JP2013221797A - 計測装置、計測方法及びプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】モデルエッジ抽出部210は、物体の形状を示す形状情報からエッジ領域と当該エッジ領域の幅とを抽出する。モデルエッジ投影部220は、物体の位置及び姿勢のうちの少なくとも何れか一方のパラメータに基づいて、物体が撮像された画像データに対してエッジ領域を投影する。エッジ検出部230は、エッジ領域の幅に基づいて、画像データからエッジを検出する。位置姿勢更新部240は、投影したエッジ領域と検出したエッジとの距離を小さくするように上記パラメータを更新する。
【選択図】図1
Description
Claims (4)
- 物体の位置及び姿勢のうちの少なくとも何れか一方を計測する計測装置であって、
前記物体の形状を示す形状情報からエッジ領域と当該エッジ領域の幅とを抽出する抽出手段と、
前記物体の位置及び姿勢のうちの少なくとも何れか一方のパラメータに基づいて、前記物体が撮像された画像データに対して前記エッジ領域を投影する投影手段と、
前記エッジ領域の幅に基づいて前記画像データからエッジを検出する検出手段と、
前記投影したエッジ領域と前記検出したエッジとの距離を小さくするように前記パラメータを更新する更新手段とを有することを特徴とする計測装置。 - 前記更新手段は、前記エッジ領域の法線又は位置に基づく重み係数を用いて、前記パラメータの更新量を算出することを特徴とする請求項1に記載の計測装置。
- 物体の位置及び姿勢のうちの少なくとも何れか一方を計測する計測装置によって実行される計測方法であって、
前記物体の形状を示す形状情報からエッジ領域と当該エッジ領域の幅とを抽出する抽出ステップと、
前記物体の位置及び姿勢のうちの少なくとも何れか一方のパラメータに基づいて、前記物体が撮像された画像データに対して前記エッジ領域を投影する投影ステップと、
前記エッジ領域の幅に基づいて、前記画像データからエッジを検出する検出ステップと、
前記投影したエッジ領域と前記検出したエッジとの距離を小さくするように前記パラメータを更新する更新ステップとを有することを特徴とする計測方法。 - 物体の位置及び姿勢のうちの少なくとも何れか一方を計測する計測装置によって実行される計測方法をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記物体の形状を示す形状情報からエッジ領域と当該エッジ領域の幅とを抽出する抽出ステップと、
前記物体の位置及び姿勢のうちの少なくとも何れか一方のパラメータに基づいて、前記物体が撮像された画像データに対して前記エッジ領域を投影する投影ステップと、
前記エッジ領域の幅に基づいて、前記画像データからエッジを検出する検出ステップと、
前記投影したエッジ領域と前記検出したエッジとの距離を小さくするように前記パラメータを更新する更新ステップとをコンピュータに実行させるためのプログラム。
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JP2005093678A (ja) * | 2003-09-17 | 2005-04-07 | Omron Corp | 円形物におけるマーク検出方法、ノッチ検出方法、半導体ウェーハの向き検査方法、および半導体ウェーハの向き検査装置 |
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