JP2013191687A - Method of manufacturing optical semiconductor device, and optical semiconductor device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing an optical semiconductor device capable of suppressing peeling of a sealing agent or a lens from an optical semiconductor device component formed of a resin material.SOLUTION: The present invention relates to a method of manufacturing an optical semiconductor device 1 equipped with: an optical semiconductor element 3; an optical semiconductor device component which is made from a resin material, and is a package 2 or a substrate; and a sealing agent 4 or a lens arranged to contact to the optical semiconductor device component. The method of manufacturing the optical semiconductor device 1 related to the present invention includes: a step in which, before the sealing agent 4 or the lens is arranged, a surface of the optical semiconductor device component formed of the resin material that contacts the sealing agent 4 or the lens is subjected to plasma processing; and a step in which, after the plasma processing, the sealing agent 4 is arranged so as to seal the optical semiconductor element 3 while contacting to the optical semiconductor device component, otherwise, the lens is arranged over the optical semiconductor element 3 so as to contact to the optical semiconductor device component.

Description

本発明は、光半導体素子を封止している封止剤を備えるか、又は光半導体素子上に配置されるレンズを備える光半導体装置の製造方法及び光半導体装置に関する。   The present invention relates to an optical semiconductor device manufacturing method and an optical semiconductor device that include a sealant that seals an optical semiconductor element or a lens that is disposed on the optical semiconductor element.

発光ダイオード(LED)装置などの光半導体装置の消費電力は低く、かつ寿命は長い。また、光半導体装置は、過酷な環境下でも使用され得る。従って、光半導体装置は、携帯電話用バックライト、液晶テレビ用バックライト、自動車用ランプ、照明器具及び看板などの幅広い用途で使用されている。   An optical semiconductor device such as a light emitting diode (LED) device has low power consumption and long life. Moreover, the optical semiconductor device can be used even in a harsh environment. Accordingly, optical semiconductor devices are used in a wide range of applications such as mobile phone backlights, liquid crystal television backlights, automobile lamps, lighting fixtures, and signboards.

光半導体装置に用いられている発光素子である光半導体素子(例えばLED)が大気と直接触れると、大気中の水分又は浮遊するごみ等により、光半導体素子の発光特性が急速に低下する。このため、上記光半導体素子は、通常、封止剤により封止されている。上記のような光半導体装置の一例は、下記の特許文献1に開示されている。   When an optical semiconductor element (for example, an LED), which is a light emitting element used in an optical semiconductor device, is in direct contact with the atmosphere, the light emission characteristics of the optical semiconductor element rapidly deteriorate due to moisture in the atmosphere or floating dust. For this reason, the said optical semiconductor element is normally sealed with the sealing agent. An example of the above optical semiconductor device is disclosed in Patent Document 1 below.

例えば、表面実装型の光半導体装置では、白色の樹脂材料により形成されたパッケージの枠部内に光半導体素子が配置されている。パッケージの枠部内に、光半導体素子を封止
するように封止剤が充填されている。封止剤はパッケージと接している。光半導体素子の電極は、電気的接続部材を用いてリード電極に電気的に接続されている。電気的接続部材としては、ボンディングワイヤー及び銀ペーストなどが用いられている。リード電極は、外部電源と光半導体素子の電極とを接続している。リード電極は、光半導体素子から発せられる光を効率よく取り出すための反射板としての役割も果たす。このため、リード電極には、一般的に、反射率に優れる銀めっきが施されている。
For example, in a surface-mount type optical semiconductor device, an optical semiconductor element is arranged in a frame portion of a package formed of a white resin material. A sealant is filled in the frame portion of the package so as to seal the optical semiconductor element. The sealant is in contact with the package. The electrode of the optical semiconductor element is electrically connected to the lead electrode using an electrical connection member. As the electrical connection member, a bonding wire, a silver paste, or the like is used. The lead electrode connects the external power supply and the electrode of the optical semiconductor element. The lead electrode also serves as a reflector for efficiently extracting light emitted from the optical semiconductor element. For this reason, the lead electrode is generally subjected to silver plating having excellent reflectivity.

また、光半導体装置において、光の出射方向を制御したり、正面輝度が高くなりすぎるのを抑制したりするために、レンズ材料を用いてレンズが形成されていることがある。上記レンズが形成された光半導体装置の一例は、下記の特許文献2に開示されている。また、上記レンズは、上記封止剤の表面上に配置されていることがある。さらに、上記レンズは、光半導体素子上で、樹脂材料により形成された基板の表面に配置されていることもある。レンズは基板と接している。基板の表面には、リード電極が配置されている。光半導体素子の電極は、電気的接続部材を用いてリード電極に電気的に接続されている。   In an optical semiconductor device, a lens may be formed using a lens material in order to control the light emission direction or to suppress the front luminance from becoming too high. An example of an optical semiconductor device in which the lens is formed is disclosed in Patent Document 2 below. Moreover, the said lens may be arrange | positioned on the surface of the said sealing agent. Further, the lens may be disposed on the surface of the substrate formed of a resin material on the optical semiconductor element. The lens is in contact with the substrate. Lead electrodes are disposed on the surface of the substrate. The electrode of the optical semiconductor element is electrically connected to the lead electrode using an electrical connection member.

特開2011−009346号公報JP 2011-009346 A 特開2001−196644号公報JP 2001-196644 A

上述したような従来の光半導体装置では、一般的に、パッケージや基板が樹脂材料により形成されている。このような光半導体装置では、封止剤又はレンズが、パッケージ又は基板などの光半導体装置構成部材から剥離しやすいという問題がある。特に、光半導体装置がリフロー工程などで高温下に晒されたり、冷熱サイクルなどの熱衝撃に晒されたりすると、封止剤又はレンズが、パッケージ又は基板などの光半導体装置構成部材から剥離しやすい。   In the conventional optical semiconductor device as described above, the package and the substrate are generally formed of a resin material. In such an optical semiconductor device, there is a problem that the sealant or the lens easily peels from the optical semiconductor device constituent member such as a package or a substrate. In particular, when the optical semiconductor device is exposed to a high temperature in a reflow process or the like, or is exposed to a thermal shock such as a thermal cycle, the sealing agent or the lens easily peels from the optical semiconductor device constituent member such as a package or a substrate. .

さらに、封止剤又はレンズが、樹脂材料により形成された光半導体装置構成部材から剥離すると、光半導体装置において、含硫黄ガスなどの腐食性ガスによる電極の変色が生じることがある。また、剥離が生じると、光半導体装置が高温下や高湿度下に晒された場合に、光半導体装置から取り出される光の明るさが低下するという問題がある。   Furthermore, when the sealant or the lens is peeled off from the optical semiconductor device constituent member formed of the resin material, the optical semiconductor device may cause discoloration of the electrode due to corrosive gas such as sulfur-containing gas. Further, when peeling occurs, there is a problem that the brightness of light extracted from the optical semiconductor device is lowered when the optical semiconductor device is exposed to high temperature or high humidity.

本発明は、封止剤又はレンズが、樹脂材料により形成された光半導体装置構成部材から剥離するのを抑制できる光半導体装置の製造方法及び光半導体装置を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a method of manufacturing an optical semiconductor device and an optical semiconductor device capable of suppressing the sealing agent or lens from being peeled off from an optical semiconductor device constituent member formed of a resin material.

本発明の広い局面によれば、光半導体素子と、樹脂材料により形成されておりかつパッケージ又は基板である光半導体装置構成部材と、前記光半導体素子を封止するようにかつ前記光半導体装置構成部材と接するように配置された封止剤、又は前記光半導体素子上に前記光半導体装置構成部材と接するように配置されたレンズとを備える光半導体装置の製造方法であって、前記封止剤又は前記レンズを配置する前に、樹脂材料により形成されている前記光半導体装置構成部材の前記封止剤又は前記レンズと接する表面をプラズマ処理する工程と、プラズマ処理後に、前記光半導体素子を封止するようにかつ前記光半導体装置構成部材と接するように封止剤を配置するか、又は前記光半導体素子上に前記光半導体装置構成部材と接するようにレンズを配置する工程とを備える、光半導体装置の製造方法が提供される。   According to a wide aspect of the present invention, an optical semiconductor element, an optical semiconductor device constituent member formed of a resin material and being a package or a substrate, and the optical semiconductor device configuration so as to seal the optical semiconductor element An optical semiconductor device manufacturing method comprising: a sealant disposed in contact with a member; or a lens disposed on the optical semiconductor element in contact with the optical semiconductor device constituent member, wherein the sealant Alternatively, before placing the lens, a step of plasma-treating the surface of the optical semiconductor device constituent member formed of a resin material in contact with the sealant or the lens, and after the plasma treatment, the optical semiconductor element is sealed. The sealing agent is disposed so as to stop and contact with the optical semiconductor device constituent member, or the sealant is placed on the optical semiconductor element so as to contact the optical semiconductor device constituent member. And a step of disposing a's, method for manufacturing the optical semiconductor device is provided.

本発明に係る光半導体装置の製造方法のある特定の局面では、前記プラズマ処理が、大気圧プラズマ処理である。   On the specific situation with the manufacturing method of the optical semiconductor device which concerns on this invention, the said plasma processing is atmospheric pressure plasma processing.

本発明に係る光半導体装置の製造方法のある特定の局面では、該光半導体装置の製造方法は、前記光半導体素子と、樹脂材料により形成されており、枠部を有し、かつパッケージである前記光半導体装置構成部材と、前記光半導体装置構成部材と接するようにかつ前記光半導体素子を封止するように前記枠部内に配置された前記封止剤とを備える光半導体装置の製造方法であって、前記封止剤を配置する前に、前記光半導体装置構成部材の前記封止剤と接する表面をプラズマ処理する工程と、プラズマ処理後に、前記光半導体素子を封止するようにかつ前記光半導体装置構成部材と接するように前記封止剤を前記枠部内に配置する工程とを備える。   In a specific aspect of the method for manufacturing an optical semiconductor device according to the present invention, the method for manufacturing an optical semiconductor device is formed of the optical semiconductor element and a resin material, has a frame portion, and is a package. An optical semiconductor device manufacturing method comprising: the optical semiconductor device constituent member; and the sealing agent disposed in the frame portion so as to be in contact with the optical semiconductor device constituent member and to seal the optical semiconductor element. A step of plasma-treating a surface of the optical semiconductor device constituting member in contact with the sealant before disposing the sealant, and sealing the optical semiconductor element after the plasma treatment; A step of arranging the sealant in the frame portion so as to be in contact with the optical semiconductor device constituent member.

本発明に係る光半導体装置の製造方法のある特定の局面では、前記封止剤及び前記レンズが、硬化性組成物を硬化させることにより形成されており、前記硬化性組成物が、アルケニル基を2個以上有する第1のオルガノポリシロキサンと、珪素原子に結合した水素原子を2個以上有する第2のオルガノポリシロキサンと、ヒドロシリル化反応用触媒とを含む。   In a specific aspect of the method for producing an optical semiconductor device according to the present invention, the sealing agent and the lens are formed by curing a curable composition, and the curable composition has an alkenyl group. A first organopolysiloxane having two or more, a second organopolysiloxane having two or more hydrogen atoms bonded to silicon atoms, and a hydrosilylation reaction catalyst.

本発明に係る光半導体装置の製造方法のある特定の局面では、前記硬化性組成物が接着付与剤をさらに含む。前記接着付与剤がシランカップリング剤であることが好ましい。前記接着付与剤がウレイド基を有する第1のシラン化合物を含むことが好ましい。   On the specific situation with the manufacturing method of the optical semiconductor device which concerns on this invention, the said curable composition further contains an adhesion imparting agent. The adhesion imparting agent is preferably a silane coupling agent. It is preferable that the adhesion-imparting agent contains a first silane compound having a ureido group.

前記接着付与剤が、ウレイド基を有する第1のシラン化合物と、エポキシ基、ビニル基又は(メタ)アクリロイル基を有する第2のシラン化合物とを含むことが好ましい。   The adhesion imparting agent preferably contains a first silane compound having a ureido group and a second silane compound having an epoxy group, a vinyl group or a (meth) acryloyl group.

本発明に係る光半導体装置の製造方法のある特定の局面では、前記第1のオルガノポリシロキサンにおける珪素原子に結合した全官能基のうち、メチル基の占める個数比率が80%以上であり、前記第2のオルガノポリシロキサンにおける珪素原子に結合した全官能基のうち、メチル基の占める個数比率が80%以上である。   In a specific aspect of the method for manufacturing an optical semiconductor device according to the present invention, among all functional groups bonded to silicon atoms in the first organopolysiloxane, the number ratio of methyl groups is 80% or more, Of all the functional groups bonded to silicon atoms in the second organopolysiloxane, the number ratio of methyl groups is 80% or more.

本発明に係る光半導体装置の製造方法のある特定の局面では、前記第1のオルガノポリシロキサンにおける珪素原子に結合した全官能基のうち、アリール基の占める個数比率が30%以上、70%以下であり、前記第2のオルガノポリシロキサンにおける珪素原子に結合した全官能基のうち、アリール基の占める個数比率が30%以上、70%以下である。   In a specific aspect of the method for manufacturing an optical semiconductor device according to the present invention, among all the functional groups bonded to silicon atoms in the first organopolysiloxane, the number ratio of the aryl group is 30% or more and 70% or less. Of the total functional groups bonded to silicon atoms in the second organopolysiloxane, the number ratio of the aryl group is 30% or more and 70% or less.

本発明に係る光半導体装置の製造方法のある特定の局面では、前記第1のオルガノポリシロキサンが、珪素原子に結合した水素原子を有さず、前記第2のオルガノポリシロキサンが、アルケニル基を有する。   In a specific aspect of the method for manufacturing an optical semiconductor device according to the present invention, the first organopolysiloxane does not have a hydrogen atom bonded to a silicon atom, and the second organopolysiloxane has an alkenyl group. Have.

本発明に係る光半導体装置の製造方法のある特定の局面では、前記第1のオルガノポリシロキサンが、下記式(1A)で表され、アルケニル基及び珪素原子に結合したメチル基を有する第1のオルガノポリシロキサンであり、かつ前記第2のオルガノポリシロキサンが、下記式(51A)で表され、珪素原子に結合した水素原子及び珪素原子に結合したメチル基を有する第2のオルガノポリシロキサンであるか、又は、前記第1のオルガノポリシロキサンが、下記式(1B)で表され、アリール基及びアルケニル基を有する第1のオルガノポリシロキサンであり、かつ前記第2のオルガノポリシロキサンが、下記式(51B)で表され、アリール基及び珪素原子に結合した水素原子を有する第2のオルガノポリシロキサンである。   In a specific aspect of the method for manufacturing an optical semiconductor device according to the present invention, the first organopolysiloxane is represented by the following formula (1A), and has a alkenyl group and a methyl group bonded to a silicon atom. It is an organopolysiloxane, and the second organopolysiloxane is a second organopolysiloxane represented by the following formula (51A) and having a hydrogen atom bonded to a silicon atom and a methyl group bonded to a silicon atom. Or the first organopolysiloxane is represented by the following formula (1B), is a first organopolysiloxane having an aryl group and an alkenyl group, and the second organopolysiloxane is represented by the following formula: A second organopolysiloxane represented by (51B) and having a hydrogen atom bonded to an aryl group and a silicon atom.

Figure 2013191687
Figure 2013191687

前記式(1A)中、a、b及びcは、a/(a+b+c)=0〜0.30、b/(a+b+c)=0.70〜1.0及びc/(a+b+c)=0〜0.10を満たし、R1〜R6は、少なくとも1個がアルケニル基を表し、少なくとも1個がメチル基を表し、アルケニル基及びメチル基以外のR1〜R6は、炭素数2〜8の炭化水素基を表す。   In the formula (1A), a, b and c are a / (a + b + c) = 0 to 0.30, b / (a + b + c) = 0.70 to 1.0 and c / (a + b + c) = 0 to 0. 10, R1 to R6 each represents at least one alkenyl group, at least one represents a methyl group, and R1 to R6 other than the alkenyl group and the methyl group represent a hydrocarbon group having 2 to 8 carbon atoms. .

Figure 2013191687
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前記式(51A)中、p、q及びrは、p/(p+q+r)=0.10〜0.50、q/(p+q+r)=0〜0.40及びr/(p+q+r)=0.40〜0.90を満たし、R51〜R56は、少なくとも1個が水素原子を表し、少なくとも1個がメチル基を表し、水素原子及びメチル基以外のR51〜R56は、炭素数2〜8の炭化水素基を表す。   In the formula (51A), p, q and r are p / (p + q + r) = 0.10 to 0.50, q / (p + q + r) = 0 to 0.40 and r / (p + q + r) = 0.40. 0.90 is satisfied, R51 to R56 each represents at least one hydrogen atom, at least one represents a methyl group, and R51 to R56 other than the hydrogen atom and the methyl group are hydrocarbon groups having 2 to 8 carbon atoms. Represents.

Figure 2013191687
Figure 2013191687

前記式(1B)中、a、b及びcは、a/(a+b+c)=0〜0.50、b/(a+b+c)=0.40〜1.0及びc/(a+b+c)=0〜0.50を満たし、R1〜R6は、少なくとも1個がアリール基を表し、少なくとも1個がアルケニル基を表し、アリール基及びアルケニル基以外のR1〜R6は、炭素数1〜8の炭化水素基を表す。   In the formula (1B), a, b and c are a / (a + b + c) = 0 to 0.50, b / (a + b + c) = 0.40 to 1.0 and c / (a + b + c) = 0 to 0. 50, R1 to R6 represent at least one aryl group, at least one represents an alkenyl group, and R1 to R6 other than the aryl group and the alkenyl group represent a hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms. .

Figure 2013191687
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前記式(51B)中、p、q及びrは、p/(p+q+r)=0.05〜0.50、q/(p+q+r)=0.05〜0.50及びr/(p+q+r)=0.20〜0.80を満たし、R51〜R56は、少なくとも1個がアリール基を表し、少なくとも1個が水素原子を表し、アリール基及び水素原子以外のR51〜R56は、炭素数1〜8の炭化水素基を表す。   In the formula (51B), p, q and r are p / (p + q + r) = 0.05 to 0.50, q / (p + q + r) = 0.05 to 0.50 and r / (p + q + r) = 0. 20 to 0.80 are satisfied, R51 to R56 each represents at least one aryl group, at least one represents a hydrogen atom, and R51 to R56 other than the aryl group and the hydrogen atom are carbon atoms having 1 to 8 carbon atoms. Represents a hydrogen group.

本発明に係る光半導体装置の製造方法のある特定の局面では、前記式(1A)又は前記式(1B)で表される第1のオルガノポリシロキサンが、珪素原子に結合した水素原子を有さず、前記式(51A)又は前記式(51B)で表される第2のオルガノポリシロキサンが、アルケニル基を有し、前記式(51A)中、R51〜R56は、少なくとも1個が水素原子を表し、少なくとも1個がメチル基を表し、少なくとも1個がアルケニル基を表し、水素原子、メチル基及びアルケニル基以外のR51〜R56は、炭素数2〜8の炭化水素基を表し、前記式(51B)中、R51〜R56は、少なくとも1個がアリール基を表し、少なくとも1個が水素原子を表し、少なくとも1個がアルケニル基を表し、アリール基、水素原子及びアルケニル基以外のR51〜R56は、炭素数1〜8の炭化水素基を表す。   In a specific aspect of the method for manufacturing an optical semiconductor device according to the present invention, the first organopolysiloxane represented by the formula (1A) or the formula (1B) has a hydrogen atom bonded to a silicon atom. The second organopolysiloxane represented by the formula (51A) or the formula (51B) has an alkenyl group, and in the formula (51A), at least one of R51 to R56 has a hydrogen atom. And at least one represents a methyl group, at least one represents an alkenyl group, R51 to R56 other than a hydrogen atom, a methyl group and an alkenyl group represent a hydrocarbon group having 2 to 8 carbon atoms, and the above formula ( 51B), at least one of R51 to R56 represents an aryl group, at least one represents a hydrogen atom, at least one represents an alkenyl group, an aryl group, a hydrogen atom and an alkenyl R51~R56 except represents a hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.

本発明に係る光半導体装置の製造方法のある特定の局面では、前記第1のオルガノポリシロキサンが、前記式(1A)で表され、かつ前記第2のオルガノポリシロキサンが前記式(51A)で表される。   In a specific aspect of the method for manufacturing an optical semiconductor device according to the present invention, the first organopolysiloxane is represented by the formula (1A), and the second organopolysiloxane is represented by the formula (51A). expressed.

本発明の広い局面によれば、光半導体素子と、樹脂材料により形成されておりかつパッケージ又は基板である光半導体装置構成部材と、前記光半導体素子を封止するようにかつ前記光半導体装置構成部材と接するように配置された封止剤、又は前記光半導体素子上に前記光半導体装置構成部材と接するように配置されたレンズとを備え、樹脂材料により形成されている前記光半導体装置構成部材の前記封止剤又は前記レンズと接する表面がプラズマ処理されている、半導体装置が提供される。   According to a wide aspect of the present invention, an optical semiconductor element, an optical semiconductor device constituent member formed of a resin material and being a package or a substrate, and the optical semiconductor device configuration so as to seal the optical semiconductor element The optical semiconductor device constituent member, comprising: a sealant disposed in contact with a member, or a lens disposed on the optical semiconductor element so as to contact the optical semiconductor device constituent member, and formed of a resin material A semiconductor device is provided in which a surface in contact with the sealant or the lens is subjected to plasma treatment.

本発明に係る光半導体装置のある特定の局面では、前記プラズマ処理が、大気圧プラズマ処理である。   In a specific aspect of the optical semiconductor device according to the present invention, the plasma processing is atmospheric pressure plasma processing.

本発明に係る光半導体装置のある特定の局面では、該光半導体装置は、前記光半導体素子と、樹脂材料により形成されており、枠部を有し、かつパッケージである前記光半導体装置構成部材と、前記光半導体素子を封止するようにかつ前記光半導体装置構成部材と接するように前記枠部内に配置された前記封止剤とを備え、樹脂材料により形成されている前記光半導体装置構成部材の前記封止剤と接する表面がプラズマ処理されている。   In a specific aspect of the optical semiconductor device according to the present invention, the optical semiconductor device is formed of the optical semiconductor element and a resin material, has a frame portion, and is a package. And the sealing agent disposed in the frame so as to seal the optical semiconductor element and in contact with the optical semiconductor device constituent member, the optical semiconductor device configuration formed of a resin material The surface of the member in contact with the sealant is plasma treated.

本発明の光半導体装置の製造方法は、封止剤又はレンズを配置する前に、樹脂材料により形成されている光半導体装置構成部材の封止剤又はレンズと接する表面をプラズマ処理する工程と、プラズマ処理後に、光半導体素子を封止するようにかつ光半導体装置構成部材と接するように封止剤を配置するか、又は光半導体素子上に光半導体装置構成部材と接するようにレンズを配置する工程とを備えるので、封止剤又はレンズが、樹脂材料により形成された光半導体装置構成部材から剥離するのを抑制できる光半導体装置を提供できる。   The method for producing an optical semiconductor device of the present invention includes a step of plasma-treating a surface of the optical semiconductor device constituent member formed of a resin material in contact with the sealant or the lens before disposing the sealant or the lens, After the plasma treatment, a sealing agent is disposed so as to seal the optical semiconductor element and in contact with the optical semiconductor device constituent member, or a lens is disposed on the optical semiconductor element so as to contact the optical semiconductor device constituent member. Therefore, it is possible to provide an optical semiconductor device capable of suppressing the sealant or the lens from being peeled off from the optical semiconductor device constituent member formed of the resin material.

本発明に係る光半導体装置は、樹脂材料により形成されている光半導体装置構成部材の封止剤又はレンズと接する表面がプラズマ処理されているので、封止剤又はレンズが、樹脂材料により形成された光半導体装置構成部材から剥離するのを抑制できる。   In the optical semiconductor device according to the present invention, the surface of the optical semiconductor device constituting member formed of the resin material that is in contact with the sealant or the lens is subjected to plasma treatment. Therefore, the sealant or the lens is formed of the resin material. Peeling from the optical semiconductor device constituent member can be suppressed.

図1(a)及び(b)は、本発明の第1の実施形態に係る光半導体装置の製造方法により得られる光半導体装置を示す正面断面図及び斜視図である。1A and 1B are a front sectional view and a perspective view showing an optical semiconductor device obtained by the method for manufacturing an optical semiconductor device according to the first embodiment of the present invention. 図2は、本発明の第2の実施形態に係る光半導体装置の製造方法により得られる光半導体装置を示す正面断面図である。FIG. 2 is a front sectional view showing an optical semiconductor device obtained by the method for manufacturing an optical semiconductor device according to the second embodiment of the present invention. 図3は、本発明の第3の実施形態に係る光半導体装置の製造方法により得られる光半導体装置を示す正面断面図である。FIG. 3 is a front sectional view showing an optical semiconductor device obtained by the method for manufacturing an optical semiconductor device according to the third embodiment of the present invention.

以下、本発明の詳細を説明する。   Details of the present invention will be described below.

本発明に係る光半導体装置の製造方法は、光半導体素子と、樹脂材料により形成されておりかつパッケージ又は基板である光半導体装置構成部材と、上記光半導体素子を封止するようにかつ上記光半導体装置構成部材と接するように配置された封止剤、又は上記光半導体素子上に上記光半導体装置構成部材と接するように配置されたレンズとを備える光半導体装置の製造方法である。本発明に係る光半導体装置の製造方法は、上記封止剤又は上記レンズを配置する前に、樹脂材料により形成されている上記光半導体装置構成部材の上記封止剤又は上記レンズと接する表面をプラズマ処理する工程と、プラズマ処理後に、上記光半導体素子を封止するようにかつ上記光半導体装置構成部材と接するように封止剤を配置するか、又は上記光半導体素子上に上記光半導体装置構成部材と接するようにレンズを配置する工程とを備える。   An optical semiconductor device manufacturing method according to the present invention includes: an optical semiconductor element; an optical semiconductor device constituent member that is formed of a resin material and that is a package or a substrate; and the optical semiconductor element is sealed. It is a manufacturing method of an optical semiconductor device provided with the sealing agent arrange | positioned in contact with a semiconductor device structural member, or the lens arrange | positioned on the said optical semiconductor element so that the said optical semiconductor device structural member may be contact | connected. The method for manufacturing an optical semiconductor device according to the present invention includes the step of arranging the surface of the optical semiconductor device constituting member formed of a resin material in contact with the sealing agent or the lens before the sealing agent or the lens is disposed. A step of performing plasma treatment, and after the plasma treatment, a sealing agent is disposed so as to seal the optical semiconductor element and in contact with the constituent member of the optical semiconductor device, or the optical semiconductor device on the optical semiconductor element And a step of arranging a lens so as to be in contact with the structural member.

