JP2013206687A - スプリングプローブの製造方法およびスプリングプローブ - Google Patents

Abstract

【課題】金メッキのムラを低減すること。
【解決手段】端子３と、その端子３に弾性力を付与するスプリング４と、端子３およびスプリング４を収容するスリーブ２とを有するスプリングプローブ１の製造方法において、１枚の平らな基板から端子３、スプリング４、およびスリーブ２に加工される部材を互いに連結された状態で平面的に打ち抜く第一のステップと、第一のステップの処理により平面的に打ち抜かれた端子３、スプリング４、およびスリーブ２に加工される部材に対し、曲げ加工を施す第二のステップと、を有し、第二のステップの処理に先立って、第一のステップの処理により平面的に打ち抜かれた部材に対し、導電性処理を施すステップを実施する。
【選択図】図１

Description

本発明は、スプリングプローブの製造方法およびスプリングプローブに関する。

従来、ＩＣやＬＳＩ等の半導体部品は、ウエハ上に形成された段階や、パッケージ化された段階等の各製造段階において電気的特性が検査されて、良品、不良品の選別が行われている。このような電気的特性を検査する装置としては、プローブカードを備えたテスタ、ＩＣソケットが一般的に知られている。

プローブカードやＩＣソケットには、導電性を有する複数のスプリングプローブが設けられている。そのスプリングプローブを半導体部品の電極と検査用回路の電極との間に介在させて両電極間を通電状態とすることで、半導体部品の電気的特性を検査するようになっている。

この種のスプリングプローブの一例を図１２に示す。図１２に示すスプリングプローブ１５０は、筒状のスリーブ１５１と、このスリーブ１５１の一端部に出没自在に取り付けられた端子１５２と、スリーブ１５１に内装されて、端子１５２を突出方向に付勢するコイル状のスプリング１５３とを備えている。そして、端子１５２を半導体部品の電極に接触させるともに、スリーブ１５１の他端部を検査用回路の電極に接続して、端子１５２をスプリング１５３の付勢力によって半導体部品の電極に安定的に押し付けることで、電極間の通電状態を良好に維持するようになっている。

しかしながら、図１２に示す従来のスプリングプローブ１５０は、スリーブ１５１、端子１５２、スプリング１５３といった各構成部品が別体で製造され、これら各構成部品を手作業で組み立てることで製造されていることから、製造効率が悪く、製造コストが高いといった不具合があった。

また、従来のスプリングプローブ１５０は、別体の各構成部品が互いに接触し合って導通経路を構成しているが、これらの接触部分において電気抵抗が大きくなって、プローブ全体としての電気的特性が不安定になり易く、検査精度に悪影響を及ぼすといった不具合もあった。

そこで、上記不具合を解決するものとして、特許文献１に示されるスプリングプローブが提案されている。このスプリングプローブ２００を図１３および図１４に示す。スプリングプローブ２００は、プログレッシブダイを用いて、導電性を有する平らな基板（以下、平基板という。)から、図１３に示すようなスリーブ成形部２１０Ｐと、端子成形部２２０Ｐと、スプリング成形部２３０Ｐとを結合状態で一体に打ち抜き、引き続き、各成形部２１０Ｐ，２２０Ｐ，２３０Ｐに対してそれぞれ曲げ加工を施すことによって、図１４に示すように、筒状のスリーブ２１０と、端子２２０と、コイル状のスプリング２３０とが一体成形される。

このような一体型スプリングプローブ２００は、製造時間の短縮、製造コストの低減、電気抵抗の低下、電気的特性の安定化などが可能になる利点を有する。

特表２０１０−５３２９０８号公報

ところが、特許文献１に開示されている一体型のスプリングプローブ２００は、図１５（ａ）に示すように腕部２３１と頂点２３２を有する波状のスプリング成形部２３０Ｐの各頂点２３２を、図１５（ｂ）に示すように、板厚方向に向かって手前側と奥側に交互に捻ることでコイル状に成形している。このため、頂点２３２での塑性変形が厳しく、使用状態のスプリング２３０ｆの伸縮により、腕部２３１ｆや頂点２３２ｆにおいて、特に頂点２３２ｆにおいて弾性限界を超えて亀裂や破断等が生じる虞があり、耐久性に問題がある。

そこで、本出願人は、特願２０１０−２５６５６５号において、上記の不具合を解消して、スプリングの耐久性の向上を図った一体型のスプリングプローブを提案している。

図９〜図１１に、上記提案に係る一体型のスプリングプローブ１０１を示す。一体型のスプリングプローブ１０１は、図９に示すように、まず、導電性を有する平基板１１０から打ち抜き加工によりスリーブ成形部１２０と、そのスリーブ成形部１２０から折曲境界部１４３を介して延出したスプリング成形部１３０と、そのスプリング成形部１３０の先端部分を拡張してなる端子成形部１４０とがそれぞれ同一平面上に形成される。その後、各成形部１２０，１３０，１４０がそれぞれ各工程において曲げ加工されることで、図１０に示すように、一体型のスプリングプローブ１０１の筒状のスリーブ１０２と、そのスリーブ１０２の一端部に設けられる被検査体接触用の端子１０３と、スリーブ１０２に内装されて端子１０３を付勢するスプリング１０４とが一体に成形される。スプリング成形部１３０は、図９、図１１(ａ)に示すように、連結部１４１と、略Ｕ字状の弾性部１４２を連続するように備え、図１１(ｂ)に示すように、その弾性部１４２が見掛け上、コイル状に巻回されてスプリングを形成し、かつ、その巻回された状態でスリーブ１０２に内装されているものである。

また、スプリング成形部１３０は、図９、図１１(ａ)に示すように、折曲境界部１４３から端子成形部１４０に向かって断続的に設けられる連結部１４１と、連結部１４１の互いに対向する端部同士を連結するようにして設けられる弾性部１４２とを備え、折曲境界部１４３から端子成形部１４０にかけて、連結部１４１と弾性部１４２とが交互に連続している。さらに、弾性部１４２は、一端部が隣接する連結部１４１，１４１の互いに対向する端部にそれぞれ連結されるとともに、互いに略平行して設けられる一対の延設部１４２ａ，１４２ａと、一対の延設部１４２ａ，１４２ａの他端部同士を連結する湾曲部１４２ｂとを備え、延設部１４２ａは連結部１４１に略直交して設けられている。

