JP2013196800A - 光照射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ランプ光源の温度制御を容易にする光照射装置を得る。
【解決手段】ランプ光源１１を直立状態で支持した光源支持プレート５１と、ランプ光源１１が後端開口１５ａから進入し、前端開口１５ｂから光を出射する楕円反射鏡１５を支持した反射鏡支持プレート５２と、反射鏡支持プレート５２上部の空間部に設けられ、ランプ光源１１の口金１２ａを囲うとともに、光の透過窓３３ａを有したランプカバー３０と、ランプカバー３０の内側に先端部が臨み、楕円反射鏡１５の前端開口１５ｂから突出したランプ光源１１の口金１２ａに冷却風を供給するノズル４４とを備え、ランプカバー３０にはノズル４４に対向する排気孔３２ａを設けたことを特徴とする。
【選択図】図４

Description

本発明は、例えば、太陽電池に代表される各種光エネルギー利用機器の性能測定や加速劣化試験などに使用される光照射装置であって、太陽光、もしくは蛍光灯及びハロゲンランプなどの光源が出射する光と同等の光を疑似的に出射する光照射装置に関する。

例えば、疑似太陽光を照射する光照射装置において、筐体内に、ショートアーク型のランプ光源、ランプ光源からの光束を反射する楕円反射鏡を有するものが従来より知られている（例えば、特許文献１参照）。従来の光照射装置では、ランプ光源が、長手方向の両端に口金を有すると共に、中間部に発光部を有しており、楕円反射鏡内に挿入されたランプ光源の口金が強制的に空冷されるのが一般的である。

特開２０１２−０１３４５９号公報

しかし、ランプ光源においては、発光部と口金の温度を、それぞれ異なる設定温度範囲に入るにように、かつ、口金は、発光部の設定温度範囲より低い設定温度範囲内に入るように温度制御される。従来の構成では、口金に冷却風を重点的にあてて口金を冷却することで、口金の温度制御を適切に行うことができる一方、発光部の熱が周囲に逃げてしまい、発光部の温度制御を適切に行うのが難しくなる場合があった。さらに、口金を冷やす冷却風とは別の気流がランプ光源に流れ込むような場合には、ランプ光源の温度制御は、一層難しいものとなっていた。

本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、ランプ光源の温度制御を容易にする光照射装置を得ることを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の光照射装置は、ランプ光源を直立状態で支持した光源支持プレートと、前記ランプ光源が後端開口から進入し、前端開口から光を出射する反射鏡を支持した反射鏡支持プレートと、前記反射鏡支持プレートに設けられ、前記ランプ光源を囲うとともに、光の透過窓を有したランプカバーと、前記ランプカバーの内側に先端部が臨み、前記反射鏡の前端開口から突出した前記ランプ光源の口金に冷却風を供給するノズルとを備え、前記ランプカバーには前記ノズルに対向する排気孔を設けたことを特徴とする。

また、本発明は、前記光照射装置において、前記ランプ光源が、両端部に口金を有し、一方の口金が前記反射鏡の前端開口から突出すると共に、他方の口金が支持機構に支持され、この支持機構が光源支持プレートに支持されていることを特徴とする。

また、本発明は、前記光照射装置において、支持機構が、前記光源支持プレート面と平行な面内のＸ・Ｙ方向に、かつ光源支持プレート面と垂直な面内のＺ方向に移動自在に、前記ランプ光源を支持していることを特徴とする。

また、本発明は、前記光照射装置において、前記ノズル先端部を、前記ランプ光源の口金近くに延出させたことを特徴とする。

また、本発明は、前記光照射装置において、前記ノズル先端部を、前記口金のリード線と一直線状に並ばないように延出させたことを特徴とする。

また、本発明は、前記光照射装置において、前記ランプカバーに、前記透過窓を透過した光を制御する第２光学素子を配置し、前記冷却風を供給するブロワと、前記ブロワからの冷却風を前記ノズル及び前記第２光学素子に分配する分配手段とを備えたことを特徴とする。

また、本発明は、前記光照射装置において、前記分配手段が、前記ランプカバーの側面部に配置された分岐ボックスを備え、前記分岐ボックスに流入した冷却風が、前記分岐ボックス内で前記ランプカバーを貫通する前記ノズルに供給されるとともに、前記分岐ボックスから分配管を介して前記第２光学素子に供給されることを特徴とする。

