JP2013228643A - Method for forming low-reflection film and member with low-reflection film - Google Patents

Method for forming low-reflection film and member with low-reflection film Download PDF

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敏明 杉本
Hisafumi Takanobu
尚史 高信
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育成 原
Junji Murakawa
純司 村川
Yuji Yamazaki
裕二 山崎
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for forming a porous, low-reflection film with low refraction properties on a substrate, and a member with the low-reflection film.SOLUTION: A low-reflection film-forming coating liquid containing an organotin compound and a hydrolyzate of alkoxysilane is applied to a substrate surface to form a coating film. The organotin compound is contained with respect to the hydrolyzate of alkoxysilane within a range of hydrolyzate of alkoxysilane: organotin compound=99:1-50:50 expressed in terms of a molar ratio by oxide conversion. The method includes to set the coating film to a decomposition temperature or more of the organotin compound. The low-reflection film of a porous oxide film with a refractive index of 1.25 or more and 1.50 or less is formed on the substrate.

Description

本発明は、基体、特に透明性基体上に低反射膜を形成する低反射膜の形成方法およびその低反射膜付き部材に関する。本発明の低反射膜の形成方法に得られた低反射膜付き部材の中でも、基体に透明性ガラスを用いてなる低反射膜付きガラスは、自動車ガラス、または照明器具の保護部材等に用いられ、特に太陽電池用カバーガラスに好適に用いられる。   The present invention relates to a method for forming a low-reflection film on a substrate, particularly a transparent substrate, and a member with the low-reflection film. Among the members with a low reflection film obtained by the method for forming a low reflection film according to the present invention, the glass with a low reflection film using a transparent glass as a substrate is used as an automotive glass or a protective member for lighting equipment. Particularly, it is suitably used for a cover glass for a solar cell.

低反射膜は、基体の表面反射を低下させるために、基体表面に設けられた膜である。ガラス等の透明性基体においては、表面反射による光損失をなくして、光透過率(以後、単に光透過と呼ぶことがある)を向上させるために、基体表面に形成される。低反射膜は、スチルカメラ、ビデオカメラおよび液晶プロジェクタ等の光学機器のレンズ表面等に限らず、太陽電池用カバーガラス、建築用窓ガラス、ショーケースおよび自動車用窓ガラス等の汎用品にも形成されつつある。ガラス表面に低反射膜を形成することで、例えば、太陽電池用カバーガラスにおいては、カバーガラスの透過率向上による太陽電池の出力向上、建築用窓ガラス、ショーケースまたは自動車用窓ガラスにおいては、映りこみ防止の効果が得られる。   The low reflection film is a film provided on the substrate surface in order to reduce the surface reflection of the substrate. A transparent substrate such as glass is formed on the surface of the substrate in order to eliminate light loss due to surface reflection and improve the light transmittance (hereinafter sometimes simply referred to as light transmission). The low reflection film is formed not only on the lens surface of optical devices such as still cameras, video cameras, and liquid crystal projectors, but also on general-purpose products such as solar cell cover glass, architectural window glass, showcases, and automotive window glass. It is being done. By forming a low-reflection film on the glass surface, for example, in the cover glass for solar cells, in solar cell output improvement by improving the transmittance of the cover glass, architectural window glass, showcase or automobile window glass, The effect of preventing reflection is obtained.

例えば、特許文献1には、5〜30nmの粒子径を有するシリカゾル(a)と、アルコキシシランの加水分解物、金属アルコキシドの加水分解物及び金属塩からなる群より選ばれた少なくとも1種の成分(b)からなり、且つ(a)のSiO100重量部に対して、(b)を金属酸化物に換算して10〜50重量部の割合で有機溶媒に含有した塗布液を、基材に塗布した後、硬化する事により得られる低屈折率反射防止膜が開示されている。 For example, Patent Document 1 discloses at least one component selected from the group consisting of silica sol (a) having a particle size of 5 to 30 nm, a hydrolyzate of alkoxysilane, a hydrolyzate of metal alkoxide, and a metal salt. (B) and a coating liquid containing 10 to 50 parts by weight of (b) in terms of metal oxide with respect to 100 parts by weight of SiO 2 in (a), A low-refractive-index antireflection film obtained by curing after coating is disclosed.

また、特許文献2には、ゾルゲル法による多孔質反射防止層の堆積方法であって、チタン含有前駆物質を使用し、及び、粒子、特にナノ粒子をゾルゲル溶液に添加することを特徴とする多孔質反射防止層の堆積方法が開示されている。   Patent Document 2 discloses a porous antireflection layer deposition method by a sol-gel method, using a titanium-containing precursor, and adding particles, particularly nanoparticles, to a sol-gel solution. A method for depositing an antireflective layer is disclosed.

このような低反射膜において、シリカからなる膜内部に屈折率が1である空気を細孔および空隙(以下、これらを纏めてボイドと呼ぶことがある。)に含有させることで、多孔質膜を形成することで膜の屈折率を低下させる方法が試みられ、一般には多孔質シリカ膜、中空性シリカ微粒子を用いたシリカ膜が検討されている。   In such a low-reflection film, air having a refractive index of 1 is contained in pores and voids (hereinafter, these may be collectively referred to as voids) inside the film made of silica. A method of lowering the refractive index of the film by forming the film has been tried, and in general, a silica film using a porous silica film or hollow silica fine particles has been studied.

尚、細孔とは、多孔質微細な空孔のことで。孔の大きさによってマイクロ孔(ミクロ孔、マイクロ細孔、マイクロポア)、メソ孔(メソ細孔、メソポア)、マクロ孔(マクロ細孔、マクロポア)に分けられる。国際純正・応用化学連合(IUPAC)では、直径2nm以下の細孔をマイクロ孔、直径2nm〜50nmの細孔をメソ孔、直径50nm以上の細孔をマクロ孔と定義している。   In addition, a pore is a porous fine hole. The pores are classified into micropores (micropores, micropores, micropores), mesopores (mesopores, mesopores), and macropores (macropores, macropores). In the International Union of Pure and Applied Chemistry (IUPAC), pores with a diameter of 2 nm or less are defined as micropores, pores with a diameter of 2 nm to 50 nm are defined as mesopores, and pores with a diameter of 50 nm or more are defined as macropores.

多孔質シリカ膜は、シリカゾルと、界面活性剤または高沸点溶剤等を混合してなる原料液を、基体に塗布した後、ゾルゲル法で成膜してシリカ膜にメソ孔、またはマクロ孔を形成すること等で得られる。尚、ゾルゲル法とは、ケイ素アルコキシドおよびそれを脱水縮合したコロイダルシリカからなるゾル等を、其体表面に塗布した後にゲル化させ、その後、加熱焼成することで、非晶質、多結晶等の比較的硬質な膜を形成する方法である。   A porous silica film is a mesopore or macropore formed in a silica film by applying a raw material liquid that is a mixture of silica sol and a surfactant or a high-boiling-point solvent to a substrate and then forming a film by the sol-gel method. It is obtained by doing. In addition, the sol-gel method means that a sol composed of silicon alkoxide and colloidal silica obtained by dehydrating and condensing it is gelled after being applied to the surface of the body, and then heated and fired to obtain amorphous, polycrystalline, etc. This is a method of forming a relatively hard film.

中空シリカ微粒子は、特定のアルキル基を有するアルコキシシラン等を用い、これを凝集縮合させることで、微小ボイドまたはメソ細孔を含有させたシリカ微粒子である。これら中空シリカ微粒子を用いて基体上に形成された膜は、中空シリカ微粒子に由来するボイドまたはメソ孔、またはマクロ孔を有し、ボイドまたはメソ孔に含有した空気により低反射膜となる。   The hollow silica fine particles are silica fine particles containing fine voids or mesopores by using an alkoxysilane having a specific alkyl group or the like and aggregating and condensing the same. A film formed on the substrate using these hollow silica fine particles has voids, mesopores, or macropores derived from the hollow silica fine particles, and becomes a low reflection film by the air contained in the voids or mesopores.

しかしながら、中空シリカ微粒子は、製造工程が複雑であるという問題があった。よって、汎用品である太陽電池用カバーガラス、照明器具の保護部材および自動車ガラス向けとして、採用し難い。   However, the hollow silica fine particles have a problem that the production process is complicated. Therefore, it is difficult to adopt as a cover glass for solar cells, a protective member for lighting equipment, and an automobile glass, which are general-purpose products.

例えば、特許文献3には、シリカとシリカ以外の無機酸化物とからなる多孔質の複合酸化物粒子が、厚さが0.5nm〜20nmである多孔質のシリカ系無機酸化物層で被覆されてなることを特徴とするメソ孔、またはマクロ孔を有する微粒子の製法が開示される。この微粒子を含有する被膜を基材の表面に形成することで、低屈折率で、樹脂等との密着性、強度、反射防止能等に優れた被膜付きの基材を提供できるとされている。   For example, in Patent Document 3, porous composite oxide particles composed of silica and an inorganic oxide other than silica are coated with a porous silica-based inorganic oxide layer having a thickness of 0.5 nm to 20 nm. A method for producing fine particles having mesopores or macropores is disclosed. By forming a film containing the fine particles on the surface of the substrate, it is said that a substrate with a film having a low refractive index and excellent adhesion to a resin, strength, antireflection ability, etc. can be provided. .

特許文献4には、シリカとAl、B、TiO、ZrO、SnO、Ce、P、Sb、MoOまたは、またはWOから選ばれるシリカ以外の無機酸化物とからなる平均粒径が5nm〜300nmの範囲にある複合酸化物コロイド粒子が水および/または有機溶媒に分散した複合酸化物ゾルであって、前記コロイド粒子は、前記無機酸化物を構成するシリカ以外の元素の一部が除去されると共に粒子表面がシリカ被膜で被覆されてなり、屈折率が1.36〜1.44の範囲にあることを特徴とする複合酸化物ゾルが開示される。当該複合酸化物ゾルを用いて、低屈折率の塗布膜を形成した低反射用の基材が提供できるとされる。 Patent Document 4 includes silica and Al 2 O 3 , B 2 O 3 , TiO 2 , ZrO 2 , SnO 2 , Ce 2 O 3 , P 2 O 5 , Sb 2 O 3 , MoO 3 , or WO 3. A composite oxide colloidal sol in which a composite oxide colloidal particle having an average particle size composed of an inorganic oxide other than silica selected in the range of 5 nm to 300 nm is dispersed in water and / or an organic solvent, A composite in which a part of an element other than silica constituting the inorganic oxide is removed and the particle surface is coated with a silica coating, and the refractive index is in the range of 1.36 to 1.44. An oxide sol is disclosed. The composite oxide sol can be used to provide a substrate for low reflection in which a coating film having a low refractive index is formed.

特許文献5には、シリカ微粒子と、酸化タングステン、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化スズ、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化クロム、酸化セリウム、酸化モリブデンおよび酸化ランタンからなる群から選ばれた少なくとも1種の金属酸化物をシリカ微粒子に対し5質量%以上、40質量%以下に、シリカ微粒子のバインダーとして含有してなり、屈折率1.20以上、1.40以下であることを特徴とする低反射膜およびその形成方法が開示される。   Patent Document 5 selects from the group consisting of silica fine particles, tungsten oxide, niobium oxide, tantalum oxide, titanium oxide, zirconium oxide, tin oxide, aluminum oxide, hafnium oxide, chromium oxide, cerium oxide, molybdenum oxide and lanthanum oxide. And containing at least one kind of the metal oxide as a binder for the silica fine particles in an amount of 5% by mass to 40% by mass with respect to the silica fine particles, and having a refractive index of 1.20 or more and 1.40 or less. Disclosed are a low reflection film and a method for forming the same.

本発明において、有機スズ化合物、言いかえれば、アルキルスズ化合物とは、4価のスズ原子に少なくとも一つの炭素原子が結合している化合物を呼び、有機基Rの結合数によって4つの化合物、即ち、モノ有機スズ化合物(RSnX)、ジ有機スズ化合物(RSnX)、トリ有機スズ化合物(RSnX)およびテトラ有機スズ化合物(RSn)、に分けられる。Xは炭素以外原子、例えば、酸素原子により結合している基である。 In the present invention, an organotin compound, in other words, an alkyltin compound refers to a compound in which at least one carbon atom is bonded to a tetravalent tin atom, and four compounds are defined depending on the number of bonds of the organic group R, that is, It is divided into a monoorganotin compound (RSnX 3 ), a diorganotin compound (R 2 SnX 2 ), a triorganotin compound (R 3 SnX) and a tetraorganotin compound (R 4 Sn). X is a group bonded by an atom other than carbon, for example, an oxygen atom.

これら有機スズ化合物の中で、有機基Rがメチル基、n−ブチル基またはn−オクチル基であり、一つもしくは二つの有機基Rがスズ原子に結合している、モノ有機スズ化合物およびジ有機スズ化合物は、塩化ビニル樹脂を始めとしたハロゲン含有樹脂用の熱安定化剤を主体に、触媒、ガラス被覆剤等に使用される。他に、ポリウレタンの原料、またはシリコーンゴムの硬化剤に使用される。このように、モノ有機スズ化合物およびジ有機スズ化合の主な用途は樹脂の安定剤、反応触媒、および樹脂、塗料の硬化剤であり、具体的には、塩化ビニル樹脂、塩素化塩化ビニル樹脂または塩素化ポリエチレン等のハロゲン含有樹脂用熱安定化、ハロゲン系難燃剤含有樹脂用熱安定化剤、エステル化反応用触媒、エステル交換反応用触媒、ポリウレタン樹脂用硬化剤、シリコーン樹脂用硬化剤および電着塗料用硬化剤が挙げられる。   Among these organotin compounds, the organic group R is a methyl group, n-butyl group or n-octyl group, and one or two organic groups R are bonded to a tin atom, Organotin compounds are mainly used as heat stabilizers for halogen-containing resins such as vinyl chloride resins, and are used in catalysts, glass coating agents, and the like. In addition, it is used as a raw material for polyurethane or a curing agent for silicone rubber. Thus, the main uses of monoorganotin compounds and diorganotin compounds are resin stabilizers, reaction catalysts, and curing agents for resins and paints. Specifically, vinyl chloride resins and chlorinated vinyl chloride resins Or heat stabilization for halogen-containing resins such as chlorinated polyethylene, heat stabilizer for halogen-containing flame retardant-containing resins, catalyst for esterification reaction, catalyst for transesterification reaction, curing agent for polyurethane resin, curing agent for silicone resin and Examples of the curing agent for electrodeposition paints.