特許文献１に記載された一体型のスプリングプローブ２００も、上記提案に係る一体型のスプリングプローブ１０１も、被検査体の電気的特性を検査するたびにスプリング２３０，１０４で付勢されている端子２２０，１０３が被検査体の電極に押圧接触されるので、スプリング２３０，１０４の伸縮が繰り返される。そのため、スプリング２３０，１０４に金属疲労が発生する。とくに特許文献１に記載されたスプリングプローブ２００や先の提案に係るスプリングプローブ１０１のように、平基板からプレス加工により一体成形されるスプリングプローブの場合は、塑性変形量が多い部分、たとえば、図１１（ａ）の連結部１４１と弾性部１４２の延設部１４２ａとの接続部分や湾曲部１４２ｂの弾性限界が低いため、スプリング１０４の伸縮に伴って降伏点に達し、亀裂や破断等が生じる可能性がある。

プローブカードやＩＣソケットにおいて用いられるスプリングプローブは、その全長がたとえば１〜５０ｍｍ、筒状スリーブの直径がたとえば０．２〜５ｍｍといった極小サイズとされている。

しかしながら、特許文献１に記載された一体型のスプリングプローブ２００は、図１４に示すように、スプリング２３０が、スリーブ２１０の肩部と端子２２０の内端部との間に設けられている。また、本出願人の先の提案に係る一体型のスプリングプローブ１０１も、図１０に示すように、スプリング１０４が、スリーブ１０２の肩部と端子３の内端部との間に設けられている。

したがって、上記のような極小サイズのスプリングプローブにおいて、スプリングに求められる伸縮長さ（弾性変形量）を十分に確保することは容易ではない。十分な伸縮長さを確保しようとすると、スプリングプローブの全長が長くならざるを得ないし、スプリングプローブの全長を仕様に合わせると、端子の接触応力に対する十分な伸縮長さが得られない虞がある。

さらに、図１４に示された一体型のスプリングプローブ２００は、そのスプリング２３０の両端部がそれぞれスリーブ２１０と端子２２０に接続されており、また、図１０に示された一体型のスプリングプローブ１０１も、そのスプリング１０４の両端部がそれぞれスリーブ１０２と端子１０３に接続されている。したがって、スプリングプローブ２００，１０１の使用時に端子から加わる押圧力がスプリング２３０，１０４の端部のスリーブ２１０，１０３または端子２２０，１０３との接続部に集中するため、その接続部に亀裂や破損等が発生し易いという問題がある。この問題の発生率は、とくに極小サイズのスプリングプローブにおいて大きい。

また、図１０に示したような一体型スプリングプローブ１０１の端子１０３が収容されるのとは反対側の端部は、たとえばプローブカードやＩＣソケットなどの取付孔に半田付けなどで固定されて使用される。このときに取付孔の直径は、たとえば０．３φ、０．４φ、０．５φ、０．６φなど様々である。このような様々な直径の取付孔に対応するためには、それぞれ異なる金型を用意して平基板を成形しなければならず製造コストの増大を招いている。

また、このようなスプリングプローブ１０１は、接触箇所の接触抵抗を下げたり酸化を防止するために、金メッキが施される。しかしながらスプリングプローブ１０１のように、端子１０３がスリーブ１０２に収容される構成では、スリーブ１０２と端子１０３とが隙間無く密着する箇所などで、メッキ液がスリーブ１０２の内部まで行きわたらずに金メッキにムラが生じることがある。特に、金メッキのムラが生じる箇所は、端子１０３とスリーブ１０２とが接触する箇所でもあり、このような金メッキのムラは接触抵抗の増大およびバラツキを招く。

そこで、本発明は、スプリングの耐久性を向上させること、または、極小サイズのスプリングプローブにおいても、スプリングに十分な伸縮長さを確保すること、もしくは、使用時に端子側から加わる押圧力によってスプリングの端部のスリーブまたは端子との接続部に亀裂や破損等が発生するリスクを軽減できること、ならびに１つの金型で成形することができ様々な直径を有する取付孔に対応可能であること、ならびに、金メッキのムラを低減することのいずれか１つまたは複数を実現することができるスプリングプローブおよびスプリングプローブの製造方法を提供することを目的とする。

本発明のひとつの観点は、スプリングプローブの製造方法としての観点である。本発明のスプリングプローブの製造方法は、被検査体接触用の端子と、その端子に弾性力を付与するスプリングと、端子およびスプリングを収容するスリーブとを有するスプリングプローブの製造方法において、１枚の平らな基板から端子、スプリング、およびスリーブに加工される部材を互いに連結された状態で平面的に打ち抜く第一のステップと、第一のステップの処理により平面的に打ち抜かれた端子、スプリング、およびスリーブに加工される部材に対し、曲げ加工を施す第二のステップと、を有し、第二のステップの処理に先立って、第一のステップの処理により平面的に打ち抜かれた部材に対し、金メッキ処理を施すステップを実施するものである。

あるいは、本発明のスプリングプローブの製造方法は、被検査体接触用の端子と、その端子に弾性力を付与するスプリングと、端子およびスプリングを収容するスリーブとを有するスプリングプローブの製造方法において、１枚の平らな基板から端子、スプリング、およびスリーブに加工される部材を互いに連結された状態で平面的に打ち抜く第一次プレス工程と、端子およびスリーブに加工される部材が平らな状態のときに導電性処理を施すメッキ工程と、メッキ工程の後で、端子およびスリーブに加工する部材に対し、曲げ加工を施すと共にスプリングがまだ形成されていないときはスプリング加工される部材に対しても曲げ加工を施す第二次プレス工程と、を有するものである。

本発明の他の観点は、スプリングプローブとしての観点である。本発明のスプリングプローブは、被検査体接触用の端子と、その端子に弾性力を付与するスプリングと、端子およびスプリングを収容するスリーブとを有するスプリングプローブにおいて、少なくとも端子とスリーブの内外周面が均等厚に金メッキが施されているものである。

または、本発明のスプリングプローブは、被検査体接触用の端子と、その端子に弾性力を付与するスプリングと、端子およびスプリングを収容するスリーブとを有するスプリングプローブにおいて、端子とスプリングとスリーブの内外周面が均等厚に金メッキが施されているものである。

あるいは、本発明のスプリングプローブは、被検査体接触用の端子と、その端子に弾性力を付与するスプリングと、端子およびスプリングを収容するスリーブとを有するスプリングプローブにおいて、端子とスプリングとスリーブの内外周面に均等厚に金メッキが施されるように、１枚の平らな基板から端子、スプリング、およびスリーブに加工される部材を互いに連結された状態で平面的に打ち抜き、平面的に打ち抜かれた部材に対し、金メッキを施し、金メッキを施した後に、端子、スプリング、およびスリーブに加工される部材に対して曲げ加工を施すものである。

