JP2013201327A - 固体撮像装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】固体撮像装置においてリセットトランジスターによる電荷の排出を効果的に行う。
【解決手段】フォトダイオードは、半導体基板に位置する第1導電型の第1拡散層と、第1拡散層内に位置する第2導電型の第2拡散層と、を含み、検出トランジスターは、平面視で第2拡散層内に位置する第1ゲート電極と、半導体基板の第1面と接する領域を含み、且つ平面視で第1ゲート電極を挟んで位置する第1導電型のソース部及びドレイン部と、を含み、リセットトランジスターは、半導体基板の第1面と接する領域を含み、且つ第2拡散層と離間して第1拡散層内に位置する第2導電型の第3拡散層と、平面視で第1ゲート電極及び第3拡散層の間に位置し、第2導電型の半導体を含む第2ゲート電極と、を含み、第1ゲート電極及び第2ゲート電極と、半導体基板の第1面との間に位置する絶縁膜を更に含む。
【選択図】図2
【解決手段】フォトダイオードは、半導体基板に位置する第1導電型の第1拡散層と、第1拡散層内に位置する第2導電型の第2拡散層と、を含み、検出トランジスターは、平面視で第2拡散層内に位置する第1ゲート電極と、半導体基板の第1面と接する領域を含み、且つ平面視で第1ゲート電極を挟んで位置する第1導電型のソース部及びドレイン部と、を含み、リセットトランジスターは、半導体基板の第1面と接する領域を含み、且つ第2拡散層と離間して第1拡散層内に位置する第2導電型の第3拡散層と、平面視で第1ゲート電極及び第3拡散層の間に位置し、第2導電型の半導体を含む第2ゲート電極と、を含み、第1ゲート電極及び第2ゲート電極と、半導体基板の第1面との間に位置する絶縁膜を更に含む。
【選択図】図2
Description
本発明は、固体撮像装置及びその製造方法に関する。
イメージセンサーとして用いられる固体撮像装置として、CCD(Charge Coupled Device)型、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)型の固体撮像装置に代わって、閾値変調型の固体撮像装置が提案されている。閾値変調型の固体撮像装置は、半導体基板にマトリクス状に配列された複数の画素を備えており、各画素は、1つのフォトダイオードと、1つの検出トランジスターと、を含んでいる。
閾値変調型の固体撮像装置の各画素において、フォトダイオードは、入射光の強度に応じて光発生電荷(正孔又は電子)を発生させる。発生した電荷は、検出トランジスターの閾値電圧を変化させる。検出トランジスターの閾値電圧の変化は、検出トランジスターの飽和領域動作時のソース電圧として読み出される。これによって、入射光の強度に応じたソース電圧、すなわち画素データが得られる。複数の画素に対応する複数の画素データを用いることによって、1枚の画像データが生成される。
検出トランジスターに隣接するリセットトランジスターをさらに含む閾値変調型の固体撮像装置も提案されている。リセットトランジスターは、検出トランジスターのゲート電極(第1ゲート電極)に隣接するリセットゲート電極(第2ゲート電極)を含む。検出トランジスターの閾値電圧を変化させた上述の電荷は、第2ゲート電極に閾値以上の電圧が印加されたときに、第2ゲート電極下のチャネルを介して排出される(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、特許文献1においては、リセットトランジスターのチャネルが形成される位置について特に言及されていない。リセットトランジスターを、チャネルが半導体基板の深い位置に形成される「埋め込みチャネル型」のトランジスターとすることが考えられるが、そのような構成では、電荷の排出経路のポテンシャル分布を滑らかに形成することが困難な場合がある。
本発明は、以上のような技術的課題に鑑みてなされたものである。本発明の幾つかの態様は、固体撮像装置においてリセットトランジスターによる電荷の排出を効果的に行うことに関連している。
本発明の幾つかの態様において、固体撮像装置は、入射光に応じた光発生電荷を発生するフォトダイオードと、フォトダイオードで発生した光発生電荷を検出する検出トランジスターと、フォトダイオードで発生した光発生電荷を排出するリセットトランジスターと、を備えた固体撮像装置であって、フォトダイオードは、半導体基板に位置する第1導電型の第1拡散層と、第1拡散層内に位置する第2導電型の第2拡散層と、を含み、検出トランジスターは、平面視で第2拡散層内に位置する第1ゲート電極と、半導体基板の第1面と接する領域を含み、且つ平面視で第1ゲート電極を挟んで位置する第1導電型のソース部及びドレイン部と、を含み、リセットトランジスターは、半導体基板の第1面と接する領域を含み、且つ第2拡散層と離間して第1拡散層内に位置する第2導電型の第3拡散層と、平面視で第1ゲート電極及び第3拡散層の間に位置し、第2導電型の半導体を含む第2ゲート電極と、を含み、第1ゲート電極及び第2ゲート電極と、半導体基板の第1面との間に位置する絶縁膜を更に含む。
