JP2013216872A - 潤滑油組成物、該潤滑油組成物を用いた摺動機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】潤滑油基油に、組成物全量基準で、(A)有機ジチオリン酸亜鉛をリン濃度換算で0.005質量%以上0.12質量%以下、(B)アミド系摩擦低減剤を0.05質量%以上5.0質量%以下、並びに(C)アルカリ土類金属サリシレート系清浄剤及び/又はアルカリ土類金属スルフォネート系清浄剤をアルカリ土類金属濃度換算で0.05質量%以上0.5質量%以下含有する低摩擦摺動材料に用いられる潤滑油組成物、及び相互に摺動する2つの摺動部材の摺動面に、前記潤滑油組成物を介在させた摺動機構であって、2つの摺動部材のうち少なくとも一方の摺動面が、水素を5atom%以上50atom%以下含有するDLC皮膜が形成されている摺動機構である。
【選択図】なし
Description
例えば、特許文献1にはエーテル系無灰摩擦低減剤を含む、低摩擦摺動部材に用いられる潤滑油組成物が開示されている。特許文献2、3には、DLC部材と鉄基部材との摺動面やDLC部材とアルミニウム合金部材との摺動面に、脂肪酸エステル系無灰摩擦調整剤や脂肪族アミン系無灰摩擦調整剤を含有する潤滑油組成物を用いる技術が開示されている。また、特許文献4には、DLCコーティング摺動部材を有する低摩擦摺動機構において、含酸素有機化合物や脂肪族アミン系化合物を含有する低摩擦剤組成物を用いる技術が開示されている。
このように低摩擦摺動材料用の潤滑油組成物が開発されているが、これらの技術を応用した場合であっても、耐摩耗性等の更なる向上を求めてZnDTPを配合すると摩擦係数が大きくなり、低摩擦化を達成できない現象が認められた。
したがって、潤滑油に求められる各種性能を維持・向上するために、例えば、ZnDTPを含有する潤滑油であっても、低摩擦摺動材料用の潤滑油として用いた際に極めて低い摩擦係数を示す潤滑油組成物が求められている。
1.潤滑油基油に、組成物全量基準で、(A)有機ジチオリン酸亜鉛をリン濃度換算で0.005質量%以上0.12質量%以下、(B)アミド系摩擦低減剤を0.05質量%以上5.0質量%以下、並びに(C)アルカリ土類金属サリシレート系清浄剤及び/又はアルカリ土類金属スルフォネート系清浄剤をアルカリ土類金属濃度換算で0.05質量%以上0.5質量%以下含有する低摩擦摺動材料に用いられる潤滑油組成物、
2.(B)成分のアミド系摩擦低減剤が、炭素数12〜24の脂肪族炭化水素基を有するジエタノールアミドである上記1に記載の潤滑油組成物、
3.(A)成分中に、第1級ジアルキルジチオリン酸亜鉛をリン濃度換算で0.005質量%以上0.05質量%以下含む上記1又は2に記載の潤滑油組成物、
4.低摩擦摺動材料がダイヤモンドライクカーボン(DLC)皮膜を有する材料である上記1〜3のいずれかに記載の潤滑油組成物、
5.相互に摺動する2つの摺動部材の摺動面に、上記1〜4のいずれかに記載の潤滑油組成物を介在させた摺動機構であって、2つの摺動部材のうち少なくとも一方の摺動面に、水素を5atom%以上50atom%以下含有するDLC皮膜が形成されている摺動機構、
6.DLC皮膜が、X線散乱スペクトルにおいてグラファイト結晶ピークを有するDLC皮膜である上記5に記載の摺動機構、
7.DLC皮膜におけるグラファイト結晶の結晶径が、15nm以上100nm以下である上記6に記載の摺動機構、
8.DLC皮膜が、陰極PIGプラズマCVD法により、高密度プラズマ雰囲気下で形成されたものである上記7に記載の摺動機構、
を提供するものである。
1.潤滑油組成物
[潤滑油基油]
本発明の潤滑油組成物は、通常、潤滑油基油および特定の添加剤を含有し、低摩擦摺動材料の摺動面に用いる潤滑油として用いられる。
ここで、鉱油系基油としては、例えば、パラフィン基系原油、中間基系原油あるいはナフテン基系原油を常圧蒸留するか、又は常圧蒸留の残渣油を減圧蒸留して得られる留出油、あるいはこれを常法に従って精製することによって得られる精製油、例えば溶剤精製油、水素化分解油、水素化精製油、脱ろう処理油、白土処理油、さらにはワックス異性化油などを挙げることができる。
