JP2013219219A - 洗浄装置および洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】高圧ポンプを使わず、しかも、微細貫通スルーホール内の切削屑または研磨屑を効果的に除去する洗浄方法および洗浄装置を提供する。
【解決手段】銅張基板の微細貫通スルーホール内の洗浄を行なう際に、搬送ローラーにより搬送した銅張基板表面にノズルにより洗浄水を銅張基板表面に供給し、上側の洗浄水を微細貫通スルーホール内に押し込むための複数のローラー(押し込みローラー)と下側にある銅張基板を押えるためのローラー(押えローラー)の間を通すことにより、銅張基板表面に滞留する洗浄水を押し込みローラーで微細貫通スルーホール内へ供給し微細貫通スルーホール内の洗浄を行なう。
【選択図】図5
【解決手段】銅張基板の微細貫通スルーホール内の洗浄を行なう際に、搬送ローラーにより搬送した銅張基板表面にノズルにより洗浄水を銅張基板表面に供給し、上側の洗浄水を微細貫通スルーホール内に押し込むための複数のローラー(押し込みローラー)と下側にある銅張基板を押えるためのローラー(押えローラー)の間を通すことにより、銅張基板表面に滞留する洗浄水を押し込みローラーで微細貫通スルーホール内へ供給し微細貫通スルーホール内の洗浄を行なう。
【選択図】図5
Description
本発明は、積層基板を含む銅張基板に表面、裏面および内層を電気的接続するための貫通スルーホールを形成し、その後めっき形成および回路パターン形成を行なうプリント配線板の洗浄装置および洗浄方法に関する。
現在、電子機器は、高機能化・多機能化に伴い、多ピン部品の使用および搭載部品点数が増加している。一方、電子部品を実装するプリント配線板は、高密度化している。このような高密度プリント配線板では、表裏面および内層を接続するための貫通スルーホールが微細化している。
図1(a)は、プリント配線板101の斜視図である。図1(a)の四角部Aを拡大した平面図を図1(b)に示す。さらに、図1(c)は、図1(b)破線部Bの断面図である。なお、本明細書に添付する図面の断面は、断面のみを図示し、断面の奥の非断面は、図示しない。
図1(b)において、プリント配線板101の外層には、外層回路パターン102と、貫通スルーホール103とが形成されている。外層回路パターン102の上には、ソルダーレジスト104が形成されている。一方、貫通スルーホール103の上には、ソルダーレジスト104が形成されていない。
図1(c)において、プリント配線板101の内層には、内層回路パターン105と、貫通スルーホール103の銅めっき膜106とが形成されている。
図1(c)において、プリント配線板101の内層には、内層回路パターン105と、貫通スルーホール103の銅めっき膜106とが形成されている。
図2を参照して、プリント配線板の製造方法を説明する。ここで、図2は、プリント配線板の製造工程図である。プリント配線板の製造工程は、まず、図2(a)で示す内層回路パターン105を形成した内層板を積層・圧着した銅張基板201に、図2(b)で示すように表裏面および内層回路パターン105を接続するための貫通スルーホール103を切削形成する。その後、表裏面に発生したバリを研磨し、貫通スルーホール103切削時に発生する表裏面および貫通スルーホール103内の切削屑とバリの研磨時に発生する研磨屑の洗浄を行なう。洗浄した銅張基板201に図2(c)で示すように銅めっき工程で表裏面および貫通スルーホール103内に銅めっき膜106を形成する。銅めっき膜106は、銅張基板201の表裏面および内層回路パターン105を接続する。
次に、図2(d)で示すように回路形成工程で外層回路パターン102を形成する。さらに、図2(e)で示すように外層回路パターン102の絶縁・キズ防止のため銅張基板201表裏面の必要箇所にソルダーレジスト104の塗布を行なう。最後に、製品サイズに切断を行なった後電気検査を行ないプリント配線板が完成する。
図3を参照して、銅めっき欠損を説明する。ここで、図3は、銅めっき欠損を説明する製造工程図である。上述した製造工程中で貫通スルーホール103の微細化により、貫通スルーホール103内の切削屑または研磨屑の除去が問題となる。貫通スルーホール103を形成する場合、銅張基板201を切削形成する際の加工条件または作業状態により、切削屑が貫通スルーホール103内から排出しきれず、図3(a)で示すように貫通スルーホール103内に切削屑が残る場合がある。その後に行なう表裏面のバリの研磨においても、研磨時に発生する研磨屑が研磨作業により貫通スルーホール103内へ押し込まれ図3(a)で示すように研磨屑が貫通スルーホール103内に残る場合がある。
貫通スルーホール103内から切削屑または研磨屑301が完全に除去されない場合、次工程である銅めっき工程で切削屑または研磨屑301により触媒および銅めっき液が貫通スルーホール103内へ供給されず、貫通スルーホール103内で部分的に銅めっき膜が形成されないため図3(b)で示すように銅めっき欠損302が発生する。
