JP2013217776A - 表面処理状況モニタリング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源10より所定の波長幅を有する測定光を試料50中の測定対象構造に照射し、測定対象構造の第1部位と第2部位とからそれぞれ反射した光を光ファイバ23中で干渉させ、該干渉光のスペクトルを生成する。このような干渉光スペクトルを、時間を隔てた2つの時点で分光部30により取得し、データ処理部40において絶対差面積算出部42はその差スペクトルの絶対差面積を求める。この絶対差面積は、測定対象構造の寸法がλ/4変化する毎に周期的に変化するため、その変化に基づいて測定対象構造の寸法を求めることができる。
【選択図】図1
Description
また、エッチングとは逆に、マスキングを施していない部分に酸化膜や金属膜等を生成する成膜処理も行われるが、この場合も、処理の終了時点を定めるために成膜部分の厚さをモニタリングする必要がある。
特許文献4に記載の方法は絶対値が保障される利点はあるものの、測定精度は低い。 特許文献5、6に記載の方法では、時間微分スペクトルと、予め取得しデータベースに格納しておいた所望のプロセス条件を満たした際の過去のデータとの比較に基づいてプロセスの進行をチェックするため、厚さや深さといった寸法(数値)を測定することができない。
特許文献7に記載の方法は、エッチング・成膜される構造(穴・堆積物)が比較的小さい場合、図7(特許文献7では図12)に示されるように、極大・極小を示す強度変化が小さくなり、ノイズに埋もれやすくなるという欠点がある。
a)時間を隔てた2つの時点で前記検出手段によりそれぞれ干渉光のスペクトルを取得するスペクトル取得手段と、
b)前記スペクトル取得手段による2つのスペクトルの絶対差面積を求める差面積算出手段と、
c)前記絶対差面積の変化に基づき測定対象構造の寸法を求める解析手段と、
を備えることを特徴としている。
FA(ω)=√[Ref(ω)]・AA・exp(kx−ωt+0) …(1)
FB(ω)=√[Ref(ω)]・AB・exp(kx−ωt+2dω・2π) …(2)
ここで、kxは定数である。分光測定により得られる光は上の2つの反射光FA(ω)、FB(ω)が干渉したものであり、その干渉光のスペクトルF(d,ω)は(3)式で表される。
F(d,ω)=|FA(ω)+FB(ω)|2
=Ref(ω)[AA 2+AB 2+2AAABcos(2dω・2π)]
=(AA 2+AB 2)Ref(ω)+2AAABRef(ω)cos(2dω・2π) …(3)
Fs(ω)=F(d+Δd,ω)−F(d,ω)
=2AAABRef(ω)[cos(2(d+Δd)ω・2π)−cos(2dω・2π)]
=−4AAABRef(ω)sin(2πΔd・ω)sin(4πdω−2πΔdω) …(4)
となる。ここで、Δd・ωは光源の波長帯域に亘ってほとんど一定と考えられるため、これをΔd・ωcとおくと、差スペクトルは次のようになる。
Fs(ω)=−4AAABRef(ω)sin(2πΔd・ωc)sin(4πdω−2πΔdωc) …(5)
この差スペクトルの絶対値の面積(絶対差面積)の2乗S2を計算する。光源からの光Ref(ω)は波長幅σのガウス分布であり、Ref(ω)=exp(−(ω−ω0)2/σ2)であることから、
{S(Δd)}2=∫{Fs(ω)}2dω (∫は−∞から+∞まで)
=16AA 2AB 2sin2(2πΔd・ωc)∫{exp(−2(ω−ω0)2/σ2)sin2(4πdω
−2πΔdωc)}dω
=16AA 2AB 2sin2(2πΔd・ωc){1/2(σ/√(2π))
−σ/(2√(2π))exp(−8π2d2σ2)cos2(8πdω−4πΔdωc)} …(6)
S2=4√(2(σ/√π))AA 2AB 2sin2(2πΔd・ωc) …(7)
となる。つまり、S2はΔd=λ/4となったときに極大値を示す。
また、エッチング開始直後であってdが未だ非常に小さく、exp(-8π2d2σ2)がほぼ0とはみなせない領域についても、エッチング開始時d=0の際のスペクトルを差分に用いるため、式(6)におけるcos2(8πdω−4πΔdωc)はcos(−4πΔdωc)となり、式(6)の当該第2項もΔd=λ/4において初めての極大値0を示す。
このようにしてエッチング深さを測定してゆき、深さが所定の値となった時点で(ステップS6でYes)エッチング処理を終了する。
図4(c)は同じ光源光を用いて、穴深さd=19.5um(マイクロメートル)の時と、そこから0.1umエッチングが進行したd=19.6umの時の干渉縞を重ねたものであり、図4(d)はその差スペクトルである。
図4(b)と(d)を比較すると分かるように、エッチングが進行するにつれて干渉縞のズレは大きくなる。上記絶対差面積は、このズレを算出するものである。絶対差面積の概念図を図5(a)に、エッチング進行に伴うその変化を図5(b)に示す。図5(b)から明らかなように、両干渉縞スペクトルのズレは、両干渉縞スペクトルの位相差がπとなるとき、つまり、エッチング深さがλ/4=0.2075um進行したときに最大となる。
この面積が極大となった時点を新たな基準時刻t0とし、そこから新たに差分波形の面積をモニタリングすることにより、λ/4毎にエッチングが進行したことを検出することができる。
通常、ショットノイズNphは平均回数Kの平方根に反比例して減少することから、信号強度をS、ノイズ強度をNとすると、平均化した後の信号強度S'、N'及びS/N比SNR'は、式(8)〜(10)のように表わすことができる。
S'=(ΣKS)/K=S …(8)
N'=(ΣNN)/K=(1/√K)・N …(9)
SNR'=S/((1/√K)・N)=√K・SNR …(10)
