JP2013237609A - ガラス基板の平坦面形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】生産性が向上し、低費用で高品質のガラス基板が得られるようにしたガラス基板貼り合わせ用フィルム供給装置を提供する。
【解決手段】ガラス基板１を移送するガラス基板移送部１１０と、一面に平坦面が形成されたフィルム２０を供給するフィルム供給部１３０と、前記フィルム供給部１３０から前記フィルム２０を受けて前記フィルム２０を前記ガラス基板１に積層させ、前記フィルム２０を転動加圧し、前記フィルム２０が前記ガラス基板１に貼り合わされるようにする貼り合わせローラ１５０とを含むガラス基板１の平坦面形成装置１００。
【選択図】図１

Description

本発明は、発熱体およびその製造方法に関する。本出願は、２０１２年５月１１日に韓国特許庁に提出された韓国特許出願第１０−２０１２−００４９９９８号の出願日の利益を主張し、その内容すべては本明細書に含まれる。

本発明は、ガラス基板の平坦面形成装置に関するものであって、より詳細には、ガラス基板に平坦面を形成するガラス基板の平坦面形成装置に関するものである。

最近、ディスプレイ装置として注目されているＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ）、ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）、ＡＭＯＬＥＤ（Ａｃｔｉｖｅ Ｍａｔｒｉｘ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅｓ）などにはガラス基板が用いられる。

このうち、ＴＦＴ ＬＣＤ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）に用いられるガラス基板は、ＴＦＴアレイとカラーフィルタに取り付けられる基板で、ＴＦＴ ＬＣＤパネルの核心素材として用いられる。このため、ガラス基板は、肉眼では仕分けが不可能な程度の平坦な表面と熱による変形があってはならないなどの高品質の特性が必要である。

しかし、ガラス基板が生産される過程でガラス基板の表面には溶融欠陥が発生し、溶融欠陥はガラス基板のディスプレイ装置への使用を困難にする問題として作用する。したがって、従来は、溶融欠陥を除去するために、ガラス基板の表面を研磨し、ガラス基板に一定水準の平坦度（ｗａｖｉｎｅｓｓ）が確保されるようにしていた。このように、ガラス基板の表面を研磨する装置については、すでに「大韓民国登録特許第１０−０９５２３２４号」などに開示されている。前記登録特許のように、従来は、ガラス基板を直接研磨し、ガラス基板に平坦面を形成していた。

しかし、要求される厚さおよび平坦度を得るために、比較的硬質材料に属するガラス基板を直接研磨しなければならず、高価な研磨パッドとスラリー（ｓｌｕｒｒｙ）が使用されなければならないため、生産費用が高くなる問題があった。

また、ガラス基板を直接研磨するのにかかる時間も遅延し、生産性が低下する問題があった。

大韓民国登録特許第１０−０９５２３２４号（２００９年８月２１日公開）

本発明の目的は、生産性が向上し、低費用で高品質のガラス基板が得られるようにしたガラス基板貼り合わせ用フィルム供給装置およびこれを用いたガラス基板の平坦面形成装置を提供するためのものである。

本発明にかかるガラス基板の平坦面形成装置は、ガラス基板を移送するガラス基板移送部と、一面に平坦面が形成されたフィルムを供給するフィルム供給部と、前記フィルム供給部から前記フィルムを受けて前記フィルムを前記ガラス基板に積層させ、前記フィルムを転動加圧し、前記フィルムが前記ガラス基板に貼り合わされるようにする貼り合わせローラとを含む。

前記ガラス基板の平坦面形成装置は、前記ガラス基板に貼り合わされた前記フィルムを硬化させる硬化部をさらに含むことができる。

前記硬化部は、硬化チャンバと、前記硬化チャンバの内部に設けられ、前記フィルムに光、または熱を照射する硬化ユニットとを含むことができる。

前記ガラス基板の平坦面形成装置は、内部に前記貼り合わせローラが設けられ、前記フィルムが前記ガラス基板に貼り合わされる工程が進行する貼り合わせチャンバをさらに含むことができる。