通常、このような貫通スルーホール103内に残った切削屑または研磨屑301を除去するため、高圧洗浄装置を用いて貫通スルーホール103内の洗浄を行なう。図4を参照して、高圧洗浄装置を説明する。ここで、図4は高圧洗浄装置を説明する図である。図4(a)において、高圧洗浄装置は、水配管401と、ノズル402と、搬送ローラー403と、駆動チェーン404と、駆動モーター405と、高圧ポンプ406と、制御部407と、水槽408とで構成する。図4(a)の四角部Cを拡大した図を図4(b)、図4(b)の四角部Dを拡大した図を図4(c)にそれぞれ示す。
制御部407のDC−AC変換を行なうインバータは、高圧ポンプ406を周波数制御し、吐出圧力を制御する。高圧ポンプ406は、水槽408に溜めた洗浄水を水配管401に供給して、図4(b)で示すようにノズル402から高圧で噴出する。ここで、高圧とは、5MPa以上の圧力である。5MPa未満の圧力を中圧と呼ぶ。
制御部407のDC−AC変換を行なうインバータは、駆動モーター405を周波数制御により、速度制御する。駆動モーター405は、駆動チェーン404を駆動する。駆動チェーン404は、接続している搬送ローラー403を回転させる。搬送ローラー403の回転により、搬送ローラー403上に投入した銅張基板201が、洗浄水を高圧で噴出するノズル402の方向に進み、ノズル402の直下を通過する。このとき、銅張基板201に形成した貫通スルーホール103へノズル402は、洗浄水409を供給し、図4(c)で示すように貫通スルーホール103の下面から切削屑または研磨屑301を排出し除去する。
貫通スルーホール103が微細化するほど、貫通スルーホール103内に供給する洗浄水の量が減少し洗浄力が低下する。このため、貫通スルーホール103内の切削屑または研磨屑301が除去されず銅めっき欠損302不具合が発生し易くなる。そのため、ノズル402から洗浄水を高圧で噴出し、貫通スルーホール103内に洗浄水の量を減少させず供給して切削屑または研磨屑301を効果的に除去する必要がある。このことから、微細貫通スルーホール103内の洗浄では、上述した洗浄水を高圧で噴出する高圧洗浄装置の使用が必要であった。
しかし、高圧洗浄装置は、高圧で噴出する特殊な高圧ポンプ406、配管材料、搬送方式を使用するため導入コストが高い。また、装置設置面積においても特殊な高圧ポンプが大きいため、高圧洗浄装置の下部へ配置できず装置外へ別置きとなり既存洗浄装置より広い設置面積が必要となる。
特許文献1は、スルーホール穴10が形成された多層配線基板を高圧洗浄する多層印刷配線板の製造方法を開示する。特許文献2は、確実にスミア除去ができる多層プリント基板の処理装置を記事する。さらに、特許文献3は、高圧洗浄室2で上下ノズルから、圧力3〜5MPaの水で洗う金属はく張り積層板の洗浄方法を開示する。
本発明は、高圧ポンプを使わず、しかも、微細貫通スルーホール内の切削屑または研磨屑を効果的に除去する洗浄方法および洗浄装置を提供する。
本発明は、前述の課題を解決し、より効果的に切削屑または研磨屑を除去するために考案したものである。銅張基板の微細貫通スルーホール内の洗浄を行なう際に、搬送ローラーにより搬送した銅張基板表面にノズルにより洗浄水を銅張基板表面に供給し、上側の洗浄水を微細貫通スルーホール内に押し込むための複数のローラー(押し込みローラー)と下側にある銅張基板を押えるためのローラー(押えローラー)の間を通ることにより、銅張基板表面に滞留する洗浄水を押し込みローラーで微細貫通スルーホール内へ供給し微細貫通スルーホール内の洗浄を行なう。
上述した課題は、 プリント配線板の貫通スルーホールを洗浄する洗浄装置において、回転軸に垂直な面に断面を有する溝と第1のしきりと、前記回転軸の始点と終点とに第2のしきりとを備え、前記第1のしきりと前記第2のしきりとは弾性を有する押し込みローラーと、前記プリント配線板を搬送する複数の搬送ローラーと、前記押し込みローラーに洗浄液を供給する洗浄液供給部と、を備え、前記押し込みローラーは、前記溝に前記洗浄液を保持し、回転に伴う弾性変形によって、前記貫通スルーホールに前記洗浄液を供給する洗浄装置により、達成できる。
また、押し込みローラーを利用して、プリント配線板の貫通スルーホールを洗浄する洗浄方法であって、前記押し込みローラーは、回転軸に垂直な面に断面を有する溝と第1のしきりと、前記回転軸の始点と終点とに第2のしきりとを備え、前記第1のしきりと前記第2のしきりとは弾性を有し、前記プリント配線板を搬送するステップと、押し込みローラーに洗浄液を供給するステップと、前記押し込みローラーに前記溝に前記洗浄液を保持するステップと、前記押し込みローラーの回転に伴う弾性変形によって、前記貫通スルーホールに前記洗浄液を供給するステップと、を含む洗浄方法により、達成できる。