日本では、有機スズ化合物は全体の約90%がハロゲン含有樹脂用の熱安定化剤、即ち、有機スズ安定剤として使用される。   In Japan, about 90% of the organotin compounds are used as heat stabilizers for halogen-containing resins, ie, organotin stabilizers.

また、テトラ有機スズ化合物は、モノ有機スズ化合物およびジ有機スズ化合物の原料として使われるが、トリ有機スズ化合物は毒性や環境への影響の問題から、現在日本においては製造および使用されていない。テトラ有機スズ化合物は非常に安定であり、毒性は低いが、代謝されると有毒なトリ有機スズ化合物になる虞がある。トリ有機スズ化合物は毒性があり、殺菌剤および殺虫剤に使われたが近年生物への環境汚染が問題になっており国内では使用禁止になっている。それに対してモノ有機スズ化合物およびジ有機スズ化合物は毒性を有さない、もしくは低い。     Tetraorganotin compounds are used as raw materials for monoorganotin compounds and diorganotin compounds, but triorganotin compounds are not currently manufactured and used in Japan due to problems of toxicity and environmental impact. Tetraorganotin compounds are very stable and have low toxicity, but can be toxic triorganotin compounds when metabolized. Triorganotin compounds are toxic and have been used as fungicides and insecticides, but in recent years environmental pollution to living organisms has become a problem, and their use is prohibited in Japan. In contrast, monoorganotin compounds and diorganotin compounds have no or low toxicity.

例えば、特許文献6には、分子末端又は側鎖に、加水分解性基と結合した珪素原子を1分子中に少なくとも1個有するシリル基含有有機重合体(A)100重量部と硬化触媒(B)0.1〜10重量部を主要成分とする組成物において、硬化触媒(B)が、ジアルキルスズ化合物80〜50重量%とシリケート化合物20〜50重量%との混合物であることを特徴とする湿気硬化性組成物が開示されている。   For example, in Patent Document 6, 100 parts by weight of a silyl group-containing organic polymer (A) having at least one silicon atom bonded to a hydrolyzable group in a molecule terminal or side chain in one molecule and a curing catalyst (B ) A composition comprising 0.1 to 10 parts by weight as a main component, wherein the curing catalyst (B) is a mixture of 80 to 50% by weight of a dialkyltin compound and 20 to 50% by weight of a silicate compound. A moisture curable composition is disclosed.

また、特許文献7には、
k−mM(OCOR)n
(ここで、MはSn、Ti、In、Si、Zr、およびAlからなる群から選ばれる金属原子であり、Rは炭素数1〜6の、直鎖の、または分岐鎖、または環状のアルキル基、アルケニル基、あるいはアリール基であり、Rは炭素数3〜6の分岐鎖を有するアルキル基であり、kは金属原子Mの価数を表す数であり、mは1〜kの数である。)で表されるガラスコーティング剤、およびそのコーティング剤を450〜750℃に保持されたガラス基材に施して、ガラス表面に金属酸化物被膜を形成させるガラスコーティング方法が開示されている。本方法により、耐久性に優れ、かつヘーズの発生のない被膜をガラス表面に形成することのできるとされる。
Patent Document 7 discloses that
R 1 k-m M (OCOR 2) n
(Here, M is a metal atom selected from the group consisting of Sn, Ti, In, Si, Zr, and Al, and R 1 is a linear, branched, or cyclic group having 1 to 6 carbon atoms. An alkyl group, an alkenyl group, or an aryl group, R 2 is an alkyl group having a branched chain having 3 to 6 carbon atoms, k is a number representing the valence of the metal atom M, and m is 1 to k. And a glass coating method in which the coating agent is applied to a glass substrate held at 450 to 750 ° C. to form a metal oxide film on the glass surface. Yes. According to this method, it is said that a film having excellent durability and no haze can be formed on the glass surface.

特許文献7に記載の発明は、有機カルボン酸塩の熱分解により耐久性に優れ且つヘーズの発生のない金属酸化物被膜を得るものであり、ガラス機材の耐磨耗製の向上が目的である。得られた金属酸化物被膜の屈折率は1.7〜2.2であり、汎用ガラスであるソーダライムガラスの屈折率1.52よりも高く、低屈折率性を有する低反射膜についての発明ではない。具体的には、有機スズ化合物自体が熱分解して酸化スズ膜を形成させるもので、酸化スズ膜がガラス基体の保護のために用いられている。酸化スズ膜は透明であり、強固で耐薬品性に優れるが屈折率が1.8〜2.0であり、低屈折率性を有する低反射膜とはならない。   The invention described in Patent Document 7 is to obtain a metal oxide film having excellent durability and no haze generation by thermal decomposition of an organic carboxylate, and is intended to improve the wear resistance of glass equipment. . The refractive index of the obtained metal oxide film is 1.7 to 2.2, which is higher than the refractive index 1.52 of soda lime glass, which is a general-purpose glass, and an invention relating to a low reflective film having low refractive index properties is not. Specifically, the organic tin compound itself is thermally decomposed to form a tin oxide film, and the tin oxide film is used for protecting the glass substrate. The tin oxide film is transparent, strong and excellent in chemical resistance, but has a refractive index of 1.8 to 2.0 and does not become a low reflection film having low refractive index properties.

特開平08−122501号公報Japanese Patent Laid-Open No. 08-122501 特開2010−134462号公報JP 2010-134462 A 国際特許公開公報WO00/37359号International Patent Publication No. WO00 / 37359 特開2006−117526号公報JP 2006-117526 A 国際特許公開公報WO/2012/008427International Patent Publication WO / 2012/008427 特開2001−172515号公報JP 2001-172515 A 特開2000−119044号公報JP 2000-119044 A

太陽電池用カバーガラス、建築ガラス、ショーケースおよび自動車ガラスとしての製造が簡便で安価な低反射膜付きガラスが求められている。   There is a need for a glass with a low reflection film that is simple and inexpensive to produce as cover glass for solar cells, architectural glass, showcases, and automobile glass.

本発明は、基体、特にガラス板上に多孔質低屈折率性の低反射膜を得るための低反射膜の形成方法を提供するものである。   The present invention provides a method for forming a low reflection film for obtaining a porous low refractive index low reflection film on a substrate, particularly a glass plate.

本発明の低反射膜の形成方法において、アルコキシシランが加水分解したゾルと有機スズ化合物を含有してなる低反射膜形成用塗布液を基材表面に塗布被覆して多孔質低屈折性の低反射膜を形成する。ジ有機スズ化合物は、例えば、特許文献6に湿気硬化性組成物の材料として開示され、特許文献7にガラスコーティング剤として選択される金属化合物の一つとして開示されるが、低反射膜の材料として使われた例はなく、多孔質低屈折性の膜を基材表面に得ることについての報告はない。   In the method for forming a low reflection film according to the present invention, a coating liquid for forming a low reflection film containing a sol obtained by hydrolyzing alkoxysilane and an organotin compound is coated and coated on the surface of a substrate to reduce the porosity and the low refractive index. A reflective film is formed. The diorganotin compound is disclosed, for example, in Patent Document 6 as a material for a moisture-curable composition, and in Patent Document 7 as one of metal compounds selected as a glass coating agent. No examples have been used, and there is no report on obtaining a porous low-refractive film on the substrate surface.

本発明は、有機スズ化合物、例えば、ジ有機スズ化合物およびアルコキシシランが加水分解したゾルを含む低反射膜形成用塗布液をガラス板等の基材表面に塗布被覆することで、屈折率1の空気をボイドに含む多孔質膜からなる低屈折率の低反射膜を得たものである。アルコキシシランと有機スズ化合物を用いることで、前記ゾルからなる塗布膜中で有機スズ化合物が分解し、二酸化炭素等の有機スズ化合物の分解生成物である有機ガスおよび水からなる分離ガスを塗布膜中で発生し、前記ゾルが縮合したシリカからなる膜中に屈折率1の空気を取り込んだ微小ボイドおよび酸化スズが散在した低屈折性の膜となった。ボイドの径は50nm〜150nmであるので光を分散させることなく、ガラス板の透明性を損なうことはない。   In the present invention, a coating solution for forming a low reflection film containing a sol obtained by hydrolyzing an organotin compound, for example, a diorganotin compound and an alkoxysilane, is applied to and coated on the surface of a substrate such as a glass plate, so that the refractive index is 1. A low-refractive-index low-reflective film made of a porous film containing air in a void is obtained. By using an alkoxysilane and an organic tin compound, the organic tin compound is decomposed in the coating film made of the sol, and a separation gas made of organic gas and water, which is a decomposition product of the organic tin compound such as carbon dioxide, is applied to the coating film. A low-refractive film was generated in which fine voids in which air having a refractive index of 1 was incorporated and tin oxide were dispersed in a film made of silica condensed with the sol. Since the diameter of the void is 50 nm to 150 nm, the light is not dispersed and the transparency of the glass plate is not impaired.

アルコキシシランを焼成した場合、アルコキシシランに含まれるアルコキシ基の分解による発生する有機成分および水は、ボイドの形成には寄与しない。例えば、テトラエトキシシラン(以後、TEOSと呼ぶことがある。)のみを使った場合は、ボイドのないバルク状の膜となり、低屈性の膜は得られない。   When the alkoxysilane is baked, the organic component and water generated by the decomposition of the alkoxy group contained in the alkoxysilane do not contribute to the formation of voids. For example, when only tetraethoxysilane (hereinafter sometimes referred to as TEOS) is used, a bulk film without voids is obtained, and a low-flexibility film cannot be obtained.

また、有機スズ化合物を膜組成に加えると、通常は屈折率が高くなる。しかしながら、本発明においては、有機スズ化合物を含みながら、アルコキシシランと有機スズ化合物を並存させて塗布膜とすることで初めて、多孔質で屈折率の低い膜が得られ、低反射膜として有用であった。   Further, when an organic tin compound is added to the film composition, the refractive index is usually increased. However, in the present invention, a porous film having a low refractive index can be obtained for the first time by including an organotin compound and containing an alkoxysilane and an organotin compound together to form a coating film, which is useful as a low reflection film. there were.

本発明は、発明1〜13に示す通りである。   The present invention is as shown in Inventions 1-13.

[発明1]
有機スズ化合物およびアルコキシシランの加水分解物を含んでなり、アルコキシシランの加水分解物に対して有機スズ化合物が、酸化物換算によるモル比で表して、アルコキシシランの加水分解物:有機スズ化合物=99:1〜50:50の範囲に含まれてなる低反射膜形成用塗布液を基体表面に塗布して塗膜とし、有機スズ化合物の分解温度以上にすることを含む、屈折率1.25以上、1.50以下である多孔質性酸化物膜の低反射膜を基体上に形成する、低反膜の形成方法。
[Invention 1]
A hydrolyzate of an organotin compound and an alkoxysilane, wherein the organotin compound is expressed in terms of a molar ratio in terms of oxide to the hydrolyzate of the alkoxysilane, and the hydrolyzate of the alkoxysilane: the organotin compound = Refractive index 1.25 including coating the substrate surface with a coating solution for forming a low reflection film contained in a range of 99: 1 to 50:50 to form a coating film that is at or above the decomposition temperature of the organotin compound. A method for forming a low anti-reflection film, comprising forming a low reflective film of a porous oxide film of 1.50 or less on a substrate.

[発明2]
有機スズ化合物が一般式(1):R SnA (1)
(式中、Rは炭素数1〜12の直鎖状または炭素数3〜12の分岐鎖状のアルキル基、アルケニル基または炭素数6〜12のアリール基であり、Aは炭素数1〜18の直鎖状または炭素数3〜18の分岐鎖状のアルコキシ基またはアルコキシシリル基である。Xは1または2の整数、Yは4−Xで表される整数である。)
で表される化合物である、発明1の方法。
[Invention 2]
The organotin compound is represented by the general formula (1): R 1 X SnA Y (1)
(In the formula, R 1 is a linear or branched alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkenyl group or an aryl group having 6 to 12 carbon atoms, and A is 1 to 1 carbon atoms. 18 is a linear or branched C3-C18 alkoxy group or alkoxysilyl group, X is an integer of 1 or 2, and Y is an integer represented by 4-X.)
The method of the invention 1 which is a compound represented by these.

[発明3]
有機スズ化合物が一般式(2):R SnA (2)
(式中、Rは炭素数1〜12の直鎖状または炭素数3〜12の分岐鎖状のアルキル基、アルケニル基または炭素数6〜12のアリール基であり、Aは炭素数1〜18の直鎖状もしくは炭素数3〜18の分岐鎖状のアルコキシ基またはアルコキシシリル基である。)で表されるジ有機スズ化合物である、発明1または発明2に記載の方法。
[Invention 3]
The organotin compound is represented by the general formula (2): R 1 2 SnA 2 (2)
(In the formula, R 1 is a linear or branched alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkenyl group or an aryl group having 6 to 12 carbon atoms, and A is 1 to 1 carbon atoms. 18 linear or branched C1-C18 branched alkoxy group or alkoxysilyl group.) The method according to Invention 1 or Invention 2.

