JP2013222840A - 太陽電池の製造方法及び太陽電池 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スクリーン印刷法により、太陽電池用の基板にフィンガー電極及びバスバー電極を同時に形成するスクリーン印刷工程を有する太陽電池の製造方法であって、スクリーン印刷工程は、フィンガー電極用パターン開口部孔409c及びバスバー電極用パターン開口部409cを有するスクリーン版409を基板上方に配置し、円柱状のスキージ408をスクリーン版の表面に押圧した状態で移動させて、基板上に所定パターンの導電性ペーストを印刷する。
【選択図】図6
Description
また、スクリーン印刷の印刷速度を上昇させたときには、導電性ペーストの吐出量の不足が発生するため、上記接続部の断線が更に起こりやすくなる。
なお、本発明に関連にする先行技術文献は以下の通りである。
〔1〕 スクリーン印刷法により、太陽電池用の基板にフィンガー電極及びバスバー電極を同時に形成するスクリーン印刷工程を有する太陽電池の製造方法であって、
上記スクリーン印刷工程は、上記フィンガー電極用パターン開口部及びバスバー電極用パターン開口部を有するスクリーン版を上記基板上方に配置し、円柱状のスキージを上記スクリーン版の表面に押圧した状態で移動させて、上記基板上に所定パターンの導電性ペーストを印刷するものであることを特徴とする太陽電池の製造方法。
〔2〕 上記スクリーン印刷工程は、上記円柱状のスキージを回転させながら上記スクリーン版の表面に押圧して印刷するものであることを特徴とする〔1〕に記載の太陽電池の製造方法。
〔3〕 上記円柱状のスキージの周速度が150mm/s以上2,000mm/s以下であることを特徴とする〔2〕に記載の太陽電池の製造方法。
〔4〕 上記円柱状のスキージの直径が10mm以上200mm以下であることを特徴とする〔1〕〜〔3〕のいずれかに記載の太陽電池の製造方法。
〔5〕 上記スクリーン版の版膜の厚さが10μm以上50μm以下であり、該スクリーン版の上記フィンガー電極用パターン開口部の幅が30μm以上100μm以下であることを特徴とする〔1〕〜〔4〕のいずれかに記載の太陽電池の製造方法。
〔6〕 上記円柱状のスキージを上記バスバー電極用パターン開口部の長手方向に対して垂直方向に移動させることを特徴とする〔1〕〜〔5〕のいずれかに記載の太陽電池の製造方法。
〔7〕 〔1〕〜〔6〕のいずれかに記載の太陽電池の製造方法により製造されてなることを特徴とする太陽電池。
また、本発明によれば、円柱状のスキージを駆動により回転させることによって、ペーストにせん断力が作用するので、高チキソ性の導電性ペーストであっても低粘度で印刷することができる。また、円柱状のスキージが回転し続けることによってペースト粘度を一定に保つことができるため、印刷初期と終期で印刷性が変化しない。更に、スキージを回転させながら印刷することで、均一にスキージが磨耗するため、長期に亘ってスキージを適切な形状に保つことができる。
以上の加工処理を行うことで、テクスチャ構造を有する半導体基板を作製することができる。
まず、図5,図6を用いて、従来のスクリーン印刷法について説明する。
スクリーン印刷法で用いられているスクリーン版409は、図5に示すように、互いに直交する縦糸と横糸とを編み込んだメッシュ材409aに、感光性の乳剤で被覆し、この乳剤を露光により一部除去することによって所望のパターン形状(例えば、電極用であれば略長方形)に開口したパターン開口部409cを有する版膜(乳剤層)409bを形成したものである。
なお、ゴム硬度は、A硬度デュロメーターを用いて測定した値である(JIS K 6253)。
ついで、このペースト膜を乾燥して、スクリーン印刷工程が終了する。
本発明は、前述した太陽電池の製造工程(図4)のうち、受光面(表面)側の電極形成工程(図4(x))においてスクリーン印刷法を採用するものであって、図5,図6に示した従来のスクリーン印刷法における平型のスキージ408に代えて、円柱状のスキージ608を用いることを特徴とするものである(図7(a))。
(工程1) まず、フィンガー電極用パターン開口部及び上記バスバー電極用パターン開口部を有するスクリーン版409を被印刷物410である基板(前述の太陽電池用の基板であって反射防止膜102が形成された面)上方に所定距離だけ離して配置する。
なお、印刷速度は、単位時間あたりのスキージ中心の移動距離であり、周速度は、単位時間あたりのスキージ円周上の点の移動距離である。
これに加えて、円柱状のスキージを駆動により回転させることによって、ペーストにせん断力が作用するので、高チキソ性の導電性ペーストであっても低粘度で印刷することができる。また、円柱状のスキージが回転し続けることによってペースト粘度を一定に保つことができるため、印刷初期と終期で印刷性が変化しない。更に、スキージを回転させながら印刷することで、均一にスキージが磨耗するため、長期に亘ってスキージを適切な形状に保つことができる。
[実施例1]
P型半導体基板を40枚用いて以下の手順で処理を行い、太陽電池を作製した。
(i) まず、P型半導体基板100として、15cm角、厚さ250μm、比抵抗2.0Ω・cmのホウ素ドープ{100}p型アズカットシリコン基板を用意し、濃水酸化カリウム水溶液によりダメージ層を除去した後に、テクスチャを形成した。
(ii) 次に、その基板をオキシ塩化リン雰囲気下850℃で熱処理してN型拡散層101を形成し、ついでフッ酸にてリンガラスを除去して洗浄、乾燥を行った。
(iii) 次に、プラズマCVD装置を用い、受光面側にSiNxの反射防止膜102を成膜した。
(iv) 基板の裏面側に、銀粉末とガラスフリットを有機物バインダで混合したペーストをバスバー電極106用のパターン形状にスクリーン印刷した後、アルミニウム粉末を有機物バインダで混合した導電性ペーストをバスバー電極106以外の領域にアルミニウム電極104用のパターン形状にスクリーン印刷した。ついで、乾燥により裏面のペースト膜から有機溶媒を除去して裏面電極(アルミニウム電極104、バスバー電極106)を形成した半導体基板を作製した。