本発明によれば、押し込みローラーで銅張基板表面に滞留する洗浄水を微細貫通スルーホール内へ押し込むと、押し込んだ洗浄水の圧力が高くなり、切削屑または研磨屑を微細貫通スルーホール内から効果的に除去することができる。
以下、本発明の実施の形態について、実施例を用い図面を参照しながら詳細に説明する。なお、実質同一部位には同じ参照番号を振り、説明は繰り返さない。
図5を参照して、実施例1の洗浄装置を説明する。図5(a)において、洗浄装置500は、水配管401と、ノズル402と、搬送ローラー403と、駆動チェーン404と、駆動モーター405と、制御部407と、水槽408と、押し込みローラー501と、水洗ポンプ502とで構成されている。制御部407は、インバータ4071と、シーケンサ4072とを含む。なお、洗浄ポンプ502は、中圧ポンプである。図5(a)の四角部Eを拡大した図を図5(b)、図5(b)の四角部Fを拡大した図を図5(c)にそれぞれ示す。
図5(a)において、DC−AC変換を行なうインバータ4071は、水洗ポンプ502を周波数制御して、吐出圧力を調整する。水洗ポンプ502は、水槽408に溜めた洗浄水を水配管401に供給して図5(b)に示すようにノズル402から銅張基板201表面の洗浄に適した圧力で洗浄水を噴出する。
DC−AC変換を行なうインバータ4071は、同時に駆動モーター405を周波数制御して、速度制御する。駆動モーター405は、駆動チェーン404を駆動する。駆動チェーン404は、接続されている搬送ローラー403を回転させる。その搬送ローラー403上に投入された銅張基板201は、押し込みローラー501を通過する際に押し込みローラー501を持ち上げ搬送方向に進む。そのとき、ノズル402から噴出した洗浄水409は、銅張基板201と押し込みローラー501の接触箇所に向かって噴出するため銅張基板201表面に滞留する洗浄水503として滞留する。押し込みローラー501は、銅張基板201に自重による負荷を加え銅張基板201の表面に沿って搬送ローラー403と同速度で回転する。
図5(c)で示すように、押し込みローラー501は、銅張基板201表面に滞留する洗浄水503をその自重および回転の力により微細貫通スルーホール103内へ供給し、微細貫通スルーホール103内の切削屑または研磨屑301を微細貫通スルーホール103内から排出し除去する。
本実施例では、微細貫通スルーホール103内に切削屑または研磨屑301があると、押し込みローラー501により微細貫通スルーホール103内に供給した洗浄水は、微細貫通スルーホール103内から切削屑または研磨屑301を除去するまで切削屑または研磨屑301に圧力を加え続け圧力が高まる。このため、より効果的に微細貫通スルーホール103内から切削屑または研磨屑301の除去を行なうことができる。
本実施例により、微細貫通スルーホール103内に洗浄水を供給することができ、微細貫通スルーホール103内に供給した洗浄水により微細貫通スルーホール103内の切削屑または研磨屑301の除去を効果的に行なうことができる。また、本実施例はあらゆる工法で製作した銅張基板201の貫通スルーホール103内を洗浄する工程において使用することができる。
図6を参照して、実施例2の洗浄装置を説明する。図6(a)において、洗浄装置500Aは、水配管401と、ノズル402と、搬送ローラー403と、駆動チェーン404と、駆動モーター405と、制御部407と、水槽408と、水洗ポンプ502と、押し込みローラー601とで構成されている。制御部407は、インバータ4071と、シーケンサ4072とを含む。なお、洗浄ポンプ502は、中圧ポンプである。図6(a)の四角部Gを拡大した図を図6(b)、図6(b)の四角部Hを拡大した図を図6(c)にそれぞれ示す。この実施例で使用する押し込みローラー601は、押し込みローラー601の表面に溝およびしきりを追加している。
DC−AC変換を行なうインバータ4071は、水洗ポンプ502を周波数制御して、吐出圧力を調整する。水洗ポンプ502は、水槽408に溜めた洗浄水を水配管401に供給して図6(b)に示すようにノズル402から銅張基板201表面の洗浄に適した圧力で洗浄水を噴出する。
インバータ4071は、同時に駆動モーターを周波数制御して、駆動速度を制御する。駆動モーター405は、駆動チェーン404を動かし、駆動チェーン404に接続している搬送ローラー403を回転させる。その搬送ローラー403は、回転し、搬送ローラー403上に投入された銅張基板201は、押し込みローラー601を通過する際に押し込みローラー601を持ち上げ、搬送方向に進む。このとき、ノズル402から噴出した洗浄水409は、銅張基板201と押し込みローラー601の接触箇所に向かって噴出する。このため、洗浄水409は、銅張基板201表面に滞留する洗浄水503として滞留する。押し込みローラー601は、銅張基板201に自重による負荷を加える。押し込みローラー601は、銅張基板201の表面に沿って搬送ローラー403と同速度で回転する。
