JP2013172153A - Mocvd反応器用シャワーヘッド、mocvd反応器、mocvd装置及び洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】MOCVD反応器用シャワーヘッドは、実施形態の一例において、厚さ方向に貫通する複数の反応ガス供給路が形成され、且つ冷却構造を有するシャワーヘッド本体部と、シャワーヘッド本体部に着脱可能に取り付けられ、シャワーヘッド本体部における各反応ガス供給路の形成位置に対応する部位に、厚さ方向に貫通する1対nのマニホールド構造が形成され、且つ冷却構造を有さないシールド板を備える。
【選択図】図1
Description
まず、第1の実施形態に係るシャワーヘッドについて説明する。図1(A)〜(C)は、第1の実施形態に係るシャワーヘッド1の概略構成を模式的に示す図である。図1(A)に示すように、このシャワーヘッド1はシャワーヘッド本体部2と、図示しない部材結合手段(例えばスナッピング材、ねじ部材、真空吸引機構など)によりシャワーヘッド本体部2に着脱自在に取り付けられたシールド板3を備える。
以上、第1の実施形態におけるシャワーヘッド、MOCVD反応器及びMOCVD装置について図面を参照しながら具体的に説明したが、これに限定されるものではない。すなわち、上述した第1の実施形態は、一例にすぎず、本発明の趣旨の範囲で適宜に変形、追加、修正を行っても良い。
2 シャワーヘッド本体部
2a 凸部
2b 凹部
3 シールド板
4 反応ガス供給路
5 マニホールド構造
5a 上部ガスチャンネル
5b ガスチャンネル連通室
5c 下部ガスチャンネル
5d キャップ部材
7A 第1の反応ガス供給路
7B 第2の反応ガス供給路
7C 冷却水供給路
8 中空ピン
8a ピン部
8b フランジ
8c 凹環部
8 反応ガスチャンネル連通部材
9 O−リング
10 MOCVD反応器
11 ローター
12 サセプタ
13 ヒーター
19 進出口
20 ライナー
21 ライナー支持具
25 排気口
30 MOCVD装置
31 MOCVD反応器
32 洗浄チャンバー
32A ガス供給・用力モジュール
33 MOCVD反応器
34 ロードロックチャンバー
35 搬送チャンバー
41 サセプタ支持具
42 サセプタ支持台
44 シールド板支持具
45 シールド板支持台
46 加熱板
47 洗浄用ガス導入ライン
48 進出口
49 排気口
Claims (19)
- 厚さ方向に貫通する複数の反応ガス供給路が形成され、且つ冷却構造を有するシャワーヘッド本体部と、
前記シャワーヘッド本体部に着脱可能に取り付けられ、前記シャワーヘッド本体部における各反応ガス供給路の形成位置に対応する部位に、厚さ方向に貫通する1対nのマニホールド構造が形成され、且つ冷却構造を有さないシールド板と
を備えることを特徴とするMOCVD反応器用シャワーヘッド。 - 前記シャワーヘッド本体部の反応ガス供給路は、相互に交錯配列するように形成された第1の反応ガス供給路及び第2の反応ガス供給路を有することを特徴とする請求項1記載のMOCVD反応器用シャワーヘッド。
- 前記マニホールド構造は、n本の下部ガスチャンネルと、前記下部ガスチャンネルと前記シャワーヘッド本体部との間に介設され、前記下部ガスチャンネルと前記シャワーヘッド本体部の前記反応ガス供給路を連通するためのガスチャンネル連通室とを有することを特徴とする請求項1又は2記載のMOCVD反応器用シャワーヘッド。
- 前記マニホールド構造は、1本の上部ガスチャンネルと、n本の下部ガスチャンネルと、前記上部ガスチャンネルと前記下部ガスチャンネルとの間に介設され、前記上部ガスチャンネルと前記下部ガスチャンネルとを連通するためのガスチャンネル連通室とを有することを特徴とする請求項1又は2記載のMOCVD反応器用シャワーヘッド。
- 前記シールド板は、前記シャワーヘッド本体部に対面する面に、マニホールド構造領域全体を包括するように凹設された窪み部を有し、
前記シャワーヘッド本体部における前記第1の反応ガス供給路と前記第2の反応ガス供給路の少なくとも1つは、反応ガスチャンネル連通部材を介して前記シールド板のマニホールド構造と連通していることを特徴とする請求項2記載のMOCVD反応器用シャワーヘッド。 - 前記反応ガスチャンネル連通部材を介さずに前記シールド板のマニホールド構造に直接連通する反応ガス供給路は、前記シールド板の前記窪み部を介して前記マニホールド構造に連通することを特徴とする請求項5記載のMOCVD反応器用シャワーヘッド。