上述した構成の採用により、特に樹脂材料により形成されている光半導体装置構成部材の表面がプラズマ処理されているとによって、封止剤又はレンズが、樹脂材料により形成された光半導体装置構成部材から剥離するのを抑制することができる光半導体装置が得られる。   By adopting the above-described configuration, particularly when the surface of the optical semiconductor device constituent member formed of the resin material is subjected to plasma treatment, the sealing agent or the lens is removed from the optical semiconductor device constituent member formed of the resin material. An optical semiconductor device capable of suppressing peeling is obtained.

本発明に係る光半導体装置は、光半導体素子と、樹脂材料により形成されておりかつパッケージ又は基板である光半導体装置構成部材と、上記光半導体素子を封止するようにかつ上記光半導体装置構成部材と接するように配置された封止剤、又は上記光半導体素子上に上記光半導体装置構成部材と接するように配置されたレンズとを備える。本発明に係る光半導体装置では、樹脂材料により形成されている上記光半導体装置構成部材の上記封止剤又は上記レンズと接する表面がプラズマ処理されている。   An optical semiconductor device according to the present invention includes an optical semiconductor element, an optical semiconductor device constituent member formed of a resin material and being a package or a substrate, and the optical semiconductor device configuration so as to seal the optical semiconductor element. A sealant disposed in contact with the member, or a lens disposed on the optical semiconductor element so as to be in contact with the optical semiconductor device constituent member. In the optical semiconductor device according to the present invention, the surface of the optical semiconductor device constituent member formed of a resin material that is in contact with the sealing agent or the lens is subjected to plasma treatment.

上述した構成の採用により、特に樹脂材料により形成されている光半導体装置構成部材がプラズマ処理されているとによって、光半導体装置において、封止剤又はレンズが、樹脂材料により形成された光半導体装置構成部材から剥離するのを抑制できる。特に、光半導体装置が、リフロー工程などで高温下に晒されたり、冷熱サイクルなどの熱衝撃に晒されたりしても、封止剤又はレンズの光半導体装置構成部材からの剥離を抑制できる。   In the optical semiconductor device, the optical semiconductor device in which the sealing agent or the lens is formed of the resin material is obtained by adopting the above-described configuration, in particular, that the optical semiconductor device constituent member formed of the resin material is subjected to plasma treatment. It can suppress peeling from a structural member. In particular, even if the optical semiconductor device is exposed to a high temperature in a reflow process or the like, or is exposed to a thermal shock such as a cooling / heating cycle, peeling of the sealant or the lens from the optical semiconductor device constituent member can be suppressed.

封止剤又はレンズが、樹脂材料により形成された光半導体装置構成部材から剥離するのを抑制することができる結果として、光半導体装置において、含硫黄ガスなどの腐食性ガスによる電極の変色を抑制することができる。さらに、光半導体装置が高温下や高湿度下に晒されても、封止剤又はレンズの光半導体装置構成部材からの剥離を抑制できる結果、光半導体装置から取り出される光の明るさの低下を抑制できる。従って、本発明では、信頼性に優れた光半導体装置を得ることができる。   Suppresses discoloration of electrodes due to corrosive gas such as sulfur-containing gas in optical semiconductor device as a result of suppressing sealing agent or lens from peeling from optical semiconductor device components formed of resin material can do. Furthermore, even if the optical semiconductor device is exposed to high temperature or high humidity, it is possible to suppress the peeling of the sealant or the lens from the optical semiconductor device constituent member, thereby reducing the brightness of light extracted from the optical semiconductor device. Can be suppressed. Therefore, in the present invention, an optical semiconductor device with excellent reliability can be obtained.

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態及び実施例を説明することにより、本発明を明らかにする。   Hereinafter, the present invention will be clarified by describing specific embodiments and examples of the present invention with reference to the drawings.

図1(a)及び(b)は、本発明の第1の実施形態に係る光半導体装置の製造方法により得られる光半導体装置を示す正面断面図及び斜視図である。   1A and 1B are a front sectional view and a perspective view showing an optical semiconductor device obtained by the method for manufacturing an optical semiconductor device according to the first embodiment of the present invention.

図1に示す光半導体装置1は、樹脂材料により形成された光半導体装置構成部材であるパッケージ2を有する。パッケージ2はハウジングとも呼ばれている。パッケージ2は枠部2aを有する。枠部2aは環状である。パッケージ2は上方に、凹部を有する。枠部2aは、パッケージ2の凹部の一部を構成している外壁部である。パッケージ2の枠部2a内に光半導体素子3が配置されている。枠部2aの内面は光反射性を有する。光半導体素子3の周囲は、枠部2aの内面により囲まれている。光半導体素子3は、LEDなどの発光素子である。   An optical semiconductor device 1 shown in FIG. 1 includes a package 2 that is an optical semiconductor device constituent member formed of a resin material. Package 2 is also called a housing. The package 2 has a frame portion 2a. The frame part 2a is annular. The package 2 has a recess on the upper side. The frame portion 2 a is an outer wall portion that constitutes a part of the concave portion of the package 2. An optical semiconductor element 3 is disposed in the frame 2 a of the package 2. The inner surface of the frame part 2a has light reflectivity. The periphery of the optical semiconductor element 3 is surrounded by the inner surface of the frame portion 2a. The optical semiconductor element 3 is a light emitting element such as an LED.

枠部2aの内面は、内面の径が開口端に向かうにつれて大きくなるように形成されている。従って、光半導体素子3から発せられた光のうち、枠部2aの内面に到達した光が内面により反射され、光半導体素子3の前方側に進行する。   The inner surface of the frame portion 2a is formed so that the diameter of the inner surface becomes larger toward the opening end. Therefore, of the light emitted from the optical semiconductor element 3, the light that has reached the inner surface of the frame portion 2 a is reflected by the inner surface and travels forward of the optical semiconductor element 3.

光半導体素子3を封止するように、枠部2a内に封止剤4が充填されている。パッケージ2の枠部2a内で光半導体素子3が封止剤4により封止されている。封止剤4の周囲は、枠部2aの内面により囲まれている。封止剤4の外周面は、枠部2aの内周面と接している。従って、封止剤4は、枠部2aの内面において、樹脂材料により形成されたパッケージ2と接している。封止剤4は、硬化性組成物である封止剤を硬化させることにより形成されていることが好ましい。   A sealing agent 4 is filled in the frame portion 2 a so as to seal the optical semiconductor element 3. The optical semiconductor element 3 is sealed with a sealant 4 in the frame 2 a of the package 2. The periphery of the sealing agent 4 is surrounded by the inner surface of the frame portion 2a. The outer peripheral surface of the sealing agent 4 is in contact with the inner peripheral surface of the frame portion 2a. Therefore, the sealing agent 4 is in contact with the package 2 formed of a resin material on the inner surface of the frame portion 2a. It is preferable that the sealing agent 4 is formed by hardening the sealing agent which is a curable composition.

光半導体装置1は、リードフレーム5を有する。リードフレーム5上に、光半導体素子3が配置されている。また、リードフレーム5上に、パッケージ2の一部が配置されており、枠部2aが配置されている。複数のリードフレーム5間とリードフレーム5の下方にも、パッケージ2の一部が配置されている。リードフレーム5の光半導体素子3が上方に配置されている部分の下方に、パッケージ2の一部が配置されている。リードフレーム5上に配置されているパッケージ2と、リードフレーム5の下方に配置されているパッケージ2とは、一体的に構成されているが、異なる部材で構成されていてもよい。   The optical semiconductor device 1 has a lead frame 5. An optical semiconductor element 3 is arranged on the lead frame 5. Further, a part of the package 2 is disposed on the lead frame 5, and the frame portion 2a is disposed. A part of the package 2 is also disposed between the plurality of lead frames 5 and below the lead frames 5. A part of the package 2 is disposed below the portion of the lead frame 5 where the optical semiconductor element 3 is disposed above. The package 2 disposed on the lead frame 5 and the package 2 disposed below the lead frame 5 are integrally formed, but may be formed of different members.

光半導体素子3は、リードフレーム5上に、ダイボンド材6を用いて接続されている。光半導体素子3に設けられたボンディングパッド(図示せず)とリードフレーム5とが、ボンディングワイヤー7により電気的に接続されている。ボンディングワイヤー7を封止するように、枠部2a内に封止剤4が充填されている。   The optical semiconductor element 3 is connected to the lead frame 5 using a die bond material 6. A bonding pad (not shown) provided on the optical semiconductor element 3 and the lead frame 5 are electrically connected by a bonding wire 7. The sealing agent 4 is filled in the frame portion 2 a so as to seal the bonding wire 7.

図2は、本発明の第2の実施形態に係る光半導体装置の製造方法により得られる光半導体装置を示す正面断面図である。   FIG. 2 is a front sectional view showing an optical semiconductor device obtained by the method for manufacturing an optical semiconductor device according to the second embodiment of the present invention.

図2に示す光半導体装置11は、樹脂材料により形成された光半導体装置構成部材であるパッケージ2を有する。パッケージ2の枠部2a内に光半導体素子3が配置されている。光半導体素子3を封止するように、枠部2a内に封止剤12が充填されている。すなわち、パッケージ2の枠部2a内で光半導体素子3が封止剤12により封止されている。封止剤12は、枠部2aの内面において、樹脂材料により形成されたパッケージ2と接している。従って、封止剤12は、樹脂材料により形成されたパッケージ2と接している。封止剤12は、硬化性組成物である封止剤を硬化させることにより形成されていることが好ましい。   An optical semiconductor device 11 illustrated in FIG. 2 includes a package 2 that is an optical semiconductor device constituent member formed of a resin material. An optical semiconductor element 3 is disposed in the frame 2 a of the package 2. The sealing agent 12 is filled in the frame portion 2 a so as to seal the optical semiconductor element 3. That is, the optical semiconductor element 3 is sealed with the sealant 12 in the frame 2 a of the package 2. The sealant 12 is in contact with the package 2 formed of a resin material on the inner surface of the frame portion 2a. Therefore, the sealing agent 12 is in contact with the package 2 formed of a resin material. It is preferable that the sealing agent 12 is formed by hardening the sealing agent which is a curable composition.

さらに、光半導体装置11では、封止剤12上に、レンズ13が配置されている。レンズ13の下面の外周縁が、枠部2aの上面と接している。従って、レンズ13は、枠部2aの上面において、樹脂材料により形成されたパッケージ2と接している。レンズ13は、硬化性組成物であるレンズ材料を硬化させることにより形成されていることが好ましい。   Further, in the optical semiconductor device 11, a lens 13 is disposed on the sealant 12. The outer peripheral edge of the lower surface of the lens 13 is in contact with the upper surface of the frame portion 2a. Therefore, the lens 13 is in contact with the package 2 made of a resin material on the upper surface of the frame portion 2a. The lens 13 is preferably formed by curing a lens material that is a curable composition.

図3に、本発明の第3の実施形態に係る光半導体装置の製造方法により得られる光半導体装置を示す正面断面図である。   FIG. 3 is a front sectional view showing an optical semiconductor device obtained by the method for manufacturing an optical semiconductor device according to the third embodiment of the present invention.

図3に示す光半導体装置21は、端子26が上面に配置された基板22上に、光半導体素子23が配置されている。基板22は、樹脂材料により形成されている光半導体装置構成部材である。光半導体素子23の上面に配置された電極23aと、基板22の上面に配置された端子26とが、ボンディングワイヤー24により電気的に接続されている。さらに、光半導体装置21では、光半導体素子23上に、レンズ25が配置されている。レンズ25は、光半導体素子23の表面とボンディングワイヤー24とを覆っている。レンズ25は、樹脂材料により形成された基板22と接している。レンズ25は、硬化性組成物であるレンズ材料を硬化させることにより形成されていることが好ましい。   In the optical semiconductor device 21 shown in FIG. 3, an optical semiconductor element 23 is arranged on a substrate 22 on which terminals 26 are arranged on the upper surface. The substrate 22 is an optical semiconductor device constituent member made of a resin material. An electrode 23 a disposed on the upper surface of the optical semiconductor element 23 and a terminal 26 disposed on the upper surface of the substrate 22 are electrically connected by a bonding wire 24. Further, in the optical semiconductor device 21, a lens 25 is disposed on the optical semiconductor element 23. The lens 25 covers the surface of the optical semiconductor element 23 and the bonding wire 24. The lens 25 is in contact with the substrate 22 made of a resin material. The lens 25 is preferably formed by curing a lens material that is a curable composition.

図1,2に示す光半導体装置1,11では、封止剤4,12及びレンズ13と接するパッケージ2の表面がプラズマ処理されている。パッケージ2の表面は、封止剤4,12及びレンズ13を配置する前に、すなわち封止剤4,12及びレンズ13が接する前に、プラズマ処理されている。プラズマ処理後にパッケージ2に接するように、封止剤4,12及びレンズ13が配置されている。また、枠部2aに接するように、封止剤4,12及びレンズ13が配置されている。   In the optical semiconductor devices 1 and 11 shown in FIGS. 1 and 2, the surface of the package 2 in contact with the sealants 4 and 12 and the lens 13 is subjected to plasma treatment. The surface of the package 2 is plasma-treated before the sealing agents 4 and 12 and the lens 13 are arranged, that is, before the sealing agents 4 and 12 and the lens 13 are in contact with each other. Sealants 4 and 12 and a lens 13 are arranged so as to come into contact with the package 2 after the plasma treatment. Moreover, the sealing agents 4 and 12 and the lens 13 are disposed so as to be in contact with the frame portion 2a.

図3に示す光半導体装置21では、レンズ25と接する基板22の表面がプラズマ処理されている。基板22の表面は、レンズ25を配置する前に、すなわちレンズ25が接する前に、プラズマ処理されている。プラズマ処理後に基板22に接するように、レンズが配置されている。   In the optical semiconductor device 21 shown in FIG. 3, the surface of the substrate 22 in contact with the lens 25 is subjected to plasma treatment. The surface of the substrate 22 is subjected to plasma treatment before the lens 25 is disposed, that is, before the lens 25 contacts. A lens is disposed so as to be in contact with the substrate 22 after the plasma processing.

なお、図1〜3に示す構造は、本発明に係る光半導体装置の一例にすぎず、光半導体装置の実装構造等は適宜変形され得る。   The structures shown in FIGS. 1 to 3 are merely examples of the optical semiconductor device according to the present invention, and the mounting structure and the like of the optical semiconductor device can be modified as appropriate.

樹脂材料により形成されている上記光半導体装置構成部材の上記封止剤と接する表面をプラズマ処理することが好ましく、樹脂材料により形成されている上記光半導体装置構成部材の上記レンズと接する表面をプラズマ処理することも好ましい。また、枠部をプラズマ処理することが好ましい。   The surface of the optical semiconductor device constituent member formed of a resin material that contacts the sealing agent is preferably subjected to plasma treatment, and the surface of the optical semiconductor device constituent member formed of a resin material that contacts the lens is plasma treated. It is also preferable to process. Moreover, it is preferable to plasma-process a frame part.

処理が容易であることから、上記プラズマ処理は、大気圧プラズマ処理であることが好ましい。また、大気圧プラズマ処理を行うことで、封止剤又はレンズが、樹脂材料により形成された光半導体装置構成部材から剥離するのをより一層効果的に抑制できる。上記プラズマ処理の方法としては、電圧を印加した2つの電極間でプラズマ放電を発生させて、電極間に被処理物を通過させることでプラズマ処理を行うダイレクト法と、プラズマ放電を発生させた電極間にガスを流してプラズマ化したガスを電極間から吹き出して、プラズマ化したガスを被処理物に吹き付けることでプラズマ処理を行うリモート法とが知られている。なかでも、リモート法が好ましい。リモート法によって、樹脂材料により形成された上記光半導体装置構成部材に、プラズマガスを吹きつけることで、光半導体装置構成部材の封止剤又はレンズと接する表面をプラズマ処理することが好ましい。   Since the processing is easy, the plasma processing is preferably atmospheric pressure plasma processing. Moreover, it can suppress more effectively that sealing agent or a lens peels from the optical semiconductor device structural member formed of the resin material by performing atmospheric pressure plasma processing. The plasma treatment method includes a direct method in which a plasma discharge is generated between two electrodes to which a voltage is applied and a workpiece is passed between the electrodes, and an electrode in which the plasma discharge is generated. There is known a remote method in which a plasma process is performed by blowing gas from between electrodes through a gas flow between the electrodes and spraying the plasma gas on an object to be processed. Of these, the remote method is preferable. It is preferable to plasma-treat the surface of the optical semiconductor device constituent member in contact with the sealing agent or the lens by spraying plasma gas onto the optical semiconductor device constituent member formed of a resin material by a remote method.

上記ダイレクト法では、光半導体装置構成部材をプラズマ内に導入した際に、金属製のリードフレームに対してアーク放電が起こりやすい。このため、リード電極、光半導体装置構成部材及び光半導体素子にダメージが生じることがある。これに対して、上記リモート法では、放電によるダメージを回避できる。   In the direct method, when an optical semiconductor device constituent member is introduced into plasma, arc discharge is likely to occur on a metal lead frame. For this reason, damage may occur to the lead electrode, the optical semiconductor device constituent member, and the optical semiconductor element. In contrast, the remote method can avoid damage due to discharge.

上記プラズマ処理におけるプラズマの発生方法としては、放電ガスとして少量のヘリウムガスを混合したガスを用いる第1の方法や、パルス波として電圧を印加する第2の方法がある。また、プラズマの発生方法としては、減圧雰囲気下でプラズマを発生させる第3の方法もある。第1,第2,第3の方法のうちのいずれの方法で発生したプラズマを用いてもよい。第1,第2,第3の方法とは異なる方法で発生したプラズマを用いてもよい。上記第3の方法では、減圧を行うためのチャンバーや減圧ポンプが必要となり、処理装置が大型で高価になることに加えて、チャンバー内に被処理物を入れた後にチャンバー内を減圧し、更にプラズマ処理を行った後に減圧を開放して被処理物を取り出すという煩雑な操作が必要である。従って、上記第3の方法は、生産性に劣るという問題点がある。   As a method of generating plasma in the plasma treatment, there are a first method using a gas in which a small amount of helium gas is mixed as a discharge gas, and a second method of applying a voltage as a pulse wave. As a method for generating plasma, there is also a third method for generating plasma in a reduced pressure atmosphere. Plasma generated by any one of the first, second, and third methods may be used. Plasma generated by a method different from the first, second, and third methods may be used. In the third method, a chamber and a decompression pump for decompressing are required, and in addition to the processing apparatus becoming large and expensive, the inside of the chamber is decompressed after the object to be processed is placed in the chamber, After performing the plasma treatment, a complicated operation of releasing the reduced pressure and taking out the object to be processed is necessary. Therefore, the third method has a problem that it is inferior in productivity.

また、上記第3の方法では、減圧によりプラズマ化したガス分子の運動エネルギーが非常に高くなり、被処理物であるパッケージ樹脂にいわゆる「焼け」による変色が生じることがある。   In the third method, the kinetic energy of gas molecules converted into plasma by depressurization becomes very high, and the discoloration due to so-called “burning” may occur in the package resin that is the object to be processed.

上記プラズマ処理におけるプラズマ放電を行うためのガスとして、ヘリウム、アルゴン、窒素、ネオン及び酸素等のガスが用いられる。また、これらの混合ガスや空気を放電ガスとして用いてもよい。コストを低減する観点から、アルゴン又は窒素を用いることが好ましい。   A gas such as helium, argon, nitrogen, neon, or oxygen is used as a gas for performing plasma discharge in the plasma treatment. Moreover, you may use these mixed gas and air as discharge gas. From the viewpoint of reducing cost, it is preferable to use argon or nitrogen.

また、アルゴン又は窒素と酸素とを混合したガスや、窒素と酸素とを含むガスや、空気を放電ガスとして用いると、プラズマ処理時に、酸素が光半導体装置構成部材の表面に導入されやすく、効率的に接着性を向上させることが可能である。   Further, when argon or a mixed gas of nitrogen and oxygen, a gas containing nitrogen and oxygen, or air is used as a discharge gas, oxygen is easily introduced into the surface of the optical semiconductor device constituent member during plasma processing, and efficiency In particular, it is possible to improve the adhesiveness.

放電ガス中の酸素濃度が高いと、処理効率が向上する。一方で、酸素濃度が高くなると、光半導体装置構成部材の表面の樹脂が酸化劣化したり、著しい酸化が生じたり、燃焼による炭化が生じたり、発火に至ったりする可能性が高くなる。このため、放電ガス中の酸素濃度は30体積%以下であることが好ましい。   When the oxygen concentration in the discharge gas is high, the processing efficiency is improved. On the other hand, when the oxygen concentration becomes high, there is a high possibility that the resin on the surface of the optical semiconductor device constituting member is oxidized and deteriorated, markedly oxidized, carbonized by combustion, or ignited. For this reason, it is preferable that the oxygen concentration in discharge gas is 30 volume% or less.

上記プラズマ処理の処理条件については、使用するプラズマ処理装置の構造及び能力などによって適宜設定され得る。プラズマ処理による表面エネルギーの変化を対水接触角で評価することができる。例えば、一般的に光半導体装置構成部材として用いられるポリフタルアミド樹脂の清浄な表面での水接触角は75〜80度である。プラズマ処理後に、上記水接触角は好ましくは60度以下、より好ましくは55度以下、更に好ましくは45度以下である。   The plasma processing conditions may be appropriately set depending on the structure and capability of the plasma processing apparatus used. Changes in surface energy due to plasma treatment can be evaluated by contact angle with water. For example, the water contact angle on a clean surface of a polyphthalamide resin generally used as an optical semiconductor device constituent member is 75 to 80 degrees. After the plasma treatment, the water contact angle is preferably 60 degrees or less, more preferably 55 degrees or less, and still more preferably 45 degrees or less.

上記プラズマ処理は、光半導体素子の配置前に行ってもよく、光半導体装置の配置後に行ってもよい。上記プラズマ処理は、光半導体素子の電極とリードフレームとの接続後に行ってもよく、光半導体素子の電極とリードフレームとの接続前に行ってもよい。   The plasma treatment may be performed before the placement of the optical semiconductor element or after the placement of the optical semiconductor device. The plasma treatment may be performed after the connection between the electrode of the optical semiconductor element and the lead frame, or may be performed before the connection between the electrode of the optical semiconductor element and the lead frame.

上記光半導体装置構成部材は、樹脂材料により形成されており、かつパッケージ又は基板である。上記光半導体装置構成部材は、封止剤又はレンズと接する位置に配置される。上記光半導体装置構成部材は、パッケージであることが好ましく、基板であることも好ましい。上記光半導体装置構成部材及び上記パッケージは、枠部を有することが好ましい。上記封止剤又は上記レンズは、上記枠部内又は上記枠部上に配置されることが好ましく、上記枠部内に配置されることがより好ましい。上記封止剤又は上記レンズが上記枠部内に配置される場合に、上記封止剤及び上記レンズは、上記枠部内に配置された部分と、上記枠部外に配置された部分とを有していてもよい。上記光半導体素子は、上記枠部内に配置されることが好ましい。   The optical semiconductor device constituent member is formed of a resin material and is a package or a substrate. The said optical semiconductor device structural member is arrange | positioned in the position which contact | connects a sealing agent or a lens. The optical semiconductor device constituent member is preferably a package, and is preferably a substrate. The optical semiconductor device constituent member and the package preferably have a frame portion. The sealant or the lens is preferably arranged in the frame part or on the frame part, and more preferably in the frame part. When the sealant or the lens is disposed in the frame portion, the sealant and the lens have a portion disposed in the frame portion and a portion disposed outside the frame portion. It may be. The optical semiconductor element is preferably arranged in the frame portion.

上記光半導体装置構成部材の材料である樹脂材料は樹脂を含む。該樹脂は熱可塑性樹脂であってもよく、熱硬化性樹脂であってもよい。上記樹脂としては、ポリフタルアミド、ポリシクロヘキシレンテレフタレート、エポキシ樹脂及びシリコーン樹脂等が挙げられる。なかでも、封止剤を充填するためのパッケージでは、上記樹脂として、ポリフタルアミドが汎用されている。   The resin material that is a material of the optical semiconductor device constituent member includes a resin. The resin may be a thermoplastic resin or a thermosetting resin. Examples of the resin include polyphthalamide, polycyclohexylene terephthalate, epoxy resin, and silicone resin. Among them, polyphthalamide is widely used as the resin in the package for filling the sealant.

上記樹脂材料は、樹脂以外に、充填材を含んでいてもよい。該充填材としては、白色充填材が好適に用いられる。該白色充填材としては、酸化チタン及び酸化亜鉛等が挙げられる。上記樹脂材料が白色充填材を含むと、光半導体装置構成部材の表面の光反射性が高くなる。この結果、光半導体装置において光半導体素子から発せられた光が光半導体装置構成部材の表面に至ったときに反射される光の量が多くなる。従って、光半導体装置から取り出される光の明るさが明るくなる。   The resin material may contain a filler in addition to the resin. A white filler is preferably used as the filler. Examples of the white filler include titanium oxide and zinc oxide. When the resin material contains a white filler, the light reflectivity of the surface of the optical semiconductor device constituting member is increased. As a result, the amount of light reflected when the light emitted from the optical semiconductor element reaches the surface of the optical semiconductor device constituent member in the optical semiconductor device increases. Accordingly, the brightness of the light extracted from the optical semiconductor device is increased.

