JP2013185995A - 表面性状測定機、その制御装置およびその調整方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表示レンジRiの何れかを基準レンジRrとして選定し、各々に対して校正用測定値SAiを設定する手順P21、基準レンジに対応するレンジアンプに校正用測定値SAiを順次入力して基準表示値rDATAiを取得する手順P22、表示レンジの各々に対応するレンジアンプにそれぞれ校正用測定値SAiを入力してAD変換値ADiおよび表示値DATAiを取得する手順P23、ゲイン誤差率ki=rDATAi/DATAi、表示分解能DIVi=DATAi/ADi、補正表示分解能cDIVi=DIVi*kiを計算する手順P24、補正表示値cDATAi=ADi*cDIViを表示する手順P31を含む。
【選択図】図2
Description
表面性状測定機においては、スタイラスを一定方向(X軸方向)に移動させ、ワーク表面の凹凸によってスタイラスの上下方向(Z軸方向)に変位させ、検出信号の増幅ないしA/D変換等を行い、移動距離の関数として表示装置に表示している。
また、表面性状測定機の類である真円度測定機では、回転体状のワークの外周表面にスタイラスを定点接触させ、ワークを回転させることで、ワークの一周分の輪郭形状を検出している。
そこで、増幅器の増幅率を複数段階に切り替えられるようにし、高分解能で短ストロークのレンジから、低分解能だが長ストロークのレンジまでを適宜選択して表示することがなされている。
制御装置91では、変位センサ96からの検出信号をレンジアンプ97で増幅し、走査位置に応じた変位量のグラフとして表示装置98に表示する。
例えば、レンジアンプ97が1倍レンジの状態では、表示98Aのように凹凸が明瞭でない場合でも、10倍レンジとすることで、表示98Bのように凹凸を明瞭に識別することができる。
特許文献1では、複数の表示レンジでの表示を、測定データに応じて自動的に切り替えられるようにすることで、測定操作の適正化および効率化を図っている。
特許文献2では、複数の表示レンジでの表示にあたり、測定データに対するレンジ毎のオフセット量を自動的に調整できるようにすることで、測定操作の適正化および効率化を図っている。
すなわち、表面性状測定機の各表示レンジでは、一つの測定値をレンジ毎のゲインで表示値に換算する。しかし、各レンジの増幅器に誤差があると、同じ測定値でも表示レンジ毎に異なる表示値になる可能性がある。例えば、10μmレンジで0.60μm表示だが、1μmレンジでは0.61μmと表示される等である。
一方、特許文献1のような自動的な表示レンジの切り替えを行う場合、切り替えの都度ユーザが調整を行うのでは自動化の効果が削がれる。そこで、特許文献2のような誤差の調整までを自動化できる技術が重要な意味をもつ。
ここで、特許文献2が解消しようとするレンジ間誤差は主にレンジ毎のオフセット量の誤差である。オフセット誤差はレンジ間誤差の代表的なものであるが、オフセット誤差の解消だけではレンジ間誤差の解消としては十分でないことが明らかとなっている。
各表示レンジR1〜R3にはレンジ間誤差が生じる。前述したように、レンジ間誤差の代表的なものとしてオフセット誤差があり、図8のグラフにおいては各表示レンジの間に段差状に現れる。このオフセット誤差は、グラフの平行移動に相当するものであるが、実際のレンジ間誤差は、グラフの傾きとしても現れている。
従って、前述したオフセット誤差の解消だけでは、レンジ間誤差の部分的な解消にとどまってしまい、各表示レンジの全体で誤差を解消できる技術の開発が望まれていた。
すなわち、前述した図8において、各表示レンジでのグラフの傾きとして現れるのは各表示レンジでの増幅ゲインの変動であり、このゲイン誤差を補正することで各表示レンジの全体で誤差を解消しようとするのが本発明である。このために、本発明は、以下に示す構成を備える。
前記ディジタル回路は、前記AD変換器で変換されたAD変換値と前記表示レンジに応じた補正表示分解能の積を補正表示値として前記表示装置に表示させるものであり、
前記補正表示分解能は、
前記表示レンジの何れかを基準レンジとして選定し、前記表示レンジの各々に対して校正用測定値を設定し、