[発明4]
有機スズ化合物が
一般式(3):R Sn(OCOR (3)
または
一般式(4):R Sn(OCOR)O (4)
(式中、Rは炭素数1〜12の直鎖状または炭素数3〜12の分岐鎖状のアルキル基、アリール基または炭素数6〜12のアルケニル基であり、Aは炭素数1〜18の直鎖状もしくは炭素数3〜18の分岐鎖状のアルコキシ基またはアルコキシシリル基である。pは1または2の整数、Qは4−Pまたは3−Pで表される整数である。)
で表される化合物である、発明1の方法。
[Invention 4]
The organotin compound is represented by the general formula (3): R 1 P Sn (OCOR 2 ) Q (3)
Or general formula (4): R 1 P Sn (OCOR 2 ) Q ) O (4)
(In the formula, R 1 is a linear or branched alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an aryl group, or an alkenyl group having 6 to 12 carbon atoms, and A is 1 to 1 carbon atoms. 18 is a linear or branched alkoxy group having 3 to 18 carbon atoms or an alkoxysilyl group, p is an integer of 1 or 2, and Q is an integer represented by 4-P or 3-P. )
The method of the invention 1 which is a compound represented by these.

[発明5]
有機スズ化合物が
一般式(5):R Sn(OCOR (5)
または
一般式(6):(R Sn(OCOR))O (6)
(式中、Rは炭素数1〜12の直鎖状または炭素数3〜12の分岐鎖状のアルキル基、アリール基または炭素数6〜12のアリール基であり、Aは炭素数1〜18の直鎖状もしくは炭素数3〜18の分岐鎖状のアルコキシ基またはアルコキシシリル基である。)
で表されるジ有機スズ化合物である、発明4の方法。
[Invention 5]
The organotin compound is represented by the general formula (5): R 1 2 Sn (OCOR 2 ) 2 (5)
Or general formula (6): (R 1 2 Sn (OCOR 2 )) 2 O (6)
(In the formula, R 1 is a linear or branched alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an aryl group or an aryl group having 6 to 12 carbon atoms, and A is 1 to 1 carbon atoms. 18 linear or branched alkoxy group having 3 to 18 carbon atoms or alkoxysilyl group.)
The method of the invention 4, which is a diorganotin compound represented by the formula:

[発明6]
アルコキシシランが一般式(7):R Si(OR4−m (7)
(式中、RおよびRはそれぞれ独立に炭素数1〜4の直鎖状または炭素数3〜4分岐鎖状のアルキル基であり、mは0〜3の整数である)で表される化合物またはその加水分解物である、発明1〜5の方法。
[Invention 6]
Alkoxysilane is represented by the general formula (7): R 3 m Si (OR 4 ) 4-m (7)
(Wherein R 3 and R 4 are each independently a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and m is an integer of 0 to 3). The method of invention 1-5 which is a compound or its hydrolyzate.

[発明7]
アルコキシシランがテトラアルコキシシランである、発明1〜6の方法。
[Invention 7]
The method of inventions 1-6, wherein the alkoxysilane is tetraalkoxysilane.

[発明8]
発明1〜7の方法で、低反射膜が形成されてなる低反射膜付き部材。
[Invention 8]
A member with a low reflection film, wherein a low reflection film is formed by the method of inventions 1-7.

[発明9]
低反射膜の厚みが膜厚50nm以上、200nm以下である発明8の低反射膜付き部材
[発明10]
JIS R3257(1999)に準拠する接触角が面の2°以上、40°以下である低反射膜が形成されてなる、発明8または発明9の低反射膜部材。
[Invention 9]
The member with a low reflection film of Invention 8 wherein the thickness of the low reflection film is 50 nm or more and 200 nm or less [Invention 10]
The low reflection film member of the invention 8 or the invention 9, wherein a low reflection film having a contact angle of 2 ° or more and 40 ° or less of the surface according to JIS R3257 (1999) is formed.

[発明11]
低反射膜が形成された面の1cmあたりの表面抵抗値が10Ωcm以上、1012Ωcm以下である、発明8〜10の低反射膜付き部材。
[Invention 11]
The member with a low reflection film according to inventions 8 to 10, wherein the surface resistance value per 1 cm 3 of the surface on which the low reflection film is formed is 10 6 Ωcm or more and 10 12 Ωcm or less.

[発明12]
基体がガラス板である発明8〜11の低反射膜付き部材。
[Invention 12]
The member with a low reflection film according to inventions 8 to 11, wherein the substrate is a glass plate.

[発明13]
発明12の低反射膜付き部材を用いてなる、太陽電池カバーガラス。
[Invention 13]
The solar cell cover glass which uses the member with the low reflection film of the twelfth invention.

本発明の低反射膜の形成方法により、基材、特にガラス板上に多孔質低屈折率の低反射膜が形成された。   By the method for forming a low reflection film of the present invention, a porous low reflection film having a low refractive index was formed on a substrate, particularly a glass plate.

詳しくは、有機スズ化合物およびアルコキシシランの加水分解物を含んでなり、、アルコキシシランの加水分解物に対して有機スズ化合物が、酸化物換算によるモル比で表して、アルコキシシランの加水分解物:有機スズ化合物=99:1〜50:50の範囲に含まれてなる低反射膜形成用塗布液ををガラス板等の基材表面に塗布被覆することで、有機スズ化合物が分解し発生した有機ガスおよび水からなる分離ガスを、アルコキシシランが脱水縮合してなるシリカ膜中に発生させてボイドとし、屈折率1の空気をボイドに含む多孔質膜としての低屈折率を有する、屈折率1.25以上、1.50以下である多孔質性酸化物膜低反射膜が形成された。有機スズ化合物には、ジ有機スズ化合物をもちいることが好ましい。   Specifically, it comprises a hydrolyzate of an organotin compound and an alkoxysilane, and the organotin compound is represented by a molar ratio in terms of oxide to the hydrolyzate of the alkoxysilane, and the hydrolyzate of the alkoxysilane: An organic tin compound is decomposed and generated by applying and coating a coating solution for forming a low reflection film included in a range of 99: 1 to 50:50 on the surface of a substrate such as a glass plate. A separation gas composed of a gas and water is generated in a silica film formed by dehydration condensation of alkoxysilane to form a void, and has a low refractive index of 1 as a porous film containing air having a refractive index of 1 in the void. A porous oxide film low reflection film having a thickness of .25 or more and 1.50 or less was formed. The organotin compound is preferably a diorganotin compound.

基材表面に低反射膜を形成する際に、基材にアルコキシシランの加水分解物と有機スズ化合物を同時に塗布したことで、有機スズ化合物は分解し有機ガスおよび水を膜中で発生し、アルコキシシランが脱水縮合してなるシリカ膜中に屈折率1の空気を取り込んだ微小ボイドおよび酸化スズが散在した低屈折率の膜を有する低反射膜付き部材が得られた。   When forming a low reflection film on the substrate surface, by applying the alkoxysilane hydrolyzate and organotin compound to the substrate at the same time, the organotin compound decomposes and generates organic gas and water in the film. A member with a low reflective film having a low refractive index film in which fine voids in which air having a refractive index of 1 was taken into a silica film formed by dehydration condensation of alkoxysilane and tin oxide was dispersed was obtained.

実施例1で作製した低反射膜付きガラスの低反射膜面の図面代用SEM写真である。2 is a SEM photograph substituting for a drawing of a low reflection film surface of a glass with a low reflection film prepared in Example 1. FIG. 実施例1および2で作製した低反射膜付きガラスの光透過率のグラフである。It is a graph of the light transmittance of the glass with a low reflection film produced in Examples 1 and 2.

本発明の低反射膜の形成方法に用いるモノ有機スズ化合物およびジ有機スズ化合物は、前述のように、樹脂を製造する際の重合促進のための重合触媒として用いられ、塩化ビニール樹脂の安定剤として用いられる。シリコーン樹脂に添加したモノ有機スズ化合物またはジ有機スズ化合は硬化触媒としての作用が目的であり、シリコーン樹脂にモノ有機スズ化合物、またはジ有機スズ化合を添加したものは、400℃以上で焼成すると、シリカの粉末になってしまい膜を形成しない。   As described above, the monoorganotin compound and the diorganotin compound used in the method for forming a low reflection film of the present invention are used as a polymerization catalyst for promoting polymerization in the production of a resin, and are stabilizers for vinyl chloride resin. Used as The monoorganotin compound or diorganotin compound added to the silicone resin is intended to act as a curing catalyst, and the one obtained by adding the monoorganotin compound or diorganotin compound to the silicone resin is fired at 400 ° C. or higher. It becomes silica powder and does not form a film.

本発明において、シリコーン樹脂等の多孔質な膜を与えるシリカではなく、脱水縮合した際にボイドのない堅牢なバルク状のシリカ膜を与えるアルコキシシシランと、有機スズ化合物を用いることで、アルコキシシランが脱水縮合してなるシリカ膜形成時に有機スズ化合物が膜中で分解し、二酸化炭素等の有機スズ化合物の分解生成物である有機ガスおよび水からなる分離ガスを塗布膜中で発生し、アルコキシシランが脱水縮合して形成されたシリカ膜中に屈折率1の空気を取り込んだ微小ボイドおよび酸化スズが散在した多孔質低屈折性の低反射膜を形成する。   In the present invention, by using an alkoxysilane and an organotin compound that give a robust bulk silica film without voids when dehydrated and condensed, not an silica that gives a porous film such as a silicone resin, an alkoxysilane When the silica film is formed by dehydration condensation, the organotin compound is decomposed in the film, and a separation gas composed of organic gas and water, which is a decomposition product of the organic tin compound such as carbon dioxide, is generated in the coating film. A porous low-refractive low-reflective film in which fine voids taking in air having a refractive index of 1 and tin oxide are dispersed in a silica film formed by dehydration condensation of silane is formed.

即ち、本発明は、有機スズ化合物およびアルコキシシランの加水分解物を含んでなり、アルコキシシランの加水分解物に対して有機スズ化合物が、酸化物換算によるモル比で表して、アルコキシシランの加水分解物:有機スズ化合物=99:1〜50:50の範囲に含まれてなる低反射膜形成用塗布液を基体表面に塗布して塗膜とし、有機スズ化合物の分解温度以上にすることを含む、屈折率1.25以上、1.50以下である多孔質性酸化物膜の低反射膜を基体上に形成する、低反膜の形成方法である。   That is, the present invention comprises a hydrolyzate of an organotin compound and an alkoxysilane, and the organotin compound is represented by a molar ratio in terms of oxide to the hydrolyzate of the alkoxysilane, thereby hydrolyzing the alkoxysilane. Object: Organotin compound = Applying a coating solution for forming a low reflection film included in a range of 99: 1 to 50:50 on the surface of the substrate to form a coating film, and including setting the organic tin compound to a decomposition temperature or higher This is a method for forming a low anti-reflection film, in which a low reflective film of a porous oxide film having a refractive index of 1.25 or more and 1.50 or less is formed on a substrate.

有機スズ化合物の分解温度以上にすることで、有機スズ化合物が酸化スズとなる際の分離ガスにより、加水分解物が脱水縮合したシリカ膜中にボイドを形成させて、ボイドに屈折率1の空気を取り込んだ低反射膜とする
尚、本発明において、液安定性とは、低反射膜形成用塗布液において、有機スズ化合物もしくはアルコキシシランの析出がないこと、または液のゲル化がないことであり、液寿命とは、低反射膜形成用塗布液の経時劣化により液安定性が損なわれるまでの時間である。シリカとはアルコキシシランが加水分解後に縮重合した、シロキサン結合を有する重合体を指す。径とは、粒子またはボイドの最大径を指す。
By making the decomposition temperature of the organotin compound or higher, voids are formed in the silica film in which the hydrolyzate is dehydrated and condensed by the separation gas when the organotin compound becomes tin oxide. In the present invention, liquid stability means that there is no precipitation of an organotin compound or alkoxysilane in the coating liquid for forming a low reflection film, or no gelation of the liquid. In other words, the liquid life is the time until the liquid stability is impaired due to the deterioration of the coating liquid for forming a low reflection film over time. Silica refers to a polymer having a siloxane bond obtained by condensation polymerization of alkoxysilane after hydrolysis. The diameter refers to the maximum diameter of particles or voids.

以下、順を追って説明する。   Hereinafter, the description will be given in order.

1.低反射膜形成用塗布液
本発明の低反射膜の形成方法に用いる低反射膜形成用塗布液は、有機スズ化合物およびアルコキシシランの加水分解物を含んでなり、アルコキシシランの加水分解物に対して有機スズ化合物が、酸化物換算によるモル比で表して、即ち,SiOまたはSnOに換算して、アルコキシシランの加水分解物:有機スズ化合物=99:1〜50:50の範囲に含まれてなる低反射膜形成用塗布液である。
1. Low Reflective Film Forming Coating Liquid The low reflective film forming coating liquid used in the method for forming a low reflective film of the present invention comprises an organotin compound and an alkoxysilane hydrolyzate. The organotin compound is expressed in terms of a molar ratio in terms of oxide, that is, in terms of SiO 2 or SnO 2 , hydrolyzate of alkoxysilane: organotin compound = 99: 1 to 50:50 This is a coating solution for forming a low reflection film.

前記低反射膜形成用塗布液を用い基体表面に塗布して塗膜とし、有機スズ化合物の分解温度以上にすることで、基体の表面に低反射膜が形成された低反射基材が得られる。前記低反射膜形成用塗布液を用いて形成された低反射膜は、多孔質であり、ボイドに屈折率1の空気を取り込むことで、屈折率1.25〜1.50の低屈折率を得、表面低反射性を基体に与える。   By applying the coating solution for forming a low-reflection film on the surface of the substrate to form a coating film, and having a decomposition temperature higher than the organotin compound, a low-reflection substrate having a low-reflection film formed on the surface of the substrate can be obtained. . The low reflection film formed using the coating liquid for forming the low reflection film is porous and has a refractive index of 1.25 to 1.50 by taking air having a refractive index of 1 into the void. As a result, the substrate has low surface reflectivity.