この態様によれば、第2導電型の第2拡散層から第2導電型の第3拡散層に電荷を排出するリセットトランジスターが、第2導電型の半導体を含む第2ゲート電極を含むので、リセットトランジスターのチャネルを基板の浅い位置に形成することができ、電荷の排出を効果的に行うことができる。
この態様によれば、第2導電型の第2拡散層から第2導電型の第3拡散層に電荷を排出するリセットトランジスターが、第2導電型の半導体を含む第2ゲート電極を含むので、リセットトランジスターのチャネルを基板の浅い位置に形成することができ、電荷の排出を効果的に行うことができる。
上述の態様において、第2拡散層内に位置し、且つ平面視で第1ゲート電極の少なくとも一部と重なって位置し、第2拡散層の不純物濃度よりも高濃度の第2導電型不純物を含むキャリアポケットを更に含むことが望ましい。
これによれば、キャリアポケットに電荷が蓄積されるので、検出トランジスターによって入射光の強度を高感度に検出することができる。
これによれば、キャリアポケットに電荷が蓄積されるので、検出トランジスターによって入射光の強度を高感度に検出することができる。
上述の態様において、第1ゲート電極のうち、第3拡散層に平面視で最も近い位置と重なる領域に、第2ゲート電極の一部が位置しており、第1ゲート電極の輪郭と、キャリアポケットの輪郭との平面視でのずれが、第3拡散層に平面視で最も近い位置において、最も小さいことが望ましい。
これによれば、第1ゲート電極の輪郭とキャリアポケットの輪郭との平面視でのずれが第3拡散層側において最も小さいので、キャリアポケットに蓄積した電荷を効率良く第3拡散層に排出することができる。
上述の態様において、第1導電型はN型であり、第2導電型はP型であることが望ましい。
これによれば、第1ゲート電極の輪郭とキャリアポケットの輪郭との平面視でのずれが第3拡散層側において最も小さいので、キャリアポケットに蓄積した電荷を効率良く第3拡散層に排出することができる。
上述の態様において、第1導電型はN型であり、第2導電型はP型であることが望ましい。
本発明の他の態様において、固体撮像装置の製造方法は、半導体基板の第1面に、入射光に応じた光発生電荷を発生するフォトダイオードと、フォトダイオードで発生した光発生電荷が転送されるキャリアポケットと、キャリアポケットに蓄積された光発生電荷を検出する検出トランジスターと、キャリアポケットに蓄積された光発生電荷を排出するリセットトランジスターと、を形成する固体撮像装置の製造方法であって、キャリアポケットを形成するために、第2導電型不純物のイオンを注入する工程(a)と、工程(a)の後に、検出トランジスターを構成する第1ゲート電極を形成する工程(b)と、工程(b)の後に、第1ゲート電極の少なくとも一部をマスクとして、第1導電型不純物のイオンを注入することにより、工程(a)において第2導電型不純物のイオンを注入された領域の一部の導電型を反転させてリセットトランジスターのチャネル領域を形成する工程(c)と、工程(c)の後に、リセットトランジスターを構成する第2ゲート電極であって、平面視でチャネル領域の少なくとも一部と重なる領域及び平面視で第1ゲート電極の少なくとも一部と重なる領域にまたがって位置する第2ゲート電極を形成する工程(d)と、を含む。
これによれば、第1ゲート電極の少なくとも一部をマスクとして、第1導電型不純物のイオンを注入することにより、第2導電型不純物のイオンを注入された領域の一部の導電型を反転させるので、第1ゲート電極の端部位置とキャリアポケットの端部位置とをほぼ一致させることができる。
これによれば、第1ゲート電極の少なくとも一部をマスクとして、第1導電型不純物のイオンを注入することにより、第2導電型不純物のイオンを注入された領域の一部の導電型を反転させるので、第1ゲート電極の端部位置とキャリアポケットの端部位置とをほぼ一致させることができる。
上述の態様において、工程(d)において形成する第2ゲート電極は、半導体を含み、工程(d)の後に、チャネル領域に隣接する領域及び第2ゲート電極に、第2導電型不純物のイオンを注入する工程(e)を更に含むことが望ましい。
これによれば、第2導電型のキャリアポケットから第2ゲート電極下のチャネルを介して電荷を受取る第2導電型の領域を形成するためのイオン注入を、第2ゲート電極へのイオン注入と同時に行うことができる。