このとき、押し込みローラー601は、図7(a)で示すように押し込みローラー601の表面に溝701およびしきり702を追加したゴム製のローラーを使用する。押し込みローラー601のシャフト703の両端には、洗浄装置に固定する機構704を取り付けている。図7(b)は、図7(a)の破線部Iの断面形状を示している。なお、しきり702は、弾性体で構成する。弾性体とする理由は、弾性変形することによって、溝701に保持する洗浄液を加圧するためである。
図7(a)(b)で示す押し込みローラー601を使用することにより銅張基板201表面に滞留する洗浄水503は、押し込みローラー601が回転し押し込みローラー601のしきり702が銅張基板201に接触した際に押し込みローラー601表面に追加した溝701に溜めることができる。溝701に溜めることにより、溝701に溜めた洗浄水602を微細貫通スルーホール103に集中して供給する働きがある。また、しきり702は、押し込みローラー601の溝701に溜めた洗浄水602が、回転軸方向に流れてしまうことを防止する。押し込みローラー601は、図7(a)で示す溝701およびしきり702の配置だけではなく、図7(c)で示す溝701としきり702をずらして配置した押し込みローラー601Aを使用することもできる。
このようにして、図6(c)で示すように銅張基板201表面に滞留する洗浄水503を押し込みローラー601が回転し溝701に溜め、さらに押し込みローラー601が回転して押し込みローラー601の溝701に溜めた洗浄水602を微細貫通スルーホール103内へ供給し、微細貫通スルーホール103内の切削屑または研磨屑301を排出し除去する。
押し込みローラー601による洗浄の詳細を図8を用いて説明する。押し込みローラー601が回転する状態を図8(a)(c)(e)に示し、図8(a)の四角部Jを拡大した図を図4(b)、図4(c)の四角部Kを拡大した図を図4(d)、図4(e)の四角部Lを拡大した図を図4(f)にそれぞれ示す。
まず、図8(a)(b)で示すように搬送ローラー403で搬送した銅張基板201の表面へノズル402から噴出した洗浄水409が滞留する。その銅張基板201表面に滞留する洗浄水503は、押し込みローラー601が回転することにより押し込みローラー601の溝701に溜めることができる。
次に、図8(c)(d)で示すように押し込みローラー601がさらに回転し、押し込みローラー601の自重による負荷により押し込みローラー601のしきり702が変形し、溝701の体積が変化する。溝701の体積が変化することにより、押し込みローラー601の溝701に溜めた洗浄水602が微細貫通スルーホール103へ供給される。供給した洗浄水は、切削屑または研磨屑301を微細貫通スルーホール103内の下部へ押す。このとき、微細貫通スルーホール103内の切削屑または研磨屑301が微細貫通スルーホール103内の下部へ動き始めるまで、切削屑または研磨屑301に押し込みローラー601の溝701に溜めた洗浄水で圧力を加え続け微細貫通スルーホール103内は高い圧力になる。
最後に図8(e)(f)で示すように、押し込みローラー601がさらに回転し押し込みローラー601のしきり702が最も変形した状態となり、さらに押し込みローラー601の溝701に溜めた洗浄水602を微細貫通スルーホール103へ供給し、微細貫通スルーホール103内の切削屑または研磨屑301を排出し除去する。このとき、図8(b)で示す押し込みローラー601の変形前に溝701に溜めた洗浄水801の体積と、図8(f)で示す押し込みローラー601が最も変形した状態で溝701に残った洗浄水802の体積変化分の洗浄水を使用し微細貫通スルーホール103内の洗浄を行なう。
押し込みローラー601の表面に溝701およびしきり702を追加したことにより、溝701に溜めた洗浄水602は、流れることができる微細貫通スルーホール103に集中して供給するため圧力が上昇し強い洗浄力を得ることができる。
また、微細貫通スルーホール103内に大きな切削屑または研磨屑301が存在し微細貫通スルーホール103を塞いでいる場合、押し込みローラー601の溝701に溜めた洗浄水602が微細貫通スルーホール103内下部へ流れることができず、微細貫通スルーホール103から切削屑または研磨屑301が除去されるまで圧力が加え続ける。このため、さらに高い圧力で微細貫通スルーホール103内を洗浄することできる。
実施例3の高圧洗浄装置を図9を用いて説明する。図9(a)において、高圧洗浄装置500Bは、水配管401と、ノズル402と、搬送ローラー403と、駆動チェーン404と、駆動モーター405と、制御部407と、水槽408と、水洗ポンプ502と、押し込みローラー601と、負荷量調整機構1000とから構成されている。制御部407は、インバータ4071と、シーケンサ4072とを含む。なお、洗浄ポンプ502は、中圧ポンプである。図9(a)の四角部Mを拡大した図を図9(b)、図9(b)の四角部Nを拡大した図を図9(c)にそれぞれ示す。