一方、合成油としては、例えば炭素数8〜14のα−オレフィンのオリゴマーであるポリα−オレフィン、ポリブテン、ポリオールエステル、アルキルベンゼンなどを挙げることができる。
本発明においては、潤滑油基油として、上記鉱油を一種用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。また、上記合成油を一種用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。さらには、鉱油一種以上と合成油一種以上とを組み合わせて用いてもよい。
また、潤滑油基油は、粘度指数が60以上、さらには70以上、特に80以上のものが好ましい。粘度指数が60以上であると、基油の温度による粘度変化が小さく、安定した潤滑性能を発揮する。
さらに、潤滑油基油は、硫黄含有量が、1000質量ppm以下であることが好ましく、500質量ppm以下がより好ましく、100質量ppm以下が特に好ましい。硫黄含有量が、1000質量ppm以下であれば、酸化安定性が向上する効果がある。
本発明の潤滑油組成物においては、潤滑油添加剤の(A)成分として、有機ジチオリン酸亜鉛を用いる。該有機ジチオリン酸亜鉛としては、通常下記の一般式(I)
一般式(I)中のR1、R2、R3及びR4は、それぞれ独立に炭素数1〜24の炭化水素基を示す。これら炭化水素基としては、炭素数1〜24の直鎖状又は分枝状のアルキル基、炭素数3〜24の直鎖状又は分枝状のアルケニル基、炭素数5〜13のシクロアルキル基又は直鎖状若しくは分枝状のアルキルシクロアルキル基、炭素数6〜18のアリール基又は直鎖状若しくは分枝状のアルキルアリール基、及び炭素数7〜19のアリールアルキル基のいずれかである。
本発明においては、ジチオリン酸亜鉛として、少なくとも第1級ジアルキルジチオリン酸亜鉛と第2級ジアルキルジチオリン酸亜鉛とを含むことが好ましい。
前記(A)成分のジチオリン酸亜鉛の含有量は、組成物全量基準、リン濃度換算で0.005質量%以上0.12質量%以下であることを要する。0.005質量%未満では、十分な摩擦低減効果や摩耗低減効果が得られない恐れがあり、0.12質量%を超えても、それに見合う効果の著しい向上が期待できない。このようなことから、(A)成分の含有量は、組成物全量基準、リン濃度換算で0.02質量%以上0.10質量%以下であることが好ましい。
潤滑油中に、(A)成分として、前記特定量の第1級ジアルキルジチオリン酸亜鉛を含むジチオリン酸亜鉛が存在することによって、後述する(B)成分のアミド系摩擦低減剤の存在下で、低摩擦摺動材料を有するに摺動面における摩擦低減効果を著しく高めることができる。また、同時に低摩擦摺動材料を有していない摺動面における耐摩耗性をもさらに高めることができる。
上記アミド系摩擦低減剤としては、通常アミン化合物とカルボン酸化合物とから得られるアミド系化合物が用いられる。
前記アミド系化合物を構成するアミン化合物としては、脂肪族モノアミン、その脂肪族モノアミンのアルキレンオキシド付加物、脂肪族ポリアミン、アルカノールアミン等が例示できる。
脂肪族モノアミンとしては、炭素数6〜30、好ましくは12〜24、より好ましくは16〜22の脂肪族モノアミンが用いられ、このような脂肪族モノアミンは、直鎖状であっても分岐鎖を有するものであってもよく、飽和のものでも不飽和のものでもよい。