これによれば、第2導電型のキャリアポケットから第2ゲート電極下のチャネルを介して電荷を受取る第2導電型の領域を形成するためのイオン注入を、第2ゲート電極へのイオン注入と同時に行うことができる。
以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、以下に説明する本実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。また同一の構成要素には同一の参照符号を付して説明を省略する。
<1.第1の実施形態の構成>
図1は、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置を構成する固体撮像素子を概念的に示す平面図である。図2は、図1に示す固体撮像素子1のII−II線における断面図である。固体撮像装置は、固体撮像素子1を複数規則的に配列して構成されている。1つの固体撮像素子1は、1つのフォトダイオード10と、1つの検出トランジスター20と、1つのリセットトランジスター30と、を含んでいる。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る固体撮像装置を構成する固体撮像素子を概念的に示す平面図である。図2は、図1に示す固体撮像素子1のII−II線における断面図である。固体撮像装置は、固体撮像素子1を複数規則的に配列して構成されている。1つの固体撮像素子1は、1つのフォトダイオード10と、1つの検出トランジスター20と、1つのリセットトランジスター30と、を含んでいる。
フォトダイオード10、検出トランジスター20及びリセットトランジスター30は、半導体基板110の表面(第1面)側に形成されている。半導体基板110は、第2導電型(例えば、P型)の基板である。なお、基板自体が第2導電型である場合に限らず、第1導電型(例えば、N型)の半導体基板の表面側に、第2導電型のウェルが形成されていても良い。
<1−1.フォトダイオード>
半導体基板110内には、第1導電型の第1拡散層11が形成されている。第1拡散層11内には、半導体基板110の表面に近い位置に、第2導電型の第2拡散層12が形成されている。第1導電型の第1拡散層11と、第2導電型の第2拡散層12とで、フォトダイオード10が構成される。なお、各図におけるN及びPへの添え字+及び−は、それぞれ、不純物濃度の濃い部分(添え字+)及び薄い部分(添え字−)であることを示している。
半導体基板110内には、第1導電型の第1拡散層11が形成されている。第1拡散層11内には、半導体基板110の表面に近い位置に、第2導電型の第2拡散層12が形成されている。第1導電型の第1拡散層11と、第2導電型の第2拡散層12とで、フォトダイオード10が構成される。なお、各図におけるN及びPへの添え字+及び−は、それぞれ、不純物濃度の濃い部分(添え字+)及び薄い部分(添え字−)であることを示している。
<1−2.検出トランジスター>
検出トランジスター20は、半導体基板110上にゲート絶縁膜25を介して形成された第1ゲート電極26を含んでいる。第1ゲート電極26は、平面視でリング状に形成されている。第1ゲート電極26は、第1導電型の不純物を含む多結晶シリコンなどの半導体によって形成されている。半導体基板110の表面には、平面視で第1ゲート電極26の外側を囲む領域の一部に、第1導電型のドレイン領域27(図1)が形成されている。また、平面視で第1ゲート電極26に囲まれる領域には、第1導電型のソース領域28が形成されている。
検出トランジスター20は、半導体基板110上にゲート絶縁膜25を介して形成された第1ゲート電極26を含んでいる。第1ゲート電極26は、平面視でリング状に形成されている。第1ゲート電極26は、第1導電型の不純物を含む多結晶シリコンなどの半導体によって形成されている。半導体基板110の表面には、平面視で第1ゲート電極26の外側を囲む領域の一部に、第1導電型のドレイン領域27(図1)が形成されている。また、平面視で第1ゲート電極26に囲まれる領域には、第1導電型のソース領域28が形成されている。
半導体基板110の検出トランジスター20直下の領域には、フォトダイオード10を構成する第1導電型の第1拡散層11と、フォトダイオード10を構成する第2導電型の第2拡散層12とが延在している。光を受光したフォトダイオード10において発生した電荷(例えば、正孔)は、検出トランジスター20直下の第2導電型の第2拡散層12内に形成された高濃度の第2導電型半導体領域であるキャリアポケット24に転送され、蓄積される。この電荷蓄積により、検出トランジスター20に基板バイアスがかかり、検出トランジスター20の閾値電圧が変化するので、この閾値電圧の変化量(飽和領域動作時におけるソース電圧の変化量)を入射光量として検出する。キャリアポケット24は、電荷の蓄積による検出トランジスター20の閾値電圧への影響が大きくなるように、半導体基板110の表面に近い位置に形成される。