前記基準レンジに対応する前記レンジアンプに、前記測定値に代えて前記校正用測定値を順次入力し、前記表示装置に表示される表示値を基準表示値として取得し、
前記表示レンジの各々に対応する前記レンジアンプに、それぞれ前記測定値に代えて前記表示レンジの各々に対応する前記校正用測定値を入力し、前記表示レンジの各々における前記AD変換値および前記表示装置に表示される表示値を取得し、
前記表示レンジの各々について、前記基準表示値を前記表示値で除してゲイン誤差率を計算し、前記表示値を前記AD変換値で除して表示分解能を計算し、前記表示分解能と前記ゲイン誤差率との積を補正表示分解能として記録したものである、ことを特徴とする。
前記変位センサからの検出信号を処理して測定値として出力するセンサ回路と、異なる増幅率で前記測定値を増幅する複数のレンジアンプを含むレンジアンプ回路と、前記レンジアンプ回路で増幅されたアナログ信号をディジタル変換するAD変換器と、前記AD変換器で変換されたAD変換値を処理して前記レンジアンプに応じた複数の表示レンジで前記表示装置に表示するディジタル回路と、を有し、
前記ディジタル回路は、前記AD変換器で変換されたAD変換値と前記表示レンジに応じた補正表示分解能の積を補正表示値として前記表示装置に表示させるものであり、
前記補正表示分解能は、
前記表示レンジの何れかを基準レンジとして選定し、前記表示レンジの各々に対して校正用測定値を設定し、
前記基準レンジに対応する前記レンジアンプに、前記測定値に代えて前記校正用測定値を順次入力し、前記表示装置に表示される表示値を基準表示値として取得し、
前記表示レンジの各々に対応する前記レンジアンプに、それぞれ前記測定値に代えて前記表示レンジの各々に対応する前記校正用測定値を入力し、前記表示レンジの各々における前記AD変換値および前記表示装置に表示される表示値を取得し、
前記表示レンジの各々について、前記基準表示値を前記表示値で除してゲイン誤差率を計算し、前記表示値を前記AD変換値で除して表示分解能を計算し、前記表示分解能と前記ゲイン誤差率との積を補正表示分解能として記録したものである、ことを特徴とする。
前記表示レンジの何れかを基準レンジとして選定し、前記表示レンジの各々に対して校正用測定値を設定する手順、
前記基準レンジに対応する前記レンジアンプに、前記測定値に代えて前記校正用測定値を順次入力し、前記表示装置に表示される表示値を基準表示値として取得する手順、
前記表示レンジの各々に対応する前記レンジアンプに、それぞれ前記測定値に代えて前記表示レンジの各々に対応する前記校正用測定値を入力し、前記表示レンジの各々における前記AD変換値および前記表示装置に表示される表示値を取得する手順、
前記表示レンジの各々について、前記基準表示値を前記表示値で除してゲイン誤差率を計算し、前記表示値を前記AD変換値で除して表示分解能を計算し、前記表示分解能と前記ゲイン誤差率との積を補正表示分解能として記録しておく手順、
前記ディジタル回路では、前記AD変換器で変換されたAD変換値と前記表示レンジに応じた前記補正表示分解能の積を補正表示値として前記表示装置に表示させる手順、を含むことを特徴とする。
すなわち、複数の表示レンジのうち、何れかを基準レンジとし、この基準レンジと他の表示レンジとのゲイン誤差率を計算し、このゲイン誤差率に基づいて各表示レンジの表示分解能を調整することで、基準レンジを基準にした各表示レンジのゲイン調整を行うことができる。
このようなゲイン誤差補正の結果、何れの表示レンジにおいても、基準レンジを基準にした補正表示分解能で表示が行われ、基準レンジに対するレンジ誤差を解消することができ、各表示レンジの全体で誤差を解消することができる。
本発明において、基準レンジに対応するレンジアンプで基準表示値を取得する手順は、前述した表示レンジの各々に対応するレンジアンプについてAD変換値および表示値を取得する手順に先立って行ってもよいが、その後に行ってもよく、あるいは並行して行ってもよく、要するに表示レンジの各々について補正表示分解能を記録する手順で必要とされるデータが揃うように順序が考慮されていればよい。