即ち、有機スズ化合物およびアルコキシシランの加水分解物を含んでなり、酸化物換算によるモル比でアルコキシシランの加水分解物:有機スズ化合物=99:1〜50:50の範囲に含まれてなる前記低反射膜形成用塗布液を用い、基体に塗布し塗膜とした後に、アルコキシシランが加水分解後に縮重合してシリカ膜を形成する際に、有機スズ化合物の分解温度以上にすることで、有機スズ化合物が分解して発生した有機ガスおよび水からなるガスを発生させ微小ボイドを得る。尚、有機スズ化合物は焼成後、酸化スズとなる。その際、低反射膜形成用塗布液において、アルコキシシランの加水分解物:有機スズ化合物=99:1〜50:50の範囲とすることで、屈折率1.25以上、1.50以下である多孔質体の低反射膜が基体上に得られる。   That is, it comprises a hydrolyzate of an organotin compound and an alkoxysilane, and the hydrolyzate of an alkoxysilane: organotin compound = 99: 1 to 50:50 in a molar ratio in terms of oxide. By using a coating solution for forming a low reflection film, and applying it to a substrate to form a coating film, when the alkoxysilane is subjected to condensation polymerization after hydrolysis to form a silica film, by making the decomposition temperature of the organotin compound or higher, A gas composed of an organic gas generated by decomposition of the organotin compound and water is generated to obtain a microvoid. The organotin compound becomes tin oxide after firing. At that time, in the coating solution for forming a low reflection film, the refractive index is 1.25 or more and 1.50 or less by setting the hydrolyzate of alkoxysilane: organotin compound = 99: 1 to 50:50. A porous low reflection film is obtained on the substrate.

前記低反射膜形成用塗布液において、有機スズ化合物が、モル比1未満では多孔質体を得る効果がなく、モル比50より多く加えると低屈折率が得られず、低反射基材が得られないからである。好ましくは、アルコキシシランの加水分解物:有機スズ化合物=95:5〜60:40以下である。   In the coating solution for forming a low reflection film, if the organotin compound is less than a molar ratio of 1, there is no effect of obtaining a porous material, and if it is added more than a molar ratio of 50, a low refractive index cannot be obtained and a low reflective substrate is obtained. Because it is not possible. Preferably, the hydrolyzate of alkoxysilane: organotin compound = 95: 5 to 60:40 or less.

以下、本発明の低反射膜の形成方法に用いる低反射膜形成用塗布液に含まれる必須の成分である、有機スズ化合物、アルコキシシランおよび有機溶剤について説明する。尚、これら構成物以外に、耐湿性および膜硬度を増大させるためのケイ素、ジルコニウム、アルミニウムおよびスズからなる群より選ばれる金属のアルコキシド、金属β-ジケトンまたは金属β-ジケトエステルから選ばれるキレート、ヒドロキシアミネート、ジオレートまたはヒドロキシアシレートから選ばれる水系キレートあるいは、これら金属のカルボン酸塩を加えてもよい。   Hereinafter, the organic tin compound, alkoxysilane, and organic solvent, which are essential components contained in the coating solution for forming a low reflection film used in the method for forming a low reflection film of the present invention, will be described. In addition to these components, a metal alkoxide selected from the group consisting of silicon, zirconium, aluminum and tin for increasing moisture resistance and film hardness, a metal β-diketone or a chelate selected from metal β-diketoesters, An aqueous chelate selected from hydroxyamate, diolate or hydroxyacylate or a carboxylate of these metals may be added.

2.有機スズ化合物
本発明に用いる有機スズ化合物は、毒性があるおよび入手できないトリ有機スズ化合物およびテトラ有機スズ化合物を除く、モノ有機スズ化合物、ジ有機スズ化合物であることが好ましく、入手し易さより、市販のジ有機スズ化合物をもちいることが好ましい。トリ有機スズ化合物およびテトラ有機スズ化合物は入手困難であり、実質的に使用されない。
2. Organotin compound The organotin compound used in the present invention is preferably a monoorganotin compound or a diorganotin compound, excluding triorganotin compounds and tetraorganotin compounds that are toxic and not available. It is preferable to use a commercially available diorganotin compound. Triorganotin compounds and tetraorganotin compounds are difficult to obtain and are not substantially used.

本発明の低反射膜の形成方法に用いる低反射膜形成用塗布液に含ませる有機スズ化合物には、
一般式(1):R SnA (1)
(式中、Rは炭素数1〜12の直鎖状または炭素数3〜12の分岐鎖状のアルキル基、アリール基または炭素数6〜12のアルケニル基であり、Aは炭素数1〜18の直鎖状または炭素数3〜18の分岐鎖状のアルコキシ基またはアルコキシシリル基である。Xは1または2の整数、Yは4−Xで表される整数である。)で表される化合物が挙げられる。
The organotin compound contained in the coating solution for forming a low reflection film used in the method for forming a low reflection film of the present invention includes:
Formula (1): R 1 X SnA Y (1)
(In the formula, R 1 is a linear or branched alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an aryl group, or an alkenyl group having 6 to 12 carbon atoms, and A is 1 to 1 carbon atoms. 18 is a linear or branched alkoxy group having 3 to 18 carbon atoms or an alkoxysilyl group, X is an integer of 1 or 2, and Y is an integer represented by 4-X.) Compounds.

前記低反射膜形成用塗布系において、市販されており入手が容易であることより、ジ有機スズ化合物を用いることが好ましく、
一般式(2):R SnA (2)
(式中、式中、Rは炭素数1〜12の直鎖状または炭素数3〜12の分岐鎖状のアルキル基、アリール基または炭素数6〜12のアリール基であり、Aは炭素数1〜18の直鎖状もしくは炭素数3〜18の分岐鎖状のアルコキシ基またはアルコキシシリル基である。)で表される化合物を用いることが好ましい。
In the coating system for forming the low reflection film, it is preferable to use a diorganotin compound because it is commercially available and easily available.
Formula (2): R 1 2 SnA 2 (2)
(In the formula, R 1 is a linear alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or a branched alkyl group having 3 to 12 carbon atoms, an aryl group, or an aryl group having 6 to 12 carbon atoms, and A is carbon. It is preferable to use a compound represented by a linear or branched alkoxy group having 1 to 18 carbon atoms or an alkoxysilyl group.

基体に前記低反射膜形成用塗布液を塗布し塗膜とした後、有機スズ化合物が分解することより、これらRおよびAより有機ガスまたは水が発生し、アルコキシシランの加水分解物とともに塗布した際、加水分解物が縮重合してなるシリカ膜中に微小ボイドを発生させる。 After applying the coating solution for forming a low reflection film on the substrate to form a coating film, the organic tin compound is decomposed to generate organic gas or water from these R 1 and A, which is applied together with the hydrolyzate of alkoxysilane. When this occurs, microvoids are generated in the silica film formed by condensation polymerization of the hydrolyzate.

一般式(2)において、Rで表わされる炭素数1〜12の直鎖状または炭素数3〜12の分岐鎖状のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、s−ブチル基、t−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、へプチル基、オクチル基、2−エチルヘキシル基またはラウリル基が挙げられ。好ましくは、炭素数1〜8の基である。炭素数1〜18の直鎖状もしくは分岐鎖状のアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、イソブトキシ基、s−ブトキシ基、t−ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、2−エチルヘキシルオキシ基、ラウリルオキシ基またはステアリルオキシ基が挙げられる。 In the general formula (2), the linear or branched alkyl group having 1 to 12 carbon atoms represented by R 1 includes a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, and butyl. Group, isobutyl group, s-butyl group, t-butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, 2-ethylhexyl group or lauryl group. Preferably, it is a C1-C8 group. Examples of the linear or branched alkoxy group having 1 to 18 carbon atoms include methoxy group, ethoxy group, propoxy group, butoxy group, isobutoxy group, s-butoxy group, t-butoxy group, pentyloxy group, hexyloxy Group, heptyloxy group, octyloxy group, 2-ethylhexyloxy group, lauryloxy group or stearyloxy group.

本発明において、Aで表わされるアルコキシ基としては炭素数1〜4のアルコキシ基が好ましく、具体的にはメトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、イソブトキシ基、s−ブトキシ基、t−ブトキ等が挙げられる。アルコキシシリル基としては、トリアルコキシシリケート基、モノアルキルジアルコキシシリケート基、ジアルキルモノアルコキシシリケート基またはトリアルキルシリケート基が挙げられる。   In the present invention, the alkoxy group represented by A is preferably an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, specifically, a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, an isopropoxy group, a butoxy group, an isobutoxy group, or an s-butoxy group. , T-butoki and the like. Examples of the alkoxysilyl group include a trialkoxysilicate group, a monoalkyl dialkoxysilicate group, a dialkyl monoalkoxysilicate group, and a trialkylsilicate group.

一般式(2)で示されるジアルキルスズジアルコキサイドとしては、具体的には、ジメチルスズジメトキサイド、ジメチルスズジエトキサイド、ジメチルスズジプロポキサイド、ジメチルスズジブトキサイド、ジメチルスズビス(2−エチルヘキシルオキサイド)、ジメチルスズジラウリルオキサイド、ジメチルスズジステアリルオキサイド、ジブチルスズジメトキサイド、ジブチルスズジエトキサイド、ジブチルスズジプロポキサイド、ジブチルスズジブトキサイド、ジブチルスズビス(2−エチルヘキシルオキサイド)、ジブチルスズジラウリルオキサイド、ジブチルスズジステアリルオキサイド、ジオクチルスズジメトキサイド、ジオクチルスズジエトキサイド、ジオクチルスズジプロポキサイド、ジオクチルスズジブトキサイド、ジオクチルスズビス(2−エチルヘキシルオキサイド)、ジオクチルスズジラウリルオキサイド、ジオクチルスズジステアリルオキサイド、ジラウリルスズジメトキサイド、ジラウリルスズジエトキサイド、ジラウリルスズジプロポキサイド、ジラウリルスズジブトキサイド、ジラウリルスズビス(2−エチルヘキシルオキサイド)、ジラウリルスズジラウリルオキサイドまたはジラウリルスズジステアリルオキサイドが挙げられる。これらのジアルキルスズジアルコキサイドは、ジアルキルスズオキサイドと相当するアルコールを窒素雰囲気下で加熱して反応させることで得られる。また、ジアルキルスズオキサイドとフタル酸オクチルやラウリン酸エチル等のエステル化合物とを窒素雰囲気下で加熱して反応させることで得られる。   Specific examples of the dialkyl tin dialkoxide represented by the general formula (2) include dimethyl tin dimethoxide, dimethyl tin diethoxide, dimethyl tin dipropoxide, dimethyl tin dibutoxide, dimethyl tin bis (2 -Ethylhexyl oxide), dimethyltin dilauryl oxide, dimethyltin distearyl oxide, dibutyltin dimethoxide, dibutyltin diethoxide, dibutyltin dipropoxide, dibutyltin dibutoxide, dibutyltin bis (2-ethylhexyl oxide), dibutyltin dilauryl oxide , Dibutyltin distearyl oxide, dioctyltin dimethoxide, dioctyltin diethoxide, dioctyltin dipropoxide, dioctyltin dibutoxide, di Cutyltin bis (2-ethylhexyl oxide), dioctyltin dilauryl oxide, dioctyltin distearyl oxide, dilauryltin dimethoxide, dilauryltin diethoxide, dilauryltin dipropoxide, dilauryltin dibutoxide, dilauryl Tin bis (2-ethylhexyl oxide), dilauryl tin dilauryl oxide or dilauryl tin distearyl oxide may be mentioned. These dialkyltin dialkoxides can be obtained by heating and reacting a dialkyltin oxide and a corresponding alcohol in a nitrogen atmosphere. Further, it can be obtained by reacting a dialkyltin oxide with an ester compound such as octyl phthalate or ethyl laurate under a nitrogen atmosphere.

一般式(2)で表されるジアルキルスズビス(トリアルコキシシリケート)としては、具体的には、ジメチルスズビス(トリメトキシシリケート)、ジメチルスズビス(トリエトキシシリケート)、ジメチルスズビス(トリブトキシシリケート)、ジブチルスズビス(トリメトキシシリケート)、ジブチルスズビス(トリエトキシシリケート)、ジブチルスズビス(トリブトキシシリケート)、ジオクチルスズビス(トリメトキシシリケート)、ジオクチルスズビス(トリエトキシシリケート)、ジオクチルスズビス(トリブトキシシリケート)、ジラウリルスズビス(トリメトキシシリケート)、ジラウリルスズビス(トリエトキシシリケート)またはジラウリルスズビス(トリブトキシシリケート)が挙げられる。   Specific examples of the dialkyltin bis (trialkoxysilicate) represented by the general formula (2) include dimethyltin bis (trimethoxysilicate), dimethyltin bis (triethoxysilicate), and dimethyltin bis (tributoxysilicate). ), Dibutyltin bis (trimethoxysilicate), dibutyltin bis (triethoxysilicate), dibutyltin bis (tributoxysilicate), dioctyltin bis (trimethoxysilicate), dioctyltin bis (triethoxysilicate), dioctyltin bis (tributoxy) Silicate), dilauryltin bis (trimethoxysilicate), dilauryltin bis (triethoxysilicate) or dilauryltin bis (tributoxysilicate).

