JP2013181728A

JP2013181728A - 流速制御方法及び流速制御装置

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Publication number: JP2013181728A
Application number: JP2012047612A
Authority: JP
Inventors: Yasuo Fujii; 康生藤井; Yutaka Yamada; 裕山田; Nobuyuki Hashimoto; 信行橋本; Kosuke Sato; 浩介佐藤
Original assignee: Furukawa Electric Co Ltd
Current assignee: Furukawa Electric Co Ltd
Priority date: 2012-03-05
Filing date: 2012-03-05
Publication date: 2013-09-12

Abstract

【課題】作動流体の凍結時であってもヒートパイプの均熱化を実現して発熱素子の熱暴走を防止することができ、加えてコストを低減することができる流速制御方法を提供する。
【解決手段】流速制御装置１は、冷却装置１０の上流側および下流側に配置された一対のダクト３，４と、該一対のダクトを連通するように配置され、冷却装置１０を覆うカバー部材５と、上流側のダクト３に冷却流体を送り込むファン６と、下流側のダクト４に取り付けられ、且つ冷却装置１０の下流側で冷却流体の温度を検出する温度センサ７と、この温度センサ７からの出力に基づいて上記冷却流体の流速を制御する制御部８とを備える。ダクト４内において、放熱フィン４１の幅方向略中央に相当する位置であり且つヒートパイプ３０の上端の高さに相当する位置の温度を検出し、検出温度が閾値Ａよりも高い場合には、ダクト内風速が第２の風速となるように、ファン６に供給する電力を増大させる。
【選択図】図１

Description

本発明は、電力変換装置等の電子部品を強制空冷する際に、冷却流体の速度や流量を制御する流速制御方法及び流速制御装置に関する。

従来、種々の産業分野において、所定の入力パラメータに基づいて流体の加熱・冷却を制御する技術が提案されている。例えば、車両用暖房装置では、センサにより検出されたヒートパイプ温度が所定値を超えたときにファンを起動することで、即暖性を向上する方法が提案されている（特許文献１）。

半導体電力変換装置では、冷却装置が一定の冷却能力で連続運転されるので、上記半導体電力変換装置の負荷変動に応じて電力半導体素子の温度が上下する。この温度変動がヒートサイクルとなって、電力半導体素子の寿命低下、信頼性の低下を招いていた。そこで、電力半導体素子を冷却する冷媒の出口温度が一定になるように、冷媒流量を送液手段と流量制御手段により連続可変制御する方法が提案されている。また同時に、冷媒の入口温度が一定になるように可変送風機を温度制御装置により連続可変制御している（特許文献２）。

また、上記分野の他の方法として、冷却装置に複数のヒートパイプを設け、冷却ファンの駆動によって放熱フィン間に空気を流入させて冷却を行うとともに、外気温度またはヒートパイプ温度が予め設定された一定値以下になると上記ファンの駆動を停止させるものが提案されている（特許文献３）。

特開平３−５１８号公報国際公開第００／１７９２７号パンフレット特開平７−１９０６５５号公報

しかしながら、上記従来技術では以下のような問題がある。

ヒートパイプ作動流体の凍結を防止するために、ヒートパイプ温度や環境温度が設定値以下になるとファンを停止させる方法では、複数あるヒートパイプの温度はそれぞれ異なるため、どのヒートパイプの温度を制御基準とするかを決定するのが難しい。また発熱素子の発熱量は常に一定では無いため、画一的に環境温度を制御基準とすることは適切でない。仮に、環境温度が−２０℃であっても発熱素子の発熱量が高いときには作動流体は凍結しないが、発熱量が低くなれば凍結することとなる。低温環境下でヒートパイプの作動流体が凍結すると、熱の移動がなくなり、発熱素子が熱暴走を起こす場合がある。

また、ファンを起動して強制空冷を行う方法では、風上側は風下側に比べてヒートパイプ温度が低くなる。したがって、作動流体が凍結している場合、風上側に配置されたヒートパイプの凍結作動流体は風下側に配置されたヒートパイプに比べて融解しづらい。さらに、発熱素子を複数有する場合、各発熱素子の発熱量が異なることやその取付位置により、ヒートパイプ温度の差が生じるため、各ヒートパイプ内での凍結作動流体の融解に差が生じる。この場合、ヒートパイプと熱的に接続されている受熱ブロック上の発熱素子が熱暴走を起こすという場合がある。