上記光半導体装置構成部材及び上記パッケージは、電極となるリードフレームを所定の位置に配置して、上記樹脂材料をトランスファー成形等により成形することで得られる。リードフレームは、例えば、上記光半導体装置構成部材及び上記パッケージ内に埋め込まれる。   The optical semiconductor device constituting member and the package can be obtained by arranging a lead frame serving as an electrode at a predetermined position and molding the resin material by transfer molding or the like. The lead frame is embedded in, for example, the optical semiconductor device constituent member and the package.

上記リードフレームとしては、銅箔の表面が銀めっきされたリードフレーム等が挙げられる。上記銅箔は、一般的に、打ち抜き又はエッチングにより所定の形状に加工されている。   Examples of the lead frame include a lead frame having a copper foil surface plated with silver. The copper foil is generally processed into a predetermined shape by punching or etching.

上記光半導体素子としては、半導体を用いた発光素子であれば特に限定されず、例えば、上記光半導体素子が発光ダイオードである場合、例えば、基板上にLED形式用半導体材料を積層した構造が挙げられる。この場合、半導体材料としては、例えば、GaAs、GaP、GaAlAs、GaAsP、AlGaInP、GaN、InN、AlN、InGaAlN、及びSiC等が挙げられる。   The optical semiconductor element is not particularly limited as long as it is a light-emitting element using a semiconductor. For example, when the optical semiconductor element is a light-emitting diode, for example, a structure in which a semiconductor material for LED format is stacked on a substrate is given. It is done. In this case, examples of the semiconductor material include GaAs, GaP, GaAlAs, GaAsP, AlGaInP, GaN, InN, AlN, InGaAlN, and SiC.

上記基板の材料としては、例えば、サファイア、スピネル、SiC、Si、ZnO、及びGaN単結晶等が挙げられる。また、必要に応じ基板と半導体材料との間にバッファー層が形成されていてもよい。上記バッファー層の材料としては、例えば、GaN及びAlN等が挙げられる。   Examples of the material for the substrate include sapphire, spinel, SiC, Si, ZnO, and GaN single crystal. Further, a buffer layer may be formed between the substrate and the semiconductor material as necessary. Examples of the material of the buffer layer include GaN and AlN.

上記光半導体装置としては、具体的には、例えば、発光ダイオード装置、半導体レーザー装置及びフォトカプラ等が挙げられる。このような光半導体装置は、例えば、液晶ディスプレイ等のバックライト、照明、各種センサー、プリンター及びコピー機等の光源、車両用計測器光源、信号灯、表示灯、表示装置、面状発光体の光源、ディスプレイ、装飾、各種ライト並びにスイッチング素子等に好適に用いられる。   Specific examples of the optical semiconductor device include a light emitting diode device, a semiconductor laser device, and a photocoupler. Such optical semiconductor devices include, for example, backlights such as liquid crystal displays, illumination, various sensors, light sources such as printers and copiers, vehicle measuring instrument light sources, signal lights, indicator lights, display devices, and light sources for planar light emitters. It is suitably used for displays, decorations, various lights and switching elements.

上記レンズの形状は特に限定されない。光半導体装置における光の出射方向を制御し、かつ正面輝度が高くなりすぎるのをより一層抑制する観点からは、上記レンズの形状は、球体の一部又は回転楕円体の一部であることが好ましい。   The shape of the lens is not particularly limited. From the viewpoint of controlling the light emission direction in the optical semiconductor device and further suppressing the front luminance from becoming too high, the shape of the lens may be a part of a sphere or a part of a spheroid. preferable.

上記封止剤及び上記レンズは、硬化性組成物を硬化させることにより形成されていることが好ましい。上記硬化性組成物は、アルケニル基を2個以上有する第1のオルガノポリシロキサンと、珪素原子に結合した水素原子を2個以上有する第2のオルガノポリシロキサンと、ヒドロシリル化反応用触媒とを含むことが好ましい。封止剤及びレンズ(硬化物)が光半導体装置構成部材から剥離するのをより一層抑制する観点からは、上記硬化性組成物は、接着付与剤を含むことが好ましい。   The sealant and the lens are preferably formed by curing a curable composition. The curable composition includes a first organopolysiloxane having two or more alkenyl groups, a second organopolysiloxane having two or more hydrogen atoms bonded to silicon atoms, and a hydrosilylation reaction catalyst. It is preferable. From the viewpoint of further suppressing the sealing agent and the lens (cured product) from peeling from the optical semiconductor device constituent member, the curable composition preferably contains an adhesion-imparting agent.

上記第1,第2のオルガノポリシロキサンと上記ヒドロシリル化反応用触媒と上記接着付与剤とを含む硬化性組成物の使用により、光半導体装置が高温高湿下での過酷な環境で使用されても、封止剤及びレンズが光半導体装置構成部材から剥離し難くなる。   By using the curable composition containing the first and second organopolysiloxanes, the hydrosilylation reaction catalyst, and the adhesion-imparting agent, the optical semiconductor device is used in a harsh environment under high temperature and high humidity. However, it becomes difficult for the sealant and the lens to be peeled off from the optical semiconductor device constituent member.

例えば、上記硬化性組成物を用いて上記封止剤又は上記レンズを形成したりしたときに、封止剤及びレンズが光案導体装置構成部材から剥離し難くなる。例えば、封止剤やレンズに接するパッケージの材質がポリフタルアミド(PPA)であることがある。また、発光素子の背面側に達した光を反射させるために、発光素子の背面に、銀めっきされた電極が形成されていることがある。このようなPPAにより形成されたパッケージや電極に対する硬化物の接着性が高いことが強く求められる。硬化物がパッケージや電極から剥離したり、密着性が低かったりすると、光半導体装置から発せられる光の量(光度)が低下する。   For example, when the said sealing agent or the said lens is formed using the said curable composition, a sealing agent and a lens become difficult to peel from a draft conductor apparatus structural member. For example, the material of the package that contacts the sealant or the lens may be polyphthalamide (PPA). Moreover, in order to reflect the light which reached the back surface side of the light emitting element, an electrode plated with silver may be formed on the back surface of the light emitting element. It is strongly required that the cured product has high adhesion to a package or electrode formed of such PPA. When the cured product is peeled off from the package or the electrode or the adhesion is low, the amount of light (luminous intensity) emitted from the optical semiconductor device decreases.

光半導体装置では、封止剤及びレンズの樹脂により形成された光半導体装置構成部材に対する接着性を十分に高めることは困難である。本発明者は鋭意検討した結果、上記第1,第2のオルガノポリシロキサンとヒドロシリル化反応用触媒とともに、ウレイド基を有する第1のシラン化合物を含む組成の採用によって、封止剤及びレンズの樹脂材料により形成された光半導体装置構成部材に対する接着性を十分に高めることができることを見出した。   In an optical semiconductor device, it is difficult to sufficiently enhance the adhesion to an optical semiconductor device constituent member formed of a sealing agent and a lens resin. As a result of intensive studies, the present inventor has adopted a composition containing a first silane compound having a ureido group together with the first and second organopolysiloxanes and the hydrosilylation reaction catalyst, thereby providing a sealing agent and a lens resin. It has been found that the adhesion to an optical semiconductor device constituent member formed of a material can be sufficiently enhanced.

上記第1のオルガノポリシロキサンは、式(1A)で表され、アルケニル基と珪素原子に結合したメチル基とを有する第1のオルガノポリシロキサンであるか、又は式(1B)で表され、アリール基とアルケニル基とを有する第1のオルガノポリシロキサンであることが好ましい。式(1A)及び式(1B)で表される第1のオルガノポリシロキサンは、アルケニル基を2個以上有する。但し、式(1A)又は式(1B)で表される第1のオルガノポリシロキサンとは異なる第1のオルガノポリシロキサンを用いてもよい。上記第2のオルガノポリシロキサンがアルケニル基を有する場合には、上記第1のオルガノポリシロキサンは、珪素原子に結合した水素原子を有さないことが好ましい。上記第1のオルガノポリシロキサンは、珪素原子に結合した水素原子を有さないことが好ましい。   The first organopolysiloxane is represented by the formula (1A) and is a first organopolysiloxane having an alkenyl group and a methyl group bonded to a silicon atom, or represented by the formula (1B) and an aryl A first organopolysiloxane having a group and an alkenyl group is preferred. The first organopolysiloxane represented by the formula (1A) and the formula (1B) has two or more alkenyl groups. However, a first organopolysiloxane different from the first organopolysiloxane represented by the formula (1A) or the formula (1B) may be used. When the second organopolysiloxane has an alkenyl group, the first organopolysiloxane preferably does not have a hydrogen atom bonded to a silicon atom. The first organopolysiloxane preferably does not have a hydrogen atom bonded to a silicon atom.

上記第2のオルガノポリシロキサンは、式(51A)で表され、珪素原子に結合した水素原子と珪素原子に結合したメチル基とを有する第2のオルガノポリシロキサンであるか、又は式(51B)で表され、アリール基と珪素原子に結合した水素原子とを有する第2のオルガノポリシロキサンであることが好ましい。式(51A)及び式(51B)で表される第2のオルガノポリシロキサンは、珪素原子に結合した水素原子を2個以上有する。但し、式(51A)又は式(51B)で表される第2のオルガノポリシロキサンとは異なる第2のオルガノポリシロキサンを用いてもよい。   The second organopolysiloxane is a second organopolysiloxane represented by the formula (51A) and having a hydrogen atom bonded to a silicon atom and a methyl group bonded to a silicon atom, or the formula (51B) And is preferably a second organopolysiloxane having an aryl group and a hydrogen atom bonded to a silicon atom. The second organopolysiloxane represented by the formula (51A) and the formula (51B) has two or more hydrogen atoms bonded to silicon atoms. However, a second organopolysiloxane different from the second organopolysiloxane represented by the formula (51A) or the formula (51B) may be used.

硬化物の接着対象物に対する接着性を良好にし、かつ硬化物の耐熱性やガスバリア性及び硬化性組成物のポットライフをより一層良好にする観点からは、上記第1のオルガノポリシロキサンが、式(1A)で表され、アルケニル基及び珪素原子に結合したメチル基を有する第1のオルガノポリシロキサンであり、かつ上記第2のオルガノポリシロキサンが、式(51A)で表され、珪素原子に結合した水素原子及び珪素原子に結合したメチル基を有する第2のオルガノポリシロキサンであるか、又は、上記第1のオルガノポリシロキサンが、式(1B)で表され、アリール基及びアルケニル基を有する第1のオルガノポリシロキサンであり、かつ上記第2のオルガノポリシロキサンが、式(51B)で表され、アリール基及び珪素原子に結合した水素原子を有する第2のオルガノポリシロキサンであることが好ましい。   From the viewpoint of improving the adhesion of the cured product to the object to be bonded and further improving the heat resistance and gas barrier properties of the cured product and the pot life of the curable composition, the first organopolysiloxane is represented by the formula A first organopolysiloxane represented by (1A) having an alkenyl group and a methyl group bonded to a silicon atom, and the second organopolysiloxane is represented by the formula (51A) and bonded to a silicon atom Or a second organopolysiloxane having a methyl group bonded to a hydrogen atom and a silicon atom, or the first organopolysiloxane represented by the formula (1B) having an aryl group and an alkenyl group. 1 and the second organopolysiloxane is represented by the formula (51B) and is bonded to an aryl group and a silicon atom. It is preferred that the second organopolysiloxane having a hydrogen atom.

また、従来の硬化性組成物の硬化物が、加熱と冷熱を繰り返し受ける温度サイクル等の過酷な環境で使用されると、硬化物にクラックが生じたり、硬化物がパッケージ等から剥離したりすることがある。特に、従来の硬化性組成物の硬化物では、耐熱性が低いという問題がある。   In addition, when a cured product of a conventional curable composition is used in a harsh environment such as a temperature cycle that repeatedly receives heating and cooling, the cured product is cracked or the cured product is peeled off from a package or the like. Sometimes. In particular, a cured product of a conventional curable composition has a problem that heat resistance is low.

耐熱性により一層優れた硬化物を得る観点からは、上記第1のオルガノポリシロキサンが、式(1A)で表され、アルケニル基及び珪素原子に結合したメチル基を有する第1のオルガノポリシロキサンであり、かつ上記第2のオルガノポリシロキサンが、式(51A)で表され、珪素原子に結合した水素原子及び珪素原子に結合したメチル基を有する第2のオルガノポリシロキサンであることが好ましい。   From the viewpoint of obtaining a cured product that is more excellent in heat resistance, the first organopolysiloxane is a first organopolysiloxane represented by the formula (1A) and having an alkenyl group and a methyl group bonded to a silicon atom. The second organopolysiloxane is preferably the second organopolysiloxane represented by the formula (51A) and having a hydrogen atom bonded to a silicon atom and a methyl group bonded to a silicon atom.

耐熱性により一層優れた硬化物を得る観点からは、上記第1のオルガノポリシロキサンの珪素原子に結合した全官能基のうち、メチル基の占める個数比率が80%以上であることが好ましい。耐熱性により一層優れた硬化物を得る観点からは、上記第2のオルガノポリシロキサンの珪素原子に結合した全官能基のうち、メチル基の占める個数比率が80%以上であることが好ましい。   From the viewpoint of obtaining a cured product that is more excellent in heat resistance, it is preferable that the number ratio of methyl groups in all functional groups bonded to silicon atoms in the first organopolysiloxane is 80% or more. From the viewpoint of obtaining a cured product that is more excellent in heat resistance, it is preferable that the number ratio of methyl groups is 80% or more among all functional groups bonded to silicon atoms of the second organopolysiloxane.

上記第1,第2のオルガノポリシロキサンにおける珪素原子に結合した全官能基のうち、メチル基の占める個数比率はより好ましくは85%以上、更に好ましくは90%以上であり、好ましくは99.9%以下、より好ましくは99%以下、更に好ましくは98%以下である。このメチル基の占める個数比率が80%以上であると、硬化物の耐熱性が高くなり、更に光半導体装置が高温高湿下での過酷な環境で通電した状態で使用されても、硬化物の変色が生じ難く、光度の低下が少なくなる。また、上記メチル基の占める個数比率が上記下限以上であると、硬化物の耐熱性がより一層高くなる。上記メチル基の占める個数比率が上記上限以下であると、第1のオルガノポリシロキサンにアルケニル基を充分に導入でき、第2のオルガノポリシロキサンに珪素原子に結合した水素原子を充分に導入でき、硬化性組成物の硬化性を高めることが容易である。   Among all the functional groups bonded to silicon atoms in the first and second organopolysiloxanes, the number ratio of methyl groups is more preferably 85% or more, still more preferably 90% or more, and preferably 99.9. % Or less, more preferably 99% or less, and still more preferably 98% or less. When the number ratio of methyl groups is 80% or more, the heat resistance of the cured product is increased, and even if the optical semiconductor device is used in a harsh environment under high temperature and high humidity, the cured product can be used. Is less likely to occur and the luminous intensity is less reduced. Moreover, the heat resistance of hardened | cured material becomes still higher that the number ratio for which the said methyl group accounts is more than the said minimum. When the number ratio of the methyl groups is not more than the above upper limit, alkenyl groups can be sufficiently introduced into the first organopolysiloxane, and hydrogen atoms bonded to silicon atoms can be sufficiently introduced into the second organopolysiloxane, It is easy to improve the curability of the curable composition.

上述のように、発光素子の背面側に達した光を反射させるために、発光素子の背面に、銀めっきされた電極が形成されていることがある。封止剤やレンズにクラックが生じたり、封止剤が光半導体装置構成部材から剥離したりすると、銀めっきされた電極が大気に晒されたり、大気と触れやすくなる。この結果、大気中に存在する硫化水素ガス又は亜硫酸ガス等の腐食性ガスによって、銀めっきが変色することがある。電極が変色すると反射率が低下するため、発光素子が発する光の明るさが低下するという問題がある。硬化性組成物の硬化物である封止剤やレンズが、腐食性ガスに対して高いガスバリア性を有することにより、銀めっきの変色を抑制し、発光素子が発する光の明るさの低下を抑制できる。   As described above, a silver-plated electrode may be formed on the back surface of the light emitting element in order to reflect the light reaching the back side of the light emitting element. When a crack occurs in the sealant or the lens, or the sealant peels from the constituent member of the optical semiconductor device, the silver-plated electrode is exposed to the atmosphere or easily exposed to the atmosphere. As a result, the silver plating may be discolored by a corrosive gas such as hydrogen sulfide gas or sulfurous acid gas present in the atmosphere. When the color of the electrode changes, the reflectance decreases, which causes a problem that the brightness of the light emitted from the light emitting element decreases. The encapsulant or lens, which is a cured product of the curable composition, has a high gas barrier property against corrosive gas, thereby suppressing discoloration of silver plating and suppressing a decrease in brightness of light emitted from the light emitting element. it can.

ガスバリア性により一層優れた硬化物を得る観点からは、上記第1のオルガノポリシロキサンが、式(1B)で表され、アリール基及びアルケニル基を有する第1のオルガノポリシロキサンであり、かつ上記第2のオルガノポリシロキサンが、式(51B)で表され、アリール基及び珪素原子に結合した水素原子を有する第2のオルガノポリシロキサンであることが好ましい。   From the viewpoint of obtaining a cured product that is more excellent in gas barrier properties, the first organopolysiloxane is the first organopolysiloxane represented by the formula (1B) and having an aryl group and an alkenyl group, and the first The second organopolysiloxane represented by the formula (51B) is preferably a second organopolysiloxane having an aryl group and a hydrogen atom bonded to a silicon atom.

ガスバリア性により一層優れた硬化物を得る観点からは、上記第1のオルガノポリシロキサンの珪素原子に結合した全官能基のうち、アリール基の占める個数比率が30%以上、70%以下であることが好ましい。ガスバリア性により一層優れた硬化物を得る観点からは、上記第2のオルガノポリシロキサンの珪素原子に結合した全官能基のうち、アリール基の占める個数比率が30%以上、70%以下であることが好ましい。   From the viewpoint of obtaining a cured product that is more excellent in gas barrier properties, among all the functional groups bonded to the silicon atom of the first organopolysiloxane, the number ratio of the aryl group is 30% or more and 70% or less. Is preferred. From the viewpoint of obtaining a cured product that is more excellent in gas barrier properties, the ratio of the number of aryl groups in the total functional groups bonded to silicon atoms of the second organopolysiloxane is 30% or more and 70% or less. Is preferred.

上記第1,2のオルガノポリシロキサンBにおける珪素原子に結合した全官能基のうち、アリール基の占める個数比率はより好ましくは35%以上、より好ましくは65%以下である。このアリール基の占める個数比率が上記下限以上であると、硬化物のガスバリア性がより一層高くなり、硬化物にクラック及び剥離がより一層生じ難くなる。アリール基の占める個数比率が上記上限以下であると、硬化物の剥離がより一層生じ難くなる。   Among all the functional groups bonded to silicon atoms in the first and second organopolysiloxanes B, the number ratio of the aryl group is more preferably 35% or more, and more preferably 65% or less. When the number ratio of the aryl group is equal to or more than the above lower limit, the gas barrier property of the cured product is further enhanced, and cracks and peeling are less likely to occur in the cured product. When the number ratio of the aryl group is less than or equal to the above upper limit, peeling of the cured product is more difficult to occur.

なお、上記アリール基がフェニル基である場合には、上記アリール基の占める個数比率は、フェニル基の占める個数比率を示す。   In addition, when the aryl group is a phenyl group, the number ratio of the aryl group indicates the number ratio of the phenyl group.

上記硬化性組成物の硬化温度は特に限定されない。上記硬化性組成物の硬化温度は、好ましくは80℃以上、より好ましくは100℃以上、好ましくは180℃以下、より好ましくは160℃以下である。硬化温度が上記下限以上であると、上記硬化性組成物の硬化が充分に進行する。硬化温度が上記上限以下であると、パッケージの熱劣化が起こり難い。   The curing temperature of the curable composition is not particularly limited. The curing temperature of the curable composition is preferably 80 ° C. or higher, more preferably 100 ° C. or higher, preferably 180 ° C. or lower, more preferably 160 ° C. or lower. When the curing temperature is equal to or higher than the lower limit, the curing of the curable composition proceeds sufficiently. When the curing temperature is not more than the above upper limit, the package is unlikely to be thermally deteriorated.

以下、上記硬化性組成物に含まれている各成分の詳細を説明する。   Hereinafter, the detail of each component contained in the said curable composition is demonstrated.

(第1のオルガノポリシロキサン)
上記硬化性組成物に含まれている第1のオルガノポリシロキサンは、アルケニル基を2個以上有する。アルケニル基は珪素原子に直接結合していることが好ましい。なお、上記アルケニル基の炭素−炭素二重結合における炭素原子が、珪素原子に結合していてもよく、上記アルケニル基の炭素−炭素二重結合における炭素原子とは異なる炭素原子が、珪素原子に結合していてもよい。上記第1のオルガノポリシロキサンは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
(First organopolysiloxane)
The first organopolysiloxane contained in the curable composition has two or more alkenyl groups. The alkenyl group is preferably directly bonded to the silicon atom. The carbon atom in the carbon-carbon double bond of the alkenyl group may be bonded to the silicon atom, and the carbon atom different from the carbon atom in the carbon-carbon double bond of the alkenyl group is in the silicon atom. It may be bonded. As for said 1st organopolysiloxane, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

耐熱性により一層優れた硬化物を得る観点からは、上記第1のオルガノポリシロキサンは、下記式(1A)で表され、アルケニル基と珪素原子に結合したメチル基とを有する第1のオルガノポリシロキサン(以下、第1のオルガノポリシロキサンAと記載することがある)であることが好ましい。上記第1のオルガノポリシロキサンAは、珪素原子に結合した水素原子を有さず、アルケニル基と珪素原子に結合したメチル基とを有する第1のオルガノポリシロキサンであることが好ましい。   From the viewpoint of obtaining a cured product that is more excellent in heat resistance, the first organopolysiloxane is represented by the following formula (1A), and includes a first organopolysiloxane having an alkenyl group and a methyl group bonded to a silicon atom. Siloxane (hereinafter sometimes referred to as first organopolysiloxane A) is preferred. The first organopolysiloxane A is preferably a first organopolysiloxane which does not have a hydrogen atom bonded to a silicon atom but has an alkenyl group and a methyl group bonded to a silicon atom.

Figure 2013191687
Figure 2013191687

上記式(1A)中、a、b及びcは、a/(a+b+c)=0〜0.30、b/(a+b+c)=0.70〜1.0及びc/(a+b+c)=0〜0.10を満たし、R1〜R6は、少なくとも1個がアルケニル基を表し、少なくとも1個がメチル基を表し、アルケニル基及びメチル基以外のR1〜R6は、炭素数2〜8の炭化水素基を表す。   In the formula (1A), a, b, and c are a / (a + b + c) = 0 to 0.30, b / (a + b + c) = 0.70 to 1.0, and c / (a + b + c) = 0 to 0. 10, R1 to R6 each represents at least one alkenyl group, at least one represents a methyl group, and R1 to R6 other than the alkenyl group and the methyl group represent a hydrocarbon group having 2 to 8 carbon atoms. .

ガスバリア性に一層優れた硬化物を得る観点からは、上記第1のオルガノポリシロキサンは、下記式(1B)で表され、アリール基とアルケニル基とを有する第1のオルガノポリシロキサン(以下、第1のオルガノポリシロキサンBと記載することがある)であることが好ましい。上記第1のオルガノポリシロキサンBは、珪素原子に結合した水素原子を有さず、アリール基とアルケニル基とを有する第1のオルガノポリシロキサンであることが好ましい。該アリール基としては、無置換のフェニル基及び置換フェニル基が挙げられる。   From the viewpoint of obtaining a cured product having further excellent gas barrier properties, the first organopolysiloxane is represented by the following formula (1B) and has a first organopolysiloxane having an aryl group and an alkenyl group (hereinafter referred to as the first organopolysiloxane). 1 may be referred to as organopolysiloxane B). The first organopolysiloxane B is preferably a first organopolysiloxane which does not have a hydrogen atom bonded to a silicon atom and has an aryl group and an alkenyl group. Examples of the aryl group include an unsubstituted phenyl group and a substituted phenyl group.

Figure 2013191687
Figure 2013191687

上記式(1B)中、a、b及びcは、a/(a+b+c)=0〜0.50、b/(a+b+c)=0.40〜1.0及びc/(a+b+c)=0〜0.50を満たし、R1〜R6は、少なくとも1個がアリール基を表し、少なくとも1個がアルケニル基を表し、アリール基及びアルケニル基以外のR1〜R6は、炭素数1〜8の炭化水素基を表す。   In the formula (1B), a, b and c are a / (a + b + c) = 0 to 0.50, b / (a + b + c) = 0.40 to 1.0 and c / (a + b + c) = 0 to 0. 50, R1 to R6 represent at least one aryl group, at least one represents an alkenyl group, and R1 to R6 other than the aryl group and the alkenyl group represent a hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms. .

なお、上記式(1A)及び上記式(1B)中、(R4R5SiO2/2)で表される構造単位及び(R6SiO3/2)で表される構造単位はそれぞれ、アルコキシ基を有していてもよく、ヒドロキシ基を有していてもよい。 In the above formula (1A) and the above formula (1B), the structural unit represented by (R4R5SiO 2/2 ) and the structural unit represented by (R6SiO 3/2 ) each have an alkoxy group. It may have a hydroxy group.

上記式(1A)及び上記式(1B)は平均組成式を示す。上記式(1A)及び上記式(1B)における炭化水素基は、直鎖状であってもよく、分岐状であってもよい。上記式(1A)及び上記式(1B)中のR1〜R6は同一であってもよく、異なっていてもよい。   The above formula (1A) and the above formula (1B) show an average composition formula. The hydrocarbon group in the above formula (1A) and the above formula (1B) may be linear or branched. R1 to R6 in the above formula (1A) and the above formula (1B) may be the same or different.