実施例3は、押し込みローラー601のシャフト703に負荷量調整機構1000を設けている。負荷量調整機構1000は、負荷量調整のためのバネを付加して、構成されている。
制御部407のDC−AC変換を行なうインバータ4071は、周波数制御により水洗ポンプ502の吐出圧を調整する。ポンプ502は、水槽408に溜めた洗浄水を水配管401に供給する。ノズル402は、図9(b)に示すように銅張基板201表面の洗浄に適した圧力で洗浄水を噴出する。
インバータ4071は、周波数制御により、駆動モーター405の回転速度を制御する。駆動モーター405は、駆動チェーン404を動かし、接続している搬送ローラー403が回転する。搬送ローラー403上に投入された銅張基板201は、押し込みローラー601を通過する際に押し込みローラー601を持ち上げ、搬送方向に進む。そのとき、ノズル402から噴出した洗浄水409は、銅張基板201と押し込みローラー601の接触箇所に向かって噴出される。このため、洗浄水409は、銅張基板201表面に滞留する洗浄水503として滞留する。押し込みローラー601は、銅張基板201に自重と図10で示す負荷量調整機構1000による負荷を加え銅張基板201の表面に沿って搬送ローラー403と同速度で回転する。
その後、図9(c)のように銅張基板201表面に滞留する洗浄水503を押し込みローラー601が回転し溝701に溜めることができる。そこからさらに押し込みローラー601が回転して押し込みローラー601の溝701に溜めた洗浄水602を微細貫通スルーホール103内へ供給し、微細貫通スルーホール103内の切削屑または研磨屑301を排出し除去する。
図10を参照して、負荷量調整機構1000の構成を説明する。図10において、負荷量調整機構1000は図10(a)で示す構成であり、押し込みローラー601のシャフト703に、シャフト703の破損の保護と回転の補助のためカラー1001を取り付ける。次に、このカラー1001の上にバネ等の負荷を与える機構1002を取り付け、負荷を与える機構1002の上側に負荷量を調整する機構1003を取り付ける。図10(a)では、バネで負荷を与え、負荷の調整をボルトおよびナットで行ない、ナットの締込量によりボルトが上下しバネの伸縮を変化させ、負荷量調整機構1000による負荷量を調整する。
負荷量調整機構1000は、図10(b)で示すように押し込みローラー601のシャフト703両端に設置する。銅張基板201が押し込みローラー601を通過する際に、押し込みローラー601の自重と負荷量調整機構1000による負荷を押し込みローラー601全体で銅張基板201に加える。この負荷量調整機構1000による負荷を調整することにより、押し込みローラー601の溝701に溜めた洗浄水602を微細貫通スルーホール103へ高い圧力で供給することができる。その結果、負荷量調整機構1000は、洗浄力を高めることができる。
実施例4の高圧洗浄装置について、図11を用いて説明する。図11において、高圧洗浄装置500Cは、水配管401と、ノズル402と、搬送ローラー403と、駆動チェーン404と、駆動モーター405と、制御部407と、水槽408と、水洗ポンプ502と、押し込みローラー601と、負荷量調整機構1000とで構成されている。また、制御部407は、インバータ4071と、シーケンサ4072とを含む。なお、洗浄ポンプ502は、中圧ポンプである。図11の四角部Oを拡大した図を図12に示す。このとき、押し込みローラー601は搬送ローラー403の上側に配置し、押し込みローラー601の下側の搬送ローラー(押えローラー1101)は、吸水を行なう多孔性の材料(スポンジ等)のストレートローラーを使用する。
DC−AC変換を行なうインバータ4071は、周波数制御により、水洗ポンプ502の吐出圧を調整する。水洗ポンプ502は、水槽408に溜めた洗浄水を水配管401に供給する。ノズル402は、銅張基板201表面の洗浄に適した圧力で洗浄水を噴出する。
インバータ4071は、同様に周波数制御により駆動モーター405の回転数を制御する。駆動モーター405は、駆動チェーン404を駆動する。駆動チェーン404は、接続している搬送ローラー403を回転させる。搬送ローラー403上に投入された銅張基板201は、押し込みローラー601を通過する際に押し込みローラー601を持ち上げ搬送方向に進む。そのとき、ノズル402から噴出した洗浄水409は、銅張基板201と押し込みローラー601の接触箇所に向かって噴出される。このため、洗浄水409は、銅張基板201表面に滞留する洗浄水503として滞留する。押し込みローラー601は、銅張基板201に自重と調整した負荷量調整機構1000による負荷を加え銅張基板201の表面に沿って搬送ローラー403と同速度で逆方向に回転する。
このときの押えローラー1101は、押し込みローラー601の直下に位置しており押し込みローラー601の自重と調整した負荷量調整機構1000による負荷を、銅張基板201が押し込みローラー601を通過する際に下側から押えることができる。この結果、銅張基板201の反り・たわみによる圧力損失を抑え、同時に銅張基板201の反り・たわみによる負担も低減することができる。
