JP2013211424A - 有機el素子及び、その製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】隣接する層間の界面で生じる光の反射を最小限に抑え、均一かつ高い透過性を有する透明有機EL素子を提供する。
【解決手段】少なくとも、第一透明基板と、前記第一透明基板上に形成された第一透明電極及び絶縁層の少なくとも前記第一透明電極と、前記第一透明電極上に形成された少なくとも有機発光層を含む発光媒体層と、前記発光媒体層上に形成された第二透明電極と、第二透明電極上に形成された保護層、接着層及び第二透明基板を含む封止層と、を備える有機EL素子であって、前記第一透明基板、前記第一透明電極、前記発光媒体層、前記第二透明電極、前記封止層のうち、互いに隣接する基板と電極どうし、又は、電極と層どうしの440nm以上780nm以下の波長分散領域の光に対する屈折率の差が0.7以下であることを特徴とする有機EL素子としたもの。
【選択図】図1

Description

本発明は、有機薄膜のEL(エレクトロルミネッセンス)現象を利用した有機EL素子及びその製造方法に関する。
有機EL素子は、陽極としての電極と陰極としての電極との間に、少なくともEL現象を呈する有機発光層を挟持した構造を有し、電極(陽極と陰極)間に電圧が印加されると、有機発光層に正孔と電子とが注入され、この正孔と電子とが有機発光層で再結合することにより、有機発光層が発光する自発光型の素子である。
このような有機EL素子では、発光効率を増大させるなどの目的から、陽極と有機発光層との間及び有機発光層と陰極との間の少なくとも一方に機能層を設けることが行われている。陽極と有機発光層との間には、前記機能層として正孔注入層及び正孔輸送層のうちの少なくとも一方が設けられ、有機発光層と陰極との間には、前記機能層として電子輸送層及び電子注入層のうちの少なくとも一方が設けられるようになっており、これらは適宜選択して設けられている。
陽極と有機発光層との間や、有機発光層と陰極との間に機能層として設けられる各層は有機材料や無機材料で形成される。ここで、有機材料としては低分子系材料と高分子系材料とがあり、低分子系材料よりなる各層は、主に抵抗加熱方式などの真空蒸着法や、スパッタ法などの真空中の乾式法(ドライプロセス)によって成膜されている。
また、低分子系材料は種類が豊富であるため、その組み合わせによって、発光効率や発光輝度、寿命などの向上が期待されている。
一方、高分子系材料としては、例えば、有機発光層にポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリビニルカルバゾールなどの高分子中に低分子の発光色素を溶解させたものや、ポリフェニレンビニレン誘導体(以下、PPVともいう)、ポリアルキルフルオレン誘導体(以下、PAFともいう)などの高分子蛍光体、希土類金属系などの高分子燐光体が用いられている。
これらの高分子系材料は、一般に、溶剤に溶解または分散され、塗布や印刷などの湿式法(ウェットプロセス)を用いて成膜されている。湿式法を用いた場合、真空蒸着法などの真空中の乾式法を用いた場合に比べて、大気中で成膜が可能である、設備が安価である、大型化が容易である、短時間に効率よく成膜可能である、などといった利点がある。
また、高分子系材料を用いて成膜した有機薄膜は結晶化や凝集が起こりにくく、さらには他層のピンホールや異物を被覆するため、短絡やダークスポットなどの不良を防ぐことができるという利点もある。
高分子系材料の塗液を用いてウェットコーティング法で有機発光層を含む有機発光媒体層を形成する場合、有機発光層はカラーパネル化するために赤(R)、緑(G)、青(B)のそれぞれの発光色をもつ有機発光材料を溶剤中に溶解または安定して分散してなる有機発光インキを用いて塗り分ける必要がある。
陽極及び陰極には、AlやAgといった反射電極またはITO(インジウムスズ複合酸化物)やIZO(インジウム亜鉛複合酸化物)などの導電性金属酸化物からなる透明電極が用いられる。一般的な有機EL素子としては、陽極に透明電極を用い、陰極に反射電極を用い、基板側から光を取り出すボトムエミッション方式があり、近年は発光効率の向上や用途により、陽極に反射電極を、陰極に透明電極を用い、基板とは反対側から光を取り出すトップエミッション方式もある。
さらに、陽極及び陰極に透明電極を用い両側から光を取出す両面発光方式の透明有機ELも開発されている。これを応用した透明ディスプレイとして、車載用モニターや、広告、時計、照明、テレビ、など透明性を特徴としたディスプレイパネルとして注目されている。