本発明によれば、曲げ工程に先立って、打ち抜き工程の段階で金メッキを施すことで、完成品における金メッキのムラを無くすことができる。また、端子とスリーブ、さらにはスプリングの内外周面の金メッキ厚が均等になるスプリングプローブが得られる。

本発明の一実施形態に係る一体型のスプリングプローブの縦断面図である。 図２のＸ方向から見た図で、スプリングが無い状態の図である。 図１の一体型のスプリングプローブに使用されるスプリングの各巻回部の平面図である。 図１に示す一体型のスプリングプローブの製造方法における第１工程と第２工程を順次実行したときの基板の状態を示す図である。 図１に示す一体型のスプリングプローブの製造方法における第３工程と第４工程を順次実行したときの基板の状態を示す図である。 図１に示す一体型のスプリングプローブの製造方法における第５工程と第６工程を順次実行したときの基板の状態を示す図である。 図１に示す一体型のスプリングプローブにおける曲げ工程前のスプリングの形状の一例を示す図である。 図１に示す一体型のスプリングプローブにおける上部接触部の成形方法について説明するための図である。 本出願人の先の提案に係る一体型のスプリングプローブの打ち抜き工程後の平基板の平面図である。 本出願人の先の提案に係る一体型のスプリングプローブを示す正面図である。 図９に示すスプリングプローブの斜視図であって、(ａ)はスプリング成形部の曲げ加工前の形状を示す要所拡大図、(ｂ)はその曲げ加工後の形状を示す要所拡大図である。 従来の一般的なスプリングプローブの一例を示す正面図である。 従来の一体型のスプリングプローブの製造工程の中の打ち抜き工程後の平基板の平面図である。 従来の一体型のスプリングプローブの完成状態における縦断面図である。 従来の一体型のスプリングプローブのスプリングを示す斜視図であって、（ａ）は曲げ加工前のスプリングを示す要所拡大図、（ｂ）は曲げ加工後のスプリングを示す要所拡大図である。

以下に、本発明の実施の形態について図１〜図８を参照しながら説明する。

本発明の実施の形態に係るスプリングプローブとなる一体型のスプリングプローブ１は、その基本的構造が図１０に示す本出願人の提案に係る一体型のスプリングプローブ１０１と同じである。この一体型のスプリングプローブ１は、プローブカードやＩＣソケットなどで利用される、導電性を有する複数のコンタクトプローブとして使用される。このコンタクトプローブを半導体部品の電極と検査用回路の電極との間に介在させて両電極間を通電状態とすることで、半導体部品の電気的特性を検査するようになっている。

スプリングプローブ１は、図１に示すように、筒状のスリーブ２と、このスリーブ２の一端部に出没自在に設けられた被検査体接触用の端子３と、スリーブ２および端子３に内装されて、端子３を突出方向に付勢するスプリング４とを有し、それらが一体成形された構造となっている。

この一体型のスプリングプローブ１は、スプリング４の長手方向一部がスリーブ２の内側に収容され、スプリング４の長手方向残部が端子３の内側に収容されることにより、スプリング４のブランク長を従来のスプリングプローブにおけるスプリングのブランク長よりも長くすることが可能とされている。

また、図１の例のように、スプリング４は、その長手方向一端部がスリーブ２の端子３と反対側の端部の内側、すなわち、スリーブ２の内周面の後述される上部接触部６付近に設けられた突起７により図１において上方側への移動が阻止され、スプリング４の長手方向他端部が端子３の先端の内側、すなわち、端子３の内周面の後述される下部接触部８付近に設けられた突起９により図１において下方側への移動が阻止されている。

なお、ブランク長を最も長くするには、図１の例のように、スプリング４の長手方向一端部はスリーブ２の端子３と反対側の端部の内側、すなわち、後述する上部接触部６付近に位置決めされ、スプリング４の長手方向他端部は端子３の先端の内側、すなわち、後述する下部接触部８付近に位置決めされていることが好ましい。

スプリングプローブ１は、たとえば、プローブカードを備えたテスタ、ＩＣソケット等の検査装置に装着されて、端子３を半導体部品等の電極に接触させるとともに、スリーブ２の他端部（後述する上部接触部６）を、検査用回路の電極に接続して、端子３をスプリング４の付勢によって半導体部品の電極に安定的に押し付けることで、電極間の通電状態維持するようになっている。なお、スプリングプローブ１は、全長がたとえば１〜５０ｍｍ、スリーブ２の直径がたとえば０．２〜５ｍｍといった極小サイズとされている。また、スプリング４の各巻回部は、図３に示すように、３重巻き程度（この実施の形態では、２．７５重巻き）に巻かれている。

続いて、このスプリングプローブ１の製造方法について図４〜図６を参照しながら詳細に説明する。この製造方法においては、順送型による自動組立方式を採用しており、たとえばＢｅ−Ｃｕ製またはＢｅ−Ｎｉ製の高硬度で導電性に優れた薄肉帯状の基板１０を、その長手方向に搬送しながら、平らな基板１０に対して各工程を順次実行することで、大量のスプリングプローブ１を連続して製造することが可能となっている。

[第１工程]
図４〜図６は、各工程を順次実施した時の基板１０の状態を示している。まず、第１工程において、基板１０に打ち抜き加工を施して、略長方形状のスリーブ成形部２０と、スリーブ成形部２０とは反対側に位置する端子成形部３０と、スリーブ成形部２０の短手方向の一端部中央から折曲境界部１１を介して延出したスプリング成形部４０とをそれぞれ同一平面上に形成する。端子成形部３０は、スプリング成形部４０の先端部分を拡張して形成しているが、縮小するように形成してもよい。なお、基板１０の各成形部２０，３０，４０以外の部分と各成形部２０，３０，４０とは端子成形部３０の先端部から延出された接続部１２と、スリーブ成形部２０の短手方向の他端部から延出された接続部１３とによって接続された状態となっている。また、これらの接続部１２，１３で安定性を保てないような場合は、別途接続部を増やしても良い。

スリーブ成形部２０は、略長方形状に形成されるとともに、スプリング成形部４０側の端部にスプリング成形部４０方向に突出する計４個の上部接触部６が設けられている。また、左側（または右側）の一対の上部接触部６の至近位置に、後述されるスプリング固定用の突起７が設けられている。