上記エッチング深さ測定の際の面積変化に関するS/N比を計算すると、次の通りとなる。波長軸方向のアレイ検出器の画素数をKとし、簡単のために波長軸方向の干渉縞強度分布は一定であると仮定すると、信号強度S''、ノイズ強度N''、S/N比SNR''は、
S''=(ΣKS)=K・S …(11)
N''=(ΣNN)=KN'=√K・N …(12)
SNR''=K・S/(√(K)・N)=√K・SNR …(13)
式(13)より、面積変化に関しても、平均化の効果と同様にS/N比は1点のみ(短波長のみ)の測定時のS/Nと比較すると√K倍向上する。
それに対し、絶対差面積は波長軸方向の積分値であるため、面積の変化に重畳されるノイズは前記説明の通り、減少する。ここで、19.5um時の干渉波形を基準として差分をとった干渉波計の面積変化を図6(c)に示すが、図6(b)と比較すると明らかなとおり、本実施例の装置・方法において極大・極小検出は非常に容易となる。
20…測定光学系
21…入射側光ファイバ
22…ファイバカプラ
23…光ファイバ
24…コリメートレンズ
30…分光部
31…回折格子
32…アレイ検出器
40…データ処理部
41…基準スペクトル記憶部
42…絶対差面積算出部
43…光学距離算出部
44…校正部
45…表示部
50…試料
50A、50B、51…基板
52…トレンチ孔
53…レジスト層
61〜65…反射光
Claims (2)
- 表面処理加工によって基板上に形成される孔若しくは溝の深さや段差、又は増加若しくは減少する膜層や基板の厚さといった測定対象構造の寸法を測定する表面処理状況モニタリング装置であって、所定の波長幅を有する測定光を発生する光源と、測定対象構造の第1部位と第2部位とからそれぞれ反射した光を干渉させる干渉光学系と、該干渉光学系による干渉光を波長分散させる分光手段と、該分光手段により波長分散された光の波長毎の強度を検出してスペクトルを生成する検出手段と、を具備する表面処理状況モニタリング装置において、
a)時間を隔てた2つの時点で前記検出手段によりそれぞれ干渉光のスペクトルを取得するスペクトル取得手段と、
b)前記スペクトル取得手段による2つのスペクトルの絶対差面積を求める差面積算出手段と、
c)前記絶対差面積の変化に基づき測定対象構造の寸法を求める解析手段と
を備えることを特徴とする表面処理状況モニタリング装置。 - 前記スペクトル取得手段が、2つの干渉光のスペクトルを取得する2つの時点の間隔Δtを、測定対象構造の寸法の変化速度vに該時間間隔Δtを乗じた値が測定光の中心波長λの1/4よりも小さくなるように計測中に自動で調整することを特徴とする請求項1に記載の表面処理状況モニタリング装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016212037A (ja) * | 2015-05-13 | 2016-12-15 | トヨタ自動車株式会社 | 不透明積層体の層厚み測定方法 |
US9859103B2 (en) | 2015-01-20 | 2018-01-02 | Toshiba Memory Corporation | Process control device, recording medium, and process control method |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013120063A (ja) * | 2011-12-06 | 2013-06-17 | Shimadzu Corp | 表面処理状況モニタリング装置 |
GB201319559D0 (en) * | 2013-11-06 | 2013-12-18 | Pilkington Group Ltd | In-process monitoring of coatings on glass articles |
CN104807416B (zh) * | 2015-05-08 | 2017-09-01 | 南开大学 | 一种微结构阵列光学应变传感器设计及其制造方法 |
CN105157579B (zh) * | 2015-07-27 | 2017-09-01 | 南开大学 | 一种微结构阵列光学位移传感器的制造方法及其用于检测微小位移的方法 |
CN109029361B (zh) * | 2018-09-10 | 2020-07-10 | 曲阜师范大学 | 基于干涉原理的光纤水平仪 |
CN109029359B (zh) * | 2018-09-10 | 2020-07-10 | 曲阜师范大学 | 基于干涉原理的光纤倾角传感器 |
CN109029360B (zh) * | 2018-09-10 | 2020-07-10 | 曲阜师范大学 | 基于干涉原理的光纤单向水平仪 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11166812A (ja) * | 1997-12-05 | 1999-06-22 | Toshiba Corp | 試料の段差測定方法及び段差測定用プログラムを格納した記録媒体 |
JP2009042072A (ja) * | 2007-08-09 | 2009-02-26 | Optorun Co Ltd | 薄膜層の膜厚良否判別方法 |
WO2011045967A1 (ja) * | 2009-10-13 | 2011-04-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | 膜厚測定装置および膜厚測定方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10325708A (ja) | 1997-03-27 | 1998-12-08 | Toshiba Corp | エッチング深さ測定方法及びその装置 |
JPH11274259A (ja) | 1998-03-26 | 1999-10-08 | Hitachi Ltd | 厚さ測定装置および厚さ制御装置 |