本発明によれば、ランプ光源をランプカバーで囲み、さらに、口金に冷却風を供給するノズルと対向するランプカバーの部位に、排気孔を形成しているため、口金以外のランプ光源の部位は、ランプカバーにより囲まれたことにより、保温が図られると共に、冷却風は、ランプ光源に回り込むことなく、排気孔から排気されるため、ランプ光源の口金のみを効果的に冷却できる。

この発明に係る光照射装置の斜視図である。 光照射装置の上面図である。 図２のＩＩＩ−ＩＩＩ矢視断面図である。 光源ユニットの主要部の斜視図である。 プレートユニットの分解斜視図である。 反射鏡支持プレートに支持される各部材の配置関係を示す斜視図である。 図６のＶＩＩ−ＶＩＩ矢視断面図である。 図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ矢視断面図であり、冷却装置を省略して図示している。 図６において、冷却装置を省略した斜視図である。 フィルタユニットの斜視図である。 ミラーユニットの斜視図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図１〜図４において、光照射装置１は、台座２と、台座２の上部に設けられる光源ユニット１０と、光源ユニット１０に着脱自在に取り付けられるミラーユニット８０と、光源ユニット１０を駆動するための電源回路や制御基板を有する駆動部３とを備えている。
台座２は、外形が矩形で所定の厚さを有する中空の箱状に作成されている。駆動部３が、台座２の内部に設けられている。
光源ユニット１０は、ランプ光源１１と、ランプ光源１１に電力を供給するためのリード線５と、ランプ光源１１を支持してランプ光源１１の位置を調整する支持機構としてのステージ７と、ランプ光源１１からの光を反射する楕円反射鏡１５と、楕円反射鏡１５からの光を制御する第１光制御手段１７及び第２光制御手段２０とを備えている。また、光源ユニット１０は、ランプカバー３０と、ランプ光源１１及び第２光制御手段２０を冷却する冷却装置４０と、光源ユニット１０の主要構成を支持するプレートユニット５０とを備えている。

プレートユニット５０は、図４及び図５に示されるように、ランプ光源１１を支持する光源支持プレート５１と、楕円反射鏡１５を支持する反射鏡支持プレート５２と、第１光制御手段１７を支持する光学素子支持プレート５３と、これらのプレート５１〜５３を接続する複数本（ここでは、４本）のシャフト６０と、光源支持プレート５１、反射鏡支持プレート５２、及び光学素子支持プレート５３のそれぞれを、シャフト６０に固定するための固定部材６１とを備えている。
４本のシャフト６０は、同一の長さのものが用いられている。
反射鏡支持プレート５２には、４本のシャフト６０が貫通されている。また、シャフト６０の両端に、光源支持プレート５１及び光学素子支持プレート５３が反射鏡支持プレート５２と介して互いに対面するように配置されている。光源支持プレート５１、反射鏡支持プレート５２、及び光学素子支持プレート５３は、互いの間の平行度を保った状態で、それぞれ固定部材６１を介してシャフト６０に連結固定されている。

次いで、ランプ光源１１の詳細について説明する。
図６〜図９において、ランプ光源１１としては、例えば、キセノンランプ、ハロゲンランプ、メタルハライドランプ、超高圧水銀ランプなどを用いることができるが、本実施形態では、キセノンランプが用いられている。なお、このキセノンランプやハロゲンランプは、全波長域でブロードなスペクトル特性を有する。
ランプ光源１１は、長手方向の両端に口金（高電圧側）１２ａ、口金（グランド側）１２ｂを有するとともに、長手方向の中間部に、発光部１３を配した構成となっている。発光部１３は、高圧キセノンガスが封入される封体１４、及び封体１４内に配置される一対の電極（図示せず）により構成される。一対の電極に給電することにより、発光部１３から光が出射されるようになっている。
ステージ７は、ランプ光源１１を支持して、ランプ光源１１の位置を調整するものであり、互いに直交する３軸（Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸）方向のそれぞれに、ランプ光源１１を移動させることが可能になっている。
楕円反射鏡１５は、その内周面を反射面１６とする椀状をなし、光軸方向の一端に後端開口１５ａが形成され、光軸方向の他端に前端開口１５ｂが形成されている。