前記フィルム供給部は、前記フィルムの液状原料を押出して前記フィルムを供給することができる。

前記フィルム供給部は、前記液状原料が塗布される塗布ローラと、前記塗布ローラに噛み合って回転し、前記液状原料を押出させる押出ローラとを含み、前記貼り合わせローラは、前記押出ローラに噛み合うように設けられ、前記ガラス基板の平坦面形成装置は、前記貼り合わせローラの内部に設けられ、前記液状原料を半硬化させる硬化モジュールをさらに含むことができる。

前記液状原料は、光硬化性樹脂の液状原料であり、前記貼り合わせローラの外壁は、光透過性材質からなり、前記硬化モジュールは、前記貼り合わせローラの外側に向けて光を照射する光源であり得る。

前記液状原料は、熱硬化性樹脂の液状原料であり、前記貼り合わせローラの外壁は、熱伝導性材質からなり、前記硬化モジュールは、前記貼り合わせローラの外側に向けて熱を照射する熱源であり得る。

前記フィルム供給部は、前記平坦面が形成されたロール形態の前記フィルムを供給することができる。

前記フィルム供給部は、フィルムロールを支持するロール支持台と、前記フィルムロールから巻き戻される前記フィルムを前記貼り合わせローラにガイドするガイドローラと、前記ガラス基板の大きさに応じて前記フィルムをカッティングするカッティングユニットとを含むことができる。

前記ガラス基板の平坦面形成装置は、前記カッティングユニットによってカッティングされた前記フィルムを加圧する加圧ローラをさらに含むことができる。

前記フィルム供給部は、前記平坦面が形成されたシート形態の前記フィルムを供給することができる。

前記フィルム供給部は、前記フィルムを供給する供給ローラと、前記供給ローラに支持される前記フィルムの先端をつかむグリッパと、前記グリッパを前記貼り合わせローラと前記ガラス基板との間に移送するグリッパ移送ユニットとを含むことができる。

前記ガラス基板の平坦面形成装置は、前記フィルムと前記ガラス基板とが貼り合わされる前に、前記ガラス基板を加熱する加熱部をさらに含むことができる。

前記ガラス基板は、底面に少なくとも１つの支持突起が形成されるキャリアに支持され、前記ガラス基板移送部は、駆動プーリと、前記駆動プーリから離隔する従動プーリと、前記駆動プーリおよび前記従動プーリに連結されるコンベヤベルトと、前記コンベヤベルトに結合されて前記コンベヤベルトと共に移送され、前記キャリアの支持突起をクランピングするクランピングユニットとを含むことができる。

前記ガラス基板移送部は、前記コンベヤベルトの垂れ下がりを防止する支持フレームをさらに含むことができる。

本発明にかかるガラス基板の平坦面形成装置は、高品質のガラス基板を生産することができる効果がある。

また、本発明にかかるガラス基板の平坦面形成装置は、生産性が向上する効果がある。

さらに、本発明にかかるガラス基板の平坦面形成装置は、生産費用を節減することができる。

第１実施形態にかかるガラス基板の平坦面形成装置の構成を簡略に示す図である。 第２実施形態にかかるガラス基板の平坦面形成装置の構成を簡略に示す図である。 第３実施形態にかかるガラス基板の平坦面形成装置の構成を簡略に示す図である。

以下、本発明にかかるガラス基板の平坦面形成装置の実施形態について、添付した図面を参照して説明する。しかし、本発明は、以下に開示される実施形態に限定されるものではなく、多様な形態で実現可能であり、単に、以下に説明される実施形態は、本発明の開示が完全になるようにし、通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されるものである。

［第１実施形態］
図１は、第１実施形態にかかるガラス基板の平坦面形成装置の構成を簡略に示す図である。

図１を参照すれば、第１実施形態にかかるガラス基板の平坦面形成装置（以下、「平坦面形成装置」とする。）１００は、ガラス基板移送部１１０と、フィルム供給部１３０と、貼り合わせローラ１５０と、硬化部１７０とを含む。

まず、ガラス基板１は、キャリア１０に支持された状態で、平坦面形成装置１００に搬入できる。キャリア１０の底面には、支持突起１１が突出し、キャリア１０の上部には、ガラス基板１を安定的に支持するために、ガラス基板１を接着力によって接着させる接着パッド（例えば、ポリウレタン樹脂など）、またはガラス基板１を粘着力によって粘着させる粘着パッドなどが設置できる。

