JP2013219106A - 形状加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加工ツールの稼働条件を変数に持つ複数の除去量プロファイルを求める工程(工程1)と、前記複数の除去量プロファイルと設定加工量とから走査条件を算出する工程(工程2)とを有する形状加工方法が提供される。本方法によれば、加工中の除去量プロファイルの変化を考慮して走査条件を算出するので、高精度な形状加工を行うことができる。
【選択図】図1
Description
本発明に基づく形状加工方法の第一の実施形態について、反応性局所プラズマ加工法を例にとって説明する。
反応性局所プラズマ加工において特に高精度な加工を行う場合には、以下に述べる実施形態に基づく形状加工方法が望ましい。
本実施例では(実施形態1)および(実施形態2)に基づき、反応性局所プラズマ加工法で平板の石英基板に、有効径40mm、曲率半径10mの凹球面を形成した例を示す。供給ガスはArとSF6、O2で、150Wのマイクロ波電力を供給して放電させた。
本実施例では、反応性局所プラズマ加工法で400℃に加熱した平板の石英基板に、有効径40mm、曲率半径10mの凹球面を形成した例を示す。
202 反応性局所プラズマ
203 ワーク
204 放射温度計
205 ステージ
206 電子演算装置
207 ワークホルダー
208 チャンバー
Claims (3)
- 形状加工方法であって、加工ツールの稼働条件を変数に持つ複数の除去量プロファイルを求める工程(工程1)と、前記複数の除去量プロファイルと設定加工量とから走査条件を算出する工程(工程2)とを有することを特徴とする形状加工方法。
- 前記除去量プロファイルの変数が、走査方向、走査速さ、投入電力、ガス流量、ワークディスタンス、ワークと加工ツールとの相対角度の少なくとも1つであることを特徴とする請求項1記載の形状加工方法。
- 前記走査条件と、加工中に測定したワークの温度またはエッチング生成物の発光強度に対応する加工レートとに基づきワークと加工ツールとの相対位置を制御する工程を有することを特徴とする請求項1または2記載の形状加工方法。
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