ32)の高さ揃えの際の加工量を増やせる。
(3)さらに、金属箔32Bを貼り付ける接着剤の減衰は、樹脂材料32Aと同等であるため、影響は出ない。
(4)スライド駆動体34の面取り形状に沿って金属箔32Bと樹脂材料32Bとの接合体を貼着するので、R面が簡単に形成できる。
(5)本実施形態の構造によると、摺動面(スライダ32)の高さ揃えの際の加工量を増やせる。
(6)本実施形態によると、圧電素子(リフト駆動体33,スライド駆動体34)と弾性体(スライダ32,リフタ31)との間に振動の伝達を阻害する接着剤を用いる必要がない。したがって、圧電素子(リフト駆動体33,スライド駆動体34)の振動が減衰されることなく弾性体(スライダ32,リフタ31)に伝達され、圧電素子(リフト駆動体33,スライド駆動体34)からロータ20への振動伝達効率を高めることができる。
(変形形態)
以上、説明した実施形態に限定されることなく、以下に示すような種々の変形や変更が可能であり、それらも本発明の範囲内である。
以上、説明した実施形態に限定されることなく、以下に示すような種々の変形や変更が可能であり、それらも本発明の範囲内である。
(変形例)
以上説明した形態に限らず、以下の形態でもよい。
(1)本実施形態は、ベース部材10の周方向6箇所に、駆動機構30が配置され、その駆動機構30に対してロータ20が圧接している形状の振動アクチュエータについて説明したが、本発明はそれに限定されない。圧電素子と弾性体が金属結合(例えば真空常温結合)していれば、例えば圧電素子、弾性体及びロータが円環型のものであってもよい。
以上説明した形態に限らず、以下の形態でもよい。
(1)本実施形態は、ベース部材10の周方向6箇所に、駆動機構30が配置され、その駆動機構30に対してロータ20が圧接している形状の振動アクチュエータについて説明したが、本発明はそれに限定されない。圧電素子と弾性体が金属結合(例えば真空常温結合)していれば、例えば圧電素子、弾性体及びロータが円環型のものであってもよい。
(2)金属の表面を活性化した金属接合による常温真空接合の代わり、金属共有結合による常温真空接合であってもよい。
なお、実施形態及び変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は以上説明した実施形態によって限定されることはない。
なお、実施形態及び変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は以上説明した実施形態によって限定されることはない。
10:ベース部材、20:ロータ、30:駆動機構、31:リフタ、32:スライダ、32A:樹脂材料、32B:金属箔、33:リフト駆動体、34:スライド駆動体、100:振動アクチュエータ、200:カメラ、300:レンズ鏡筒
Claims (6)
- 電気機械エネルギー変換素子と第1部材とを、金属結合により接合する工程と、
前記電気機械エネルギー変換素子と金属接合された前記第1部材の表面に、耐摩耗性部材を貼着する工程と、
を備える振動アクチュエータの製造方法。 - 請求項1に記載の振動アクチュエータの製造方法であって、
前記耐摩耗性部材は、液状の樹脂材料を金属箔の表面に塗布して、該樹脂材料及び該金属箔を加熱して前記樹脂材料を硬化させて製造されたものであること、
を特徴とする振動アクチュエータの製造方法。 - 請求項1または2に記載の振動アクチュエータの製造方法において、
前記金属結合による接合は、表面活性化法による常温真空接合であること、
を特徴とする振動アクチュエータの製造方法。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の製造方法で製造された振動アクチュエータ。
- 電気機械エネルギー変換素子と、
該電気機械エネルギー変換素子と金属結合により接合され、該電気機械エネルギー変換素子の変形により駆動される第1部材と、
前記第1部材に圧接され、該第1部材の駆動によって該第1部材に対して相対移動する相対移動部材と、を備え、
前記電気機械エネルギー変換素子と金属接合された前記第1部材の表面に、金属箔を介して耐摩耗性部材が貼着されていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。 - 請求項4または5に記載の振動アクチュエータを備える光学機器。
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JP2012120756A JP2013247799A (ja) | 2012-05-28 | 2012-05-28 | 振動アクチュエータの製造方法、振動アクチュエータ及び光学機器 |
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JP2012120756A JP2013247799A (ja) | 2012-05-28 | 2012-05-28 | 振動アクチュエータの製造方法、振動アクチュエータ及び光学機器 |
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JP (1) | JP2013247799A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102014224180A1 (de) | 2013-11-29 | 2015-06-03 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Fahrzeugverhaltenssteuerungsvorrichtung und Fahrzeugverhaltenssteuerungssystem |
-
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- 2012-05-28 JP JP2012120756A patent/JP2013247799A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE102014224180A1 (de) | 2013-11-29 | 2015-06-03 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Fahrzeugverhaltenssteuerungsvorrichtung und Fahrzeugverhaltenssteuerungssystem |
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