また、端子成形部３０は、略長方形状に形成されるとともに、スプリング成形部４０側の端部に一対の下部接触部８が設けられている。また、右側（または左側）の下部接触部８の至近位置に、後述されるスプリング固定用の突起９が設けられている。スリーブ成形部２０に設けられる突起７と端子成形部３０に設けられる突起９とは、左右互いに反対側になるように設けられる。

また、スプリング成形部４０は、折曲境界部１１から端子成形部３０に向かって折曲境界部１４まで断続的に設けられる複数の連結部４１と、これら連結部４１の互いに対向する端部同士を連結する略Ｖ字状の弾性部４２とを有する。各Ｖ字状の弾性部４２は、図４に示すように、一端部が互いに対向する連結部４１，４１の端部にそれぞれ連結されるとともに、他端部に向かって互いに接近するように傾斜する一対の延設部４２ａ，４２ａと、この一対の延設部４２ａ，４２ａの他端部同士を連結する屈曲部４２ｂとから構成されている。また、各Ｖ字状の弾性部４２は、連結部４１に対して、隣接する一方のＶ字状の弾性部４２が一方側に位置され、一方のＶ字状の弾性部４２に隣接する他方のＶ字状の弾性部４２が他方側に位置されるように互い違いに設けられている。

すなわち、スプリング成形部４０は、折曲境界部１１から折曲境界部１４まで、連結部４１とＶ字状の弾性部４２とが交互に連続する波形に形成されている。また、屈曲部４２ｂ，４２ｂ間の幅Ｗ１は、スリーブ成形部２０の幅Ｗ２より大とされ、スリーブ成形部２０の幅Ｗ２は端子成形部３０の幅Ｗ３より大とされている。また、弾性部４２の連結部４１からの突出長さＬは、スリーブ２の内径Ｒ（図１参照）よりも大とされている。幅Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３の関係は、上述のように、Ｗ１＞Ｗ２＞Ｗ３が好ましいが、Ｗ１＞Ｗ３＞Ｗ２など他の関係としてもよい。

この第１工程中または第１工程後に金メッキが施される。すなわち、第２工程の曲げ加工が行われる前に、メッキを行なうことで、メッキの付着性をアップしている。たとえば、図４に示す第１工程において、一旦加工工程を終了し、基板１０に対して金メッキを施す。基板１０に対して金メッキを施したら、図４に示す第２工程から再び加工工程を開始する。

このように、一体型スプリングプローブ１の製造方法は、基板１０から加工される部材を平面的に打ち抜く第一のステップと、第一のステップの処理により平面的に打ち抜かれた部材に対し、折り曲げ加工を施す第二のステップと、を有し、第二のステップの処理に先立って、第一のステップの処理により平面的に打ち抜かれた部材に対し、金メッキ処理を施すステップを実施するので、平面的な部材に対して均等に金メッキが施される。その後、均等に金メッキが施された部材を折り曲げ加工するので、成形後の完成品についても部材の表裏に満遍なく金メッキが施される。これによれば、たとえば図１に示す端子３の外側とスリーブ２の内側とがどのような部位で接触しても必ず金メッキ部分同士が接触するので、接触抵抗の低減およびバラツキを抑えることができる。さらに、図１に示すスプリング４についてもう部材の表裏に満遍なく均等に金メッキが施されていると、スプリング４と端子３の内側あるいはスリーブ２の内側とが擦れ合ったときに、柔らかい金属である金同士が擦れ合うので金メッキが一種の潤滑剤の役割を果たす。これにより、スプリング４の磨耗を軽減させ、一体型スプリングプローブ１の寿命を延ばすことができる。なお、第２工程の曲げ加工が行われる前に、メッキを行なうのが好ましいが、接触抵抗の低減およびバラツキを抑えることがさほど重要でない場合には、第２工程の後や、第３工程の後や、第６工程の後など他の工程の後や、他の工程の中で行ってもよい。

［第２工程］
続いて、第２工程において、スプリング成形部４０の各弾性部４２に曲げ加工を施す。具体的には、図４に示すように、弾性部４２の先端部（屈曲部４２ｂ）が中心に位置するようにして、屈曲部４２ｂから連結部４１に向かって螺旋状に巻回する。また、この際、上側のＶ字状の弾性部４２とそのすぐ下側のＶ字状の弾性部４２は、一方が時計方向に、他方が反時計方向に巻回されている。すなわち、巻回方向が交互に変わっている。また、螺旋状の弾性部４２の軸心同士が略一致するように、さらに、螺旋状の弾性部４２の軸心と連結部４１の曲げ中心とが略一致するようにして、弾性部４２の根元部分まで曲げ加工を行う。これにより、見掛け上コイル状のスプリング４が形成される。

［第３工程］
続いて、図５に示すように、第３工程において、基板１０と端子成形部３０とを接続する接続部１２を切断し、端子成形部３０を折曲境界部１４において折り曲げて、その折り曲げられた端子成形部３０によりスプリング４の長手方向一部を被覆する。

［第４工程］
続いて、図５に示すように、第４工程において、端子成形部３０に対して曲げ加工を施して、端子成形部３０を筒状に丸めることで端子３を形成する。なお、この際に、端子３の内周側に位置されたスプリング固定用の突起７が、スプリング４の端子３側端部に最も近い弾性部４２の最初の延設部４２ａの根元位置において接触または近接する。

［第５工程］
続いて、図６に示すように、第５工程において、スリーブ成形部２０とスプリング成形部４０との間の折曲境界部１１を境にしてスプリング４を手前側に折り曲げる。その折り曲げは、スプリング４の中心軸をスリーブ成形部２０の長手方向の中心線に沿わせるようにして行う。この結果、スリーブ成形部２０とスプリング４とが重ね合わされる。

［第６工程］
続いて、図６に示すように、第６工程において、スリーブ成形部２０に曲げ加工を施して、スリーブ成形部２０を筒状に丸めることで、筒状のスリーブ２を形成するとともに、そのスリーブ２で端子３の根元部およびスプリング４の長手方向残部を包み込む。この場合、スリーブ２の内周側に位置されたスプリング固定用の突起７を、スプリング４のスリーブ側端部に最も近い弾性部４２の最初の延設部４２ａの根元位置においてスプリング４に接触または近接させ、スプリング４を固定する。その後、基板１０とスリーブ成形部２０とを接続している接続部１３を切断し、完成した一体型スプリングプローブ１と同様な形状の部品とする（図６の右側の図参照）。