ガラス基板移送部１１０は、ガラス基板１を支持するキャリア１０を移送する。ガラス基板移送部１１０は、駆動プーリ１１１と、従動プーリ１１２と、コンベヤベルト１１３と、クランピングユニット１１４と、駆動モータ（図示せず）とを含む。コンベヤベルト１１３は、駆動プーリ１１１および従動プーリ１１２に連結され、駆動モータ（図示せず）によって駆動プーリ１１１が回転駆動されることにより移送されるように設けられる。この時、クランピングユニット１１４は、コンベヤベルト１１３に結合されてキャリア１０の支持突起１１をクランピングし、コンベヤベルト１１３と共に移送される。

前述した説明および図１において、ガラス基板移送部１１０は、ベルトコンベヤの形態で用意され、クランピングユニット１１４がコンベヤベルト１１３と共に回転循環するものとして説明し図示されているが、クランピングユニット１１４は、貼り合わせチャンバ１５３および硬化チャンバ１７２を直線往復するか、貼り合わせチャンバ１５３の前に供給され、貼り合わせチャンバ１５３および硬化チャンバ１７２を通過した後、外部に排出されるように変形実施できる。

このように、ガラス基板１は、キャリア１０に支持され、ガラス基板移送部１１０は、ガラス基板１を支持するキャリア１０を移送することにより、ガラス基板１に平坦面を形成する工程に連続性を付与することができる。

一方、フィルム供給部１３０は、一面に平坦面が形成されたフィルム２０を供給する。フィルム供給部１３０は、原料容器１３１と、塗布ローラ１３２と、押出ローラ１３３とを含む。

原料容器１３１の内部には、フィルム２０の液状原料２１が収容される。液状原料２１は、光硬化性原料、または熱硬化性原料を使用することができる。液状原料２１は、ローラの表面に粘着可能な程度の粘度を有することができる。

塗布ローラ１３２は、原料容器１３１に収容された液状原料２１が表面に塗布可能な位置に設けられる。したがって、液状原料２１は、塗布ローラ１３２の回転により塗布ローラ１３２の表面に塗布できる。

押出ローラ１３３は、塗布ローラ１３２に噛み合うように設けられる。このため、塗布ローラ１３２に塗布された液状原料２１は、塗布ローラ１３２から押出ローラ１３３に転移できる。押出ローラ１３３は、以降に説明される貼り合わせローラ１５０によって形成されるフィルム２０が０．１〜７０μｍの厚さを有し得るように、液状原料２１を押出させる。

前述した説明において、液状原料２１は原料容器１３１に収容され、塗布ローラ１３２が回転することにより、液状原料２１は塗布ローラ１３２の表面に塗布されるものとして説明しているが、フィルム供給部１３０は、液状原料２１を塗布ローラ１３２に噴射する噴射ユニット１３４を含み、液状原料２１は、塗布ローラ１３２に噴射され、塗布ローラ１３２の表面に塗布されるように変形実施できる。

一方、貼り合わせローラ１５０は、フィルム供給部１３０からフィルム２０を受けてフィルム２０をガラス基板１に積層させ、フィルム２０を転動加圧し、ガラス基板１にフィルム２０が貼り合わされるようにする。

貼り合わせローラ１５０は、押出ローラ１３３に噛み合うように設けられる。したがって、押出ローラ１３３から押出される液状原料２１は、押出ローラ１３３から貼り合わせローラ１５０に転移できる。貼り合わせローラ１５０は、昇降ユニット１５１によって支持され、昇降ユニット１５１は、貼り合わせローラ１５０を昇降させ、貼り合わせローラ１５０とガラス基板１との隔離距離が調整されるようにする。

また、貼り合わせローラ１５０の外周面に接触するフィルム２０の接触面には平坦面が形成できるように、貼り合わせローラ１５０の外周面は、別途のコーティング、めっき、研磨などの処理を通じて製造できる。したがって、貼り合わせローラ１５０の外周面に接触するフィルム２０の接触面には、０．０１〜０．２μｍ以下の平坦度（Ｗａｖｉｎｅｓｓ）を有することができる。