押し込みローラー601を押えローラー1101の上に配置することにより、銅張基板201の反り・たわみによる圧力損失の抑制および銅張基板201の負担を低減することができる。しかも、押えローラー1101は、多孔性の材質なので、洗浄水を吸水できる。図12で示すように押えローラー1101と微細貫通スルーホール103が重なった場合に、押し込みローラー601の溝701に溜めた洗浄水602を微細貫通スルーホール103内へ供給しても、微細貫通スルーホール103内下部から排出した洗浄水を押えローラー1101で吸収し、微細貫通スルーホール103内から切削屑または研磨屑301を除去することができる。
実施例4により、銅張基板201の反り・たわみの発生を抑え、効率よく微細貫通スルーホール103内の洗浄を行なうことができる。
実施例5について、図13ないし図15を参照して説明する。図13を参照して、洗浄装置の構成を説明する。図13(a)において、洗浄装置500Dは、水配管401と、ノズル402と、搬送ローラー403と、駆動チェーン404と、駆動モーター405と、制御部407と、水槽408と、水洗ポンプ502と、押し込みローラー601と、押し込みローラー601Aと、負荷量調整機構1000と、押えローラー1101とで構成されている。制御部407は、インバータ4071と、シーケンサ4072とを含む。なお、洗浄ポンプ502は、中圧ポンプである。図13(a)の四角部Pを拡大した図を図13(b)に示す。
DC−AC変換を行なうインバータ4071は、周波数制御により、水洗ポンプ502の吐出圧を調整する。水洗ポンプ502は、水槽408に溜めた洗浄水を水配管401に供給する。ノズル402は、銅張基板201表面の洗浄に適した圧力で洗浄水を噴出する。
インバータ4071は、周波数制御により、駆動モーター405の回転数を制御する。駆動モーター405は、駆動チェーン404を駆動する。駆動チェーン404は、接続している搬送ローラー403を回転する。搬送ローラー403上に投入された銅張基板201は、押し込みローラー601、601Aを通過する際に押し込みローラー601、601Aを持ち上げ搬送方向に進む。ノズル402から噴出された洗浄水409は、銅張基板201と押し込みローラー601、601Aの接触箇所に向かって噴出される。このため、洗浄水409は、銅張基板201表面に滞留する洗浄水503として滞留する。押し込みローラー601、601Aは、銅張基板201に自重と調整した負荷量調整機構1000による負荷を加える。押し込みローラー601、601Aは、押し込みローラー銅張基板201の表面に沿って搬送ローラー403と同速度で逆方向に回転する。
その後、銅張基板201表面に滞留する洗浄水503を押し込みローラー601、601Aが回転し、洗浄水503溝701に溜めることができる。そこからさらに押し込みローラー601、601Aが回転して押し込みローラー601、601Aの溝701に溜めた洗浄水503を微細貫通スルーホール103内へ供給する。
図13(b)で示すように、押し込みローラー601のしきり702が最も変化した状態のときに微細貫通スルーホール103と重なっている場合、銅張基板201表面に滞留する洗浄水503を押し込みローラー601のしきり702で供給することとなる。この結果、微細貫通スルーホール103内へ銅張基板201表面に滞留する洗浄水503を少量しか供給ができず、各微細貫通スルーホール103の供給する洗浄水の量がばらつく。供給する洗浄水が少ない微細貫通スルールール103では、切削屑または研磨屑301が除去されない可能性がある。
これを改善するため、図14(a)(b)で示すように洗浄装置500Dは、水配管401と、ノズル402と、押し込みローラー601、601Aと、負荷量調整機構1000と、押えローラー1101とを複数組配置する。図14(b)の四角部Qを拡大した図を図15に示す。押し込みローラー601、601Aの配置間隔Rは、最初の押し込みローラー601のしきり702が微細貫通スルーホール103に重なった場合、次の押し込みローラー601Aでは同じ微細貫通スルーホール103に対し押し込みローラー601Aの溝701に溜めた洗浄水503を供給できるよう、微細貫通スルーホール103と溝701が重なる配置にしている。
このような押し込みローラーの配置間隔Rにすることにより、図14(a)で示すように最初の押し込みローラー601が微細貫通スルーホール103と重なり図13(b)の状態になったとしても、次の押し込みローラー601Aでは溝701と微細貫通スルーホール103が重なるため押し込みローラー601Aの溝701に溜めた洗浄水503を微細貫通スルーホール103内へ供給し、図15で示すように微細貫通スルーホール103内の切削屑または研磨屑301の除去することができる。