第１光制御手段１７は、図４に示されるように、光学素子支持プレート５３に設置される中空の直方体状のケース１８と、ケース１８に設けられるフライアイレンズ１９とを有している。ケース１８には、対面する一対の壁部に透過窓１８ａが設けられており、フライアイレンズ１９は、例えば、一方の透過窓１８ａを覆うように、ケース１８に支持されている。
第２光制御手段２０は、図４に示されるように、ランプカバー３０に支持されるフィルタユニット２１と、光学素子支持プレート５３に支持されるＮＤフィルタ２７とを備えている。
ＮＤフィルタ２７は、光量調整用の減光フィルタである。
図１０はフィルタユニット２１の斜視図である。
図１０において、フィルタユニット２１は、それぞれ、第２光学素子としての波長変換フィルタ２３及びＮＤフィルタ２４と、これらを収納するケース２２と、ケース２２に取り付けられる取っ手２６とを備えている。ケース２２は、所定の幅で所定の長さを有し、断面矩形の扁平の筒状に作製されている。ケース２２には、透過切欠き２２ａが、厚み方向に対面する一対の壁部に、ケース２２の一端に開口するように設けられており、一対の透過切欠き２２ａの間に波長変換フィルタ２３及びＮＤフィルタ２４が重ねて配置されている。波長変換フィルタ２３及びＮＤフィルタ２４の外周面は、透過切欠き２２ａの開口に露出されている。波長変換フィルタ２３は、誘電体多層膜から成り、ランプ光源１１の出射光のスペクトル特性を、太陽光、もしくは蛍光灯及びハロゲンランプなどの光源が出射する光と同等のスペクトル特性に変換するものである。また、ＮＤフィルタ２４は、光量調整用の減光フィルタである。

ランプカバー３０は、図６〜図９に示されるように、高さ方向に直交する断面が概略Ｕ字状のカバー側板３２、及びカバー側板３２の高さ方向の一端を塞ぐカバー天板３３を有するカバー本体３１を備えている。また、図７に示されるように、プレートユニット５０の側面を塞ぐ外側板３７が、ランプカバー３０の一部を兼ねる。カバー天板３３には、図９に示されるように、その中央部に、透過窓３３ａが設けられている。また、カバー側板３２のうち、互いに対面する側壁のうちの一方には、複数の排気孔３２ａが形成されている。複数の排気孔３２ａは、網目状に設けられている。これにより、ランプ光源１１が破裂した際でも、ランプ光源１１の破片が、ランプカバー３０の外部に飛散することが防止される。なお、後述するように、カバー側板３２には、排気孔３２ａと概略対面する位置に、後述のノズル４４が挿入される孔（図示せず）が形成されている。

冷却装置４０は、図６及び図７に示されるように、反射鏡支持プレート５２に支持される。
冷却装置４０は、反射鏡支持プレート５２上に設けられるブロワ４１と、ブロワ４１からの冷却風を分配して供給する分配手段４２とを備えている。
分配手段４２は、ブロワ４１から流入される冷却風が分岐して放出するための一対の接続口（図示せず）が設けられた分岐ボックス４３と、一方の接続口から突出されるノズル４４と、他方の接続口から延在される分配管としてのフィルタ冷却管４５と、フィルタ冷却管４５に設けられる流量調整バルブ４６とを備えている。ブロワ４１の駆動に連動して、分岐ボックス４３に流れ込む冷却風は、ノズル４４及びフィルタ冷却管４５のそれぞれに供給される。ノズル４４は、分岐ボックス４３内で、直接冷却風を供給される。また、流量調整バルブ４６により、冷却風の分配比率を調整して、ノズル４４とフィルタ冷却管４５に流入させることが出可能になっている。

次いで、光源ユニット１０の組み立て構造について説明する。
図１〜図４において、台座２は、光源ユニット１０を支持する面を水平にして配置されている。プレートユニット５０は、光源支持プレート５１を下方に向けるとともに、光源支持プレート５１、反射鏡支持プレート５２、及び光学素子支持プレート５３を水平にして、台座２に設けられている。
また、楕円反射鏡１５が、前端開口１５ｂを、反射鏡支持プレート５２の下面に押し当て、ばね（不図示）により当該下面に付勢し密着させた状態で、反射鏡支持プレート５２の下側に設けられている。このとき、楕円反射鏡１５は、その光軸を反射鏡支持プレート５２に直交させて配置されている。