前述したような透明有機ELでの透明性・発光効率を向上させるために、特許文献1では有機EL素子の電極上に光抽出層が備えられ、電極と光抽出層の屈折率差が0.5以下であるように設けるか、光抽出層が表面凸凹構造やレンズ構造を有することにより、素子内部で発生した光の全反射を最小化して最大限外部に引き出す方法が提案されている。
特表2011−521423号公報
しかしながら、上記特許文献1に記載の技術にあっては、有機EL素子を構成する電極と光抽出層以外の層の材料選択次第では、各層間に屈折率差が生じ反射が起きてしまい、透過性が悪くなる恐れがある。
上記課題を解決するために、請求項1では、少なくとも、第一透明基板と、前記第一透明基板上に形成された絶縁層と、前記絶縁層上に形成された第一透明電極と、前記第一透明電極上に形成された少なくとも有機発光層を含む発光媒体層と、前記発光媒体層上に形成された第二透明電極と、第二透明電極上に形成された保護層、接着層及び第二透明基板を含む封止層と、を備える有機EL素子であって、前記第一透明基板、前記第一透明電極、前記発光媒体層、前記第二透明電極、前記封止層のうち、互いに隣接する基板と電極どうし、又は、電極と層どうしの440nm以上780nm以下の波長分散領域の光に対する屈折率の差が0.7以下であることを特徴としている。
さらに、請求項2では、前記有機EL素子の隣接する層間がN箇所ある場合に、N−2箇所以上で屈折率差が0.5以下であることを特徴としている。
また、請求項3では、前記有機EL素子の透過率は前記波長分散領域で70%以上であることを特徴としている。
また、請求項4では、前記有機EL素子において、前記第一透明基板と前記第二透明基板に挟持される層のうち、少なくとも一層の膜厚が1μm以上であることを特徴としている。
また、請求項5では、前記保護層は、窒化珪素膜、酸化珪素膜、酸化窒化珪素膜、酸化金属膜のいずれかから成る単層または多層で形成されることを特徴とする。
さらに、請求項6では、前記有機発光層を含む前記発光媒体層のうち少なくとも一層を、ウェットプロセス法によって形成することを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の有機EL素子の製造方法とする。
本発明によれば、隣接する層間の界面で生じる光の反射を最小に抑えることにより、波長分散領域が440nm以上780nm以下で均一かつ高い透過率が得られる有機EL素子を提供できる。
本実施形態における有機EL素子の概略構成を示す断面図である。 凸版印刷法に用いる凸版印刷装置の概略構成を示す図である。 実施例における有機EL素子の波長分散に対する透過率を示すグラフである。
(第1の実施形態)
以下、本発明の第一実施形態(以下、「本実施形態」と記載する)について、図面を参照しつつ、本実施形態に係る有機EL素子の構成と、有機EL素子の製造方法について説明する。
図1は、本実施形態における有機EL素子の概略構成を示す断面図である。図中、符号1は有機EL素子である。この有機EL素子1は、第一透明基板2、絶縁層3、第一透明電極4、正孔注入層5と有機発光層6と電子注入層7から成る発光媒体層8、第二透明電極9、保護層10と接着層11と第二透明基板12からなる封止層13の順に積層されている。本実施形態では、第一透明電極4を陽極、第二透明電極9を陰極として共に透明な材料を用いて形成した、パッシブマトリクス駆動型の有機EL素子とした場合について説明する。
なお、有機EL素子1の構成は、パッシブマトリクス駆動型に限定されるものではなく、基板として画素毎に駆動するTFT基板を用いたアクティブマトリクス駆動型の有機EL素子としてもよい。さらに、第一透明電極3を陰極とし、第二透明電極6を陽極とした逆構造にすることができる。
当該有機EL素子において、有機発光層から放射される光、及び外部からの入射光は、表裏ともに基板から空気中へ取出される。ここで、一般的に用いられるガラスおよびプラスチック基板の屈折率は1.4〜1.55であり、この両基板に挟まれた有機発光材料、透明電極、その他に発光効率を上げるための電荷注入及び輸送材料や大気中の水分や酸素によって容易に劣化してしまう有機発光材料を外部と遮断するための封止層等には性能に見合う材料選択をする。そのため、0.5〜2.3程度の屈折率が混在しており、各層間で異なる屈折率差が生じるので、光の多重干渉の影響を大きく受ける。スネルの法則より、屈折率n1の媒質から屈折率n2の媒質へ光が進む際の屈折角θは、θ=sin−1(n1/n2)と表され、屈折率が相対的に高い層から低い層へ進む場合に界面で反射が起こる。さらに屈折率の差が大きいほど反射する度合も強くなり、透過性も悪くなる。