(v) 次に、この半導体基板の反射防止膜102の上に、以下の条件のスクリーン印刷法により、図2に示すフィンガー電極107及びバスバー電極105用のペースト膜を形成した。その条件は次の通りである。
・導電性ペースト;銀粉末と、ガラスフリットと、有機ビヒクルと、有機溶媒とを主成分とし、添加物として金属酸化物を含有したものを用いた。
・スクリーン版409;
・・メッシュ材409a:ステンレス細線からなる縦糸と横糸とを直交するように編み込んだ紗
・・版膜409bの厚さ:10μm
・・フィンガー電極用パターン開口部409cの幅:70μm
・・フィンガー電極用パターン開口部409cの間隔:2.3mm
・・バスバー電極用パターン開口部409cの幅:1.5mm
・スキージ608;
・・円柱状スキージ:直径100mm、長さ220mm
・・材質:シリコーンゴム成形品(ゴム硬度70度)
・スクリーン版409と半導体基板とのギャップ:2mm
・印圧;0.3MPa
・印刷速度;印刷速度200mm/s
(vi) 次に、サンプルを150℃のクリーンオーブンに入れて、ペースト膜の有機溶媒を除去した後、800℃の空気雰囲気下で焼成処理を行い、フィンガー電極107及びバスバー電極105を形成して太陽電池サンプルを得た。
実施例1において、上記手順(v)における版膜409bの厚さを15μm、フィンガー電極用パターン開口部409cの幅を60μmとし、それ以外は実施例1と同じ条件で太陽電池サンプルを作製した。
実施例1において、上記手順(v)における円柱状スキージ608に代えて、ヘラ状の平スキージ408(幅50mm、厚み10mm、長さ220mm、シリコーンゴム製、ゴム硬度70度)を用い、該平スキージ408のスクリーン版409に対する傾け角度を70°、印刷速度50mm/sとし、それ以外は実施例1と同じ条件で太陽電池サンプルを作製した。
比較例1において、上記手順(v)における印刷速度を200mm/sとし、それ以外は比較例1と同じ条件で太陽電池サンプルを作製した。
以上のように作製した太陽電池40枚それぞれについて、光学顕微鏡によるフィンガー電極観察と太陽電池の電気的特性について評価を行った。詳しくは、フィンガー電極観察として、レーザー顕微鏡(キーエンス社製、型式VK−X100)を用いて印刷後のフィンガー電極107の幅と高さを観察した。また、太陽電池の電気的特性の測定として、ソーラーシミュレータ(山下電装株式会社製、型式YSS−160A)を用いて、ソーラーシミュレータの光(基板温度25℃、照射強度:1kW/m2、スペクトル:AM1.5グローバル)を太陽電池サンプルに照射して、該太陽電池サンプルの電流−電圧特性を測定し、測定結果から短絡電流、曲線因子、変換効率を求めた。なお、測定値は太陽電池40枚の平均値として求めた。
その結果を表1に示す。
これに対して、実施例1では、比較例1と同等の曲線因子及び変換効率が得られたが、短絡電流が比較例1よりも減少した。円柱状のスキージに変更したことにより、フィンガー電極107の幅が広くなったためと考えられる。
また、実施例2では、フィンガー電極107の幅、高さ共に比較例1とほぼ同じとなり、比較例1と同等の太陽電池の電気的特性を示した。なお、実施例1、2では、バスバー電極105にサドル現象は起きなかった。
以上のように、円柱状のスキージを用いるスクリーン印刷法により、ペースト吐出量を減少させることなく、印刷速度を増加させることが可能となり、高効率の太陽電池を生産性良く製造することが可能である。
101 N型拡散層
102 反射防止膜
103 BSF層
104 アルミニウム電極
105 バスバー電極(表面)
106 バスバー電極(裏面)
107 フィンガー電極
408,608 スキージ
409 スクリーン版
409a メッシュ材
409b 版膜
409c パターン開口部
410 被印刷物
a,b 接触領域
Claims (7)
- スクリーン印刷法により、太陽電池用の基板にフィンガー電極及びバスバー電極を同時に形成するスクリーン印刷工程を有する太陽電池の製造方法であって、
上記スクリーン印刷工程は、上記フィンガー電極用パターン開口部及びバスバー電極用パターン開口部を有するスクリーン版を上記基板上方に配置し、円柱状のスキージを上記スクリーン版の表面に押圧した状態で移動させて、上記基板上に所定パターンの導電性ペーストを印刷するものであることを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 上記スクリーン印刷工程は、上記円柱状のスキージを回転させながら上記スクリーン版の表面に押圧して印刷するものであることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池の製造方法。
- 上記円柱状のスキージの周速度が150mm/s以上2,000mm/s以下であることを特徴とする請求項2に記載の太陽電池の製造方法。
- 上記円柱状のスキージの直径が10mm以上200mm以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
- 上記スクリーン版の版膜の厚さが10μm以上50μm以下であり、該スクリーン版の上記フィンガー電極用パターン開口部の幅が30μm以上100μm以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
- 上記円柱状のスキージを上記バスバー電極用パターン開口部の長手方向に対して垂直方向に移動させることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法により製造されてなることを特徴とする太陽電池。
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