前記表示レンジの各々で、前記センサ回路から出力される前記測定値を所定の基準電圧である状態とし、この状態で前記AD変換値が所定値となるように前記レベルシフト量を調整し、この際の前記レベルシフト量を前記オフセット量とする手順を含むことが望ましい。
これらのオフセット調整は、前述した本発明のゲイン誤差補正の前に行われることが望ましい。ただし、オフセット調整前述したゲイン誤差補正の後であってもよく、あるいは並行して行ってもよい。
図1において、本実施形態の表面性状測定機10は、前述した従来の表面性状測定機90(図7参照)と同様な機器構成を備えている。
すなわち、図7で説明した通り、表面性状測定機90は、駆動装置92がアーム93をX軸方向へ移動させ、スタイラス94がワーク95の表面の凹凸に応じてZ軸方向に変位し、この変位が変位センサ96で検出されて制御装置91に送られ、制御装置91では変位センサ96からの検出信号をレンジアンプ97で増幅し、走査位置に応じた変位量のグラフとして表示装置98に表示していた。本実施形態の表面性状測定機10においても、上述した機器構成は同様である。従って、図1および以下の説明においては、図7と同様の構成については同じ符号を付し、重複する説明を省略する。
制御装置11は、アナログ回路部20およびディジタル回路部30を有する。これらのアナログ回路部20およびディジタル回路部30の間には、アナログ回路部20から出力されたアナログ信号をディジタル変換してディジタル回路部30に渡すAD変換器41と、ディジタル回路部30から出力されたディジタル信号をアナログ変換してアナログ回路部20へ送るDA変換器42とが設置されている。
なお、各表示レンジRiのレンジアンプからの出力を増幅済測定値AAiとすると、各レンジアンプRiの増幅率βi=増幅済測定値AA/(測定値SA+レベルシフト量LS)となる。増幅済測定値AAiは、AD変換器41でディジタル変換されてAD変換値ADiとしてディジタル回路部30に渡される。本実施形態では、各表示レンジR1〜R3の増幅済測定値AA1〜AA3が、AD変換値AD1〜AD3としてディジタル回路部30に渡される。
CPU31には、フラッシュROM等の不揮発性メモリ33が接続され、処理に用いるデータを適宜保管することができる。
CPU31は、図示省略したプログラムエリアに記録された動作プログラムにより動作し、以下のような動作を行う。
アナログ回路部20のレンジアンプ回路23からAD変換器41を経て渡されるAD変換値ADiに対して所定の処理を行い、測定結果のグラフ(X軸移動位置とZ軸変位とのグラフ)を何れかの表示レンジRiで表示装置98に表示する。
ここで、表示装置98の表示画面に表示されたグラフにおいて、AD変換値ADiに対する測定結果として画面上の長さが表示値DATAであったとすると、表示装置98における表示レンジRiでの表示分解能DIViとして、表示値DATA=ADi*DIViの関係がある。
このようなレンジ間誤差を解消するべく、測定動作に先立って本発明に基づく調整手順を実行する。
なお、オフセット調整の段階P1は、本発明として必須ではないが、調整結果を良好にするために実行することが望ましい。ゲイン誤差補正の段階P2は、本発明に基づく必須手順である。試験表示の段階P3は結果確認のための任意の手順であり、適宜省略してもよい。
なお、図2では、表示レンジ数nとして一般化しているが、前述した通り、本実施形態では図1の構成に適用するためn=3つまり表示レンジ数i=1〜3である。
手順P11では、各表示レンジRi(i=1〜n)において、それぞれレベルシフト回路22に校正用測定値SAiとして基準電圧0Vを入力し、AD変換値ADi=0となるレベルシフト量LSを調整する。
手順P12では、各表示レンジRiで、調整したレベルシフト量LSをオフセット量ADofsiとして記録する。
次に、表示レンジR2のレンジアンプ232を選択し、同様にしてレベルシフト量LSをオフセット量ADofs2として記録し、表示レンジR3についてもオフセット量ADofs3を記録する。
手順P21では、表示レンジRi(i=1〜n)に対して、これらのうち何れかを基準レンジRrとして選択する。そして、各表示レンジRi(i=1〜n)について校正用測定値SAiを設定する。この際、校正用測定値SAiとしては、各表示レンジRiおよび基準レンジRrのうち増幅率が大きい方のレンジ最大値に近い値とすることが望ましい。