本発明の目的は、作動流体の凍結時であってもヒートパイプの均熱化を実現して発熱素子の熱暴走を防止することができ、加えてコストを低減することができる流速制御方法及び流速制御装置を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明に係る流速制御方法は、発熱素子に熱的に接続された受熱ブロックと、前記受熱ブロックに立設されたヒートパイプと、前記受熱ブロックと略平行に配置され且つ該受熱ブロックに前記ヒートパイプを介して熱的に接続されたフィンを複数有する放熱フィン群とを備え、冷却流体の流れ方向が前記受熱ブロックと略平行となるように構成された冷却装置に適用される流速制御方法であって、前記冷却装置に冷却流体を導入出して、前記冷却装置の下流側で、前記フィンの幅方向略中央に相当する位置であり且つ前記ヒートパイプの上端の高さに相当する位置で前記冷却流体の温度を検出し、前記検出された温度に基づいて前記冷却流体の流速を制御することを特徴とする。

好ましくは、本流速制御方法は、前記検出された温度が第１閾値より低い場合、前記冷却装置に導入される冷却流体が第１の流速となるように制御し、前記検出された温度が第１閾値以上である場合、前記冷却装置に導入される冷却流体が、前記第１の流速より大きい第２の流速となるように制御する。

また好ましくは、本流速制御方法は、前記検出された温度が、前記第１閾値より大きい第２閾値以上である場合、前記冷却装置に導入される冷却流体が、前記第２の流速より大きい第３の流速となるように制御することを特徴とする。

また、上記目的を達成するために、本発明に係る流速制御装置は、発熱素子に熱的に接続された受熱ブロックと、前記受熱ブロックに立設されたヒートパイプと、前記受熱ブロックと略平行に配置され且つ該受熱ブロックに前記ヒートパイプを介して熱的に接続されたフィンを複数有する放熱フィン群とを備え、冷却流体の流れ方向が前記受熱ブロックと略平行となるように構成された冷却装置に適用される流速制御装置であって、前記冷却装置に冷却流体を送り込むファンと、前記フィンの幅方向略中央に相当する位置であり且つ前記ヒートパイプの上端の高さに相当する位置で冷却流体の温度を検出する温度センサと、前記温度センサにより検出された温度に基づいて前記冷却流体の流速を制御する制御部とを備えることを特徴とする。

好ましくは、本流速制御装置は、前記冷却装置の上流側および下流側に配置された一対のダクトと、前記一対のダクトを連通するように配置され、前記冷却装置を覆うカバー部材とを更に備え、前記温度センサは、前記下流側のダクト内を流れる冷却流体の温度を検出することを特徴とする。

また、前記ヒートパイプは、略Ｕ字型のヒートパイプであるのが好ましい。

さらに、前記ヒートパイプの複数が前記受熱ブロックに立設され、前記複数のヒートパイプが前記冷却流体の流れ方向に沿って配置されるのが好ましい。

本発明によれば、冷却装置の下流側で、フィンの幅方向略中央に相当する位置であり且つヒートパイプの上端の高さに相当する位置で冷却流体の温度を検出し、検出された温度に基づいて冷却流体の流速を制御するので、作動流体の凍結時であっても発熱素子の熱暴走を防止することが可能となる。また、ファンに供給される電圧や周波数を制御することで冷却流体の速度を変更すれば、作動流体が凍結した場合であってもヒートパイプの均熱化を図ることができるため、ヒートパイプの内部構造を変更することや、フィン形状を変更するような設計変更の必要がなく、コストを低減することができる。

本発明の実施形態に係る流速制御方法が適用される流速制御装置の構成を概略的に示す側面図である。図１における冷却装置の構成を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は側面図である。図１の制御部で実行される流速制御処理の一例を示すフローチャートである。図１の制御部で実行される流速制御処理の一例を示すフローチャートである。図１の流速制御装置にて熱測定を行う際のレイアウトを示す側面図である。従来の流速制御方法を実行した場合における発熱素子の温度変化を示すグラフである。図３の流速制御処理の具体例を示すブロック図である。図７の流速制御処理を実行した場合における発熱素子の温度変化を示すグラフである。