上記式(1A)及び上記式(1B)中、(R4R5SiO2/2)で表される構造単位における酸素原子部分、(R6SiO3/2)で表される構造単位における酸素原子部分はそれぞれ、シロキサン結合を形成している酸素原子部分、アルコキシ基の酸素原子部分、又はヒドロキシ基の酸素原子部分を示す。 In the formula (1A) and the formula (1B), the oxygen atom part in the structural unit represented by (R4R5SiO 2/2 ) and the oxygen atom part in the structural unit represented by (R6SiO 3/2 ) are respectively siloxane. An oxygen atom part forming a bond, an oxygen atom part of an alkoxy group, or an oxygen atom part of a hydroxy group is shown.

なお、一般に、上記式(1A)及び上記式(1B)の各構造単位において、アルコキシ基の含有量は少なく、更にヒドロキシ基の含有量も少ない。これは、一般に、第1のオルガノポリシロキサンを得るために、アルコキシシラン化合物などの有機珪素化合物を加水分解し、重縮合させると、アルコキシ基及びヒドロキシ基の多くは、シロキサン結合の部分骨格に変換されるためである。すなわち、アルコキシ基の酸素原子及びヒドロキシ基の酸素原子の多くは、シロキサン結合を形成している酸素原子に変換される。上記式(1A)及び上記式(1B)の各構造単位がアルコキシ基又はヒドロキシ基を有する場合には、シロキサン結合の部分骨格に変換されなかった未反応のアルコキシ基又はヒドロキシ基がわずかに残存していることを示す。後述の式(51A)及び式(51B)の各構造単位がアルコキシ基又はヒドロキシ基を有する場合に関しても、同様のことがいえる。   In general, in each structural unit of the above formula (1A) and the above formula (1B), the content of alkoxy groups is small, and the content of hydroxy groups is also small. Generally, when an organosilicon compound such as an alkoxysilane compound is hydrolyzed and polycondensed to obtain a first organopolysiloxane, most of the alkoxy groups and hydroxy groups are converted into a partial skeleton of siloxane bonds. It is to be done. That is, most of oxygen atoms of the alkoxy group and oxygen atoms of the hydroxy group are converted into oxygen atoms forming a siloxane bond. When each structural unit of the above formula (1A) and the above formula (1B) has an alkoxy group or a hydroxy group, an unreacted alkoxy group or hydroxy group that has not been converted into a partial skeleton of a siloxane bond remains slightly. Indicates that The same applies to the case where each structural unit of formula (51A) and formula (51B) described later has an alkoxy group or a hydroxy group.

上記アルケニル基としては、ビニル基、アリル基、ブテニル基、ペンテニル基及びヘキセニル基等が挙げられる。ガスバリア性をより一層高める観点からは、上記第1のオルガノポリシロキサンにおけるアルケニル基及び上記式(1A)及び上記式(1B)中のアルケニル基は、ビニル基又はアリル基であることが好ましく、ビニル基であることがより好ましい。硬化性組成物の硬化性をより一層高める観点からは、上記第1のオルガノポリシロキサンは、ビニル基を有することが好ましい。   Examples of the alkenyl group include a vinyl group, an allyl group, a butenyl group, a pentenyl group, and a hexenyl group. From the viewpoint of further enhancing the gas barrier property, the alkenyl group in the first organopolysiloxane and the alkenyl group in the above formula (1A) and the above formula (1B) are preferably vinyl groups or allyl groups. More preferably, it is a group. From the viewpoint of further improving the curability of the curable composition, the first organopolysiloxane preferably has a vinyl group.

上記式(1A)における炭素数2〜8の炭化水素基としては特に限定されず、例えば、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、n−ペンチル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、イソプロピル基、イソブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、t−ペンチル基、イソへキシル基、シクロヘキシル基及びアリール基が挙げられる。上記式(1B)における炭素数1〜8の炭化水素基としては、上記式(1A)における炭素数2〜8の炭化水素基と同様の基が挙げられ、更にメチル基が挙げられる。   It does not specifically limit as a C2-C8 hydrocarbon group in said formula (1A), For example, an ethyl group, n-propyl group, n-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, n-heptyl Group, n-octyl group, isopropyl group, isobutyl group, sec-butyl group, t-butyl group, isopentyl group, neopentyl group, t-pentyl group, isohexyl group, cyclohexyl group and aryl group. As a C1-C8 hydrocarbon group in the said Formula (1B), the group similar to a C2-C8 hydrocarbon group in the said Formula (1A) is mentioned, Furthermore, a methyl group is mentioned.

硬化性組成物の保存安定性をより一層高める観点からは、上記第1のオルガノポリシロキサンAは、アリール基を有することが好ましい。該アリール基としては、無置換のフェニル基及び置換フェニル基が挙げられる。上記第1のオルガノポリシロキサンAにおける珪素原子に結合した全官能基のうち、アリール基の占める個数比率は好ましくは0.5%以上、好ましくは10%以下、より好ましくは5%以下である。上記第1のオルガノポリシロキサンAにおけるアリール基の個数比率が上記上限以下であると、硬化物の耐熱性がより一層良好になる。   From the viewpoint of further improving the storage stability of the curable composition, the first organopolysiloxane A preferably has an aryl group. Examples of the aryl group include an unsubstituted phenyl group and a substituted phenyl group. Among all the functional groups bonded to silicon atoms in the first organopolysiloxane A, the number ratio of the aryl group is preferably 0.5% or more, preferably 10% or less, more preferably 5% or less. When the number ratio of the aryl groups in the first organopolysiloxane A is not more than the above upper limit, the heat resistance of the cured product is further improved.

上記式(1A)及び上記式(1B)で表される第1のオルガノポリシロキサンにおいて、(R4R5SiO2/2)で表される構造単位(以下、二官能構造単位ともいう)は、下記式(1−2)で表される構造、すなわち、二官能構造単位中の珪素原子に結合した酸素原子の1つがヒドロキシ基又はアルコキシ基を構成する構造を含んでいてもよい。 In the first organopolysiloxane represented by the above formula (1A) and the above formula (1B), the structural unit represented by (R4R5SiO 2/2 ) (hereinafter also referred to as a bifunctional structural unit) has the following formula ( The structure represented by 1-2), that is, the structure in which one of the oxygen atoms bonded to the silicon atom in the bifunctional structural unit constitutes a hydroxy group or an alkoxy group may be included.

(R4R5SiXO1/2) ・・・式(1−2) (R4R5SiXO 1/2 ) (Formula (1-2))

(R4R5SiO2/2)で表される構造単位は、下記式(1−b)で表される構造単位の破線で囲まれた部分を含み、更に下記式(1−2−b)で表される構造単位の破線で囲まれた部分を含んでいてもよい。すなわち、R4及びR5で表される基を有し、かつアルコキシ基又はヒドロキシ基が末端に残存している構造単位も、(R4R5SiO2/2)で表される構造単位に含まれる。具体的には、アルコキシ基がシロキサン結合の部分骨格に変換された場合には、(R4R5SiO2/2)で表される構造単位は、下記式(1−b)で表される構造単位の破線で囲まれた部分を示す。未反応のアルコキシ基が残存している場合、又はアルコキシ基がヒドロキシ基に変換された場合には、残存アルコキシ基又はヒドロキシ基を有する(R4R5SiO2/2)で表される構造単位は、下記式(1−2−b)で表される構造単位の破線で囲まれた部分を示す。また、下記式(1−b)で表される構造単位において、Si−O−Si結合中の酸素原子は、隣接する珪素原子とシロキサン結合を形成しており、隣接する構造単位と酸素原子を共有している。従って、Si−O−Si結合中の1つの酸素原子を「O1/2」とする。 The structural unit represented by (R4R5SiO 2/2 ) includes a portion surrounded by a broken line of the structural unit represented by the following formula (1-b), and is further represented by the following formula (1-2b). A portion surrounded by a broken line of the structural unit may be included. That is, a structural unit having a group represented by R4 and R5 and having an alkoxy group or a hydroxy group remaining at the terminal is also included in the structural unit represented by (R4R5SiO 2/2 ). Specifically, when the alkoxy group is converted into a partial skeleton of a siloxane bond, the structural unit represented by (R4R5SiO 2/2 ) is a broken line of the structural unit represented by the following formula (1-b) The part enclosed by is shown. When an unreacted alkoxy group remains, or when the alkoxy group is converted to a hydroxy group, the structural unit represented by (R4R5SiO 2/2 ) having the remaining alkoxy group or hydroxy group has the following formula: The part enclosed with the broken line of the structural unit represented by (1-2-b) is shown. In the structural unit represented by the following formula (1-b), the oxygen atom in the Si—O—Si bond forms a siloxane bond with the adjacent silicon atom, and the adjacent structural unit and oxygen atom Sharing. Accordingly, one oxygen atom in the Si—O—Si bond is defined as “O 1/2 ”.

Figure 2013191687
Figure 2013191687

上記式(1−2)及び式(1−2−b)中、Xは、OH又はORを表し、ORは、直鎖状又は分岐状の炭素数1〜4のアルコキシ基を表す。上記式(1−b)、式(1−2)及び式(1−2−b)中のR4及びR5は、上記式(1A)及び上記式(1B)中のR4及びR5と同様の基である。   In the above formulas (1-2) and (1-2b), X represents OH or OR, and OR represents a linear or branched alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms. R4 and R5 in the above formula (1-b), formula (1-2), and formula (1-2b) are the same groups as R4 and R5 in the above formula (1A) and the above formula (1B). It is.

上記式(1A)及び上記式(1B)で表される第1のオルガノポリシロキサンにおいて、(R6SiO3/2)で表される構造単位(以下、三官能構造単位ともいう)は、下記式(1−3)又は式(1−4)で表される構造、すなわち、三官能構造単位中の珪素原子に結合した酸素原子の2つがそれぞれヒドロキシ基若しくはアルコキシ基を構成する構造、又は、三官能構造単位中の珪素原子に結合した酸素原子の1つがヒドロキシ基若しくはアルコキシ基を構成する構造を含んでいてもよい。 In the first organopolysiloxane represented by the above formula (1A) and the above formula (1B), the structural unit represented by (R6SiO 3/2 ) (hereinafter also referred to as trifunctional structural unit) has the following formula ( 1-3) or a structure represented by formula (1-4), that is, a structure in which two oxygen atoms bonded to a silicon atom in a trifunctional structural unit each constitute a hydroxy group or an alkoxy group, or trifunctional One of the oxygen atoms bonded to the silicon atom in the structural unit may include a structure constituting a hydroxy group or an alkoxy group.

(R6SiX1/2) ・・・式(1−3)
(R6SiXO2/2) ・・・式(1−4)
(R6SiX 2 O 1/2 ) Formula (1-3)
(R6SiXO 2/2 ) Formula (1-4)

(R6SiO3/2)で表される構造単位は、下記式(1−c)で表される構造単位の破線で囲まれた部分を含み、更に下記式(1−3−c)又は式(1−4−c)で表される構造単位の破線で囲まれた部分を含んでいてもよい。すなわち、R6で表される基を有し、かつアルコキシ基又はヒドロキシ基が末端に残存している構造単位も、(R6SiO3/2)で表される構造単位に含まれる。 The structural unit represented by (R6SiO 3/2 ) includes a portion surrounded by a broken line of the structural unit represented by the following formula (1-c), and further includes the following formula (1-3-c) or formula ( The part enclosed with the broken line of the structural unit represented by 1-4-4-c) may be included. That is, a structural unit having a group represented by R6 and having an alkoxy group or a hydroxy group remaining at the terminal is also included in the structural unit represented by (R6SiO 3/2 ).

Figure 2013191687
Figure 2013191687

上記式(1−3)、式(1−3−c)、式(1−4)及び式(1−4−c)中、Xは、OH又はORを表し、ORは、直鎖状又は分岐状の炭素数1〜4のアルコキシ基を表す。上記式(1−c)、式(1−3)、式(1−3−c)、式(1−4)及び式(1−4−c)中のR6は、上記式(1A)及び上記式(1B)中のR6と同様の基である。   In the above formula (1-3), formula (1-3-c), formula (1-4) and formula (1-4-c), X represents OH or OR, and OR is linear or A branched alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms is represented. R6 in the above formula (1-c), formula (1-3), formula (1-3-c), formula (1-4) and formula (1-4-c) represents the above formula (1A) and It is the same group as R6 in the above formula (1B).

上記式(1−b)及び式(1−c)、式(1−2)〜(1−4)、並びに式(1−2−b)、式(1−3−c)及び式(1−4−c)において、直鎖状又は分岐状の炭素数1〜4のアルコキシ基としては特に限定されず、例えば、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、n−ブトキシ基、イソプロポキシ基、イソブトキシ基、sec−ブトキシ基及びt−ブトキシ基が挙げられる。   Formula (1-b) and Formula (1-c), Formulas (1-2) to (1-4), Formula (1-2-b), Formula (1-3-c) and Formula (1) In 4-c), the linear or branched alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms is not particularly limited, and examples thereof include a methoxy group, an ethoxy group, an n-propoxy group, an n-butoxy group, and an isopropoxy group. , Isobutoxy group, sec-butoxy group and t-butoxy group.

上記式(1A)中、a/(a+b+c)の下限は0、上限は0.30である。a/(a+b+c)が上記上限以下であると、硬化物の耐熱性がより一層高くなり、かつ硬化物の剥離をより一層抑制できる。上記式(1A)中、a/(a+b+c)は、好ましくは0.25以下、より好ましくは0.20以下である。なお、aが0であり、a/(a+b+c)が0である場合、上記式(1A)中、(R1R2R3SiO1/2)の構造単位は存在しない。 In the above formula (1A), the lower limit of a / (a + b + c) is 0, and the upper limit is 0.30. When a / (a + b + c) is less than or equal to the above upper limit, the heat resistance of the cured product is further increased, and peeling of the cured product can be further suppressed. In said formula (1A), a / (a + b + c) becomes like this. Preferably it is 0.25 or less, More preferably, it is 0.20 or less. When a is 0 and a / (a + b + c) is 0, there is no structural unit (R1R2R3SiO 1/2 ) in the above formula (1A).

上記式(1A)中、b/(a+b+c)の下限は0.70、上限は1.0である。b/(a+b+c)が上記下限以上であると、硬化物が硬くなりすぎず、硬化物にクラックが生じ難くなる。上記式(1A)中、b/(a+b+c)は、好ましくは0.75以上、より好ましくは0.80以上である。   In the above formula (1A), the lower limit of b / (a + b + c) is 0.70, and the upper limit is 1.0. When b / (a + b + c) is not less than the above lower limit, the cured product does not become too hard, and cracks hardly occur in the cured product. In the above formula (1A), b / (a + b + c) is preferably 0.75 or more, more preferably 0.80 or more.

上記式(1A)中、c/(a+b+c)の下限は0、上限は0.10である。c/(a+b+c)が上記上限以下であると、硬化性組成物の適正な粘度を維持することが容易であり、硬化物の密着性がより一層高くなる。上記式(1A)中、c/(a+b+c)は、好ましくは0.05以下である。なお、cが0であり、c/(a+b+c)が0である場合、上記式(1A)中、(R6SiO3/2)の構造単位は存在しない。 In the above formula (1A), the lower limit of c / (a + b + c) is 0, and the upper limit is 0.10. When c / (a + b + c) is not more than the above upper limit, it is easy to maintain an appropriate viscosity of the curable composition, and the adhesiveness of the cured product is further enhanced. In the above formula (1A), c / (a + b + c) is preferably 0.05 or less. In addition, when c is 0 and c / (a + b + c) is 0, the structural unit of (R6SiO 3/2 ) does not exist in the above formula (1A).

上記式(1A)中のc/(a+b+c)は、0であることが好ましい。すなわち、上記式(1A)で表される第1のオルガノポリシロキサンは、下記式(1Aa)で表される第1のオルガノポリシロキサンであることが好ましい。これにより、硬化物にクラックがより一層生じ難くなり、かつ硬化物が光半導体装置構成部材からより一層剥離し難くなる。   C / (a + b + c) in the above formula (1A) is preferably 0. That is, the first organopolysiloxane represented by the above formula (1A) is preferably the first organopolysiloxane represented by the following formula (1Aa). Thereby, it becomes difficult to produce a crack in hardened | cured material further, and hardened | cured material becomes much more difficult to peel from an optical semiconductor device structural member.

Figure 2013191687
Figure 2013191687

上記式(1Aa)中、a及びbは、a/(a+b)=0〜0.30及びb/(a+b)=0.70〜1.0を満たし、R1〜R5は、少なくとも1個がアルケニル基を表し、少なくとも1個がメチル基を表し、アルケニル基及びメチル基以外のR1〜R5は、炭素数2〜8の炭化水素基を表す。   In the above formula (1Aa), a and b satisfy a / (a + b) = 0 to 0.30 and b / (a + b) = 0.70 to 1.0, and at least one of R1 to R5 is alkenyl Represents at least one group, and R1 to R5 other than the alkenyl group and the methyl group represent a hydrocarbon group having 2 to 8 carbon atoms.

上記式(1Aa)中、a/(a+b)は好ましくは0.25以下、より好ましくは0.20以下、更に好ましくは0.15以下である。上記式(1Aa)中、b/(a+b)は好ましくは0.75以上、より好ましくは0.80以上、更に好ましくは0.85以上である。   In the above formula (1Aa), a / (a + b) is preferably 0.25 or less, more preferably 0.20 or less, and still more preferably 0.15 or less. In the above formula (1Aa), b / (a + b) is preferably 0.75 or more, more preferably 0.80 or more, and further preferably 0.85 or more.

上記式(1B)中、a/(a+b+c)は0以上、0.50以下である。a/(a+b+c)が上記上限以下であると、硬化物の耐熱性がより一層高くなり、かつ硬化物の剥離をより一層抑制できる。上記式(1B)中、a/(a+b+c)は好ましくは0.45以下、より好ましくは0.40以下である。なお、aが0であり、a/(a+b+c)が0である場合、上記式(1B)中、(R1R2R3SiO1/2)の構造単位は存在しない。 In the above formula (1B), a / (a + b + c) is 0 or more and 0.50 or less. When a / (a + b + c) is less than or equal to the above upper limit, the heat resistance of the cured product is further increased, and peeling of the cured product can be further suppressed. In the above formula (1B), a / (a + b + c) is preferably 0.45 or less, more preferably 0.40 or less. When a is 0 and a / (a + b + c) is 0, there is no structural unit of (R1R2R3SiO 1/2 ) in the above formula (1B).

上記式(1B)中、b/(a+b+c)は0.40以上、1.0以下である。b/(a+b+c)が上記下限以上であると、硬化物が硬くなりすぎず、硬化物にクラックが生じ難くなる。上記式(1B)中、b/(a+b+c)は好ましくは0.50以上である。   In the above formula (1B), b / (a + b + c) is 0.40 or more and 1.0 or less. When b / (a + b + c) is not less than the above lower limit, the cured product does not become too hard, and cracks hardly occur in the cured product. In the above formula (1B), b / (a + b + c) is preferably 0.50 or more.

上記式(1B)中、c/(a+b+c)は0以上、0.50以下である。c/(a+b+c)が上記上限以下であると、硬化性組成物の適正な粘度を維持することが容易であり、硬化物の密着性がより一層高くなる。上記式(1B)中、c/(a+b+c)は好ましくは0.45以下、より好ましくは0.40以下、更に好ましくは0.35以下である。なお、cが0であり、c/(a+b+c)が0である場合、上記式(1B)中、(R6SiO3/2)の構造単位は存在しない。 In the above formula (1B), c / (a + b + c) is 0 or more and 0.50 or less. When c / (a + b + c) is not more than the above upper limit, it is easy to maintain an appropriate viscosity of the curable composition, and the adhesiveness of the cured product is further enhanced. In the above formula (1B), c / (a + b + c) is preferably 0.45 or less, more preferably 0.40 or less, and still more preferably 0.35 or less. In addition, when c is 0 and c / (a + b + c) is 0, the structural unit of (R6SiO 3/2 ) does not exist in the above formula (1B).

上記式(1B)中のc/(a+b+c)は0であることが好ましい。すなわち、上記式(1B)で表される第1のオルガノポリシロキサンは、下記式(1Bb)で表される第1のオルガノポリシロキサンであることが好ましい。これにより、硬化物にクラックがより一層生じ難くなり、かつ硬化物の剥離がより一層生じ難くなる。   C / (a + b + c) in the above formula (1B) is preferably 0. That is, the first organopolysiloxane represented by the above formula (1B) is preferably the first organopolysiloxane represented by the following formula (1Bb). As a result, cracks are less likely to occur in the cured product, and peeling of the cured product is further less likely to occur.

Figure 2013191687
Figure 2013191687

上記式(1Bb)中、a及びbは、a/(a+b)=0〜0.50及びb/(a+b)=0.50〜1.0を満たし、R1〜R5は、少なくとも1個がアリール基を表し、少なくとも1個がアルケニル基を表し、アリール基及びアルケニル基以外のR1〜R5は、炭素数1〜8の炭化水素基を表す。   In the above formula (1Bb), a and b satisfy a / (a + b) = 0 to 0.50 and b / (a + b) = 0.50 to 1.0, and at least one of R1 to R5 is aryl. Represents at least one alkenyl group, and R1 to R5 other than an aryl group and an alkenyl group represent a hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.

上記式(1Bb)中のa/(a+b)は好ましくは0.45以下、より好ましくは0.40以下である。上記式(1Bb)中のb/(a+b)は好ましくは0.55以上、より好ましくは0.60以上である。   A / (a + b) in the above formula (1Bb) is preferably 0.45 or less, more preferably 0.40 or less. In the above formula (1Bb), b / (a + b) is preferably 0.55 or more, more preferably 0.60 or more.

上記第1のオルガノポリシロキサンについて、テトラメチルシラン(以下、TMS)を基準に29Si−核磁気共鳴分析(以下、NMR)を行うと、置換基の種類によって若干の変動は見られるものの、上記式(1A)及び上記式(1B)中の(R1R2R3SiO1/2)で表される構造単位に相当するピークは+10〜−5ppm付近に現れ、上記式(1A)及び上記式(1B)中の(R4R5SiO2/2)で表される構造単位及び上記式(1−2)の二官能構造単位に相当する各ピークは−10〜−50ppm付近に現れ、上記式(1A)及び上記式(1B)中の(R6SiO3/2)で表される構造単位、並びに上記式(1−3)及び上記式(1−4)の三官能構造単位に相当する各ピークは−50〜−80ppm付近に現れる。 When the first organopolysiloxane was subjected to 29 Si-nuclear magnetic resonance analysis (hereinafter referred to as NMR) based on tetramethylsilane (hereinafter referred to as TMS), although some variation was observed depending on the type of substituent, The peak corresponding to the structural unit represented by (R1R2R3SiO 1/2 ) in the formula (1A) and the above formula (1B) appears in the vicinity of +10 to −5 ppm, and in the above formula (1A) and the above formula (1B) Each peak corresponding to the structural unit represented by (R4R5SiO 2/2 ) and the bifunctional structural unit of the above formula (1-2) appears in the vicinity of −10 to −50 ppm, and the above formula (1A) and the above formula (1B) ), The peaks corresponding to the structural unit represented by (R6SiO 3/2 ) and the trifunctional structural unit of the above formula (1-3) and the above formula (1-4) are in the vicinity of −50 to −80 ppm. Appearance The

従って、29Si−NMRを測定し、それぞれのシグナルのピーク面積を比較することによって上記式(1A)及び上記式(1B)中の各構造単位の比率を測定できる。 Therefore, the ratio of each structural unit in the above formula (1A) and the above formula (1B) can be measured by measuring 29 Si-NMR and comparing the peak areas of the respective signals.

但し、上記TMSを基準にした29Si−NMRの測定で上記式(1A)及び上記式(1B)中の構造単位の見分けがつかない場合は、29Si−NMRの測定結果だけではなく、H−NMRの測定結果を必要に応じて用いることにより、上記式(1A)及び上記式(1B)中の各構造単位の比率を見分けることができる。 However, in the case where the structural unit in the above formula (1A) and the above formula (1B) cannot be distinguished by the 29 Si-NMR measurement based on the TMS, not only the 29 Si-NMR measurement result but also 1 By using the measurement results of H-NMR as necessary, the ratio of each structural unit in the above formula (1A) and the above formula (1B) can be distinguished.

(第2のオルガノポリシロキサン)
上記硬化性組成物に含まれている第2のオルガノポリシロキサンは、珪素原子に結合した水素原子を2個以上有する。水素原子は、珪素原子に直接結合している。上記第2のオルガノポリシロキサンは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
(Second organopolysiloxane)
The second organopolysiloxane contained in the curable composition has two or more hydrogen atoms bonded to silicon atoms. The hydrogen atom is directly bonded to the silicon atom. As for said 2nd organopolysiloxane, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

耐熱性により一層優れた硬化物を得る観点からは、上記第2のオルガノポリシロキサンは、下記式(51A)で表され、珪素原子に結合した水素原子と珪素原子に結合したメチル基とを有する第2のオルガノポリシロキサン(以下、第2のオルガノポリシロキサンAと記載することがある)であることが好ましい。   From the viewpoint of obtaining a cured product that is more excellent in heat resistance, the second organopolysiloxane is represented by the following formula (51A) and has a hydrogen atom bonded to a silicon atom and a methyl group bonded to the silicon atom. A second organopolysiloxane (hereinafter sometimes referred to as a second organopolysiloxane A) is preferred.

Figure 2013191687
Figure 2013191687

上記式(51A)中、p、q及びrは、p/(p+q+r)=0.10〜0.50、q/(p+q+r)=0〜0.40及びr/(p+q+r)=0.40〜0.90を満たし、R51〜R56は、少なくとも1個が水素原子を表し、少なくとも1個がメチル基を表し、水素原子及びメチル基以外のR51〜R56は、炭素数2〜8の炭化水素基を表す。   In the above formula (51A), p, q and r are p / (p + q + r) = 0.10 to 0.50, q / (p + q + r) = 0 to 0.40 and r / (p + q + r) = 0.40. 0.90 is satisfied, R51 to R56 each represents at least one hydrogen atom, at least one represents a methyl group, and R51 to R56 other than the hydrogen atom and the methyl group are hydrocarbon groups having 2 to 8 carbon atoms. Represents.