US6160621A (en) | 1999-09-30 | 2000-12-12 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for in-situ monitoring of plasma etch and deposition processes using a pulsed broadband light source |
US6413867B1 (en) | 1999-12-23 | 2002-07-02 | Applied Materials, Inc. | Film thickness control using spectral interferometry |
JP3854810B2 (ja) | 2000-06-20 | 2006-12-06 | 株式会社日立製作所 | 発光分光法による被処理材の膜厚測定方法及び装置とそれを用いた被処理材の処理方法及び装置 |
TW492106B (en) | 2000-06-20 | 2002-06-21 | Hitachi Ltd | Inspection method for thickness of film to be processed using luminous beam-splitter and method of film processing |
JP4046117B2 (ja) | 2001-03-12 | 2008-02-13 | 株式会社デンソー | 半導体層の膜厚測定方法及び半導体基板の製造方法 |
JP3946470B2 (ja) | 2001-03-12 | 2007-07-18 | 株式会社デンソー | 半導体層の膜厚測定方法及び半導体基板の製造方法 |
US6903826B2 (en) | 2001-09-06 | 2005-06-07 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for determining endpoint of semiconductor element fabricating process |
JP4068986B2 (ja) | 2003-02-19 | 2008-03-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 試料のドライエッチング方法及びドライエッチング装置 |
US7009714B2 (en) | 2003-02-26 | 2006-03-07 | Hitachi High-Technologies Corporation | Method of dry etching a sample and dry etching system |
US6972848B2 (en) | 2003-03-04 | 2005-12-06 | Hitach High-Technologies Corporation | Semiconductor fabricating apparatus with function of determining etching processing state |
JP2008218898A (ja) | 2007-03-07 | 2008-09-18 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置 |
EP2615966A1 (en) * | 2010-09-17 | 2013-07-24 | Lltech Management | Full-field optical coherence tomography system for imaging an object |
-
2012
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-
2013
- 2013-04-09 US US13/859,405 patent/US9007599B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11166812A (ja) * | 1997-12-05 | 1999-06-22 | Toshiba Corp | 試料の段差測定方法及び段差測定用プログラムを格納した記録媒体 |
JP2009042072A (ja) * | 2007-08-09 | 2009-02-26 | Optorun Co Ltd | 薄膜層の膜厚良否判別方法 |
WO2011045967A1 (ja) * | 2009-10-13 | 2011-04-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | 膜厚測定装置および膜厚測定方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9859103B2 (en) | 2015-01-20 | 2018-01-02 | Toshiba Memory Corporation | Process control device, recording medium, and process control method |
JP2016212037A (ja) * | 2015-05-13 | 2016-12-15 | トヨタ自動車株式会社 | 不透明積層体の層厚み測定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20130265587A1 (en) | 2013-10-10 |
US9007599B2 (en) | 2015-04-14 |
JP5862433B2 (ja) | 2016-02-16 |
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