<1−3.リセットトランジスター>
リセットトランジスター30は、半導体基板110上にゲート絶縁膜25を介して形成された第2ゲート電極36を含んでいる。第2ゲート電極36は、第2導電型の不純物を含む多結晶シリコンなどの半導体によって形成されている。第2ゲート電極36の一端部(図2における第2ゲート電極36の右端部)は、検出トランジスター20の第1ゲート電極26上に延在している。第2ゲート電極36と第1ゲート電極26との間には、図示しない絶縁膜が形成されている。一方、第2ゲート電極36の他端部(図2における第2ゲート電極36の左端部)の直下においては、第1拡散層11内の半導体基板110表面を含む領域に、第2拡散層12と離間して、高濃度の第2導電型半導体領域である排出部33が形成されている。この排出部33は、図示しない配線によって外部に接続されている。
リセットトランジスター30は、半導体基板110上にゲート絶縁膜25を介して形成された第2ゲート電極36を含んでいる。第2ゲート電極36は、第2導電型の不純物を含む多結晶シリコンなどの半導体によって形成されている。第2ゲート電極36の一端部(図2における第2ゲート電極36の右端部)は、検出トランジスター20の第1ゲート電極26上に延在している。第2ゲート電極36と第1ゲート電極26との間には、図示しない絶縁膜が形成されている。一方、第2ゲート電極36の他端部(図2における第2ゲート電極36の左端部)の直下においては、第1拡散層11内の半導体基板110表面を含む領域に、第2拡散層12と離間して、高濃度の第2導電型半導体領域である排出部33が形成されている。この排出部33は、図示しない配線によって外部に接続されている。
検出トランジスター20によって入射光量を検出した後、第2ゲート電極36に閾値以上の電圧を印加すると、第2導電型のキャリアポケット24と第2導電型の排出部33との間にチャネルが形成される。これにより、キャリアポケット24に転送されて蓄積された上述の電荷は、排出部33を介して外部に排出される。従って、キャリアポケット24から半導体基板110の深さ方向に電荷を排出しなくてもよい。
図3(A)は、図2に示す固体撮像素子の一部を拡大した断面図である。図3(B)は、図3(A)のX1−X2線におけるポテンシャル分布を示すグラフである。図3(C)は、図3(A)のY1−Y2線におけるポテンシャル分布を示すグラフである。
第1の実施形態においては、リセットトランジスター30が、第2導電型のキャリアポケット24と第2導電型の排出部33との間にチャネルを形成する第2導電型のトランジスターであり、且つ、リセットトランジスター30を構成する第2ゲート電極36が、第2導電型の半導体によって形成されている。従って、リセットトランジスター30は、ゲート絶縁膜25に近い位置(半導体基板110の表面付近)にチャネルが形成される表面チャネル型のトランジスターとなっている。すなわち、図3(C)に実線で示すように、リセットトランジスター30がON状態であるときは、半導体基板110の表面に近い位置Y2におけるポテンシャルφ(キャリアポケット24に蓄積される電荷(上述の例では、正孔)にとってのポテンシャルをいう。以下同じ。)が低くなる。
このように、リセットトランジスター30がON状態であるときは、図3(B)に実線で示すように、キャリアポケット24内の位置X2から排出部33内の位置X1にかけてポテンシャルφが滑らかに低くなる。従って、リセットトランジスター30をON状態とすることにより、キャリアポケット24から排出部33に向かって電荷の排出を効果的に行うことができる。
また、図3(B)に破線で示すように、リセットトランジスター30がOFF状態であるときは、キャリアポケット24と排出部33との間の領域においてポテンシャルφが高くなる。従って、キャリアポケット24から排出部33に電荷が移動しにくく、キャリアポケット24に多くの電荷を蓄積することができる。
<1−4.比較例>
図3(D)は、第2ゲート電極を第1導電型の半導体で形成した場合における図3(B)に対応する部分のポテンシャル分布を示すグラフである。図3(E)は、第2ゲート電極を第1導電型の半導体で形成した場合における図3(C)に対応する部分のポテンシャル分布を示すグラフである。
図3(D)は、第2ゲート電極を第1導電型の半導体で形成した場合における図3(B)に対応する部分のポテンシャル分布を示すグラフである。図3(E)は、第2ゲート電極を第1導電型の半導体で形成した場合における図3(C)に対応する部分のポテンシャル分布を示すグラフである。
