JP2013191684A - 半導体レーザ素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る半導体レーザ素子は、基板と、基板上に形成されると共に3以上の側面を有する半導体構造と、を備えている。半導体構造の一側面には、半導体構造で生じた光を他の側面に反射させる反射面と、半導体構造で生じた光を出射させる出射面と、を有する溝が設けられている。そして、半導体構造で生じた光は、反射面と、溝が設けられていない2以上の側面と、出射面と、を結ぶ領域で共振する。
【選択図】図1
Description
(第1の実施形態)
(第2の実施形態)
10・・・基板
20・・・半導体構造
21・・・第1半導体層
22・・・活性層
23・・・第2半導体層
30、30a〜i・・・側面
40・・・溝
41・・・反射側溝
42・・・出射側溝
50・・・反射面
60・・・出射面
70・・・リッジ
80・・・反射膜
1000・・・ウエハ
Claims (5)
- 基板と、前記基板上に形成されると共に3以上の側面を有する半導体構造と、を備える半導体レーザ素子において、
前記半導体構造の一側面には、前記半導体構造で生じた光を他の側面に反射させる反射面と、前記半導体構造で生じた光を出射させる出射面と、を有する溝が設けられ、
前記半導体構造で生じた光は、前記反射面と、前記溝が設けられていない2以上の側面と、前記出射面と、を結ぶ領域で共振することを特徴とする半導体レーザ素子。 - 基板と、前記基板上に形成されると共に3以上の側面を有する半導体構造と、を備える半導体レーザ素子において、
前記半導体構造の一側面には、前記半導体構造で生じた光を他の側面に反射させる反射面を有する反射側溝が設けられ、
前記半導体構造の他の一側面には、前記半導体構造で生じた光を出射させる出射面を有する出射側溝が設けられ、
前記半導体構造で生じた光は、前記反射面と、前記反射側溝も前記出射側溝も設けられていない1以上の側面と、前記出射面と、を結ぶ領域で共振することを特徴とする半導体レーザ素子。 - 前記半導体構造の上部には、リッジが設けられており、
前記リッジは、前記半導体構造で生じた光が前記反射面から前記出射面までに共振する領域に対応して設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体レーザ素子。 - 前記半導体構造は、窒化物半導体からなり、
前記半導体構造の3以上の側面は、m面であり、
上方から見て、前記半導体構造の3以上の側面で正三角形又は正六角形が形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の半導体レーザ素子。 - 前記基板は、窒化物半導体からなり、
前記基板の側面は、劈開により形成されたm面であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の半導体レーザ素子。
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2012
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