ガスバリア性により一層優れた硬化物を得る観点からは、上記第2のオルガノポリシロキサンは、下記式(51B)で表され、アリール基と珪素原子に結合した水素原子とを有する第2のオルガノポリシロキサン(以下、第2のオルガノポリシロキサンBと記載することがある)であることが好ましい。該アリール基としては、無置換のフェニル基及び置換フェニル基が挙げられる。   From the viewpoint of obtaining a cured product that is more excellent in gas barrier properties, the second organopolysiloxane is represented by the following formula (51B), and includes a second organopolysiloxane having an aryl group and a hydrogen atom bonded to a silicon atom. Siloxane (hereinafter sometimes referred to as second organopolysiloxane B) is preferred. Examples of the aryl group include an unsubstituted phenyl group and a substituted phenyl group.

Figure 2013191687
Figure 2013191687

上記式(51B)中、p、q及びrは、p/(p+q+r)=0.05〜0.50、q/(p+q+r)=0.05〜0.50及びr/(p+q+r)=0.20〜0.80を満たし、R51〜R56は、少なくとも1個がアリール基を表し、少なくとも1個が水素原子を表し、アリール基及び水素原子以外のR51〜R56は、炭素数1〜8の炭化水素基を表す。   In the above formula (51B), p, q and r are p / (p + q + r) = 0.05 to 0.50, q / (p + q + r) = 0.05 to 0.50 and r / (p + q + r) = 0. 20 to 0.80 are satisfied, R51 to R56 each represents at least one aryl group, at least one represents a hydrogen atom, and R51 to R56 other than the aryl group and the hydrogen atom are carbon atoms having 1 to 8 carbon atoms. Represents a hydrogen group.

なお、上記式(51A)及び上記式(51B)中、(R54R55SiO2/2)で表される構造単位及び(R56SiO3/2)で表される構造単位はそれぞれ、アルコキシ基を有していてもよく、ヒドロキシ基を有していてもよい。 In the above formula (51A) and the above formula (51B), the structural unit represented by (R54R55SiO 2/2 ) and the structural unit represented by (R56SiO 3/2 ) each have an alkoxy group. It may have a hydroxy group.

上記式(51A)及び上記式(51B)は平均組成式を示す。上記式(51A)及び上記式(51B)における炭化水素基は、直鎖状であってもよく、分岐状であってもよい。上記式(51A)及び上記式(51B)中のR51〜R56は同一であってもよく、異なっていてもよい。   The above formula (51A) and the above formula (51B) show the average composition formula. The hydrocarbon group in the above formula (51A) and the above formula (51B) may be linear or branched. R51 to R56 in the above formula (51A) and the above formula (51B) may be the same or different.

上記式(51A)及び上記式(51B)中、(R54R55SiO2/2)で表される構造単位における酸素原子部分、(R56SiO3/2)で表される構造単位における酸素原子部分はそれぞれ、シロキサン結合を形成している酸素原子部分、アルコキシ基の酸素原子部分、又はヒドロキシ基の酸素原子部分を示す。 In the formula (51A) and the formula (51B), the oxygen atom part in the structural unit represented by (R54R55SiO 2/2 ) and the oxygen atom part in the structural unit represented by (R56SiO 3/2 ) are respectively siloxane. An oxygen atom part forming a bond, an oxygen atom part of an alkoxy group, or an oxygen atom part of a hydroxy group is shown.

上記式(51A)における炭素数2〜8の炭化水素基としては特に限定されず、上記式(1A)における炭素数2〜8と同様の炭化水素基が挙げられる。上記式(51B)における炭素数1〜8の炭化水素基としては、上記式(1A)における炭素数2〜8の炭化水素基と同様の基が挙げられ、更にメチル基が挙げられる。   It does not specifically limit as a C2-C8 hydrocarbon group in said Formula (51A), The hydrocarbon group similar to C2-C8 in said Formula (1A) is mentioned. As a C1-C8 hydrocarbon group in the said Formula (51B), the group similar to a C2-C8 hydrocarbon group in the said Formula (1A) is mentioned, Furthermore, a methyl group is mentioned.

硬化性組成物の硬化性をより一層高める観点からは、上記第2のオルガノポリシロキサンは、アルケニル基を有することが好ましく、ビニル基を有することがより好ましい。この場合には、上記式(51A)中、R51〜R56は、少なくとも1個が珪素原子を表し、少なくとも1個がメチル基を表し、少なくとも1個がアルケニル基を表し、水素原子、メチル基及びアルケニル基以外のR51〜R56は、炭素数2〜8の炭化水素基を表す。上記式(51B)中、R51〜R56は、少なくとも1個がアリール基を表し、少なくとも1個が珪素原子を表し、少なくとも1個がアルケニル基を表し、アリール基、水素原子、及びアルケニル基以外のR51〜R56は、炭素数2〜8の炭化水素基を表す。   From the viewpoint of further improving the curability of the curable composition, the second organopolysiloxane preferably has an alkenyl group, and more preferably has a vinyl group. In this case, in the above formula (51A), at least one of R51 to R56 represents a silicon atom, at least one represents a methyl group, at least one represents an alkenyl group, a hydrogen atom, a methyl group, and R51 to R56 other than the alkenyl group represent a hydrocarbon group having 2 to 8 carbon atoms. In the above formula (51B), at least one of R51 to R56 represents an aryl group, at least one represents a silicon atom, at least one represents an alkenyl group, and other than an aryl group, a hydrogen atom, and an alkenyl group R51 to R56 represent a hydrocarbon group having 2 to 8 carbon atoms.

硬化性組成物の保存安定性をより一層高める観点からは、上記第2のオルガノポリシロキサンAは、アリール基を有することが好ましい。該アリール基としては、無置換のフェニル基及び置換フェニル基が挙げられる。上記第2のオルガノポリシロキサンAにおける珪素原子に結合した全官能基のうち、アリール基の占める個数比率は好ましくは0.5%以上、好ましくは10%以下、より好ましくは5%以下である。上記第2のオルガノポリシロキサンAにおけるアリール基の個数比率が上記上限以下であると、硬化物の耐熱性がより一層良好になる。   From the viewpoint of further improving the storage stability of the curable composition, the second organopolysiloxane A preferably has an aryl group. Examples of the aryl group include an unsubstituted phenyl group and a substituted phenyl group. Among all the functional groups bonded to silicon atoms in the second organopolysiloxane A, the number ratio of the aryl group is preferably 0.5% or more, preferably 10% or less, more preferably 5% or less. When the number ratio of aryl groups in the second organopolysiloxane A is not more than the above upper limit, the heat resistance of the cured product is further improved.

上記式(51A)及び上記式(51B)で表される第2のオルガノポリシロキサンにおいて、(R54R55SiO2/2)で表される構造単位(以下、二官能構造単位ともいう)は、下記式(51−2)で表される構造、すなわち、二官能構造単位中の珪素原子に結合した酸素原子の1つがヒドロキシ基又はアルコキシ基を構成する構造を含んでいてもよい。 In the second organopolysiloxane represented by the above formula (51A) and the above formula (51B), the structural unit represented by (R54R55SiO 2/2 ) (hereinafter also referred to as a bifunctional structural unit) has the following formula ( The structure represented by 51-2), that is, the structure in which one of the oxygen atoms bonded to the silicon atom in the bifunctional structural unit constitutes a hydroxy group or an alkoxy group may be included.

(R54R55SiXO1/2) ・・・式(51−2) (R54R55SiXO 1/2 ) Formula (51-2)

(R54R55SiO2/2)で表される構造単位は、下記式(51−b)で表される構造単位の破線で囲まれた部分を含み、更に下記式(51−2−b)で表される構造単位の破線で囲まれた部分を含んでいてもよい。すなわち、R54及びR55で表される基を有し、かつアルコキシ基又はヒドロキシ基が末端に残存している構造単位も、(R54R55SiO2/2)で表される構造単位に含まれる。 The structural unit represented by (R54R55SiO 2/2 ) includes a portion surrounded by a broken line of the structural unit represented by the following formula (51-b), and is further represented by the following formula (51-2-b). A portion surrounded by a broken line of the structural unit may be included. That is, a structural unit having a group represented by R54 and R55 and having an alkoxy group or a hydroxy group remaining at the terminal is also included in the structural unit represented by (R54R55SiO 2/2 ).

Figure 2013191687
Figure 2013191687

上記式(51−2)及び式(51−2−b)中、Xは、OH又はORを表し、ORは、直鎖状又は分岐状の炭素数1〜4のアルコキシ基を表す。上記式(51−b)、式(51−2)及び式(51−2−b)中のR54及びR55は、上記式(51A)及び上記式(51B)中のR54及びR55と同様の基である。   In the above formulas (51-2) and (51-2-b), X represents OH or OR, and OR represents a linear or branched alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms. R54 and R55 in the above formula (51-b), formula (51-2) and formula (51-2-b) are the same groups as R54 and R55 in the above formula (51A) and the above formula (51B). It is.

上記式(51A)及び上記式(51B)で表される第2のオルガノポリシロキサンにおいて、(R56SiO3/2)で表される構造単位(以下、三官能構造単位ともいう)は、下記式(51−3)又は式(51−4)で表される構造、すなわち、三官能構造単位中の珪素原子に結合した酸素原子の2つがそれぞれヒドロキシ基若しくはアルコキシ基を構成する構造、又は、三官能構造単位中の珪素原子に結合した酸素原子の1つがヒドロキシ基若しくはアルコキシ基を構成する構造を含んでいてもよい。 In the second organopolysiloxane represented by the above formula (51A) and the above formula (51B), the structural unit represented by (R56SiO 3/2 ) (hereinafter also referred to as trifunctional structural unit) has the following formula ( 51-3) or a structure represented by formula (51-4), that is, a structure in which two oxygen atoms bonded to a silicon atom in a trifunctional structural unit each constitute a hydroxy group or an alkoxy group, or trifunctional One of the oxygen atoms bonded to the silicon atom in the structural unit may include a structure constituting a hydroxy group or an alkoxy group.

(R56SiX1/2) ・・・式(51−3)
(R56SiXO2/2) ・・・式(51−4)
(R56SiX 2 O 1/2 ) (Formula (51-3)
(R56SiXO 2/2 ) Formula (51-4)

(R56SiO3/2)で表される構造単位は、下記式(51−c)で表される構造単位の破線で囲まれた部分を含み、更に下記式(51−3−c)又は式(51−4−c)で表される構造単位の破線で囲まれた部分を含んでいてもよい。すなわち、R56で表される基を有し、かつアルコキシ基又はヒドロキシ基が末端に残存している構造単位も、(R56SiO3/2)で表される構造単位に含まれる。 The structural unit represented by (R56SiO 3/2 ) includes a portion surrounded by a broken line of the structural unit represented by the following formula (51-c), and further includes the following formula (51-3-c) or formula ( The part enclosed by the broken line of the structural unit represented by 51-4-c) may be included. That is, a structural unit having a group represented by R56 and having an alkoxy group or a hydroxy group remaining at the terminal is also included in the structural unit represented by (R56SiO 3/2 ).

Figure 2013191687
Figure 2013191687

上記式(51−3)、式(51−3−c)、式(51−4)及び式(51−4−c)中、Xは、OH又はORを表し、ORは、直鎖状又は分岐状の炭素数1〜4のアルコキシ基を表す。上記式(51−c)、式(51−3)、式(51−3−c)、式(51−4)及び式(51−4−c)中のR56は、上記式(51A)及び上記式(51B)中のR56と同様の基である。   In the above formula (51-3), formula (51-3-c), formula (51-4) and formula (51-4-c), X represents OH or OR, and OR is linear or A branched alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms is represented. R56 in the above formula (51-c), formula (51-3), formula (51-3-c), formula (51-4) and formula (51-4-c) represents the above formula (51A) and It is the same group as R56 in the above formula (51B).

上記式(51−b)及び式(51−c)、式(51−2)〜(51−4)、並びに式(51−2−b)、式(51−3−c)及び式(51−4−c)において、直鎖状又は分岐状の炭素数1〜4のアルコキシ基としては特に限定されず、例えば、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、n−ブトキシ基、イソプロポキシ基、イソブトキシ基、sec−ブトキシ基及びt−ブトキシ基が挙げられる。   Formula (51-b) and Formula (51-c), Formulas (51-2) to (51-4), Formula (51-2-b), Formula (51-3-c), and Formula (51) In 4-c), the linear or branched alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms is not particularly limited, and examples thereof include a methoxy group, an ethoxy group, an n-propoxy group, an n-butoxy group, and an isopropoxy group. , Isobutoxy group, sec-butoxy group and t-butoxy group.

上記式(51A)中、p/(p+q+r)の下限は0.10、上限は0.50である。p/(p+q+r)が上記上限以下であると、硬化物の硬度が上がり、傷及びゴミの付着を防止でき、硬化物の耐熱性がより一層高くなり、かつ硬化物の剥離をより一層抑制できる。上記式(51A)中、p/(p+q+r)は、好ましくは0.45以下、より好ましくは0.40以下である。   In the above formula (51A), the lower limit of p / (p + q + r) is 0.10, and the upper limit is 0.50. When p / (p + q + r) is less than or equal to the above upper limit, the hardness of the cured product is increased, adhesion of scratches and dust can be prevented, the heat resistance of the cured product is further increased, and peeling of the cured product can be further suppressed. . In said formula (51A), p / (p + q + r) becomes like this. Preferably it is 0.45 or less, More preferably, it is 0.40 or less.

上記式(51A)中、q/(p+q+r)の下限は0、上限は0.40である。q/(p+q+r)が0を超えると、硬化物が硬くなりすぎず、硬化物にクラックが生じ難くなる。上記式(51A)中、q/(p+q+r)は、好ましくは0.10以上、より好ましくは0.15以上である。なお、qが0であり、q/(p+q+r)が0である場合、上記式(51A)中、(R54R55SiO2/2)の構造単位は存在しない。 In the above formula (51A), the lower limit of q / (p + q + r) is 0, and the upper limit is 0.40. When q / (p + q + r) exceeds 0, the cured product does not become too hard and cracks are hardly generated in the cured product. In said formula (51A), q / (p + q + r) becomes like this. Preferably it is 0.10 or more, More preferably, it is 0.15 or more. In addition, when q is 0 and q / (p + q + r) is 0, the structural unit of (R54R55SiO 2/2 ) does not exist in the above formula (51A).

上記式(51A)中、r/(p+q+r)の下限は0.40、上限は0.90である。r/(p+q+r)が上記下限以上であると、硬化物の硬度が上がり、傷及びゴミの付着を防止できる。r/(p+q+r)が上記上限以下であると、硬化性組成物の適正な粘度を維持することが容易であり、硬化物の密着性がより一層高くなる。   In the above formula (51A), the lower limit of r / (p + q + r) is 0.40, and the upper limit is 0.90. When r / (p + q + r) is not less than the above lower limit, the hardness of the cured product is increased, and scratches and dust can be prevented from adhering. When r / (p + q + r) is not more than the above upper limit, it is easy to maintain an appropriate viscosity of the curable composition, and the adhesiveness of the cured product is further enhanced.

上記式(51B)中、p/(p+q+r)は0.05以上、0.50以下である。p/(p+q+r)が上記上限以下であると、硬化物の耐熱性がより一層高くなり、かつ硬化物の剥離をより一層抑制できる。上記式(51B)中、p/(p+q+r)は好ましくは0.10以上、好ましくは0.45以下である。   In the above formula (51B), p / (p + q + r) is 0.05 or more and 0.50 or less. When p / (p + q + r) is less than or equal to the above upper limit, the heat resistance of the cured product is further increased, and peeling of the cured product can be further suppressed. In said formula (51B), p / (p + q + r) becomes like this. Preferably it is 0.10 or more, Preferably it is 0.45 or less.

上記式(51B)中、q/(p+q+r)は0.05以上、0.50以下である。q/(p+q+r)が上記下限以上であると、硬化物が硬くなりすぎず、硬化物にクラックが生じ難くなる。q/(p+q+r)が上記上限以下であると、硬化物のガスバリア性がより一層高くなる。上記式(51B)中、q/(p+q+r)は好ましくは0.10以上、より好ましくは0.45以下である。   In the above formula (51B), q / (p + q + r) is 0.05 or more and 0.50 or less. When q / (p + q + r) is not less than the above lower limit, the cured product does not become too hard and cracks are hardly generated in the cured product. When q / (p + q + r) is not more than the above upper limit, the gas barrier property of the cured product is further enhanced. In said formula (51B), q / (p + q + r) becomes like this. Preferably it is 0.10 or more, More preferably, it is 0.45 or less.

上記式(51B)中、r/(p+q+r)は0.20以上、0.80以下である。r/(p+q+r)が上記下限以上であると、硬化物の硬度が上がり、傷及びゴミの付着を防止でき、硬化物の耐熱性が高くなり、高温環境下で硬化物の厚みが減少し難くなる。r/(p+q+r)が上記上限以下であると、硬化性組成物の適正な粘度を維持することが容易であり、硬化物の密着性がより一層高くなる。   In said formula (51B), r / (p + q + r) is 0.20 or more and 0.80 or less. When r / (p + q + r) is equal to or greater than the above lower limit, the hardness of the cured product is increased, scratches and dust can be prevented, the heat resistance of the cured product is increased, and the thickness of the cured product is less likely to decrease in a high temperature environment. Become. When r / (p + q + r) is not more than the above upper limit, it is easy to maintain an appropriate viscosity of the curable composition, and the adhesiveness of the cured product is further enhanced.

上記第2のオルガノポリシロキサンについて、テトラメチルシラン(以下、TMS)を基準に29Si−核磁気共鳴分析(以下、NMR)を行うと、置換基の種類によって若干の変動は見られるものの、上記式(51A)及び上記式(51B)中の(R51R52R53SiO1/2)で表される構造単位に相当するピークは+10〜−5ppm付近に現れ、上記式(51A)及び上記式(51B)中の(R54R55SiO2/2)で表される構造単位及び上記式(51−2)の二官能構造単位に相当する各ピークは−10〜−50ppm付近に現れ、上記式(51A)及び上記式(51B)中の(R56SiO3/2)で表される構造単位、並びに上記式(51−3)及び上記式(51−4)の三官能構造単位に相当する各ピークは−50〜−80ppm付近に現れる。 When the second organopolysiloxane was subjected to 29 Si-nuclear magnetic resonance analysis (hereinafter referred to as NMR) based on tetramethylsilane (hereinafter referred to as TMS), although some variation was observed depending on the type of substituent, The peak corresponding to the structural unit represented by (R51R52R53SiO 1/2 ) in the formula (51A) and the above formula (51B) appears in the vicinity of +10 to −5 ppm, and in the above formula (51A) and the above formula (51B) Each peak corresponding to the structural unit represented by (R54R55SiO 2/2 ) and the bifunctional structural unit of the above formula (51-2) appears in the vicinity of −10 to −50 ppm, and the above formula (51A) and the above formula (51B) ), The peaks corresponding to the structural unit represented by (R56SiO 3/2 ), and the trifunctional structural units of the above formula (51-3) and the above formula (51-4) are Appears around -50 to -80 ppm.

従って、29Si−NMRを測定し、それぞれのシグナルのピーク面積を比較することによって上記式(51A)及び上記式(51B)中の各構造単位の比率を測定できる。 Therefore, the ratio of each structural unit in the above formula (51A) and the above formula (51B) can be measured by measuring 29 Si-NMR and comparing the peak areas of the respective signals.

但し、上記TMSを基準にした29Si−NMRの測定で上記式(51A)及び上記式(51B)中の構造単位の見分けがつかない場合は、29Si−NMRの測定結果だけではなく、H−NMRの測定結果を必要に応じて用いることにより、上記式(51A)及び上記式(51B)中の各構造単位の比率を見分けることができる。 However, in the case where the structural unit in the above formula (51A) and the above formula (51B) cannot be distinguished by the 29 Si-NMR measurement based on the above TMS, not only the 29 Si-NMR measurement result but also 1 By using the measurement result of H-NMR as necessary, the ratio of each structural unit in the above formula (51A) and the above formula (51B) can be distinguished.

上記第1のオルガノポリシロキサン100重量部に対して、上記第2のオルガノポリシロキサンの含有量は好ましくは10重量部以上、より好ましくは15重量部以上、更に好ましくは20重量部以上、好ましくは400重量部以下、より好ましくは300重量部以下、更に好ましくは200重量部以下である。上記第1,第2のオルガノポリシロキサンの含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化性により一層優れた硬化性組成物が得られる。   The content of the second organopolysiloxane is preferably 10 parts by weight or more, more preferably 15 parts by weight or more, still more preferably 20 parts by weight or more, preferably 100 parts by weight of the first organopolysiloxane. 400 parts by weight or less, more preferably 300 parts by weight or less, still more preferably 200 parts by weight or less. When the content of the first and second organopolysiloxanes is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, a curable composition more excellent in curability can be obtained.

(第1,第2のオルガノポリシロキサンの他の性質及びその合成方法)
上記第1のオルガノポリシロキサンの数平均分子量(Mn)は、好ましくは500以上、より好ましくは1000以上、更に好ましくは5000以上、好ましくは200000以下、より好ましくは100000以下、更に好ましくは60000以下、特に好ましくは10000以下、最も好ましくは8000以下である。上記式(1A)で表される第1のオルガノポリシロキサンの数平均分子量(Mn)は、好ましくは500以上、より好ましくは1000以上、更に好ましくは5000以上、好ましくは200000以下、より好ましくは100000以下、更に好ましくは60000以下である。上記式(1B)で表される第1のオルガノポリシロキサンの数平均分子量(Mn)は、好ましくは500以上、より好ましくは1000以上、好ましくは10000以下、より好ましくは8000以下である。上記第2のオルガノポリシロキサンの数平均分子量(Mn)は、好ましくは500以上、より好ましくは1000以上、好ましくは20000以下、より好ましくは10000以下である。数平均分子量が上記下限以上であると、熱硬化時に揮発成分が少なくなり、高温環境下で硬化物の厚みが減少しにくくなる。数平均分子量が上記上限以下であると、粘度調節が容易である。
(Other properties of the first and second organopolysiloxanes and synthesis methods thereof)
The number average molecular weight (Mn) of the first organopolysiloxane is preferably 500 or more, more preferably 1000 or more, still more preferably 5000 or more, preferably 200000 or less, more preferably 100000 or less, still more preferably 60000 or less, Particularly preferred is 10,000 or less, and most preferred is 8000 or less. The number average molecular weight (Mn) of the first organopolysiloxane represented by the above formula (1A) is preferably 500 or more, more preferably 1000 or more, further preferably 5000 or more, preferably 200000 or less, more preferably 100000. Hereinafter, it is more preferably 60000 or less. The number average molecular weight (Mn) of the first organopolysiloxane represented by the above formula (1B) is preferably 500 or more, more preferably 1000 or more, preferably 10,000 or less, more preferably 8000 or less. The number average molecular weight (Mn) of the second organopolysiloxane is preferably 500 or more, more preferably 1000 or more, preferably 20000 or less, more preferably 10,000 or less. When the number average molecular weight is not less than the above lower limit, the volatile components are reduced at the time of thermosetting, and the thickness of the cured product is hardly reduced under a high temperature environment. When the number average molecular weight is not more than the above upper limit, viscosity adjustment is easy.

上記数平均分子量(Mn)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)を用いて、ポリスチレンを標準物質として求めた値である。上記数平均分子量(Mn)は、Waters社製の測定装置(カラム:昭和電工社製 Shodex GPC LF−804(長さ300mm)を2本、測定温度:40℃、流速:1mL/分、溶媒:テトラヒドロフラン、標準物質:ポリスチレン)を用いて測定された値を意味する。   The number average molecular weight (Mn) is a value obtained by using polystyrene as a standard substance using gel permeation chromatography (GPC). The number average molecular weight (Mn) was measured using two measuring devices manufactured by Waters (column: Shodex GPC LF-804 (length: 300 mm) manufactured by Showa Denko KK), measuring temperature: 40 ° C., flow rate: 1 mL / min, solvent: Tetrahydrofuran, standard substance: polystyrene) means a value measured.

上記第1,第2のオルガノポリシロキサンを合成する方法としては特に限定されず、アルコキシシラン化合物を加水分解し縮合反応させる方法、及びクロロシラン化合物を加水分解し縮合させる方法が挙げられる。なかでも、反応の制御の観点からアルコキシシラン化合物を加水分解し縮合させる方法が好ましい。   The method for synthesizing the first and second organopolysiloxanes is not particularly limited, and examples thereof include a method in which an alkoxysilane compound is hydrolyzed and subjected to a condensation reaction, and a method in which a chlorosilane compound is hydrolyzed and condensed. Especially, the method of hydrolyzing and condensing an alkoxysilane compound from a viewpoint of reaction control is preferable.

アルコキシシラン化合物を加水分解し縮合させる方法としては、例えば、アルコキシシラン化合物を、水と酸性触媒又は塩基性触媒との存在下で反応させる方法が挙げられる。また、ジシロキサン化合物を加水分解して用いてもよい。   Examples of the method for hydrolyzing and condensing the alkoxysilane compound include a method in which an alkoxysilane compound is reacted in the presence of water and an acidic catalyst or a basic catalyst. Further, the disiloxane compound may be hydrolyzed and used.

上記第1のオルガノポリシロキサンにアルケニル基を導入するための有機珪素化合物としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルメチルジメトキシシラン、メトキシジメチルビニルシラン、ビニルジメチルエトキシシラン及び1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン等が挙げられる。   Examples of the organosilicon compound for introducing an alkenyl group into the first organopolysiloxane include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinylmethyldimethoxysilane, methoxydimethylvinylsilane, vinyldimethylethoxysilane, and 1,3-divinyl. -1,1,3,3-tetramethyldisiloxane and the like.

上記第2のオルガノポリシロキサンに珪素原子に結合した水素原子を導入するための有機珪素化合物としては、トリメトキシシラン、トリエトキシシラン、メチルジメトキシシラン、メチルジエトキシシラン、及び1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン等が挙げられる。   Examples of the organosilicon compound for introducing a hydrogen atom bonded to a silicon atom into the second organopolysiloxane include trimethoxysilane, triethoxysilane, methyldimethoxysilane, methyldiethoxysilane, and 1,1,3, Examples include 3-tetramethyldisiloxane.