図3(D)及び図3(E)に示す比較例においては、リセットトランジスター30は、第2導電型のトランジスターであり、且つ、リセットトランジスター30を構成する第2ゲート電極36が、第1導電型の半導体によって形成されている。従って、リセットトランジスター30は、チャネルがゲート絶縁膜25から遠い位置(半導体基板110の深い位置)に形成される埋め込みチャネル型のトランジスターとなっている。すなわち、図3(E)に実線で示すように、リセットトランジスター30がON状態であるときは、半導体基板110の表面に近い位置Y2よりも、半導体基板110の深い位置Y3におけるポテンシャルφが低くなる。
このような場合、リセットトランジスター30がON状態であっても、図3(D)に実線で示すように、キャリアポケット24と排出部33との間の領域においてポテンシャルφが十分に低くならない場合がある。すなわち、キャリアポケット24及び排出部33の深さよりも深い位置Y3にチャネルが形成されてしまうと、キャリアポケット24から排出部33に向かって電荷の排出を効果的に行うことが困難となる。
また、図3(D)に示すように、キャリアポケット24と排出部33との間の領域において、リセットトランジスター30がOFF状態である場合(図3(D)の破線)とON状態である場合(図3(D)の実線)とのポテンシャルφの差が小さいと、キャリアポケット24に蓄積できる電荷の量が少なくなり、或いは、キャリアポケット24から排出できる電荷の量が少なくなってしまう。
そこで、第1の実施形態においては、リセットトランジスター30が第2導電型のトランジスターである場合に、リセットトランジスター30を構成する第2ゲート電極36を、第2導電型の半導体によって形成する。これにより、キャリアポケット24からの電荷の排出を効果的に行うことができ、残像現象を抑制できる。また、電荷の蓄積時には、多くの電荷をキャリアポケット24に蓄積することができ、飽和出力を大きくとることができる。
<2.第1の実施形態の製造方法>
図4〜図6は、図1に示す固体撮像素子1の製造工程を示す断面図である。図4(A)に示すように、まず、シリコン(Si)などの半導体基板110の表面に、熱酸化によって300Å程度の犠牲酸化膜111を形成する。さらに、所定パターンのフォトレジストRAをマスクとして、後にフォトダイオード10が配置される画素領域に、第1導電型の不純物イオンを注入することにより、第1拡散層11を形成する。第1拡散層11を形成するためのイオン注入においては、例えば、リンイオンを、注入エネルギー2.5MeV〜3MeV、注入量1×1012atoms/cm2〜5×1012atoms/cm2の条件で注入する。その後、温度1200℃で、10時間〜15時間程度のドライブインを行う。なお、図4〜図6において、矢印はイオンの注入方向を示している。
図4〜図6は、図1に示す固体撮像素子1の製造工程を示す断面図である。図4(A)に示すように、まず、シリコン(Si)などの半導体基板110の表面に、熱酸化によって300Å程度の犠牲酸化膜111を形成する。さらに、所定パターンのフォトレジストRAをマスクとして、後にフォトダイオード10が配置される画素領域に、第1導電型の不純物イオンを注入することにより、第1拡散層11を形成する。第1拡散層11を形成するためのイオン注入においては、例えば、リンイオンを、注入エネルギー2.5MeV〜3MeV、注入量1×1012atoms/cm2〜5×1012atoms/cm2の条件で注入する。その後、温度1200℃で、10時間〜15時間程度のドライブインを行う。なお、図4〜図6において、矢印はイオンの注入方向を示している。
次に、図4(B)に示すように、所定パターンのフォトレジストRBをマスクとして、後に画素と画素との間(ドレイン領域27(図1))となる領域に、第1導電型の不純物イオンを注入する。これにより、画素間分離の強化及びドレイン領域27の低抵抗化を行う。このときのイオン注入は、例えば、リンイオンを、注入エネルギー250KeV程度、注入量1×1012atoms/cm2〜5×1012atoms/cm2の条件で注入する工程と、リンイオンを、注入エネルギー80KeV程度、注入量5×1013atoms/cm2〜5×1014atoms/cm2の条件で注入する工程とを含む。
次に、図4(C)に示すように、第1拡散層11内の、半導体基板110の表面側の浅い位置に、所定パターンのフォトレジストRCをマスクとして第2導電型不純物のイオンを注入することにより、第2拡散層12を形成する。これにより、フォトダイオード10が形成される。第2拡散層12の形成においては、第2導電型不純物の濃度が、半導体基板110の深い位置から半導体基板110の表面側に向かって大きくなるように、多段的にイオン注入を行う。これにより、半導体基板110の深い位置から半導体基板110の表面側に向かって、ポテンシャルが緩やかに低くなるようにする。例えば、ボロンイオンを、注入エネルギー100KeV〜1.5MeV、注入量1×1011atoms/cm2〜5×1012atoms/cm2の条件で、多段的に注入する。また、このとき、検出トランジスター20の閾値電圧調整のためのイオン注入(チャネルドープ)も行う。