これより、440nm以上780nm以下の波長分散領域で、隣接する層間の屈折率差が0.7以下となるように各層の材料を選択するのが好ましい。さらに、各界面で起きる光の反射を抑制するためには、屈折率差を0.5以下とするのがより好ましい。但し、発光特性に起因する電荷のバランスを考慮すると、陽極から陰極までの層構成では材料選択に制約があり、屈折率差を0.5以下では良好な特性が得られない恐れがある。このため、当該有機EL素子では隣接する層間がN箇所ある場合に、N−2箇所以上で屈折率差が0.5以下となるように各層の材料を選択することがより好ましい。なお、可視光領域内で上述の波長分散領域以外の範囲となる380nm以上440nm未満では、有機発光層の持つ吸収波長と重なるため透過率が急激に低下してしまい、屈折率の調整では補えない範囲であるため、当該の波長分散領域からは除いている。
また、干渉の定義により、光路差が波長の半整数倍のところで光が強めあい、整数倍のところで弱めあうため、定義式として光の強めあう条件は2nd=(m+1/2)λ、弱めあう条件は2nd=mλで表される(n:屈折率、d:光路長、λ:波長、m:整数)。ここで、光の強めあう場合の例として、厚みがnmオーダーとμmオーダーである媒質で比較する。白色光を当てて、かつ可視光領域の範囲で干渉効果を考えたとき、nmオーダーでは定義式より数種類の波長成分のみが強め合うため、白色光の一部だけが透過し、白色でなく色味を持って観測されてしまう。対して、μmオーダーでは数十〜数百種類の波長成分の光が強め合うことで、均一に光が取出され、白色として観測される。
このため、当該有機EL素子の透過性を向上するために、基板に挟持された全層の厚みはμmオーダー以上で形成することが良いとされる。しかし、陽極から陰極までの各層は、上記で述べたように電荷のキャリアバランスを制御する要因であり、かつ形成プロセスの観点から各層とも200nm以下が好ましいため、絶縁層3や保護層10、接着層11で構成される膜の少なくとも一層で1μm以上の膜厚を形成することが好ましい。
次に、本発明の有機EL素子の構成要素毎に詳細に説明する。
<第一透明基板2>
第一透明基板2としては透明性、機械的強度、絶縁性を有し寸法安定性に優れていれば如何なる材料も使用することができる。例えば、ガラスや石英、ポリプロピレン、ポリエーテルサルフォン、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリアリレート、ポリアミド、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のプラスチックフィルムやシート、または、これらプラスチックフィルムやシートに酸化珪素、酸化アルミニウム等の金属酸化物や、弗化アルミニウム、弗化マグネシウム等の金属弗化物、窒化珪素、窒化アルミニウムなどの金属窒化物、酸窒化珪素などの金属酸窒化物、アクリル樹脂やエポキシ樹脂、シリコン樹脂、ポリエステル樹脂などの高分子樹脂膜を単層もしくは積層させた透明基材、などを用いることができる。
また有機EL素子内への水分の侵入を避けるために、無機膜を形成したり、フッ素樹脂を塗布したりして、防湿処理や疎水性処理を施してあることが好ましい。特に、有機発光層6への水分の侵入を避けるために、基板における含水率およびガス透過係数を小さくすることが好ましい。
<絶縁層3>
絶縁層3は、第一透明基板2と第一透明電極4との屈折率差が0.5以上となる場合に反射を抑制するために屈折率調整用として形成される。材料としては、酸化ケイ素(SiOx)、窒化ケイ素(SiNx)、炭窒化ケイ素(SiNxCy)、酸化マグネシウム(MgO)、アルミナ(Al)などの無機化合物や、エポキシやアクリルの樹脂材の絶縁膜を単層もしくは積層したものをいずれも使用することができる。なお、絶縁層3には第一透明電極4に電流を供給する透明な配線層や、第一透明電極4との屈折率調整のために電極と同一の材料を用いた導電性の層が積層される場合もあるが、絶縁層3は第一透明電極4とこれらの導電層が直接積層されないように絶縁し、かつ屈折率を調整するためのものであるので、導電層を含む場合であっても絶縁層3とする。また、絶縁層3は必ずしも第一透明基板2の全面に形成されているわけではなく、光の透過率・屈折率や視認する箇所などを考慮して第一透明基板2の一部が絶縁層3に覆われていなくても良い。