上記第1,第2のオルガノポリシロキサンに必要に応じてアリール基を導入するための有機珪素化合物としては、トリフェニルメトキシシラン、トリフェニルエトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、メチル(フェニル)ジメトキシシラン、及びフェニルトリメトキシシラン等が挙げられる。   Examples of the organosilicon compound for introducing an aryl group into the first and second organopolysiloxanes as necessary include triphenylmethoxysilane, triphenylethoxysilane, diphenyldimethoxysilane, diphenyldiethoxysilane, methyl (phenyl) ) Dimethoxysilane, phenyltrimethoxysilane and the like.

上記第1,第2のオルガノポリシロキサンを得るために用いることができる他の有機珪素化合物としては、例えば、トリメチルメトキシシラン、トリメチルエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、イソプロピル(メチル)ジメトキシシラン、シクロヘキシル(メチル)ジメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン及びオクチルトリメトキシシラン等が挙げられる。   Examples of other organosilicon compounds that can be used to obtain the first and second organopolysiloxanes include trimethylmethoxysilane, trimethylethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, and isopropyl (methyl) dimethoxy. Examples include silane, cyclohexyl (methyl) dimethoxysilane, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, ethyltrimethoxysilane, ethyltriethoxysilane, hexyltrimethoxysilane, and octyltrimethoxysilane.

上記酸性触媒としては、例えば、無機酸、有機酸、無機酸の酸無水物及びその誘導体、並びに有機酸の酸無水物及びその誘導体が挙げられる。   Examples of the acidic catalyst include inorganic acids, organic acids, acid anhydrides of inorganic acids and derivatives thereof, and acid anhydrides of organic acids and derivatives thereof.

(ヒドロシリル化反応用触媒)
上記硬化性組成物に含まれているヒドロシリル化反応用触媒は、上記第1のオルガノポリシロキサン中のアルケニル基と、上記第2のオルガノポリシロキサン中の珪素原子に結合した水素原子とをヒドロシリル化反応させる触媒である。
(Catalyst for hydrosilylation reaction)
The hydrosilylation reaction catalyst contained in the curable composition comprises hydrosilylation of an alkenyl group in the first organopolysiloxane and a hydrogen atom bonded to a silicon atom in the second organopolysiloxane. The catalyst to be reacted.

上記ヒドロシリル化反応用触媒として、ヒドロシリル化反応を進行させる各種の触媒を用いることができる。上記ヒドロシリル化反応用触媒は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   As the hydrosilylation reaction catalyst, various catalysts that cause the hydrosilylation reaction to proceed can be used. As for the said catalyst for hydrosilylation reaction, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記ヒドロシリル化反応用触媒としては、例えば、白金系触媒、ロジウム系触媒及びパラジウム系触媒等が挙げられる。硬化物の透明性が高くなるため、白金系触媒が好ましい。   Examples of the hydrosilylation reaction catalyst include platinum-based catalysts, rhodium-based catalysts, and palladium-based catalysts. Since the transparency of the cured product is increased, a platinum-based catalyst is preferable.

上記白金系触媒としては、白金粉末、塩化白金酸、白金−アルケニルシロキサン錯体、白金−オレフィン錯体及び白金−カルボニル錯体が挙げられる。特に、白金−アルケニルシロキサン錯体又は白金−オレフィン錯体が好ましい。   Examples of the platinum-based catalyst include platinum powder, chloroplatinic acid, a platinum-alkenylsiloxane complex, a platinum-olefin complex, and a platinum-carbonyl complex. In particular, a platinum-alkenylsiloxane complex or a platinum-olefin complex is preferable.

上記白金−アルケニルシロキサン錯体におけるアルケニルシロキサンとしては、例えば、1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン、及び1,3,5,7−テトラメチル−1,3,5,7−テトラビニルシクロテトラシロキサン等が挙げられる。上記白金−オレフィン錯体におけるオレフィンとしては、例えば、アリルエーテル及び1,6−ヘプタジエン等が挙げられる。   Examples of the alkenylsiloxane in the platinum-alkenylsiloxane complex include 1,3-divinyl-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane and 1,3,5,7-tetramethyl-1,3,5. , 7-tetravinylcyclotetrasiloxane and the like. Examples of the olefin in the platinum-olefin complex include allyl ether and 1,6-heptadiene.

上記白金−アルケニルシロキサン錯体及び白金−オレフィン錯体の安定性が向上するため、上記白金−アルケニルシロキサン錯体又は白金−オレフィン錯体に、アルケニルシロキサン、オルガノシロキサンオリゴマー、アリルエーテル又はオレフィンを添加することが好ましい。上記アルケニルシロキサンは、好ましくは1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサンである。上記オルガノシロキサンオリゴマーは、好ましくはジメチルシロキサンオリゴマーである。上記オレフィンは、好ましくは1,6−ヘプタジエンである。   In order to improve the stability of the platinum-alkenylsiloxane complex and the platinum-olefin complex, it is preferable to add alkenylsiloxane, organosiloxane oligomer, allyl ether, or olefin to the platinum-alkenylsiloxane complex or platinum-olefin complex. The alkenylsiloxane is preferably 1,3-divinyl-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane. The organosiloxane oligomer is preferably a dimethylsiloxane oligomer. The olefin is preferably 1,6-heptadiene.

硬化性組成物中で、上記ヒドロシリル化反応用触媒の含有量は、金属原子(白金のアルケニル錯体の場合には白金原子)の重量単位で好ましくは0.01ppm以上、より好ましくは1ppm以上、好ましくは1000ppm以下、より好ましくは500ppm以下である。上記ヒドロシリル化反応用触媒の含有量が上記下限以上であると、硬化性組成物を十分に硬化させることが容易である。上記ヒドロシリル化反応用触媒の含有量が上記上限以下であると、硬化物の着色の問題が生じ難い。   In the curable composition, the content of the catalyst for hydrosilylation reaction is preferably 0.01 ppm or more, more preferably 1 ppm or more, preferably in terms of weight units of metal atoms (platinum atoms in the case of platinum alkenyl complexes). Is 1000 ppm or less, more preferably 500 ppm or less. When the content of the hydrosilylation reaction catalyst is not less than the above lower limit, it is easy to sufficiently cure the curable composition. When the content of the catalyst for hydrosilylation reaction is not more than the above upper limit, the problem of coloring of the cured product hardly occurs.

(接着付与剤)
封止剤及びレンズ(硬化物)が光半導体装置構成部材から剥離するのをより一層抑制する観点からは、上記硬化性組成物は、接着付与剤を含むことが好ましい。上記接着付与剤は、シランカップリング剤であることが好ましい。封止剤及びレンズが光半導体装置構成部材から剥離するのをより一層抑制する観点からは、上記硬化性組成物及び上記接着付与剤は、ウレイド基を有する第1のシラン化合物を含むことが好ましい。上記第1のシラン化合物の使用により、光半導体装置が高温高湿下での過酷な環境で使用されても、硬化性組成物が硬化した硬化物の接着対象物からの剥離が生じ難くなる。
(Adhesive agent)
From the viewpoint of further suppressing the sealing agent and the lens (cured product) from peeling from the optical semiconductor device constituent member, the curable composition preferably contains an adhesion-imparting agent. The adhesion imparting agent is preferably a silane coupling agent. From the viewpoint of further suppressing the sealing agent and the lens from peeling from the optical semiconductor device constituent member, the curable composition and the adhesion-imparting agent preferably contain a first silane compound having a ureido group. . By using the first silane compound, even when the optical semiconductor device is used in a harsh environment under high temperature and high humidity, the cured product obtained by curing the curable composition is less likely to be peeled off from the adhesion target.

硬化物の接着対象物からの剥離をより一層抑制する観点からは、上記第1のシラン化合物は、下記式(S1)で表される第1のシラン化合物であることが好ましい。   From the viewpoint of further suppressing the peeling of the cured product from the object to be bonded, the first silane compound is preferably a first silane compound represented by the following formula (S1).

Figure 2013191687
Figure 2013191687

上記式(S1)中、X1はアルコキシ基を表し、X2及びX3はそれぞれ、炭素数1〜8のアルキル基又はアルコキシ基を表し、R4は窒素原子と珪素原子とを直接結合している単結合を表すか又は炭素数1〜8の炭化水素基を表す。   In the above formula (S1), X1 represents an alkoxy group, X2 and X3 each represents an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms or an alkoxy group, and R4 is a single bond directly bonding a nitrogen atom and a silicon atom. Or a hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.

上記第1,第2のオルガノポリシロキサンの合計100重量部に対して、上記接着付与剤の含有量は好ましくは0.01重量部以上、より好ましくは0.1重量部以上、好ましくは10重量部以下、より好ましくは5重量部以下、更に好ましくは3重量部以下である。上記接着付与剤の含有量が上記下限以上であると、硬化物の接着対象物からの剥離をより一層抑制できる。上記接着付与剤の含有量が上記上限以下であると、余剰の上記第1のシランカップリング剤が揮発し難くなり、高温環境下で硬化物の厚みが減少し難くなる。   The content of the adhesion-imparting agent is preferably 0.01 parts by weight or more, more preferably 0.1 parts by weight or more, preferably 10 parts by weight with respect to a total of 100 parts by weight of the first and second organopolysiloxanes. Part or less, more preferably 5 parts by weight or less, still more preferably 3 parts by weight or less. When the content of the adhesion-imparting agent is equal to or more than the lower limit, peeling of the cured product from the object to be bonded can be further suppressed. If the content of the adhesion-imparting agent is not more than the above upper limit, the excess first silane coupling agent is less likely to volatilize, and the thickness of the cured product is less likely to decrease in a high temperature environment.

上記第1,第2のオルガノポリシロキサンの合計100重量部に対して、上記第1のシラン化合物の含有量は好ましくは0.01重量部以上、より好ましくは0.1重量部以上、好ましくは5重量部以下、より好ましくは3重量部以下である。上記第1のシラン化合物の含有量が上記下限以上であると、硬化物の接着対象物からの剥離をより一層抑制できる。上記第1のシラン化合物の含有量が上記上限以下であると、余剰の上記第1のシランカップリング剤が揮発し難くなり、高温環境下で硬化物の厚みが減少し難くなる。   The content of the first silane compound is preferably 0.01 parts by weight or more, more preferably 0.1 parts by weight or more, preferably 100 parts by weight in total for the first and second organopolysiloxanes. 5 parts by weight or less, more preferably 3 parts by weight or less. When the content of the first silane compound is equal to or higher than the lower limit, peeling of the cured product from the adhesion target can be further suppressed. If the content of the first silane compound is less than or equal to the above upper limit, the excess first silane coupling agent is less likely to volatilize, and the thickness of the cured product is less likely to decrease in a high temperature environment.

上記接着付与剤は、ウレイド基を有する第1のシラン化合物とは異なる第2のシラン化合物を含むことが好ましい。上記第1のシラン化合物とともに上記第2のシラン化合物を用いることにより、硬化物の接着対象物からの剥離をより一層抑制できる。上記第2のシラン化合物は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The adhesion-imparting agent preferably contains a second silane compound different from the first silane compound having a ureido group. By using the second silane compound together with the first silane compound, peeling of the cured product from the object to be bonded can be further suppressed. As for the said 2nd silane compound, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記第2のシラン化合物としては特に限定されず、例えば、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−(メタ)アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、及びN−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。   The second silane compound is not particularly limited, and examples thereof include vinyltriethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, Examples include 3- (meth) acryloxypropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltrimethoxysilane, and N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane.

上記「(メタ)アクリロイル」は、アクリロイルとメタクリロイルとを示す。上記「(メタ)アクリロキシ」は、アクリロキシとメタクリロキシとを示す。   The “(meth) acryloyl” refers to acryloyl and methacryloyl. The “(meth) acryloxy” refers to acryloxy and methacryloxy.

硬化物の接着対象物からの剥離をより一層抑制する観点からは、上記第2のシラン化合物は、エポキシ基、ビニル基又は(メタ)アクリロイル基を有することが好ましい。   From the viewpoint of further suppressing the peeling of the cured product from the object to be bonded, the second silane compound preferably has an epoxy group, a vinyl group, or a (meth) acryloyl group.

硬化物の接着対象物からの剥離を更に一層抑制する観点からは、上記第2のシラン化合物は、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン又は3−(メタ)アクリロキシプロピルトリメトキシシランであることが好ましい。   From the viewpoint of further suppressing peeling of the cured product from the object to be bonded, the second silane compound is 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane or 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane. Vinyltrimethoxysilane or 3- (meth) acryloxypropyltrimethoxysilane is preferred.

上記第1,第2のオルガノポリシロキサンの合計100重量部に対して、上記第2のシラン化合物の含有量は好ましくは0.01重量部以上、より好ましくは0.1重量部以上、好ましくは5重量部以下、より好ましくは3重量部以下である。上記第2のシラン化合物の含有量が上記下限以上であると、硬化物の接着対象物からの剥離をより一層抑制できる。上記第2のシラン化合物の含有量が上記上限以下であると、余剰の上記第2のシランカップリング剤が揮発し難くなり、高温環境下で硬化物の厚みが減少し難くなる。   The content of the second silane compound is preferably 0.01 parts by weight or more, more preferably 0.1 parts by weight or more, preferably 100 parts by weight based on the total of the first and second organopolysiloxanes. 5 parts by weight or less, more preferably 3 parts by weight or less. When the content of the second silane compound is equal to or more than the lower limit, peeling of the cured product from the adhesion target can be further suppressed. If the content of the second silane compound is less than or equal to the above upper limit, the excess second silane coupling agent is less likely to volatilize, and the thickness of the cured product is less likely to decrease in a high temperature environment.

(酸化珪素粒子)
上記硬化性組成物は、酸化珪素粒子をさらに含むことが好ましい。上記硬化性組成物が光半導体装置用封止剤である場合に、該封止剤が酸化珪素粒子をさらに含むことが好ましい。該酸化珪素粒子の使用により、硬化物の耐熱性及び耐光性を損なうことなく、硬化性組成物の粘度を適当な範囲に調整可能である。従って、硬化性組成物の取り扱い性が高くなる。
(Silicon oxide particles)
The curable composition preferably further includes silicon oxide particles. In the case where the curable composition is an encapsulant for optical semiconductor devices, the encapsulant preferably further contains silicon oxide particles. By using the silicon oxide particles, the viscosity of the curable composition can be adjusted to an appropriate range without impairing the heat resistance and light resistance of the cured product. Therefore, the handleability of the curable composition is improved.

上記酸化珪素粒子の一次粒子径は、好ましくは5nm以上、より好ましくは8nm以上、好ましくは200nm以下、より好ましくは150nm以下である。上記酸化珪素粒子の一次粒子径が上記下限以上であると、酸化珪素粒子の分散性がより一層高くなり、硬化物の透明性がより一層高くなる。上記酸化珪素粒子の一次粒子径が上記上限以下であると、25℃における粘度の上昇効果を充分に得ることができ、かつ温度上昇における粘度の低下が抑えられる。   The primary particle diameter of the silicon oxide particles is preferably 5 nm or more, more preferably 8 nm or more, preferably 200 nm or less, more preferably 150 nm or less. When the primary particle diameter of the silicon oxide particles is not less than the above lower limit, the dispersibility of the silicon oxide particles is further increased, and the transparency of the cured product is further increased. When the primary particle diameter of the silicon oxide particles is not more than the above upper limit, the effect of increasing the viscosity at 25 ° C. can be sufficiently obtained, and the decrease in the viscosity due to the temperature increase can be suppressed.

上記酸化珪素粒子のBET比表面積は、好ましくは30m/g以上、好ましくは400m/g以下である。上記酸化珪素粒子のBET比表面積が30m/g以上であると、硬化性組成物の25℃における粘度を好適な範囲に制御でき、温度上昇における粘度の低下を抑制できる。上記酸化珪素粒子のBET比表面積が400m/g以下であると、酸化珪素粒子の凝集が生じ難くなり、分散性を高くすることができ、更に硬化物の透明性をより一層高くすることができる。 The BET specific surface area of the silicon oxide particles is preferably 30 m 2 / g or more, and preferably 400 m 2 / g or less. When the BET specific surface area of the silicon oxide particles is 30 m 2 / g or more, the viscosity at 25 ° C. of the curable composition can be controlled within a suitable range, and the decrease in the viscosity due to a temperature rise can be suppressed. When the BET specific surface area of the silicon oxide particles is 400 m 2 / g or less, the aggregation of the silicon oxide particles hardly occurs, the dispersibility can be increased, and the transparency of the cured product can be further increased. it can.

上記酸化珪素粒子としては特に限定されず、例えば、フュームドシリカ、溶融シリカ等の乾式法で製造されたシリカ、並びにコロイダルシリカ、ゾルゲルシリカ、沈殿シリカ等の湿式法で製造されたシリカ等が挙げられる。なかでも、揮発成分が少なく、かつ透明性がより一層高い硬化物を得る観点からは、上記酸化珪素粒子として、フュームドシリカが好適に用いられる。   The silicon oxide particles are not particularly limited, and examples thereof include silica produced by a dry method such as fumed silica and fused silica, and silica produced by a wet method such as colloidal silica, sol-gel silica and precipitated silica. It is done. Among these, fumed silica is suitably used as the silicon oxide particles from the viewpoint of obtaining a cured product with less volatile components and higher transparency.

上記酸化珪素粒子は、有機珪素化合物により表面処理されていることが好ましい。この表面処理により、酸化珪素粒子の分散性が非常に高くなり、硬化性組成物の温度上昇による粘度の低下をより一層抑制できる。   The silicon oxide particles are preferably surface-treated with an organosilicon compound. By this surface treatment, the dispersibility of the silicon oxide particles becomes very high, and it is possible to further suppress the decrease in the viscosity due to the temperature rise of the curable composition.

上記第1,第2のオルガノポリシロキサンの合計100重量部に対して、上記酸化珪素粒子の含有量は好ましくは0.1重量部以上、より好ましくは0.5重量部以上、更に好ましくは1重量部以上、好ましくは40重量部以下、より好ましくは35重量部以下、更に好ましくは20重量部以下である。上記酸化珪素粒子の含有量が上記下限以上であると、硬化時の粘度低下を抑制することが可能になる。上記酸化珪素粒子の含有量が上記上限以下であると、硬化性組成物の粘度をより一層適正な範囲に制御でき、かつ硬化物の透明性がより一層高くなる。   The content of the silicon oxide particles is preferably 0.1 parts by weight or more, more preferably 0.5 parts by weight or more, still more preferably 1 with respect to 100 parts by weight of the total of the first and second organopolysiloxanes. Part by weight or more, preferably 40 parts by weight or less, more preferably 35 parts by weight or less, still more preferably 20 parts by weight or less. When the content of the silicon oxide particles is equal to or higher than the lower limit, it is possible to suppress a decrease in viscosity at the time of curing. When the content of the silicon oxide particles is not more than the above upper limit, the viscosity of the curable composition can be controlled to a more appropriate range, and the transparency of the cured product is further enhanced.

(蛍光体)
上記硬化性組成物は、蛍光体をさらに含んでいてもよい。上記硬化性組成物が封止剤である場合に、該封止剤が蛍光体をさらに含むことが好ましい。また、上記硬化性組成物は、蛍光体を含んでいなくてもよい。この場合には、上記硬化性組成物の使用時に蛍光体が添加されてもよい。
(Phosphor)
The curable composition may further contain a phosphor. When the curable composition is a sealant, the sealant preferably further contains a phosphor. Moreover, the said curable composition does not need to contain the fluorescent substance. In this case, a phosphor may be added when using the curable composition.

上記蛍光体は、例えば、上記硬化性組成物を用いて封止する発光素子が発する光を吸収し、蛍光を発生することによって、最終的に所望の色の光を得ることができるように作用する。上記蛍光体は、発光素子が発する光によって励起され、蛍光を発し、発光素子が発する光と蛍光体が発する蛍光との組み合わせによって、所望の色の光が得られる。   The phosphor acts, for example, to absorb light emitted from a light-emitting element that is sealed using the curable composition and generate fluorescence, thereby finally obtaining light of a desired color. To do. The phosphor is excited by light emitted from the light emitting element to emit fluorescence, and light of a desired color is obtained by a combination of light emitted from the light emitting element and fluorescence emitted from the phosphor.

例えば、発光素子として紫外線LEDチップを使用して最終的に白色光を得ることを目的とする場合には、青色蛍光体、赤色蛍光体及び緑色蛍光体を組み合わせて用いることが好ましい。発光素子として青色LEDチップを使用して最終的に白色光を得ることを目的とする場合には、緑色蛍光体及び赤色蛍光体を組み合わせて用いるか、又は、黄色蛍光体を用いることが好ましい。上記蛍光体は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   For example, when it is intended to finally obtain white light using an ultraviolet LED chip as a light emitting element, it is preferable to use a combination of a blue phosphor, a red phosphor and a green phosphor. When it is intended to finally obtain white light using a blue LED chip as a light emitting element, it is preferable to use a combination of a green phosphor and a red phosphor, or a yellow phosphor. As for the said fluorescent substance, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

所望の色の光を得るように、上記蛍光体の含有量は適宜調整でき、特に限定されない。上記硬化性組成物100重量部に対して、上記蛍光体の含有量は、好ましくは0.1重量部以上、好ましくは40重量部以下である。上記硬化性組成物の蛍光体を除く全成分100重量部に対して、上記蛍光体の含有量は好ましくは0.1重量部以上、好ましくは40重量部以下である。   The phosphor content can be adjusted as appropriate so as to obtain light of a desired color, and is not particularly limited. The content of the phosphor is preferably 0.1 parts by weight or more and preferably 40 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the curable composition. The content of the phosphor is preferably 0.1 parts by weight or more and preferably 40 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of all components excluding the phosphor of the curable composition.

(他の成分)
上記硬化性組成物は、必要に応じて、分散剤、酸化防止剤、消泡剤、着色剤、変性剤、レベリング剤、光拡散剤、熱伝導性フィラー又は難燃剤等の添加剤をさらに含んでいてもよい。
(Other ingredients)
The curable composition further contains an additive such as a dispersant, an antioxidant, an antifoaming agent, a colorant, a modifier, a leveling agent, a light diffusing agent, a heat conductive filler, or a flame retardant as necessary. You may go out.

以下に、実施例を挙げて本発明をより詳細に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. The present invention is not limited to the following examples.

(実施例1)
第1のオルガノポリシロキサンの合成:
温度計、滴下装置及び攪拌機を備えた1Lのセパラブルフラスコに、ジメチルジメトキシシラン486g、及び1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン2.7gを入れ、50℃で攪拌した。その中に、水酸化カリウム2.2gを水144gに溶かした溶液をゆっくりと滴下し、滴下後に50℃で6時間攪拌し、反応させて、反応液を得た。次に、減圧して揮発成分を除去し、反応液に酢酸2.4gを加え、減圧下で加熱した。その後、酢酸カリウムをろ過により除去して、ポリマー(A)を得た。
Example 1
Synthesis of the first organopolysiloxane:
In a 1 L separable flask equipped with a thermometer, a dropping device and a stirrer, 486 g of dimethyldimethoxysilane and 2.7 g of 1,3-divinyl-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane are placed, and at 50 ° C. Stir. A solution prepared by dissolving 2.2 g of potassium hydroxide in 144 g of water was slowly added dropwise thereto, and after the addition, the mixture was stirred at 50 ° C. for 6 hours and reacted to obtain a reaction solution. Next, volatile components were removed under reduced pressure, 2.4 g of acetic acid was added to the reaction solution, and the mixture was heated under reduced pressure. Thereafter, potassium acetate was removed by filtration to obtain a polymer (A).

得られたポリマー(A)の数平均分子量は37400であった。29Si−NMRより化学構造を同定した結果、ポリマー(A)は、下記の平均組成式(A1)を有していた。 The number average molecular weight of the obtained polymer (A) was 37400. As a result of identifying the chemical structure from 29 Si-NMR, the polymer (A) had the following average composition formula (A1).

(MeSiO2/20.992(ViMeSiO1/20.008 …式(A1)
上記式(A1)中、Meはメチル基、Viはビニル基を示す。得られたポリマー(A)における上記メチル基の個数比率は99%であった。
(Me 2 SiO 2/2 ) 0.992 (ViMe 2 SiO 1/2 ) 0.008 Formula (A1)
In the above formula (A1), Me represents a methyl group, and Vi represents a vinyl group. The number ratio of the methyl group in the obtained polymer (A) was 99%.

なお、ポリマーの分子量は、10mgにテトラヒドロフラン1mLを加え、溶解するまで攪拌し、GPC測定により測定した。GPC測定では、Waters社製の測定装置(カラム:昭和電工社製 Shodex GPC LF−804(長さ300mm)×2本、測定温度:40℃、流速:1mL/min、溶媒:テトラヒドロフラン、標準物質:ポリスチレン)を用いた。   The molecular weight of the polymer was measured by GPC measurement after adding 1 mL of tetrahydrofuran to 10 mg, stirring until dissolved. In GPC measurement, a measuring device manufactured by Waters (column: Shodex GPC LF-804 (length: 300 mm) x 2 manufactured by Showa Denko KK), measuring temperature: 40 ° C., flow rate: 1 mL / min, solvent: tetrahydrofuran, standard substance: Polystyrene) was used.