一般式(2)で表されるジアルキルスズビス(モノアルキルジアルコキシシリケート)としては、具体的には、ジメチルスズビス(メチルジエトキシシリケート)、ジメチルスズビス(エチルジエトキシシリケート)、ジメチルスズビス(ブチルジエトキシシリケート)、ジブチルスズビス(メチルジエトキシシリケート)、ジブチルスズビス(エチルジエトキシシリケート)、ジブチルスズビス(ブチルジエトキシシリケート)、ジオクチルスズビス(メチルジエトキシシリケート)、ジオクチルスズビス(エチルジエトキシシリケート)、ジオクチルスズビス(ブチルジエトキシシリケート)、ジラウリルスズビス(メチルジエトキシシリケート)、ジラウリルスズビス(エチルジエトキシシリケート)またはジラウリルスズビス(ブチルジエトキシシリケート)が挙げられる。   Specific examples of the dialkyltin bis (monoalkyl dialkoxysilicate) represented by the general formula (2) include dimethyltin bis (methyldiethoxysilicate), dimethyltin bis (ethyldiethoxysilicate), and dimethyltin bis. (Butyldiethoxysilicate), dibutyltin bis (methyldiethoxysilicate), dibutyltin bis (ethyldiethoxysilicate), dibutyltin bis (butyldiethoxysilicate), dioctyltin bis (methyldiethoxysilicate), dioctyltin bis (ethyldiethoxysilicate) Ethoxy silicate), dioctyl tin bis (butyl diethoxy silicate), dilauryl tin bis (methyl diethoxy silicate), dilauryl tin bis (ethyl diethoxy silicate) or dilauryl tin bis (butyrate) Diethoxy silicate) and the like.

一般式(2)で表されるジアルキルスズビス(ジアルキルモノアルコキシシリケート)としては、具体的には、ジメチルスズビス(ジメチルエトキシシリケート)、ジメチルスズビス(ジエチルエトキシシリケート)、ジメチルスズビス(ジブチルエトキシシリケート)、ジブチルスズビス(ジメチルエトキシシリケート)、ジブチルスズビス(ジエチルエトキシシリケート)、ジブチルスズビス(ジブチルエトキシシリケート)、ジオクチルスズビス(ジメチルエトキシシリケート)、ジオクチルスズビス(ジエチルエトキシシリケート)、ジオクチルスズビス(ジブチルエトキシシリケート)、ジラウリルスズビス(ジメチルエトキシシリケート)、ジラウリルスズビス(ジエチルエトキシシリケート)またはジラウリルスズビス(ジブチルエトキシシリケート)等が挙げられる。   Specific examples of the dialkyltin bis (dialkylmonoalkoxysilicate) represented by the general formula (2) include dimethyltin bis (dimethylethoxysilicate), dimethyltin bis (diethylethoxysilicate), and dimethyltin bis (dibutylethoxy). Silicate), dibutyltin bis (dimethylethoxysilicate), dibutyltin bis (diethylethoxysilicate), dibutyltin bis (dibutylethoxysilicate), dioctyltin bis (dimethylethoxysilicate), dioctyltin bis (diethylethoxysilicate), dioctyltin bis (dibutyl) Ethoxy silicate), dilauryl tin bis (dimethyl ethoxy silicate), dilauryl tin bis (diethyl ethoxy silicate) or dilauryl tin bis (dibu Le ethoxy silicate) and the like.

一般式(2)で表されるジアルキルスズビス(トリアルキルシリケート)としては、具体的には、ジメチルスズビス(トリメチルシリケート)、ジメチルスズビス(トリエチルシリケート)、ジメチルスズビス(トリブチルシリケート)、ジブチルスズビス(トリメチルシリケート)、ジブチルスズビス(トリエチルシリケート)、ジブチルスズビス(トリブチルシリケート)、ジオクチルスズビス(トリメチルシリケート)、ジオクチルスズビス(トリエチルシリケート)、ジオクチルスズビス(トリブチルシリケート)、ジラウリルスズビス(トリメチルシリケート)、ジラウリルスズビス(トリエチルシリケート)またはジラウリルスズビス(トリブチルシリケート)が挙げられる。   Specific examples of the dialkyl tin bis (trialkyl silicate) represented by the general formula (2) include dimethyl tin bis (trimethyl silicate), dimethyl tin bis (triethyl silicate), dimethyl tin bis (tributyl silicate), and dibutyl tin. Bis (trimethylsilicate), Dibutyltinbis (triethylsilicate), Dibutyltinbis (tributylsilicate), Dioctyltinbis (trimethylsilicate), Dioctyltinbis (triethylsilicate), Dioctyltinbis (tributylsilicate), Dilauryltinbis (trimethyl) Silicate), dilauryl tin bis (triethyl silicate) or dilauryl tin bis (tributyl silicate).

これらのジアルキルスズシリケート化合物は、ジアルキルスズオキサイドやジアルキルスズジカルボキシレートとトリオルガノシシリケート化合物とを窒素雰囲気下で加熱して反応させることで得られる。   These dialkyltin silicate compounds can be obtained by heating and reacting dialkyltin oxide or dialkyltin dicarboxylate with a triorganosilicate compound in a nitrogen atmosphere.

本発明低反射膜の形成方法に用いる低反射膜形成用塗布液において、好ましいアルコキシシランであるテトラアルコキシシリケートとの相性よく安定性に優れ、屈折率が低く、多孔質でありながら硬い低反射膜を与えることより、
有機スズ化合物には
一般式(3):R Sn(OCOR または 一般式(4):(R Sn(OCOR)O
(式中、Rは炭素数1〜12の直鎖状または炭素数3〜12の分岐鎖状のアルキル基、アリール基または炭素数6〜12のアリール基であり、Aは炭素数1〜18の直鎖状もしくは炭素数3〜18の分岐鎖状のアルコキシ基またはアルコキシシリル基である。Pは1または2の整数、Qは4−Pまたは3−Pで表される整数である。)で表される化合物を用いることが好ましい。即ち、Snの価数は4であるので、一般式(3)において、Qは4−Pであり、一般式(4)において、Qは3−Pである。
In the coating solution for forming a low reflection film used in the method for forming a low reflection film of the present invention, a low reflection film having excellent stability and compatibility with tetraalkoxysilicate, which is a preferred alkoxysilane, low refractive index, and being porous while being porous Than giving
Organotin compounds include general formula (3): R 1 P Sn (OCOR 2 ) Q or general formula (4): (R 1 P Sn (OCOR 2 ) Q ) O
(In the formula, R 1 is a linear or branched alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an aryl group or an aryl group having 6 to 12 carbon atoms, and A is 1 to 1 carbon atoms. 18 is a linear or branched C3-C18 alkoxy group or alkoxysilyl group, P is an integer of 1 or 2, and Q is an integer represented by 4-P or 3-P. It is preferable to use a compound represented by That is, since the valence of Sn is 4, in the general formula (3), Q is 4-P, and in the general formula (4), Q is 3-P.

毒性の懸念等なく、入手が容易であることより、スズ原子は、2有機置換スズの状態であることが好ましく、本発明の低反射膜形成用塗布液には、
一般式(5):R Sn(OCOR または 一般式(6):(R Sn(OCOR))
(Rは炭素数1〜12の直鎖状または炭素数3〜12の分岐鎖状のアルキル基、アリール基または炭素数6〜12のアリール基であり、Aは炭素数1〜18の直鎖状もしくは炭素数3〜18の分岐鎖状のアルコキシ基またはアルコキシシリル基である。)
で表されるジ有機スズ化合物を用いることが好ましい。
The tin atom is preferably in the state of 2 organic substituted tin because there is no concern about toxicity and it is easy to obtain, and the coating liquid for forming a low reflection film of the present invention includes:
General formula (5): R 1 2 Sn (OCOR 2 ) 2 or General formula (6): (R 1 2 Sn (OCOR 2 )) 2 O
(R 1 is a linear or branched alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an aryl group or an aryl group having 6 to 12 carbon atoms, and A is a straight chain having 1 to 18 carbon atoms. It is a linear or branched C3-C18 alkoxy group or alkoxysilyl group.)
It is preferable to use a diorganotin compound represented by:

はメチル基、エチル基、プロピル基、ペンチル基、ヘキシル基、ラウリル基またはオクチル基が好ましく、分枝鎖状のイソプロピル基、ターシャリブチル基または2エチルヘキシル基であってもよい。Rも同様に、メチル基、エチル基、プロピル基、ペンチル基、ヘキシル基、ラウリル基またはオクチル基が好ましく、分枝鎖状のイソプロピル基、ターシャリブチル基または2エチルヘキシル基であってもよい。 R 1 is preferably a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a pentyl group, a hexyl group, a lauryl group or an octyl group, and may be a branched isopropyl group, a tertiary butyl group or a 2-ethylhexyl group. Similarly, R 2 is preferably a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a pentyl group, a hexyl group, a lauryl group or an octyl group, and may be a branched isopropyl group, a tertiary butyl group or a 2-ethylhexyl group. .

このような化合物として、ジブチルスズジラウレート、即ち、(CSn[OCO(CH10CH、1,1,3,3−テトラブチル−1,3−ドデカノイルジスタノキサン、即ち、[(CSn(OCO(CH10CH)]O、ジブチルスズジアセテート、即ち、(CSn(OCOCH、ジオクチルスズジラウレート、即ち、(C17Sn[OCO(CH10CH、ジオクチルスズジアセテート、即ち、(C17Sn(OCOCH、またはジオクチルスズジネオデカノエート、即ち(C17Sn(OCO(CHCH−neo)を挙げることができる。 As such compounds, dibutyltin dilaurate, ie, (C 4 H 9 ) 2 Sn [OCO (CH 2 ) 10 CH 3 ] 2 , 1,1,3,3-tetrabutyl-1,3-dodecanoyl distanoxane , i.e., [(C 4 H 9) 2 Sn (OCO (CH 2) 10 CH 3)] 2 O, dibutyltin diacetate, i.e., (C 4 H 9) 2 Sn (OCOCH 3) 2, dioctyltin dilaurate, That is, (C 8 H 17 ) 2 Sn [OCO (CH 2 ) 10 CH 3 ] 2 , dioctyltin diacetate, ie, (C 8 H 17 ) 2 Sn (OCOCH 3 ) 2 , or dioctyltin dineodecano benzoate, i.e. (C 8 H 17) 2 Sn (OCO (CH 2) 8 CH 3 -neo) 2 can be cited.

低反射膜形成用塗布液において、特に好ましくは、有機スズ化合物として、ジブチルスズジラウレート、1,1,3,3−テトラブチル−1,3−ドデカノイルジスタノキサン、ジブチルスズジアセテート、ジオクチルスズジラウレート、ジオクチルスズジアセテートおよびジオクチルスズジネオデカノエートよりなる群から選ばれる少なくとも一つを用いることが好ましい。   In the coating solution for forming a low reflection film, dibutyltin dilaurate, 1,1,3,3-tetrabutyl-1,3-dodecanoyl distanoxane, dibutyltin diacetate, dioctyltin dilaurate, dioctyl is particularly preferable as the organic tin compound. It is preferable to use at least one selected from the group consisting of tin diacetate and dioctyltin dineodecanoate.

これら化合物は、日東化成株式会社から製品名ネオスタンU−100(ジブチルスズジラウレート、即ち、(CSn[OCO(CH10CH)ネオスタンU−130(1,1,3,3−テトラブチル−1,3−ドデカノイルジスタノキサン、即ち、[(CSn(OCO(CH10CH)]O)、ネオスタンU−200(ジブチルスズジアセテート、即ち、(CSn(OCOCH)、ネオスタンU−810(ジオクチルスズジラウレート、即ち、(C17Sn[OCO(CH10CH)、ネオスタンU−820(ジオクチルスズジアセテート、即ち、(C17Sn(OCOCH)およびネオスタンU−830(ジオクチルスズジネオデカノエート、即ち(C17Sn(OCO(CHCH−neo))として、市販される。 These compounds are available from Nitto Kasei Co., Ltd. under the product name Neostan U-100 (dibutyltin dilaurate, ie (C 4 H 9 ) 2 Sn [OCO (CH 2 ) 10 CH 3 ] 2 ) Neostan U-130 (1,1, 3,3-tetrabutyl-1,3-dodecanoyl distanoxane, ie, [(C 4 H 9 ) 2 Sn (OCO (CH 2 ) 10 CH 3 )] 2 O), neostann U-200 (dibutyltin diacetate , i.e., (C 4 H 9) 2 Sn (OCOCH 3) 2), Neostann U-810 (dioctyl tin dilaurate, i.e., (C 8 H 17) 2 Sn [OCO (CH 2) 10 CH 3] 2), NEOSTAN U-820 (dioctyl tin diacetate, i.e., (C 8 H 17) 2 Sn (OCOCH 3) 2) and Neostan U- As 30 (dioctyltin dineodecanoate, i.e. (C 8 H 17) 2 Sn (OCO (CH 2) 8 CH 3 -neo) 2), commercially available.

3.アルコキシシラン
本発明の低反射膜の製造方法に使用する低反射膜形成用塗布液に用いるアルコキシシランを加水分解物は、
一般式(7):R Si(OR4−m (7)
(式中、RおよびRはそれぞれ独立に炭素数1〜4の直鎖状または炭素数3、4の分岐鎖状のアルキル基であり、mは0〜3の整数である)
で表されるアルコキシシランの加水分解物であることが好ましい。
3. Alkoxysilane Hydrolyzate of alkoxysilane used in the coating solution for forming a low reflection film used in the method for producing a low reflection film of the present invention,
Formula (7): R 3 m Si (OR 4 ) 4-m (7)
(Wherein R 3 and R 4 are each independently a linear alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or a branched alkyl group having 3 or 4 carbon atoms, and m is an integer of 0 to 3).
It is preferable that it is a hydrolyzate of the alkoxysilane represented by these.

一般式(7)において、RおよびRで表される炭素数1〜4の直鎖状または炭素数3、4の分岐鎖状のアルキル基としては、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、s−ブチル、t−ブチル等のアルキル基等が挙げられる。m個のRは同一であってもよく、異なっていてもよい。また(4−m)個のRは同一であっても、異なっていてもよい。 In the general formula (7), the linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms represented by R 3 and R 4 includes methyl, ethyl, propyl, isopropyl, butyl , Alkyl groups such as isobutyl, s-butyl, t-butyl and the like. The m R 3 s may be the same or different. Further, (4-m) R 4 s may be the same or different.