ここで、第一透明基板2と絶縁層3及び絶縁層3と第一透明電極4それぞれの屈折率差が0.5以下となるように材料選択すると良い。例えば、第一透明基板2に屈折率が1.5のガラス基板を、第一透明電極4に屈折率が2.1〜1.8のITO膜を用いた際には、挟持される絶縁層3は1.65〜1.5の屈折率を有するエポキシ樹脂や1.95の屈折率を有するSiNx、1.75の屈折率を有するMg0、1.8〜1.75の屈折率を有するAl等の単層または積層構造で形成すると良い。
<第一透明電極4>
第一透明基板2及び/または絶縁層3の上に第一透明電極4を成膜するが、必要に応じてパターニングをおこなう。第一透明電極4の材料としては、ポリアニリン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリビニルカルバゾール(PVK)誘導体、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)(PEDOT)といった透明導電性高分子や、ITO(インジウムスズ複合酸化物)やインジウム亜鉛複合酸化物、亜鉛アルミニウム複合酸化物などの導電性金属酸化物を、単層もしくは積層したものをいずれも使用することができる。また、ITO等の仕事関数の高い材料を選択することが好ましい。
<発光媒体層8>
次に、発光媒体層8の詳細な構成について説明する。発光媒体層8は、第一透明電極4上に形成され、第一透明電極4と第二透明電極9との間に挟持されている。この発光媒体層8は、第一透明電極4上に形成された正孔注入層5と、正孔注入層5上に形成された有機発光層6と、有機発光層6上に形成された電子注入層7とを含んで構成されている。
正孔注入層5の膜厚は、20nm以上200nm以下の範囲内であることが好ましい。これは、正孔注入層5の膜厚が20nmよりも薄くなるとショート欠陥が生じやすくなり、正孔注入層5の膜厚が200nmを超えると高抵抗化により正孔注入層に流れる電流が低下して発光効率が低下してしまうためである。
正孔注入層5の材料としては、例えば、CuO,Cr,Mn,FeOx,NiO,CoO,Pr,AgO,MoO,Bi、ZnO,TiO,SnO,ThO,V,Nb,Ta,MoO,WO,MnO等の遷移金属酸化物およびこれらの窒化物、硫化物を一種以上含んだ無機化合物や、ポリアニリン誘導体、オリゴアニリン誘導体、キノンジイミン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリビニルカルバゾール(PVK)誘導体、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)(PEDOT)、ピロール誘導体、芳香族アミン、(トリフェニルアミン)ダイマー誘導体(TPD)、(α−ナフチルジフェニルアミン)ダイマー(α−NPD)、[(トリフェニルアミン)ダイマー]スピロダイマー(Spiro−TAD)等のトリアリールアミン類、4,4’,4’’−トリス[3−メチルフェニル(フェニル)アミノ]トリフェニルアミン(m−MTDATA)、4,4’,4’’−トリス[1−ナフチル(フェニル)アミノ]トリフェニルアミン(1−TNATA)等のスターバーストアミン類および5,5’−α−ビス−{4−[ビス(4−メチルフェニル)アミノ]フェニル}−2,2’:5’,2’−α−ターチオフェン(BMA−3T)等のオリゴチオフェン類、芳香族アミン含有高分子、芳香族ジアミン含有高分子、フルオレン含有芳香族アミン高分子、トリアゾール系、オキサゾール系、オキサジアゾール系、シロール系、ボロン系、などの有機材料が挙げられる。ただし、材料はこれらに限定されるものではない。
有機発光層6は、正孔と電子を再結合させることで発光する層である。そのため、発光効率及び寿命の観点から膜厚は20nm以上200nm以下の範囲内であることが好ましい。有機発光層6から放出される表示光が単色の場合は、正孔注入層5を被覆するように形成するが、多色の表示光を得るためには、必要に応じてパターニングを行うことにより、好適に用いることができる。
有機発光層8を形成する有機発光材料は、例えばクマリン系、ペリレン系、ピラン系、アンスロン系、ポルフィレン系、キナクリドン系、N,N’−ジアルキル置換キナクリドン系、ナフタルイミド系、N,N’−ジアリール置換ピロロピロール系、イリジウム錯体系などの発光性色素をポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリビニルカルバゾール等の高分子中に分散させたものや、ポリアリーレン系、ポリアリーレンビニレン系やポリフルオレン系の高分子材料が挙げられるが本発明ではこれらに限定されるわけではない。