次に、図5(D)に示すように、所定パターンのフォトレジストRDをマスクとして半導体基板110に第2導電型不純物のイオンを注入することにより、第2導電型の第2拡散層12内にキャリアポケット24を形成する。キャリアポケット24を形成するためのイオン注入においては、例えば、ボロンイオンを、注入エネルギー20KeV〜30KeV、注入量1×1012atoms/cm2〜5×1012atoms/cm2の条件で注入する。
次に、犠牲酸化膜111を除去した後、ゲート絶縁膜となる酸化膜29を、熱酸化又はこれとCVD(Chemical Vapor Deposition)によって、300Å〜1500Åの厚さに形成する。次に、図5(E)に示すように、酸化膜29上に第1ゲート電極26を、1500Å〜2500Åの厚さに形成する。第1ゲート電極26は、例えば、第1の導電型にドープされた多結晶シリコンによって形成される。このとき、キャリアポケット24の大部分は、平面視で第1ゲート電極26の一部と重なる領域に形成されているが、キャリアポケット24のうち、後にリセットトランジスターの排出部33(図2)が形成される領域に近い端部(図5(E)におけるキャリアポケット24の左端部)は、平面視で第1ゲート電極26と重ならず、はみ出た領域に形成されている。
次に、図5(F)に示すように、フォトレジストRFを形成する。フォトレジストRFと、第1ゲート電極26とで、リセットトランジスター30のチャネルが形成される領域が開口されたマスクが形成される。このマスクを用いて、第1導電型不純物のイオンを注入することにより、リセットトランジスター30のチャネルが形成される領域の導電型を第1導電型に反転させる。このように、第1ゲート電極26の一部をマスクとして用いることにより、キャリアポケット24の端部(図5(F)におけるキャリアポケット24の左端部)の位置と、第1ゲート電極26の端部(図5(F)における第1ゲート電極26の左端部)の位置とを平面視でほぼ一致させることができる。
このときのイオン注入エネルギーは、第1導電型不純物のイオンが第1ゲート電極26及びその直下の酸化膜29を透過しないように、調整される。例えば、リンイオンを、注入エネルギー180KeV以下、注入量1×1012atoms/cm2〜5×1012atoms/cm2の条件で注入する。また、このとき、リセットトランジスター30の閾値電圧調整のためのイオン注入(チャネルドープ)も行う。
次に、第1ゲート電極26の表面を酸化して、第1ゲート電極26が100Å程度の図示しない絶縁膜で覆われるようにした後、図6(G)に示すように、第2ゲート電極36を形成する。第2ゲート電極36は、例えば、多結晶シリコンによって形成される。第2ゲート電極36は、リセットトランジスター30のチャネルとなる領域上だけでなく、第1ゲート電極26の一部上にも延在するように形成される。酸化膜29のうち、第2ゲート電極36直下となる領域は、第2ゲート電極36を形成する前にエッチングされ、第1ゲート電極26直下の酸化膜29より薄い酸化膜となるようにしてもよい。
次に、図6(H)に示すように、第2ゲート電極36の一部及びこれに隣接する領域の一部を開口したフォトレジストRHを形成し、フォトレジストRHをマスクとして、第2導電型不純物のイオンを注入する。これにより、リセットトランジスターを構成する第2導電型の排出部33が形成されるとともに、第2ゲート電極36が第2導電型の半導体となる。
その後、図6(I)に示すように、図示しない層間絶縁膜、各種コンタクト層及び配線層を形成することにより、固体撮像素子1及び複数の固体撮像素子1を有する固体撮像装置が製造される。
<3.第2の実施形態>
図7(A)は、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置を構成する固体撮像素子の一部分であって、図3(A)に対応する一部分を示す断面図である。上述の第1の実施形態においては、第1ゲート電極26のうち平面視で排出部33に近い端部の位置と、キャリアポケット24のうち平面視で排出部33に近い端部の位置とが、ほぼ一致していた。それに対し、第2の実施形態においては、第1ゲート電極26のうち平面視で排出部33に近い端部(図7(A)における第1ゲート電極26の左端部)よりも、キャリアポケット24のうち平面視で排出部33に近い端部(図7(A)におけるキャリアポケット24の左端部)の方が、排出部33側にはみ出ている。