- 前記シールド板の表面温度は、500℃以上に維持されていることを特徴とする請求項1又は2記載のMOCVD反応器用シャワーヘッド。
- 前記反応ガスチャンネル連通部材を介さずに前記シールド板のマニホールド構造に直接連通する反応ガス供給路の上流端に、反応ガスを所定温度までに加熱する予備加熱手段が設けられることを特徴とする請求項6記載のMOCVD反応器用シャワーヘッド。
- 前記反応ガスチャンネル連通部材を介して前記シールド板のマニホールド構造と連通する反応ガス供給路に流通する反応ガスは、熱により分解しない温度に維持されていることを特徴とする請求項5記載のMOCVD反応器用シャワーヘッド。
- 前記反応ガスチャンネル連通部材は、ピン部とフランジ部を有する中空ピンであり、該中空ピンは、前記フランジ部の底面が前記シャワーヘッド本体部における中空ピン収納空間の底面凸部に当接するように該中空ピン収納空間内に収納され、前記ピン部が、前記中空ピンの上側に設けられた弾性部材により上下微動可能に前記シールド板の前記窪み部の上面に当接するように前記中空ピン収納空間の底面から延出されたことを特徴とする請求項5記載のMOCVD反応器用シャワーヘッド。
- 前記マニホールド構造は、1本の上部ガスチャンネルと、n本の下部ガスチャンネルと、前記上部ガスチャンネルと前記下部ガスチャンネルとの間に介設され、前記上部ガスチャンネルと前記下部ガスチャンネルとを連通するためのガスチャンネル連通室とを有し、
前記マニホールド構造の前記ガスチャンネル連通室は、十字形状体に形成され、
前記下部ガスチャンネルは、前記十字形状体の底面の四つの端部及び中心部からシールド板の表面に延設され、
前記シャワーヘッド本体部から第1の反応ガスが供給されるガスチャンネル連通室と、第2の反応ガスが供給されるガスチャンネル連通室とは、相互にマトリックス状に配置されていることを特徴とする請求項1又は2記載のMOCVD反応器用シャワーヘッド。 - 上下動及び回転可能なローターと、前記ローター上に載せられ、基板を載置するためのサセプタと、前記サセプタの下面に設けられ、前記サセプタを介して前記基板を加熱するためのヒーターと、反応器内部の上側に設けられ、前記サセプタと対向するように配置されたシャワーヘッドを備えるMOCVD反応器において、
前記シャワーヘッドは、請求項1又は2記載のシャワーヘッドであることを特徴とするMOCVD反応器。 - 前記ローターの側壁と前記MOCVD反応器の内壁との間に介設され、前記シールド板の下面周縁部を頂部で支持するライナーと、前記ライナーを下方から支持する上下動可能なライナー支持具とを有することを特徴とする請求項12記載のMOCVD反応器。
- 前記シールド板の下面周縁部には、前記ライナーの頂部を嵌合するための凹溝が形成されたことを特徴とする請求項13記載のMOCVD反応器。
- 請求項12〜14のいずれか1項に記載のMOCVD反応器と、
被洗浄物を支持するための被洗浄物支持台と、被洗浄物を加熱するための加熱板と、洗浄用ガスを洗浄チャンバー内に導入するための洗浄用ガス導入ラインを含む洗浄チャンバーと、
ロードロックチャンバーと、
前記MOCVD反応器、前記洗浄チャンバー及び前記ロードロックチャンバーとに連結され、機械ロボットが内部に設置される搬送チャンバーと
を備えることを特徴とするMOCVD装置。 - 前記被洗浄物は、サセプタ及びシールド板であって、
前記被洗浄物支持台は、上面の内外側に分設された内側支持具と外側支持具により前記サセプタと前記シールド板を夫々前記両加熱板の間に架設していることを特徴とする請求項15記載のMOCVD装置。 - MOCVD反応器、洗浄チャンバー、及び搬送チャンバーを備えるMOCVD装置における、該MOCVD反応器が有するサセプタ及びシャワーヘッド部材に対し化学洗浄を行う洗浄方法であって、
前記MOCVD反応器によるMOCVD処理が終了した後、前記MOCVD反応器における前記サセプタ及び前記シャワーヘッド部材を前記搬送チャンバーを介して前記洗浄チャンバーに移送するステップと、
洗浄ガスを用いて前記サセプタ及び前記シャワーヘッド部材に対し洗浄を行うステップと
を有することを特徴とする洗浄方法。 - 前記洗浄ガスは水素ガスであって、
前記サセプタ及び前記シャワーヘッド部材は、1000℃以上に加熱されることを特徴とする請求項17記載の洗浄方法。 - 前記洗浄ガスは、塩素ガスと窒素ガスとの混合ガスであって、
前記サセプタ及び前記シャワーヘッド部材は、800℃以上に加熱されることを特徴とする請求項17記載の洗浄方法。
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