このような脂肪族モノアミンの具体例としては、例えば、ヘキシルアミン、へプチルアミン、オクチルアミン、2−エチルヘキシルアミン、ノニルアミン、デシルアミン、ウンデシルアミン、ドデシルアミン、トリデシルアミン、テトラデシルアミン、ペンタデシルアミン、ヘキサデシルアミン、ヘプタデシルアミン、ステアリルアミン、イソステアリルアミン、ノナデシルアミン、イコシルアミン、ヘンイコシルアミン、ドコシルアミン、トリコシルアミン、テトラコシルアミン、11−エチルトリコシルアミン、ペンタコシルアミン、ヘキサコシルアミン、ヘプタコシルアミン、オクタコシルアミン、ノナコシルアミン、トリアコンチルアミン、ヘキセニルアミン、ヘプテニルアミン、オクテニルアミン、ノネニルアミン、デセニルアミン、ウンデセニルアミン、ドデセニルアミン、トリデセニルアミン、テトラデセニルアミン、ペンタデセニルアミン、ヘキサデセニルアミン、ヘプタデセニルアミン、オクタデセニルアミン、ノナデセニルアミン、イコセニルアミン、ヘンイコセニルアミン、ドコセニルアミン、トリコセニルアミン、テトラコセニルアミン、ペンタコセニルアミン、ヘキサコセニルアミン、ヘプタコセニルアミン、オクタコセニルアミン、ノナコセニルアミン及びトリアコンテニルアミン等が挙げられる。
ヘキセニルジアミン、ヘプテニルジアミン、オクテニルジアミン、ノネニルジアミン、デセニルジアミン、ウンデセニルジアミン、ドデセニルジアミン、トリデセニルジアミン、テトラデセニルジアミン、ペンタデセニルジアミン、ヘキサデセニルジアミン、ヘプタデセニルジアミン、オクタデセニルジアミン、ノナデセニルジアミン、イコセニルジアミン、ヘンイコセニルジアミン、ドコセニルジアミン、トリコセニルジアミン、テトラコセニルジアミン、ペンタコセニルジアミン、ヘキサコセニルジアミン、ヘプタコセニルジアミン、オクタコセニルジアミン、ノナコセニルジアミン及びトリアコンテニルジアミン;トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、ペンタエチレンヘキサミン、ジ(メチルエチレン)トリアミン、ジブチレントリアミン、トリブチレンテトラミン、ペンタペンチレンヘキサミン、トリス(2−アミノエチル)アミン等が挙げられる。
そのようなカルボン酸化合物としては、例えばカプロン酸、エナント酸、カプリル酸、2−エチルヘキサン酸、ペラルゴン酸、カプリン酸、ラウリル酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、マルガン酸、ステアリン酸、イソステアリン酸、アラキジン酸、ベヘン酸、およびリグノセリン酸等の飽和脂肪酸やラウリン酸、ミリストレイン酸、パルミトレイン酸、オレイン酸、リノレン酸およびエルカ酸等の不飽和脂肪酸が挙げられる。
これらの(B)成分としてのアミド系摩擦低減剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組合わせて用いることができる。
本発明における(B)成分の含有量は、組成物全量基準で0.05質量%以上5質量%以下であり、より好ましくは0.1質量%以上3質量%以下である。(B)成分の含有量が0.05質量%未満では摩擦低減効果が不充分になる場合があり、一方、5質量%を越えても含有量の増大に見合う効果の著しい向上は期待できない。
アルカリ土類金属サリシレートは、アルキル(通常、炭素数4〜30アルキル基)サリチル酸のアルカリ土類金属塩であり、アルカリ土類金属塩としては、カルシウム塩、マグネシウム塩、バリウム塩が好ましく、特にカルシウム塩が好ましく用いられる。
また、アルカリ土類金属スルフォネートは、分子量300以上1,500以下、好ましくは400以上700以下のアルキル芳香族化合物をスルフォン化することによって得られるアルキル芳香族スルフォン酸のアルカリ土類金属塩が用いられる。
通常、全塩基価が10mgKOH/g以上500mgKOH/g以下、好ましくは15mgKOH/g以上450mgKOH/g以下、より好ましくは15mgKOH/g以上400mgKOH/g以下の金属系清浄剤の中から選ばれる1種又は2種以上を併用して用いることができる。
なお、ここでいう全塩基価とは、JIS K 2501「石油製品及び潤滑油−中和価試験方法」の7.に準拠して測定される電位差滴定法(塩基価・過塩素酸法)による全塩基価を意味する。
上記(C)成分の金属系清浄剤の含有量は、潤滑油組成物全量基準で、アルカリ土類金属濃度換算で0.05質量%以上0.5質量%以下、好ましくは、0.1質量%以上0.3質量%以下、より好ましくは0.15質量%以上0.25質量%未満である。