得られた基準表示値rDATAi(i=1〜n)は、基準レンジRrに対応するレンジアンプ(共通の基準レンジアンプ)に各校正用測定値SAi(i=1〜n)を入力して得られるものであり、各校正用測定値SAi(i=1〜n)に対する基準レンジRrの特性を反映したものとなる。
得られたAD変換値ADiおよび表示値DATAiは、各校正用測定値SAiに対して各表示レンジRi(i=1〜n)に対応するレンジアンプの特性を反映したものとなる。
ゲイン誤差率kiは、ki=rDATAi/DATAiで与えられ、同じ校正用測定値SAiに対して基準レンジRrのレンジアンプで増幅した際の基準表示値rDATAiと、各表示レンジRiのレンジアンプで増幅した際の表示値DATAiとの比率であり、前述した増幅率βiを含む各表示レンジRiのレンジ間誤差の影響を一括して基準レンジRrに対する比率として計測することができる。
補正表示分解能cDIViは、cDIVi=DIVi*kiで与えられる。前述の通り、表示分解能DIViはレンジ間誤差を含んだ状態であるが、各表示レンジRiのレンジ間誤差の影響を一括して基準レンジRrに対する比率として計測したゲイン誤差率kiで補正することにより、補正表示分解能cDIViはレンジ間誤差を解消したものとすることができる。
本実施形態によれば、補正表示分解能cDIViを用いて、AD変換値ADiおよびオフセット量ADofsiから演算を行って表示装置98に表示させることで、レンジ間誤差を含まない補正表示値cDATAi=(ADi−ADofsi)*cDIViを得ることができ、この補正表示値cDATAiを用いて表示を行うことで、表示装置98における各表示レンジRi(i=1〜n)間のレンジ間誤差を解消することができる。
先ず、手順P21に基づき、表示レンジR1〜R3のうち中間の表示レンジR2を基準レンジとして選択する。そして、前述した図4および図5の具体例の通り、基準レンジ以外の表示レンジR1,R3について校正用測定値SA1,SA3を設定する。
次に、手順P22に基づき、基準レンジである表示レンジR2を選択した状態で、校正用測定値SA1を入力して基準表示値rDATA1を計測し、校正用測定値SA3を入力して基準表示値rDATA3を計測する。
さらに、手順P24に基づき、基準レンジ以外の表示レンジR1,R3についてゲイン誤差率k1,k3、表示分解能DIV1,DIV3、補正表示分解能cDIV1,cDIV3を計算する。
k1=rDATA1/DATA1
k3=rDATA3/DATA3
DIV1=DATA1/(AD1−ADosf1)
DIV3=DATA3/(AD3−ADosf3)
cDIV1=DIV1*k1
cDIV3=DIV3*k3
なお、基準レンジである表示レンジR2においては、自らが基準であるため、ゲイン誤差率k2=rDATA2/DATA2=1であり、補正表示分解能cDIV2=DIV2*1=DATA2/(AD2−ADosf2)である。
cDATA1=(AD1−ADofs1)*cDIV1
cDATA2=(AD2−ADofs2)*cDIV2
cDATA3=(AD3−ADofs3)*cDIV3
このような補正表示値cDATAiを用いた表示を行うことで、傾きについては補正表示分解能cDIViによりゲイン誤差が解消され、オフセット誤差についてはADofsiによる補正が行われる。
これらにより、本実施形態の表面性状測定機10によれば、図6に示すような、各表示レンジR1〜R3の間で不連続のない滑らかなグラフを得ることができ、表示レンジR1〜R3の切り替えに伴うレンジ間誤差を解消することができる。
前記実施形態では、表示レンジR1〜R3の3つとし、中間の表示レンジR2を基準レンジRrとしたが、例えば表示レンジR1を基準レンジとし、他の表示レンジR2,R3に対するゲイン誤差率k2,k3を計算するようにしてもよい。
また、前記実施形態では、表示レンジRiは3つとしたが、4つ以上であってもよい。
表面性状測定機10におけるその他の構成、例えばアナログ回路部20の構成、ディジタル回路部30の構成、制御装置11に接続される駆動装置92、変位センサ96、表示装置98等も適宜変更してよい。