以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら詳細に説明する。

図１は、本実施形態に係る流速制御方法が適用される流速制御装置の構成を概略的に示す側面図である。

図１に示すように、流速制御装置１は、冷却装置１０の上流側および下流側に配置された一対のダクト３，４と、この一対のダクト３，４を連通するように配置され、冷却装置１０を覆うカバー部材５と、ダクト３に所定速度で冷却流体を導入出するファン６と、下流側のダクト４に取り付けられ、且つ冷却装置１０の下流側で冷却流体の温度を検出する温度センサ７と、この温度センサ７からの出力に基づいて上記冷却流体の流速を制御する制御部８とを備えている。本実施形態では、ダクト内を流れる冷却流体として空気が使用される。

冷却装置１０は、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、発熱素子２−１，２−２，２−３に熱的に接続された受熱ブロック２０と、受熱ブロック２０に立設されたヒートパイプ３０と、受熱ブロック２０と略平行に配置され且つ該受熱ブロックにヒートパイプ３０を介して熱的に接続されたフィンを複数有する放熱フィン群４０とを備えている。

受熱ブロック２０は、熱伝導性に優れる銅材やアルミニウム材等で形成されている。また受熱ブロック２０は、発熱素子２と接触する接触面２１ａと、該接触面に対向して配置され、ヒートパイプ３０が取り付けられる取付面２１ｂとを有している。この取付面２１ｂには、ヒートパイプ３０の後述する蒸発部が嵌り込む溝部２２が形成されている（図２（ａ））。この溝部２２にヒートパイプ３０を熱伝導可能に取り付けることにより、発熱素子２の熱がヒートパイプ３０に伝熱されることになる。

ヒートパイプ３０は、略Ｕ字型の形状を有しているもので、湾曲した底部を構成する蒸発部３１ａと、この蒸発部３１ａの両端から上方に延出する凝縮部３１ｂとで構成されている（図２（ｂ））。

放熱フィン群４０を構成するフィン４１は、外形が長方形をなす平板状に形成されており、その平面が略水平になるように取り付けられている。このフィン４１には、複数の取付孔４２が形成されており、この取付孔４２にヒートパイプ３０の凝縮部３１ｂが挿通されている。この取付孔４２とヒートパイプ３０との嵌合部は、例えばろう付けや圧入などの方法によって、熱伝導可能に固定されている。これにより、ヒートパイプ３０の熱はフィン４１に伝達される。このフィン４１は、複数枚が所定間隔をあけてそれぞれ略平行に取り付けられている。

ダクト３は、冷却流体の流れ方向に関して上流側に配置されており、ダクト４は冷却装置１０の下流側に配置されている。ダクト３，４の寸法は、例えば、長さ１８００ｍｍ×高さ２００ｍｍ×幅４９０ｍｍである。

カバー５は、ダクト３，４とほぼ同じ外寸である断面略コの字型の部材である。このカバー５が一対のダクト３，４を連通することにより、ダクト３を通って送り込まれた冷却流体がダクト４に送り出される。

ファン６は制御部８と電気的に接続されており、制御部８からの出力に応じた回転数で駆動する構成となっている。ファン６の駆動によって生じた送風が複数のフィン４１の間を通過することで、フィン４１が冷却流体により冷却されることになる。これにより、冷却装置１０の熱が外部へ放出される。

温度センサ７は、ダクト４の上壁４ａに取り付けられており、フィン４１の幅方向略中央に相当する位置であり且つヒートパイプ３０の上端の高さに相当する位置（以下、単に「ダクトの上部中央」という）で冷却流体の温度を検出する。好ましくは、ダクト上端部より、受熱ブロック２０の側へ８０〜２００ｍｍの位置に配置する。

この温度センサ７は、冷却装置１０あるいは発熱素子２から下流側に所定距離だけ隔てた位置に配置されている。本実施形態では、冷却装置１０の端部から１００ｍｍ隔てた位置に配置されている。好ましくは、受熱ブロック２０の端部から下流側に２０〜２００ｍｍの位置に配置する。
また、この温度センサ７は、ダクトの幅方向における略中央に相当する位置（以下、単に「ダクトの中央部）という）で冷却流体の温度を検出する。好ましくは、ダクトの中央部から、幅方向に＋−２００ｍｍの位置に配置する。