さらに、貼り合わせローラ１５０の外壁は、液状原料２１に応じてその材質が選択可能である。すなわち、液状原料２１が光硬化性原料として用いられる場合、貼り合わせローラ１５０の外壁は、光透過性材質、例えば、ＰＶＣ（ＰｏｌｙＶｉｎｙｌ Ｃｈｌｏｒｉｄｅ）、ガラスなどが使用できる。液状原料２１が熱硬化性原料として用いられる場合、貼り合わせローラ１５０の外壁は、熱伝導性材質、例えば、ＳＵＳ（Ｓｔｅｅｌ Ｕｓｅ Ｓｔａｉｎｌｅｓｓ）、Ｓｔｅｅｌなどの金属材質が使用できる。

これと共に、貼り合わせローラ１５０は、液状原料２１が変性して半硬化状態のフィルム２０が形成されるように、その内部には硬化モジュール１５２が設置できる。貼り合わせローラ１５０の外壁が光透過性材質からなる場合、硬化モジュール１５２は、貼り合わせローラ１５０の外側に向けて光を照射する光源を用いることができる。貼り合わせローラ１５０の外壁が熱伝導性材質からなる場合、硬化モジュール１５２は、貼り合わせローラ１５０の外側に向けて熱を照射する熱源を用いることができる。

このような貼り合わせローラ１５０およびフィルム供給部１３０は、貼り合わせチャンバ１５３の内部に配置できる。貼り合わせチャンバ１５３は、外部と遮断される内部空間を形成し、清浄度が維持される状態で、ガラス基板１とフィルム２０との貼り合わせ工程が実施できるようにする。

一方、硬化部１７０は、ガラス基板１に貼り合わされたフィルム２０を硬化させる。硬化部１７０は、硬化ユニット１７１と、硬化チャンバ１７２とを含む。

液状原料２１が光硬化性原料として用いられる場合、硬化ユニット１７１は、フィルム２０に向けて光を照射する光源を用いることができる。液状原料２１が熱硬化性原料として用いられる場合、硬化ユニット１７１は、フィルム２０に向けて熱を照射する熱源を用いることができる。硬化チャンバ１７２は、硬化ユニットから放出される光、または熱が外部に放出されて損失するのを防止する。

以下、第１実施形態にかかるガラス基板の平坦面形成装置の動作について説明する。

ガラス基板１は、キャリア１０に支持された状態で、ガラス基板移送部１１０に搬入される。この時、クランピングユニット１１４は、キャリア１０の支持突起１１をクランピングし、キャリア１０が安定的に移送されるようにする。このようにキャリア１０がクランピングユニット１１４にクランピングされると、駆動モータ（図示せず）によって駆動プーリ１１１が回転し、駆動プーリ１１１および従動プーリ１１２に連結されたコンベヤベルト１１３が移送される。したがって、キャリア１０に支持されたガラス基板１は、貼り合わせチャンバ１５３の内部に搬入される。

次に、フィルム供給部１３０は、一面に平坦面が形成されるフィルム２０を供給する。すなわち、液状原料２１は、塗布ローラ１３２の表面に塗布される。塗布ローラ１３２に塗布された液状原料２１は、押出ローラ１３３に転移される。液状原料２１は、押出ローラ１３３によって押出され、貼り合わせローラ１５０に転移される。液状原料２１は、貼り合わせローラ１５０によって半硬化されたフィルム２０に変性する。この時、フィルム２０は、貼り合わせローラ１５０に接触する接触面に平坦面が形成される。このように、一面に平坦面が形成されるフィルム２０は、先端がガラス基板１に積層される。

次に、昇降ユニット１５１は、貼り合わせローラ１５０がフィルム２０を加圧できる位置に貼り合わせローラ１５０を昇降させる。このように貼り合わせローラ１５０がフィルム２０を加圧する状態で、ガラス基板移送部１１０は、キャリア１０を移送する。ガラス基板移送部１１０によってキャリア１０が移送されることにより、貼り合わせローラ１５０は、フィルム２０を転動加圧し、フィルム２０はガラス基板１に貼り合わされる。

次に、キャリア１０は、硬化部１７０に移送される。キャリア１０は、硬化チャンバ１７２の内部を通過し、硬化ユニット１７１は、ガラス基板１に貼り合わされたフィルム２０を完全硬化させ、フィルム２０がガラス基板１に強固に貼り合わされるようにする。