プレート５１の一面には、ステージ７が設けられている。ステージ７のＸ・Ｙ軸方向は光源支持プレート５１の面と平行な面内にあり、Ｚ軸方向は光源支持プレート５１の面と垂直な面内にある。また、ランプ光源１１が、光軸を鉛直方向に一致させ、口金（グランド側）１２ｂをステージ７に支持されている。ランプ光源１１は、一対の電極（不図示）のうち、陽極（不図示）を上方に向けて配置されている。したがって、口金（高電圧側）１２ａが上位に位置している。ステージ７のＸ軸、Ｙ軸は、プレート５１の一面に平行な方向に設定され、ステージ７を用いて、ランプ光源１１の水平方向の位置が調整されている。また、ステージ７のＺ軸方向、言い換えれば、光源支持プレート５１に直交する方向についても、ランプ光源１１の位置が適宜調整可能である。
このランプ光源１１は、楕円反射鏡１５の後端開口１５ａから楕円反射鏡１５内に挿入されている。このランプ光源１１の口金（高電圧側）１２ａは、反射鏡支持プレート５２のランプ挿入孔５２ｂ（前端開口１５ｂ）から突出し、封体１４は、楕円反射鏡１５の反射面１６内に配置されている。このとき、楕円反射鏡１５の光軸に、ランプ光源１１の光軸が一致するように、ランプ光源１１の位置がステージ７により調節されている。

また、図６〜図９に示されるように、カバー本体３１は、上から見て、カバー側板３２と外側板３７との間に、ランプ挿入孔５２ｂを囲むように反射鏡支持プレート５２の上面に設けられている。また、カバー天板３３は、透過窓３３ａをランプ挿入孔５２ｂに対面させて、ランプ光源１１の上方に配置されている。即ち、ランプカバー３０が、反射鏡支持プレート５２上部の空間部に設けられ、ランプ挿入孔５２ｂから突出したランプ光源１１の口金１２ａが囲まれている。
また、カバー天板３３の透過窓３３ａには、図８に示されるように、楕円反射鏡１５からの光の配光を制御するレンズ３８が設けられている。また、カバー天板３３の上面には、図６に示されるように、フィルタユニット２１が設けられている。一対のガイド部材２８が、互いの間に所定の間隔をあけ、カバー天板３３の上面に沿って設けられている。さらに、フィルタユニット２１が、水平方向にスライド自在にガイド部材２８に支持されている。フィルタユニット２１は、透過切欠き２２ａを、カバー天板３３の透過窓３３ａ（レンズ３８）と対面する位置に配置したところで、ガイド部材２８の端部に設けられるストッパにより挿入方向への移動が規制されるようになっている。さらに、図３に示されるように、光学素子支持プレート５３に支持されるＮＤフィルタ２７が、フィルタユニット２１の上方に設けられている。

また、図６及び図７において、冷却装置４０が、反射鏡支持プレート５２上に設けられている。分岐ボックス４３は、カバー側板３２の一部に当接して設けられ、分岐ボックス４３から延出されるノズル４４は、カバー側板３２を貫通している。また、ブロワ４１が、分岐ボックス４３に冷却風を送り込み可能に分岐ボックス４３に隣接して設けられている。
ノズル４４の吹き出し口４４ａは、口金（高電圧側）１２ａに向けて口金１２ａの近くに配置されている。なお、ノズル４４は、反射鏡支持プレート５２に概略平行に配置されている。

また、カバー側板３２には、リード線端子９が設けられており、リード線端子９と口金１２ａとが、リード線５を介して図７に示すように接続されている。ノズル４４の先端部が、口金１２ａのリード線５と一直線上に並ばないようにノズル４４が延出されている。ここで、ノズル４４の先端部やリード線５が、楕円反射鏡１５にて反射される光束を横切ることになり、ノズル４４とリード線５のそれぞれの影が、光束の照度ムラに影響する。ノズル４４の先端中心と口金１２ａの中心を結ぶ線Ｔ１と、口金１２ａから延びるリード線５が引き出される方向を示す線Ｔ２とがなす角度θ（以下、ノズルリード線角度とする）は、１８０°に近づけすぎると、照度ムラに与える影響が増大する。また、ランプ光源１１を交換する際の交換作業の効率が低下する。ランプ光源１１の交換作業は、外側板３７を開いたときに露出されるカバー側板３２の開口部から行われることになるが、本実施形態では、ノズルリード線角度を１８０°に近づけすぎると、リード線５が、当該開口部とランプ光源１１との間の作業スペースに配置されて邪魔となる。また、ノズルリード線角度を０°に近づけると、ランプ光源１１の始動時のパルス電力が、ノズル４４に向かってしまい、ランプ光源１１の始動時の安定性が低下する。