制御部８は、温度センサ７からの出力を実測値として、当該実測値と設定値との比較を行い、この比較結果に基づいて、ファン６に供給する電力を可変制御する。これにより、ファン６の回転数が冷却流体の温度に応じて変更され、上記一対のダクト３，４内における冷却流体の流速が変化することとなる。

この制御部８では、具体的には以下に示すような流速制御処理が実行される。

図３に示すように、先ず、ダクト３の上流側のファン６を初期供給電力にて駆動する（ステップＳ３１）。このとき、ダクト内風速は予め設定された第１の風速となっている。次に、上部中央に取り付けられた温度センサ７を用いて、下流側冷却流体の温度を検出する（ステップＳ３２）。そして、温度センサ７にて検出された温度が閾値Ａ（第１閾値）以上であるか否かを判定する（ステップＳ３３）。この検出温度が閾値Ａよりも低い場合には、ダクト内風速を第１の風速に維持して（ステップＳ３４）、本処理を終了する。

検出温度が閾値Ａ以上である場合には、さらに、検出温度が閾値Ｂ（Ｂ＞Ａ）（第２閾値）以上であるか否かを判定し（ステップＳ３５）、検出温度が閾値Ｂよりも低い場合には、ダクト内風速が第２の風速（第２の風速＞第１の風速）となるように、ファン６に供給する電力を増大させる（ステップＳ３６）。検出温度が閾値Ｂ以上である場合には、ダクト内風速が第３の風速（第３の風速＞第２の風速）となるように、ファン６に供給する電力を増大させ（ステップＳ３７）、その後本処理を終了する。

尚、図３では、ダクト内風速を増大させる処理を説明したが、図４に示すように、ダクト内風速を減少させる処理を実行してもよい。

図４において、ダクト３の上流側のファン６を初期供給電力にて駆動し（ステップＳ４１）、次に、上部中央に取り付けられた温度センサ７を用いて、下流側冷却流体の温度を検出する（ステップＳ４２）。そして、温度センサ７にて検出された温度が閾値Ａ’（第１閾値）以下であるか否かを判定する（ステップＳ４３）。この検出温度が閾値Ａ’より高い場合には、ダクト内風速を第１の風速に維持する（ステップＳ４４）。

検出温度が閾値Ａ’以下である場合には、さらに、検出温度が閾値Ｂ’（Ｂ’＜Ａ’）（第２閾値）以下であるか否かを判定し（ステップＳ４５）、検出温度が閾値Ｂ’より高い場合には、ダクト内風速が第２の風速（第２の風速＜第１の風速）となるように、ファン６に供給する電力を減少させる（ステップＳ４６）。検出温度が閾値Ｂ’以下である場合には、ダクト内風速が第３の風速（第３の風速＜第２の風速）となるように、ファン６に供給する電力を減少させる（ステップＳ４７）。

次に、本発明者は、図５に示すような熱測定レイアウトを用いて、本制御処理の検証を行った。

この熱測定レイアウトでは、発熱素子として６つのヒータ１〜６を受熱ブロックに取り付け、これらヒータ（１）〜（６）に所定電圧を印加する構成とした。そして、冷却装置の上流側・下流側に配置されたダクトの略中央に風速測定点を設け（いずれも受熱ブロックから約２００ｍｍ）、ダクト内の風速を一定として、各計測ポイントの温度変化を観測した。温度計測ポイントは、ヒータ（１）〜（６）、上流側、中央部及び下流側にそれぞれ配置された３つのヒートパイプ、並びに下流側ダクト上部中央とした。環境温度は−４０℃であり、スタート時にはヒートパイプ内の作動流体が凍結している状態である。この熱測定レイアウトを用いて計測した結果を図６のグラフに示す。

冷却装置が複数の発熱素子（ヒータ（１）〜（６））を有している場合、上流側ヒートパイプと下流側ヒートパイプとで温度差が生じ、ヒートパイプ内の凍結作動流体が融解するまでに要する時間が異なることなる。具体的には、上流側ヒートパイプの溶解時間が約２４分であるのに対し、下流側ヒートパイプの溶解時間は約２０分と、約４分間の時間差が生じている。この結果、発熱素子の表面温度の降下時間が異なり、発熱素子が熱暴走を起こしていることが分かる。なお、発熱素子が単数の場合も、上流側ヒートパイプと下流側ヒートパイプで温度差が生じるため、図６に示す場合と同様の現象が起こる。