次に、キャリア１０は硬化チャンバ１７２の外部に搬出され、キャリア１０は平坦面形成装置１００の外部に排出できる。そして、クランピングユニット１１４は、コンベヤベルト１１３に沿って貼り合わせチャンバ１５３の前に復帰し、他のガラス基板１を支持する他のキャリア１０をクランピングする。

前述のように、第１実施形態にかかるガラス基板の平坦面形成装置１００は、液状原料２１を用いて押出されるフィルム２０をガラス基板１に積層させ、フィルム２０がガラス基板１に貼り合わされるようにする。他の実施形態として、ガラス基板の平坦面形成装置は、平坦面が形成され、ロール形態、またはシート形態で供給されるフィルム２０をガラス基板１に貼り合わせるように変形実施できる。

以下、他の実施形態にかかるガラス基板の平坦面形成装置について詳細に説明する。以下の説明では、前述した第１実施形態にかかるガラス基板の平坦面形成装置に関する説明で説明された類似の構成要素については同一の参照符号を付し、詳細な説明は省略する。したがって、以下の説明において、詳細な説明が省略された構成要素については、前述した第１実施形態にかかるガラス基板の平坦面形成装置の説明を参照して理解することができる。

［第２実施形態］
図２は、第２実施形態にかかるガラス基板の平坦面形成装置の構成を簡略に示す図である。

図２を参照すれば、第２実施形態にかかるガラス基板の平坦面形成装置（以下、「平坦面形成装置」とする。）２００は、平坦面が形成され、ロール形態で供給されるフィルム３０をガラス基板１に貼り合わせることができる。

すなわち、平坦面形成装置２００は、フィルムロール３１を支持するロール支持台２１０と、フィルムロール３１から巻き戻されるフィルム３０を貼り合わせローラ２４０に案内するガイドローラ２２０と、ガラス基板１に貼り合わされたフィルム３０をカッティングするカッティングユニット２３０とを含むことができる。

また、カッティングユニット２３０の後には、加圧ローラ２４２が配置できる。加圧ローラ２４２は、フィルム３０のカッティング過程でガラス基板１から離隔可能なフィルム３０をもう一度加圧し、フィルム３０がガラス基板１に強固に貼り合わされるようにする。

図２において、カッティングユニット２３０は、貼り合わせローラ２４０と加圧ローラ２４２との間に配置されるものとして示されているが、貼り合わせローラ２４０の回転速度とキャリア１０の移送速度とが同期化し、フィルム３０が連続供給される条件が満たされると、カッティングユニット２３０は、貼り合わせローラ２４０とガイドローラ２２０との間に配置できる。

また、貼り合わせローラ２４０の前には、フィルム３０を加熱する加熱部２５０が設置できる。加熱部２５０は、ガラス基板１に向けて熱を照射する加熱ユニット２５１と、加熱ユニット２５１の熱損失が防止されるようにする加熱チャンバ２５２とを含む。加熱部２５０は、ガラス基板１を加熱し、フィルム３０がガラス基板１に熱融着できるようにする。

このようなガラス基板の平坦面形成装置２００において、ガラス基板１は、キャリア１０に支持され、加熱部２５０を通過する。ガラス基板１が加熱部２５０を通過することにより、ガラス基板１は、フィルム３０が熱融着可能な温度に到達することができる。

一方、ガラス基板１が貼り合わせローラ２４０の下側に移送される前に、フィルム３０の先端は、貼り合わせローラ２４０によって転動加圧できる位置に引き出されるように引き出し可能である。

次に、加熱されたガラス基板１は、貼り合わせローラ２４０の下側に移送される。したがって、フィルム３０は、ガラス基板１と貼り合わせローラ２４０との間に積層できる。

次に、昇降ユニット２４１は、貼り合わせローラ２４０がフィルム３０を加圧できる位置に貼り合わせローラ２４０を昇降させる。このように貼り合わせローラ２４０がフィルム３０を加圧する状態で、ガラス基板移送部１１０は、キャリア１０を移送する。ガラス基板移送部１１０によってキャリア１０が移送されることにより、貼り合わせローラ２４０は、フィルム３０を転動加圧し、フィルム３０はガラス基板１に熱融着される。この時、カッティングユニット２３０は、ガラス基板１に貼り合わされたフィルム３０をカッティングする。