一般式(7)で表されるアルコキシシランおよびその加水分解物としては、具体的には、テトラアルコキシシラン、例えば、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラプロポキシシラン、テトライソプロポキシシランまたはテトラブトキシシラン、およびそれらの加水分解物、モノアルキルトリアルコキシシラン、例えば、トリエトキシメチルシラン、トリエトキシエチルシラン、トリエトキシプロピルシラン、トリエトキシイソプロピルシランまたはトリエトキシブチルシラン、およびそれらの加水分解物、ジアルキルジアルコキシシラン、例えば、ジエトキシジメチルシラン、ジエトキシジエチルシラン、ジエトキシジプロピルシラン、ジエトキシジイソプロピルシランまたはジエトキシジブチルシラン、およびそれらの加水分解物、トリアルキルモノアルコキシシラン、例えば、エトキシトリメチルシラン、エトキシトリエチルシラン、エトキシトリプロピルシラン、エトキシトリイソプロピルシランまたはエトキシトリブチルシラン、およびこれらの加水分解物が挙げられる。これらの中で、テトラアルコキシシランまたはその加水分解物が好ましく、具体的には、テトラエトキシシランの加水分解物である。   Specific examples of the alkoxysilane represented by the general formula (7) and the hydrolyzate thereof include tetraalkoxysilanes such as tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetrapropoxysilane, tetraisopropoxysilane, and tetrabutoxysilane. And hydrolysates thereof, monoalkyltrialkoxysilanes such as triethoxymethylsilane, triethoxyethylsilane, triethoxypropylsilane, triethoxyisopropylsilane or triethoxybutylsilane, and hydrolysates thereof, dialkyldisilanes Alkoxysilanes such as diethoxydimethylsilane, diethoxydiethylsilane, diethoxydipropylsilane, diethoxydiisopropylsilane or diethoxydibutylsilane, and their additions Hydrolyzate, trialkyl monoalkoxysilanes, for example, triethoxy methyl silane, ethoxy triethylsilane, triethoxy propyl silane, ethoxy triisopropylsilane or ethoxy tributyl silane, and their hydrolysis products thereof. Among these, tetraalkoxysilane or a hydrolyzate thereof is preferable, and specifically, a hydrolyzate of tetraethoxysilane.

4.有機溶剤
低反射膜形成用塗布液に用いる有機溶剤は、有機スズ化合物およびアルコキシシランが加水分解物を溶解または分散できればよく、アルコール、エステルおよびケトン等の中から、安定性よく液寿命が長いこと、および所望の塗布方法に対し塗布が容易であること、安全性を考慮して選ぶことができる。アルコールとしては、メソノール、エタノール、n−プロパノール、イソプロパノール、n−ブタノールまたはターシャリブタノールが挙げられ、エステルとしては、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピルまたは酢酸ブチルが挙げられ、ケトンとしては、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンが挙げられ、これらを混合してもよい。尚、低反射膜形成用塗布液にアルコキシシラン加水分解および液の安全性を考慮して、安定性および液寿命が損なわれない程度に水を加えてもよい。
4). Organic solvent The organic solvent used in the coating solution for forming the low-reflective film only needs to dissolve or disperse the hydrolyzate of the organotin compound and alkoxysilane, and has a long and stable liquid life among alcohols, esters, and ketones. In addition, it can be selected in consideration of ease of application and safety with respect to a desired application method. Alcohols include mesonol, ethanol, n-propanol, isopropanol, n-butanol or tertiary butanol, esters include methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate or butyl acetate, ketones include acetone, Examples thereof include methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone, and these may be mixed. In consideration of the alkoxysilane hydrolysis and the safety of the liquid, water may be added to the coating liquid for forming the low reflection film to such an extent that the stability and the liquid life are not impaired.

5.低反射膜形成用塗布液の調製方法
低反射膜形成用塗布液を調製する際は、前述の有機スズ化合物およびアルコキシシランの加水分解物を、前述有機溶媒または水との混合溶媒に溶解させる。
5. Preparation Method of Low Reflective Film Forming Coating Liquid When preparing the low reflective film forming coating liquid, the aforementioned organotin compound and alkoxysilane hydrolyzate are dissolved in the aforementioned organic solvent or a mixed solvent with water.

例えば、有機スズ化合物としてはジ有機スズ化合物を用いることが好ましく、ジブチルスズジラウレート、1,1,3,3−テトラブチル−1,3−ドデカノイルジスタノキサン、ジブチルスズジアセテート、ジオクチルスズジラウレート、ジオクチルスズジアセテートまたはジオクチルスズジネオデカノエートを用い、アルコキシシランとして、エトキシトリメチルシラン、エトキシトリエチルシラン、エトキシトリプロピルシラン、エトキシトリイソプロピルシランまたはエトキシトリブチルシラン、好ましくは、テトラエトキシシランの加水分解物を用い、メソノール、エタノール、n−プロパノール、イソプロパノール、n−ブタノールまたはターシャリブタノール等に溶解させる。   For example, a diorganotin compound is preferably used as the organotin compound, such as dibutyltin dilaurate, 1,1,3,3-tetrabutyl-1,3-dodecanoyl distanoxane, dibutyltin diacetate, dioctyltin dilaurate, dioctyltin. Using diacetate or dioctyltin dineodecanoate, as an alkoxysilane, ethoxytrimethylsilane, ethoxytriethylsilane, ethoxytripropylsilane, ethoxytriisopropylsilane or ethoxytributylsilane, preferably tetraethoxysilane hydrolyzate Used and dissolved in mesonol, ethanol, n-propanol, isopropanol, n-butanol or tertiary butanol.

塗布液の濃度は、SiO+SnOによる酸化物換算で0.2質量%以上、20質量%以下であることが好ましい。濃度が0.2質量%より薄いと、低反射膜に所望の膜厚が得にくい。即ち、所望より薄いか膜が形成し難い。濃度が20質量%より濃いと、低反射膜に所望の膜厚が得にくく膜が厚くなり、クラックが発生しやすくなる。好ましくは0.2質量%以上、10質量%以下である。 Concentration of the coating solution, SiO 2 + SnO 2 by terms of oxide at 0.2 wt% or more and 20 mass% or less. When the concentration is less than 0.2% by mass, it is difficult to obtain a desired film thickness for the low reflection film. That is, the film is thinner than desired or difficult to form. When the concentration is higher than 20% by mass, it is difficult to obtain a desired film thickness in the low reflection film, and the film becomes thick and cracks are likely to occur. Preferably they are 0.2 mass% or more and 10 mass% or less.

6.低反射膜の形成方法
本発明の低反射膜の形成方法は、上記低反射膜形成用塗布液を、基体表面に塗布し塗膜とした後、有機スズ化合物を分解し酸化スズとなる際の分離ガスを発生により、アルコキシシランが脱水縮合してなるシリカ膜中に、分離ガスの発生によるボイドを形成させつつ塗膜を硬化させ、シリカに対する酸化スズの含有が1質量%以上、50質量%以下の範囲であり、屈折率1.25以上、1.50以下である多孔質性の低反射膜を基体上に形成する。
6). Method for Forming Low Reflective Film The method for forming a low reflective film according to the present invention comprises the step of applying the low reflective film-forming coating solution onto the substrate surface to form a coating film, and then decomposing the organic tin compound into tin oxide. In the silica film formed by dehydration condensation of alkoxysilane by generating a separation gas, the coating film is cured while forming voids due to the generation of the separation gas, and the content of tin oxide with respect to silica is 1% by mass or more and 50% by mass. A porous low-reflection film having a refractive index of 1.25 or more and 1.50 or less is formed on the substrate in the following range.

本発明の低反射膜の規制方法の大きな特徴は、室温下、日単位で放置しても、多孔質低屈折率性の低反射膜が得られることである。このことは、アルコキシシランが脱水縮合する過程で、有機スズ化合物が分解していることによると推察される。   A major feature of the method for regulating a low reflection film of the present invention is that a low reflection film having a porous low refractive index can be obtained even if it is left in units of days at room temperature. This is presumed to be due to the decomposition of the organotin compound in the process of dehydration condensation of the alkoxysilane.

上記、低反射形成用塗布液をガラス板等の基体上に塗布することで、酸化スズおよびシリカが含まれてなり、モル比で表して、シリカ:酸化スズ=99:1〜50:50の範囲に含まれてなる屈折率1.25以上、1.50以下である、低反射膜が得られる。即ち、本発明によって、多孔質であり、孔(ボイド)に屈折率1の空気を取り込んだ屈折率1.25以上、1.50以下の低反射膜が得られた。   By applying the above low reflection forming coating solution on a substrate such as a glass plate, tin oxide and silica are contained, and expressed as a molar ratio of silica: tin oxide = 99: 1 to 50:50. A low reflection film having a refractive index of 1.25 or more and 1.50 or less included in the range is obtained. That is, according to the present invention, a low-reflective film having a refractive index of 1.25 or more and 1.50 or less, which is porous and has air having a refractive index of 1 in a hole (void), was obtained.

また、本低反射膜は、酸化スズを含むために、接触角が低く、2°以上、40°以下となり、低反射膜が形成された面の1cmあたりの表面抵抗値10Ωcm以上、1012Ωcmであった。低反射膜中のシリカ(SiO):酸化スズ(SnO)はモル比で表して、シリカ:酸化スズ=99:1〜50:50であることが好ましく、当該モル比で、シリカに対して酸化スズが1未満では多孔質体を得る効果がなく、50より多く加えると低反射膜に低屈折率が得られず、低反射基材が得られない。より好ましくは、5以上、40以下である。 Further, since the present low reflection film contains tin oxide, the contact angle is low and becomes 2 ° or more and 40 ° or less, and the surface resistance value of 10 8 Ωcm or more per 1 cm 3 of the surface on which the low reflection film is formed, It was 10 12 Ωcm. Silica (SiO 2 ): tin oxide (SnO 2 ) in the low reflection film is expressed in terms of a molar ratio, and it is preferable that silica: tin oxide = 99: 1 to 50:50. If the tin oxide is less than 1, there is no effect of obtaining a porous material, and if it is added more than 50, a low refractive index cannot be obtained in the low reflective film, and a low reflective substrate cannot be obtained. More preferably, it is 5 or more and 40 or less.

本方法で、ガラス板を基体としてガラス板両面に膜厚70nm以上、150nm以下の低反射膜を形成することで、光波長域380nm〜1200nmの平均透過率が95%以上である、低反射膜付き部材としての低反射膜付きガラス板が得られた。ガラス板の板厚は、ディプレイ用においては0.3mm以上、1mm以下であり、太陽電池カバーガラスにお手は1mm以上、6mm以下である。   In this method, by forming a low reflection film having a film thickness of 70 nm or more and 150 nm or less on both surfaces of the glass plate using the glass plate as a base, the low reflection film having an average transmittance of 95% or more in the light wavelength region of 380 nm to 1200 nm A glass plate with a low reflection film as an attached member was obtained. The thickness of the glass plate is 0.3 mm or more and 1 mm or less for a display, and the solar cell cover glass is 1 mm or more and 6 mm or less.

本発明の低反射膜のガラス板表面における、好ましい膜厚は、50nm以上、200nm以下である。膜厚を50nmより薄くすると耐磨耗性に劣る、また成膜が困難である。また200nmより厚くすると、膜厚が不均一となり、成膜し難い。可視光に対し低い反射率を得るためには、好ましくは70nm以上、150nm以下、さらに好ましくは、100nm以上、120nm以下である。   The preferable film thickness in the glass plate surface of the low reflection film of the present invention is 50 nm or more and 200 nm or less. If the film thickness is less than 50 nm, the wear resistance is inferior and film formation is difficult. On the other hand, if it is thicker than 200 nm, the film thickness becomes non-uniform and it is difficult to form a film. In order to obtain a low reflectance with respect to visible light, it is preferably 70 nm or more and 150 nm or less, and more preferably 100 nm or more and 120 nm or less.

前記低反射膜形成用塗布液を、基体表面に塗布し塗膜とした後に有機スズ化合物の分解温度以上とすることで、有機スズ化合物を分解し酸化スズとなる際に分離ガスを発生させて、アルコキシシランが焼成してなるシリカ膜中に分離ガスの発生によるボイドを形成させ低反射膜を得る。前述のように、低反射膜は有機スズ化合物が分解することで形成することが可能であり、本発明の低反射膜の形成方法において室温(20℃)で、長時間、具体的には24時間以上静置することでも低反射膜は形成される。短時間で硬い低反射膜が得るには、加熱焼成することが好ましく、温度は基体の材料により、適宜調整されるが、900℃以上であると基体が変形し現実的ではない。好ましくは、800℃以下である。   The coating liquid for forming the low reflection film is applied to the substrate surface to form a coating film, and then the decomposition temperature of the organotin compound is set to be higher than the decomposition temperature, thereby generating a separation gas when the organotin compound is decomposed to become tin oxide. Then, voids due to generation of separation gas are formed in the silica film formed by baking alkoxysilane to obtain a low reflection film. As described above, the low reflection film can be formed by decomposing the organotin compound. In the method for forming a low reflection film of the present invention, the low reflection film can be formed at room temperature (20 ° C.) for a long time, specifically 24. The low reflection film can also be formed by standing for more than an hour. In order to obtain a hard low-reflection film in a short time, it is preferable to heat and calcinate, and the temperature is appropriately adjusted depending on the material of the substrate, but if it is 900 ° C. or higher, the substrate is deformed and is not realistic. Preferably, it is 800 degrees C or less.

基体がプラスチック製透明基材の場合、基材の種類にもよるが変形または発泡が生じない温度以下で加熱処理することが好ましい。   In the case where the substrate is a plastic transparent substrate, it is preferable to perform the heat treatment at a temperature below which deformation or foaming does not occur depending on the type of substrate.