そこで、環境温度−２５℃の環境下で、ダクト内風速を一定値（５．５ｍ／ｓ）にしてヒータの入力値を変更し（９０００Ｗ，６０００Ｗ，３０００Ｗ）、ヒートパイプが作動したときの下流側ダクト上部中央の温度を測定した結果を表１に示す。また、ダクト内風速を他の一定値（３．８ｍ／ｓ，２．１ｍ／ｓ，０．８ｍ／ｓ）にして、上記同様の測定を行った。なお表中、「○」はヒートパイプが測定開始時から正常に動作したことを示す。

表１において、ダクト内風速が一定の場合、ヒータの入力値が低いほどヒートパイプ作動時の温度が低くなった。また、ヒータ入力値が一定の場合には、ダクト内風速が小さくなるほどヒートパイプ作動時の温度が高くなった。そして、ヒータの入力値を３０００Ｗ、風速を０．８ｍ／ｓに設定した場合、下流側ダクト上部中央の温度は１９．４℃となった。

この結果から、下流側ダクト上部中央の温度が２０℃以上であれば、いずれのヒートパイプの作動流体も凍結しておらず、全てのヒートパイプが正常に作動可能な状態であると判断できるため、この２０℃を設定温度としてダクト内の空気流速を制御すればよいことになる。すなわち、作動流体が凍結している状態ではダクト内風速を小さくして凍結作動流体を解凍し易くし、作動流体が解凍して全てのヒートパイプが作動し始めたら、ダクト内風速を増大させればよい。

図７は、図３の流速制御処理の具体例を示すブロック図であり、図８は、流速制御処理を実行した場合の発熱素子の温度変化を示すグラフである。

図７の上段において、ファン６を初期供給電力にて駆動する場合（ダクト内風速０．８ｍ／ｓ）において、下流側ダクト上部中央の温度が２０℃より高いときは、ダクト内風速を０．８ｍ／ｓから２．１ｍ／ｓに変更する。また、下流側ダクト上部中央の温度が３０℃より高いときは、ダクト内風速を２．１ｍ／ｓから５．５ｍ／ｓに変更する。

なお、図７の下段に示すように、下流側ダクト上部中央の温度が２０℃より低いときに、ダクト内風速を５．５ｍ／ｓから２．１ｍ／ｓに変更してもよい。また、下流側ダクト上部中央の温度が１０℃より低いときに、ダクト内風速を２．１ｍ／ｓから０．８ｍ／ｓに変更してもよい。

このような流速制御処理を上記の熱測定レイアウトにて実行すると、ヒータ（１）〜（６）の表面温度の降下時間が約１８分〜２０分とほぼ一様となり、すべてのヒータの表面温度が６０℃以下となった（図８）。したがって本制御処理により、発熱素子の熱暴走を抑制できることが検証された。

上述したように、本実施形態によれば、冷却装置１０の下流側で、フィンの幅方向略中央に相当する位置であり且つヒートパイプ３０の上端の高さに相当する位置で冷却流体の温度を検出し、検出された温度に基づいて冷却流体の流速を制御するので、作動流体の凍結時であっても発熱素子２の急激な温度上昇を防止することが可能となる。また、ダクト３に空気を送り込むファン６の供給電圧を本制御処理のように変更すれば、ヒートパイプ３０の均熱化を図ることができるため、ヒートパイプの内部構造を変更することや、フィン形状を変更するような設計変更の必要がなく、コストを低減することができる。

以上、本発明者によってなされた発明を実施形態に基づいて具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。

例えば、本実施形態では冷却流体として空気を用いているが、これに限らず、０℃以下でも凍結しない冷媒を用いることもできる。冷却流体として冷媒を用いる場合には、本実施形態のファンに代えて、ポンプが設けられてもよい。本構成によれば、環境負荷を低減することができる。

また、本実施形態における流速制御処理において、ヒステリシスを設定することも可能である。この構成によればハンチングの発生を防止することができ、制御の安定性を向上することができ、またコストの更なる低減を実現することができる。

また、本実施形態では、一対のダクト３，４が冷却装置１０の上流側および下流側に配置されるが、これに限らず、上流側のダクトと下流側のダクトが一体的に成形されてもよい。また、上流側のダクト、下流側のダクト及びカバーが一体的に成形されてもよい。また、冷却装置１０に実質的に冷却流体を導入出することができる構成であれば、ダクト３，４を設けなくてもよい。