また、前段の押し込みローラー601と、後段の押し込みローラー601Aとでは、搬送方向に垂直な方向でのしきり位置が異なるため、前段の押し込みローラー601で微細貫通スルーホール103へ洗浄水が供給できなかった場合でも、後段の押し込みローラー601Aで微細貫通スルーホール103へ洗浄水が供給できる。
実施例6について、図16を参照して説明する。図16において、洗浄装置500Eは、水配管401と、ノズル402と、搬送ローラー403と、駆動チェーン404と、駆動モーター405と、制御部407と、水槽408と、水洗ポンプ502と、押し込みローラー601、601Aと、負荷量調整機構1000と、押えローラー1101と、押し込みローラー用駆動モーター1601と、押し込みローラー用駆動チェーン1602とから構成されている。制御部407は、インバータ4071と、シーケンサ4072とを含む。なお、洗浄ポンプ502は、中圧ポンプである。このとき、押し込みローラー601、601Aと、押えローラー1101とは、2組設置する。
DC−AC変換を行なうインバータ4071は、周波数制御により、水洗ポンプ502の吐出圧力を制御する。水洗ポンプ502は、水槽408に溜めた洗浄水を水配管401に供給する。ノズル402は、銅張基板201表面の洗浄に適した圧力で洗浄水を噴出する。
インバータ4071は、周波数制御により、駆動モーター405の回転数を制御する。駆動モーター405は、駆動チェーン404を駆動する。駆動チェーン404は、接続されている搬送ローラー403を回転する。搬送ローラー403上に投入した銅張基板201は、押し込みローラー601を通過する際に押し込みローラー601を持ち上げ搬送方向に進む。ノズル402から噴出した洗浄水409は、銅張基板201と押し込みローラー601の接触箇所に向かって噴出する。このため、洗浄水409は、銅張基板201表面に滞留する洗浄水503として滞留する。押し込みローラー601は、銅張基板201に自重と調整した負荷量調整機構1000による負荷を銅張基板201に加える。
インバータ4071は、さらに周波数制御により、押し込みローラー用駆動モーター1601の回転数を制御する。押し込みローラー用駆動モーター1601は、押し込みローラー用駆動チェーン1602を駆動する。押し込みローラー用駆動チェーン1602は、接続されている押し込みローラー601を回転する。
この押し込みローラー601の回転速度は、制御部701で周波数を変更することにより押し込みローラー601の回転速度を任意に変更することができる。回転速度を変更することにより、押し込みローラー601の溝701に溜めた洗浄水602を微細貫通スルーホール103に供給する時間を変化させることができる。具体的には、回転速度を遅くすることにより実施例1〜5に比べ長時間押し込みローラー601の溝701に溜めた洗浄水503を供給することができる。
実施例6によれば、銅張基板201表面に滞留する洗浄水503を任意の回転速度に変更した押し込みローラー601の回転により溝701に溜め、そこからさらに押し込みローラー601が任意の回転速度で回転して、押し込みローラー601の溝701に溜めた洗浄水602を微細貫通スルーホール103へ供給し、微細貫通スルーホール103内の切削屑または研磨屑301を効率良く排出し除去することができる。
図17を参照して、洗浄時間と、微細貫通スルーホール内の圧力との関係を説明する。図17において、横軸は洗浄作業時間(ms)、縦軸は微細貫通スルーホール内圧力(MPa)である。また、実線は微細貫通スルーホール内に切削屑および研磨屑がない場合、荒い波線は微細貫通スルーホール内に小さな切削屑または研磨屑がある場合、細かい波線は微細貫通スルーホール内に比較的大きな切削屑または研磨屑がある場合である。
微細貫通スルーホール内に切削屑または研磨屑がない場合、洗浄水を微細貫通スルーホール内に供給した後、微細貫通スルーホール内へ一定の圧力(0.2MPa)が加わる。一方、微細貫通スルーホール内に小さな切削屑または研磨屑がある場合、洗浄水を微細貫通スルーホール内に供給した後、切削屑または研磨屑が微細貫通スルーホール内から除去するまで、微細貫通スルーホール内の圧力は、切削屑または研磨屑が無い場合の圧力を超えて上昇する。切削屑または研磨屑が微細貫通スルーホール内から排出するときに微細貫通スルーホール内圧力は、最大となる。その後微細貫通スルーホール内の圧力は、低下し切削屑または研磨屑が無い場合の圧力と同じになる。
洗浄水を微細貫通スルーホール内に供給した際に切削屑または研磨屑がある場合、切削屑または研磨屑が洗浄水の流れの抵抗となり、切削屑または研磨屑に圧力を加えるため微細貫通スルーホール内の圧力は切削屑または研磨屑が無い場合に比べ高くなる。
微細貫通スルーホール内に大きな切削屑または研磨屑がある場合、洗浄水を微細貫通スルーホール内に供給した後、切削屑または研磨屑が微細貫通スルーホール内から除去するまで、微細貫通スルーホール内の圧力は小さな切削屑または研磨屑がある場合の圧力を超えて上昇する。切削屑または研磨屑が微細貫通スルーホール内から排出するときに微細貫通スルーホール内圧力の最大となり、その後微細貫通スルーホール内の圧力は低下し切削屑または研磨屑が無い場合の圧力と同じになる。