［第３実施形態］
図３は、第３実施形態にかかるガラス基板の平坦面形成装置の構成を簡略に示す図である。

図３を参照すれば、第３実施形態にかかるガラス基板の平坦面形成装置（以下、「平坦面形成装置」とする。）３００は、平坦面が形成され、一杖一杖のシート形態で供給されるフィルム４０をガラス基板１に貼り合わせることができる。

すなわち、平坦面形成装置３００は、キャリア１０に支持されるガラス基板１の上側にフィルム４０を供給する供給ローラ３１０と、供給ローラ３１０に支持されるフィルム４０の先端をつかむグリッパ３２０と、グリッパ３２０を移送するグリッパ移送ユニット３３０とを含む。

また、貼り合わせローラ３４０の前には、フィルム４０を加熱する加熱部３５０が設置できる。加熱部３５０は、ガラス基板１に向けて熱を照射する加熱ユニット３５１と、加熱ユニット３５１の熱損失が防止されるようにする加熱チャンバ３５２とを含む。加熱部３５０は、ガラス基板１を加熱し、フィルム４０がガラス基板１に熱融着できるようにする。

このようなガラス基板の平坦面形成装置３００において、ガラス基板１は、キャリア１０に支持され、加熱部３５０を通過する。ガラス基板１が加熱部３５０を通過することにより、ガラス基板１は、フィルム４０が熱融着可能な温度に到達することができる。

次に、加熱されたガラス基板１は、貼り合わせローラ３４０の下側に移送される。

一方、シート形態のフィルム４０は、ガラス基板１の上側に移送されて供給ローラ３１０に支持される。グリッパ３２０は、供給ローラ３１０に支持されるフィルム４０の先端をつかむ。グリッパ移送ユニット３３０は、貼り合わせローラ３４０とガラス基板１との間にグリッパ３２０を移送する。このようにフィルム４０がガラス基板１上に位置すると、グリッパ３２０は、フィルム４０を放す。したがって、フィルム４０はガラス基板１に積層できる。

次に、昇降ユニット３４１は、貼り合わせローラ３４０がフィルム４０を加圧できる位置に貼り合わせローラ３４０を昇降させる。このように貼り合わせローラ３４０がフィルム４０を加圧する状態で、ガラス基板移送部１１０は、キャリア１０を移送する。ガラス基板移送部１１０によってキャリア１０が移送されることにより、貼り合わせローラ３４０は、フィルム４０を転動加圧し、フィルム４０はガラス基板１に熱融着される。

上記で説明され、図面に示された本発明の実施形態は、本発明の技術的思想を限定するものと解釈されてはならない。本発明の保護範囲は特許請求の範囲に記載された事項によってのみ制限され、本発明の技術分野における通常の知識を有する者は本発明の技術的思想を多様な形態で改良変更することが可能である。したがって、このような改良および変更は、通常の知識を有する者にとって自明なものである限り、本発明の保護範囲に属する。

１：ガラス基板
１０：キャリア
１１：支持突起
２０：フィルム
２１：液状原料
１００：ガラス基板の平坦面形成装置
１１０：ガラス基板移送部
１１１：駆動プーリ
１１２：従動プーリ
１１３：コンベヤベルト
１１４：クランピングユニット
１３０：フィルム供給部
１３１：原料容器
１３２：塗布ローラ
１３３：押出ローラ
１３４：噴射ユニット
１５０：貼り合わせローラ
１５１：昇降ユニット
１５２：硬化モジュール
１５３：貼り合わせチャンバ
１７０：硬化部
１７１：硬化ユニット
１７２：硬化チャンバ

Claims (16)