［第７工程］
そして、図示されていないが、第７工程において、焼入れおよび焼き戻しを行って、スプリング４を含めた製品全体に硬さと粘り強さを与える。以上の各工程を、搬送される基板１０に対して順次実行することで、図１のスリーブ２，端子３，スプリング４が一体成形された一体型のスプリングプローブ１が連続的に製造される。なお、工程数は、第１から第７の工程として示したが、各工程はそれぞれ数工程に分かれるため、実際は２０〜３０工程となる。

このように、基板１０の打ち抜き加工や曲げ加工等を施して、各構成部品であるスリーブ２、端子３、スプリング４を一体成形したスプリングプローブ１を製造しているので、従来のような手作業による部品の組立作業を不要にし、製造効率を高めて、製造コストの低減を図ることができる。しかも、各構成部品であるスリーブ２、端子３、スプリング４が一体に繋がって導電経路を構成することになるから、電気抵抗を小さく抑えて、電気的特性を安定させることができ、これによって検査精度の向上を図ることができる。

また、スプリング４の弾性部４２を巻回している、すなわち、弾性部４２の全長に亘って小さな塑性変形を均等に生じさせているだけであるため、捻り等の塑性変形の激しい箇所がなく、亀裂や破断等の少ない耐久性に優れたものとなり、これによって製品寿命を延ばすことができる。

さらに、弾性部４２の長さＬを、筒状のスリーブ２の内径Ｒよりも長くし、結果として、弾性部４２の収縮幅Ｌ１に対して突出長さ、すなわち、長さＬを大きくしているので、スプリング４の収縮時のダメージを抑えることができ、製品寿命を延ばすことができる。また、弾性部４２を螺旋状に巻回し、螺旋状とされた弾性部４２の軸心同士が略一致するように連結部４１の同一面側に位置させているため、弾性部４２の長さを長くしながらも、径の小さなスリーブ２にも無理なくスプリング４を内装することができる。

さらにまた、弾性部４２をＶ字状とし、連結部４１から離れるに従い隣接する弾性部４２の間隔が広がるようにされているため、スプリング収縮時において、隣接する弾性部４２，４２同士が干渉しがたくなり、スプリング４をスムーズに収縮させることができる。また、弾性部４２，４２間の間隔を十分に取ることで、打ち抜き加工や曲げ加工等の加工時の誤差が生じても、弾性部４２，４２同士の干渉を防ぐことができるため、加工精度に劣る廉価な機器の使用が可能であるとともに、不良品数も減少させることができ、低コスト化を図ることができる。また、加工精度の高い機器を用いれば、より小型のスプリングプローブを歩留まり良く製造することができる。

また、弾性部４２を互い違いに設けているため、端子３を均等に付勢することが可能となり、検査精度の向上を図ることができる。

図４〜図６に示すように、スリーブ成形部２０には、スプリング成形部４０側の近接位置に突起７が設けられ、また、端子成形部３０にはスプリング成形部４０側の近接位置に突起９が設けられている。この突起７，９は、それぞれ一方の面を押し込むことで、他方の面に突出することで形成されている。すなわち、一方の面側（完成時に外側面となる面側）は凹部となり、他方の面側（完成時に内側面となる面側）が凸部となる。これらの突起７，９は、スリーブ成形部２０および端子成形部３０がスプリング４を被覆するように折り返され、その後、曲げ加工をされたときに、それらの突起７，９がそれぞれスプリング４のスリーブ成形部２０側端部における延設部４２ａの根元位置およびスプリング４の端子成形部３０側端部における延設部４２ａの根元位置に、それぞれ当接または近接する位置に設けられている。

これにより、完成した一体型のスプリングプローブ１の端子３が被検査物に押圧接触されたときに収縮されたスプリング４は、そのスリーブ成形部２０側端部における延設部４２ａの根元位置および端子成形部３０側端部における延設部４２ａの根元位置において各突起２５、３４に接触し支持されるため、スプリング４の長手方向両端部をスリーブ２および端子３に接続する直角状の連結部４１および、それに連なっている折曲境界部１１，１４にスプリング４の強い弾性復元力が加わることが防止される。したがって、スプリング４のスリーブ２および端子３との接続部分に亀裂や破断が発生することが少ない。

また、スプリング４は、端子成形部３０側端部における延設部４２ａの根元位置において、端子３の内周側に設けられた突起９に支持されるため、スプリング４に横向きの付勢力を発生させる。その付勢力により端子３の外周面がスリーブ２の内周面に確実に接触する。したがって、端子３とスリーブ２間の接触面の電気抵抗が低減されるため、検査信頼度の高い一体型のスプリングプローブ１を提供することができる。端子３とスリーブ２間の接触抵抗が低いことは、検査対象が高周波を発生するものである場合に有効である。

スプリングプローブ１の端子３とスリーブ２の間の導電性を高めるためには、端子３の外周面とスリーブ２の内周面のスプリング４が伸縮する際に接触する範囲に金メッキを施すことが有効である。この金メッキ処理は、図４の第１工程後、すなわち、スプリング成形部４０の折り曲げ工程の前に行うと、メッキ処理対象物のハンドリングが容易であり、また、端子３の内外周面とスリーブ２の内外周面へのメッキ処理が確実に行われるので好ましい。なお、端子３とスリーブ２のそれぞれの内外周面へのメッキ処理を重要視しスプリング４への金メッキを重要視しない場合は、スプリング４の曲げ加工が行われた後であって、それぞれの曲げ加工が行われる前、すなわち、第３工程と第４工程の間または第４工程と第５工程の間にメッキ処理を行うようにしてもよい。

続いて、この一体型のスプリングプローブ１のスプリング４の詳細構造とその良さについて説明する。図７は、一体型のスプリングプローブ１用の平らな基板１０の曲げ加工前のスプリング成形部４０を示す平面図である。このスプリング成形部４０は、スプリング４の耐久性の向上のために好ましい形状を有する。すなわち、上述したように、スプリング成形部４０は、複数個の連結部４１と複数個の弾性部４２とからなっている。連結部４１は共通の直線上に断続的に設けられ、弾性部４２は略Ｖ字形に形成され、互いに対向する端部同士が連続するように連結部４１により連結され、連結部４１と弾性部４２が交互に存在して、スプリング成形部４０全体が連続波形に形成されている。弾性部４２は、図１１(ａ)に示すように略Ｕ字形であってもよい。

図１１(ａ)は弾性部４２が左右それぞれ４個、計８個設けてある例であるのに対し、この実施の形態に係るスプリング４は弾性部４２が左右それぞれ３個、計６個設けてある例であるが、弾性部４２の数は、スプリングに要求される伸縮量に応じて適宜設定可能である。