図7(A)は、本発明の第2の実施形態に係る固体撮像装置を構成する固体撮像素子の一部分であって、図3(A)に対応する一部分を示す断面図である。上述の第1の実施形態においては、第1ゲート電極26のうち平面視で排出部33に近い端部の位置と、キャリアポケット24のうち平面視で排出部33に近い端部の位置とが、ほぼ一致していた。それに対し、第2の実施形態においては、第1ゲート電極26のうち平面視で排出部33に近い端部(図7(A)における第1ゲート電極26の左端部)よりも、キャリアポケット24のうち平面視で排出部33に近い端部(図7(A)におけるキャリアポケット24の左端部)の方が、排出部33側にはみ出ている。
図7(B)は、図7(A)のX1−X2線におけるポテンシャル分布を示すグラフである。図7(B)においては、リセットトランジスター30がON状態であるとき(電荷の排出時)のポテンシャル分布を示している。
第2の実施形態においても、リセットトランジスター30を構成する第2ゲート電極36を、第2導電型の半導体によって形成することにより、キャリアポケット24からの電荷の排出を効果的に行うことができる。
第2の実施形態においても、リセットトランジスター30を構成する第2ゲート電極36を、第2導電型の半導体によって形成することにより、キャリアポケット24からの電荷の排出を効果的に行うことができる。
しかしながら、図7(A)のX1−X2線において、第2ゲート電極36に印加された電圧による電界が作用する領域(第2ゲート電極下の領域)には、第1導電型の領域だけでなく、第2導電型のキャリアポケット24の一部も位置している。従って、図7(B)に示すように、第2ゲート電極下の領域のポテンシャルφは一様ではなく、第1導電型の領域よりも、第2導電型のキャリアポケット24のポテンシャルφが低くなる。これにより、キャリアポケット24から排出部33に電荷が移動しにくくなってしまう場合がある。
<4.第3の実施形態>
図8(A)は、本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置を構成する固体撮像素子の一部分であって、図3(A)に対応する一部分を示す断面図である。上述の第1の実施形態においては、第1ゲート電極26のうち平面視で排出部33に近い端部の位置と、キャリアポケット24のうち平面視で排出部33に近い端部の位置とが、ほぼ一致していた。それに対し、第3の実施形態においては、キャリアポケット24のうち平面視で排出部33に近い端部(図8(A)におけるキャリアポケット24の左端部)よりも、第1ゲート電極26のうち平面視で排出部33に近い端部(図8(A)における第1ゲート電極26の左端部)の方が、排出部33側にはみ出ている。
図8(A)は、本発明の第3の実施形態に係る固体撮像装置を構成する固体撮像素子の一部分であって、図3(A)に対応する一部分を示す断面図である。上述の第1の実施形態においては、第1ゲート電極26のうち平面視で排出部33に近い端部の位置と、キャリアポケット24のうち平面視で排出部33に近い端部の位置とが、ほぼ一致していた。それに対し、第3の実施形態においては、キャリアポケット24のうち平面視で排出部33に近い端部(図8(A)におけるキャリアポケット24の左端部)よりも、第1ゲート電極26のうち平面視で排出部33に近い端部(図8(A)における第1ゲート電極26の左端部)の方が、排出部33側にはみ出ている。
図8(B)は、図8(A)のX1−X2線におけるポテンシャル分布を示すグラフである。図8(B)においては、リセットトランジスター30がON状態であるとき(電荷の排出時)のポテンシャル分布を示している。
第3の実施形態においても、リセットトランジスター30を構成する第2ゲート電極36を、第2導電型の半導体によって形成することにより、キャリアポケット24からの電荷の排出を効果的に行うことができる。
第3の実施形態においても、リセットトランジスター30を構成する第2ゲート電極36を、第2導電型の半導体によって形成することにより、キャリアポケット24からの電荷の排出を効果的に行うことができる。
しかしながら、図8(A)のX1−X2線において、第1ゲート電極26に印加された電圧による電界が作用する領域(第1ゲート電極下の領域)には、キャリアポケット24だけでなく、キャリアポケット24より排出部33側に、キャリアポケット24より第2導電型の不純物の濃度が低い領域も位置している。従って、図8(B)に示すように、第1ゲート電極26下の領域のポテンシャルφは一様ではなく、キャリアポケット24よりも、第2導電型の不純物濃度が低い領域のポテンシャルφが高くなる。これにより、キャリアポケット24から排出部33に電荷が移動しにくくなってしまう場合がある。