これらの有機発光材料は溶媒に溶解または安定に分散させ有機発光インキとなる。有機発光材料を溶解または分散する溶媒としては、トルエン、キシレン、アセトン、アニソール、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンなどの単独またはこれらの混合溶媒が上げられる。中でもトルエン、キシレン、アニソールといった芳香族有機溶媒が有機発光材料の溶解性の面から好適である。また、有機発光インキには必要に応じて、界面活性剤、酸化防止剤、粘度調整剤、紫外線吸収剤等が添加されてもよい。
上述した高分子材料に加え、9,10−ジアリールアントラセン誘導体、ピレン、コロネン、ペリレン、ルブレン、1,1,4,4−テトラフェニルブタジエン、トリス(8−キノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−8−キノラート)アルミニウム錯体、ビス(8−キノラート)亜鉛錯体、トリス(4−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キノラート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−5−シアノ−8−キノラート)アルミニウム錯体、ビス(2−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、ビス(2−メチル−5−シアノ−8−キノリノラート)[4−(4−シアノフェニル)フェノラート]アルミニウム錯体、トリス(8−キノリノラート)スカンジウム錯体、ビス[8−(パラ−トシル)アミノキノリン]亜鉛錯体及びカドミウム錯体、1,2,3,4−テトラフェニルシクロペンタジエン、ポリ−2,5−ジヘプチルオキシ−パラ−フェニレンビニレンなどの低分子系発光材料が使用できる。
電子注入層7としては、透過性が高く、有機発光層6への電子注入効率が高く、さらに仕事関数の小さい材料を用いる。具体的な材料としては、LiF、Ca、Cs、BaF等の、アルカリ金属及びアルカリ土類金属の化合物または酸化物が挙げられる。またBCPや、有機材料としてAlq等が挙げられる。電子注入層7の膜厚は、キャリアバランスを考慮して最適膜厚を決定するため、一般的には0.1nm以上50nm以下の範囲内で選択するのが好ましい。
<第二透明電極9>
次に、陰極として第二透明電極9を形成する。当該有機EL素子1は両面発光する透明EL構造であり、陰極にも透明性が求められる。そのため、第一透明電極2と同様に第二透明電極9の材料には、ITO(インジウムスズ複合酸化物)やIZO(インジウム亜鉛複合酸化物)、亜鉛アルミニウム複合酸化物などの導電性金属酸化物が用いられる。膜厚としては、透過率やピンホールの影響を考慮し、30nm以上500nm以下の範囲内程度とすることが好ましい。
また、有機発光層6への電子注入効率の高い、仕事関数の低い物質であるAlやAg、MgAgといった金属材料を用いることも可能だが、可視光領域内での屈折率がかなり低く、上下層との界面で光の反射が起き易くなるので選択は難しい。
ここで、透明電極及び発光媒体層6の材料選択も波長分散領域440nm以上780nm以下の範囲で、隣接する層間の屈折率差を0.5以下となるよう積層することが好ましく、さらに電荷の注入性やバランスも考慮して選ぶ必要がある。例えば、電子注入層7に電子注入性の優れたLiFなどのフッ化化合物がよく使われており、この屈折率が1.3〜1.45であるのに対し、隣接する層に有機発光材料や透明電極ITOを用いると上記波長分散領域で最大屈折率が2.0程度であるため、屈折率差が0.5を超えてしまう。このような場合には、電子注入性を考慮することが最優先であり、屈折率差を0.7以下と範囲を広げ材料を選択する。
<封止層13>
有機EL素子1を、上述した透明ELで作製する場合、発光媒体層8から、第一透明基板2と反対側の封止層13を通して放射される表示光を取り出すためには、可視光波長領域に対して、光透過性が必要となる。また、有機EL素子1は、陽極と陰極の間に発光材料(発光媒体層8)を挟み、電流を流すことで発光させることが可能であるが、有機発光層6の材料である有機発光材料は、大気中の水分や酸素によって容易に劣化してしまう。このため、通常、有機EL素子1には、外部と遮断するための封止層を設ける。封止層13は以下の保護層10と接着層11と第二透明基板12からなり、封止層の構成中に空気層が挟まれないよう平板構造で形成する。