また、本実施形態では、温度センサ７はダクト４の上壁４ａに取り付けられるが、これに限らず、フィン４１の幅方向略中央に相当する位置であり且つヒートパイプ３０の上端の高さに相当する位置の温度を検出することができれば、ダクト４の側壁等の他の位置に取り付けられてもよい。

また、本実施形態では、１つの温度センサが設けられているが、複数の温度センサが設けられていてもよい。

また、本実施形態ではファン６がダクト３の上流に配置されているが、これに限らず、ダクト４の下流に配置されてもよい。また、ダクト３，４を設けない構成の場合、ファン６を冷却装置１０の上流あるいは下流に配置してもよい。

本実施形態では、ヒートパイプ２０は略Ｕ字型形状であるが、これに限らず、略Ｌ字型形状であってもよいし、直管形状であってもよい。

また、上記実施形態は全ての点で例示であり、制限的なものではないと考えられるべきである。また、本発明の技術的範囲は上記実施形態に限定解釈されず、特許請求の範囲の記載に基づいて定められるべきであり、また、特許請求の範囲に記載された構成と均等なものとして解される範囲を含むことが意図される。

１流速制御装置
２発熱素子
３，４ダクト
５カバー部材
６ファン
７温度センサ
８制御部
１０冷却装置
２０受熱ブロック
２１ａ接触面
２１ｂ取付面
２２溝部
３０ヒートパイプ
３１ａ蒸発部
３１ｂ凝縮部
４０放熱フィン群
４１フィン
４２取付孔

Claims

発熱素子に熱的に接続された受熱ブロックと、前記受熱ブロックに立設されたヒートパイプと、前記受熱ブロックと略平行に配置され且つ該受熱ブロックに前記ヒートパイプを介して熱的に接続されたフィンを複数有する放熱フィン群とを備え、冷却流体の流れ方向が前記受熱ブロックと略平行となるように構成された冷却装置に適用される流速制御方法であって、
前記冷却装置に冷却流体を導入出して、前記冷却装置の下流側で、前記フィンの幅方向略中央に相当する位置であり且つ前記ヒートパイプの上端の高さに相当する位置で冷却流体の温度を検出し、
前記検出された温度に基づいて前記冷却流体の流速を制御することを特徴とする流速制御方法。
前記検出された温度が第１閾値より低い場合、前記冷却装置に導入される冷却流体が第１の流速となるように制御し、
前記検出された温度が第１閾値以上である場合、前記冷却装置に導入される冷却流体が、前記第１の流速より大きい第２の流速となるように制御することを特徴とする、請求項１記載の流速制御方法。
前記検出された温度が、前記第１閾値より大きい第２閾値以上である場合、前記冷却装置に導入される冷却流体が、前記第２の流速より大きい第３の流速となるように制御することを特徴とする、請求項２記載の流速制御方法。
発熱素子に熱的に接続された受熱ブロックと、前記受熱ブロックに立設されたヒートパイプと、前記受熱ブロックと略平行に配置され且つ該受熱ブロックに前記ヒートパイプを介して熱的に接続されたフィンを複数有する放熱フィン群とを備え、冷却流体の流れ方向が前記受熱ブロックと略平行となるように構成された冷却装置に適用される流速制御装置であって、
前記冷却装置に冷却流体を送り込むファンと、
前記冷却装置の下流側に配置され、前記フィンの幅方向略中央に相当する位置であり且つ前記ヒートパイプの上端の高さに相当する位置で冷却流体の温度を検出する温度センサと、
前記温度センサにより検出された温度に基づいて前記冷却流体の流速を制御する制御部と、
を備えることを特徴とする流速制御装置。
前記冷却装置の上流側および下流側に配置された一対のダクトと、
前記一対のダクトを連通するように配置され、前記冷却装置を覆うカバー部材とを更に備え、
前記温度センサは、前記下流側のダクト内を流れる冷却流体の温度を検出することを特徴とする、請求項４記載の流速制御装置。
前記ヒートパイプが略Ｕ字型のヒートパイプであることを特徴とする、請求項４の流速制御装置。
前記ヒートパイプの複数が前記受熱ブロックに立設され、
前記複数のヒートパイプが前記冷却流体の流れ方向に沿って配置されることを特徴とする、請求項４の流速制御装置。