(C)成分の含有量が、0.05質量%未満では、清浄性が不充分になることがあり、0.5質量%を越えると、場合によっては摩擦係数の低減効果が不充分になる恐れがある。
前記金属系清浄剤としては、アルカリ土類金属フィネートが挙げられる。
前記無灰系分散剤としては、例えばコハク酸イミド類、ホウ素含有コハク酸イミド類、ベンジルアミン類、ホウ素含有ベンジルアミン類、コハク酸エステル類、脂肪酸あるいはコハク酸で代表される一価又は二価のカルボン酸のアミド類などが挙げられる。
前記粘度指数向上剤としては、具体的には、各種メタクリル酸エステル又はこれらの任意の組合せに係る共重合体やその水素化物等のいわゆる非分散型粘度指数向上剤、及び更に窒素化合物を含む各種メタクリル酸エステルを共重合させたいわゆる分散型粘度指数向上剤等が例示できる。また、非分散型又は分散型エチレン−α−オレフィン共重合体(α−オレフィンとしては、例えばプロピレン、1−ブテン、1−ペンテン等)及びその水素化物、ポリイソブチレン及びその水素化物、スチレン−ジエン共重合体水素化物、スチレン−無水マレイン酸エステル共重合体、並びにポリアルキルスチレン等も例示できる。これら粘度指数向上剤の分子量は、せん断安定性を考慮して選定することが必要である。具体的には、粘度指数向上剤の数平均分子量は、例えば分散型及び非分散型ポリメタクリレートでは5000以上1000000以下、好ましくは100000以上800000以下であり、ポリイソブチレン又はその水素化物では800以上5000以下であり、エチレン−α−オレフィン共重合体又はその水素化物では800以上300000以下、好ましくは10000以上200000以下である。また、かかる粘度指数向上剤は、単独で又は複数種を任意に組合せて含有させることができるが、通常その含有量は、潤滑油組成物全量に基づき0.1質量%以上40.0質量%以下程度である。
流動点降下剤としては、例えばポリメタクリレートなどが挙げられる。
防錆剤としては、アルキルベンゼンスルフォネート、ジノニルナフタレンスルフォネート、アルケニルコハク酸エステル、多価アルコールエステル等が挙げられる。
前記の低摩擦摺動材料を有する摺動面としては、少なくとも一方の側に低摩擦摺動材料としてDLC材料を有するものが好ましい。この場合、他方の摺動面の材料については、例えば、DLC材料、鉄基材料あるいはアルミニウム合金材料などが挙げられる。つまり、2つの摺動面がともにDLC材料、一方の摺動面がDLC材料で他方の摺動面が鉄基材料、一方の摺動面がDLC材料で他方の摺動面がアルミニウム合金材料である場合が例示できる。
具体的には、炭素元素だけから成るa−C(アモルファスカーボン)、水素を含有するa−C:H(水素アモルファスカーボン)、及びケイ素(Si)やチタン(Ti)、モリブデン(Mo)等の金属元素を一部に含むMeDLC(metal doped DLC)が挙げられる。
これらの中でも、a−C:H(水素アモルファスカーボン)、中でも、水素を5atom%以上50atom%以下含有するa−C:Hが好ましい。
さらに、DLCは、X線散乱スペクトルにおいてグラファイト結晶ピークを有するDLCが好ましい。
このようなグラファイト結晶ピークを有するDLCは、陰極PIG(Penning Ionization Gauge)プラズマCVD法により高密度プラズマ雰囲気下で形成することができる。
また、前記DLC材料及び鉄基材料、あるいはDLC材料及びアルミニウム合金材料のそれぞれの表面粗さは、算術平均粗さRaで、0.1μm以下であることが摺動の安定性の面から好適である。0.1μm以下であると局部的なスカッフィングが形成しにくく、摩擦係数の増大を抑制することができる。更に、上記DLC材料は、表面硬さが、マイクロビッカーズ硬さ(98mN荷重)でHv1000以上3500以下、厚さが0.3μm以上2.0μm以下であることが好ましい。
また、前記アルミニウム合金材料は、表面硬さがブリネル硬さHB80以上130以下であることが好ましい。
DLC材料の表面硬さ及び厚さが上記範囲にあると摩滅や剥離が抑制される。また、鉄基材料の表面硬さがHRC45以上であると、高面圧下で座屈し剥離するのを抑制することができる。一方、アルミニウム合金材料の表面硬さが上記範囲にあれば、アルミニウム合金の摩耗が抑制される。
