JP2013179404A5 - - Google Patents

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JP6476633B2 (ja) * 2014-07-31 2019-03-06 セイコーエプソン株式会社 圧電デバイス
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WO2007119643A1 (ja) * 2006-03-31 2007-10-25 Ube Industries, Ltd. 圧電薄膜共振子、圧電薄膜デバイスおよびその製造方法
JP4986216B2 (ja) * 2006-09-22 2012-07-25 富士フイルム株式会社 液体吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置
JP4895323B2 (ja) * 2006-10-27 2012-03-14 宇部興産株式会社 薄膜圧電共振器
JP5671876B2 (ja) * 2009-11-16 2015-02-18 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー、超音波センサー、超音波トランスデューサーの製造方法、および超音波センサーの製造方法

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