JP2013194583A - 送液装置およびその制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の送液装置は、貯蔵部に貯蔵された液状物を出力口から出力する送液装置であって、前記液状貯蔵物を送出する送液部と、前記送液部により送出された液状物の出力先を、前記出力口と前記貯蔵部のいずれかに切り替える切り替え部と、前記送液部と前記切り替え部との間の前記液状物の送液量を計測し、計測した計測送液量を示す計測結果を出力する計測部と、所定期間における前記計測部の出力に示される計測送液量の平均値および変化量を算出し、該算出した計測送液量の平均値および変化量に基づいて、前記所定期間に前記出力口から出力された前記液状物の量を算出する制御部と、を有する。
【選択図】図6
Description
貯蔵部に貯蔵された液状物を出力口から出力する送液装置であって、
前記液状物を送出する送液部と、
前記送液部により送出された液状物の出力先を、前記出力口と前記貯蔵部とのいずれかに切り替える切り替え部と、
前記送液部と前記切り替え部との間の前記液状物の送液量を計測し、計測した計測送液量を示す計測結果を出力する計測部と、
所定期間における前記計測部の出力に示される計測送液量の平均値および変化量を算出し、該算出した計測送液量の平均値および変化量に基づいて、前記所定期間に前記出力口から出力された前記液状物の量を算出する制御部と、を有する。
貯蔵部に貯蔵された液状物を送出する送液部と、前記送液部により送出された液状物の出力先を、出力口と前記貯蔵部とのいずれかに切り替える切り替え部と、を有し、前記液状物を前記出力口から出力する送液装置の制御方法あって、
前記送液部と前記切り替え部との間の前記液状物の送液量を計測し、
所定期間における前記計測した液状物の送液量の平均値および変化量を算出し、該算出した送液量の平均値および変化量に基づいて、前記所定期間に前記出力口から出力された前記液状物の量を算出する。
式(1)において、MFOutは出力量を示し、MFAveは計測送液量の平均値を示し、MFp−pは計測送液量の変化量を示す。また、α1,α2は所定の係数であり、βはオフセットである。α1,α2およびβは、例えば、多変量解析などを用いて事前に求めることができる。
11 貯蔵部
12 出力口
13 配管
14 送液部
15 出力配管
16 循環配管
17 切り替え部
18 計測部
19 制御部
21 データ取得部
22 出力量算出部
23 送液制御部
Claims (4)
- 貯蔵部に貯蔵された液状物を出力口から出力する送液装置であって、
前記液状貯蔵物を送出する送液部と、
前記送液部により送出された液状物の出力先を、前記出力口と前記貯蔵部のいずれかに切り替える切り替え部と、
前記送液部と前記切り替え部との間の前記液状物の送液量を計測し、計測した計測送液量を示す計測結果を出力する計測部と、
所定期間における前記計測部の出力に示される計測送液量の平均値および変化量を算出し、該算出した計測送液量の平均値および変化量に基づいて、前記所定期間に前記出力口から出力された前記液状物の量を算出する制御部と、を有することを特徴とする送液装置。 - 請求項1記載の送液装置であって、
前記制御部は、前記算出した前記液状物の出力量と予め設定された目標出力量との差が小さくなるように前記送液部の駆動を制御することを特徴とする送液装置。 - 貯蔵部に貯蔵された液状物を送出する送液部と、前記送液部により送出された液状物の出力先を、出力口と前記貯蔵部のいずれかに切り替える切り替え部と、を有し、前記液状物を前記出力口から出力する送液装置の制御方法あって、
前記送液部と前記切り替え部との間の前記液状物の送液量を計測し、
所定期間における前記計測した液状物の送液量の平均値および変化量を算出し、該算出した送液量の平均値および変化量に基づいて、前記所定期間に前記出力口から出力された前記液状物の量を算出することを特徴とする送液装置の制御方法。 - 請求項3記載の送液装置の制御方法であって、
前記算出した前記液状物の出力量と予め設定された目標出力量との差が小さくなるように前記送液部の駆動を制御することを特徴とする送液装置の制御方法。
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---|---|---|---|---|
JPH06231682A (ja) * | 1993-02-08 | 1994-08-19 | Hitachi Ltd | ブラウン管へのスプレ塗布装置 |
JP2000271869A (ja) * | 1999-03-25 | 2000-10-03 | Nippei Toyama Corp | 加工液供給装置 |
JP2003248516A (ja) * | 2002-02-26 | 2003-09-05 | Kawasaki Precision Machinery Ltd | 流量制御装置 |
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- 2012-03-19 JP JP2012061663A patent/JP6089423B2/ja active Active
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JP2003248516A (ja) * | 2002-02-26 | 2003-09-05 | Kawasaki Precision Machinery Ltd | 流量制御装置 |
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