一体型のスプリングプローブ１においては、使用時に端子３が受ける接触圧力がスプリング４に加わり、そのスプリング４を伸縮させる。その際に、スプリング４の弾性部４２の先端の湾曲部分または屈曲部分や連結部４１と弾性部４２とを接続する屈曲部分にストレスが加わる。このストレスの加わる部分が弾性限界を超える変形を強要されるときに亀裂や破損等が発生し易い。弾性限界はスプリングプローブの原材料の硬度とスプリングの形状に依存すると考えられる。

そこで、スプリングプローブの材質がＢｅ−Ｃｕである場合およびＢｅ−Ｎｉである場合のそれぞれのスプリングが各種の直径(Φ)と長さ(ｌ)を有する場合の耐久試験を行った。各耐久試験におけるスプリングの直径(Φ)と長さ(ｌ)、スプリングの可動長（Ｓ）とスプリングのブランク長(Ｍ)の比率(Ｒ)および耐久試験結果を摘出して示すと、表１のとおりである。なお、ブランク長とは、図７の２点鎖線で示すように、スプリング４となる部分の合計長さであり、スプリング４の部材部分の中央を連結させた合計長である。

上記耐久試験結果から、下記の数値Ｒが寿命に影響することが分かった。
Ｒ＝スプリングの可動長（Ｓ）／スプリングのブランク長(Ｍ)
そして、Ｒが４％以下である場合は、３０万回以上の耐久試験に耐えられる好ましいものとなる。Ｒが２％以上の場合は、スプリング４の巻き数が多くなりすぎず、また、スリーブ２の径が大きくなりすぎないため、好ましい。また、Ｒが４％超の場合は、端子を被検査体の電極に接触・離間させるためのスプリングプローブのストロークがブランク長に対し大きくなりすぎ、スプリングの伸縮が弾性限界を超える可能性が増えるので、耐久性が低下するため、３０万回の耐久試験に耐えることができない。しかし、焼入れおよび焼き戻しを行って、スプリング４に硬さと粘り強さを与える工程の仕方によっては、４％をわずかに超える場合も３０万回の耐久試験に耐えることがあるため、四捨五入して４％となる４．４９％も許容範囲となる。また、Ｒが２％未満の場合は、スプリング４の巻き数などが多くなりすぎ、また、スリーブ２の径が大きくなりすぎるため、好ましくないがスプリングプローブを使用する検査対象の違いやスプリングの材料の違いなどによっては、２％未満である場合もその値が２％に近い場合は、採用できる場合もあり、四捨五入して２％となる１．５０％も許容範囲となる。

図７はスプリング４の弾性部４２の形状が略Ｖ字形の場合の例を示し、図１１はスプリング１４０の弾性部１４２の形状が略Ｕ字形の場合の例を示すが、いずれの場合もスプリングの各種直径(Φ)と長さ(ｌ)における可動長（Ｓ）とスプリングのブランク長(Ｍ)の各比率における耐久試験結果は、表１と略同様のものが得られた。

次に、接触片としての上部接触部６の成形方法について図８を参照しながら説明する。図８の上段の図は、図４に示す上部接触部６を有するスリーブ成形部２０の主要部のみを抜き出して図示したものであり、図８の下段の図は、図１に示すスリーブ２の上部接触部６およびその近辺を抜き出して図示したものである。図８の上段に図示したものを加工することによって、図８の下段に図示したものに成形される。なお、図８に示す上部接触部６ａと上部接触部６ｂとは、同じ金型によって打ち抜かれたブランクにおける上部接触部として成形される部分であるが、後述する第一の部分５１ａと第二の部分５２ａとの境界位置、第一の部材５１ｂと第二の部材５２ｂとの境界位置が異なる。すなわち、上部接触部６ａ，６ｂは同じ金型で打ち抜かれるため、その平面形状は同じであるが、その後、異なる治具によってその先端形状が異なるものとなる。

図１に示すスリーブ２の端子３が収容される側とは反対側の端部には、図８に示すように、スリーブ２の中心軸Ｃに対してほぼ等しい距離で複数配置される接触片としての上部接触部６ａ，６ｂを有する。上部接触部６ａ，６ｂは、上部接触部６ａ，６ｂのスリーブ２との付け根５０から中心軸Ｃ方向となる内側に折り曲げられて成形される第一の部分５１ａ，５１ｂと、付け根５０から所定の距離離れた位置からスリーブ２の中心軸にほぼ平行となる外側に折り曲げられて成形される第二の部分５２ａ，５２ｂと、を有する。

たとえば図８の左側の図では、付け根５０から距離ＬＳ１離れた位置までが第一の部分５１ａであり、第一の部分５１ａの上端からさらに距離ＬＳ２離れた位置までが第二の部分５２ａである。一方、図８の右側の図では、付け根５０から距離ＬＳ４離れた位置までが第一の部分５１ｂであり、第一の部分５１ｂの上端からさらに距離ＬＳ５離れた位置までが第二の部分５２ｂである。ここでＬＳ１＜ＬＳ４，ＬＳ５＜ＬＳ２である。

これによれば図８の左側の下段に示すように、対向する２つの上部接触部６ａ，６ａの外側の間の距離ＬＳ３と、図８の右側の下段に示すように、対向する２つの上部接触部６ｂ，６ｂの外側の間の距離ＬＳ６とは、ＬＳ６＜ＬＳ３になる。すなわち第二の部分５２ａ，５２ｂと中心軸Ｃとの間の距離は、付け根５０から第二の部分５２ａ，５２ｂまでの間の所定の距離を距離ＬＳ１またはＬＳ４などに変更することによって可変に設定される。

上部接触部６は、たとえばプローブカードやＩＣソケットなどに設けられた所定の直径を有する孔に挿入されて半田付けなどによって固定されるものである。これにより一体型のスプリングプローブ１をプローブカードやＩＣソケットに半田付けなどによって固定することができる。ここでプローブカードやＩＣソケットなどに設けられた孔の直径は、０．３φ、０．４φ、０．５φ、０．６φなど様々な種類がある。よって、プローブカードやＩＣソケットが変更され、プローブカードやＩＣソケットの孔の直径が変更された場合には、付け根５０から第二の部分５２ａ，５２ｂまでの間の所定の距離を変更することにより、対向する上部接触部６ａ，６ａや上部接触部６ｂ，６ｂの外側の間の距離を孔の直径に合わせることができる。たとえば付け根５０から第二の部分５２ａまでの間の所定の距離を距離ＬＳ１とすれば、直径がＬＳ３の孔に対応することができるし、付け根５０から第二の部分５２ｂまでの間の所定の距離を距離ＬＳ４とすれば、直径がＬＳ６（＜ＬＳ３）の孔に対応することができる。また、相手側が孔ではなく、突起であった場合、突起の外径に合わせて上部接触部６ａ，６ａ（または上部接触部６ｂ，６ｂ）の内径を設定するようにすればよい。