本実施形態では、Ｕ字状のカバー側板３２の底辺３２ｂ側に、楕円反射鏡１５を近づけて配置し、この底辺３２ｂ側にノズル４４を支持すると共に、リード線端子９はＵ字状のカバー側板３２の先端３２ｃ側に配置し、ノズルリード線角度θを、１２０±５°とすることで、開口部からランプ光源１１へのアクセスが容易となり、ランプ光源１１の交換作業の効率が向上するとともに、ランプ光源１１の始動時の安定性が確保される。

また、ノズル４４の先端と概略対面するカバー側板３２の部位には、複数の排気孔３２ａが配置される。また、フィルタ冷却管４５の吹出し口４５ａ側は、ガイド部材２８の端部に連結されたストッパ２９を貫通し、吹き出し口４５ａは、透過切欠き２２ａに露出される波長変換フィルタ２３とＮＤフィルタ２４の外周面、及びＮＤフィルタ２７の外周面と相対している。
これにより、ブロワ４１が駆動されると、ランプカバー３０を貫通するノズル４４及びフィルタ冷却管４５に冷却風が供給され、それぞれの吹き出し口４４ａ，４５ａから冷却風が吹き出される。
ノズル４４からの冷却風は、口金１２ａに直接吹き付けられた後、ノズル４４と概略対面する排気孔３２ａから、ランプカバー３０の外側にスムーズに排気される。冷却風が、封体１４側に過剰に回り込むことが抑制され、封体１４の部位の保温効果を得ることができる。フィルタ冷却管４５からの冷却風は、波長変換フィルタ２３及びＮＤフィルタ２４と、これに対面するＮＤフィルタ２７の間を貫流する。波長変換フィルタ２３及びＮＤフィルタ２４とＮＤフィルタ２７が冷却される。

また、光学素子支持プレート５３の外面に、第１光制御手段１７が設けられている。なお、光学素子支持プレート５３の外面は、光源支持プレート５１と反射鏡支持プレート５２を介して対面する面とは逆側の面をいう。
このとき、第１光制御手段１７は、ケース１８の一部を透過窓５３ｂに嵌め込んで設けられる。フライアイレンズ１９は、ランプ光源１１の軸に直交するように、第２基準面５３ａに水平に配置される。また、図３及び図４に示されるように、透過窓１８ａを透過する光の遮断とその解除を行うシャッタ４が光学素子支持プレート５３に支持されている。
以上のように光源ユニット１０が構成されている。

次いで、ミラーユニット８０の構成について説明する。
図１１はミラーユニット８０の斜視図である。図１〜図３、及び図１１において、ミラーユニット８０は、所定の幅で所定の高さを有する一対の側板８１と、一対の側板８１間に支持されて、第１光制御手段１７からの光束の光路を変更するための第１及び第２光路変更反射鏡８２ａ，８２ｂと、第１及び第２光路変更反射鏡８２ａ，８２ｂを経由した光束を平行光化するコリメーション光学系８３とを備えている。
第１及び第２光路変更反射鏡８２ａ，８２ｂは、側板８１の幅方向に離間して配置される。一対の側板８１の高さ方向の一端側には、第１光路変更反射鏡８２ａに対応する位置に、入射口８４が設定され、第２光路変更反射鏡８２ｂに対応する位置に出射口８５が設定されている。

また、コリメーション光学系８３は、コリメーションレンズであり、出射口８５と第２光路変更反射鏡８２ｂとの間に配置されて側板８１に支持される。側板８１の高さ方向から入射口８４に入射される光束は、第１光路変更反射鏡８２ａで反射されて第２光路変更反射鏡８２ｂに向かう方向に進路を変更される。第２光路変更反射鏡８２ｂで反射された光束は、側板８１の高さ方向に進路を変更し、コリメーション光学系８３を透過した後、出射口８５から側板８１の高さ方向に一致する方向に出射される。
以上のようにミラーユニット８０が構成される。