保護層10としては、大気中の水分や酸素に対する浸透率が低いなどバリア性が高く、透明性の高い材料であれば任意であり、無機酸化物・無機窒化物であるSiOx、SiNxやAlがより好ましい。
接着層11としては、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、シリコン樹脂等からなる光硬化型接着性樹脂、熱硬化型接着性樹脂、二液硬化型接着性樹脂や、エチレンエチルアクリレート(EEA)ポリマー等のアクリル系樹脂、エチレンビニルアセテート(EVA)等のビニル系樹脂、ポリアミド、合成ゴム等の熱可塑性樹脂や、ポリエチレンやポリプロピレンの酸変性物等の樹脂材料が使用できる。また樹脂材料は、熱可塑性接着性樹脂を用いることで、上層に形成する第二透明基板12を貼り付ける役割をする。
第二透明基板12としての材料選択は第一透明基板2と同様であり、透明性、機械的強度、絶縁性を有し寸法安定性に優れていれば如何なる材料も使用できるが、形状としては平板型の基板を選択する必要がある。
例えば、第二透明電極9に屈折率が1.9のITO膜を、第二透明基板12に屈折率が1.5のガラス基板を用いた際には、挟持される保護層10は1.75〜1.8の屈折率を有するAlまたは1.8〜2.0の屈折率を有するSiNx、接着層11は1.6の屈折率を有するエポキシ系樹脂を形成すると良い。
また保護膜10及び接着層11の膜厚としては、バリア性を考慮した厚みで形成することが必要であるが、さらに本発明に係る有機EL素子1の透明性が波長分散に対して均一になるように、絶縁層3も含めた少なくとも一層が1μm以上であることが好ましい。さらに、成膜プロセスの工程やタクトを考慮した場合に、その一層が接着剤として利用される接着層11であることがより好ましい。
(有機EL素子1の製造方法)
次に、有機EL素子1の製造方法について説明する。
有機EL素子1を製造する際には、まず、第一透明基板2上に絶縁層3、第一透明電極4の順に形成する、絶縁層3形成工程、第一透明電極4形成工程を行う。すなわち、有機EL素子1の製造方法には、絶縁層3形成工程、第一透明電極4形成工程を含む。絶縁層3及び第一透明電極4の形成方法としては、絶縁層3及び第一透明電極4の材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法等の乾式成膜法を用いることができる。また、絶縁層3及び第一透明電極4を形成する方法としては、乾式成膜法以外にも、グラビア印刷法や、スクリーン印刷法等の湿式成膜法等を用いることもできる。
ここで、第一透明電極4をパターニングする場合には、第一透明電極4の材料や成膜方法に応じて、マスク蒸着法、フォトリソグラフィ法、ウェットエッチング法、ドライエッチング法等の既存のパターニング法を用いることができる。
次に、発光媒体層8を第一透明電極2上に形成する、発光媒体層8形成工程を行う。すなわち、有機EL素子1の製造方法には、発光媒体層8形成工程を含む。
発光媒体層8形成工程は、正孔注入層5を、第一透明電極4上を覆うように形成する正孔注入層5形成工程と、有機発光層6を正孔注入層5上に形成する有機発光層6形成工程と、電子注入層7を有機発光層6上に形成する電子注入層7形成工程とを含む。
正孔注入層5形成工程では、正孔注入層5の材料に応じて、正孔注入層5の材料を溶媒に溶解または分散させ、スピンコーター等を用いた各種塗布方法やスリットコート法、スプレーコート法、バーコート法、ディップコート法、凸版印刷法によって形成する方法や、抵抗加熱蒸着法によって形成する方法を用いる。
また、これらの方法以外に、例えば、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタ法等のドライ成購法や、スピンコート法、ゾルゲル法等のウェット成膜法等、既存の成膜法を用いることもできる。
有機発光層6形成工程では、有機発光層6の材料に応じて、インクジェット印刷法、ノズルプリント印刷法、凸版印刷法、グラビア印刷法、スクリーン印刷法等のウェット成膜法等既存の成膜法を用いる。特に、有機発光材料を、溶媒に溶解、または、安定に分散させた有機発光インキを用いて、有機発光層6を各発光色に塗り分ける場合には、インキを転写してパターニングできるインクジェット法、ノズルプリント法、凸版印刷法を用いることが好ましい。