次に、このような一体型のスプリングプローブ１の製造方法について説明する。スリーブ２の端子３が収容される側とは反対側の端部に、スリーブ２の中心軸Ｃに対してほぼ等しい距離で複数配置される接触片としての上部接触部６ａ，６ｂを成形するのに際し、上部接触部６ａ，６ｂのスリーブ２との付け根５０から中心軸Ｃの方向となる内側に折り曲げて第一の部分５１ａ，５１ｂを成形する第一のステップと、付け根５０から所定の距離離れた位置からスリーブ２の中心軸Ｃにほぼ平行となる外側に折り曲げて第二の部分５２ａ，５２ｂを成形する第二のステップと、を有する。このときに、第二の部分５２ａ，５２ｂと中心軸Ｃとの間の距離に応じて、付け根５０からの所定の距離を適宜設定するステップを有する。この２つのステップの処理は、２つのステップに分けて行ってもよいが、一度にこの２つのステップを行うようにしてもよい。一度に２つのステップを行う例としては、スリーブ成形部２０の上部接触部６ａ，６ｂが成形される部分について、付け根５０と、第一の部分５１ａ，５１ｂと第二の部分５２ａ，５２ｂとの境界とを所定の位置で折り曲げる治具を用いて行う方法が採用され得る。

このように、一体型のスプリングプローブ１によれば、第一の部分５１ａ，５１ｂと、第二の部分５２ａ，５２ｂとを有するので、これらの寸法の組み合わせを適宜変更することによって、成形後のスリーブ２における対向する上部接触部６ａ，６ａの間の距離や上部接触部６ｂ，６ｂの間の距離を適宜変更することができる。具体的には、第二の部分５２ａ，５２ｂと中心軸Ｃとの間の距離は、付け根５０から第二の部分５２ａ，５２ｂまでの所定の距離を変更することによって可変に設定される。これによれば、一体型のスプリングプローブ１を平らな基板１０から打ち抜くのに用いる金型は１種類だけ用意すればよく、金型により打ち抜かれたスリーブ成形部２０に対して治具を用いて付け根５０と、第一の部分５１ａ，５１ｂと第二の部分５２ａ，５２ｂとの境界を所定の位置で折り曲げればよい。これにより金型製作に要する費用を抑えることができるので、一体型のスプリングプローブ１の製造コストを低く抑えることができる。

以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は要旨を変更しない限り、種々変更することができる。たとえば、端子３をスリーブ２の外側に設けるもの、上部接触部６の数を４個ではなく、３個、８個やその他の数としたもの、下部接触部８の数を３個に分けたり、１個のみにしたり、その他の数としたもの、などを採用することができる。

また、上述の実施の形態では、突起７，９はそれぞれ１個設けられているが、突起７，９のいずれか１個を省略しても良い。また、それぞれ２個の計４個にしてもよい。また、突起７，９の両方またはいずれか一方を設ける構成は、公知となっている一体型ではないスプリングプローブや、特許文献１記載または先の提案にかかわる一体型のスプリングプローブにも適用できる。また、突起７，９の形状は、一方の面側を押して、凹部を形成し、反対側の面に凸部を形成する構造のものとしているが、基板１０に凸部を接着などで付着させるようにしてもよい。

また、上記実施の形態では、突起７と突起９とが軸方向から見て略１８０度対称位置に設けてあり、端子とスプリング２の接触力が強くなるようにされているが、両者の間隔が軸方向から見て１２０度離れていたリ、１６０度離れていたりなど他の配置関係としてもよい。また、突起７，９の位置は、弾性部４２の根元部に接触または近接するような位置が好ましいが、屈曲部４２ｂに近い位置に配置してもよい。

Ｒ＝Ｓ/Ｍの値は、４％以下が好ましいが、一体型のスプリングプローブの用途によっては６％以下などとしても良い。Ｒの値は、２％以上が好ましいが、長寿命を優先するときは、１％以上としても良い。また、弾性部は、略Ｕ字状または略Ｖ字状が好ましいが、他の形状の弾性部としてもよい。さらに、略Ｕ字状または略Ｖ字状の弾性部が巻回された状態でスリーブ２や端子３に内装されているのが好ましいが、巻回されず、従来のような形状となっていてもよい。

また、弾性部４２の先端となる屈曲部４２ｂの先端は、平坦面とされ、軸芯を他の弾性部４２と一致させやすくしているが、弾性部１４２のように、先端を曲面状としてもよい。また、弾性部４２は、２．７５回、巻かれているが、耐久性と製造のしやすさを考慮すると、２〜３回の範囲で、渦巻き状に巻回するようにしてもよい。さらに、耐久性のみを考慮すると、３回以上巻くようにしてもよい。また、スリーブ２および端子３の内面に突起７，９を設け、スプリング４の両端の弾性部４２に接触させるようにした場合、ブランク長（Ｍ）は、スプリング４の端から端までの長さとするのではなく、その２つの突起７，９間のブランク長として、上記の比（Ｒ）を計算しても良い。

また、弾性部４２は、複数ではなく、１個のみとしてもよい。また、スリーブの外径が大きくなるデメリットが出てくるが、弾性部４２を連結部４１の互いに異なる面側に、巻回するようにしてもよい。この場合、連結部４２を設けないようにしてもよい。さらに、弾性部４２を図４に示すように、左右交互に配置するのではなく、左側または右側のみに配置したり、その伸びる方向を左右のいずれか一方のみに伸びるようにしたりしてもよい。

また、上部接触部６，６ａ，６ｂの形状は、台形状の根元側と、直角四角形と三角形が接合した先端側の２部分で形成されているが、全体が三角形状のものとしたり、全体が細長い直角四角形としたりしてもよい。