ミラーユニット８０は、側板８１の高さ方向の一端面を光学素子支持プレート５３の外面に当接させて光学素子支持プレート５３に固定することで、光源ユニット１０と一体化される。このとき、ミラーユニット８０は、光学素子支持プレート５３に当接される一対の側板８１の側縁部が基準となって、光学素子支持プレート５３の外面の所定位置に位置決めされる。所定位置とは、入射口８４が、光学素子支持プレート５３に搭載された第１光制御手段１７の透過窓１８ａに対面し、かつ、出射口８５が、光源ユニット１０に隣接した位置に設置されるワークＷと対面する位置である。これにより、光照射装置１が得られる。なお、ワークＷは、太陽電池に代表される各種光エネルギー利用機器であり、ワークＷが、太陽電池である場合には、光照射装置１は、疑似太陽光を照射する疑似太陽光照射装置として用いられる。

この場合、光照射装置１では、ランプ光源１１から出射される光束Ｌは、楕円反射鏡１５の反射面１６で反射され、レンズ３８により概略平行光化される。レンズ３８を透過した光束Ｌは、さらに、フィルタユニット２１の波長変換フィルタ２３及びＮＤフィルタ２４と、その上方に位置するもう一つのＮＤフィルタ２７とを透過して、第１光制御手段１７に入射される。
フィルタユニット２１に入射された光束は、波長変換フィルタ２３により、太陽光、もしくは蛍光灯及びハロゲンランプなどの光源が出射する光と同等のスペクトル特性に変換され、ＮＤフィルタ２４により、おおよそ目標とする光強度となるように、減光させる。さらに、もう一つのＮＤフィルタ２７では、光束の減光量の微調整が行われる。
第１光制御手段１７において、透過窓１８ａと対面する位置に設けられたフライアイレンズ１９は、透過型インテグレータ光学系であり、入射されたランプ光源１１からの光束の照度ムラを打ち消して、光束をミラーユニット８０に向けて出射する。
図３に示されるように、ミラーユニット８０では、入射口８４から入射される光束Ｌの進行方向を、第１及び第２光路変更反射鏡８２ａ，８２ｂにより反転し、コリメーション光学系８３により、光束を平行光化して、コリメーション光学系８３と高さ方向に相対するワークＷに向けて、高さ方向の光軸を有する光束を出射する。

この発明に係る光照射装置１は、ランプ光源１１をランプカバー３０で囲み、さらに、口金１２ａに冷却風を供給するノズル４４と対向するランプカバー３０の部位に、排気孔３２ａを形成しているので、口金１２ａを冷却した後の冷却風は、ランプ光源１１に回り込むことなく、排気孔３２ａから排気され、口金１２ａのみが効果的に冷却されるとともに、口金１２ａ以外のランプ光源１１の部位は、反射鏡支持プレート５２の下部に取り付けられた楕円反射鏡１５内に位置するので、冷却風の影響を受けずに保温が図られる。
このため、口金１２ａに比べて高い温度に制御する封体１４などが、過剰に冷却されることを防止できる。また、ランプカバー３０の設置により、例えば、フィルタユニット２１やＮＤフィルタ２７を冷却する冷却風など、ノズル４４から供給される冷却風以外の気流が、ランプ光源１１に回り込むことを防止できる。従って、光照射装置１によれば、ランプ光源１１の温度制御を容易に行うことができる。

また、光照射装置１は、ランプ光源１１が、両端部に口金１２ａを有し、一方の口金１２ａが楕円反射鏡１５の前端開口１５ｂから突出すると共に、他方の口金１２ｂがステージ７に支持され、このステージ７が光源支持プレート５１に支持されている。
楕円反射鏡１５の後端開口１５ａから延出されるランプ光源１１の軸方向の他方の口金１２ｂを、ステージ７を介して光源支持プレート５１に支持することで、ランプ光源１１の直立状態を確認しながら、安定した状態でランプ光源１１を移動させることが可能になる。

ステージ７が、光源支持プレート５１の面と平行な面内のＸ・Ｙ方向に、かつ光源支持プレート５１の面と垂直な面内のＺ方向に前記ランプ光源１１を移動自在に、ランプ光源１１を支持しているので、ランプ光源１１を直立状態に維持したまま移動可能となる。これにより、ランプ光源１１を、反射鏡支持プレート５２に設けられた楕円反射鏡１５に対して、容易に同軸に配置することができる。
また、ノズル４４の先端部を、ランプ光源１１の口金１２ａ近くに延出させたので、効率よく口金１２ａを冷やすことができる。
また、ノズル４４の先端部を、口金１２ａのリード線５と一直線状に並ばないように延出させたので、照度ムラを極力抑えた光束を光照射装置１から供給できる。

