JP2013219124A - 外部共振器半導体レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】外部共振器半導体レーザ装置10は、半導体レーザ素子14と、コリメートレンズ16と、集光レンズ18と、部分反射ミラー20とを備え、半導体レーザ素子14から出射されるレーザ光を半導体レーザ素子14と部分反射ミラー20との間で共振させると共に、共振するレーザ光の一部を部分反射ミラー20を通して出力する。さらに、半導体レーザ素子14、コリメートレンズ16、集光レンズ18、部分反射ミラー20をそれぞれ固定的に保持する保持具26,28,30,32が設けられており、これら保持具が基板12上に固定されている。
【選択図】図1
Description
最初に、図1を参照して、本発明による外部共振器半導体レーザ装置10の全体構成を説明する。図1は、本発明による外部共振器半導体レーザ装置の一実施形態の模式図であり、(a)は外部共振器半導体レーザ装置で用いられる基板と一体的に設けられた保持具を側方から見た図、(b)は各保持具に半導体レーザ素子、コリメートレンズ、集光レンズ及び部分反射ミラーを取り付けた状態の外部共振器半導体レーザ装置を側方から見た図、(c)はさらにバンドパスフィルタを取り付けたバンドパスフィルタ保持具を導入した状態の外部共振器半導体レーザ装置を側方から見た図である。
外部共振器半導体レーザ装置を特に産業へ応用する上での最も重要な課題はモードホップの頻度を減らすことだと考えられる。本発明はそうした課題から発生する機械的な安定性の高い外部共振器半導体レーザ装置への需要を満たすために非常に重要である。
12 基板
14 半導体レーザ素子
16 コリメートレンズ
18 集光レンズ
20 部分反射ミラー
22 バンドパスフィルタ
23 温度調節器
24 電流制御装置
26 半導体レーザ素子保持具
28 コリメートレンズ保持具
30 集光レンズ保持具
32 部分反射ミラー保持具
34 バンドパスフィルタ保持具
Claims (7)
- 半導体レーザ素子と、コリメートレンズと、集光レンズと、部分反射ミラーとを備え、半導体レーザ素子から出射されるレーザ光を半導体レーザ素子と部分反射ミラーとの間で共振させると共に、共振するレーザ光の一部を部分反射ミラーを通して出力する外部共振器半導体レーザ装置であって、
前記半導体レーザ素子、前記コリメートレンズ、前記集光レンズ、前記部分反射ミラーをそれぞれ固定的に保持する保持具を備え、全ての前記保持具が基板上に固定されており、半導体レーザ素子から出射されコリメートレンズでコリメートされたレーザ光を集光レンズで再集光し、再集光されたレーザ光を前記部分反射ミラーで反射して前記半導体レーザ素子に戻すようになっていることを特徴とする外部共振器半導体レーザ装置。 - 前記半導体レーザ素子への供給電流を制御する電流制御装置をさらに備え、前記供給電流の制御により出力光の周波数を変化させることができる、請求項1に記載の外部共振器半導体レーザ装置。
- 前記外部共振器半導体レーザ装置の温度を調節するための温度調節器をさらに備える、請求項1又は請求項2に記載の外部共振器半導体レーザ装置。
- 前記保持具の少なくとも一つが前記基板と一体的に形成されている、請求項1から請求項3の何れか一項に記載の外部共振器半導体レーザ装置。
- 前記基板と一体的に形成されている保持具は、一つの材料からの切削により作製される、請求項4に記載の外部共振器半導体レーザ装置。
- 波長を選択するためのバンドパスフィルタと、前記基板上に固定されており且つバンドバスフィルターを保持するバンドパスフィルタ保持具とをさらに備える、請求項1から請求項5の何れか一項に記載の外部共振器半導体レーザ装置。
- 前記バンドパスフィルタは、光軸に対する角度が調整可能であるように前記バンドパスフィルタ保持具に保持されている、請求項6に記載の外部共振器半導体レーザ装置。
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Citations (7)
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2012
- 2012-04-06 JP JP2012086997A patent/JP2013219124A/ja active Pending
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