1. ガラス基板を移送するガラス基板移送部と、
   一面に平坦面が形成されたフィルムを供給するフィルム供給部と、
   前記フィルム供給部から前記フィルムを受けて前記フィルムを前記ガラス基板に積層させ、前記フィルムを転動加圧し、前記フィルムが前記ガラス基板に貼り合わされるようにする貼り合わせローラとを含むことを特徴とするガラス基板の平坦面形成装置。
2. 前記ガラス基板に貼り合わされた前記フィルムを硬化させる硬化部をさらに含むことを特徴とする請求項１記載のガラス基板の平坦面形成装置。
3. 前記硬化部は、
   硬化チャンバと、
   前記硬化チャンバの内部に設けられ、前記フィルムに光、または熱を照射する硬化ユニットとを含むことを特徴とする請求項２記載のガラス基板の平坦面形成装置。
4. 内部に前記貼り合わせローラが設けられ、前記フィルムが前記ガラス基板に貼り合わされる工程が進行する貼り合わせチャンバをさらに含むことを特徴とする請求項１〜３のうちのいずれか一項に記載のガラス基板の平坦面形成装置。
5. 前記フィルム供給部は、前記フィルムの液状原料を押出して前記フィルムを供給することを特徴とする請求項１〜４のうちのいずれか一項に記載のガラス基板の平坦面形成装置。
6. 前記フィルム供給部は、
   前記液状原料が塗布される塗布ローラと、
   前記塗布ローラに噛み合って回転し、前記液状原料を押出させる押出ローラとを含み、
   前記貼り合わせローラは、前記押出ローラに噛み合うように設けられ、
   前記貼り合わせローラの内部に設けられ、前記液状原料を半硬化させる硬化モジュールをさらに含むことを特徴とする請求項５記載のガラス基板の平坦面形成装置。
7. 前記液状原料は、光硬化性樹脂の液状原料であり、前記貼り合わせローラの外壁は、光透過性材質からなり、
   前記硬化モジュールは、前記貼り合わせローラの外側に向けて光を照射する光源であることを特徴とする請求項６記載のガラス基板の平坦面形成装置。
8. 前記液状原料は、熱硬化性樹脂の液状原料であり、前記貼り合わせローラの外壁は、熱伝導性材質からなり、
   前記硬化モジュールは、前記貼り合わせローラの外側に向けて熱を照射する熱源であることを特徴とする請求項６記載のガラス基板の平坦面形成装置。
9. 前記フィルム供給部は、前記平坦面が形成されたロール形態の前記フィルムを供給することを特徴とする請求項１〜８のうちのいずれか一項に記載のガラス基板の平坦面形成装置。
10. 前記フィルム供給部は、
    フィルムロールを支持するロール支持台と、
    前記フィルムロールから巻き戻される前記フィルムを前記貼り合わせローラにガイドするガイドローラと、
    前記ガラス基板の大きさに応じて前記フィルムをカッティングするカッティングユニットとを含むことを特徴とする請求項９記載のガラス基板の平坦面形成装置。
11. 前記カッティングユニットによってカッティングされた前記フィルムを加圧する加圧ローラをさらに含むことを特徴とする請求項１０記載のガラス基板の平坦面形成装置。
12. 前記フィルム供給部は、前記平坦面が形成されたシート形態の前記フィルムを供給することを特徴とする請求項１〜８のうちのいずれか一項に記載のガラス基板の平坦面形成装置。
13. 前記フィルム供給部は、
    前記フィルムを供給する供給ローラと、
    前記供給ローラに支持される前記フィルムの先端をつかむグリッパと、
    前記グリッパを前記貼り合わせローラと前記ガラス基板との間に移送するグリッパ移送ユニットとを含むことを特徴とする請求項１２記載のガラス基板の平坦面形成装置。
14. 前記フィルムと前記ガラス基板とが貼り合わされる前に、前記ガラス基板を加熱する加熱部をさらに含むことを特徴とする請求項９〜１３のいずれか１項記載のガラス基板の平坦面形成装置。
15. 前記ガラス基板は、底面に少なくとも１つの支持突起が形成されるキャリアに支持され、
    前記ガラス基板移送部は、
    駆動プーリと、
    前記駆動プーリから離隔する従動プーリと、
    前記駆動プーリおよび前記従動プーリに連結されるコンベヤベルトと、
    前記コンベヤベルトに結合されて前記コンベヤベルトと共に移送され、前記キャリアの支持突起をクランピングするクランピングユニットとを含むことを特徴とする請求項１〜１４のうちのいずれか一項に記載のガラス基板の平坦面形成装置。
16. 前記ガラス基板移送部は、
    前記コンベヤベルトの垂れ下がりを防止する支持フレームをさらに含むことを特徴とする請求項１５記載のガラス基板の平坦面形成装置。