また、ランプカバー３０に、透過窓３３ａを透過した光を制御する第２光学素子たる波長変換フィルタ２３やＮＤフィルタ２４を配置し、冷却風を供給するブロワ４１と、ブロワ４１からの冷却風をノズル４４及び第２光学素子２３，２４に分配する分配手段４２とを設けたので、口金１２ａと第２光学素子２３，２４とに、共通のブロワ４１からの冷却風を供給できる。これにより、口金１２ａ及び第２光学素子２３，２４を冷却するために、別々のブロワ４１を用意する必要がなくなり、部材コストを削減できる。
また、ランプカバー３０の側面部に、分岐ボックス４３が配置され、分岐ボックス４３内でランプカバー３０を貫通するノズル４４に、冷却風を供給できるようにしたので、ノズル４４に冷却風を送るのに余計な配管を引き回す必要もなく、分配手段４２のコストを一層削減できる。

なお、上記実施の形態では、第１光学素子は、フライアイレンズ１９であるものとして説明したが、このものに限定されず、第１光学素子は、光源ユニット１０の光学系の仕様に必要なものを適宜採用すればよい。同様に、第２光学素子は、波長変換フィルタ２３やＮＤフィルタ２４に限らず、他の種類の光学素子を適宜採用すればよい。
また、ノズル４４の吹き出し口４４ａは、口金（高電圧側）１２ａに向けて口金１２ａの近くに配置するものとして説明したが、口金１２ａに向けられていれば、口金１２ａの近くにないものでも、口金１２ａを重点的に冷却する効果は残る。

１ 光照射装置
５ リード線
７ ステージ（支持機構）
１１ ランプ光源
１２ａ，１２ｂ 口金
１５ 楕円反射鏡（反射鏡）
１５ａ 後端開口
１５ｂ 前端開口
１９ フライアイレンズ（第１光学素子）
２３ 波長変換フィルタ（第２光学素子）
２４ ＮＤフィルタ（第２光学素子）
３０ ランプカバー
３３ａ 透過窓
４１ ブロワ
４２ 分配手段
４３ 分岐ボックス
４４ ノズル
４５ フィルタ冷却管（分配管）
５１ 光源支持プレート
５２ 反射鏡支持プレート
５３ 光学素子支持プレート

Claims (7)

1. ランプ光源を直立状態で支持した光源支持プレートと、前記ランプ光源が後端開口から進入し、前端開口から光を出射する反射鏡を支持した反射鏡支持プレートと、前記反射鏡支持プレート上部の空間部に設けられ、前記ランプ光源の口金を囲うとともに、光の透過窓を有したランプカバーと、前記ランプカバーの内側に先端部が臨み、前記反射鏡の前端開口から突出した前記ランプ光源の口金に冷却風を供給するノズルとを備え、前記ランプカバーには前記ノズルに対向する排気孔を設けたことを特徴とする光照射装置。
2. 前記ランプ光源が、両端部に口金を有し、一方の口金が前記反射鏡の前端開口から突出すると共に、他方の口金が支持機構に支持され、この支持機構が光源支持プレートに支持されていることを特徴とする請求項１に記載の光照射装置。
3. 前記支持機構が、前記光源支持プレート面と平行な面内のＸ・Ｙ方向に、かつ光源支持プレート面と垂直な面内のＺ方向に移動自在に、前記ランプ光源を支持していることを特徴とする請求項２に記載の光照射装置。
4. 前記ノズル先端部を、前記ランプ光源の口金近くに延出させたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の光照射装置。
5. 前記ノズル先端部を、前記口金のリード線と一直線状に並ばないように延出させたことを特徴とする請求項４に記載の光照射装置。
6. 前記ランプカバーに、前記透過窓を透過した光を制御する第２光学素子を配置し、前記冷却風を供給するブロワと、前記ブロワからの冷却風を前記ノズル及び前記第２光学素子に分配する分配手段とを備えたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の光照射装置。
7. 前記分配手段が、前記ランプカバーの側面部に配置された分岐ボックスを備え、前記分岐ボックスに流入した冷却風が、前記分岐ボックス内で前記ランプカバーを貫通する前記ノズルに供給されるとともに、前記分岐ボックスから分配管を介して前記第２光学素子に供給されることを特徴とする請求項６に記載の光照射装置。

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