第2のオルガノポリシロキサンの合成:
温度計、滴下装置及び攪拌機を備えた1Lのセパラブルフラスコに、ジメチルジメトキシシラン90.2g、メチルトリメトキシシラン217g、ビニルトリメトキシシラン31g、1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン40g、及びトリメチルメトキシシラン16gを入れ、50℃で攪拌した。その中に、塩酸2.0gと水134gの溶液をゆっくりと滴下し、滴下後に50℃で6時間攪拌し、反応させて、反応液を得た。次に、減圧して揮発成分を除去してポリマーを得た。得られたポリマーにヘキサン150gと酢酸エチル150gとを添加し、イオン交換水300gで10回洗浄を行い、減圧して揮発成分を除去してポリマー(B)を得た。
Synthesis of the second organopolysiloxane:
In a 1 L separable flask equipped with a thermometer, a dropping device and a stirrer, 90.2 g of dimethyldimethoxysilane, 217 g of methyltrimethoxysilane, 31 g of vinyltrimethoxysilane, 40 g of 1,1,3,3-tetramethyldisiloxane, And 16 g of trimethylmethoxysilane were added and stirred at 50 ° C. Into this, a solution of 2.0 g of hydrochloric acid and 134 g of water was slowly added dropwise. After the addition, the mixture was stirred at 50 ° C. for 6 hours and reacted to obtain a reaction solution. Next, the polymer was obtained by removing the volatile component under reduced pressure. To the obtained polymer, 150 g of hexane and 150 g of ethyl acetate were added, washed 10 times with 300 g of ion-exchanged water, reduced in pressure to remove volatile components, and polymer (B) was obtained.

得られたポリマー(B)の数平均分子量は3420であった。29Si−NMRより化学構造を同定した結果、ポリマー(B)は、下記の平均組成式(B1)を有していた。 The number average molecular weight of the obtained polymer (B) was 3420. As a result of identifying the chemical structure from 29 Si-NMR, the polymer (B) had the following average composition formula (B1).

(MeSiO2/20.25(MeSiO3/20.52(ViSiO3/20.07(HMeSiO1/20.10(MeSiO1/20.06 …式(B1)
上記式(B1)中、Meはメチル基、Viはビニル基を示す。得られたポリマー(B)における上記メチル基の個数比率は90%であった。
(Me 2 SiO 2/2 ) 0.25 (MeSiO 3/2 ) 0.52 (ViSiO 3/2 ) 0.07 (HMe 2 SiO 1/2 ) 0.10 (Me 3 SiO 1/2 ) 0. 06 ... Formula (B1)
In the above formula (B1), Me represents a methyl group, and Vi represents a vinyl group. The number ratio of the methyl group in the obtained polymer (B) was 90%.

硬化性組成物の調製:
ポリマーA(10g)、ポリマーB(10g)、白金の1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン錯体(硬化性組成物全体に対して白金金属が重量単位で10ppmとなる量)、及び3−ウレイドプロピルトリエトキシシラン(0.05g)を混合し、脱泡を行い、硬化性組成物(a)を得た。
Preparation of the curable composition:
Polymer A (10 g), Polymer B (10 g), 1,3-divinyl-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane complex of platinum (platinum metal is 10 ppm by weight with respect to the entire curable composition) And 3-ureidopropyltriethoxysilane (0.05 g) were mixed and defoamed to obtain a curable composition (a).

光半導体装置の作製:
銀めっきされたリード電極付きポリフタルアミド製のパッケージの上方の枠部内に、ダイボンド材によって主発光ピークが460nmの発光素子が実装されており、発光素子とリード電極とが金ワイヤーで接続されている構造の発光ダイオードパッケージを用意した。パッケージの枠部側とは反対側(下方)にガラス板を貼り付けた。リモート型大気圧プラズマ処理装置(AMテクノロジー社製 AMP−400−R型)において、0.5m/分の速度で窒素ガスを放電ガスとする大気圧プラズマで得られたプラズマガスを吹きつけながら、発光ダイオードパッケージを1回(通過回数)通過させてパッケージの枠部内の大気圧プラズマ処理を行った。
Fabrication of optical semiconductor device:
A light emitting element having a main emission peak of 460 nm is mounted by a die-bonding material in the upper frame portion of a silver-plated polyphthalamide package with a lead electrode, and the light emitting element and the lead electrode are connected by a gold wire. A light emitting diode package having a structure as described above was prepared. A glass plate was affixed to the opposite side (downward) of the package frame side. In a remote type atmospheric pressure plasma processing apparatus (AMP-400-R type manufactured by AM Technology Co., Ltd.), while blowing a plasma gas obtained by atmospheric pressure plasma using nitrogen gas as a discharge gas at a speed of 0.5 m / min, The light emitting diode package was passed once (number of passes) to perform atmospheric pressure plasma treatment in the frame of the package.

次いで、硬化性組成物(a)をパッケージの枠部内に注入し、80℃で1時間加熱した後、さらに150℃で4時間加熱して硬化させて封止剤を形成し、光半導体装置を作製した。   Next, the curable composition (a) is poured into the frame of the package, heated at 80 ° C. for 1 hour, and further heated at 150 ° C. for 4 hours to be cured to form a sealant. Produced.

(実施例2)
光半導体装置の作製において、放電ガスの種類を、窒素と酸素を95:5の体積比で混合した放電ガスに変更したこと以外は実施例1と同様にして、光半導体装置を作製した。
(Example 2)
An optical semiconductor device was manufactured in the same manner as in Example 1 except that in the manufacture of the optical semiconductor device, the type of discharge gas was changed to a discharge gas in which nitrogen and oxygen were mixed at a volume ratio of 95: 5.

(実施例3)
光半導体装置の作製において、上記通過回数を、1回から2回に変更したこと以外は実施例1と同様にして、光半導体装置を作製した。
(Example 3)
In the production of the optical semiconductor device, an optical semiconductor device was produced in the same manner as in Example 1 except that the number of passes was changed from once to twice.

(実施例4)
硬化性組成物の調製:
実施例1で合成したポリマーA(10g)、実施例1で合成したポリマーB(10g)、白金の1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン錯体(硬化性組成物全体に対して白金金属が重量単位で10ppmとなる量)、3−ウレイドプロピルトリエトキシシラン(0.03g)、及び3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(0.03g)を混合し、脱泡を行い、硬化性組成物(b)を得た。
Example 4
Preparation of the curable composition:
Polymer A (10 g) synthesized in Example 1, Polymer B (10 g) synthesized in Example 1, 1,3-divinyl-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane complex of platinum (curable composition) The total amount of platinum metal is 10 ppm by weight), 3-ureidopropyltriethoxysilane (0.03 g), and 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane (0.03 g) are mixed and defoamed. To obtain a curable composition (b).

光半導体装置の作製:
硬化性組成物(a)を硬化性組成物(b)に変更したこと以外は実施例3と同様にして、光半導体装置を作製した。
Fabrication of optical semiconductor device:
An optical semiconductor device was produced in the same manner as in Example 3 except that the curable composition (a) was changed to the curable composition (b).

(実施例5)
第1のオルガノポリシロキサンの合成:
温度計、滴下装置及び攪拌機を備えた1Lのセパラブルフラスコに、ジメチルジメトキシシラン474g、ジフェニルジメトキシシラン10g、1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン1.2g、及びジメチルホルムアミド200gを入れ、50℃で攪拌した。その中に、水酸化カリウム2.2gを水144gに溶かした溶液をゆっくりと滴下し、滴下後に50℃で6時間攪拌し、反応させて、反応液を得た。次に、減圧して揮発成分を除去し、反応液に酢酸2.4gを加え、減圧下で加熱した。その後、酢酸カリウムをろ過により除去して、ポリマー(C)を得た。
(Example 5)
Synthesis of the first organopolysiloxane:
In a 1 L separable flask equipped with a thermometer, a dropping device and a stirrer, 474 g of dimethyldimethoxysilane, 10 g of diphenyldimethoxysilane, 1.2 g of 1,3-divinyl-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane, and 200 g of dimethylformamide was added and stirred at 50 ° C. A solution prepared by dissolving 2.2 g of potassium hydroxide in 144 g of water was slowly added dropwise thereto, and after the addition, the mixture was stirred at 50 ° C. for 6 hours and reacted to obtain a reaction solution. Next, volatile components were removed under reduced pressure, 2.4 g of acetic acid was added to the reaction solution, and the mixture was heated under reduced pressure. Thereafter, potassium acetate was removed by filtration to obtain a polymer (C).

得られたポリマー(C)の数平均分子量は38000であった。29Si−NMRより化学構造を同定した結果、ポリマー(C)は、下記の平均組成式(C1)を有していた。 The number average molecular weight of the obtained polymer (C) was 38000. As a result of identifying the chemical structure from 29 Si-NMR, the polymer (C) had the following average composition formula (C1).

(MeSiO2/20.987(PhSiO2/20.010(ViMeSiO1/20.003 …式(C1)
上記式(C1)中、Meはメチル基、Phはフェニル基、Viはビニル基を示す。得られたポリマー(C)における上記メチル基の個数比率は99%であった。
(Me 2 SiO 2/2 ) 0.987 (Ph 2 SiO 2/2 ) 0.010 (ViMe 2 SiO 1/2 ) 0.003 Formula (C1)
In the above formula (C1), Me represents a methyl group, Ph represents a phenyl group, and Vi represents a vinyl group. The number ratio of the methyl groups in the obtained polymer (C) was 99%.

第2のオルガノポリシロキサンの合成:
温度計、滴下装置及び攪拌機を備えた1Lのセパラブルフラスコに、ジメチルジメトキシシラン150g、メチルトリメトキシシラン360g、ビニルトリメトキシシラン52g、1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン67g、及びトリメチルメトキシシラン21gを入れ、50℃で攪拌した。その中に、塩酸2.6gと水220gの溶液をゆっくりと滴下し、滴下後に50℃で6時間攪拌し、反応させて、反応液を得た。次に、減圧して揮発成分を除去してポリマーを得た。得られたポリマーにヘキサン150gと酢酸エチル150gとを添加し、イオン交換水300gで10回洗浄を行い、減圧して揮発成分を除去してポリマー(D)を得た。
Synthesis of the second organopolysiloxane:
In a 1 L separable flask equipped with a thermometer, a dropping device and a stirrer, 150 g of dimethyldimethoxysilane, 360 g of methyltrimethoxysilane, 52 g of vinyltrimethoxysilane, 67 g of 1,1,3,3-tetramethyldisiloxane, and trimethyl 21 g of methoxysilane was added and stirred at 50 ° C. Into this, a solution of 2.6 g of hydrochloric acid and 220 g of water was slowly added dropwise. After the addition, the mixture was stirred at 50 ° C. for 6 hours and reacted to obtain a reaction solution. Next, the polymer was obtained by removing the volatile component under reduced pressure. To the obtained polymer, 150 g of hexane and 150 g of ethyl acetate were added, washed 10 times with 300 g of ion-exchanged water, reduced in pressure to remove volatile components, and polymer (D) was obtained.

得られたポリマー(D)の数平均分子量は3480であった。29Si−NMRより化学構造を同定した結果、ポリマー(D)は、下記の平均組成式(D1)を有していた。 The number average molecular weight of the obtained polymer (D) was 3480. As a result of identifying the chemical structure from 29 Si-NMR, the polymer (D) had the following average composition formula (D1).

(MeSiO2/20.20(MeSiO3/20.59(ViSiO3/20.07(HMeSiO1/20.10(MeSiO1/20.04 …式(D1)
上記式(D1)中、Meはメチル基、Viはビニル基を示す。得られたポリマー(D)における上記メチル基の個数比率は90%であった。
(Me 2 SiO 2/2 ) 0.20 (MeSiO 3/2 ) 0.59 (ViSiO 3/2 ) 0.07 (HMe 2 SiO 1/2 ) 0.10 (Me 3 SiO 1/2 ) 0. 04 ... Formula (D1)
In the above formula (D1), Me represents a methyl group, and Vi represents a vinyl group. The number ratio of the methyl groups in the obtained polymer (D) was 90%.

硬化性組成物の調製:
ポリマーC(12g)、ポリマーD(8g)、白金の1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン錯体(硬化性組成物全体に対して白金金属が重量単位で10ppmとなる量)、及び3−ウレイドプロピルトリエトキシシラン(0.05g)を混合し、脱泡を行い、硬化性組成物(c)を得た。
Preparation of the curable composition:
Polymer C (12 g), Polymer D (8 g), 1,3-divinyl-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane complex of platinum (the platinum metal is 10 ppm by weight with respect to the entire curable composition) And 3-ureidopropyltriethoxysilane (0.05 g) were mixed and defoamed to obtain a curable composition (c).

光半導体装置の作製:
硬化性組成物(a)を硬化性組成物(c)に変更したこと以外は実施例1と同様にして、光半導体装置を作製した。
Fabrication of optical semiconductor device:
An optical semiconductor device was produced in the same manner as in Example 1 except that the curable composition (a) was changed to the curable composition (c).

(実施例6)
硬化性組成物の調製:
実施例5で合成したポリマーC(12g)、実施例5で合成したポリマーD(8g)、白金の1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン錯体(硬化性組成物全体に対して白金金属が重量単位で10ppmとなる量)、3−ウレイドプロピルトリエトキシシラン(0.03g)、及び3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(0.03g)を混合し、脱泡を行い、硬化性組成物(d)を得た。
(Example 6)
Preparation of the curable composition:
Polymer C (12 g) synthesized in Example 5, Polymer D (8 g) synthesized in Example 5, 1,3-divinyl-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane complex of platinum (curable composition) The total amount of platinum metal is 10 ppm by weight), 3-ureidopropyltriethoxysilane (0.03 g), and 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane (0.03 g) are mixed and defoamed. To obtain a curable composition (d).

光半導体装置の作製:
硬化性組成物(a)を硬化性組成物(d)に変更したこと以外は実施例1と同様にして、光半導体装置を作製した。
Fabrication of optical semiconductor device:
An optical semiconductor device was produced in the same manner as in Example 1 except that the curable composition (a) was changed to the curable composition (d).

(実施例7)
硬化性組成物の調製:
実施例5で合成したポリマーC(12g)、実施例5で合成したポリマーD(8g)、白金の1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン錯体(硬化性組成物全体に対して白金金属が重量単位で10ppmとなる量)、3−ウレイドプロピルトリエトキシシラン(0.06g)、及び3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(0.06g)を混合し、脱泡を行い、硬化性組成物(e)を得た。
(Example 7)
Preparation of the curable composition:
Polymer C (12 g) synthesized in Example 5, Polymer D (8 g) synthesized in Example 5, 1,3-divinyl-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane complex of platinum (curable composition) The total amount of platinum metal is 10 ppm by weight), 3-ureidopropyltriethoxysilane (0.06 g), and 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane (0.06 g) are mixed and defoamed. To obtain a curable composition (e).

光半導体装置の作製:
硬化性組成物(a)を硬化性組成物(e)に変更したこと以外は実施例1と同様にして、光半導体装置を作製した。
Fabrication of optical semiconductor device:
An optical semiconductor device was produced in the same manner as in Example 1 except that the curable composition (a) was changed to the curable composition (e).

(実施例8)
第1のオルガノポリシロキサンの合成:
温度計、滴下装置及び攪拌機を備えた1Lのセパラブルフラスコに、トリメチルメトキシシラン6.3g、ジメチルジメトキシシラン89g、ジフェニルジメトキシシラン318g、及びビニルメチルジメトキシシシラン119gを入れ、50℃で攪拌した。その中に、水酸化カリウム0.8gを水107gに溶かした溶液をゆっくりと滴下し、滴下後に50℃で6時間攪拌し、反応させて、反応液を得た。次に、反応液に酢酸0.9gを加え、減圧して揮発成分を除去し、酢酸カリウムをろ過により除去して、ポリマー(E)を得た。
(Example 8)
Synthesis of the first organopolysiloxane:
In a 1 L separable flask equipped with a thermometer, a dropping device and a stirrer, 6.3 g of trimethylmethoxysilane, 89 g of dimethyldimethoxysilane, 318 g of diphenyldimethoxysilane, and 119 g of vinylmethyldimethoxysilane were added and stirred at 50 ° C. A solution obtained by dissolving 0.8 g of potassium hydroxide in 107 g of water was slowly added dropwise thereto, and after the addition, the mixture was stirred at 50 ° C. for 6 hours to be reacted to obtain a reaction solution. Next, 0.9 g of acetic acid was added to the reaction solution, the pressure was reduced to remove volatile components, and potassium acetate was removed by filtration to obtain a polymer (E).

得られたポリマー(E)の数平均分子量(Mn)は5000であった。29Si−NMRより化学構造を同定した結果、ポリマー(E)は、下記の平均組成式(E1)を有していた。 The number average molecular weight (Mn) of the obtained polymer (E) was 5000. As a result of identifying the chemical structure from 29 Si-NMR, the polymer (E) had the following average composition formula (E1).

(MeSiO1/20.01(MeSiO2/20.24(PhSiO2/20.45(ViMeSiO2/20.30 …式(E1)
上記式(E1)中、Meはメチル基、Phはフェニル基、Viはビニル基を示す。得られたポリマー(E)における上記フェニル基の個数比率は52モル%であった。
(Me 3 SiO 1/2 ) 0.01 (Me 2 SiO 2/2 ) 0.24 (Ph 2 SiO 2/2 ) 0.45 (ViMeSiO 2/2 ) 0.30 ... Formula (E1)
In the above formula (E1), Me represents a methyl group, Ph represents a phenyl group, and Vi represents a vinyl group. The number ratio of the phenyl groups in the obtained polymer (E) was 52 mol%.

第2のオルガノポリシロキサンの合成:
温度計、滴下装置及び攪拌機を備えた1Lのセパラブルフラスコに、トリメチルメトキシシラン31g、1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン40g、ジフェニルジメトキシシラン110g、フェニルトリメトキシシラン268g、及びビニルトリメトキシシラン45gを入れ、50℃で攪拌した。その中に、塩酸1.4gと水116gの溶液をゆっくりと滴下し、滴下後に50℃で6時間攪拌し、反応させて、反応液を得た。次に、減圧して揮発成分を除去してポリマーを得た。得られたポリマーにヘキサン150gと酢酸エチル150gとを添加し、イオン交換水300gで10回洗浄を行い、減圧して揮発成分を除去してポリマー(F)を得た。
Synthesis of the second organopolysiloxane:
In a 1 L separable flask equipped with a thermometer, a dropping device and a stirrer, 31 g of trimethylmethoxysilane, 40 g of 1,1,3,3-tetramethyldisiloxane, 110 g of diphenyldimethoxysilane, 268 g of phenyltrimethoxysilane, and vinyltri 45 g of methoxysilane was added and stirred at 50 ° C. Into this, a solution of 1.4 g of hydrochloric acid and 116 g of water was slowly added dropwise, and after the addition, the mixture was stirred at 50 ° C. for 6 hours and reacted to obtain a reaction solution. Next, the polymer was obtained by removing the volatile component under reduced pressure. To the obtained polymer, 150 g of hexane and 150 g of ethyl acetate were added, washed 10 times with 300 g of ion-exchanged water, reduced in pressure to remove volatile components, and polymer (F) was obtained.

得られたポリマー(F)の数平均分子量(Mn)は1100であった。29Si−NMRより化学構造を同定した結果、ポリマー(F)は、下記の平均組成式(F1)を有していた。 The number average molecular weight (Mn) of the obtained polymer (F) was 1100. As a result of identifying the chemical structure from 29 Si-NMR, the polymer (F) had the following average composition formula (F1).

(MeSiO1/20.09(HMeSiO1/20.19(PhSiO2/20.16(PhSiO3/20.46(ViSiO3/20.10 …式(F1)
上記式(F1)中、Meはメチル基、Phはフェニル基、Viはビニル基を示す。得られたポリマー(F)における上記フェニル基の個数比率は51モル%であった。
(Me 3 SiO 1/2 ) 0.09 (HMe 2 SiO 1/2 ) 0.19 (Ph 2 SiO 2/2 ) 0.16 (PhSiO 3/2 ) 0.46 (ViSiO 3/2 ) 0. 10 : Formula (F1)
In the above formula (F1), Me represents a methyl group, Ph represents a phenyl group, and Vi represents a vinyl group. The number ratio of the phenyl groups in the obtained polymer (F) was 51 mol%.

硬化性組成物の調製:
ポリマーE(10g)、ポリマーF(10g)、白金の1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン錯体(硬化性組成物全体に対して白金金属が重量単位で10ppmとなる量)、及び3−ウレイドプロピルトリエトキシシラン(0.05g)を混合し、脱泡を行い、硬化性組成物(f)を得た。
Preparation of the curable composition:
Polymer E (10 g), Polymer F (10 g), platinum 1,3-divinyl-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane complex (platinum metal is 10 ppm by weight with respect to the entire curable composition) And 3-ureidopropyltriethoxysilane (0.05 g) were mixed and defoamed to obtain a curable composition (f).

光半導体装置の作製:
硬化性組成物(a)を硬化性組成物(f)に変更したこと以外は実施例1と同様にして、光半導体装置を作製した。
Fabrication of optical semiconductor device:
An optical semiconductor device was produced in the same manner as in Example 1 except that the curable composition (a) was changed to the curable composition (f).

(実施例9)
硬化性組成物の調製:
実施例8で合成したポリマーE(10g)、実施例8で合成したポリマーF(10g)、白金の1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン錯体(硬化性組成物全体に対して白金金属が重量単位で10ppmとなる量)、3−ウレイドプロピルトリエトキシシラン(0.03g)、及び3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(0.03g)を混合し、脱泡を行い、硬化性組成物(g)を得た。
Example 9
Preparation of the curable composition:
Polymer E (10 g) synthesized in Example 8, Polymer F (10 g) synthesized in Example 8, 1,3-divinyl-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane complex of platinum (curable composition) The total amount of platinum metal is 10 ppm by weight), 3-ureidopropyltriethoxysilane (0.03 g), and 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane (0.03 g) are mixed and defoamed. To obtain a curable composition (g).

光半導体装置の作製:
硬化性組成物(a)を硬化性組成物(g)に変更したこと以外は実施例1と同様にして、光半導体装置を作製した。
Fabrication of optical semiconductor device:
An optical semiconductor device was produced in the same manner as in Example 1 except that the curable composition (a) was changed to the curable composition (g).

(実施例10)
硬化性組成物の調製:
実施例1で合成したポリマーA(10g)、実施例1で合成したポリマーB(10g)、及び白金の1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン錯体(硬化性組成物全体に対して白金金属が重量単位で10ppmとなる量)を混合し、脱泡を行い、硬化性組成物(h)を得た。
(Example 10)
Preparation of the curable composition:
Polymer A (10 g) synthesized in Example 1, Polymer B (10 g) synthesized in Example 1, and 1,3-divinyl-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane complex of platinum (curable composition) The amount of platinum metal was 10 ppm by weight with respect to the entire product) and defoamed to obtain a curable composition (h).

光半導体装置の作製:
硬化性組成物(a)を硬化性組成物(h)に変更したこと以外は実施例1と同様にして、光半導体装置を作製した。
Fabrication of optical semiconductor device:
An optical semiconductor device was produced in the same manner as in Example 1 except that the curable composition (a) was changed to the curable composition (h).

(実施例11)
硬化性組成物の調製:
実施例1で合成したポリマーA(10g)、実施例1で合成したポリマーB(10g)、白金の1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン錯体(硬化性組成物全体に対して白金金属が重量単位で10ppmとなる量)、及び3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(0.05g)を混合し、脱泡を行い、硬化性組成物(i)を得た。
(Example 11)
Preparation of the curable composition:
Polymer A (10 g) synthesized in Example 1, Polymer B (10 g) synthesized in Example 1, 1,3-divinyl-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane complex of platinum (curable composition) The total amount of platinum metal is 10 ppm by weight) and 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane (0.05 g) are mixed and defoamed to obtain a curable composition (i). .

光半導体装置の作製:
硬化性組成物(a)を硬化性組成物(i)に変更したこと、並びに上記通過回数を、1回から2回に変更したこと以外は実施例1と同様にして、光半導体装置を作製した。
Fabrication of optical semiconductor device:
An optical semiconductor device was produced in the same manner as in Example 1 except that the curable composition (a) was changed to the curable composition (i) and the number of passes was changed from 1 to 2 times. did.

(比較例1)
光半導体装置の作製において、大気圧プラズマ処理を行わなかったこと以外は実施例1と同様にして、光半導体装置を作製した。
(Comparative Example 1)
In the production of the optical semiconductor device, an optical semiconductor device was produced in the same manner as in Example 1 except that the atmospheric pressure plasma treatment was not performed.

(比較例2)
光半導体装置の作製において、大気圧プラズマ処理を行わなかったこと以外は実施例5と同様にして、光半導体装置を作製した。
(Comparative Example 2)
In the production of the optical semiconductor device, an optical semiconductor device was produced in the same manner as in Example 5 except that the atmospheric pressure plasma treatment was not performed.

(比較例3)
光半導体装置の作製において、大気圧プラズマ処理を行わなかったこと以外は実施例8と同様にして、光半導体装置を作製した。
(Comparative Example 3)
In the production of the optical semiconductor device, an optical semiconductor device was produced in the same manner as in Example 8 except that atmospheric pressure plasma treatment was not performed.

(比較例4)
光半導体装置の作製において、大気圧プラズマ処理を行わなかったこと以外は実施例10と同様にして、光半導体装置を作製した。
(Comparative Example 4)
In the production of the optical semiconductor device, an optical semiconductor device was produced in the same manner as in Example 10 except that atmospheric pressure plasma treatment was not performed.

(評価)
得られた光半導体装置を用いて、下記の評価項目について評価を実施した。
(Evaluation)
Using the obtained optical semiconductor device, the following evaluation items were evaluated.

(ガス腐食試験)
得られた光半導体装置を、発光面を上にしてスライドグラス上に両面テープで固定した。次に、容量120mLの蓋付きガラス容器に硫黄0.2gを入れ、光半導体装置を固定したスライドグラスを、光半導体装置と硫黄とが直接接触しないようにガラス容器内に配置した。その後、ガラス容器を密封して、80℃のオーブン内に入れた。オーブン内に入れてから、8時間後、16時間後、24時間後、48時間後、72時間後にそれぞれ、銀めっきされたリード電極の変化を目視で観察した。ガス腐食試験を下記の基準で判定した。
(Gas corrosion test)
The obtained optical semiconductor device was fixed with a double-sided tape on a slide glass with the light emitting surface facing up. Next, 0.2 g of sulfur was placed in a glass container with a lid having a capacity of 120 mL, and a slide glass on which the optical semiconductor device was fixed was placed in the glass container so that the optical semiconductor device and sulfur were not in direct contact. Thereafter, the glass container was sealed and placed in an oven at 80 ° C. After being placed in the oven, changes in the silver-plated lead electrodes were visually observed after 8 hours, 16 hours, 24 hours, 48 hours, and 72 hours. The gas corrosion test was judged according to the following criteria.