すなわち、有機発光層6形成工程では、第一透明電極4上を覆うように形成された正孔注入層5上に、有機発光層6の材料である有機発光材料を溶媒に溶解または分散させた有機発光インキを塗工して、有機発光層6をパターン化して形成する。なお、上述した成膜法以外の方法を用いて、有機発光層6を形成してもよい。
以下、上記の凸版印刷法により、正孔注入層5及び有機発光層6を形成する手順を説明する。図2は、凸版印刷法に用いる凸版印刷装置20の概略構成を示す図である。この図2に示すように、凸版印刷装置20は、有機材料からなる正孔注入材料と有機発光材料を溶媒に溶かし、このインキを第一透明電極が形成された基板2上にパターン印刷する際に用いる装置であり、インクタンク21と、インキチャンバー22と、アニロックスロール23と、凸部が設けられた凸版25がマウントされた版胴24とを有している。
インクタンク21には、溶剤で希釈されたインキが収容されており、インキチャンバー22には、インクタンク21から、インキが送り込まれるようになっている。アニロックスロール23は、インキチャンバー22のインキ供給部に接して、インキチャンバー22へ回転可能に支持されている。
上記のパターン印刷を行う際には、アニロックスロール23の回転に伴い、インキがアニロックスロール23の表面に供給され、均一な膜厚で形成されたインキ層26は、アニロックスロール23に近接して回転駆動される版胴24にマウントされた凸版25の凸部に転移する。
そして、凸版25の凸部にあるインキが、ステージ(平台)27に設置された被印刷基板(基板2)に対して印刷され、必要に応じて乾燥工程を経て、基板2上に正孔注入層及び有機発光層14が順に形成されることとなる。
このように正孔注入層5及び有機発光層6が形成された後は、有機発光層6上に電子注入層7を形成する電子注入層7形成工程を行う。この電子注入層7形成工程では、材料に応じ抵抗加熱法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタ法等を用いて電子注入層7を形成する。このようにして発光媒体層8が形成される。
発光媒体層8形成工程により発光媒体層8を形成した後は、保護層10と接着層11と第二透明基板12から成る封止層13形成工程を行う。
封止層13形成工程のうち、保護層10形成工程では、EB蒸着法、抵抗加熱法、CVD法等のドライプロセスを用いて、保護層10を形成する。次に、接着層11をまず第二透明基板12上に溶剤溶液法、押出ラミネーション法、溶融・ホットメルト法、カレンダー法、ノズル塗布法、スクリーン印刷法、真空ラミネート法、熱ロールラミネート法等により形成した後、保護層10上に接着層11が接するように、接着材付の透明第二基板12を貼り合わせ、硬化の処理を行う。この貼り合せ工程は窒素雰囲気下で行うことが望ましいが、保護層10が作製された後の短時間ならば大気下においても大きな影響はない。
[実施例1]
以下、図1から図3を参照しつつ、上述した第1の実施形態の有機EL素子1と、比較例の有機EL素子を製造し、両者に対する物性の評価を行った結果について説明する。
実施例1の有機EL素子1は両面発光の透明EL構造であり、当該有機EL素子1を製造する際には、40mm×40mmサイズの無アルカリガラスの第一透明基板2を用いて、基板上面に絶縁層3として、Al2O3をEB蒸着法にて、膜厚50nmで形成した。
次に絶縁層3上に第一透明電極4であるITOをスパッタ法により成膜した後、フォトリソグラフィ法によりパターニング形成し、これを陽極とした。膜厚は50nmとなった。
その後、正孔注入材料でありポリフルオレン誘導体を濃度1.0%になるようにアニソールに溶解させたインキを用い、この基板を印刷機にセッティングし、パターニングされた陽極の真上にそのラインパターンに合わせて凸版印刷法で印刷を行った。このとき300線/インチのアニロックスロールおよび感光性樹脂版を使用した。印刷、乾燥後の正孔注入層5の膜厚は40nmとなった。
次に、有機発光材料であるポリフェニレンビニレン誘導体を濃度1.0%になるようにトルエンに溶解させた有機発光インキを用い、この基板を印刷機にセッティングし、絶縁層3に挟まれた画素電極の真上にそのラインパターンに合わせて有機発光層6を凸版印刷法で印刷を行った。このとき150線/インチのアニロックスロールおよびピクセルのピッチに対応する感光性樹脂版を使用した。印刷、乾燥後の有機発光層6の膜厚は80nmとなった。