また、無機質のガラス基材においては、加熱焼成時間を調整することにより、700℃程度の高温での加熱焼成も可能である。好ましい態様として、500℃以上、700℃以下で2〜3分間、即ち、120〜180秒間、加熱焼成することにより、耐磨耗性に優れた低反射膜が得られた。   In addition, the inorganic glass substrate can be heated and fired at a high temperature of about 700 ° C. by adjusting the heating and baking time. As a preferred embodiment, a low reflection film excellent in abrasion resistance was obtained by heating and baking at 500 ° C. or more and 700 ° C. or less for 2 to 3 minutes, that is, 120 to 180 seconds.

低反射膜付き部材を得るための、本発明の低反射膜形成用塗布液からなる低反射膜を形成するための基体としての透明基板には、無機質のガラス基材、以外に有機質のプラスチック製基材等を用いることが出来る。無機質のガラス基材の例としては、ソーダライムガラス、硼珪酸ガラス、アルミノ珪酸ガラス、バリウム硼珪酸ガラスまたは石英ガラス等の板状のものを用いることができる。さらには、これらガラス基材は、クリアガラス品、グリーンブロンズ等の着色ガラス品、UV、IRカットガラス等の機能性ガラス品、低Fe高透過ガラス、強化ガラス、半強化ガラスまたは合せガラス等の安全ガラス品も使用され得る。また、これらガラス表面には、型板ガラス等パターンが形成されたものであってもよい。   In order to obtain a member with a low reflection film, a transparent substrate as a substrate for forming a low reflection film comprising the coating liquid for forming a low reflection film of the present invention is made of an organic plastic other than an inorganic glass substrate. A base material etc. can be used. As an example of the inorganic glass substrate, a plate-like material such as soda lime glass, borosilicate glass, aluminosilicate glass, barium borosilicate glass, or quartz glass can be used. Furthermore, these glass substrates include clear glass products, colored glass products such as green bronze, functional glass products such as UV and IR cut glass, low Fe high transmittance glass, tempered glass, semi-tempered glass or laminated glass. Safety glassware can also be used. Further, a pattern such as a template glass may be formed on these glass surfaces.

セラミックスとしてはSi、SiC、サファイヤ、Siウェハー、GaAs、InPまたはAlN等の基板にも使用される。 As ceramics, Si 3 N 4 , SiC, sapphire, Si wafer, GaAs, InP, AlN and other substrates are also used.

また、プラスチック製基材の例としては、ポリカーボネート(PC)、ポリメチルメソクリレート(PMMA)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、トリアセチルセルロース(TAC)またはポリイミド等が挙げられる。   Examples of the plastic substrate include polycarbonate (PC), polymethyl mesoacrylate (PMMA), polyethylene terephthalate (PET), triacetyl cellulose (TAC), and polyimide.

本発明の低反射膜の形成方法は、先行技術(特許文献1、特許文献2)と比較して、無機酸化物を除去することなく、コロイド粒子表面をシリカで被覆することなく、複合酸化物ゾルを調整した後に基材表面に被覆することなく、直接、単層膜で基材表面に被覆し低反射膜を形成することが可能である。   Compared with the prior art (Patent Documents 1 and 2), the low reflection film forming method of the present invention is a composite oxide without removing the inorganic oxide and without covering the surface of the colloidal particles with silica. After preparing the sol, it is possible to directly coat the substrate surface with a single layer film to form a low reflection film without coating the substrate surface.

7.低反射膜付き部材
本発明の低反射膜の形成方法で、表面に低編者膜が形成された低反射膜付基材は、酸化スズを有することより、親水性であり、帯電防止、防曇性および防汚性を有する。
7). Low reflective film member The base material with a low reflection film having a low knitting film formed on the surface in the method for forming a low reflection film of the present invention is hydrophilic because it has tin oxide, and is antistatic and antifogging. Property and antifouling property.

本発明の低反射膜の形成方法により、低屈折率で親水性であり、酸化スズを有することより、帯電防止、防曇性および防汚性を有する低反射膜付き部材が得られた。   By the method for forming a low reflection film of the present invention, a member with a low reflection film having an antistatic property, an antifogging property and an antifouling property was obtained because it has a low refractive index and is hydrophilic and has tin oxide.

本発明の低反射膜付き部材が、例えば低反射膜付きガラスであるならば、太陽電池用カバーガラス、レンズ等の光学材料、陰極線管や液晶表示装置等の画像表示面、窓あるいはショーケース、天窓材、温水器、照明器具等の板ガラスや透明プラスチック等の親水性・防汚性・低反射帯電防止の求められる広い分野において利用できる。具体的には、本発明の低反射膜の形成方法により得られた低反射膜を有する低反射膜付き部材は、太陽電池用カバーガラス、自動車用ガラス(特にフロントガラス)または照明器具の保護部材に好適に使用され、太陽電池の受光効率向上、発電の変換効率の向上、フロントガラスの映り込み防止、または照明器具やLEDや有機ELなどの保護部材として高い可視光透過率による照度向上等の格別の効果が得られる。   If the member with a low reflection film of the present invention is a glass with a low reflection film, for example, a cover glass for solar cells, an optical material such as a lens, an image display surface such as a cathode ray tube or a liquid crystal display device, a window or a showcase, It can be used in a wide range of fields that require hydrophilicity, antifouling properties, and low antireflection antistatic properties such as plate glass and transparent plastics for skylight materials, water heaters, and lighting fixtures. Specifically, the member with a low reflection film having the low reflection film obtained by the method for forming a low reflection film of the present invention is a cover glass for solar cells, glass for automobiles (particularly windshield) or a protective member for lighting equipment. For example, it can be used to improve the light receiving efficiency of solar cells, improve the conversion efficiency of power generation, prevent the reflection of windshields, or improve the illuminance by high visible light transmittance as a protective member for lighting fixtures, LEDs, organic EL, etc. A special effect is obtained.

また、本発明の低反射膜の形成方法により低反射膜が形成された低反射膜付き部材は、基体がFe分を極力低減した低Fe高透過ガラスであるならば、太陽電池用カバーガラスとして有用である。太陽電池用カバーガラスとして使用する場合においては、高い透過率および低い反射率が要求されるうえ、太陽電池は太陽光に常時暴露されるため、防汚性、耐水性および耐候性等を併せ持つ材料が望まれる。   In addition, the member with a low reflection film in which the low reflection film is formed by the method for forming a low reflection film of the present invention can be used as a cover glass for a solar cell if the substrate is a low Fe high-transmittance glass in which Fe content is reduced as much as possible. Useful. When used as a cover glass for solar cells, high transmittance and low reflectance are required, and since solar cells are constantly exposed to sunlight, the material has both antifouling properties, water resistance and weather resistance, etc. Is desired.

実施例1〜3において、アルコキシシランとジ有機スズ化合物のモル比、およびジ有機スズ化合物の種類を変えて、本発明の低反射膜の形成方法による低反射膜付きガラスを作製した。比較例1において、テトラエトキシシランのみ用いた膜付きガラス、比較例2において、ジ有機スズ化合物のみ用いた膜付きガラスを作製し、平均透過率、膜厚、屈折率、表面抵抗値、接触角を測定した。   In Examples 1 to 3, glass with a low reflection film was produced by changing the molar ratio of alkoxysilane and diorganotin compound and the type of the diorganotin compound according to the method for forming a low reflection film of the present invention. In Comparative Example 1, a glass with a film using only tetraethoxysilane, and in Comparative Example 2, a glass with a film using only a diorganotin compound was prepared, and the average transmittance, film thickness, refractive index, surface resistance value, contact angle. Was measured.

測定方法を表1に示す。

Figure 2013228643
Table 1 shows the measurement method.
Figure 2013228643

測定
実施例1
[低反射膜形成用塗布液の調製]
1リットルの3口フラスコ内にイソプロパノール323.3gを量り採り、フラスコ内を窒素置換した後、撹拌しながらテトラエトキシシラン(以下、TEOSと称することがある)22.5gを添加して、さらに30分間撹拌し続けた。次いで、フラスコ内に濃度0.5mol/リットルの硝酸水溶液15.6gを1時間かけて徐々に滴下した後、50℃に加温した状態で3時間撹拌しTEOSを加水分解させて前駆体ゾルを得た。次いで、前駆体ゾルを室温(約20℃、以下同じ)まで冷却した後、酸化物換算によるモル比でアルコキシシランの加水分解物:有機スズ化合物(SiO:SnO)=80:20となるように、ジブチルスズジラウレート(日東化成株式会社製、商品名、U−100)8.57gを添加し、室温で約2時間撹拌して無色透明な低反射膜形成用塗布液を得た。この塗布液の加熱残分の重量分析をしたところ、測定結果は、酸化物換算(SiO+SnO)で固形分濃度2.20質量%であった。
Measurement
Example 1
[Preparation of coating solution for forming low reflection film]
In a 1 liter three-necked flask, 323.3 g of isopropanol was weighed and the inside of the flask was purged with nitrogen. Then, 22.5 g of tetraethoxysilane (hereinafter sometimes referred to as TEOS) was added with stirring, and an additional 30 Stirring continued for a minute. Next, 15.6 g of nitric acid aqueous solution having a concentration of 0.5 mol / liter was gradually dropped into the flask over 1 hour, followed by stirring for 3 hours in a state heated to 50 ° C. to hydrolyze TEOS to obtain a precursor sol. Obtained. Next, after the precursor sol is cooled to room temperature (about 20 ° C., the same applies hereinafter), the alkoxysilane hydrolyzate: organotin compound (SiO 2 : SnO 2 ) = 80: 20 in terms of a molar ratio in terms of oxide. Thus, 8.57 g of dibutyltin dilaurate (manufactured by Nitto Kasei Co., Ltd., trade name, U-100) was added and stirred at room temperature for about 2 hours to obtain a colorless and transparent coating solution for forming a low reflection film. When the weight analysis of the heating residue of this coating liquid was conducted, the measurement result was a solid content concentration of 2.20% by mass in terms of oxide (SiO 2 + SnO 2 ).

[低反射膜の形成]
ソーダライムガラス基板(厚み3mm、大きさ200mm×100mm)を、表面の付着物を除去するため研磨剤に酸化セリウムを用い表面を研磨後、純水ですすぎ洗いし、表面を清浄に乾燥させ、片面をポリエチレンシートでマスキングした基板を用いた。この基板を、低反射膜形成用塗布液を満たした槽に浸漬した後、3mm/secの速度で引き上げて片面に塗膜を形成した後、100℃の乾燥炉内で乾燥させ、焼成炉で680℃、180秒間焼成した。このようにして片面に低反射膜が形成された、低反射膜付きガラスが得られた。この低反射膜の走査型電子顕微鏡(SEM)によるSEM写真を図1に示す。図1に示したように低反射膜は約30×100nmの扁平楕円形ボイドを含む膜であった。
[Formation of low-reflection film]
A soda-lime glass substrate (thickness 3 mm, size 200 mm × 100 mm) is polished with cerium oxide as an abrasive to remove surface deposits, rinsed with pure water, and the surface is dried cleanly. A substrate having one surface masked with a polyethylene sheet was used. After immersing this substrate in a tank filled with a coating solution for forming a low reflection film, the substrate was pulled up at a rate of 3 mm / sec to form a coating film on one side, and then dried in a drying furnace at 100 ° C. Baking was performed at 680 ° C. for 180 seconds. In this way, a glass with a low reflection film having a low reflection film formed on one side was obtained. An SEM photograph of this low reflection film by a scanning electron microscope (SEM) is shown in FIG. As shown in FIG. 1, the low reflection film was a film containing a flat elliptical void of about 30 × 100 nm.

[膜物性評価]
分光光度計による透過率曲線を図2に示す。
[Evaluation of film properties]
A transmittance curve obtained by the spectrophotometer is shown in FIG.

低反射膜形成前のソーダライムガラス基板の平均光透過率(380〜1200nm)が90.2%であったことに対して、実施例1の片面に低反射膜が形成された低反射膜付きガラスの平均光透過率は94.0%であった。前記測定方法で測定した膜厚は112nm、屈折率1.32(635nm)、純水接触角4.0°、表面抵抗値3.8×1010Ωcmであった。 The soda-lime glass substrate before the formation of the low-reflection film had an average light transmittance (380 to 1200 nm) of 90.2%, whereas the low-reflection film with a low-reflection film formed on one side of Example 1 The average light transmittance of the glass was 94.0%. The film thickness measured by the above measurement method was 112 nm, refractive index 1.32 (635 nm), pure water contact angle 4.0 °, and surface resistance 3.8 × 10 10 Ωcm.

実施例2
[低反射膜形成用塗布液の調製]
1リットルの3口フラスコ内にイソプロパノール322.8gを量り採り、フラスコ内を窒素置換した後、撹拌しながらTEOS 25.4gを添加して、さらに30分間撹拌し続けた。次いで、フラスコ内に濃度0.5mol/リットルの硝酸水溶液17.6gを1時間かけて徐々に滴下した後、50℃に加温した状態で3時間撹拌しTEOSを加水分解させて前駆体ゾルを得た。次いで、前駆体ゾルを室温まで冷却した後、酸化物換算によるモル比でアルコキシシランの加水分解物:有機スズ化合物(SiO:SnO)=90:10となるように、ジブチルスズジラウレート(日東化成株式会社製、商品名、U−100)4.28gを添加し、室温で約2時間撹拌して無色透明な低反射膜形成用塗布液を得た。この塗布液の加熱残分の重量分析をしたところ、測定結果は、酸化物換算(SiO+SnO)で固形分濃度2.20質量%であった。
Example 2
[Preparation of coating solution for forming low reflection film]
In a 1 liter three-necked flask, 322.8 g of isopropanol was weighed and the inside of the flask was purged with nitrogen. Then, 25.4 g of TEOS was added with stirring, and stirring was continued for another 30 minutes. Next, 17.6 g of nitric acid solution having a concentration of 0.5 mol / liter was gradually dropped into the flask over 1 hour, followed by stirring for 3 hours in a state heated to 50 ° C. to hydrolyze TEOS to obtain a precursor sol. Obtained. Next, the precursor sol was cooled to room temperature, and then dibutyltin dilaurate (Nitto Kasei Co., Ltd.) such that the hydrolyzate of alkoxysilane: organotin compound (SiO 2 : SnO 2 ) = 90: 10 in terms of a molar ratio in terms of oxide. 4.28 g (trade name, U-100) manufactured by Co., Ltd. was added and stirred at room temperature for about 2 hours to obtain a colorless and transparent coating solution for forming a low reflection film. When the weight analysis of the heating residue of this coating liquid was conducted, the measurement result was a solid content concentration of 2.20% by mass in terms of oxide (SiO 2 + SnO 2 ).

