JP2013164419A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 粒子光学顕微鏡内でガラス化された試料の像を生成する方法であって：
   試料材料を含む水溶液を供する手順；
   前記水溶液を表面上に噴霧する手順；
   前記水溶液を冷却することによって固化する手順；及び、
   荷電粒子顕微鏡の試料チャンバ内において前記試料材料の像を生成する手順；
   を有し、
   前記表面は前記粒子光学顕微鏡の排気された試料チャンバ内の低温表面で、その結果、ガラス化された試料は、前記液滴が前記表面に衝突するときに前記表面上に形成される、ことを特徴とする、方法。
2. 前記液滴の少なくとも一部が、10μm未満の直径を有する結果、前記液滴の少なくとも一部はガラス化された試料を形成する、請求項1に記載の方法。
3. 前記水溶液は試料ホルダに噴霧され、前記試料ホルダは、低温保持装置と接触することによって低温に維持される、請求項1又は2に記載の方法。
4. 前記低温保持装置は、静電力によって前記試料ホルダ保持装置を引きつける、請求項3に記載の方法。
5. 前記粒子光学装置には、電子顕微鏡鏡筒及び/又はイオンビーム鏡筒が備えられる、請求項3又は4に記載の方法。
6. 前記ガラス化された試料を低温ウルトラミクロトームによるスライス又は集束イオンビームによるミリングにより加工することで、薄片の試料を形成する手順をさらに有する、請求項1乃至5のうちのいずれか一項に記載の方法。
7. 前記水溶液が、流体を混合して、該流体を前記表面に噴霧するように備えられる混合装置から噴霧される、請求項1乃至6のうちのいずれか一項に記載の方法。
8. 前記水溶液が、電子噴霧を用いて前記表面に噴霧される、請求項1乃至7のうちのいずれか一項に記載の方法。
9. 前記試料材料が、毛細管を備える注入システムを用いることによって前記低温表面に噴霧される、請求項1乃至8のうちのいずれか一項に記載の方法。
10. 前記溶液を急速に冷却することによってガラス化された試料を形成する手順と、荷電粒子装置内で前記ガラス化された試料の像を生成する手順が、前記試料を、前記試料を形成する手順と前記像を生成する手順との間で、昇圧された環境に曝露することなく同一の粒子光学装置内に行われる、請求項1乃至9のうちのいずれか一項に記載の方法。