11…制御装置
12…操作装置
13…外部記憶装置
20…アナログ回路部
21…センサ回路
22…レベルシフト回路
23…レンジアンプ回路
231〜233…レンジアンプ
24…駆動制御回路
30…ディジタル回路部
31…CPU
33…不揮発性メモリ
41…AD変換器
42…DA変換器
92…駆動装置
95…ワーク
96…変位センサ
98…表示装置
AAi,AA1〜AA3…増幅済測定値
ADi,AD1〜AD3…AD変換値
ADofsi,ADofs1〜ADofs3…オフセット量
cDATAi,cDATA1〜cDATA3…補正表示値
cDIVi,cDIV1〜cDIV3…補正表示分解能
DATAi,DATA1〜DATA3…表示値
DIVi,DIV1〜DIV3…表示分解能
ki,k1〜k3…ゲイン誤差率
LS…レベルシフト量
n…表示レンジ数
P1…オフセット調整手順の段階
P2…ゲイン誤差補正手順の段階
P3…試験表示の段階
Ri,R1〜R3…表示レンジ
rDATAi,rDATA1〜rDATA3…基準表示値
Rr…基準レンジ
SA…測定値
SAi,SA1〜SA3…校正用測定値
SS…検出信号
βi,β1〜β3…増幅率
Claims (6)
- ワーク表面の変位を検出する変位センサと、測定結果を表示する表示装置と、前記変位センサからの検出信号を処理して測定結果を前記表示装置に表示する制御装置とを備え、前記制御装置が、前記変位センサからの検出信号を処理して測定値として出力するセンサ回路と、異なる増幅率で前記測定値を増幅する複数のレンジアンプを含むレンジアンプ回路と、前記レンジアンプ回路で増幅されたアナログ信号をディジタル変換するAD変換器と、前記AD変換器で変換されたAD変換値を処理して前記レンジアンプに応じた複数の表示レンジで前記表示装置に表示するディジタル回路と、を有する表面性状測定機であって、
前記ディジタル回路は、前記AD変換器で変換されたAD変換値と前記表示レンジに応じた補正表示分解能の積を補正表示値として前記表示装置に表示させるものであり、
前記補正表示分解能は、
前記表示レンジの何れかを基準レンジとして選定し、前記表示レンジの各々に対して校正用測定値を設定し、
前記基準レンジに対応する前記レンジアンプに、前記測定値に代えて前記校正用測定値を順次入力し、前記表示装置に表示される表示値を基準表示値として取得し、
前記表示レンジの各々に対応する前記レンジアンプに、それぞれ前記測定値に代えて前記表示レンジの各々に対応する前記校正用測定値を入力し、前記表示レンジの各々における前記AD変換値および前記表示装置に表示される表示値を取得し、
前記表示レンジの各々について、前記基準表示値を前記表示値で除してゲイン誤差率を計算し、前記表示値を前記AD変換値で除して表示分解能を計算し、前記表示分解能と前記ゲイン誤差率との積を補正表示分解能として記録したものである、ことを特徴とする表面性状測定機。 - ワーク表面の変位を検出する変位センサと、測定結果を表示する表示装置と、を備えた表面性状測定機に設置され、前記変位センサからの検出信号を処理して測定結果を前記表示装置に表示する表面性状測定機の制御装置であって、
前記変位センサからの検出信号を処理して測定値として出力するセンサ回路と、異なる増幅率で前記測定値を増幅する複数のレンジアンプを含むレンジアンプ回路と、前記レンジアンプ回路で増幅されたアナログ信号をディジタル変換するAD変換器と、前記AD変換器で変換されたAD変換値を処理して前記レンジアンプに応じた複数の表示レンジで前記表示装置に表示するディジタル回路と、を有し、
前記ディジタル回路は、前記AD変換器で変換されたAD変換値と前記表示レンジに応じた補正表示分解能の積を補正表示値として前記表示装置に表示させるものであり、
前記補正表示分解能は、
前記表示レンジの何れかを基準レンジとして選定し、前記表示レンジの各々に対して校正用測定値を設定し、
前記基準レンジに対応する前記レンジアンプに、前記測定値に代えて前記校正用測定値を順次入力し、前記表示装置に表示される表示値を基準表示値として取得し、