本発明の摺動機構は、相互に摺動する2つの摺動材料の摺動面間に、上記の潤滑油組成物を介在させた摺動機構であって、2つの摺動材料の少なくとも一方の摺動面に、水素を5atom%以上50atom%以下含有するDLC皮膜が形成されている摺動機構である。
前記DLC皮膜は、X線散乱スペクトルにおいてグラファイト結晶ピークを有するDLC皮膜であることがより好ましい。
図1は、本発明の一実施の形態に係る摺動機構のDLC皮膜を有す摺動部材の構造を模式的に示す断面図であり、図2は、本発明の他の実施の形態に係る摺動機構のDLC皮膜を有す摺動部材の構造を模式的に示す断面図である。
図1、図2において、1は摺動材料の基材、3はDLC皮膜であり、4はグラファイト結晶である。摺動材料の基材1とDLC皮膜3との間には密着層としての中間層2が設けられている。
基材1と中間層2との間には、図2に示すように、第2の中間層として下地層21を設けても良い。下地層21を設けることにより、基材1と中間層2との密着性をさらに向上させることができる。
具体的には、例えば、陰極PIGにて発生させたプラズマがコイルで形成された磁場に閉じ込められることにより高密度化され、原料ガスを高い効率で活性な原子、分子、イオンに分解する。さらに、高活性な原料ガス成分を堆積させながら、直流パルスを基材に印加することによって高エネルギーイオンを照射することができる。これによって、摺動特性に優れたDLC皮膜を効率的に形成することが出来る。形成方法の詳細は、特開2010−156026号公報に記載されている方法が好ましい。
図3において、40はチャンバー、41は基材、42はホルダー、43はプラズマ源、44は電極、45はコイル、46はカソード、47はガス導入口、48はガス排出口、49はバイアス電源である。そして、50はチャンバー40内に形成されたプラズマである。
上記装置を用いて、以下のようにしてDLC皮膜を形成することができる。
最初に、基材41をホルダー42に支持させてチャンバー40内に配置する。次いで、ガス導入口47よりArガスを注入すると共に、プラズマ源43、電極44、コイル45を用いて、プラズマ50を発生、安定させる。プラズマ中にて分解されたArガスをバイアス電源49にて基材41へ引きつけ、表面エッチングを行う。その後、金属よりなるカソード46、Arガスを用いて下地層である金属層を形成する。さらに、高密度プラズマ雰囲気下でガス導入口47より注入された原料ガスを分解、反応させることにより、DLC皮膜中にグラファイト結晶を生成させる。所定の厚さのDLC皮膜となるまでそのまま維持する。このとき、グラファイト結晶の結晶径は、15nm以上100nm以下となるように制御する。
通常、結晶材料のX線回折スペクトルには、個々の格子面に対応した鋭い回折ピークが複数本存在し、これらを照合して結晶構造が確定されるのが一般的である。これに対し、本発明の好ましいDLC皮膜の場合、非晶質に特有のハローパターンと呼ばれるブロードな散乱ピークに混じって、グラファイト結晶の回折ピークが存在する。
測定条件
X線源:放射光源、
X線エネルギー:15keV、
入射スリット幅:0.1mm、
検出器:シンチレーションカウンタ(前段にソーラースリットを配置)、
散乱角2θの測定範囲:5〜100°
測定ステップ:0.1°
積算時間:30秒/ステップ
なお、DLC皮膜試料は、基板から剥離し、ガラス細管(キャピラリ)に充填して測定した。
D=(0.9×λ)/(β×cosθ) ・・・ 式1
但し、D:結晶径(nm)
λ:X線の波長(nm)
β:結晶ピークの半価幅(ラジアン)
θ:結晶ピークの位置
第1表に示す組成を有する潤滑油組成物を調製し、以下に示す摩擦特性試験を行い、摩擦係数を求めた。その結果を第1表に示す。
<摩擦特性試験>
試験装置: TE77往復動摩擦試験機
試験片 : 試験球 SUJ−2ボール(直径10mm)
試験板 DLCコーティングしたプレート(母材:SUJ−2、58mm×38mm×4mm)