○○:銀電極に変化が見られない
○:銀電極の面積の10%程度が黒色に変色、もしくは、全面がうっすらと変色
△:銀電極の面積の半分程度が黒色に変色、もしくは、全面が茶色に変色
×:銀電極のほぼ全面が黒色に変色
○○: No change in the silver electrode ○: About 10% of the area of the silver electrode changes to black, or the entire surface changes slightly △: About half of the area of the silver electrode changes to black, or the entire surface Changes to brown ×: almost the entire surface of the silver electrode changes to black

(熱衝撃試験)
得られた光半導体装置を、液槽式熱衝撃試験機(ESPEC社製「TSB−51」)を用いて、−50℃で5分間保持した後、135℃まで昇温し、135℃で5分間保持した後−50℃まで降温する過程を1サイクルとする冷熱サイクル試験を実施した。500サイクル後、1000サイクル後、1500サイクル後、2000サイクル後及び3000サイクル後にそれぞれ20個のサンプルを取り出した。
(Thermal shock test)
The obtained optical semiconductor device was held at −50 ° C. for 5 minutes using a liquid tank thermal shock tester (“TSB-51” manufactured by ESPEC), then heated to 135 ° C., and 5 at 135 ° C. A cold cycle test was conducted in which the temperature was lowered to -50 ° C after being held for 1 minute, and the cycle was one cycle. 20 samples were taken out after 500 cycles, 1000 cycles, 1500 cycles, 2000 cycles and 3000 cycles, respectively.

実体顕微鏡(ニコン社製「SMZ−10」)にてサンプルを観察した。20個のサンプルの封止剤にクラックが生じているか否か、又は封止剤がパッケージ又は電極から剥離しているか否かを観察し、クラック又は剥離が生じたサンプルの数(NG数)を数えた。   The sample was observed with a stereomicroscope ("SMZ-10" manufactured by Nikon Corporation). Observe whether the sealant of 20 samples has cracks or whether the sealant is peeled off from the package or the electrode. I counted.

(リフロー試験)
得られた光半導体装置を、温度30℃、湿度70%の雰囲気下で168時間放置して調湿した。その後、リフロー装置(日本アントム社製「UNI−5016F」)にて、プレヒート150℃×120秒+リフロー260℃(max.)×30秒の条件で、光半導体装置を3回通過させた。
(Reflow test)
The obtained optical semiconductor device was conditioned for 168 hours in an atmosphere of a temperature of 30 ° C. and a humidity of 70%. Thereafter, the optical semiconductor device was passed through a reflow apparatus ("UNI-5016F" manufactured by Nippon Antom Co., Ltd.) three times under conditions of preheating 150 ° C x 120 seconds + reflow 260 ° C (max.) X 30 seconds.

その後、赤インクに23℃で4時間浸漬し、封止剤(硬化物)とパッケージとの界面に、剥離によるインクの浸透が見られるか否かを実体顕微鏡(ニコン社製「SMZ−10」)にて観察した。サンプル10個について試験を行い、赤インクの浸透が見られたサンプルの数(NG数)を数えた。   Thereafter, the sample was dipped in red ink at 23 ° C. for 4 hours, and whether or not ink permeation due to peeling was observed at the interface between the sealant (cured product) and the package was observed with a stereomicroscope (“SMZ-10” manufactured by Nikon Corporation). ). Ten samples were tested, and the number of samples (NG number) in which red ink penetration was observed was counted.

(高温高湿通電試験)
得られた光半導体装置について、23℃の温度下、光度測定装置(オプトロニックラボラトリーズ社製「OL770」)を用いて発光素子に20mAの電流を流した時の光度を測定した(以下、「初期光度」と称する)。
(High temperature and high humidity energization test)
About the obtained optical semiconductor device, the luminous intensity when a current of 20 mA was passed through the light emitting element was measured using a photometric measuring device (“OL770” manufactured by Optronic Laboratories) at a temperature of 23 ° C. (hereinafter, “initial” Called “luminosity”).

次いで、発光素子に20mAの電流を流した状態で光半導体装置を85℃及び相対湿度85RH%雰囲気下のチャンバー内に入れて、1000時間放置した。1000時間後、23℃の温度下、光度測定装置(オプトロニックラボラトリーズ社製「OL770」)を用いて発光素子に20mAの電流を流した時の光度を測定し、初期光度対する光度の低下率を算出した。高温高湿通電試験を下記の基準で判定した。   Next, the optical semiconductor device was placed in a chamber at 85 ° C. and a relative humidity of 85 RH% in a state where a current of 20 mA was passed through the light emitting element, and left for 1000 hours. After 1000 hours, at a temperature of 23 ° C., the light intensity when a current of 20 mA was passed through the light emitting element was measured using a light intensity measuring device (“OL770” manufactured by Optronic Laboratories), and the rate of decrease in light intensity relative to the initial light intensity was measured. Calculated. The high temperature and high humidity energization test was judged according to the following criteria.

[高温高湿通電試験の判定基準]
○:光度の低下率が5%未満
△:光度の低下率が5%以上、10%未満
×:光度の低下率が10%以上
[Criteria for high-temperature and high-humidity current test]
○: Decrease rate of luminosity is less than 5% △: Decrease rate of luminosity is 5% or more and less than 10% ×: Decrease rate of luminosity is 10% or more

結果を下記の表1,2に示す。   The results are shown in Tables 1 and 2 below.

Figure 2013191687
Figure 2013191687

Figure 2013191687
Figure 2013191687

1…光半導体装置
2…パッケージ
2a…枠部
3…光半導体素子
4…封止剤
5…リードフレーム
6…ダイボンド材
7…ボンディングワイヤー
11…光半導体装置
12…封止剤
13…レンズ
21…光半導体装置
22…基板
23…光半導体素子
23a…電極
24…ボンディングワイヤー
25…レンズ
26…端子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Optical semiconductor device 2 ... Package 2a ... Frame part 3 ... Optical semiconductor element 4 ... Sealing agent 5 ... Lead frame 6 ... Die bond material 7 ... Bonding wire 11 ... Optical semiconductor device 12 ... Sealing agent 13 ... Lens 21 ... Light Semiconductor device 22 ... Substrate 23 ... Optical semiconductor element 23a ... Electrode 24 ... Bonding wire 25 ... Lens 26 ... Terminal

Claims (17)

光半導体素子と、樹脂材料により形成されておりかつパッケージ又は基板である光半導体装置構成部材と、前記光半導体素子を封止するようにかつ前記光半導体装置構成部材と接するように配置された封止剤、又は前記光半導体素子上に前記光半導体装置構成部材と接するように配置されたレンズとを備える光半導体装置の製造方法であって、
前記封止剤又は前記レンズを配置する前に、樹脂材料により形成されている前記光半導体装置構成部材の前記封止剤又は前記レンズと接する表面をプラズマ処理する工程と、
プラズマ処理後に、前記光半導体素子を封止するようにかつ前記光半導体装置構成部材と接するように封止剤を配置するか、又は前記光半導体素子上に前記光半導体装置構成部材と接するようにレンズを配置する工程とを備える、光半導体装置の製造方法。
An optical semiconductor element, an optical semiconductor device constituent member made of a resin material and being a package or a substrate, and a seal disposed so as to seal the optical semiconductor element and in contact with the optical semiconductor device constituent member An optical semiconductor device manufacturing method comprising: a stopper, or a lens disposed on the optical semiconductor element so as to contact the optical semiconductor device constituent member;
Plasma-treating the surface of the optical semiconductor device constituting member formed of a resin material in contact with the sealant or the lens before placing the sealant or the lens;
After the plasma treatment, a sealing agent is disposed so as to seal the optical semiconductor element and to be in contact with the optical semiconductor device constituent member, or to be in contact with the optical semiconductor device constituent member on the optical semiconductor element. And a step of arranging a lens.
前記プラズマ処理が、大気圧プラズマ処理である、請求項1に記載の光半導体装置の製造方法。   The method for manufacturing an optical semiconductor device according to claim 1, wherein the plasma treatment is an atmospheric pressure plasma treatment. 前記光半導体素子と、樹脂材料により形成されており、枠部を有し、かつパッケージである前記光半導体装置構成部材と、前記光半導体装置構成部材と接するようにかつ前記光半導体素子を封止するように前記枠部内に配置された前記封止剤とを備える光半導体装置の製造方法であって、
前記封止剤を配置する前に、前記光半導体装置構成部材の前記封止剤と接する表面をプラズマ処理する工程と、
プラズマ処理後に、前記光半導体素子を封止するようにかつ前記光半導体装置構成部材と接するように前記封止剤を前記枠部内に配置する工程とを備える、請求項1又は2に記載の光半導体装置の製造方法。
The optical semiconductor element is formed of a resin material, has a frame portion, and is an optical semiconductor device constituent member that is a package; and the optical semiconductor element is sealed so as to be in contact with the optical semiconductor device constituent member An optical semiconductor device manufacturing method comprising the sealing agent disposed in the frame so as to include:
Before placing the sealant, plasma treating the surface of the optical semiconductor device constituting member in contact with the sealant; and
3. The light according to claim 1, further comprising a step of placing the sealing agent in the frame portion so as to seal the optical semiconductor element and to be in contact with the optical semiconductor device constituent member after the plasma treatment. A method for manufacturing a semiconductor device.
前記封止剤及び前記レンズが、硬化性組成物を硬化させることにより形成されており、
前記硬化性組成物が、アルケニル基を2個以上有する第1のオルガノポリシロキサンと、珪素原子に結合した水素原子を2個以上有する第2のオルガノポリシロキサンと、ヒドロシリル化反応用触媒とを含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の光半導体装置の製造方法。
The sealant and the lens are formed by curing a curable composition,
The curable composition includes a first organopolysiloxane having two or more alkenyl groups, a second organopolysiloxane having two or more hydrogen atoms bonded to silicon atoms, and a hydrosilylation reaction catalyst. The manufacturing method of the optical semiconductor device of any one of Claims 1-3.
前記硬化性組成物が接着付与剤をさらに含む、請求項4に記載の光半導体装置の製造方法。   The method for manufacturing an optical semiconductor device according to claim 4, wherein the curable composition further contains an adhesion-imparting agent. 前記接着付与剤がシランカップリング剤である、請求項5に記載の光半導体装置の製造方法。   The method for manufacturing an optical semiconductor device according to claim 5, wherein the adhesion-imparting agent is a silane coupling agent. 前記接着付与剤がウレイド基を有する第1のシラン化合物を含む、請求項5又は6に記載の光半導体装置の製造方法。   The method for manufacturing an optical semiconductor device according to claim 5, wherein the adhesion-imparting agent contains a first silane compound having a ureido group. 前記接着付与剤が、ウレイド基を有する第1のシラン化合物と、エポキシ基、ビニル基又は(メタ)アクリロイル基を有する第2のシラン化合物とを含む、請求項7に記載の光半導体装置の製造方法。   The optical semiconductor device according to claim 7, wherein the adhesion-imparting agent includes a first silane compound having a ureido group and a second silane compound having an epoxy group, a vinyl group, or a (meth) acryloyl group. Method. 前記第1のオルガノポリシロキサンにおける珪素原子に結合した全官能基のうち、メチル基の占める個数比率が80%以上であり、
前記第2のオルガノポリシロキサンにおける珪素原子に結合した全官能基のうち、メチル基の占める個数比率が80%以上である、請求項4〜8のいずれか1項に記載の光半導体装置の製造方法。
Among all functional groups bonded to silicon atoms in the first organopolysiloxane, the number ratio of methyl groups is 80% or more,
The manufacturing of the optical semiconductor device according to any one of claims 4 to 8, wherein a number ratio of methyl groups among all functional groups bonded to silicon atoms in the second organopolysiloxane is 80% or more. Method.
前記第1のオルガノポリシロキサンにおける珪素原子に結合した全官能基のうち、アリール基の占める個数比率が30%以上、70%以下であり、
前記第2のオルガノポリシロキサンにおける珪素原子に結合した全官能基のうち、アリール基の占める個数比率が30%以上、70%以下である、請求項4〜8のいずれか1項に記載の光半導体装置の製造方法。
Of all functional groups bonded to silicon atoms in the first organopolysiloxane, the number ratio of the aryl group is 30% or more and 70% or less,
The light according to any one of claims 4 to 8, wherein the number ratio of the aryl group among all functional groups bonded to silicon atoms in the second organopolysiloxane is 30% or more and 70% or less. A method for manufacturing a semiconductor device.
前記第1のオルガノポリシロキサンが、珪素原子に結合した水素原子を有さず、
前記第2のオルガノポリシロキサンが、アルケニル基を有する、請求項4〜10のいずれか1項に記載の光半導体装置の製造方法。
The first organopolysiloxane does not have a hydrogen atom bonded to a silicon atom;
The method for manufacturing an optical semiconductor device according to claim 4, wherein the second organopolysiloxane has an alkenyl group.
前記第1のオルガノポリシロキサンが、下記式(1A)で表され、アルケニル基及び珪素原子に結合したメチル基を有する第1のオルガノポリシロキサンであり、かつ前記第2のオルガノポリシロキサンが、下記式(51A)で表され、珪素原子に結合した水素原子及び珪素原子に結合したメチル基を有する第2のオルガノポリシロキサンであるか、又は、前記第1のオルガノポリシロキサンが、下記式(1B)で表され、アリール基及びアルケニル基を有する第1のオルガノポリシロキサンであり、かつ前記第2のオルガノポリシロキサンが、下記式(51B)で表され、アリール基及び珪素原子に結合した水素原子を有する第2のオルガノポリシロキサンである、請求項4〜8のいずれか1項に記載の光半導体装置の製造方法。
Figure 2013191687
前記式(1A)中、a、b及びcは、a/(a+b+c)=0〜0.30、b/(a+b+c)=0.70〜1.0及びc/(a+b+c)=0〜0.10を満たし、R1〜R6は、少なくとも1個がアルケニル基を表し、少なくとも1個がメチル基を表し、アルケニル基及びメチル基以外のR1〜R6は、炭素数2〜8の炭化水素基を表す。
Figure 2013191687
前記式(51A)中、p、q及びrは、p/(p+q+r)=0.10〜0.50、q/(p+q+r)=0〜0.40及びr/(p+q+r)=0.40〜0.90を満たし、R51〜R56は、少なくとも1個が水素原子を表し、少なくとも1個がメチル基を表し、水素原子及びメチル基以外のR51〜R56は、炭素数2〜8の炭化水素基を表す。
Figure 2013191687
前記式(1B)中、a、b及びcは、a/(a+b+c)=0〜0.50、b/(a+b+c)=0.40〜1.0及びc/(a+b+c)=0〜0.50を満たし、R1〜R6は、少なくとも1個がアリール基を表し、少なくとも1個がアルケニル基を表し、アリール基及びアルケニル基以外のR1〜R6は、炭素数1〜8の炭化水素基を表す。
Figure 2013191687
前記式(51B)中、p、q及びrは、p/(p+q+r)=0.05〜0.50、q/(p+q+r)=0.05〜0.50及びr/(p+q+r)=0.20〜0.80を満たし、R51〜R56は、少なくとも1個がアリール基を表し、少なくとも1個が水素原子を表し、アリール基及び水素原子以外のR51〜R56は、炭素数1〜8の炭化水素基を表す。
The first organopolysiloxane is represented by the following formula (1A), is a first organopolysiloxane having an alkenyl group and a methyl group bonded to a silicon atom, and the second organopolysiloxane is: The second organopolysiloxane represented by the formula (51A) and having a hydrogen atom bonded to a silicon atom and a methyl group bonded to a silicon atom, or the first organopolysiloxane is represented by the following formula (1B And a hydrogen atom bonded to an aryl group and a silicon atom, the first organopolysiloxane having an aryl group and an alkenyl group, wherein the second organopolysiloxane is represented by the following formula (51B): The manufacturing method of the optical semiconductor device of any one of Claims 4-8 which is 2nd organopolysiloxane which has these.
Figure 2013191687
In the formula (1A), a, b and c are a / (a + b + c) = 0 to 0.30, b / (a + b + c) = 0.70 to 1.0 and c / (a + b + c) = 0 to 0. 10, R1 to R6 each represents at least one alkenyl group, at least one represents a methyl group, and R1 to R6 other than the alkenyl group and the methyl group represent a hydrocarbon group having 2 to 8 carbon atoms. .
Figure 2013191687
In the formula (51A), p, q and r are p / (p + q + r) = 0.10 to 0.50, q / (p + q + r) = 0 to 0.40 and r / (p + q + r) = 0.40. 0.90 is satisfied, R51 to R56 each represents at least one hydrogen atom, at least one represents a methyl group, and R51 to R56 other than the hydrogen atom and the methyl group are hydrocarbon groups having 2 to 8 carbon atoms. Represents.
Figure 2013191687
In the formula (1B), a, b and c are a / (a + b + c) = 0 to 0.50, b / (a + b + c) = 0.40 to 1.0 and c / (a + b + c) = 0 to 0. 50, R1 to R6 represent at least one aryl group, at least one represents an alkenyl group, and R1 to R6 other than the aryl group and the alkenyl group represent a hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms. .
Figure 2013191687
In the formula (51B), p, q and r are p / (p + q + r) = 0.05 to 0.50, q / (p + q + r) = 0.05 to 0.50 and r / (p + q + r) = 0. 20 to 0.80 are satisfied, R51 to R56 each represents at least one aryl group, at least one represents a hydrogen atom, and R51 to R56 other than the aryl group and the hydrogen atom are carbon atoms having 1 to 8 carbon atoms. Represents a hydrogen group.
前記式(1A)又は前記式(1B)で表される第1のオルガノポリシロキサンが、珪素原子に結合した水素原子を有さず、
前記式(51A)又は前記式(51B)で表される第2のオルガノポリシロキサンが、アルケニル基を有し、
前記式(51A)中、R51〜R56は、少なくとも1個が水素原子を表し、少なくとも1個がメチル基を表し、少なくとも1個がアルケニル基を表し、水素原子、メチル基及びアルケニル基以外のR51〜R56は、炭素数2〜8の炭化水素基を表し、
前記式(51B)中、R51〜R56は、少なくとも1個がアリール基を表し、少なくとも1個が水素原子を表し、少なくとも1個がアルケニル基を表し、アリール基、水素原子及びアルケニル基以外のR51〜R56は、炭素数1〜8の炭化水素基を表す、請求項12に記載の光半導体装置の製造方法。
The first organopolysiloxane represented by the formula (1A) or the formula (1B) does not have a hydrogen atom bonded to a silicon atom,
The second organopolysiloxane represented by the formula (51A) or the formula (51B) has an alkenyl group,
In the formula (51A), at least one of R51 to R56 represents a hydrogen atom, at least one represents a methyl group, at least one represents an alkenyl group, and R51 other than a hydrogen atom, a methyl group, and an alkenyl group. -R56 represents a C2-C8 hydrocarbon group,
In the formula (51B), at least one of R51 to R56 represents an aryl group, at least one represents a hydrogen atom, at least one represents an alkenyl group, and R51 other than an aryl group, a hydrogen atom, and an alkenyl group. -R56 represents the manufacturing method of the optical semiconductor device of Claim 12 showing a C1-C8 hydrocarbon group.
前記第1のオルガノポリシロキサンが、前記式(1A)で表され、かつ前記第2のオルガノポリシロキサンが前記式(51A)で表される、請求項12又は13に記載の光半導体装置の製造方法。   The optical semiconductor device according to claim 12 or 13, wherein the first organopolysiloxane is represented by the formula (1A), and the second organopolysiloxane is represented by the formula (51A). Method. 光半導体素子と、
樹脂材料により形成されておりかつパッケージ又は基板である光半導体装置構成部材と、
前記光半導体素子を封止するようにかつ前記光半導体装置構成部材と接するように配置された封止剤、又は前記光半導体素子上に前記光半導体装置構成部材と接するように配置されたレンズとを備え、
樹脂材料により形成されている前記光半導体装置構成部材の前記封止剤又は前記レンズと接する表面がプラズマ処理されている、半導体装置。
An optical semiconductor element;
An optical semiconductor device constituent member formed of a resin material and being a package or a substrate;
A sealing agent disposed so as to seal the optical semiconductor element and in contact with the optical semiconductor device constituent member, or a lens disposed on the optical semiconductor element so as to contact the optical semiconductor device constituent member; With
A semiconductor device, wherein a surface of the optical semiconductor device constituting member formed of a resin material that is in contact with the sealant or the lens is subjected to plasma treatment.
前記プラズマ処理が、大気圧プラズマ処理である、請求項15に記載の光半導体装置。   The optical semiconductor device according to claim 15, wherein the plasma treatment is an atmospheric pressure plasma treatment. 前記光半導体素子と、
樹脂材料により形成されており、枠部を有し、かつパッケージである前記光半導体装置構成部材と、
前記光半導体素子を封止するようにかつ前記光半導体装置構成部材と接するように前記枠部内に配置された前記封止剤とを備え、
樹脂材料により形成されている前記光半導体装置構成部材の前記封止剤と接する表面がプラズマ処理されている、請求項15又は16に記載の光半導体装置。
The optical semiconductor element;
The optical semiconductor device constituting member that is formed of a resin material, has a frame portion, and is a package;
The sealing agent disposed in the frame portion so as to seal the optical semiconductor element and in contact with the optical semiconductor device constituent member,
The optical semiconductor device according to claim 15 or 16, wherein a surface of the optical semiconductor device constituent member formed of a resin material that is in contact with the sealing agent is subjected to plasma treatment.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103694709A (en) * 2013-12-09 2014-04-02 华南理工大学 Creepage-resistant tracking agent for addition-type liquid silicon rubber and preparation method and application thereof
JP2017132853A (en) * 2016-01-26 2017-08-03 信越化学工業株式会社 Method for adhering fluorine-containing elastomer to base material
WO2020090209A1 (en) * 2018-10-29 2020-05-07 信越化学工業株式会社 Silicone emulsion composition

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6777105B2 (en) 2018-01-31 2020-10-28 日亜化学工業株式会社 Manufacturing method of light emitting device
JP7037046B2 (en) 2018-01-31 2022-03-16 日亜化学工業株式会社 Light emitting device and its manufacturing method
JP6905486B2 (en) * 2018-03-13 2021-07-21 信越化学工業株式会社 Additive-curable silicone compositions, silicone cured products, and semiconductor devices

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002184759A (en) * 2000-12-14 2002-06-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Apparatus and method for processing plasma
JP2003338512A (en) * 1994-01-13 2003-11-28 Seiko Epson Corp Method and apparatus of manufacturing semiconductor device, and liquid crystal display and method of manufacturing liquid crystal module
JP2006332673A (en) * 2005-05-26 2006-12-07 Samsung Electro Mech Co Ltd Manufacturing method for light-emitting diode package
JP2007142297A (en) * 2005-11-22 2007-06-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd Method of manufacturing package component
WO2010150880A1 (en) * 2009-06-26 2010-12-29 株式会社朝日ラバー White color reflecting material and process for production thereof
WO2011125463A1 (en) * 2010-03-31 2011-10-13 積水化学工業株式会社 Sealant for optical semiconductors and optical semiconductor device
JP2012007136A (en) * 2010-05-21 2012-01-12 Sekisui Chem Co Ltd Sealing agent for optical semiconductor device and optical semiconductor device using the same
JP2012021131A (en) * 2010-06-18 2012-02-02 Mitsubishi Chemicals Corp Two-liquid type curable polyorganosiloxane composition for semiconductor light-emitting device member, polyorganosiloxane cured product obtained by curing the composition, and method for producing the same
JP2012031401A (en) * 2010-07-02 2012-02-16 Hitachi Chem Co Ltd Resin composition, b stage sheet, metal foil with applied resin, metal substrate and led substrate

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003338512A (en) * 1994-01-13 2003-11-28 Seiko Epson Corp Method and apparatus of manufacturing semiconductor device, and liquid crystal display and method of manufacturing liquid crystal module
JP2002184759A (en) * 2000-12-14 2002-06-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Apparatus and method for processing plasma
JP2006332673A (en) * 2005-05-26 2006-12-07 Samsung Electro Mech Co Ltd Manufacturing method for light-emitting diode package
JP2007142297A (en) * 2005-11-22 2007-06-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd Method of manufacturing package component
WO2010150880A1 (en) * 2009-06-26 2010-12-29 株式会社朝日ラバー White color reflecting material and process for production thereof
WO2011125463A1 (en) * 2010-03-31 2011-10-13 積水化学工業株式会社 Sealant for optical semiconductors and optical semiconductor device
JP2012007136A (en) * 2010-05-21 2012-01-12 Sekisui Chem Co Ltd Sealing agent for optical semiconductor device and optical semiconductor device using the same
JP2012021131A (en) * 2010-06-18 2012-02-02 Mitsubishi Chemicals Corp Two-liquid type curable polyorganosiloxane composition for semiconductor light-emitting device member, polyorganosiloxane cured product obtained by curing the composition, and method for producing the same
JP2012031401A (en) * 2010-07-02 2012-02-16 Hitachi Chem Co Ltd Resin composition, b stage sheet, metal foil with applied resin, metal substrate and led substrate

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103694709A (en) * 2013-12-09 2014-04-02 华南理工大学 Creepage-resistant tracking agent for addition-type liquid silicon rubber and preparation method and application thereof
CN103694709B (en) * 2013-12-09 2016-04-13 华南理工大学 Add-on type liquid silicon rubber anti creepage trace agent and its preparation method and application
JP2017132853A (en) * 2016-01-26 2017-08-03 信越化学工業株式会社 Method for adhering fluorine-containing elastomer to base material
WO2020090209A1 (en) * 2018-10-29 2020-05-07 信越化学工業株式会社 Silicone emulsion composition

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