前記表示レンジの各々に対応する前記レンジアンプに、それぞれ前記測定値に代えて前記表示レンジの各々に対応する前記校正用測定値を入力し、前記表示レンジの各々における前記AD変換値および前記表示装置に表示される表示値を取得し、
前記表示レンジの各々について、前記基準表示値を前記表示値で除してゲイン誤差率を計算し、前記表示値を前記AD変換値で除して表示分解能を計算し、前記表示分解能と前記ゲイン誤差率との積を補正表示分解能として記録したものである、ことを特徴とする表面性状測定機の制御装置。 - ワーク表面の変位を検出する変位センサと、測定結果を表示する表示装置と、前記変位センサからの検出信号を処理して測定結果を前記表示装置に表示する制御装置とを備え、前記制御装置が、前記変位センサからの検出信号を処理して測定値として出力するセンサ回路と、異なる増幅率で前記測定値を増幅する複数のレンジアンプを含むレンジアンプ回路と、前記レンジアンプ回路で増幅されたアナログ信号をディジタル変換するAD変換器と、前記AD変換器で変換されたAD変換値を処理して前記レンジアンプに応じた複数の表示レンジで前記表示装置に表示するディジタル回路と、を有する表面性状測定機を調整する表面性状測定機の調整方法であって、
前記表示レンジの何れかを基準レンジとして選定し、前記表示レンジの各々に対して校正用測定値を設定する手順、
前記基準レンジに対応する前記レンジアンプに、前記測定値に代えて前記校正用測定値を順次入力し、前記表示装置に表示される表示値を基準表示値として取得する手順、
前記表示レンジの各々に対応する前記レンジアンプに、それぞれ前記測定値に代えて前記表示レンジの各々に対応する前記校正用測定値を入力し、前記表示レンジの各々における前記AD変換値および前記表示装置に表示される表示値を取得する手順、
前記表示レンジの各々について、前記基準表示値を前記表示値で除してゲイン誤差率を計算し、前記表示値を前記AD変換値で除して表示分解能を計算し、前記表示分解能と前記ゲイン誤差率との積を補正表示分解能として記録しておく手順、
前記ディジタル回路では、前記AD変換器で変換されたAD変換値と前記表示レンジに応じた前記補正表示分解能の積を補正表示値として前記表示装置に表示させる手順、を含むことを特徴とする表面性状測定機の調整方法。 - 請求項1に記載した表面性状測定機において、
前記センサ回路と前記レンジアンプ回路との間に、前記センサ回路からの前記測定値にレベルシフト量を加算するレベルシフト回路を有し、前記レベルシフト量は前記ディジタル回路からの前記表示レンジ毎のオフセット量で指定され、前記オフセット量は、前記表示レンジの各々で、前記センサ回路から出力される前記測定値を所定の基準電圧である状態で前記AD変換値が所定値となるように前記レベルシフト量を調整した際の前記レベルシフト量とされていることを特徴とする表面性状測定機。 - 請求項2に記載した表面性状測定機の制御装置において、
前記センサ回路と前記レンジアンプ回路との間に、前記センサ回路からの前記測定値にレベルシフト量を加算するレベルシフト回路を有し、前記レベルシフト量は前記ディジタル回路からの前記表示レンジ毎のオフセット量で指定され、前記オフセット量は、前記表示レンジの各々で、前記センサ回路から出力される前記測定値を所定の基準電圧である状態で前記AD変換値が所定値となるように前記レベルシフト量を調整した際の前記レベルシフト量とされていることを特徴とする表面性状測定機の制御装置。 - 請求項3に記載した表面性状測定機の調整方法において、
前記表面性状測定機は、前記センサ回路と前記レンジアンプ回路との間に、前記センサ回路からの前記測定値にレベルシフト量を加算するレベルシフト回路を有し、前記レベルシフト量は前記ディジタル回路からの前記表示レンジ毎のオフセット量で指定されたものであり、
前記表示レンジの各々で、前記センサ回路から出力される前記測定値を所定の基準電圧である状態とし、この状態で前記AD変換値が所定値となるように前記レベルシフト量を調整し、この際の前記レベルシフト量を前記オフセット量とする手順を含むことを特徴とする表面性状測定機の調整方法。
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