切削屑または研磨屑の大きさにより洗浄水の流れの抵抗が変化するため微細貫通スルーホール内の圧力は変化する。切削屑または研磨屑が大きい場合、微細貫通スルーホール内の洗浄水の流れの抵抗が大きくなり、このときの微細貫通スルーホール内の圧力は、小さい切削屑または研磨屑ある場合の圧力に比べさらに高くなる。
このように、実施例1〜実施例6では微細貫通スルーホール内に切削屑または研磨屑があり、切削屑または研磨屑が大きい程微細貫通スルーホール内を効率良く洗浄を行なうことができる。
上述した実施例によれば、銅張基板の微細貫通スルーホール内の洗浄において、微細貫通スルーホール内に切削屑または研磨屑がある場合、押し込みローラーで銅張基板表面に滞留する洗浄水を微細貫通スルーホール内へ押し込むと、切削屑または研磨屑が抵抗となるため、押し込んだ洗浄水の圧力が高くなり、切削屑または研磨屑を微細貫通スルーホール内から効果的に除去することができる。そのため、微細貫通スルーホール内に切削屑または研磨屑が残存すると切削屑または研磨屑を除去する洗浄力が向上し、微細貫通スルーホール内の銅めっき欠損不具合の発生を抑えることができる。
また、本実施例によれば、微細貫通スルーホール内を洗浄するために、既存洗浄装置に微細貫通スルーホール内に洗浄水を押し込み供給する複数の押し込みローラーの追加および銅張基板表面に洗浄水を供給するノズルの角度変更/追加等で対応できるため、設備設置面積を大きくかえず装置コストも抑えることができる。
101…プリント配線板、102…外層回路パターン、103…貫通スルーホール、104…ソルダーレジスト、105…内層回路パターン、106…銅めっき膜、201…銅張基板、301…切削屑または研磨屑、302…銅めっき欠損、401…水配管、402…ノズル、403…搬送ローラー、404…駆動チェーン、405…駆動モーター、406…高圧ポンプ、407…制御部、408…水槽、409…ノズルから噴出した洗浄水、500…洗浄装置、501…押し込みローラー、502…水洗ポンプ、503…銅張基板表面に滞留する洗浄水、601…溝、しきりを付加した押し込みローラー、602…押し込みローラーの溝に溜めた洗浄水、701…押し込みローラー表面に付加した溝、702…押し込みローラー表面に付加したしきり、703…押し込みローラーのシャフト、704…洗浄装置に固定する機構、801…押し込みローラーの変形前に溝に溜めた洗浄水、802…押し込みローラーが最も変形した状態で溝に残った洗浄水、1000…負荷量調整機構、1001…カラー、1002…負荷を与える機構、1003…負荷量を調整する機構、1101…押えローラー、1601…押し込みローラー用駆動モーター、1602…押し込みローラー用駆動チェーン。
Claims (5)
- プリント配線板の貫通スルーホールを洗浄する洗浄装置において、
回転軸に垂直な面に断面を有する溝と第1のしきりと、前記回転軸の始点と終点とに第2のしきりとを備え、前記第1のしきりと前記第2のしきりとは弾性を有する押し込みローラーと、
前記プリント配線板を搬送する複数の搬送ローラーと、
前記押し込みローラーに洗浄液を供給する洗浄液供給部と、を備え、
前記押し込みローラーは、前記溝に前記洗浄液を保持し、回転に伴う弾性変形によって、前記貫通スルーホールに前記洗浄液を供給することを特徴とする洗浄装置。 - 請求項1に記載の洗浄装置であって、
前記洗浄液供給部は、中圧ポンプを含んで構成されていることを特徴とする洗浄装置。 - 請求項1に記載の洗浄装置であって、
前記押し込みローラーは、負荷調節機構により、前記プリント基板に対して加重負荷を与えることを特徴とする洗浄装置。 - 請求項1に記載の洗浄装置であって、
さらに、回転軸に垂直な面に断面を有する第2の溝と第3のしきりと、前記回転軸の始点と終点とに第4のしきりとを備え、前記第3のしきりと前記第4のしきりとは弾性を有する第2の押し込みローラーを備え、
前記押し込みローラーと前記第2の押し込みローラーとは、前記プリント配線板に対する前記第1のしきりと前記第3のしきりとの接触位置が異なることを特徴とする洗浄装置。 - 押し込みローラーを利用して、プリント配線板の貫通スルーホールを洗浄する洗浄方法であって、
前記押し込みローラーは、回転軸に垂直な面に断面を有する溝と第1のしきりと、前記回転軸の始点と終点とに第2のしきりとを備え、前記第1のしきりと前記第2のしきりとは弾性を有し、
前記プリント配線板を搬送するステップと、
押し込みローラーに洗浄液を供給するステップと、
前記押し込みローラーに前記溝に前記洗浄液を保持するステップと、
前記押し込みローラーの回転に伴う弾性変形によって、前記貫通スルーホールに前記洗浄液を供給するステップと、を含む洗浄方法。
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