[低反射膜の形成]
次いで、実施例1と同様の手順で低反射膜付きガラスを作製した。
[Formation of low-reflection film]
Subsequently, the glass with a low reflection film was produced in the same procedure as Example 1.

[膜物性評価]
分光光度計による透過率曲線を図2に示す。
[Evaluation of film properties]
A transmittance curve obtained by the spectrophotometer is shown in FIG.

低反射膜形成前のソーダライムガラス基板の平均光透過率(380〜1200nm)が90.2%であったことに対して、の片面に低反射膜が形成された実施例2低反射膜付きガラスの平均光透過率は94.1%であった。前記測定方法で測定した膜厚は103nm、屈折率1.29(635nm)、純水接触角3.5°、表面抵抗値3.5×1010Ωcmであった。 Example 2 in which a low-reflection film was formed on one side of the soda-lime glass substrate before the formation of the low-reflection film had an average light transmittance (380 to 1200 nm) of 90.2%. The average light transmittance of the glass was 94.1%. The film thickness measured by the measurement method was 103 nm, refractive index 1.29 (635 nm), pure water contact angle 3.5 °, and surface resistance value 3.5 × 10 10 Ωcm.

実施例3
1リットルの3口フラスコ内にイソプロパノール322.6gを量り採り、フラスコ内を窒素置換した後、撹拌しながらTEOS 24.0gを添加して、さらに30分間撹拌し続けた。次いで、フラスコ内に濃度0.5mol/リットルの硝酸水溶液16.6gを1時間かけて徐々に滴下した後、50℃に加温し他状態で3時間撹拌しTEOSを加水分解させて前駆体ゾルを得た。次いで、前駆体ゾルを室温まで冷却した後、酸化物換算によるモル比でアルコキシシランの加水分解物:有機スズ化合物(SiO:SnO)=85:15となるように、ジオクチルスズジネオデカノエート(日東化成株式会社製、商品名、U−830)6.78gを添加し、室温で2時間撹拌して無色透明な低反射膜形成用塗布液を得た。この塗布液の加熱残分の重量分析をしたところ、測定結果は、酸化物換算(SiO+SnO)で固形分濃度2.20質量%であった。
Example 3
In a 1 liter three-necked flask, 322.6 g of isopropanol was weighed and the inside of the flask was purged with nitrogen. Then, 24.0 g of TEOS was added with stirring, and stirring was continued for another 30 minutes. Next, 16.6 g of nitric acid aqueous solution with a concentration of 0.5 mol / liter was gradually dropped into the flask over 1 hour, and then heated to 50 ° C. and stirred for 3 hours in another state to hydrolyze TEOS, thereby precursor sol Got. Next, the precursor sol was cooled to room temperature, and then dioctyltin dineodeca so that the hydrolyzate of alkoxysilane: organotin compound (SiO 2 : SnO 2 ) = 85: 15 in terms of a molar ratio in terms of oxide. 6.78 g of Noate (manufactured by Nitto Kasei Co., Ltd., trade name, U-830) was added and stirred at room temperature for 2 hours to obtain a colorless and transparent coating solution for forming a low reflection film. When the weight analysis of the heating residue of this coating liquid was conducted, the measurement result was a solid content concentration of 2.20% by mass in terms of oxide (SiO 2 + SnO 2 ).

[低反射膜の形成]
次いで、実施例1と同様の手順で低反射膜付きガラスを作製した。
[Formation of low-reflection film]
Subsequently, the glass with a low reflection film was produced in the same procedure as Example 1.

[膜物性評価]
低反射膜形成前のソーダライムガラス基板の平均光透過率(380〜1200nm)が90.2%であったことに対して、片面に低反射膜が形成された実施例3の低反射膜付きガラスの平均光透過率は93.8%であった。前記測定方法で測定した膜厚は125nm、屈折率1.30(635nm)、純水接触角3.8°、表面抵抗値3.8×1011Ωcmであった。
[Evaluation of film properties]
The soda-lime glass substrate before forming the low-reflection film had an average light transmittance (380 to 1200 nm) of 90.2%, whereas the low-reflection film was formed on one side with the low-reflection film of Example 3. The average light transmittance of the glass was 93.8%. The film thickness measured by the above measuring method was 125 nm, refractive index 1.30 (635 nm), pure water contact angle 3.8 °, and surface resistance value 3.8 × 10 11 Ωcm.

比較例1
実施例1で調合したTEOSの前駆体ゾルのみを用い、ジ有機スズ化合物を添加せず、実施例1と同様の手順で前駆体ゾルのみをソーダライムガラス基板に塗布し、実施例1と同様の条件で焼成した。形成された膜の屈折率は1.45、膜厚が108nmであった。得られた片面に膜が形成された膜付きガラスの透過率は91.6%であり、膜は多孔質低屈折性でなくバルク状のボイドのない膜であり、低反射膜付きガラスと言えるものでなかった。
Comparative Example 1
Only the precursor sol of TEOS prepared in Example 1 was used, no diorganotin compound was added, and only the precursor sol was applied to a soda lime glass substrate in the same procedure as in Example 1. It baked on the conditions of this. The formed film had a refractive index of 1.45 and a film thickness of 108 nm. The transmittance of the obtained glass with a film formed on one side is 91.6%, and the film is a porous film having no low refractive index and no bulk voids, and can be said to be a glass with a low reflection film. It was not a thing.

比較例2
イソプロパノールにジブチルスズジラウレート(日東化成株式会社製、商品名、U100)のみ加え、液を調合し、実施例1と同様の手順でソーダライムガラス基板に膜を形成したところ、ガラス基板は白濁しており、酸化スズの粉末が付着しているだけであり、低反射膜の形成ができなかった。
Comparative Example 2
When only dibutyltin dilaurate (product name, U100, manufactured by Nitto Kasei Co., Ltd.) is added to isopropanol, a liquid is prepared, and a film is formed on a soda lime glass substrate in the same procedure as in Example 1, the glass substrate is cloudy. Only the tin oxide powder was adhered, and a low reflective film could not be formed.

Claims (13)

有機スズ化合物およびアルコキシシランの加水分解物を含んでなり、アルコキシシランの加水分解物に対して有機スズ化合物が、酸化物換算によるモル比で表して、アルコキシシランの加水分解物:有機スズ化合物=99:1〜50:50の範囲に含まれてなる低反射膜形成用塗布液を基体表面に塗布して塗膜とし、有機スズ化合物の分解温度以上にすることを含む、屈折率1.25以上、1.50以下である多孔質性酸化物膜の低反射膜を基体上に形成する、低反膜の形成方法。 A hydrolyzate of an organotin compound and an alkoxysilane, wherein the organotin compound is expressed in terms of a molar ratio in terms of oxide to the hydrolyzate of the alkoxysilane, and the hydrolyzate of the alkoxysilane: the organotin compound = Refractive index 1.25 including coating the substrate surface with a coating solution for forming a low reflection film contained in a range of 99: 1 to 50:50 to form a coating film that is at or above the decomposition temperature of the organotin compound. A method for forming a low anti-reflection film, comprising forming a low reflective film of a porous oxide film of 1.50 or less on a substrate. 有機スズ化合物が一般式(1):R SnA (1)
(式中、Rは炭素数1〜12の直鎖状または炭素数3〜12の分岐鎖状のアルキル基、アルケニル基または炭素数6〜12のアリール基であり、Aは炭素数1〜18の直鎖状または炭素数3〜18の分岐鎖状のアルコキシ基またはアルコキシシリル基である。Xは1または2の整数、Yは4−Xで表される整数である。)
で表される化合物である、請求項1に記載の方法。
The organotin compound is represented by the general formula (1): R 1 X SnA Y (1)
(In the formula, R 1 is a linear or branched alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkenyl group or an aryl group having 6 to 12 carbon atoms, and A is 1 to 1 carbon atoms. 18 is a linear or branched C3-C18 alkoxy group or alkoxysilyl group, X is an integer of 1 or 2, and Y is an integer represented by 4-X.)
The method of Claim 1 which is a compound represented by these.
スズ化合物が一般式(2):R SnA (2)
(式中、Rは炭素数1〜12の直鎖状または炭素数3〜12の分岐鎖状のアルキル基、アルケニル基または炭素数6〜12のアリール基であり、Aは炭素数1〜18の直鎖状もしくは炭素数3〜18の分岐鎖状のアルコキシ基またはアルコキシシリル基である。)で表されるジ有機スズ化合物である、請求項1または請求項2に記載の方法。
The tin compound is represented by the general formula (2): R 1 2 SnA 2 (2)
(In the formula, R 1 is a linear or branched alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkenyl group or an aryl group having 6 to 12 carbon atoms, and A is 1 to 1 carbon atoms. The method according to claim 1 or 2, wherein the compound is a diorganotin compound represented by: 18 straight-chain or C3-C18 branched alkoxy group or alkoxysilyl group.
有機スズ化合物が
一般式(3):R Sn(OCOR (3)
または
一般式(4):(R Sn(OCOR)O (4)
(式中、Rは炭素数1〜12の直鎖状または炭素数3〜12の分岐鎖状のアルキル基、アリール基または炭素数6〜12のアルケニル基であり、Aは炭素数1〜18の直鎖状もしくは炭素数3〜18の分岐鎖状のアルコキシ基またはアルコキシシリル基である。Pは1または2の整数、Qは4−Pまたは3−Pで表される整数である。)
で表される化合物である、請求項1に記載の方法。
The organotin compound is represented by the general formula (3): R 1 P Sn (OCOR 2 ) Q (3)
Or general formula (4): (R 1 P Sn (OCOR 2 ) Q ) O (4)
(In the formula, R 1 is a linear or branched alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an aryl group, or an alkenyl group having 6 to 12 carbon atoms, and A is 1 to 1 carbon atoms. 18 is a linear or branched C3-C18 alkoxy group or alkoxysilyl group, P is an integer of 1 or 2, and Q is an integer represented by 4-P or 3-P. )
The method of Claim 1 which is a compound represented by these.
スズ化合物が
一般式(5):R Sn(OCOR (5)
または
一般式(6):(R Sn(OCOR))O (6)
(式中、Rは炭素数1〜12の直鎖状または炭素数3〜12の分岐鎖状のアルキル基、アリール基または炭素数6〜12のアリール基であり、Aは炭素数1〜18の直鎖状もしくは炭素数3〜18の分岐鎖状のアルコキシ基またはアルコキシシリル基である。)
で表されるジ有機スズ化合物である、請求項4に記載の方法。
The tin compound is represented by the general formula (5): R 1 2 Sn (OCOR 2 ) 2 (5)
Or general formula (6): (R 1 2 Sn (OCOR 2 )) 2 O (6)
(In the formula, R 1 is a linear or branched alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an aryl group or an aryl group having 6 to 12 carbon atoms, and A is 1 to 1 carbon atoms. 18 linear or branched alkoxy group having 3 to 18 carbon atoms or alkoxysilyl group.)
The method of Claim 4 which is a diorganotin compound represented by these.
アルコキシシランが一般式(7):R Si(OR4−m (7)
(式中、RおよびRはそれぞれ独立に炭素数1〜4の直鎖状または炭素数3〜4分岐鎖状のアルキル基であり、mは0〜3の整数である)で表される化合物またはその加水分解物である、請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の方法。
Alkoxysilane is represented by the general formula (7): R 3 m Si (OR 4 ) 4-m (7)
(Wherein R 3 and R 4 are each independently a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and m is an integer of 0 to 3). The method according to any one of claims 1 to 5, which is a compound or a hydrolyzate thereof.
アルコキシシランがテトラアルコキシシランである、請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の方法。 The method according to any one of claims 1 to 6, wherein the alkoxysilane is tetraalkoxysilane. 請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の方法で低反射膜が形成されてなる低反射膜付き部材。 A member with a low reflection film, wherein the low reflection film is formed by the method according to any one of claims 1 to 7. 低反射膜の厚みが膜厚50nm以上、200nm以下である請求項8に記載の低反射膜付き部材 The member with a low reflection film according to claim 8, wherein the thickness of the low reflection film is 50 nm or more and 200 nm or less. JIS R3257(1999)に準拠する純水接触角が2°以上、40°以下である低反射膜が形成されてなる、請求項8または請求項9に記載の低反射膜付き部材。 The member with a low reflection film according to claim 8 or 9, wherein a low reflection film having a pure water contact angle of 2 ° or more and 40 ° or less according to JIS R3257 (1999) is formed. 低反射膜が形成された面の1cmあたりの表面抵抗値が10Ωcm以上、1012Ωcm以下である、請求項8乃至請求項10のいずれか1項に記載の低反射膜付き部材。 The member with a low reflection film according to any one of claims 8 to 10, wherein a surface resistance value per 1 cm 3 of the surface on which the low reflection film is formed is 10 6 Ωcm or more and 10 12 Ωcm or less. 基体がガラス板である請求項8乃至請求項11のいずれか1項に記載の低反射膜付き部材。 The member with a low reflection film according to claim 8, wherein the substrate is a glass plate. 請求項12の低反射膜付き部材を用いてなる、太陽電池カバーガラス。 The solar cell cover glass which uses the member with a low reflection film of Claim 12.
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