次に、電子注入層7として、LiF膜を、メタルマスクを用いて抵抗加熱蒸着法により、厚みが0.5nmとなるよう形成した。
次に、陰極として用いる第二透明電極9の形成として、対向ターゲットスパッタでメタルマスクによりITOを、膜厚が100nmとなるよう形成した。
次に、封止層13のうち、まず第二透明電極上9に保護層19として、SiNx膜をCVD法にて、膜厚が300nmとなるように形成した。次に、膜厚が10μmの接着層11となる熱硬化性樹脂を平板型の無アルカリガラスの第二透明基板12にダイコーターで全面塗布させた後、保護層10上面と接着層11が接するように100℃の温度をかけながら熱ロールラミネーターを用いて貼り合わせた。貼り合わせた後に、さらに100℃で1時間硬化した。
形成された各層の屈折率は、440nmから780nmの波長分散領域で、第一透明基板2が1.5、絶縁層3が1.75、第一透明電極4が2.0〜1.8、正孔注入層5及び有機発光層6が1.9〜1.65、電子注入層7が1.45、第二透明電極が2.0〜1.8、保護層10が1.95、接着剤11が1.6、第二透明基板12が1.5となった。
こうして得られた有機EL素子1は、電子注入層7と隣接する層間の2箇所で屈折率差が0.7以下、その他の7箇所の隣接間は0.5以下となり、さらに接着層の膜厚を10μmとすることで、図3の30のように440nm以上780nm以下の波長分散領域で、83%以上かつ均一な透過率が得られた。
[比較例1]
実施例1に対して比較例1として、本発明に係る有機EL素子には該当しない有機EL素子を作製した。この比較例は、絶縁層3及び接着層11を積層せず、第二透明基板にキャップ型のガラス基板を用い、その他の構成は上述した本発明例と同様にした。このため比較例の素子では、保護膜11と第二透明基板の間に空気層が挟まれ、保護膜11と空気層の層間で屈折率差が0.7以上となった。結果は図3の31のように、440nmから780nmの波長分散領域で、透過率の最大が89%、最小が71%と大きな差が生じ、均一な透過率が得られなかった。
1…有機EL素子、2…第一透明基板、3…絶縁層、4…第一透明電極、5…正孔注入層、6…有機発光層、7…電子注入層、8…発光媒体層、9…第二透明電極、10…保護層、11…接着層、12・・・第二透明基板、13・・・封止層、20…凸版印刷装置、21…インクタンク、22…インキチャンバー、23・・・アニロックスロール、24・・・版胴、25・・・凸版、26・・・インキ層、27・・・ステージ

Claims (6)

  1. 少なくとも、
    第一透明基板と、
    前記第一透明基板上に形成された絶縁層と、
    前記絶縁層上に形成された第一透明電極と、
    前記第一透明電極上に形成された少なくとも有機発光層を含む発光媒体層と、
    前記発光媒体層上に形成された第二透明電極と、
    第二透明電極上に形成された保護層、接着層及び第二透明基板を含む封止層と、
    を備える有機EL素子であって、
    前記第一透明基板、前記第一透明電極、前記発光媒体層、前記第二透明電極、前記封止層のうち、互いに隣接する基板と電極どうし、又は、電極と層どうしの440nm以上780nm以下の波長分散領域の光に対する屈折率の差が0.7以下であることを特徴とする有機EL素子。
  2. 前記有機EL素子の隣接する層間がN箇所ある場合に、屈折率差が0.5以下となる基板と電極、又は、電極と層の組み合わせがN−2箇所以上あることを特徴とする請求項1に記載の有機EL素子。
  3. 前記有機EL素子の透過率は前記波長分散領域で70%以上であることを特徴とする請求項1乃至請求項2に記載の有機EL素子。
  4. 前記有機EL素子において、前記第一透明基板と前記第二透明基板に挟持される層のうち、少なくとも一層の膜厚が1μm以上であることを特徴とする請求項1乃至請求項3に記載の有機EL素子。
  5. 前記保護層は、窒化珪素膜、酸化珪素膜、酸化窒化珪素膜、酸化金属膜のいずれかから成る単層または多層で形成されることを特徴とする請求項1乃至請求項4に記載の有機EL素子。
  6. 前記有機発光層を含む前記発光媒体層のうち少なくとも一層を、ウェットプロセス法によって形成することを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の有機EL素子の製造方法。
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