以上、第2の実施形態及び第3の実施形態との比較において説明した通り、第1の実施形態のように、第1ゲート電極26のうち平面視で排出部33に近い端部の位置と、キャリアポケット24のうち平面視で排出部33に近い端部の位置との、平面視でのずれが小さいことが好ましい。このずれは、0.1μm以下であることが望ましい。そして、第1ゲート電極26の輪郭と、キャリアポケット24の輪郭との平面視でのずれが、排出部33に平面視で最も近い位置において、最も小さいことが好ましい。
1…固体撮像素子、10…フォトダイオード、11…第1導電型の第1拡散層、12…第2導電型の第2拡散層、20…検出トランジスター、24…キャリアポケット、25…ゲート絶縁膜、26…第1ゲート電極、27…ドレイン領域、28…ソース領域、29…酸化膜、30…リセットトランジスター、36…第2ゲート電極、110…半導体基板、111…犠牲酸化膜、RA、RB、RC、RD、RF、RH…フォトレジスト。
Claims (6)
- 入射光に応じた光発生電荷を発生するフォトダイオードと、前記フォトダイオードで発生した光発生電荷を検出する検出トランジスターと、前記フォトダイオードで発生した光発生電荷を排出するリセットトランジスターと、を備えた固体撮像装置であって、
前記フォトダイオードは、
半導体基板に位置する第1導電型の第1拡散層と、
前記第1拡散層内に位置する第2導電型の第2拡散層と、
を含み、
前記検出トランジスターは、
平面視で前記第2拡散層内に位置する第1ゲート電極と、
前記半導体基板の第1面と接する領域を含み、且つ平面視で前記第1ゲート電極を挟んで位置する第1導電型のソース部及びドレイン部と、
を含み、
前記リセットトランジスターは、
前記半導体基板の前記第1面と接する領域を含み、且つ前記第2拡散層と離間して前記第1拡散層内に位置する第2導電型の第3拡散層と、 平面視で前記第1ゲート電極及び前記第3拡散層の間に位置し、第2導電型の半導体を含む第2ゲート電極と、
を含み、
前記第1ゲート電極及び前記第2ゲート電極と、前記半導体基板の前記第1面との間に位置する絶縁膜を更に含む、固体撮像装置。 - 請求項1において、
前記第2拡散層内に位置し、且つ平面視で前記第1ゲート電極の少なくとも一部と重なって位置し、前記第2拡散層の不純物濃度よりも高濃度の第2導電型不純物を含むキャリアポケットを更に含む、固体撮像装置。 - 請求項2において、
前記第1ゲート電極のうち、前記第3拡散層に平面視で最も近い位置と重なる領域に、前記第2ゲート電極の一部が位置しており、
前記第1ゲート電極の輪郭と、前記キャリアポケットの輪郭との平面視でのずれが、前記第3拡散層に平面視で最も近い位置において、最も小さい、固体撮像装置。 - 請求項1乃至請求項3の何れか一項において、
前記第1導電型はN型であり、前記第2導電型はP型である、固体撮像装置。 - 半導体基板に、入射光に応じた光発生電荷を発生するフォトダイオードと、前記フォトダイオードで発生した光発生電荷が転送されるキャリアポケットと、前記キャリアポケットに蓄積された光発生電荷を検出する検出トランジスターと、前記キャリアポケットに蓄積された光発生電荷を排出するリセットトランジスターと、を形成する固体撮像装置の製造方法であって、
前記キャリアポケットを形成するために、第2導電型不純物のイオンを注入する工程(a)と、
工程(a)の後に、前記検出トランジスターを構成する第1ゲート電極を形成する工程(b)と、
工程(b)の後に、前記第1ゲート電極の少なくとも一部をマスクとして、第1導電型不純物のイオンを注入することにより、工程(a)において第2導電型不純物のイオンを注入された領域の一部の導電型を反転させて前記リセットトランジスターのチャネル領域を形成する工程(c)と、
工程(c)の後に、前記リセットトランジスターを構成する第2ゲート電極であって、平面視で前記チャネル領域の少なくとも一部と重なる領域及び平面視で前記第1ゲート電極の少なくとも一部と重なる領域にまたがって位置する前記第2ゲート電極を形成する工程(d)と、
を含む、固体撮像装置の製造方法。 - 請求項5において、
工程(d)において形成する前記第2ゲート電極は、半導体を含み、
工程(d)の後に、前記チャネル領域に隣接する領域及び前記第2ゲート電極に、第2導電型不純物のイオンを注入する工程(e)
を更に含む、固体撮像装置の製造方法。
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JP2012069376A JP2013201327A (ja) | 2012-03-26 | 2012-03-26 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
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