試験条件:荷重100N,温度100℃,振幅8mm,周波数10Hz
なお,DLCコーティングしたディスクは以下のものを用いた。
水素20atom%含有DLC(グラファイトの結晶粒20nm)
DLCコーティングにおける中間層は,Ti層からなっており,その総厚は3.0μmである。
(1)水素化精製基油、40℃動粘度18mm2/s、100℃動粘度4.1mm2/s、粘度指数131、%CA0.0、硫黄含有量10質量ppm未満
(2)摩擦低減剤A: cis−9−オクタデセニルジエタノールアミド
(3)摩擦低減剤B: オクタデシルジエタノールアミド
(4)摩擦低減剤C: モノグリセロールオレート,ジグリセロールオレート混合
(5)摩擦低減剤D: 硫化オキシモリブデンジチオカーバメート:商品名「SAKURA−LUBE 515」(ADEKA Corporation製)、モリブデン含有量;10.0質量%、窒素含有量;1.6質量%、硫黄含有量;11.5質量%
(6)ジアルキルジチオリン酸亜鉛A:Zn含有量;8.9質量%、リン含有量;7.4質量%、第1級アルキル型ジアルキルジチオリン酸亜鉛
(7)ジアルキルジチオリン酸亜鉛B:Zn含有量;8.0質量%、リン含有量;7.2質量%、第2級アルキル型ジアルキルジチオリン酸亜鉛
(8)金属系清浄剤A:過塩基性カルシウムサリシレート、塩基価(過塩素酸法)226mgKOH/g、カルシウム含有量7.9質量%
(9)金属系清浄剤B:中性カルシウムスルホネート、塩基価(過塩素酸法)17mgKOH/g、カルシウム含有量2.4質量%
(10)コハク酸ビスイミド:ポリブテニル基の数平均分子量2000、塩基価(過塩素酸法)11.9mgKOH/g、窒素含有量0.99質量%
(11)コハク酸モノイミドホウ素化物:ポリブテニル基の数平均分子量1000、塩基価(過塩素酸法)25mgKOH/g、窒素含有量1.23質量%、ホウ素含有量1.3質量%
(12)粘度指数向上剤:ポリメタクリレート、質量平均分子量230,000
(13)その他の添加剤:酸化防止剤,流動点降下剤など
2 中間層
3 DLC皮膜
4 グラファイト結晶
21 下地層
40 チャンバー
42 ホルダー
43 プラズマ源
44 電極
45 コイル
46 カソード
47 ガス導入口
48 ガス排出口
49 バイアス電源
50 プラズマ
Claims (8)
- 潤滑油基油に、組成物全量基準で、(A)有機ジチオリン酸亜鉛をリン濃度換算で0.005質量%以上0.12質量%以下、(B)アミド系摩擦低減剤を0.05質量%以上5.0質量%以下、並びに(C)アルカリ土類金属サリシレート系清浄剤及び/又はアルカリ土類金属スルフォネート系清浄剤をアルカリ土類金属濃度換算で0.05質量%以上0.5質量%以下含有する低摩擦摺動材料に用いられる潤滑油組成物。
- (B)成分のアミド系摩擦低減剤が、炭素数12〜24の脂肪族炭化水素基を有するジエタノールアミドである請求項1に記載の潤滑油組成物。
- (A)成分中に、第1級ジアルキルジチオリン酸亜鉛をリン濃度換算で0.005質量%以上0.05質量%以下含む請求項1又は2に記載の潤滑油組成物。
- 低摩擦摺動材料がダイヤモンドライクカーボン(DLC)皮膜を有する材料である請求項1〜3のいずれかに記載の潤滑油組成物。
- 相互に摺動する2つの摺動部材の摺動面に、請求項1〜4のいずれかに記載の潤滑油組成物を介在させた摺動機構であって、2つの摺動部材のうち少なくとも一方の摺動面に、水素を5atom%以上50atom%以下含有するDLC皮膜が形成されている摺動機構。
- DLC皮膜が、X線散乱スペクトルにおいてグラファイト結晶ピークを有するDLC皮膜である請求項5に記載の摺動機構。
- DLC皮膜におけるグラファイト結晶の結晶径が、15nm以上100nm以下である請求項6に記載の摺動機構。
- DLC皮膜が、陰極PIGプラズマCVD法により、高密度プラズマ雰囲気下で形成されたものである請求項7に記載の摺動機構。
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