また、図８を参照しながら説明した方法によれば、一体型スプリングプローブ１の全長寸法を変えることなく、距離ＬＳ３，ＬＳ６を変えられるが、一体型スプリングプローブ１の全長寸法が多少変わっても許されるならば、第一の部分５１ａ，５１ｂを形成する際、第一の部分５１ａ，５１ｂのスリーブ２との付け根５０における折れ曲がり角度を変えることで距離ＬＳ３，ＬＳ６を変えるようにしてもよい。たとえば図８の下段に示す図において、第一の部分５１ａ，５１ｂおよび第二の部分５２ａ，５２ｂの寸法はそのままにして、第一の部分５１ａ，５１ｂを付け根５０からさらに内側（中心軸Ｃの方向）に折り曲げると、距離ＬＳ３，ＬＳ６はさらに狭まることになる。このとき第一の部分５１ａ，５１ｂが付け根５０からさらに内側（中心軸Ｃの方向）に折り曲げられたことにより第二の部分５２ａ，５２ｂも内側に傾くことになるので、第二の部分５２ａ，５２ｂが中心軸Ｃと平行になるように外側に折り曲げてもよい。または、第一の部分５１ａ，５１ｂを形成する際、その折れ曲がり角度を変えることと、図８を参照しながら説明したように第一の部分５１ａ，５１ｂおよび第二の部分５２ａ，５２ｂの寸法を変えることと、を適宜併用して図８に示す距離ＬＳ３，ＬＳ６を変更してもよい。

また、図１に示す下部接触部８は円錐形状であるが、下部接触部８の形状を、図１の上部接触部６の形状と同じ形状とすることもできる。この場合には、図８で説明したようにして下部接触部８の径を変更することにより、被検査体側に開けられた下部接触部８の挿入孔の径などの仕様が様々に変更されるような場合にも同一の打ち抜き形状のブランクを用いて対応することができる。すなわち、下部接触部８についても、上部接触部６の第一の部分５１ａ，５１ｂに相当する第三の部分（図示省略：下部接触部８のスリーブ２との付け根部分から中心軸Ｃ方向（内側）に折り曲げられて成形される部分）と、上部接触部６の第二の部分５２ａ，５２ｂに相当する第四の部分（図示省略：前記付け根から所定の距離離れた位置からスリーブ２の中心軸Ｃにほぼ平行となる外側に折り曲げられて成形される部分）とを設け、第四の部分と中心軸Ｃとの間の距離（上部接触部６における距離ＬＳ３、ＬＳ６に相当）は、第三の部分のスリーブ２との付け根から第四の部分が始まる位置までの距離または前記付け根における第三の部分の折れ曲がり角度を変更することによって可変に設定される。

また、第１工程から第６工程まではこの工程ではなく、第１工程の後に接続部１２，１３を切断し、各成形部２０，３０，４０が平らな状態で金メッキ処理を行い、その後、各成形部２０，３０，４０の曲げ加工を施すようにしてもよい。また、接続部１２，１３の切断を第２工程後に行い、その後に、金メッキ処理をしてもよい。また、上述した第１工程から第６工程を採用する場合、スリーブ成形部２０と端子成形部３０が平らな状態のときで、かつスプリング成形部４０が曲げ加工された状態のときに金メッキ処理をしてもよい。

さらに、金メッキ処理の代わりに、銀メッキ、金ニッケルメッキ、パラジウムメッキ、パラジウムニッケル合金メッキ、ロジウムメッキなどのメッキ処理を行ってもよい。さらに、メッキ処理の代わりに金ペーストなどの導電性ペーストを塗布するなど、各種の導電性処理を施してもよい。また、これらのメッキ処理には、各種金属により下地処理が施されていてもよい。

１ 一体型のスプリングプローブ（スプリングプローブ）
２ スリーブ
３ 端子
６ 上部接触部
８ 下部接触部
１０ 基板
２０ スリーブ成形部
３０ 端子成形部
４０ スプリング成形部
４１ 連結部
４２ 弾性部
４２ａ 延設部
４２ｂ 屈曲部または湾曲部
５０ 付け根
５１ａ，５１ｂ 第一の部分
５２ａ，５２ｂ 第二の部分

Claims (5)

1. 被検査体接触用の端子と、その端子に弾性力を付与するスプリングと、前記端子および前記スプリングを収容するスリーブとを有するスプリングプローブの製造方法において、
   １枚の平らな基板から前記端子、前記スプリング、および前記スリーブに加工される部材を互いに連結された状態で平面的に打ち抜く第一のステップと、
   前記端子、前記スプリング、および前記スリーブに加工される部材に対し、曲げ加工を施す第二のステップと、
   を有し、
   前記第二のステップの処理に先立って、前記第一のステップの処理により平面的に打ち抜かれた部材に対し、導電性処理を施すステップを実施する、
   ことを特徴とするスプリングプローブの製造方法。
2. 被検査体接触用の端子と、その端子に弾性力を付与するスプリングと、前記端子および前記スプリングを収容するスリーブとを有するスプリングプローブの製造方法において、
   １枚の平らな基板から前記端子、前記スプリング、および前記スリーブに加工される部材を互いに連結された状態で平面的に打ち抜く第一次プレス工程と、
   前記端子および前記スリーブに加工される部材が平らな状態のときに導電性処理を施すメッキ工程と、
   前記メッキ工程の後で、前記端子および前記スリーブに加工する部材に対し、曲げ加工を施すと共に前記スプリングがまだ形成されていないときは前記スプリング加工される部材に対しても曲げ加工を施す第二次プレス工程と、
   を有する、
   ことを特徴とするスプリングプローブの製造方法。
3. 被検査体接触用の端子と、その端子に弾性力を付与するスプリングと、前記端子および前記スプリングを収容するスリーブとを有するスプリングプローブにおいて、
   少なくとも前記端子と前記スリーブの内外周面が均等厚に金メッキが施されている、
   ことを特徴とするスプリングプローブ。
4. 被検査体接触用の端子と、その端子に弾性力を付与するスプリングと、前記端子および前記スプリングを収容するスリーブとを有するスプリングプローブにおいて、
   前記端子と前記スプリングと前記スリーブの内外周面が均等厚に金メッキが施されている、
   ことを特徴とするスプリングプローブ。
5. 被検査体接触用の端子と、その端子に弾性力を付与するスプリングと、前記端子および前記スプリングを収容するスリーブとを有するスプリングプローブにおいて、
   前記端子と前記スプリングと前記スリーブの内外周面に均等厚に金メッキが施されるように、
   １枚の平らな基板から前記端子、前記スプリング、および前記スリーブに加工される部材を互いに連結された状態で平面的に打ち抜き、
   前記平面的に打ち抜かれた部材に対し、金メッキを施し、
   金メッキを施した後に、前記端子、前記スプリング、および前記スリーブに加工される部材に対して曲げ加工を施す、
   ことを特徴とするスプリングプローブ。

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